DE1514491A1

DE1514491A1 - Beam generation system

Info

Publication number: DE1514491A1
Application number: DE19651514491
Authority: DE
Inventors: Katz Dr Helmut
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1965-06-30
Filing date: 1965-06-30
Publication date: 1969-05-29
Also published as: DE1514491B2

Description

Strahlerzeugungssystem Die Erfindung betrifft ein Strahlerzeugungssystem für insbesondere mit hohen Spannungen arbeitende elektrische Entladungsgefäße, bei denen vorwiegend rotationssymmetrisch wirkende Elektroden, insbesondere im vresentlichen ebene und/oder zylindrische Elektroden parallel zueinander angeordnet und von einem die Elektroden umschließenden-Trägerrohr aus Isolierstoff gehaltert sind. Es sind Konstruktionen bekannt geworden, nach denen die als Kreisringscheiben oder Rotationskörper ausgebildeten und längs des Strahlweges angeordneten Elektroden innerhalb des Entladungsgefäßes in einem gestreckten Rotationskörper aus Isolierstoff gehaltert werden, dessen Achse mit der des Elek trodensystems zusammenfällt. Die Elektroden werden dabei mit einem Rand versehen, so daß sie die Form etwa einer Kappe haben. Der Rand ist federnd ausgebildet, so daß die Elektroden unter allen Umständen festsitzen. Das jeweilige Trägerrohr der bekannten Konstruktionen besteht entweder::. aus Keramik oder normalem Glasrohr. Bei Verwendung von Keramikröhren müssen diese ausgedreht und mit Stufen versehen werden, gegen die sich die Blenden anlegen. Einfacher ist die Verwendung von Glasröhren, die nicht abgesetzt zu vrerden brauchen, trenn sie aus einem Präzisionsrohr bestehen.Beam Generation System The invention relates to a beam generation system for electrical discharge vessels that work in particular with high voltages which predominantly rotationally symmetrical electrodes, especially in the essential flat and / or cylindrical electrodes arranged parallel to each other and from one the support tube enclosing the electrodes is made of insulating material. It constructions have become known, according to which the circular disks or Rotary body formed and arranged along the beam path electrodes inside the discharge vessel in an elongated rotating body made of insulating material are held, the axis of which coincides with that of the electrode system. the Electrodes are provided with an edge so that they have the shape of about a Have cap. The edge is resilient so that the electrodes under all Stuck in circumstances. The respective support tube of the known constructions is made either::. made of ceramic or normal glass tube. When using ceramic tubes these must be turned out and provided with steps, against which the panels are invest. It is easier to use glass tubes that do not have to be removed need to separate them from a precision tube.

Diese bekannten Anordnungen, aber auch solche, bei denen die einzelnen Elektroden an mehreren durchgehenden Isolierhaltestäben mit entsprechenden Schellen oder sonstwie befestigt werden, haben insbesondere im Hinblick auf die Anwendung hoher Spannungen den siesentlichen . Nachteil, daß ihre Isolation ungenügend ist und vor allen Dingen im Betrieb noch erheblich verschlechtert-,-, werden kann. Bei Strahlerzeugungssystemen, insbesondere für hohe Spannungen und wenn außerdem äußerste Anforderungen an die Isolationsströme gestellt werden müssen, treten mannigfaltige Störungen auf, insbesondere dadurch, daß aus der Kathode oder aus anderen Metallteilen des .Strahlerzeugungssystems elektrisch leitende Stoffe verdampfen, die sich auf dem Isolationsmaterial, das sich zwischen den Befestigungsstellen der Elektroden befindet, niederschlagen können. Aber auch bei geeigneter Vorbehandlung läßt sich nicht jede derartige Verdampfung ausschalten. Darüber hinaus bilden sich während des Betriebes der Röhre aus gasförmigen Komponenten Reaktionsprodukte, die sich ebenfalls auf den einzelnen Isolatoren niederschlagen können.These known arrangements, but also those in which the individual Electrodes on several continuous insulating rods with appropriate clamps or otherwise attached, especially with regard to the application high tension the local. Disadvantage that their isolation is insufficient and, above all, in operation can still be significantly deteriorated -, -, can. at Beam generating systems, especially for high voltages and when also extreme The demands on the insulation currents are manifold Interferences, in particular that from the cathode or from other metal parts of the .Strahlgenerungssystems vaporize electrically conductive substances that are on the insulation material that is between the attachment points of the electrodes is located, can knock down. But even with suitable pretreatment can do not turn off all such evaporation. They also form during the operation of the tube from gaseous components reaction products that are can also be reflected on the individual insulators.

Eire weitere Ursache für Isolationsfehler besteht darin, daß einzelne Elektroden thermisch emittieren, so daß es erforderlich ist, deren Temperatur im Betrieb möglichst niedrig zu halten.Another cause of insulation faults is that individual Electrodes emit thermally, so it is necessary to keep their temperature in Keeping operation as low as possible.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht deshalb darin, durch besondere konstruktive Ausbildung der .Halterungselemente und durch besondere Abschirmung diese gegen ein Bedampfen von Teilen des Strahlerzeugungssystems her zu schützen und dadurch die geschilderten Nachteile zu vermeiden. Erleichtert wird die Lösungdieses Problems durch die Tatsache, daß in Röhren, bei denen in dieser Hinsicht besonders kritische Verhältnisse vorliegen,__meist mehr Platz als sonst üblich für den Systemaufbau zur Verfügung steht. Erreicht wird diese Lösung bei einem im ersten Absatz beschriebenen Strahlerzeugungssystem nach der Erfindung dadurch, daß das Trägerrohr aus hochwertiger Keramik, insbesondere aus Oxydkeramik, wie z.B. Aluminiumoxyd, besteht und daß an seiner äußeren Mantelfläche Metallteile als Tragelemente zum Befestigen der Halterungsteile für die einzelnen im Innern jeweils mit Abstand zur Trägerrohrwand angeordneten Elektroden, wie Kathode, insbesondere MK-Kathode, und unmittelbar benachbarte Teile des Erzeugungssystems, derart angebracht sind, daß ihre Befestigungsstellen die einzigen Verbindungen mit der Keramik darstellen und von keinem Teil des Erzeugungssystems her gesehen werden können.The object on which the invention is based is therefore due to the special design of the .Holding elements and special Shielding these against vapor deposition of parts of the beam generation system to protect and thereby avoid the disadvantages described. Is facilitated the solution of this Problem due to the fact that in tubes, at who are particularly critical in this regard, __ mostly more Space than usual is available for the system structure. This is achieved Solution with a beam generation system described in the first paragraph according to the Invention in that the support tube made of high quality ceramic, in particular from Oxide ceramics, such as aluminum oxide, exist and that on its outer surface Metal parts as support elements for attaching the mounting parts for the individual electrodes arranged at a distance from the support tube wall inside, such as cathode, in particular MK cathode, and immediately adjacent parts of the generation system, are mounted so that their attachment points are the only connections with of the pottery and cannot be seen from any part of the generation system can.

Mit besonderem Vorteil bildet man die Tragelemente als Tragringe aus, die in ihrer Anzahl der Elektrodenanzahl entsprechen und die auf dem Trägerrohr parallel zueinander angeordnet werden. Sie werden mit Vorteil aus Vacon hergestellt, können aber auch je nach Anforderung aus-einem der Keramik einigermaßen ähnlich gut angepaßten Material bestehen. Sie können so ausgebildet sein, daß ein Teil des Ringes einen etwas größeren Durchmesser als der übliche Teil hat, etwa nach Art einer hinterdrehten Stirnfläche oder eines Winkelprofils als Querschnitt, so daß der Ring beim Aufbringen auf die Keramik teilweise einen geringen Abstand zur Keramik hin hat, der zusätzlich einen weiteren Bedampfungsschutz bietet. Zweckmäßigerweise wird man diese Aussparungen alle nach einer Seite hinweisen lassen, nämlich entgegengesetzt der Richtung, aus der eventuell eine Aufdampfmöglichkeit besteht.It is particularly advantageous to design the support elements as support rings, the number of which correspond to the number of electrodes and those on the carrier tube be arranged parallel to each other. They are advantageously made from Vacon, but can also, depending on the requirements, be somewhat similar to one of the ceramics well-adapted material exist. You can be designed so that part of the Ring a slightly larger one Diameter than the usual part, for example in the form of a back-turned face or an angle profile as a cross-section, so that the ring when applied to the ceramic partially a small distance towards the ceramic, which also offers additional vapor protection. Appropriately one will let these recesses all point to one side, namely opposite the direction from which there may be a possibility of vapor deposition.

Im Fall von zwei besonders isolationsgefährdeten Elektroden läßt man die jweils benachbarten beiden Tragringe mit ihren ausgesparten Stirnseiten aufeinander zuweisen, wenn die Beanspruchung bei den übrigen Elektroden entsprechend weniger groß ist. Die Ringe können geschlossen sein, falls es nicht vorgesehen ist, d.h. daß es nicht erforderlich ist, das System mit Hochfrequenzenergie auszuglühen oder aber auch dann, wenn die Ringe vom eigentlichen Elektrodensystem genügend weit entfernt angebracht sind. Sie können jedoch auch mindesten, einmal geschlitzt sein, so daß sich bei einer Hochfrequenzbehandlung in ihnen keine Kreisströme ausbilden. In einem solchen Fall kann man in besonders vorteilhafter Weise die Ringe auch durch Rollen aus entsprechendem Bandmaterial herstellen. Am jTmfnng jedes einzelnen Tragringes werden vorzugsweise drei Halteschienen von insbesondere U-förmigem Profil zur Halterung für die jeweils zugeordnete Elektrode angeschweißt oder -gelötet und an deren Enden über Querverbindungsteile die im Innern des Trägerrohres angeordnete jeweilige Elektrode mit deren unmittelbaren Halterungsteil befestigt. Die Halteschienen sind am Umfang eines jeweiligen Ringes entsprechend versetzt befestigt, so daß genügend Halteschienen für jede einzelne Elektrode aber auch für eine große Anzahl von Elektroden am Trägerrohr angebracht werden können. Es können aber auch mehr Ringe als der Anzahl der Elektroden entspricht derart vorgesehen sein, daß die zusätzlichen Ringe ohne zur Befestigung von Halteschienen nur nach Art von Blindringen als Schutzringe dienen, indem sie z.B. zwischen die Tragringe zweier solcher gefährdeter Elektroden zwischengefügt sind und durch Anlegen geeigneter Spannung einen eventuell sich ausbildenden Isolationsstrom unterbinden.In the case of two electrodes that are particularly vulnerable to insulation, one leaves the two adjacent support rings with their recessed end faces on top of each other assign if the stress on the other electrodes is correspondingly less is great. The rings can be closed if not provided, e.g. that it is not necessary to anneal the system with radio frequency energy or but also when the rings are far enough away from the actual electrode system are appropriate. However, they can also be slotted at least once, so that no circulating currents develop in them during high-frequency treatment. In one In such a case, the rings can also be rolled in a particularly advantageous manner Manufacture from appropriate tape material. At the jTmfnng of each individual support ring are preferred three support rails of particular U-shaped Profile for holding the respectively assigned electrode welded or soldered and at their ends via cross-connecting parts the one arranged in the interior of the support tube respective electrode attached with its immediate mounting part. The support rails are attached to the circumference of each ring offset accordingly, so that sufficient Support rails for each individual electrode but also for a large number of electrodes can be attached to the carrier tube. But there can also be more rings than the number the electrodes can be provided in such a way that the additional rings without only serve as protective rings in the manner of blind rings for fastening retaining rails, for example by inserting them between the support rings of two such endangered electrodes and by applying a suitable voltage, an insulation current that may develop prevent.

Zweckmäßigerweise hat von den auf dem Trägerrohr parallel zueinander angeordneten Ringen, unr '-ängig von ihrer Verwendung als Tragelement oder als Schutzring, der jeweils nächstfolgende untere Ring in Richtung zum benachbarten rntladungsgefäßende hin einen kleineren äußeren Durchmesser, so daß die jeweils am Umfang eine; Ringes befestigten achsparallel geführten Halteschienen keinen weiteren anderen Ring als ihren Befestigungsring (Tragring) berühren.Appropriately, has of the on the support tube parallel to each other arranged rings, unrestricted by their use as a support element or as a protective ring, the next following lower ring in the direction of the adjacent discharge vessel end towards a smaller outer diameter, so that each one on the circumference; Ring fortified axially parallel guided holding rails no further touch any ring other than its fastening ring (support ring).

Eine weitere.Ausführungsform unter Verwendung eines Keramik-Trägerrohres, die in manchen Fällen besonders geeignet sein kann, aber nicht die vorher beschriebene hohe Isolationssicherheit bietet, besteht darin, daß das Keramikträgerrohr stellenweise mit Löchern versehen ist, durch die ohne Berührung Stifte gesteckt sind, die an der Außenseite des Keramikrohres an einer Metallkappe befestigt sind. Die Metallkappen sind dazu besonders geformt und ihrerseits im geschlossenen Weg auf dem Keramikzylinder an entsprechend metallisierten Stellen aufgelötet. Die Stifte können im Innern des Keramikrohres noch mit einer Abschirmung versehen werden, indem etwa pilzförmige Hülsen über die Stifte gesteckt werden, so daß von innen her der Isolationsweg im Innern der Kappe auf der Außenseite des Keramikrohres immer bedampfungsfrei bleibt. Abschirmungen von Elektroden gegeneinander, wie im vorher beschriebenen Fall, können allerdings bei dieser Ausführungsart nur auf wesentlich umständlichere Art vorgesehen werden. Nähere Einzelheiten der Erfindung werden anhand der in den Figuren rein schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Teile, die nicht unbedingt zum Verständnis der Erfindung beitragen, sind darin fortgelassen oder unbezeichnet geblieben. In den Figuren 1 und 2, die einen Axial- bzw. einen Querschnitt in Untersicht eines Ausführungsbeispieles eines Strahlerzeugungssystems darstellen, und bei dem die Tragelemente aus Ringen bestehen, sind auf dem Trägerrohr 1 aus z.B. Aluminiumoxyd beispielsweise vier Tragringe 2 festgelötet, die alle nach oben hin weisende hinterdrehte bzw. ausgesparte Stirnflächen haben. Sie bestehen aus Vacon, Molybdän oder einem sonstigen der Keramik gut angepaßten Metall. Sie sind geschlossen oder für den Fall, daß eine HF-Behandlung in unmittelbarer Nähe erforderlich ist, mindestens einmal geschlitzt. Die Dicke der Ringe, d.h. der Durchmesser ihres äußeren Zylindermantels nimmt von Ring zu Ring nach unten hin, d.h. zum benachbarten Entladungsgefäßende hir,derart ab, daß z.B. eine am oberen Ring befestigte Halteschiene 3 keinen weiteren der auf dem Keramikträgerrohr befestigten unteren Ringe.berührt, so daß diese, gegebenenfalls analog mit zweiweiteren Halteschienen zusammen, die einzige Berührungsstelle zwischen der betreffenden Elektrode und dem Keramikrohr über dein betreffenden Tragring . darstellt. Befestigt ist nämlich die betreffende Elektrode 6 jeweils über Querverbindungsteile 4 mit ihren unmittelbaren Halterungsteilen 5. Im allgemeinen vierden zur Halterung einer Elektrode 3 gleichmäßig am Umfang des betreffenden Tragringes verteilte U-Schienen vorgesehen. Es kann aber äuch Fälle geben, in denen je nach Platz nur eine oder zwei bzvr. bei besonders stabiler Ilalterung mehr als drei Halteschienen vorgesehen sind. Die Halteschienen werden unten nach innen abgebogen, wobei durch eventuell zusätzliche Schweissung für genügende Stabilität gesorgt wird.Another embodiment using a ceramic support tube, which may be particularly suitable in some cases, but not the one previously described offers high insulation security is that the ceramic support tube in places is provided with holes through which pins are inserted without touching the the outside of the ceramic tube are attached to a metal cap. The metal caps are specially shaped for this purpose and in turn in a closed path on the ceramic cylinder soldered on at correspondingly metallized points. The pins can be inside the Ceramic tube can still be provided with a shield by approximately mushroom-shaped Sleeves are placed over the pins so that the isolation path in the inside Inside the cap on the outside of the ceramic tube, there is always no vapor deposition. Shields of electrodes from one another, as in the case described above, can however, in this embodiment, it is only provided in a much more cumbersome way will. Further details of the invention are shown in the figures schematically illustrated embodiments explained in more detail. Parts that do not necessarily contribute to an understanding of the invention are omitted or remained unmarked. In Figures 1 and 2, an axial and a Cross-section in a bottom view of an embodiment of a beam generation system represent, and in which the support elements consist of rings, are on the support tube 1 made of e.g. aluminum oxide, for example, four support rings 2 are soldered on, all of them after have turned or recessed end faces pointing towards the top. You insist made of Vacon, molybdenum or any other metal well suited to ceramic. she are closed or in the event that RF treatment is in the immediate vicinity is required, slotted at least once. The thickness of the rings, i.e. the diameter its outer cylinder jacket decreases from ring to ring downwards, i.e. to the neighboring one Discharge vessel end hir, in such a way that e.g. a holding rail attached to the upper ring 3 does not touch any other of the lower rings attached to the ceramic support tube, so that this, possibly analogously with two other support rails together, the only point of contact between the relevant electrode and the ceramic tube over your respective support ring. represents. The one in question is attached electrode 6 each via cross connection parts 4 with their immediate Holding parts 5. Generally four to hold an electrode 3 evenly provided on the circumference of the support ring in question distributed U-rails. But it can There are also cases in which, depending on the space, only one or two or at especially more than three support rails are provided for stable aging. The support rails are bent inwards at the bottom, possibly due to additional welding sufficient stability is provided.

.Es ist gleichgültig, ob beispielsweise die ganze Schiene nach innen führt,-wenn z.B. im Innern genügend Raum zur Verfügung steht oder ob die Verlängerung nach innen mit den sogenannten Querverbindungen 4, z.B. nur von einem Seitenflügel des U-Profils oder als Blech angebracht wird. Es können auch die Schienen für gleiche Elektroden zusammengeführt und zur Erhöhung der Stabilität verbunden vrerden.It does not matter whether, for example, the whole rail goes inwards leads, -if e.g. there is enough space inside or whether the extension to the inside with the so-called cross connections 4, e.g. only from one side wing of the U-profile or as sheet metal. It can also make the rails for same Electrodes brought together and connected to increase stability.

Die einzelnen Elektroden, z.B. Blenden des Strahlerzeugungssystems,sind derart ausgebildet, daß sie ebenfalls stabile metallische nach unten ragende Halterungsteile 5 aufweisen. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, daß an der betreffenden Elektrode, z.B. Blende 7, selber Löcher 8 angebracht sind, in die T:?olybd@instäbe 5 angebracht und z.B. durch Schweißen verbunden sind. Zylinderförmige Elektroden werden zu diesen Zweck z.B. mit einem Flansch 9 versehen, in der die erwihnten Löcher 8 und darin die betreffenden Halterungsteile 5 angebracht sind.The individual electrodes, e.g. apertures of the beam generation system, are designed such that they are also stable metallic downwardly protruding support parts 5 have. This can be done, for example, that at the relevant Electrode, e.g. aperture 7, holes 8 are attached in the T:? Olybd @ instabs 5 attached and e.g. by welding are connected. Cylindrical For this purpose, electrodes are provided, for example, with a flange 9 in which the Mentioned holes 8 and therein the relevant bracket parts 5 are attached.

Beim Verfahren zum Herstellen eines beschriebenen Strahlerzeugungssystems vierden die einzelnen Elektroden auf einen Zentrierstift in einer Zentrierlehre unter Zwischenfügen von Abstands- und Zentrierteilen aufgesteckt und gehaltert und dann mit einer Zehre zusammen in das Trägerrohr in die endgültige Lage der Elektroden eingeführt und danach durch Argonarc-Schweißen oder Löten die einzelnen Verbindungen zwischen den Halterungsteilen und den Elektroden hergestellt und anschließend, gegebenenfalls nach einer Zwischenglühung, die Lehre mit dem Zentrierstift wieder entfernt. Um teilbare Abstands- bzw. Zentrierstücke, wie sie für den Zusammenbau in der Lehre benötigt werden, leichter entfernen zu können, können die einzelnen Blenden unterschiedlich hinsichtlich ihrer äußeren Kreisform derart beschnitten sein, daß sich z.B. im wesentlichen eine Dreiecksform ergibt.In the method for producing a described beam generation system four the individual electrodes on a centering pin in a centering gauge with the interposition of spacer and centering parts attached and held and then together with a needle in the carrier tube in the final position of the electrodes and then the individual connections by argon arc welding or soldering produced between the holder parts and the electrodes and then, if necessary After an intermediate annealing, the gauge with the centering pin is removed again. Around divisible spacers or centering pieces, such as those used for assembly in teaching needed to be easier to remove, the individual panels can be different be cut with respect to their outer circular shape in such a way that, for example, substantially results in a triangular shape.

In Figur 3 ist der Querschnitt von einem Ausführungsbeispiel wiedergegeben, bei dem anstelle von Tragringen Metallkappen vorgesehen sind. Durch das Trägerrohr 11 sind von außen radial nach innen Stifte 13 gesteckt, die jweils an einer Metallkappe 12 am äußeren Umfang des Keramikrohres 11 nach entsprechender l,Ietallisierung aufgelötet sind. Im Innern des Trägerrohres sind an den Stiften 13 die unmittelbaren Halterungsteile 15 der jeweiligen Elektrode und damit über diese die Elektrode selber befestigt. Gegen ein eventuell schädliches Bedampfen können im Innern des Trägerrohres in Form von etwa pilzförmigen Buchsen 20 Abschirmungen auf den einzelnen Stiften 13 vorgesehen werden. Dadurch soll erreicht rierden, daß der Isolationsweg im Innern der Metallkappe 12 auf der Außenseite des Keramikrohres 11 ständig bedampfungsfrei bleibt.In Figure 3, the cross section of an embodiment is shown, in which metal caps are provided instead of support rings. Through the support tube 11 pins 13 are inserted radially inward from the outside, each on a metal cap 12 soldered to the outer circumference of the ceramic tube 11 after appropriate metallization are. In the interior of the support tube, the direct mounting parts are on the pins 13 15 of the respective electrode and thus the electrode itself is attached via this. Against a possibly harmful vapor deposition inside the support tube in the form of approximately mushroom-shaped sockets 20 shields are provided on the individual pins 13 will. This is intended to ensure that the isolation path is inside the metal cap 12 remains permanently vapor-free on the outside of the ceramic tube 11.

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e 1.) Beam generation system for in particular Electrical discharge vessels working with high voltages, in which predominantly rotationally symmetrical electrodes, in particular essentially flat and / or cylindrical electrodes Electrodes arranged parallel to one another and by one surrounding the electrodes Carrier tube made of insulating material are held, characterized, that the carrier tube Made of high-quality ceramic, especially from Oxydkeramil # c, such as aluminum oxide consists and that on its outer circumferential surface metal parts as support elements for Fasten the bracket steep for the individual inside each with a spacing to the support tube wall-arranged electrodes, such as cathode, in particular MK cathode, and parts of the generation system directly adjacent to it are attached in such a way that that their attachment points are the only connections with the ceramic support tube and cannot be seen by any part of the generation system itself.

2. Beam generating system according to claim 1, characterized in that the support elements from Vacon or one. others that are similarly well adapted to ceramics Made of metal and on the outside of the support tube at correspondingly metallized points are soldered on.

3. Beam generating system according to claim 1 and 2, characterized in that that the support elements consist of closed or at least once slotted rings exist, the outer surface of which is essentially cylindrical and for fastening of bracket parts is used.

Beam generating system according to one or more of the preceding claims 1 to 3, characterized in that in addition to the support elements rings serving one or more other rings free of mounting parts, for example the same shape are provided as protective rings in the manner of blind rings.

5. Beam generating system according to one or more "of the preceding claims 1 to 3, characterized in that that each of the rings serving as a support element rotates behind one end face or is recessed.

6. Beam generating system according to an or several of claims 1 to tE, characterized in that of the protective rings one or both end faces is (are) turned back or recessed.

7. Beam generating system according to one or more of claims 1 to 6, characterized in that the Rings are arranged so that all the recessed end faces in opposite directions Point in the direction of a possible vapor deposition source. B.

Beam generating system according to a of the preceding claims 1 to 6, characterized in that of two particularly Electrodes that are at risk of insulation, the adjacent two rings, if necessary also an interposed protective ring with their recessed end faces on top of one another to iron.

9. Beam generating system according to one or more of the preceding Claims 1 to 8, characterized in that on the circumference of the individual support ring preferably three Haltesc '_- ienen, in particular U-shaped, profile for mounting for the jevreils primordial electrode are welded or soldered and that on their ends over Cross connection parts inside the support tube arranged electrode is attached with its immediate holding parts.

10. Beam generation system according to one or more of the preceding claims 1 to 9, characterized in that of the arranged parallel to one another on the support tube Rings regardless of their use as a support element or as a protective ring of each next lower ring in the direction of the adjacent discharge vessel end has a smaller outer diameter, so that each on the circumference of a ring attached axially parallel guided retaining rails no other ring than touch their fastening ring (support ring).

11: Beam generation system according to the Claims 1 and 2, characterized in that the support elements from the outside on the Support tube are made of soldered metal caps, which have a central radial through have a sufficiently large hole in the ceramic base protruding into the inside of the pin, on the corresponding pin as well as on two other associated pins Electrode is attached with its immediate holding parts.

12th Beam generating system according to Claim 11, characterized in that the radial inwardly through the support tube protruding pins of the metal caps for shielding against steaming inside the ceramic tube in front of the Boch in question with a Mushroom-like socket are provided.

13. Method of manufacturing a beam generating system with a ceramic support tube according to one or more of the preceding claims 1 to 12, characterized in that the individual electrodes are supported by a centering pin plugged into a centering jig with spacer and centering parts inserted between them and are held in order to then with the tip in the carrier tube until the final Zage of the electrodes to be inserted and that then by argon arc welding or - Solder the individual connections between the mounting parts and the electrodes are produced and then, optionally after an intermediate annealing, the Remove the pin with the centering pin.

14. Beam generating system according to one of the preceding claims 1 to 13, characterized by a structure such that individual electrodes may have a suitable fora deviating from the circular shape for removing the centering pin with the associated spacing and centering parts.