DE19602450C1 - Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung - Google Patents
Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren zur Abtrennung
wenigstens einer Komponente aus einem wenigstens aus zwei Komponenten be
stehenden Rohgasgemisch, umfassend wenigstens die Verfahrensschritte Adsorption,
Vakuumregenerierung und Druckaufbau, wobei diese Verfahrensschritte zyklisch ver
setzt in wenigstens zwei, parallel geschalteten Adsorbern ablaufen.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vakuumdruckwechseladsorptionsvorrichtung, umfas
send wenigstens zwei parallel zueinander angeordnete Adsorber, wenigstens einen
Vakuumpumpstand sowie Gasführungsleitungen zu, von, und zwischen den Adsorbern
und dem Vakuumpumpstand.
Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren bzw. -vorrichtungen werden z. B. zur Ge
winnung von Sauerstoff und/oder Stickstoff aus Luft oder zur Kohlendioxid-Abtrennung
aus Kohlendioxid-haltigen, Wasserstoff und Kohlenmonoxid-reichen Synthesegasen
verwendet. Derartige Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren weisen wenigstens
zwei, parallel geschaltete Adsorber, die der Ab- bzw. Auftrennung eines wenigstens
aus zwei Komponenten bestehenden Rohgasgemisches dienen, auf.
Unter dem Begriff "Adsorber" sei im folgenden ein, wenigstens eine Adsorptionsmittel
schicht enthaltender Behälter zu verstehen. Die Wahl des bzw. der verwendeten Ad
sorptionsmittel ist vom Verwendungszweck des jeweiligen Vakuumdruckwechselad
sorptionsverfahrens abhängig.
Grundsätzlich beinhaltet ein derartiges Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren die
Verfahrensschritte Adsorption, Vakuumregenerierung und Druckaufbau. Zudem können
weitere Verfahrensschritte, wie z. B. Druckausgleichs- oder Spülschritte, eingebunden
werden.
Bei derartigen Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren, die bestimmte Gaskompo
nenten in definierten Reinheiten und Ausbeuten liefern, trachtet der Fachmann danach,
den Energiebedarf so weit als möglich zu verringern. Insbesondere bei der Gewinnung
von Sauerstoff und/oder Stickstoff aus Luft, wo ja das Rohgasgemisch Luft kostenlos
zur Verfügung steht, werden die Betriebskosten einer Vakuumdruckwechseladsorp
tionsanlage im wesentlichen von ihrem benötigten Energiebedarf bestimmt.
Um den Energiebedarf eines derartigen Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahrens
zu senken, wurde bereits vorgeschlagen, vor dem Evakuieren eines Adsorbers einen
Druckausgleich zwischen dem zu evakuierenden und einem bereits evakuierten Ad
sorber durchzuführen. Ein derartiger Druckausgleich führt jedoch zu einer deutlichen
Verringerung der Kapazität des Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahrens.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Vakuumdruckwechseladsorptionsver
fahren der eingangs genannten Art anzugeben, das, ohne daß es zu einer Kapazitäts
verschlechterung kommt, eine bessere Energiebilanz als herkömmliche Vakuumdruck
wechseladsorptionsverfahren aufweist.
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß
- a) in der Endphase des Adsorptionstaktes eines ersten Adsorbers die Zuführung des Rohgasgemisches unterbrochen und
- b) wenigstens ein Teil des aus dem im Adsorptionstakt befindlichen ersten Adsorber abgezogenen Produktgas(gemisch)es einem zweiten, bereits vorbespannten, Adsorber zum Zwecke des weiteren Druckaufbaus in diesem zweiten Adsorber solange zugeführt wird,bis in dem ersten Adsorber ein Druck zwischen 650 und 800 mbar eingestellt ist, und
- c) sodann ein Evakuieren des ersten Adsorbers erfolgt.
Im Gegensatz zu dem eingangs erwähnten, zum Stand der Technik zählenden Vaku
umdruckwechseladsorptionsverfahren erfolgt bei dem erfindungsgemäßen Vakuum
druckwechseladsorptionsverfahren in der Endphase des Adsorptionstaktes eines
ersten Adsorbers ein Druckausgleich mit einem zweiten, bereits bespannten Adsorber.
Dieser Druckausgleich zwischen den zwei Adsorbern wird gemäß dem erfindungsge
mäßen Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren solange fortgesetzt, bis in dem
ersten Adsorber ein Druck zwischen 650 und 800 mbar, insbesondere zwischen 700
und 750 mbar, eingestellt bzw. erreicht ist. Erst dann wird mit dem Evakuieren des
ersten Adsorbers begonnen. Der Unterdruckwert, der mittels des Druckausgleiches
zwischen dem ersten und dem zweiten Adsorber erreicht wird, wird durch die Ausle
gung des für die Evakuierung verwendeten Pumpstandes bestimmt.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vakuumdruckwechseladsorp
tionsverfahrens zeichnet sich dadurch aus, daß
- a) nach der Zuführung eines Teils des aus dem im Adsorptionstakt befindlichen ersten Adsorber abgezogenen Produktgas(gemisch)es in einen zweiten, bereits vorbespannten Adsorber zum Zwecke des weiteren Druckaufbaus, bei weiterhin unterbrochener Zuführung des Rohgas(gemisch)es in den ersten Adsorber, wenigstens ein Teil des aus dem ersten Adsorber abgezogenen Produktgas(gemisch)es, einem dritten, in einem Evakuierungstakt befindlichen Adsorber zum Zwecke des Spülens dieses dritten Adsorbers solange zugeführt wird, bis in dem ersten Adsorber ein Druck zwischen 650 und 800 mbar eingestellt ist, und
- b) sodann ein Evakuieren des ersten Adsorbers erfolgt.
Den beiden genannten Verfahrensführungen ist gemein, daß der zweite Adsorber,
dem ein Teilstrom des Produktgas(gemisch)es zum Zwecke des weiteren
Druckausgleiches zugeführt wird, bereits (vor)bespannt ist. Diese Vorbespannung des
Adsorbers wirkt sich insbesondere im Hinblick auf die Lebensdauer des
Adsorptionsmittels, das gegenüber bekannten
Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren mit Druckausgleichsschritten deutlich
geringeren Druckstößen ausgesetzt ist, positiv aus.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vakuumdruckwechsel
adsorptionsverfahrens erfolgt das Vorbespannen eines Adsorbers mittels des Produkt
gas(gemisch)es.
Es hat sich gezeigt, daß eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren darin besteht, die Evakuierung mittels
einer Kombination aus Wälzkolbengebläse und Turbopumpe zu realisieren.
Der mit der erfindungsgemäßen Verfahrensführung verbundene niedrige Startdruck
des Evakuierungsschrittes führt dazu, daß der Einsatz einer Turbopumpe aufgrund der
Tatsache, daß die Turbopumpe im Bereich günstiger Wirkungsgrade arbeiten kann,
über den ganzen Druckbereich des Evakuierungsschrittes sinnvoll ist.
Hierbei können zu Beginn des Evakuierungsvorgangs Wälzkolbengebläse und Turbo
pumpe parallel geschaltet sein und erst nach Erreichen eines Druckes von 400 bis 800 mbar,
insbesondere von 500 bis 700 mbar, in Serie geschaltet werden.
In einer dazu alternativen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vakuumdruck
wechseladsorptionsverfahren, erfolgt das Evakuieren in der Weise, daß das Wälzkol
bengebläse und die Turbopumpe in Serie geschaltet sind.
Im Prinzip lassen sich mit entsprechend aufwendigen Pumpständen nahezu beliebig
niedrige Enddrücke während des Evakuierungstaktes erreichen. Energetisch sinnvoll
sind jedoch Enddrücke zwischen 150 und 450 mbar, insbesondere zwischen 250 und
350 mbar.
Wie bereits eingangs erwähnt, betrifft die Erfindung ferner eine Vakuumdruckwechsel
adsorptionsvorrichtung.
Zur Lösung des ebenfalls eingangs erwähnten Problems wird eine Vakuumdruck
wechseladsorptionsvorrichtung der gattungsgemäßen Art vorgeschlagen, bei der der
Vakuumpumpstand aus wenigstens einem Wälzkolbengebläse und wenigstens einer
Turbopumpe besteht.
Es hat sich gezeigt, das eine Kombination aus Wälzkolbengebläse und Turbopumpe
eine optimale Lösung darstellt. Diese Kombination ermöglicht die Bewältigung großer
Volumenströme bei vergleichsweise geringem Energiebedarf.
Die erfindungsgemäße Vakuumdruckwechseladsorptionsvorrichtung weiterbildend wird
vorgeschlagen, daß das Wälzkolbengebläse und die Turbopumpe so verschaltet
werden, die die Realisierung sowohl einer parallelen als auch einer seriellen Verschal
tung des Wälzkolbengebläses und der Turbopumpe zuläßt.
Das erfindungsgemäße Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren, die erfindungsge
mäße Vakuumdruckwechseladsorptionsvorrichtung sowie weitere Ausgestaltungen da
von, die Gegenstände abhängiger Patentansprüche sind, seien anhand der nachfol
genden Fig. 1 bis 3 näher erläutert. Hierbei zeigen:
Fig. 1 Verfahrensschema des erfindungsgemäßen Vakuumdruckwechsel
adsorptionsverfahren mit drei Adsorbern,
Fig. 2 Taktschema 1,
Fig. 3 Taktschema 2.
Hierbei bedeuten die in den Taktschemata der Fig. 2 und 3 verwendeten Abkür
zungen:
A: Adsorption
E1: Druckabsenkung, bei gleichzeitigem Druckausgleich mit einem Adsorber, der sich im Bespannungs- bzw. Druckaufbautakt R1 befindet
PP: Druckabsenkung mit Spülgaslieferung an einen Adsorber, der sich im Evakuierungs- und Spültakt EVP befindet
EV: Evakuieren
EVP: Evakuieren mit gleichzeitigem (Gegenstrom)Spülen
R0: Vorbespannen mit Produktgas(gemisch)
R1: Bespannen über den Druckausgleich mit einem Adsorber, der sich im Drucksenkungstakt E1 befindet
RF: Bespannen mit Rohgasgemisch
A: Adsorption
E1: Druckabsenkung, bei gleichzeitigem Druckausgleich mit einem Adsorber, der sich im Bespannungs- bzw. Druckaufbautakt R1 befindet
PP: Druckabsenkung mit Spülgaslieferung an einen Adsorber, der sich im Evakuierungs- und Spültakt EVP befindet
EV: Evakuieren
EVP: Evakuieren mit gleichzeitigem (Gegenstrom)Spülen
R0: Vorbespannen mit Produktgas(gemisch)
R1: Bespannen über den Druckausgleich mit einem Adsorber, der sich im Drucksenkungstakt E1 befindet
RF: Bespannen mit Rohgasgemisch
Das erfindungsgemäße Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren sei zunächst an
hand der beiden Fig. 1 und 2 beschrieben. Hierbei zeigt Fig. 1 drei parallel ange
ordnete Adsorber A1 bis A3. Das Rohgasgemisch wird, gegebenenfalls nach einer
Druckerhöhung im Verdichter V1, über die Leitung 1 sowie das entsprechend geöffnete
Ventil 11, 21 oder 31 einem der drei Adsorber A1 bis A3 am Einlaßende zugeführt. Am
Auslaßende der Adsorber A1 bis A3 wird bei geöffnetem Ventil 13, 23 oder 33 über
Leitung 2 das Produktgas(gemisch) abgezogenen und gegebenenfalls im Verdichter 2
verdichtet. Die Evakuierung der Adsorber A1 bis A3 erfolgt, bei entsprechend geöff
netem Ventil 14, 24 oder 34, über Leitung 3 und Vakuumpumpstand V3.
Zur näheren Erläuterung des erfindungsgemäßen Vakuumdruckwechseladsorptions
verfahrens sei nunmehr das in der Fig. 2 dargestellte Taktschema herangezogen.
Hierbei bedeuten die innerhalb eines Taktes durchgezogenen Linien, daß das ent
sprechende Ventil ganz geöffnet ist, während eine unterbrochene Linie für ein teilweise
geöffnetes Ventil steht.
Bei geöffneten Ventilen 11 und 13 wird dem Adsorber A1 über Leitung 1 das Roh
gas(gemisch) zugeführt. Die nicht am Adsorptionsmittel haftende Komponente bzw.
haftenden Komponenten werden über Leitung 2 abgezogen. Das Ventil 23 des Adsor
bers A2 ist bereits teilweise geöffnet, so daß der Adsorber A2 mittels eines Teilstromes
des aus dem Adsorber über Leitung 2 ausströmenden Produktgas(gemisch)es von
seinem Auslaßende her, also im Gegenstrom, vorbespannt wird. Zu Beginn des
zweiten Taktes wird Ventil 11 geschlossen, so daß die Zufuhr des Rohgasgemisches in
den Adsorber A1 unterbrochen wird. Da das Ventil 23 nunmehr vollständig geöffnet ist,
strömt weiterhin ein Teilstrom dem Produktgas(gemisch)es aus der Leitung 2 in den Ad
sorber A2 ein. In dem zuvor evakuierten Adsorber A2 kommt es dadurch zu einer
Druckerhöhung, während der Druck im Adsorber A1 auf 650 bis 800 mbar, vorzugs
weise 700 bis 750 mbar, fällt.
Sobald dieses gewünschte Druckniveau im Adsorber A1 erreicht bzw. eingestellt ist,
wird das Ventil 13 geschlossen und Ventil 14 geöffnet. Nun erfolgt über
Leitung 3 und Vakuumpumpstand V3 ein Evakuieren des Adsorbers A1. Nach Beendi
gung des Evakuierungstaktes im Adsorber A1 wird Ventil 14 wieder geschlossen und
Ventil 13 teilweise geöffnet. Nun kommt es zu einem Druckausgleich zwischen dem
zuvor in der Adsorptionsphase befindlichen Adsorber A3, bei dem über das geöffnete
Ventil 33 das Produktgas(gemisch) abströmt, und dem Adsorber A1, in den über das
teilweise geöffnete Ventil 13 ein Teilstrom dieses Produktgas(gemisch)es strömt.
Das in der Fig. 3 dargestellte Taktschema zeigt bereits eine Ausgestaltung des erfin
dungsgemäßen Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahrens. Hierbei durchläuft der
Adsorber A1 zunächst, analog zu dem in der Fig. 2 dargestellten Taktschema 1, bei
geöffneten Ventilen 11 und 13 seine Adsorptionsphase. Wiederum wird am Ende des
Adsorptionstaktes das Ventil 11 geschlossen, so daß es durch den Druckausgleich
zwischen dem Adsorber A1 und A2, dessen Ventil 23 nunmehr ganz geöffnet ist, zu
einer Druckabsenkung im Adsorber A1 kommt. Während des dritten Taktes wird das
Ventil 23 des Adsorbers A2 geschlossen und das Ventil 33 des Adsorbers A3 teilweise
geöffnet. Der Adsorber A3 wird zu diesem Zeitpunkt bei geöffnetem Ventil 34, über
Leitung 3 und Vakuumpumpstand V3 evakuiert. Der nunmehr über Leitung 33 in den
Adsorber A3 einströmende Teilstrom des Produktgas(gemisch)es dient somit als Spül
gas für den in der Evakuierungsphase befindlichen Adsorber A3.
Nach Beendigung dieses Spülgaslieferungstaktes werden die Ventile 11 und 13 des
Adsorbers A1 geschlossen und Ventil 14 geöffnet. In den Takten 4 und 5 wird der Ad
sorber A1 bei geöffnetem Ventil 14 über Leitung 3 und Vakuumpumpstand V3 eva
kuiert. Im Takt 6 - der Adsorber A1 wird nach wie vor evakuiert - wird Ventil 13 teilweise
geöffnet, so daß ein Teilstrom des aus dem Adsorber A2 über das geöffnete Ventil 23
austretenden Produktgas(gemisch)es in den Adsorber A1 als Spülgas strömen kann.
Nach Beendigung der Evakuierungstakte wird Ventil 14 geschlossen und über das teil
weise geöffnete Ventil 13 strömt aus der Leitung 2 Produktgas(gemisch) zum Zwecke
des Bespannens in den Adsorber A1. Im vorletzten Takt wird Ventil 13 zur Gänze ge
öffnet, so daß es zu einer weiteren Druckerhöhung im Adsorber A1 durch den einströ
menden Teilstrom des Produktgas(gemisch)es kommt. Nach dem Schließen des
Ventils 13 und dem Öffnen des Ventils 11, erfolgt das Bespannen des Adsorbers A1
auf Adsorptionsdruck mit dem über Leitung 1 einströmenden Rohgas(gemisch).
In der Praxis liegen die Taktzeiten der im Taktschema 2 (Fig. 3) beschriebenen Takte
in der Größenordnung von 15 bis 30 s für die Takte 1, 4 und 7, während die Taktzeiten
für die Takte 2, 5 und 8 in der Größenordnung von 2 bis 5 s und die Taktzeiten für die
Takte 3, 6 und 9 in der Größenordnung von 2 bis 10 s liegen.
Die Vorteile des erfindungsgemäßen Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren in
energetischer Hinsicht seien anhand der nachfolgenden Tabelle verdeutlicht. In dieser
werden drei verschiedene 3-Adsorber-Druckwechseladsorptionsverfahren zur Sauer
stoffgewinnung verglichen. Das Verfahren A ist ein Standardvakuumdruck-wechselad
sorptionsverfahren, bei dem kein Druckausgleich vorgesehen ist und der Evaku
ierungsstartdruck ca. 1 bar beträgt. Das Verfahren B beinhaltet einen konventionellen
Druckausgleich zwischen dem zu entspannenden und dem bereits evakuierten, jedoch
noch nicht (vor)bespannten Adsorber. Der Evakuierungsstartdruck beträgt hierbei
750 mbar. Das Verfahren C ist ein Verfahren, wie es im Taktschema 2 (Fig. 3) darge
stellt ist. Der Evakuierungsstartdruck beträgt ebenfalls 750 mbar.
Die in der Tabelle angebenen Werte gelten für eine Produktkonzentration von 93%
Sauerstoff bei Einsatz eines Wälzkolbengebläses. Es ist deutlich erkennbar, daß mit
dem erfindungsgemäßen Verfahren C dieselbe Produktmenge bei gleichem Energie
bedarf wie mit dem Standardverfahren A erzielt werden kann.
Im Gegensatz zu dem Verfahren A führt das erfindungsgemäße Verfahren C aufgrund
des niedrigen Desorptionsdrucks beim Einsatz einer Kombination aus Wälzkolbenge
bläse und Turbopumpe zu einer Energieeinsparung von ca. 10%, so daß sich mit dem
erfindungsgemäße Verfahren C ein spezifischer Energiebedarf von 0,34 kWh/Nm³O₂
erreichen läßt. Zwar ermöglicht auch das Verfahren B mit konventionellen Druck
ausgleichen den energetisch günstigen Einsatz der Kombination aus Wälzkolbenge
bläse und Turbopumpe, doch ist für dieses Verfahren des Energiebedarf von Haus aus
zu hoch, als daß eine Verbesserung gegenüber dem Verfahren A erzielt werden
könnte.
Claims (8)
1. Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren zur Abtrennung wenigstens einer
Komponente aus einem wenigstens aus zwei Komponenten bestehenden Roh
gasgemisch, umfassend wenigstens die Verfahrensschritte Adsorption, Vakuumre
generierung und Druckaufbau, wobei diese Verfahrensschritte zyklisch versetzt in
wenigstens zwei, parallel geschalteten Adsorbern ablaufen, dadurch gekenn
zeichnet, daß
- a) in der Endphase des Adsorptionstaktes eines ersten Adsorbers die Zuführung des Rohgasgemisches unterbrochen und
- b) wenigstens ein Teil des aus dem im Adsorptionstakt befindlichen ersten Adsorber abgezogenen Produktgas(gemisch)es einem zweiten, bereits vorbespannten, Adsorber zum Zwecke des weiteren Druckaufbaus in diesem zweiten Adsorber solange zugeführt wird, bis in dem ersten Adsorber ein Druck zwischen 650 und 800 mbar eingestellt ist, und
- c) sodann ein Evakuieren des ersten Adsorbers erfolgt.
2. Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß
- a) nach der Zuführung eines Teils des aus dem im Adsorptionstakt befindlichen ersten Adsorber abgezogenen Produktgas(gemisch)es in einen zweiten, bereits vorbespannten Adsorber zum Zwecke des weiteren Druckaufbaus, bei weiterhin unterbrochener Zuführung des Rohgas(gemisch)es in den ersten Adsorber, wenigstens ein Teil des aus dem ersten Adsorber abgezogenen Produktgas(gemisch)es, einem dritten, in einem Evakuierungstakt befindlichen Adsorber zum Zwecke des Spülens dieses dritten Adsorbers solange zugeführt wird, bis in dem ersten Adsorber ein Druck zwischen 650 und 800 mbar eingestellt ist, und
- b) sodann ein Evakuieren des ersten Adsorbers erfolgt.
3. Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Evakuieren mittels einer Kombination aus Wälzkolbenge
bläse und Turbopumpe erfolgt, wobei zu Beginn des Evakuierens
Wälzkolbengebläse und Turbopumpe parallel geschaltet sind und erst nach
Erreichen eines Druckes von 400 bis 800 mbar in Serie geschaltet werden.
4. Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Evakuieren mittels einer Kombination aus Wälzkolbenge
bläse und Turbopumpe erfolgt, wobei während des Evakuierens
Wälzkolbengebläse und Turbopumpe in Serie geschaltet sind.
5. Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren nach einem der vorherigen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Vorbespannen eines Adsorbers
mittels des Produktgas(gemisch)es erfolgt.
6. Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren nach einem der vorherigen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Enddruck während des
Evakuierungstaktes zwischen 150 und 450 mbar beträgt.
7. Vakuumdruckwechseladsorptionsvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
nach einem der Ansprüche 1 bis 6, umfassend wenigstens zwei parallel
zueinander angeordnete Adsorber, wenigstens einen Vakuumpumpstand sowie
Gasführungsleitungen zu, von, und zwischen den Adsorbern und dem Vakuum
pumpstand, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumpumpstand aus
wenigstens einem Wälzkolbengebläse und wenigstens einer Turbopumpe besteht.
8. Vakuumdruckwechseladsorptionsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Wälzkolbengebläse und die Turbopumpe so verschaltet sind,
daß sowohl eine parallele als auch eine serielle Verschaltung des Wälzkolbenge
bläses und der Turbopumpe realisiert werden kann.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19602450A DE19602450C1 (de) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung |
PCT/EP1997/000154 WO1997026981A1 (de) | 1996-01-24 | 1997-01-15 | Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
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DE19602450A DE19602450C1 (de) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung |
Publications (1)
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DE19602450A Revoked DE19602450C1 (de) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19602450C1 (de) |
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