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DE1202918B - Electron beam furnace - Google Patents

Electron beam furnace

Info

Publication number
DE1202918B
DE1202918B DEST17796A DEST017796A DE1202918B DE 1202918 B DE1202918 B DE 1202918B DE ST17796 A DEST17796 A DE ST17796A DE ST017796 A DEST017796 A DE ST017796A DE 1202918 B DE1202918 B DE 1202918B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
container
electron beam
electron
cathode
upper opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEST17796A
Other languages
German (de)
Inventor
Hugh Roscoe Smith Jun
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stauffer Chemical Co
Original Assignee
Stauffer Chemical Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Stauffer Chemical Co filed Critical Stauffer Chemical Co
Publication of DE1202918B publication Critical patent/DE1202918B/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22BPRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
    • C22B9/00General processes of refining or remelting of metals; Apparatus for electroslag or arc remelting of metals
    • C22B9/16Remelting metals
    • C22B9/22Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation
    • C22B9/228Remelting metals with heating by wave energy or particle radiation by particle radiation, e.g. electron beams
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S164/00Metal founding
    • Y10S164/05Electron beam

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Analytical Chemistry (AREA)
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  • Continuous Casting (AREA)

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. α.:Int. α .:

H05bH05b

Deutsche Kl.: 21h-16/60 German class: 21h -16/60

Nummer: 1202 918Number: 1202 918

Aktenzeichen: St 17796 VIII d/21 hFile number: St 17796 VIII d / 21 h

Anmeldetag: 8. Mai 1961Filing date: May 8, 1961

Auslegetag: 14. Oktober 1965Opening day: October 14, 1965

ElektronenstrahlofenElectron beam furnace

Anmelder:Applicant:

Stauffer Chemical Company, New York, N. Y.Stauffer Chemical Company, New York, N.Y.

(V. St. A.) Vertreter:(V. St. A.) Representative:

Dipl.-Ing. Dr. jur. V. Busse, Patentanwalt,Dipl.-Ing. Dr. jur. V. Busse, patent attorney,

Osnabrück, Möserstr. 20/24Osnabrück, Möserstr. 20/24

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Hugh Roscoe Smith jun., Piedmont, Calif.Hugh Roscoe Smith Jr., Piedmont, Calif.

(V. St. A.)(V. St. A.)

Beanspruchte Priorität:Claimed priority:

V. St. ν. Amerika vom 27. Mai 1960 (32 215) - -V. St. ν. America May 27, 1960 (32,215) - -

Die Erfindung bezieht sich auf Elektronenstrahlröhren zur Erhitzung von Materialien durch Elektronenbeschuß im Hochvakuum und insbesondere zum Schmelzen von Materialien und Gießen von Barren aus denselben, wobei sich eine Reinigungs- 5 wirkung, ein außergewöhnlich hochgradiger Entgasungseffekt und andere Vorteile ergeben.The invention relates to cathode ray tubes for heating materials by electron bombardment in a high vacuum and in particular for melting materials and casting ingots from them, with a cleaning 5 effect, an exceptionally high degree of degassing effect and other advantages.

Es ist bekannt, daß Materialien, die in einem
Elektronenstrahlofen verarbeitet worden sind, außerordentliche und meist höchst vorteilhafte Eigenschaf- io
ten besitzen, weil in diesen Öfen eine Reinigungswirkung und eine außergewöhnlich hochgradige Entgasungswirkung erreicht wird. Mit den bisher bekannten öfen können zwar die verschiedenartigsten
Materialien in technischer Hinsicht zufriedenstellend 15
verarbeitet werden, und im Hinblick auf die relativ
teuren Materialien, welche auf andere Art schwierig
zu verarbeiten sind, kann auch mit einem vernünftigen Kostenaufwand gerechnet werden, aber die ökonomische Ausweitung des Prozesses für andere 20
Zwecke verlangt fortgesetzt immer größere öfen und
eine immer längere ununterbrochene Betriebsdauer _
It is known that materials in a
Electron beam furnaces have been processed, extraordinary and mostly highly advantageous properties
ten because in these ovens a cleaning effect and an exceptionally high degree of degassing effect is achieved. With the ovens known so far, the most varied
Materials satisfactory from a technical point of view 15
processed, and in terms of relative
expensive materials which are difficult in other ways
are to be processed, reasonable costs can be expected, but the economic expansion of the process for other 20
Purposes continued to require ever larger ovens and
an ever longer uninterrupted operating time _

der öfen. Diese Ziele sind nicht einfach zu erreichen. ■*the ovens. These goals are not easy to achieve. ■ *

Insbesondere bedingen Vergrößerungen der Ofen- gressiv durch das untere Ende der Gießform in Geabmessungen ständig wachsende Probleme betref- 25 stalt eines Gußbarrens von ständig zunehmender fend die Fokussierung und die Beherrschung des Länge abgezogen werden. Eine Elektronenkanone stärkeren Elektronenstrahlstromes, insbesondere schickt einen Elektronenstrahl nach unten in das wenn es zur Entwicklung größerer Mengenanteile offene obere Ende der Gießform und bombardiert gasförmiger Substanz aus dem schmelzenden Mate- das darin befindliche Material, so daß ständig am rial kommt. Die Länge der ununterbrochenen Be- 30 oberen Ende des erstarrenden Barrens das Material triebsdauer kann durch die Instabilität des Elek- schmelzflüssig in Form eines kleinen Sumpfes ertronenstrahles und insbesondere durch Änderungen haltenbleibt. Vorzugsweise wird das zu schmelzende in der Elektrodenkonfiguration, Emissionseigen- Material progressiv zugeführt, d. h. an einer Seite des schäften u. dgl. begrenzt werden. Derartige Ände- Elektronenstrahles, so daß der zu schmelzende Marungen werden durch die Anhäufung von abgeschie- 35 terialvorrat in dem Maße, in dem er in den Elekdenem Material an der Elektrode infolge Konden- tronenstrahl vorgeschoben wird, abschmilzt. Das absation der entwickelten gasförmigen Substanzen, geschmolzene Material fällt in das offene obere Ende welche sowohl aus flüchtigen Verunreinigungen und der Gießform und ergänzt kontinuierlich das geDämpfen des verarbeiteten Materials als auch aus schmolzene Material der dort befindlichen Schmelze verspritztem geschmolzenem Material besteht, und 40 in dem Sumpf.In particular, cause increases in the furnace gressiv betref- through the lower end of the mold in Geabmessungen growing problems 25 s Told an ingot of ever increasing fend focusing and control of the length to be deducted. An electron gun with a stronger electron beam current, in particular, sends an electron beam downwards into the upper end of the casting mold, which is open when larger quantities develop, and bombs the gaseous substance from the melting material in the material, so that there is constant rial. The length of the uninterrupted upper end of the solidifying ingot, the material operating time, can be maintained by the instability of the molten elec- tronic fluid in the form of a small sump and in particular by changes. Preferably, the material to be melted in the electrode configuration, emission-specific material, is supplied progressively, that is to say limited on one side of the shaft and the like. Such changes in the electron beam, so that the marions to be melted are melted by the accumulation of deposited material supply to the extent that it is advanced in the electrode material on the electrode as a result of the condenser beam. The absation of the evolved gaseous substances, molten material falls into the open upper end which consists of both volatile impurities and the casting mold and continuously supplements the steaming of the processed material as well as molten material from the molten material located there, and 40 in the sump .

durch andere Ursachen hervorgerufen. Die vorlie- Es ist bereits bekannt, zur Ablenkung und Führung von Elektronenstrahlen elektronenoptische Systeme, äquivalent einem lichtoptischen Prisma, zu verwenden. Sofern es sich dabei um die Abbildung 45 etwa punktförmiger Quellen handelt, z. B. bei Elektronenmikroskopen, Bildabtaströhren, Elektronenvervielfachern, Massenspektrographen u. dgl., werden für diesen Zweck senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Elektronenstrahles gerichtete Magnetdie Form einer rohrförmigen, wassergekühlten Gieß- 50 felder verwendet,
form aufweist und an seinem oberen und unteren Gemäß der vorliegenden Erfindung ist zur zusätz-
caused by other causes. It is already known to use electron-optical systems, equivalent to a light-optical prism, for deflecting and guiding electron beams. If it is the figure 45 of approximately point-shaped sources, z. B. in electron microscopes, image scanning tubes, electron multipliers, mass spectrographs and the like, magnets are used for this purpose perpendicular to the direction of propagation of the electron beam in the form of a tubular, water-cooled pouring fields,
has shape and at its upper and lower According to the present invention is for additional

Ende offen ist. Das erstarrte Material kann pro- liehen Bündelung und Führung der Elektronen-The end is open. The solidified material can prelent bundling and guidance of the electron

509 717/338509 717/338

gende Erfindung schafft einen verbesserten Elektronenstrahlofen, der für Prozesse in größerem Maßstab und für längere ununterbrochene Betriebsdauer geeignet ist.The present invention provides an improved electron beam furnace that is suitable for larger scale processes and is suitable for longer uninterrupted periods of operation.

Elektronenstrahl-Schmelz- und -Gießöfen bestehen im wesentlichen aus einem fortwährend evakuierten Tank, in welchem sich ein Behälter für das geschmolzene Metall befindet, der im allgemeinenElectron beam melting and casting furnaces essentially consist of a continuously evacuated one Tank in which there is a container for the molten metal, generally

3 43 4

strahlen in die obere Öffnung des Behälters in an sich äußeren, aus Metall bestehenden Hülle 8 geschützt, bekannter Weise ein Magnet in unmittelbarer Nähe Die Drahtleitungen 9 und 10 verbinden die Spule mitradiate into the upper opening of the container protected in an outer, metal shell 8, known way a magnet in the immediate vicinity The wire lines 9 and 10 connect the coil with

dieser öffnung so angeordnet, daß Kraftlinien seines der Gleichstromquelle 11 in Serie mit einem Rheo-this opening is arranged so that lines of force of its the direct current source 11 in series with a rheo-

Magnetfeldes in diese obere Öffnung konvergieren. stat 12, so daß die Spule mit erregendem Gleich-Converge magnetic field in this upper opening. stat 12, so that the coil with exciting DC

Der Magnet ist vorzugsweise eine ringförmige elek- 5 strom von regelbarer Stärke versorgt werden kann, tromagnetische Spule, welche sich koaxial um den Der so geschaffene Magnet erzeugt ein MagnetfeldThe magnet is preferably a ring-shaped electric current of adjustable strength can be supplied, tromagnetic coil, which is coaxial around the The magnet created in this way generates a magnetic field

Behälter herum erstreckt. Die Elektronenkanone, die von regelbarer Stärke mit vertikaler SymmetrieachseExtends container around. The electron gun, of adjustable strength with a vertical axis of symmetry

vorzugsweise ebenfalls ringförmige Gestalt hat, ist, und mit magnetischen Kraftlinien, die in die oberepreferably also has an annular shape, and with magnetic lines of force extending into the upper

verglichen mit dem Durchmesser der Gießform, in öffnung der Gießform 1, wie durch die strichpunk-compared to the diameter of the casting mold, in the opening of the casting mold 1, as indicated by the dash-dot

relativ weitem Abstand über der oberen öffnung der io tierten Linien 13 der F i g. 2 dargestellt, hinein-relatively wide distance above the upper opening of the io-oriented lines 13 of FIG. 2 shown, in-

Gießform angeordnet, und die Elektroden der konvergieren.Casting mold arranged, and the electrodes of the converge.

Kanone sind so geformt und ausgefluchtet, daß die Die ringförmige Elektrodenkanone ist vertikal Elektronen auf Bahnen ausgeschleudert werden, die über der oberen Öffnung der Gießform 1 fluchtend parallel zu den magnetischen Kraftlinien sind. In- und vorzugsweise von dieser in einer relativ zum folge ihres Abstandes hat die Elektronenkanone re- 15 Durchmesser der Gießform großen Entfernung zum lativ wenig unter den schädlichen Einflüssen der gas- Zwecke der Verringerung des schädlichen Einflusses förmigen Stoffe zu leiden, die sich aus dem schmel- der sich entwickelnden gasförmigen Substanzen auf zenden und geschmolzenen Material entwickeln. Das die Kanone angeordnet. Die Elektrodenkanone umMagnetfeld bündelt und leitet die von der Kanone faßt in ihrer bevorzugten Ausführungsform eine kommenden Elektronen in die obere Öffnung der 30 ringförmige, thermionische Kathode 14, die meistens Gießform hinein, obwohl die gasförmige Substanz, aus einer horizontalen Wolframdrahtschleife besteht die sich aus dem schmelzenden und geschmolzenen und durch die Leitungen 15 und 16 und einen TransMaterial entwickelt hat, eine dichte Ionenwolke in formatorl7 mit einer Wechselstromquelle 18 verdem Raum, der von dem Elektronenstrahl durch- bunden ist, die Wechselstrom durch den Draht 14 quert wird, erzeugt. Außerdem rühren die elektro- 35 zur Erhitzung desselben auf die thermionische Emismagnetischen Kräfte das geschmolzene Material in sionstemperatur liefert. Die Beschleunigungselekdem Sumpf im oberen Teil der Gießform kräftig trode 19 ist knapp unter der Kathode 14 angeordnet, durch, wodurch die Entbindung der flüchtigen Ver- und eine Fokussierungselektrode 20 ist knapp über unreinigungen unterstützt wird und andere Vorteile der Kathode 14 angeordnet, wie aus der Zeichnung erreicht werden. 30 ersehen werden kann. Elektrische Verbindungen sind Die vorstehenden Aspekte der Erfindung und noch vorgesehen, um zu gewährleisten, daß die Beschleuweitere werden durch die folgende erläuternde Be- nigungselektrode 19 im wesentlichen auf dem gleischreibung in Verbindung mit den Zeichnungen noch chen elektrischen Potential wie die Gießform 1, vordeutlicher verständlich. zugsweise auf Erdpotential, gehalten wird. Dies ist F i g. 1 der Zeichnung stellt eine schematische 35 in der Zeichnung schematisch durch die Erdverbin-Ansicht eines Vertikalschnittes eines verbesserten dungssymbole bei 21 und 22 angedeutet. Die Elektronenstrahlofens dar; Kathode 14 und die Fokussierungselektrode 20 wer-F i g. 2 ist eine Teilansicht des Vertikalschnittes den auf wesentlich negativeren Potentialen gehalten, desselben Ofens, die in etwas größerem Maßstab ge- gewöhnlich 5000 bis 15 000 Volt, als die Beschleuzeichnet ist, sie zeigt die typischen magnetischen 40 nigungselektrode. Dies kann erreicht werden z. B. Kraftlinien und die Flugbahnen der Elektronen. mittels der Verbindung 23 zwischen Elektrode 20 In den Zeichnungen ist eine rohrförmige Kupfer- und Leitung 16 und Verbindung 24 zwischen Leitung form mit vertikaler Achse mit 1 bezeichnet. Sie be- 16 und dem negativen Pol der hochgespannten sitzt ein offenes oberes und unteres Ende und ist mit Gleichstromquelle 25.Guns are shaped and aligned so that the ring-shaped electrode gun is vertical Electrons are ejected on paths that are aligned over the upper opening of the casting mold 1 are parallel to the magnetic lines of force. In and preferably from this in a relative to As a result of their distance, the electron gun has a large distance from the casting mold relatively little among the harmful influences of the gas- purposes of reducing the harmful influence Shaped substances suffer from the melting of the evolving gaseous substances developing and molten material. That arranged the cannon. The electrode gun around the magnetic field bundles and directs the cannon grabs in its preferred embodiment electrons coming into the upper opening of the 30 ring-shaped, thermionic cathode 14, mostly Casting mold into it, although the gaseous substance consists of a horizontal loop of tungsten wire arising from the melting and molten and through lines 15 and 16 and a TransMaterial has developed a dense ion cloud in formatorl7 with an alternating current source 18 verdem Space which is traversed by the electron beam, the alternating current through the wire 14 is crossed, generated. In addition, the electro- 35 to heat it to the thermionic emismagnetic stir Forces the molten material delivers in sion temperature. The acceleration elecdem The sump in the upper part of the mold vigorously trode 19 is arranged just below the cathode 14, through, causing the delivery of the volatile connection and a focusing electrode 20 is just over impurities is supported and other advantages of the cathode 14 arranged as from the drawing can be achieved. 30 can be seen. Electrical connections are the foregoing aspects of the invention and are still provided to ensure that the accelerator are essentially on the same spelling as the following explanatory leveling electrode 19 In connection with the drawings, there is still an electrical potential like the casting mold 1, more clearly understandable. preferably at ground potential. This is Fig. Figure 1 of the drawing illustrates a schematic 35 in the drawing schematically through the ground connection view a vertical section of an improved training symbols at 21 and 22 indicated. the Electron beam furnace; Cathode 14 and focusing electrode 20 wer-F i g. 2 is a partial view of the vertical section held at much more negative potentials; of the same furnace, which usually draws 5000 to 15,000 volts on a somewhat larger scale than the Schleu It shows the typical 40 magnetic tilt electrode. This can be achieved e.g. B. Lines of force and the trajectories of electrons. by means of the connection 23 between electrode 20 In the drawings is a tubular copper and pipe 16 and connection 24 between pipe shape with a vertical axis denoted by 1. They be 16 and the negative pole of the high tension sits open top and bottom and is connected to DC power source 25.

einem Wassermantel 2 versehen, durch welchen 45 Der Gesamtentwurf der Elektronenkanone kann Wasser oder ein anderes Kühlmittel durch an sich ähnlich demjenigen sein, welcher in der deutschen bekannte Mittel (nicht dargestellt) dauernd durch- Patentanmeldung St 16459 beschrieben ist. Beim vorströmen gelassen werden kann, so daß die Gießform liegenden Ofen, bei welchem ein Magnetfeld zur gekühlt und das darin befindliche geschmolzene Ma- Lenkung des Elektronenstrahles verwendet wird, sind terial verfestigt werden kann. Auch andere Teile des 50 die Kathode, die Beschleunigungselektrode und die Ofens können, wenn dies gewünscht wird, mit Was- Fokussierungselektrode so geformt und gefluchtet, ser gekühlt werden. Da dies durch selbstverständ- daß die Elektronen parallel zu den konvergierenden liehe Mittel bewerkstelligt werden kann, erübrigt magnetischen Kraftlinien nach unten und einwärts sich eine darauf Bezug nehmende genaue Beschrei- gelenkt werden, so daß ein hohler, kegelähnlicher bung. Das erstarrte Material kann durch das offene 55 konvergierender Strahl gebildet wird. Das Magnetuntere Ende der Gießform 1 progressiv in Form feld spielt in der Folge bei der Fokussierung und eines Gußbarrens 3 von ständig wachsender Länge Lenkung des Elektronenstrahles in die obere öffabgezogen werden. Dieser Gußbarren kann von Zeit nung der Gießform 1 eine bedeutende Rolle,
zu Zeit nach Belieben abgeschnitten werden. Das Ein horizontaler Zuführungstrog 26 erstreckt sich progressive Abziehen des Gußbarrens kann z. B. 60 innen über der Gießform 1, welcher ein Auslaßende durch die Rollen 4, die durch den Elektromotor 5 26' in der Nähe der oberen Öffnung der Gießform angetrieben werden, vorgenommen werden. aufweist. Dieser Zuführungstrog (und auch sein In-Wie aus der Darstellung ersichtlich, erstreckt sich halt) ist elektrisch geerdet, wie durch das übliche eine ringförmige elektromagnetische Spule 6 ko- Symbol bei 27 angedeutet ist. Das zu schmelzende axial um die Gießform 1 herum. Ihre vertikale 65 Material 28 kann in jeder passenden Form, d. h. in Achse liegt konzentrisch mit dem oberen offenen Form von Stangen, Barren, Blöcken von gepreßtem Ende der Gießform. Diese Spule wird vorzugsweise Pulver usw. durch den Trog 26 an einer Seite des mittels einer inneren Isolationsschicht 7 und einer Elektronenstrahles, der in die Gießform 1 eindringt,
a water jacket 2 through which 45 The overall design of the electron gun can be water or some other coolant by itself similar to that which is continuously described in the German known means (not shown) by patent application St 16459. When the flow can be allowed to flow, so that the casting mold lying furnace, in which a magnetic field is cooled and the molten Ma- steering of the electron beam located therein is used, are materially solidified. Other parts of the 50, the cathode, the accelerating electrode and the furnace, can, if so desired, be water-cooled with the water-focusing electrode so shaped and aligned. Since this can be done by self-evident that the electrons parallel to the converging lent means, magnetic lines of force are directed downwards and inwards a referring precise description, so that a hollow, cone-like exercise. The solidified material can be formed by the open 55 converging jet. The magnet lower end of the casting mold 1 progressively in the form field plays in the sequence when focusing and a cast ingot 3 of continuously increasing length directing the electron beam into the upper opening. This ingot can play a significant role from time to the mold 1,
to be cut off at will. The A horizontal feed trough 26 extends progressively withdrawing the ingot can, for. B. 60 inside over the mold 1, which an outlet end by the rollers 4, which are driven by the electric motor 5 26 'in the vicinity of the upper opening of the mold, are made. having. This feed trough (and also its in-As can be seen from the illustration, extends stop) is electrically grounded, as is indicated by the usual ring-shaped electromagnetic coil 6 ko symbol at 27. That which is to be melted axially around the casting mold 1. Your vertical 65 material 28 can be in any suitable shape, ie in axis concentric with the upper open form of bars, billets, blocks of the pressed end of the mold. This coil is preferably powder, etc. through the trough 26 on one side of the by means of an inner insulating layer 7 and an electron beam that penetrates into the mold 1,

zugeführt werden. Der Zuführungsmechanismus ist beitsschwierigkeiten, und eine mindere Barrensymbolisch durch die Rollen 29, die durch den Elek- qualität ist die Folge. are fed. The feed mechanism is difficult to work with, and a lower bar symbolic through the rollers 29, which is the result of the electrical quality.

tromotor30 angetrieben werden, dargestellt. Sowie Die sich entwickelnden Gase, die ionisierte Subsich das zu schmelzende Material aus der Auslaß- stanz und sogar Plasma haben bei Anwendung der öffnung des Zuführungstroges vorschiebt, wird es 5 oben beschriebenen magnetischen Führung nur einen von dem Elektronenstrahl bombardiert und ab- kleinen Effekt auf die Flugbahnen der Elektronen, geschmolzen. Das auf diese Weise verflüssigte Ma- Der Elektronenstrahl bleibt wohl ausgebildet und terial fällt in das obere Ende der Gießform 1 und füllt scharf in das obere offene Ende der Gießform 1 kontinuierlich einen Sumpf 3' von geschmolzenem fokussiert. Der zu schmelzende Materialvorrat wird Material auf, der sich am oberen Ende des Guß- i0 an einer örtlich genau festgelegten und wohl bebarrens 3 befindet und welcher von einer Senke oder stimmten Ebene am Rand des Elektronenstrahles abMulde, die sich automatisch in dem erstarrenden geschnitten, und es kann daher der abschmelzende Material ausbildet, getragen wird. Anteil ganz genau durch bloßes Kontrollieren destromotor30 are driven, shown. As soon as the evolving gases, which ionized subsich the material to be melted from the outlet punch and even plasma advances when using the opening of the feed trough, it is only bombarded by the electron beam and has a small effect on the magnetic guide described above Electron trajectories, melted. The material liquefied in this way The electron beam remains well formed and material falls into the upper end of the casting mold 1 and fills sharply into the upper open end of the casting mold 1 continuously a sump 3 'of focused molten material. The material supply to be melted is material which is located at the upper end of the casting i 0 at a precisely defined and well barred 3 and which is from a depression or agreed level at the edge of the electron beam, which is automatically cut into the solidifying, and it can therefore be worn as the ablative material forms. Share exactly by simply checking the

Die magnetische Führung, welche diese Erfindung Vorschubes des zu schmelzenden Materialvorrates in vorsieht, bedingt mehrere bedeutende Vorteile, 15 Richtung auf den Elektronenstrahl beherrscht werden, welche den Betrieb des Ofens entscheidend ver- Abgesehen von den Betrachtungen, die oben disbessern und die Durchführung des Prozesses in kutiert wurden, ermöglicht die magnetische Führung, größerem und ökonomischerem Maßstab während so wie sie hier beschrieben wurde, Operationen in längerer Zeitspannen ohne Unterbrechung erlaubt. größerem Maßstab mit größeren öfen, die mit höhe-Bei Operationen in großem Maßstab können größere 20 ren Elektronenstrahlströmen arbeiten, und ebenso erMengen von gasförmiger Substanz entwickelt werden, möglicht sie die entferntere Anordnung der Elekwas gewöhnlich in unregelmäßigen Mengenanteilen tronenkanone, was eine längere Lebensdauer bedingt erfolgt. Die Gasentwicklung erfolgt insbesondere von und längere Perioden eines ununterbrochenen Prodem schmelzenden Material am inneren Ende des zu zesses erlaubt, weil die Einwirkung der zerstreuenden schmelzenden Materialvorrates und im gewissen Aus- 25 Effekte der elektrischen Raumladungen durch die maß auch aus dem Teich mit geschmolzenem Ma- Wirkung des magnetischen Feldes weitgehend austerial 3' am oberen Ende des Gußbarrens. Der größte geschaltet wird. Die Elektronenkanone ist vorzugs-Teil dieses gasförmigen Materials kondensiert sich weise so ausgebildet, daß die Elektronen, die irgendleicht auf der ersten relativ kühlen Oberfläche, mit einen Teil der Kanone verlassen, in genau parallele der sie in Berührung kommt, und in manchen Fällen 30 Bahnen gelenkt werden. Die Elektronen stoßen kann sogar die heiße Kathode 14 eine genügend kühle jedoch einander ab, und es hat daher jeder Teil des Oberfläche darstellen, daß Kondensation eintritt. kegelförmigen Strahles das Bestreben, sich in seiner Jede stärkere Anhäufung von abgelagerten Ma- Dicke mit zunehmender Entfernung von der Kanone terialien auf den Elektroden der Kanone führt aber auszudehnen, wie dies in F i g. 2 dargestellt ist, in bald zu fehlerhafter Arbeit der Kanone, daher ver- 35 welcher die schraffierten Flächen zwischen den längert die weiter entfernte Anordnung der Kanone, Linien 31 und 32 und zwischen den Linien 33 und was durch die magnetische Führung überhaupt erst 34 den Raum darstellen, der von dem Strahl ermöglich wird, in sehr hohem Maße die Lebensdauer füllt ist.The magnetic guide that this invention feeds the supply of material to be melted into provides, requires several significant advantages, 15 direction to the electron beam can be mastered, which crucially affects the operation of the furnace Apart from the considerations above and the implementation of the process in were carried out, enables the magnetic guidance, larger and more economical scale during operations as described here in longer periods of time without interruption allowed. larger scale with larger ovens, those with height-at Large scale operations can operate on larger electron beam currents, and also can operate in bulk evolved from a gaseous substance, it enables the elecvass to be more distant usually in irregular proportions of a barrel cannon, which means a longer service life he follows. The gas evolution occurs in particular from and longer periods of an uninterrupted product Melting material at the inner end of the process is allowed because the action of the dispersing melting material supply and, to a certain extent, effects of the electrical space charges by the also measured from the pond with molten Ma- Effect of the magnetic field largely austerial 3 'at the top of the ingot. The largest is switched. The electron gun is a preferred part This gaseous material condenses in such a way that the electrons that are somehow condensed on the first relatively cool surface, with part of the cannon left, in exactly parallel which it comes into contact, and in some cases 30 orbits are steered. The electrons collide However, even the hot cathode 14 can cool one another sufficiently, and it therefore has every part of the Surface represent that condensation is occurring. conical beam striving to be in his Any greater accumulation of deposited ma thickness with increasing distance from the cannon materials on the electrodes of the cannon but leads to expand, as shown in FIG. 2 is shown in soon to faulty work of the cannon, hence which the hatched areas between the lengthens the more distant placement of the cannon, lines 31 and 32 and between lines 33 and what, through the magnetic guidance, actually represents the space made possible by the beam is, to a very high degree, the lifespan is filled.

der Kanone, wenn sie aus den Regionen entfernt Das Ausbreiten der Strahlsegmente bedingt jedoch,of the cannon when it is removed from the regions The spreading of the beam segments, however, requires

wird, wo die gasförmige Substanz am meisten kon- 40 daß sich gewisse Elektronen in Richtungen bewegen,where the gaseous substance is most likely to cause certain electrons to move in directions

zentriert ist. die nicht genau parallel zum Magnetfeld sind, undis centered. which are not exactly parallel to the magnetic field, and

Überdies ionisiert sich die entwickelte gasförmige die sich daraus ergebenden elektromagnetischenIn addition, the evolved gaseous form ionizes the resulting electromagnetic

Substanz und kann Plasma bilden, welches die für die Kräfte beugen die Elektronenbahnen derart, daß dieSubstance and can form plasma, which is responsible for the forces bend the electron orbits in such a way that the

Fokussierung notwendigen elektrischen Potential- Elektronen korkenzieherartig um die magnetischenFocusing necessary electrical potential electrons like a corkscrew around the magnetic ones

felder ernstlich stört. Mit dem vorliegenden Ofen 45 Kraftlinien herumkreisen. Die Elektronenbahnenfields seriously disturbs. Using the oven at hand, circle 45 lines of force. The electron orbits

werden die Elektronen innerhalb einer kurzen Distanz werden daher überall wirklich parallel zu dem ma-the electrons within a short distance are therefore everywhere really parallel to the ma-

von der Kathode, d. h. ungefähr in dem Abstand von gnetischen Feld gehalten und müssen mit dem Feldfrom the cathode, d. H. kept approximately at the same distance from the magnetic field and must match the field

der Kathode 14 bis zur Elektrode 19, im wesentlichen konvergieren. Dies beschränkt die Ausbreitung desthe cathode 14 to the electrode 19, substantially converge. This limits the spread of the

auf die volle Geschwindigkeit beschleunigt, und her- Strahles, und je stärker das magnetische Feld, destoaccelerated to full speed, and forth- beam, and the stronger the magnetic field, the more

nach werden die Flugbahnen hauptsächlich durch 50 dichter werden die Spiralen und desto mehr wird dieAfter the trajectories are mainly through 50 the spirals become more dense and the more the

das Magnetfeld beherrscht, selbst wenn der Weg der Ausbreitung eingeschränkt. Durch Einregulierungdominated the magnetic field, even if the path of propagation was restricted. By adjustment

Elektronen durch hochleitfähige Plasmaregionen hin- des Rheostaten 12 und durch die dadurch bedingteElectrons through highly conductive plasma regions through the rheostat 12 and through the resulting

durchführt, die die Elektronen aus ihren erwünschten Einregulierung der magnetischen Feldstärke kann dieperforms which the electrons from their desired adjustment of the magnetic field strength can

Flugbahnen sonst ablenken könnten. Ohne ma- gesamte Querschnittsfläche des Strahles, der in dieOtherwise deflect trajectories. Without the total cross-sectional area of the beam entering the

gnetische Führung neigen insbesondere die Gase, die 55 obere Öffnung der Gießform 1 eintritt, so einreguliertIn particular, the gases entering the upper opening of the casting mold 1 tend to be regulated in this way

aus dem abschmelzenden Material entwickelt werden, werden, daß der Strahl gerade auf den schmelz-are developed from the melting material, that the beam is straight on the melting

dazu, die Elektronen vom schmelzflüssigen Sumpf 3' flüssigen Sumpf 3' fällt, so daß die Wärmezufuhr zuto do this, the electrons from the molten sump 3 'liquid sump 3' falls, so that the heat supply too

zu dem zu schmelzenden Materialvorrat 28 abzu- demselben in einer nahezu idealen Art erfolgt. Sogarto the material supply 28 to be melted takes place in an almost ideal way. Even

lenken, so daß die Schmelzebene und der Mengen- ein schwaches Magnetfeld kann einen viel stärkerensteer so that the melt plane and the crowd- a weak magnetic field can create a much stronger one

anteil des abschmelzenden Schmelzmaterialvorrates 60 Elektronenstrom in die obere Öffnung der Gießformproportion of the melting material supply 60 electron flow into the upper opening of the casting mold

nicht einfach zu beherrschen sind, was Anlaß zu lenken, als dies sonst wegen der Strahlausbreitung,it is not easy to control what is the reason to steer, as this is otherwise because of the beam spread,

fehlerhafter Arbeitsweise gibt. Außerdem kann eine die eine unvermeidliche Folge der elektrischen Raum-faulty way of working. In addition, one of the inevitable consequences of electrical space

solche Ablenkung die Entwicklung eines kühlen ladung ist, möglich wäre.Such distraction the development of a cool charge would be possible.

Fleckes in diesem Teil des schmelzflüssigen Teiches Das Magnetfeld bringt noch einen weiteren VorteilSpot in this part of the molten pond. The magnetic field has another advantage

unterhalb und in nächster Nähe des Auslaßendes des 65 mit sich; die elektromagnetischen Kräfte, hervor-below and in close proximity to the outlet end of the 65 with it; the electromagnetic forces,

Zufuhrtroges verursachen, was unter gewissen Um- gerufen durch die elektrischen Ströme in demFeed troughs cause what is sometimes called by the electrical currents in the

ständen dazu führen kann, daß diese Teile des Sumpf 3', die sich unparallel zu dem Feld bewegen,stand can lead to the fact that these parts of the sump 3 ', which move non-parallel to the field,

Teiches zufrieren. Hieraus ergeben sich weitere Ar- erzeugen nämlich eine kräftige Rührwirkung in demTo freeze over the pond. This results in further ar- produce namely a powerful stirring effect in the

geschmolzenen Sumpf. Diese Rührung ist von außergewöhnlichem Vorteil, weil sie Verunreinigungen an die Oberfläche des Sumpfes bringt, von welcher sie ungehindert verdampfen können.melted swamp. This agitation is of exceptional benefit because it attracts impurities brings the surface of the swamp, from which they can evaporate unhindered.

Es ist wichtig, daß der Raum zwischen der Elektronenkanone und der oberen Öffnung der Gießform 1 unter einem hohen Vakuum gehalten wird, vorzugsweise 1 Mikron Quecksilber absoluter Druck oder weniger, und das erfordert kontinuierliches Evakuieren mit Hochleistungspumpen, um die gasförmigen Substanzen zu entfernen, welche reichlich und störend während eines Prozesses in großem Maßstab entwickelt werden. Zu diesem Zweck werden die Gießform, die Elektronenkanone und die dazugehörigen Teile in einem Vakuumtank 35 eingeschlossen, der durch eine Großquerschnittsleitung 36 mit Hochleistungsvakuumpumpen 37 verbunden ist. Geeignete Luftschleusen (nicht dargestellt) können, wenn dies gewünscht wird, für die Einführung des zu schmelzenden Materialvorrates, zum Entnehmen der Gußbarren, für den Ersatz und Manipulation der Elektronenkanone u. dgl. vorgesehen werden. Die Evakuierung wird auch unterstützt durch die Kondensation der Dämpfe an den Wänden des Vakuumtanks und anderen kühlen Oberflächen.It is important that there is space between the electron gun and the upper opening of the mold 1 is kept under a high vacuum, preferably 1 micron mercury absolute pressure or less, and that requires continuous evacuation with heavy duty pumps to get the gaseous To remove substances that are plentiful and disruptive during a large-scale process to be developed. For this purpose, the mold, the electron gun and the associated Parts enclosed in a vacuum tank 35, through a large cross-sectional line 36 is connected to high-performance vacuum pumps 37. Suitable air locks (not shown) can if so desired, for the introduction of the material supply to be melted, for the removal of the Cast ingots for the replacement and manipulation of the electron gun and the like are provided. the Evacuation is also aided by the condensation of the vapors on the walls of the vacuum tank and other cool surfaces.

Es wird hervorgehoben, daß die vorliegende Erfindung sich nur auf Elektronenstrahlofen bezieht und daß die beschriebene besondere Ausführungsform lediglich ein Beispiel dafür ist, wie die vorliegende Erfindung bei derartigen Öfen ausgeführt werden kann.It is emphasized that the present invention relates only to electron beam furnaces and that the particular embodiment described is merely an example of how the present one Invention can be carried out in such ovens.

Claims (4)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Elektronenstrahlofen mit einem Behälter für geschmolzenes Material mit offenem oberem Ende, mit einer oberhalb, entfernt vom Behälter angeordneten Elektronenkanone, die einen konvergierenden Elektronenstrahl in diese obere Öffnung des Behälters zum Beschüß und zur Erhitzung des darin befindlichen geschmolzenen Materials sendet, und mit einem kontinuierlich evakuierten Tank, der zumindest den Raum zwischen der Elektronenkanone und dem Behälter umschließt, in welchem ein absoluter Druck von etwa 1 Mikron Hg oder weniger aufrechterhalten wird, dadurch gekennzeichnet, daß zur zusätzlichen Bündelung und Führung der Elektronenstrahlen in die obere Öffnung des Behälters in an sich bekannter Weise ein Magnet (6, 11, 12) in unmittelbarer Nähe dieser Öffnung so angeordnet ist, daß die Kraftlinien seines Magnetfeldes in diese obere öffnung konvergieren.1. Electron beam furnace with a container for molten material with an open top End, with an electron gun located above, remotely from the container, which has a converging Electron beam into this upper opening of the container for bombardment and heating of the molten material located therein, and with a continuously evacuated tank, at least the space between the electron gun and the container encloses in which an absolute pressure of about 1 micron Hg or less is maintained is, characterized in that for additional focusing and guiding the electron beams into the upper opening of the container in a manner known per se, a magnet (6, 11, 12) in the immediate vicinity of this opening so is arranged that the lines of force of its magnetic field converge in this upper opening. 2. Elektronenstrahlofen gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erwähnte Magnet aus einer elektromagnetischen Spule (6) besteht, die sich um den Behälter (1) herum erstreckt, und deren vertikale Achse im wesentlichen konzentrisch mit der oberen Öffnung des Behälters ist, daß die Spule (6) mit einer Gleichstromquelle (11) zwecks Stromversorgung verbunden ist und daß Mittel (12) vorgesehen sind, die zur Regelung der Stärke dieses Stromes und zur Fokussierung der Elektronen zu einem Strahl von regelbarer Querschnittsfläche dienen, so daß der Elektronenstrahl in die obere Öffnung des Behälters eintritt.2. Electron beam furnace according to claim 1, characterized in that said magnet consists of an electromagnetic coil (6) which extends around the container (1), and its vertical axis substantially concentric with the upper opening of the Container is that the coil (6) is connected to a direct current source (11) for the purpose of power supply is and that means (12) are provided to regulate the strength of this current and serve to focus the electrons to a beam of controllable cross-sectional area, so that the electron beam enters the top opening of the container. 3. Elektronenstrahlofen gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die verwendete Elektronenkanone aus einer ringförmigen thermionischen Kathode (14), die vertikal über dem offenen Ende des erwähnten Behälters angeordnet ist, einer Beschleunigungselektrode (19), die knapp unter dieser Kathode angeordnet ist, einer Fokussierungselektrode (20), die knapp über dieser Kathode angeordnet ist, Mitteln (21, 22), die diese Beschleunigungselektrode und den Behälter auf im wesentlichen gleichen elektrischen Potential erhalten und Mitteln (25), die die erwähnte Kathode und die Fokussierungselektrode auf einem in bezug auf die Beschleunigungselektrode wesentlich negativen elektrischen Potential halten, besteht und daß die Fokussierungselektrode und die Kathode sowie die Beschleunigungselektrode so geformt und gefluchtet angeordnet sind, daß ein nach unten gerichteter, hohler, nach einwärts konvergierender kegelförmiger Elektronenstrahl (31, 32, 33, 34) gebildet wird, der im wesentlichen überall parallel zu dem erwähnten konvergierenden magnetischen Feld ist.3. Electron beam furnace according to claim 1 or 2, characterized in that the used Electron gun consisting of an annular thermionic cathode (14) that extends vertically across the open end of said container is arranged, an accelerating electrode (19), which is arranged just below this cathode, a focusing electrode (20) which is just above this cathode is arranged, means (21, 22) that this accelerating electrode and the container maintained at substantially the same electrical potential and means (25) that said The cathode and the focusing electrode are at a substantially negative electrical potential with respect to the acceleration electrode hold, and that the focusing electrode and the cathode as well as the accelerating electrode are so shaped and aligned that a downwardly directed, hollow, inwardly converging cone-shaped Electron beam (31, 32, 33, 34) is formed, which is essentially parallel everywhere to the mentioned converging magnetic field. 4. Elektronenstrahlofen nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der an sich bekannte Zuführungstrog (26) ein Auslaßende (26') in der Nähe der oberen Öffnung des Behälters (1) aufweist und daß Zuführungsmittel (29) vorgesehen sind, die das zu schmelzende Material durch diesen Trog in den Elektronenstrahl, der in den Behälter eintritt, an einer Seite des Elektronenstrahles zuführen. 4. Electron beam furnace according to one or more of claims 1 to 3, characterized in that that the known feed trough (26) has an outlet end (26 ') in the vicinity of the has upper opening of the container (1) and that feed means (29) are provided which the material to be melted through this trough into the electron beam that enters the container, feed on one side of the electron beam. In Betracht gezogene Druckschriften:
USA.-Patentschriften Nr. 2 727 936, 2 880 483;
Engineering, 1960, S. 556/557.
Considered publications:
U.S. Patent Nos. 2,727,936, 2,880,483;
Engineering, 1960, pp. 556/557.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings 509 717/338 10.65 © Bundesdruckerei Berlin509 717/338 10.65 © Bundesdruckerei Berlin
DEST17796A 1960-05-27 1961-05-08 Electron beam furnace Pending DE1202918B (en)

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