DE1134769B - Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse - Google Patents
Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen LinseInfo
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- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
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Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
Z 7500 Vinc/21g
ANMELDETAG: 22. AU G U S T 1959
BEKANNTMACHUNG
DER ANMELDUNG
UNDAUSGABEDER
AUSLEGESCHRIFT: 16. AUGUST 1962
DER ANMELDUNG
UNDAUSGABEDER
AUSLEGESCHRIFT: 16. AUGUST 1962
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kompensation des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen,
raumladungsfreien elektronenoptischen Linse mittels einer in oder in der Nähe der
Hauptebene dieser Linse angeordneten Netzlinse.
Bei vielen mit einem Elektronenstrahl arbeitenden Geräten, wie z. B. Oszillographen, Bildaufnahmeröhren,
Bildverstärker oder zum Bohren, Fräsen, Wärmebehandeln, Schweißen, Löten, Oberflächenbehandeln
oder Härten dienenden technischen Ladungsträgerstrahlgeräten besteht die Aufgabe, den
Ladungsträgerstrahl in einen möglichst kleinen und intensitätsreichen Fleck zu konzentrieren. Dabei wird
zur Strahlfokussierung im allgemeinen eine rotationssymmetrische raumladungsfreie elektronenoptische
Linse verwendet. Durch deren Linsenfehler, vorzugsweise durch den Öffnungsfehler dritter und fünfter
Ordnung, wird jedoch eine ideale Fokussierung verhindert.
Der Öffnungsfehler einer elektronenoptischen Linse kommt bekanntlich dadurch zustande, daß die
äußeren Linsenzonen eine größere Brechkraft aufweisen als der Mittelbereich der Linse. Es ist nun
bekannt, den Öffnungsfehler einer elektrostatischen Linse dadurch zu kompensieren, daß hinter dieser
Linse elektrostatische Korrekturelemente angeordnet werden, welche die Rotationssymmetrie der Linse
aufheben. Da ein solches Korrekturelement den Öffnungsfehler der Linse lediglich in einer Schnittebene
korrigiert, sind in der Regel mehrere Korrekturelemente erforderlich. Solche Elemente müssen
sehr genau aufgebaut und justiert sein, so daß die bekannte Vorrichtung zur Kompensation des Öffnungsfehlers
sehr aufwendig ist. Sie hat darüber hinaus den Nachteil, daß die Korrektur eines
Ladungsträgerstrahlers von größerem Durchmesser nur sehr schwer möglich ist.
Weiterhin ist es bekannt, zur Korrektur des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen, raumladungsfreien
elektronenoptischen Linse einen in der Linsenachse angeordneten elektrischen Leiter zu verwenden,
der von einer Ringelektrode umgeben ist. Die Eigenschaft dieser Korrekturlinse kann durch
Wahl der Potentialdifferenz zwischen Ringelektrode und Leiter verändert werden.
Diese Vorrichtung hat den Nachteil, daß sie lediglich die Korrektur des Öffnungsfehlers in einem
kleinen Winkelbereich der in die elektronenoptische Linse eintretenden Strahlen erlaubt.
Bekannt ist es auch, zur Kompensation des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen, raumladungsfreien
elektronenoptischen Linse eine Netz-Vorrichtung zur Kompensation des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen,
raumladungsfreien elektronenoptischen Linse
Anmelder: Fa. Carl Zeiss, Heidenheim/Brenz
Otto Scherzer, Darmstadt-Eberstadt, und Dipl.-Phys. K. H. Steigerwald,
Heidenheim/Brenz, sind als Erfinder genannt worden
linse vorzusehen, welche aus drei Elektroden besteht, deren erste und letzte ein über ihren Öffnungen ausgespanntes
Netz tragen. Diese Vorrichtung hat den Nachteil, daß die Linsenwirkung der einzelnen Netzmaschen
sehr störend zur Wirkung kommt.
Die Vorrichtung zur Kompensation des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen, raumladungsfreien
elektronenoptischen Linse verwendet ebenso eine in oder in der Nähe dieser Linse angeordnete
Netzlinse. Diese besteht gemäß der Erfindung aus einem zwischen in der Strahlrichtung aufeinanderfolgenden
und senkrecht zu dieser angeordneten Ringelektroden ausgespannten und gegen diese isolierten
Netz, wobei die Abmessungen der Ringelektroden sowie die an diese gelegten Spannungen so gewählt
sind, daß die von ihnen auf dem vom Strahl durchsetzten Teil des Netzes influenzierte Gesamtladung
gering ist.
Die Netzlinse hat eine rotationssymmetrische Korrektionswirkung, d. h. also, die Kompensation des
Öffnungsfehlers der elektronenoptischen Linse kann in einer Stufe erfolgen. Ein weiterer Vorteil der Netzlinse
besteht darin, daß es ohne weiteres möglich ist, auch einen Ladungsträgerstrahl größeren Durchmessers
zu korrigieren.
Durch die beschriebene Ausbildung der Netzlinse wird die störende Linsenwirkung der einzelnen Netzmaschen
auf ein nicht mehr störendes Maß herabgedrückt. Damit gelingt es also, eine Kompensation
des Öffnungsfehlers zu erreichen, ohne daß neue, störende Fehler eingeführt werden.
Um die Ausbildung der durch die Netzlinse hervorgerufenen korrigierenden Raumladung besser steuer-
209 63W221
bar zu gestalten, ist es zweckmäßig, auf einer oder auf jeder Seite des Netzes zwei gegeneinander isolierte
und auf verschiedenem Potential liegende Ringelektroden anzuordnen.
So kann es beispielsweise vorteilhaft sein, in Strahlrichtung gesehen, vor dem Netz zwei Ringelektroden
anzuordnen, deren erste relativ zum Netz auf einem dem absoluten Betrag nach höheren negativen Potential
liegt als die zweite, relativ zum Netz auf positivem
Fig. 5 einen Schnitt durch eine Netzlinse mit gewölbtem
Netz.
In Fig. 1 ist mit 1 eine Kathode, mit 2 eine Wehneltelektrode und mit 3 eine Anode bezeichnet. Das aus
5 diesen drei Elementen bestehende Strahlerzeugungssystem erzeugt einen Elektronenstrahl 4, welcher
mittels einer elektromagnetischen Linse 5 auf das Bauelemente fokussiert wird. Das Bauelement6 kann
den Leuchtschirm eines Oszillographen, die HaIb-
Potential liegende Elektrode und hinter dem Netz io lederschicht einer Bildaufnahmeröhre, die Pralleine
weitere, auf Netzpotential liegende Ringelektrode elektrode eines Bildverstärkers oder bei technischen
anzuordnen. Durch diese Bauart der Netzlinse wird Elektronenstrahlgeräten das zu bearbeitende Objekt
die auf dem Netz influenzierte Ladung und damit darstellen.
die Linsenwirkung der einzelnen Netzmaschen gering Die Polschuhe der elektromagnetischen Linse 5
gehalten, da sich die Feldstärken auf beiden Seiten 15 skid mit 7 und 8 bezeichnet. Auf den oberen PoI-des
Netzes in Größe und Richtung nur wenig unter- schuh 7 ist eine Netzlinse 9 aufgesetzt, welche aus
scheiden. einem zwischen den senkrecht zur Strahlrichtung an-
Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform geordneten Ringelektroden 10,11 und 12 ausgespannder
Vorrichtung ist zu beiden Seiten des Netzes je- ten Netz 13 besteht. Dieses Netz ist mittels des Isoweils
nur eine Ringelektrode vorgesehen. Durch ent- 20 lators 14 gegen die Ringelektroden isoliert,
sprechende Abmessung der Ringelektroden und durch Im Betrieb erhält die erste Ringelektrode 10 relativ
Wahl der an diese gelegten Spannungen ist hier dafür zum Netz 13 ein dem absoluten Betrag nach höheres
gesorgt, daß die von den Ringelektroden auf dem vom negatives Potential als die zweite, relativ zum Netz
Strahl durchsetzten Teil des Netzes influenzierte Ge- auf positivem Potential liegende Ringelektrode 11.
samtladung gering ist. Dabei liegt die, in Strahlrich- 25 Die hinter dem Netz angeordnete Ringelektrode 12
tung gesehen, obere Ringelektrode relativ zum Netz liegt auf Netzpotential. Dadurch wird in der Mitte
auf negativem Potential und weist eine kleinere, zum des Netzes 13 eine schwach positive, in seinen Außen-Strahldurchtritt
dienende Öffnung auf als die untere, zonen eine schwach negative Ladung erzeugt. Darelativ
zum Netz auf positivem Potential liegende zwischen liegt ein praktisch ladungsfreies Gebiet. Da-Ringelektrode,
und der Abstand des Netzes von der 30 mit wird die Korrektur erreicht, ohne daß die influenoberen
Ringelektrode ist größer als sein Abstand von zierten Ladungen eine merkliche Feldstörung in der
der unteren Ringelektrode.
An Stelle des Netzes kann auch eine dünne durchlöcherte Folie vorgesehen sein. Ebenso ist es möglich,
die Folie an verschiedenen Stellen verschieden dick zu wählen, die Folie zu wölben oder den Durchmesser
der Löcher vom Achsenabstand abhängig zu machen.
Zur Erzielung eines raumsparenden Aufbaues ist _ _
es zweckmäßig, die elektronenoptische Linse und die 40 negativem Potential und weist eine kleinere zum
Netzlinse in bekannter Weise zu einer Baueinheit zu Strahldurchtritt dienende Öffnung auf als die untere
vereinigen. Dies ist vor allem dann möglich, wenn es auf positivem Potential liegende Elektrode 17. Das
sich um die Korrektur der Fokussierung eines Ladungs- Netz 15 ist so angeordnet, daß sein Abstand von der
trägerstrahles kleiner Apertur handelt, da in diesem Ringelektrode 16 größer ist als sein Abstand von der
Fall die korrigierende Wirkung der Netzlinse auch 45 Ringelektrode 17.
dann voll zur Wirkung kommt, wenn diese Netzlinse In der Mitte des Netzes 15 überwiegt die von der
nicht in der Hauptebene der elektronenoptischen oberen Ringelektrode 16 influenzierte positive Ladung,
Linse angeordnet ist. Es ist also in diesem Fall ohne während in den äußeren Teilen des Netzes die von
weiteres möglich, die Netzlinse auf die dem Strahl- der unteren Ringelektrode 17 influenzierte. negative
erzeugungssystem zugewandte Elektrode der elek- 50 Ladung überwiegt. Dementsprechend bewirkt das
tronenoptischen Linse aufzusetzen. Weiterhin ist es Netz in der Mitte eine positive Brechkraft, die nach
möglich, die Netzlinse unterhalb oder innerhalb der außen hin abnimmt und weiter außen sogar negativ
elektronenoptischen Linse anzuordnen. wird. In dem ringförmigen Gebiet, in dem die von
Die Erfindung wird im folgenden an Hand der beiden Seiten her influenzierten Ladungsdichten ein-Ausführungsbeispiele
darstellenden Fig. 1 bis 5 näher 55 ander entgegengesetzt gleich sind, tritt keine Linsenerläutert.
Dabei zeigt wirkung der einzelnen Netzmaschen auf.
Bei den in Fig. 1 und 2 dargestellten Netzlinsen kann an Stelle des Netzes eine Folie mit Löchern
vorgesehen sein. Eine solche Folie ist in Fig. 3 dargestellt. Mit 18 ist hier die Folie bezeichnet, welche
Löcher 19 definierter Abmessung enthält. Die Linse selbst ist beispielsweise ebenso aufgebaut wie die in
Fig. 2 dargestellte Netzlinse.
Fig. 4 zeigt eine weitere Netzlinse, welche ebenso aufgebaut ist wie die in Fig. 2 dargestellte Netzlinse,
bei welcher jedoch an Stelle des Netzes eine Folie 20 vorgesehen ist, welche an verschiedenen Stellen
verschieden dick ist.
Nähe der Netzdrähte und damit eine störend große Linsenwirkung der einzelnen Netzmaschen hervorrufen.
Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform einer Netzlinse mit nur zwei Ringelektroden. Das Netz ist
mit 15 bezeichnet, während die obere Ringelektrode die Bezeichnung 16 und die untere Ringelektrode die
Bezeichnung 17 trägt. Die Elektrode 16 liegt auf
Fig. 1 ein mit einer elektromagnetischen Fokussierungslinse mit zugeordneter Netzlinse ausgerüstetes
Ladungsträgerstrahlgerät in schematischer Darstellung,
Fig. 2 einen Schnitt durch eine weitere Ausführungsform einer Netzlinse,
Fig. 3 eine Netzlinse, bei welcher an Stelle des Netzes eine Folie mit Löchern definierter Abmessung
vorgesehen ist, in Draufsicht,
Fig. 4 einen Schnitt durch eine Netzlinse, welche an Stelle eines Netzes eine an verschiedenen Stellen
verschieden dicke Folie enthält,
In manchen Fällen kann es vorteilhaft sein, an Stelle einer Netzlinse mit gestrafftem Netz eine Netzlinse
mit gewölbtem Netz vorzusehen. Eine solche Linse ist in Fig. 5 dargestellt, welche die Wölbung
des Netzes 21 erkennen läßt. Selbstverständlich kann an Stelle des Netzes 21 auch eine gewölbte Folie mit
Löchern definierter Abmessung vorgesehen sein.
Mittels der dargestellten und beschriebenen Vorrichtungen gelingt es, einen kleinen intensitätsreichen
Ladungsträgerstrahlfleck zu erzeugen. Damit ist es möglich, eine hohe Flächenintensität bei kleinen
Absolutdurchmessern des Strahles zu erzielen. Die Intensität über den Strahlquerschnitt ist dabei so verteilt,
daß sie an den Rändern steil abfällt. Eine solche Intensitätsverteilung ist insbesondere bei der Materialbearbeitung
mit Ladungsträgerstrahlen sehr wichtig, da es hier darauf ankommt, möglichst alle Energie
innerhalb der Grenzen der Bearbeitungsstelle zu vereinigen.
Claims (7)
1. Vorrichtung zur Kompensation des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen, raumladungsfreien
elektronenoptischen Linse mittels einer in oder in der Nähe der Hauptebene dieser Linse
angeordneten Netzlinse, dadurch gekennzeichnet, daß die Netzlinse aus einem zwischen senkrecht
zur Strahlrichtung angeordneten Ringelektroden ausgespannten und gegen diese isolierten Netz
besteht und daß die Abmessungen der Ringelektroden sowie die an diese gelegten Spannungen
so gewählt sind, daß die von ihnen auf dem vom Strahl durchsetzten Teil des Netzes influenzierte
Gesamtladung gering ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer oder auf jeder Seite
des Netzes zwei gegeneinander isolierte und auf verschiedenem Potential liegende Ringelektroden
angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß, in Strahlrichtung gesehen, vor
dem Netz zwei Ringelektroden angeordnet sind, deren erste relativ zum Netz auf negativem und
deren zweite relativ zum Netz auf schwach positivem Potential liegt und daß hinter dem Netz
eine weitere, auf Netzpotential liegende Ringelektrode angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die obere Ringelektrode relativ
zum Netz auf negativem Potential liegt und eine kleinere, zum Strahldurchtritt dienende Öffnung
aufweist als die untere, relativ zum Netz auf positivem Potential liegende Ringelektrode und daß
der Abstand des Netzes von der oberen Ringelektrode größer ist als sein Abstand von der
unteren Ringelektrode.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an Stelle des Netzes eine dünne
durchlöcherte Folie vorgesehen ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie an verschiedenen
Stellen verschieden dick ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Netz gewölbt ist.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentanmeldung T 49417 VIIIc/21 g
(bekanntgemacht am 9. 7. 1942);
Deutsche Patentanmeldung T 49417 VIIIc/21 g
(bekanntgemacht am 9. 7. 1942);
USA.-Patentschriften Nr. 2 452 919, 2 740 919.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 209 630/221 8.62
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEZ7500A DE1134769B (de) | 1959-08-22 | 1959-08-22 | Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse |
GB28112/60A GB921585A (en) | 1959-08-22 | 1960-08-15 | Improvements in or relating to the compensation of the apertural defect of electron optical lenses |
FR835948A FR1268050A (fr) | 1959-08-22 | 1960-08-16 | Dispositif pour la compensation de l'erreur d'ouverture d'une lentille électronique symétrique en rotation, dépourvue de charge spatiale |
US49981A US3101430A (en) | 1959-08-22 | 1960-08-16 | Compensating lens |
CH931560A CH407355A (de) | 1959-08-22 | 1960-08-17 | Vorrichtung zur Kompensation des Öffnungsfehlers einer rotationssymmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEZ7500A DE1134769B (de) | 1959-08-22 | 1959-08-22 | Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse |
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DE1134769B true DE1134769B (de) | 1962-08-16 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEZ7500A Pending DE1134769B (de) | 1959-08-22 | 1959-08-22 | Vorrichtung zur Kompensation des OEffnungsfehlers einer rotations-symmetrischen, raumladungsfreien elektronenoptischen Linse |
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---|---|
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CH (1) | CH407355A (de) |
DE (1) | DE1134769B (de) |
GB (1) | GB921585A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2522196A1 (fr) * | 1982-02-22 | 1983-08-26 | Philips Nv | Tube a rayons cathodiques a aberration spherique reduite |
EP0143669A2 (de) * | 1983-11-30 | 1985-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Bildwiedergabevorrichtung |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3294583A (en) * | 1962-06-14 | 1966-12-27 | Sprague Electric Co | Process of coating a silicon semiconductor with indium using an ion beam |
US11373838B2 (en) * | 2018-10-17 | 2022-06-28 | Kla Corporation | Multi-beam electron characterization tool with telecentric illumination |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2452919A (en) * | 1945-08-28 | 1948-11-02 | Gen Electric | Electron optical system |
US2740919A (en) * | 1953-06-25 | 1956-04-03 | Farrand Optical Co Inc | Electron lens |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB665094A (en) * | 1947-04-12 | 1952-01-16 | Ass Elect Ind | Improvements relating to the reduction of primary spherical aberration in magnetic electron lenses |
-
1959
- 1959-08-22 DE DEZ7500A patent/DE1134769B/de active Pending
-
1960
- 1960-08-15 GB GB28112/60A patent/GB921585A/en not_active Expired
- 1960-08-16 US US49981A patent/US3101430A/en not_active Expired - Lifetime
- 1960-08-17 CH CH931560A patent/CH407355A/de unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2452919A (en) * | 1945-08-28 | 1948-11-02 | Gen Electric | Electron optical system |
US2740919A (en) * | 1953-06-25 | 1956-04-03 | Farrand Optical Co Inc | Electron lens |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2522196A1 (fr) * | 1982-02-22 | 1983-08-26 | Philips Nv | Tube a rayons cathodiques a aberration spherique reduite |
EP0143669A2 (de) * | 1983-11-30 | 1985-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Bildwiedergabevorrichtung |
EP0143669A3 (en) * | 1983-11-30 | 1986-06-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Image display apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH407355A (de) | 1966-02-15 |
GB921585A (en) | 1963-03-20 |
US3101430A (en) | 1963-08-20 |
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