DE10297713T5

DE10297713T5 - Prüfgerät für elektronische Bauelemente

Info

Publication number: DE10297713T5
Application number: DE10297713T
Authority: DE
Inventors: Nakamura Hiroto
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2002-04-25
Filing date: 2002-04-25
Publication date: 2006-06-22
Also published as: CN1625694A; JPWO2003091740A1; CN100350259C; JP4101233B2; AU2002253589A1; KR20040111539A; KR100714752B1; US20050162150A1; US7459902B2; WO2003091740A1

Abstract

Prüfgerät für elektronische Bauelemente (20), zur Durchführung einer Prüfung durch Andrücken von Eingangs/Ausgangs-Kontakten der zu prüfenden Bauelemente (20) gegen Kontaktbereiche (110a) eines Prüfkopfes (100), mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung (201, 202, 203), die die zu prüfenden Bauelemente (20) auf einem Fördermedium (10; 701) hält, mit:
mehreren Kontaktgruppen (111, 112, 113), die jeweils einen Satz von Kontaktbereichen (110a) aufweisen, an dem Prüfkopf (100) und
Bewegungseinrichtungen (201, 202, 203), die in der Lage sind, das mit den Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10; 701) unabhängig zu den Kontaktgruppen (111, 112, 113) zu bringen.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente sowie ein Prüfgerät, das in der Lage ist, für irgendeine Anordnung von zu prüfenden elektronischen Bauelementen auf einem Fördermedium für die elektronischen Bauelemente eine Prüfung mit hoher Prüfeffizienz vorzunehmen.
STAND DER TECHNIK
In einem Prüfgerät für elektronische Bauelemente, auch als "Handler" bezeichnet, wird eine große Anzahl von elektronischen Bauelementen, die auf einem Tablar gehalten sind, in das Prüfgerät hinein transportiert, und die jeweiligen elektronischen Bauelemente werden in elektronischen Kontakt mit einem Prüfkopf gebracht, damit durch einen Prüfgerätekörper für die elektronischen Bauelemente (im folgenden auch als "Tester" bezeichnet) eine Prüfung vorgenommen wird. Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, werden die elektronischen Bauelemente vom Prüfkopf abgenommen und in Übereinstimmung mit den Prüfungsergebnissen auf Tablare umgeladen, so daß sie nach Kategorien von guten und schadhaften Bauelementen usw. klassifiziert werden.
Unter den herkömmlichen Prüfgeräten für elektronische Bauelemente gibt es eine Bauform, bei der ein Tablar zum Halten von ungeprüften oder geprüften elektronischen Bauelementen (im folgenden auch als Kundentablar bezeichnet) sich von einem Tablar unterscheidet, das im Inneren des Prüfgerätes umläuft (im folgenden auch als Prüftablar bezeichnet). In einem Prüfgerät dieser Art werden die elektronischen Bauelemente vor und nach der Prüfung zwischen dem Kundentablar und dem Prüftablar umgeladen, und in einem Prüfschritt werden die elektronischen Bauelemente in einem Zustand, in dem sie auf dem Prüftablar gehalten sind, gegen einen Prüfkopf angedrückt, damit eine Prüfung ausgeführt wird, indem die elektronischen Bauelemente mit dem Prüfkopf in Kontakt gebracht werden.
Andererseits ist eine Bauform bekannt, bei der die auf einem Kundentablar gehaltenen elektronischen Bauelemente durch Verwendung einer Heizplatte oder dergleichen einer thermischen Beanspruchung ausgesetzt werden, dann einige von ihnen gleichzeitig von Saugköpfen aufgenommen werden, zu einem Prüfkopf transportiert werden und in elektronischen Kontakt gebracht werden. Bei einem Prüfgerät dieser Art werden die elektronischen Bauelemente in einem Zustand, in dem sie von den Saugköpfen aufgenommen sind, gegen den Prüfkopf angedrückt.
Beim Andrücken ist der Prüfkopf mit einer großen Anzahl von Kontaktbereichen versehen (normalerweise ist die Anzahl der Prüfpositionen, die gleichzeitig messen können. d.h., die Anzahl gleichzeitiger Messungen je Prüfgerät auf 2ⁿ begrenzt, d.h., 32 oder 64, wobei n eine natürliche Zahl ist), und durch gleichzeitige Vornahme von Prüfungen an einer großen Anzahl von elektronischen Bauelementen werden die Prüfungen mit hohem Durchsatz ausgeführt.
Bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen ist bisher die Prüfung in einem letzten Schritt in der Folge der Herstellungsschritte für die elektronischen Bauelemente ausgeführt worden, so daß die Prüfung an vollständigen elektronischen Bauelementen vorgenommen wurde, im Anschluß an Schritte zum Gießformen, zur Drahtkontaktierung und dergleichen.
Wenn jedoch bei der Prüfung nach Abschluß der Herstellungsschritte ein Fehler festgestellt wird, so können, sobald die Prüflinge in einem prüfungsbereiten Zustand sind, die weiteren Schritte bis zur Fertigstellung vergeblich sein, und es ist deshalb vorzuziehen, daß die Prüfung ausgeführt wird, sobald die Bauelemente für die Prüfung bereit sind, und die schadhaften Bauelemente in diesem Stadium auszusondern.
In den Fertigungsschritten für die elektronischen Bauelemente werden, wie in 16(a) bis 16(h) gezeigt ist, aufgrund von Einschränkungen hinsichtlich der Natur der elektronischen Bauelemente 20, die zu prüfenden elektronischen Bauelemente 20 auf ein Fördermedium 10 in Streifenformat oder dergleichen geladen, um zu verhindern, daß die elektronischen Bauelemente 20 beim Transport in und zwischen den einzelnen Schritten auseinanderfallen. Das Fördermedium 10 für die elektronischen Bauelemente trägt jedoch irgendeine Anzahl von elektronischen Bauelementen 20 mit irgendeiner Anordnung der elektronischen Bauelemente 20. 16(a) zeigt das Fördermedium 10, das mit 96 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anord nung in 4 Zeilen und 24 Spalten beladen ist, 16(b) zeigt das Fördermedium 10, das mit 60 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anordnung in 3 Zeilen und 20 Spalten beladen ist, 16(c) zeigt das Fördermedium 10, das mit 48 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anordnung in 3 Zeilen und 16 Spalten beladen ist, 16(d) zeigt das Fördermedium 10, das mit 36 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anordnung in 3 Zeilen und 12 Spalten beladen ist, 16(e) zeigt das Fördermedium 10, das mit 32 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anordnung in 2 Zeilen und 16 Spalten beladen ist, 16(f) zeigt das Fördermedium 10, das mit 24 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anordnung in 2 Zeilen und 12 Spalten beladen ist, 16(g) zeigt das Fördermedium 10, das mit 32 elektronischen Bauelementen in einer Anordnung in 4 Zeilen und 8 Spalten beladen ist, und 16(h) zeigt das Fördermedium 10, das mit 36 elektronischen Bauelementen 20 in einer Anordnung in 2 Zeilen und 18 Spalten beladen ist.
Um eine Prüfung an einem elektronischen Bauelement 20 in einem Zustand vorzunehmen, in dem es schon geprüft werden kann, bevor der letzte Schritt erreicht wird, muß folglich, wie oben erläutert wurde, die Prüfung ausgeführt werden, während die elektronischen Bauelemente 20 in einer Anordnung auf das Fördermedium 10 geladen sind, und außerdem muß die Anordnung der auf das Fördermedium 10 geladenen elektronischen Bauelemente 20 für den Transport zum nächsten Schritt beibehalten werden.
Wie außerdem in 17 und 18 gezeigt ist, bilden Kontaktbereiche 110a eines Prüfkopfes des herkömmlichen Prüfgerätes nur eine Kontaktgruppe 110 mit den Kontaktbereichen 110a, deren für eine gleichzeitige Messung zur Verfügung stehende Anzahl bei diesem Prüfgerät begrenzt ist.
17 zeigt eine Kontaktgruppe 110, die so konfiguriert ist, daß die Anzahl der Kontaktbereiche 110a auf 32 begrenzt ist und 18 zeigt eine Kontaktgruppe 110, die so konfiguriert ist, daß die Anzahl der Kontaktbereiche 110a auf 64 begrenzt ist.
Wenn z.B. für die zu prüfenden elektronischen Bauelemente 20, die auf das Fördermedium 10 geladen sind, das in 19 gezeigt ist (rechteckförmige elektronische Bauelemente sind in diesem Beispiel in 3 Zeilen und 16 Spalten angeordnet) Prüfpositionen für die gleichzeitige Messung von 32 Stück festgelegt werden, ist es möglich, bei der ersten Prüfung 32 Prüfpositionen festzulegen (geprüfte elektronische Bauele mente 21 in 19 zeigen alle 32 schwarzen Rechtecke in dieser Figur), während bei der zweiten Prüfung nur verbleibende 16 Prüfpositionen festgelegt werden können (ungeprüfte elektronische Bauelemente 22 in 19 zeigen alle 16 weißen Rechtecke in der Zeichnung). Somit wird bei der zweiten Prüfung nur die Hälfte der 32 Kontaktpositionen benutzt, und es bestand der Nachteil, daß die Prüfeffizienz abnimmt.
Auch wenn die Anzahl gleichzeitiger Messungen an regelmäßig in einer beliebigen Anordnung auf dem Fördermedium 10 angeordneten elektronischen Bauelementen immer auf 32 festgelegt wird, ist es z.B. denkbar, daß eine aus 32 Kontaktbereichen gebildete Kontaktgruppe 110 in 32 Kontaktgruppen aufgeteilt wird und 32 Fördermedien 10 für die elektronischen Bauelemente gleichzeitig zugeführt werden, um gleichzeitig eine Prüfung an zu prüfenden elektronischen Bauelementen 20 vorzunehmen, die auf die Fördermedien 10 geladen sind.
In diesem Fall besteht der Nachteil, daß die Vorrichtung sehr groß und kompliziert wird, so daß es vorzuziehen ist, die Anzahl gleichzeitiger Messungen mit so wenig elektronischen Fördermedien 10 wie möglich zu erreichen.
Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die oben beschriebenen Probleme des Standes der Technik gemacht und hat die Aufgabe, ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente zu schaffen, das in der Lage ist, eine Prüfung mit hoher Prüfeffizienz an elektronischen Bauelementen vorzunehmen, die in irgendeiner Anzahl und Anordnung auf einem Fördermedium 10 angeordnet sind.
KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Zur Lösung der oben genannten Aufgabe ist ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ein Prüfgerät zur Durchführung einer Prüfung durch Andrücken von Kontakten (Eingangs-/Ausgangskontakten) der zu prüfenden elektronischen Bauelemente gegen Kontaktbereiche eines Prüfkopfes mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung, während die zu prüfenden elektronischen Bauelemente auf einem Fördermedium für die elektronischen Bauelemente gehalten sind, mit einem Prüfkopf, der eine Vielzahl von Kontaktgruppen aufweist, die jeweils durch einen Satz von Kontaktbereichen gebildet werden, und mit einer Bewegungseinrichtung, die in der Lage ist, das mit den zu prüfenden elektronischen Bauelementen beladene Fördermedium unabhängig zu den Kontaktgruppen zu steuern.
Bei dem Prüfgerät gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Prüfung an Bauelementen auf einem Fördermedium nicht vorgenommen, indem eine einzige Kontaktgruppe verwendet wird, die durch Kontaktbereiche in der Anzahl für die gleichzeitige Messung gebildet wird, sondern durch Bereitstellung einer Vielzahl von Kontaktgruppen, ist es möglich, soweit die Gesamtzahl der Kontaktbereiche in dem Prüfgerät zu der begrenzten Anzahl gleichzeitiger Messungen in dem Prüfgerät paßt, die Anzahl von Kontaktgruppen, und die Anzahl und Anordnung von Kontaktbereichen in jeder der Kontaktgruppen optimal zu bestimmen.
Da außerdem jede der Kontaktgruppen eine Bewegungseinrichtung aufweist, die in der Lage ist, das Fördermedium für die elektronischen Bauelemente separat zu steuern, kann die Kontaktgruppe betrieben werden, ohne daß sie durch den Fortschritt des Betriebs anderer Kontaktgruppen beeinflußt wird, die in dem Prüfgerät begrenzte Anzahl gleichzeitiger Messungen kann stets sichergestellt werden, und es wird eine hohe Prüfeffizienz erreicht.
Das Fördermedium für die elektronischen Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt alle Medien, die mit zu prüfenden elektronischen Bauelementen beladen werden können.
Zum Beispiel hat bei dem in Anspruch 2 angegebenen Prüfgerät das Fördermedium für die elektronischen Bauelemente das Format eines Streifens oder Wafers. Insbesondere bei der Durchführung einer Prüfung an elektronischen Bauelementen auf einen Wafer wird eine hohe Prüfeffizienz bei einer Prüfung in der Nähe des äußeren Umfangs erreicht, wo die Prüfpositionen für gleichzeitige Messungen schwer festzulegen sind.
Das Prüfgerät für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ist außerdem ein Prüfgerät nach Anspruch 1 oder 2, für die Vollendung von Prüfungen an verbleibenden, zu prüfenden elektronischen Bauelementen auf dem Fördermedium in der kürzesten Zeit, wenn ein Los von zu prüfenden elektronischen Bauelementen ausläuft. Wenn sich z.B. das mit zu prüfenden elektronischen Bauelementen beladene Fördermedium bereits an der Kontaktgruppe befindet, während ein Los von zu prüfenden elektronischen Bauelementen ausläuft, setzt die Steuereinrichtung die Prüfung an den Bauelementen in der Kontaktgruppe aus, für die die Prüfung bereits läuft, und gibt einen Befehl aus, das Fördermedium, das mit zu prüfenden elektronischen Bauelementen beladen ist, zu einer anderen Kontaktgruppe zu bewegen, die eine große Anzahl von Kontaktbereichen hat und mit ihren Prüfungen bereits fertig ist.
Wenn die Anzahl von Kontaktbereichen einer Kontaktgruppe, die noch verbleibende Prüfungen auszuführen hat, kleiner ist als die von anderen Kontaktgruppen, wenn ein Los von zu prüfenden Bauelementen ausläuft, wird die Prüfung von Bauelementen an der Kontaktgruppe, bei der die Prüfung bereits läuft, ausgesetzt, und das mit den zu prüfenden Bauelementen beladene Fördermedium wird gesteuert zu einer anderen Kontaktgruppe bewegt, die eine große Anzahl von Kontaktbereichen aufweist und mit den Prüfungen fertig ist, so daß, wenn ein Los von zu prüfenden Bauelementen ausläuft, die verbleibende Prüfzeit verringert werden kann.
Die Steuereinrichtung gibt auch einen Befehl aus zur Entscheidung, zu welcher Kontaktgruppe das Fördermedium zugeführt werden kann, das noch zu prüfende Bauelemente trägt, die noch zu irgendeiner Kontaktgruppe zugeführt werden müssen, wenn ein Los der zu prüfenden Bauelemente ausläuft, auf der Grundlage der Anzahl der zu prüfenden Bauelemente auf dem Fördermedium, der Anzahl der Kontaktbereiche in den verschiedenen Kontaktgruppen und der Rüstzeit bis zu einer Prüfung.
Indem, wenn ein Los von zu prüfenden Bauelementen ausläuft, das Fördermedium mit noch zu prüfenden Bauelementen nicht zu der Kontaktgruppe zugeführt wird, sondern für die Zufuhr eine (andere) Kontaktgruppe bestimmt wird, auf der Grundlage der Anzahl von elektronischen Bauelementen auf dem Fördermedium, der Anzahl von Kontaktbereichen in jeder der Kontaktgruppen und der Rüstzeit bis zu einer Prüfung, kann die verbleibende Prüfzeit reduziert werden, wenn ein Los der zu prüfenden Bauelemente ausläuft.
Da gemäß der oben erläuterten Erfindung ein Prüfkopf eine Vielzahl von Kontaktgruppen hat und jede der Kontaktgruppen eine Bewegungseinrichtung aufweist, die in der Lage ist, ein Fördermedium für elektronische Bauelemente separat zu steuern, können, soweit die Gesamtzahl von Kontaktbereichen in dem Prüfgerät zu der für das Prüfgerät begrenzten Anzahl gleichzeitiger Messungen paßt, die Anzahl der Kontaktgruppen, die Anzahl der Kontaktbereiche in jeder Kontaktgruppe und deren Anordnung optimal bestimmt werden.
Infolgedessen kann jede der Kontaktgruppen betrieben werden, ohne daß sie durch den Fortschritt beim Betrieb von anderen Kontaktgruppen beeinflußt wird, die für das Prüfgerät begrenzte anzahl gleichzeitiger Messungen für zu prüfende Bauelemente in einer beliebigen Anordnung auf dem Fördermedium kann stets erreicht werden, und es wird hohe Prüfeffizienz realisiert.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einschließlich eines Steuersstems.
2 ist eine schematische Darstellung der Arbeitsweise einer unabhängigen Kontaktgruppe und Bewegungseinrichtung für ein Streifenformat.
3 zeigt ein Beispiel einer Anordnung einer Kontaktgruppe für 32 gleichzeitige Messungen.
4 zeigt Prüfpositionen bei einem ersten Prüfdurchgang mit einer Anordnung von zu prüfenden Bauelementen auf einem Fördermedium gemäß 3.
5 zeigt ein zweites Beispiel einer Anordnung einer Kontaktgruppe für 32 gleichzeitige Messungen.
6 zeigt die Prüfpositionen beim ersten Prüfdurchgang mit einer Anordnung von zu prüfenden Bauelementen auf einem Fördermedium gemäß 5.
7 zeigt ein Beispiel einer Anordnung einer Kontaktgruppe für 64 gleichzeitige Messungen.
8 zeigt die Prüfpositionen beim ersten Prüfdurchgang für eine Anordnung von zu prüfenden Bauelementen auf einem Fördermedium nach 7.
9 zeigt ein zweites Beispiel einer Anordnung einer Kontaktgruppe für 64 gleichzeitige Messungen.
10 zeigt die Prüfpositionen beim ersten Prüfdurchgang mit einer Anordnung von Bauelementen auf einem Fördermedium gemäß 9.
11 illustriert ein Verarbeitungsverfahren für den Fall, daß ein Fördermedium für elektronische Bauelemente sich bereits an einer Kontaktgruppe befindet, wenn ein Los der zu prüfenden Bauelemente ausläuft.
12 illustriert ein Verarbeitungsverfahren für den Fall, daß ein Fördermedium für elektronische Bauelemente sich nicht an einer Kontaktgruppe befindet, wenn ein Los der zu prüfenden Bauelemente ausläuft.
13 zeigt eine Anordnung von jeweiligen Prüfgruppen entsprechend elektronischen Bauelementen, die auf einem Wafer angeordnet sind, bei einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
14 zeigt Prüfpositionen in einer ersten Prüfgruppe.
15 zeigt Prüfpositionen in einer zweiten Prüfgruppe.
16(a) bis 16(h) zeigen Beispiele für beliebige Anordnungen auf einem Fördermedium für elektronische Bauelemente, und zwar in 4 Zeilen und 24 Spalten in 16(a), 3 Zeilen und 20 Spalten in 16(b), 3 Zeilen und 16 Spalten in 16(c), 3 Zeilen und 12 Spalten in 16(d), 2 Zeilen und 16 Spalten in 16(e), 2 Zeilen und 12 Spalten in 16(f), 4 Zeilen und 8 Spalten in 16(g) und 2 Zeilen und 18 Spalten in 16(h).
17 zeigt eine Anordnung einer Kontaktgruppe mit Kontaktbereichen für 32 gleichzeitige Messungen (4 Zeilen und 8 Spalten) nach dem Stand der Technik.
18 zeigt eine Anordnung einer Kontaktgruppe mit Kontaktbereichen für 64 gleichzeitige Messungen (4 Zeilen und 16 Spalten) nach dem Stand der Technik.
19 zeigt Positionen, die bei einer ersten Prüfung und einer zweiten Prüfung gleichzeitig gemessen werden können, im Fall eines Fördermediums für elektronische Bauelemente (3 Zeilen und 16 Spalten).
BESTER WEG ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachstehend werden bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen erläutert.
Ausführungsform 1
1 zeigt schematisch ein Prüfgerät 1 für elektronische Bauelemente gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einschließlich eines Steuersstems.
Das Prüfgerät 1 nach der vorliegenden Ausführungsform ist ein Gerät zur Ausführung einer Prüfung (Untersuchung), ob elektronische Bauelemente 20 einwandfrei arbeiten, und zwar in einem Zustand, in dem die zu prüfenden elektronischen Bauelemente 20 einer thermischen Beanspruchung mit einer hohen Temperatur oder einer tiefen Temperatur ausgesetzt sind, und zum Klassifizieren der Bauelemente 20 entsprechend den Prüfungsergebnissen, wobei ein Funktionstest im Zustand unter thermischer Beanspruchung durchgeführt wird, indem ein mit dem zu prüfenden Bauelement 20 beladenes Fördermedium 10 zu dem Prüfgerät 1 zugeführt wird.
Deshalb umfaßt das Prüfgerät 1 nach der vorliegenden Ausführungsform eine Ladesektion LD zum Zuführen des mit ungeprüften Bauelementen beladenen Fördermediums 10 zu einem Prüfkopf 100, wie in 1 gezeigt ist, den Prüfkopf 100 mit mehreren Kontaktgruppen (z.B.: drei Kontaktgruppen 111, 112 und 113 in 1) und Bewegungseinrichtungen (z.B. drei Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 in 1), die getrennt daran angebracht sind, und einer Entladesektion UL zum Austragen und Klassifizieren der geprüften Bauelemente 20, nachdem sie am Prüfkopf 100 geprüft worden sind. Die Konfigurationen der Ladesektion LG und der Entladesektion UL sind nicht besonders beschränkt.
Ladesektion LD
Die Ladesektion LD überführt ein Fördermedium 10 (in diesem Beispiel im Streifenformat), das mit den zu prüfenden elektronischen Bauelementen 20 aus dem vorherigen Schritt beladen ist, mit Hilfe einer Fördereinrichtung 400 zu dem Prüfkopf 100 mit den Kontaktgruppen 111, 112 und 113.
Die Konfiguration der Fördereinrichtung 400 ist nicht besonders beschränkt, ist jedoch z.B. eine Einrichtung, die in der Lage ist, einen Greifkopf zum Erfassen des Fördermediums 10 sowie das erfaßte Fördermedium 10 in X-, Y-, und Z-Richtung zu bewegen.
In 1 gibt es nur eine Fördereinrichtung 400 für drei Kontaktgruppen. Diese Konfiguration ist vorteilhaft im Hinblick auf das investierte Kapital und den Platzbedarf für eine Anlage, wenn elektronische Bauelemente 20 geprüft werden, die eine relativ lange Prüfzeit, etc. erfordern. Andererseits kann durch Bereitstellen von unabhängigen Fördereinrichtungen für die Kontaktgruppen 111, 112 und 113 die Wartezeit in jeder der Kontaktgruppen 111, 112 und 113 sowie die Schrittzeit reduziert werden.
Weiterhin dient in 1 eine gemeinsame Fördereinrichtung 400 zum Transport von der Ladesektion LD zu den jeweiligen Kontaktgruppen 11, 112 und 113 sowie zum Transport von den jeweiligen Kontaktgruppen 111, 112 und 113 zu der Entladesektion UL. Wenn jedoch Prüfungen an elektronischen Bauelementen 20 vorgenommen, die eine relativ kurze Prüfzeit erfordern, kann durch Bereitstellen unabhängiger Fördereinrichtungen für die Ladesektion LD einerseits und die Entladesektion UL andererseits die Wartezeit an den Kontaktgruppen 111, 112 und 113 sowie die Schrittzeit reduziert werden.
Es ist auch möglich, getrennte Ladesektionen und Entladesektionen für jede der Kontaktgruppen 111, 112 und 113 vorzusehen.
Prüfkopf 100
Das Fördermedium 10 wird von der Ladesektion LD mit Hilfe der Fördereinrichtung 400 zu dem Prüfkopf 100 zugeführt, und eine Prüfung wird ausgeführt, während elektronische Bauelemente 20 auf das Fördermedium 10 geladen sind.
Der Prüfkopf 100 umfaßt drei Kontaktgruppen, nämlich eine erste Kontaktgruppe 111, eine zweite Kontaktgruppe 112 und eine dritte Kontaktgruppe 113 zur Ausführung einer Prüfung an elektronischen Bauelementen 20, die auf dem von der Ladesektion LD zugeführten Fördermedium 10 angeordnet sind, und drei Bewegungseinrichtungen, nämlich eine erste Bewegungseinrichtung 201, eine zweite Bewegungseinrichtung 202 und eine dritte Bewegungseinrichtung 203 zum Steuern der Position und Lage des Fördermediums 10 entsprechend der Position und Lage jeder der Kontaktgruppen.
Die erste Bewegungseinrichtung 201 ist eine Einrichtung zur Steuerung der Position des Fördermediums 10 in X-, Y-, und Z-Richtung und zur Steuerung der Winkellage θ bezüglich der Z-Achse als Drehzentrum. Sie ist z.B. aufgebaut aus Schienen 201a längs der Y-Achse, einem auf der Schiene 201a in Y-Richtung beweglichen Arm 201b und einem beweglichen Kopf 201c, der durch den beweglichen Arm 201b gehalten und in der Lage ist, sich in X-Richtung längs des beweglichen Arms 201b zu bewegen, so daß er in einen Bereich oberhalb der ersten Kontaktgruppe 111 gelangen kann. Weiterhin ist der bewegliche Kopf 201c mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs auch in Z-Richtung (also in vertikaler Richtung) beweglich, und eine nicht gezeigte Lagekontrollfunktion ermöglicht die Einstellung des Winkels θ um die Z-Achse. Mehrere Greifköpfe 201d an dem beweglichen Kopf 201c (z.B. 4 Saugköpfe) ermöglichen es, das Fördermedium 10 gleichzeitig zu erfassen, zu transportieren und freizugeben.
Ein zu prüfendes elektronisches Bauelement 20, das auf das Fördermedium 10 geladen ist, entspricht einem Kontaktbereich 110a, jedes Bauelement 20, das auf das Fördermedium 10 geladen ist, das von dem Greifkopf 201d erfaßt ist, wird durch Abwärtsbewegung des beweglichen Kopfes 201c in Z-Richtung mit einem geeigneten Druck angedrückt, und eine Prüfung wird ausgeführt, indem es mit einem nicht ge zeigten Kontaktstift auf dem Kontaktbereich 110a in Kontakt gebracht wird. Das Prüfungsergebnis wird gespeichert, z.B. unter einer Adresse, die bestimmt ist durch eine Identifikationsnummer, die an dem Fördermedium 10 angebracht ist, und eine Nummer, die dem Bauelement 20 innerhalb des Fördermediums 10 zugewiesen ist.
Die erste Kontaktgruppe 111 ist aufgebaut aus einem Satz von Kontaktbereichen 110a zur Ausführung einer Prüfung an den Bauelementen 20, und die zweiten und dritten Kontaktgruppen 112 und 113 sind in gleicher Weise aus einem Satz von Kontaktbereichen 110a aufgebaut.
Die Anzahl und die Anordnung der Kontaktbereiche 110a in jeder Kontaktgruppe kann optimal bestimmt werden, in Übereinstimmung mit der Anzahl von elektronischen Bauelementen 20 auf dem Fördermedium 10, der beliebigen Anordnung, und einem Produktionsplan, soweit die Gesamtzahl der Kontaktbereiche 110a in dem Prüfgerät 1 zu der für das Prüfgerät 1 begrenzten Anzahl gleichzeitiger Messungen paßt (normalerweise ist die Anzahl gleichzeitiger Messungen begrenzt auf 2ⁿ, etwa 32 oder 64, wobei n eine natürliche Zahl ist). Soweit die Gesamtzahl der ersten Kontaktgruppe 111, der zweiten Kontaktgruppe 112 und der dritten Kontaktgruppe 113 in 1 mit 32 bzw. 64, also der Anzahl gleichzeitiger Messungen, übereinstimmt, kann die Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in der Kontaktgruppe frei gewählt werden. In 2 hat die erste Kontaktgruppe 111 6 Kontakte, die zweite Kontaktgruppe 112 hat 24 Kontakte, und die dritte Kontaktgruppe 113 hat 2 Kontakte, und die Gesamtzahl dieser Kontaktbereiche 110a stimmt mit der auf 32 begrenzten Anzahl gleichzeitiger Messungen überein. Ebenso stimmt die Teilung zwischen den einzelnen Kontaktbereichen 110a in der Kontaktgruppe überein mit einem Vielfachen (einschließlich 1) der Teilung zwischen den einzelnen Bauelementen 20 auf dem Fördermedium 10 entsprechend den jeweiligen Kontaktgruppen 111, 112 und 113.
Weiterhin kann die Anzahl der Kontaktgruppen in dem Prüfgerät 1 optimal bestimmt werden in Übereinstimmung mit der Anzahl, der Anordnung und dem Produktionsplan für die zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10, und, wie als Beispiel in 2 gezeigt ist, ist die erste Kontaktgruppe 111 entsprechend dem ersten Fördermedium 11 für die elektronischen Bauelemente angeordnet, die zweite Kontaktgruppe 112 ist entsprechend dem zweiten Fördermedium 12 angeordnet und die dritte Kontaktgruppe 113 ist entsprechend dem dritten Fördermedium 13 angeordnet, und die Anzahl der Kontaktgruppen beträgt in diesem Fall 3.
Um zu verhindern, daß die einzelnen Kontaktgruppen durch den Fortschritt von anderen Operationen beeinträchtigt werden, hat außerdem die erste Kontaktgruppe 111 eine erste Bewegungseinrichtung 201, die von anderen Bewegungseinrichtungen unabhängig ist, die zweite Kontaktgruppe 112 hat eine zweite Bewegungseinrichtung 202, die von anderen Bewegungseinrichtungen unabhängig ist, und die dritte Kontaktgruppe 113 hat eine von anderen Bewegungseinrichtungen unabhängige dritte Bewegungseinrichtung 203, so daß voneinander unabhängige Operationen ausgeführt werden können.
Die Grundkonfiguration und Arbeitsweise der zweiten Bewegungseinrichtung 202 ist die gleiche wie bei der oben erläuterten ersten Bewegungseinrichtung 201. Sie ist so konfiguriert, daß sie in der Lage ist, sich in einen Bereich über der zweiten Kontaktgruppe 112 zu bewegen, mit Hilfe von Schienen 202a längs der Y-Achse, einem in Y-Richtung auf der Schiene 202a beweglichen Arm 202b und einem beweglichen Kopf 202c, der an dem beweglichen Arm 202b gehalten und in X-Richtung längs des beweglichen Arms 202b beweglich ist. Weiterhin ist der bewegliche Kopf 202c mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs auch in Z-Richtung (also in vertikaler Richtung) beweglich, und mit Hilfe einer nicht gezeigten Lagekontrollfunktion ist eine Einstellung des Winkels θ um die Z-Achse möglich. Mehrere Greifköpfe 202d (z.B. vier Saugköpfe) an dem beweglichen Kopf 202c ermöglichen es, ein einzelnes Fördermedium 10 gleichzeitig zu erfassen, zu transportieren und freizugeben.
Die Grundkonfiguration und Arbeitsweise der dritten Bewegungseinrichtung 203 ist die gleiche wie bei der oben erläuterten ersten Bewegungseinrichtung 201. Sie ist so konfiguriert, daß sie in der Lage ist, sich in einen Bereich über der dritten Kontaktgruppe 113 zu bewegen, mit Hilfe von Schienen 203a längs der Y-Achse, einem in Y-Richtung auf der Schiene 203a beweglichen Arm 203b und einem beweglichen Kopf 203c, der an dem beweglichen Arm 203b gehalten und in X-Richtung längs des beweglichen Arms 203b beweglich ist. Weiterhin ist der bewegliche Kopf 20wc mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs auch in Z-Richtung (also in vertikaler Richtung) beweglich, und mit Hilfe einer nicht gezeigten Lagekontrollfunktion ist eine Einstellung des Winkels θ um die Z-Achse möglich. Mehrere Greifköpfe 203d (z.B. vier Saugköpfe) an dem beweglichen Kopf 203c ermöglichen es, ein einzelnes Fördermedium 10 gleichzeitig zu erfassen, zu transportieren und freizugeben.
Im oberen Teil der 1 ist in Umrissen ein Steuersystem für das Prüfgerät 1 gezeigt, mit einer Hauptsteuerung MC und ersten bis dritten Untersteuerungen SC1, SC2 und SC3.
Die Hauptsteuerung MC verwaltet kollektiv die erste Untersteuerung SC1, die zweite Untersteuerung SC2 und die dritte Untersteuerung SC3, zur Ausführung einer Steuerung in Z-Richtung für Prüfungen an der ersten Bewegungseinrichtung 201, einer Steuerung in Z-Richtung für Prüfungen an der zweiten Bewegungseinrichtung 202, einer Steuerung in Z-Richtung für Prüfungen an der dritten Bewegungseinrichtung und zur Steuerung der Ausgabe eines Start-Anforderungssignals an die erste Kontaktgruppe 111, die zweite Kontaktgruppe 112 und die dritte Kontaktgruppe 113. Infolgedessen können die Prüfzeiten in der ersten Kontaktgruppe 111, der zweiten Kontaktgruppe 112 und der dritten Kontaktgruppe 113 synchronisiert werden, und die Anzahl gleichzeitiger Messungen kann sichergestellt werden.
Weiterhin führt die erste Untersteuerung SC1 eine Steuerung für Bewegungen der ersten Bewegungseinrichtung 201 in X-, Y-, und Z-Richtung aus, mit Ausnahme solcher Bewegungen, die von der Hauptsteuerung MC gesteuert werden, die zweite Untersteuerung SC2 führt Steuerungen aus für die Bewegung der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in X-, Y-, und Z-Richtung, mit Ausnahme der Bewegungen, die von der Hauptsteuerung MC gesteuert werden, die dritte Untersteuerung SC3 führt Steuerungen aus für die Bewegung der dritten Bewegungseinrichtung 203 in X-, Y-, und Z-Richtung mit Ausnahme der Bewegungen, die durch die Hauptsteuerung MC gesteuert werden. Somit können die drei Bewegungseinrichtungen unabhängig voneinander gesteuert werden.
In dem obigen Beispiel wurde zur Erläuterung angenommen, daß drei Kontaktgruppen vorhanden sind und somit auch drei Bewegungseinrichtungen. Dies ist jedoch keine Beschränkung, sondern die Anzahl der Kontaktgruppen 110 in dem Prüfgerät 1 und die Anzahl und Anordnung der Kontaktbereiche 110a in jeder Kontaktgruppe 110 kann frei gewählt werden, in Übereinstimmung mit der Anzahl und Anordnung der zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 (z.B. zwei Kontaktgruppen 110 oder vier oder mehr Kontaktgruppen), und die Anzahl der voneinander unabhängigen Bewegungseinrichtungen kann in Übereinstimmung mit der Anzahl der Kontaktgruppen 110 gewählt werden. Wenn die Anzahl der Kontaktgruppen 110 zunimmt, nimmt auch der Platzbedarf für den Prüfkopf 100 zu, weshalb die Anzahl der Kontaktgruppen 110 im Hinblick auf die Prüfeffizienz und den Platzbedarf bestimmt wird.
Entladesektion UL
Die Entladesektion UL benutzt die gleiche Fördereinrichtung 400 wie die Ladesektion LD. Die Fördermedien 10 mit den elektronischen Bauelementen 20, die in der ersten Kontaktgruppe 111, der zweiten Kontaktgruppe 112 und der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft worden sind, werden mit der Fördereinrichtung 400 vom Prüfkopf 100 abtransportiert.
Obgleich für die erste Kontaktgruppe 111, die zweite Kontaktgruppe 112, die dritte Kontaktgruppe 113 und die Ladesektion LD nur eine Fördereinrichtung 400 gezeigt ist, kann in gleicher Weise wie bei der Ladesektion LD in 1 z.B. die Schrittzeit reduziert werden, indem wie bei der Ladesektion LD mehrere Fördereinrichtungen vorgesehen werden.
Als nächstes wird die Arbeitsweise erläutert werden.
Die zu prüfenden, auf die Fördermedien 10 geladenen elektronischen Bauelemente 20, die von der Ladesektion LD zugeführt wurden, werden durch die erste Kontaktgruppe 111, die zweite Kontaktgruppe 112 und die dritte Kontaktgruppe 113 geprüft. Nachstehend wird ein spezielles Prüfverfahren für die Beispielfälle erläutert werden, daß die Anzahl gleichzeitiger Messungen 32 bzw. 64 beträgt.
3 zeigt ein Beispiel für drei Kontaktgruppen für den Fall, daß die Anzahl gleichzeitiger Messungen 32 beträgt, d.h., die erste Kontaktgruppe 111, die zweite Kontaktgruppe 112 und die dritte Kontaktgruppe 113 sind so ausgebildet, daß die erste Kontaktgruppe 111 zwei Kontaktbereiche 110a, die zweite Kontaktgruppe 112 24 Kontaktbereiche und die dritte Kontaktgruppe 113 6 Kontaktbereiche hat.
4 zeigt erste Prüfpositionen 21 (als schwarze Rechtecke dargestellt; das gleiche gilt für die weiter unten erläuterten 6, 8 und 10) für Bauelemente 20, die auf dem Fördermedium 10 gemäß 3 angeordnet sind, wobei das erste Fördermedium 11 mit Bauelementen 20 beladen ist, die in der ersten Kontaktgruppe 111 zu prüfen sind, das zweite Fördermedium 12 mit Bauelementen 20, die in der zweiten Kontakt gruppe 112 zu prüfen sind, und das dritte Fördermedium 13 mit Bauelementen 20, die in der dritten Kontaktgruppe 113 zu prüfen sind.
Das erste Fördermedium 11, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird durch die erste Bewegungseinrichtung 201 in einen Bereich über der ersten Kontaktgruppe 111 bewegt.
Danach werden die zu prüfenden Bauelemente 20 in der ersten Zeile und ersten Spalte und in der ersten Zeile und zweiten Spalte auf dem Fördermedium 11 in 4 über die erste Kontaktgruppe 111 gebracht, und die beiden Bauelemente 20 in der ersten Zeile und der ersten und zweiten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 11 werden im ersten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der bewegliche Kopf 201c, der einen Greifkopf 201d zum Erfassen des Fördermediums 11 hat, an, bewegt sich dann um eine Zeile in X-Richtung, und dann werden im zweiten Durchgang zwei Bauelemente 20 in der zweiten Zeile und in der ersten und zweiten Spalte geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der bewegliche Kopf 201c, der das Fördermedium 11 hält, an, bewegt sich dann um eine Zeile in X-Richtung, und zwei Bauelemente 20 in der dritten Zeile und in der ersten und zweiten Spalte werden im dritten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf 201c an, bewegt sich dann um zwei Spalten in Y-Richtung, und im vierten Durchgang werden zwei Bauelemente 20 in der dritten Zeile und in der dritten und vierten Spalte geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf 201c an und bewegt sich dann um eine Zeile in X-Richtung, und im fünften Durchgang werden zwei Bauelemente 20 in der zweiten Zeile und in der dritten und vierten Spalte geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf 201c an und bewegt sich dann um eine Zeile in die X-Richtung, und im sechsten Durchgang werden zwei Bauelemente 20 in der ersten Zeile und in der dritten und vierten Spalte geprüft.
Danach werden Prüfungen an je zwei Bauelementen 20 in der gleichen Reihenfolge ausgeführt, und die Prüfung für das Fördermedium 11 erfolgt insgesamt 24 mal. Nach Abschluß der insgesamt 24 Prüfdurchgänge wird das Fördermedium 11 mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächsten Fördermedium 11 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das Fördermedium 12, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird durch die Bewegungseinrichtung 202 in einem Bereich über der zweiten Kontaktgruppe 112 gebracht.
Dann werden zu prüfende elektronische Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte und in einem Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und zwölften Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 12 in 4 über die zweite Kontaktgruppe 112 gebracht, und vierundzwanzig Bauelemente 20 in dem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte und im Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und zwölften Spalte werden im ersten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der bewegliche Kopf 202c mit dem Greifkopf 202d zum Halten des Fördermediums 12 an und bewegt sich dann um vier Spalten in Y-Richtung, und im zweiten Durchgang werden vierundzwanzig Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und fünften Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte und im Bereich von der ersten Zeile und dreizehnten Spalte bis zur dritten Zeile und sechzehnten Spalte geprüft. Die Prüfung für das Fördermedium 12 erfolgt in insgesamt zwei Durchgängen. Nach Abschluß der Prüfungen in beiden Durchgängen wird das Fördermedium durch die Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächsten Fördermedium 12 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Wenn eine Anordnung von Kontaktbereichen 110a wie in der zweiten Kontaktgruppe 112 für ein Fördermedium mit einer Anordnung der elektronischen Bauelemente wie bei dem Fördermedium 12 eingesetzt wird, kann auch ein Bewegungsschema in Betracht gezogen werden, das sich von dem oben erläuterten unterscheidet.
Das zweite Fördermedium 12, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in einen Bereich über der zweiten Kontaktgruppe 112 gebracht.
Dann werden zu prüfende elektronische Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte und in einem Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und zwölften Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 12 in 4 über die zweite Kontaktgruppe 112 gebracht, und vierundzwanzig Bauelemente 20 in dem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte und im Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und zwölften Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 12 werden in einem ersten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird ein Verfahren angewandt, bei dem der bewegliche Kopf 202c mit dem Greifkopf 202d, der das Fördermedium 12 hält, angehoben wird und dann um 180° um die Z-Achse gedreht wird, und vierundzwanzig Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und fünften Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte und in einem Bereich von der ersten Zeile und dreizehnten Spalte bis zur dritten Zeile und sechzehnten Spalte werden im zweiten Durchgang geprüft.
Das dritte Fördermedium 13, das durch die Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der dritten Bewegungseinrichtung 203 in einen Bereich über der dritten Kontaktgruppe 113 gebracht.
Die Bauelemente in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und zweiten Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 13 in 4 werden dann über die dritte Kontaktgruppe 113 gebracht, und sechs Bauelemente 20 in dem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und zweiten Spalte auf dem Fördermedium 13 werden im ersten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 203c mit dem Greifkopf 203d, der das Fördermedium 13 hält, angehoben und bewegt sich dann um 2 Spalten in Y-Richtung, und sechs Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und dritten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte werden im zweiten Durchgang geprüft.
Danach werden sechs Bauelemente 20 in der gleichen Reihenfolge geprüft, und es werden insgesamt acht Prüfdurchgänge für das Fördermedium 13 durchgeführt. Nach Abschluß der acht Durchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und das nächste Fördermedium 13 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Bis die Prüfungen an einem Fördermedium 11 in der ersten Kontaktgruppe 111 abgeschlossen sind, werden somit Prüfungen an zwölf Fördermedien in der zweiten Kontaktgruppe 112 abgeschlossen und Prüfungen an drei Fördermedien 13 in der dritten Kontaktgruppe 113.
Die Zeitpunkte der Prüfungen mit der ersten Bewegungseinrichtung 201, die Zeitpunkte der Prüfungen mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 und die Zeitpunkte der Prüfungen mit der dritten Bewegungseinrichtung 203 werden in den genannten Bewegungseinrichtungen durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig durchgeführt.
Dadurch, daß die drei Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 durch die Untersteuerungen SC1, SC2 und SC3 unabhängig gesteuert werden, ist es auch möglich, bei einer beliebigen Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 stets die für das Prüfgerät 1 begrenzte Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen sicherzustellen und eine hohe Prüfeffizienz zu erreichen.
5 ist eine andere Ausführungsform für den Fall von 32 gleichzeitigen Messungen und zeigt ein Beispiel, bei dem acht Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 111 vorgesehen sind, zwölf Kontaktbereiche in der zweiten Kontaktgruppe 112 und zwölf Kontaktbereiche in der dritten Kontaktgruppe 113.
6 zeigt die Prüfpositionen 21 der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 gemäß 5, wobei das erste Fördermedium 11 mit Bauelementen 20 beladen ist, die in der ersten Kontaktgruppe 111 geprüft werden, das zweite Fördermedium 12 mit Bauelementen 20, die in der zweiten Kontaktgruppe 112 geprüft werden, und das dritte Fördermedium 13 mit Bauelementen 20, die in der dritten Kontaktgruppe 113 geprüft werden.
Das erste Fördermedium 11, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der ersten Bewegungseinrichtung 201 in einen Bereich über der ersten Kontaktgruppe 111 gebracht.
Zu prüfende elektronische Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur ersten Zeile und achten Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 11 in 6 werden über die erste Kontaktgruppe 111 gebracht, und acht elektronische Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur ersten Zeile und achten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 11 werden im ersten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 201c mit dem Greifkopf 201d zum Erfassen des Fördermediums 11 angehoben und bewegt sich dann um eine Zeile in X-Richtung, und acht Bauelemente 20 im Bereich von der zweiten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und achten Spalte werden im zweiten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 201c, der das Fördermedium 11 hält, angehoben und bewegt sich dann um eine Zeile in X-Richtung, und acht Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte werden im dritten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf an und bewegt sich um eine Zeile in X-Richtung und um acht Spalten in Y-Richtung, und acht Bauelemente 20 im Bereich von der zweiten Zeile und neunten Spalte bis zur zweiten Zeile und sechzehnten Spalte werden im vierten Durchgang geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich der das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf 201c an und bewegt sich um eine Zeile in X-Richtung, und im fünften Durchgang werden acht Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und sechzehnten Spalte geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, hebt sich das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf 201c an und bewegt sich um zwei Zeilen in X-Richtung, und im sechsten Durchgang werden acht Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur ersten Zeile und sechzehnten Spalte geprüft.
Für ein Fördermedium 11 werden insgesamt sechs Prüfdurchgänge durchgeführt. Nach Abschluß dieser insgesamt sechs Durchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächstes Fördermedium 11 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das zweite Fördermedium 12, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in einen Bereich über der zweiten Kontaktgruppe 112 gebracht.
Zu prüfende Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 12 in 6 werden dann über die zweite Kontaktgruppe 112 gebracht, und im ersten Durchgang werden zwölf Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 12 geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 202c mit dem Greifkopf 202d zum Erfassen des Fördermediums 12 angehoben und bewegt sich dann um vier Spalten in Y-Richtung, und im zweiten Durchgang werden zwölf Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und fünften Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte geprüft.
Danach werden je zwölf Bauelemente 20 in der gleichen Reihenfolge geprüft, und es erfolgen insgesamt vier Prüfdurchgänge für ein einzelnes Fördermedium 12. Nach Abschluß der insgesamt vier Prüfdurchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächsten Fördermedium 12 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das dritte Fördermedium 13, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der dritten Bewegungseinrichtung 203 in einen Bereich über der dritten Kontaktgruppe 113 gebracht.
Zu prüfende Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 13 in 6 werden dann über die dritte Kontaktgruppe 113 gebracht, und im ersten Durchgang werden zwölf Bauelemente 20 in dem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium 13 geprüft.
Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, wird der bewegliche Kopf 203c mit dem Greifkopf 203d zum Halten des Fördermediums 13 angehoben und bewegt sich dann um vier Spalten in Y-Richtung, und im zweiten Durchgang werden zwölf Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und fünften Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte geprüft.
Danach werden je zwölf Bauelemente 20 in der gleichen Reihenfolge geprüft, und es werden insgesamt vier Prüfdurchgänge für das Fördermedium 13 ausgeführt. Nach Abschluß der vier Prüfdurchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächstes Fördermedium 13 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Bis die Prüfungen an zwei Fördermedien 11 in der ersten Kontaktgruppe 111 abgeschlossen sind, werden somit Prüfungen an drei Fördermedien 12 in der zweiten Kontaktgruppe 112 abgeschlossen und Prüfungen an drei Fördermedien 13 in der dritten Kontaktgruppe 113, jeweils mit Hilfe der unabhängigen Bewegungseinrichtungen.
Die Zeitpunkte der Prüfungen mit den ersten bis dritten Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 werden in den genannten Bewegungseinrichtungen durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig durchgeführt.
Durch unabhängige Steuerung der drei Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 mit Hilfe der Untersteuerungen SC1, SC2 und SC3 ist es auch möglich, bei einer beliebigen Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 stets die für das Prüfgerät 1 begrenzte Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen sicherzustellen und eine hohe Prüfeffizienz zu realisieren.
7 zeigt ein Beispiel für die Anordnung von drei Kontaktgruppen 111, 112 und 113 für den Fall, daß die Anzahl gleichzeitiger Messungen 64 beträgt, wobei die Anzahlen der Kontaktbereiche 110a in den einzelnen Kontaktgruppen 4, 48 und 12 sind.
8 zeigt erste Prüfpositionen 21 für zu prüfende elektronische Bauelemente 20, die auf dem Fördermedium 10 gemäß 7 angeordnet sind, wobei erste, zweite und dritte Fördermedien 11, 12, 13 mit Bauelementen beladen sind, die in der ersten, zweiten bzw. dritten Kontaktgruppe 111, 112 bzw. 113 zu prüfen sind.
Das erste Fördermedium 11, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion ND zugeführt wurde, wird mit der ersten Bewegungseinrichtung 201 in einen Bereich über der ersten Kontaktgruppe 111 gebracht.
Die zu prüfenden elektronischen Bauelemente 20 in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur ersten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung der Bauelemente auf dem Fördermedium in 8 werden dann über die erste Kontaktgruppe 111 gebracht, und diese vier elektronischen Bauelemente 20 werden im ersten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der bewegliche Kopf 201c mit dem Greifkopf 201d zum Erfassen des Fördermediums 11 angehoben und bewegt sich dann um eine Zeile in X-Richtung, und vier Bauelemente 20 im Bereich von der zweiten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und vierten Spalte werden im zweiten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der das Fördermedium 11 haltende bewegliche Kopf 201c angehoben, und dann werden im dritten Durchgang vier Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der das Fördermedium 11 haltende Kopf 201c angehoben und bewegt sich dann um vier Spalten in Y-Richtung, und vier Bauelemente 20 im Bereich von der dritten Zeile und fünften Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte werden im vierten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der das Fördermedium 11 haltende Kopf 201c angehoben und um eine Zeile in X-Richtung bewegt, und vier Bauelemente 20 im Bereich von der zweiten Zeile und fünften Spalte bis zur zweiten Zeile und achten Spalte werden im fünften Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der das Fördermedium 11 haltende Kopf 201c angehoben und um eine Zeile in X-Richtung bewegt, und im sechsten Durchgang werden vier Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und fünften Spalte bis zur ersten Zeile und achten Spalte geprüft.
Danach werden je vier Bauelemente 20 in der gleichen Reihenfolge geprüft, und für ein einzelnes Fördermedium 11 erfolgen insgesamt 12 Prüfdurchgänge. Nach Abschluß der 12 Durchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächstes Fördermedium 11 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das zweite Fördermedium 12, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in einen Bereich über der zweiten Kontaktgruppe 112 gebracht.
Dann werden zu prüfende Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte des zur dritten Zeile und sechzehnten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 12 nach 8 über die Kontaktgruppe 112 gebracht, und diese 48 Bauelemente werden geprüft, d.h., alle Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 12 werden gleichzeitig geprüft.
Nach Abschluß dieser Prüfung wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein nächstes Fördermedium 12 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das dritte Fördermedium 13, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der dritten Bewegungseinrichtung 203 über die dritte Kontaktgruppe 113 gebracht.
Dann werden zu prüfende Bauelemente im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und vierten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 13 in 8 über die dritte Kontaktgruppe 113 gebracht, und diese 12 Bauelemente werden im ersten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der Kopf 203c mit dem Greifkopf 203d zum Erfassen des Fördermediums 13 angehoben und um vier Spalten in Y-Richtung bewegt, und 12 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und fünften Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte werden im zweiten Durchgang geprüft.
Danach werden je 12 Bauelemente 20 in der gleichen Reihenfolge geprüft, und für das Fördermedium 13 werden insgesamt vier Prüfdurchgänge durchgeführt. Nach Abschluß dieser vier Durchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Ladesektion UL ausgetragen, und ein nächstes Fördermedium 13 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Bis die Prüfungen an einem Fördermedium 11 in der ersten Kontaktgruppe 111 abgeschlossen sind, werden folglich mit Hilfe der unabhängigen Bewegungseinrichtungen Prüfungen an zwölf Fördermedien 12 in der zweiten Kontaktgruppe 112 und Prüfungen an drei Fördermedien 13 in der dritten Kontaktgruppe 113 durchgeführt.
Die Zeitpunkte der Prüfungen mit den ersten, zweiten und dritten Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 werden durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden jeweils gleichzeitig durchgeführt.
Durch unabhängige Steuerung der drei Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 mit Hilfe der Untersteuerungen SC1, SC2 und SC3 ist es auch möglich, stets die für das Prüfgerät 1 begrenzte Anzahl von 64 gleichzeitigen Messungen sicherzustellen, bei einer beliebigen Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10, und es kann eine hohe Prüfeffizienz erreicht werden.
9 ist eine weitere Ausführungsform für den Fall von 64 gleichzeitigen Messungen und zeigt ein Beispiel für eine Anordnung der drei Kontaktgruppen 111, 112 und 113, bei der die Anzahlen der Kontaktbereiche 110a in den verschiedenen Kontaktgruppen 16, 24 und 24 betragen.
10 zeigt erste Prüfpositionen 21 der zu prüfenden Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 entsprechend 9, wobei erste, zweite und dritte Fördermedien 11, 12, 13 jeweils mit Bauelementen 20 beladen sind, in der ersten Kontaktgruppe 111, der zweiten Kontaktgruppe 112 bzw. der dritten Kontaktgruppe 113 zu prüfen sind.
Das erste Fördermedium 11 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt und mit der Bewegungseinrichtung 201 in einen Bereich über der ersten Kontaktgruppe 111 gebracht.
Zu prüfende Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur ersten Zeile und sechzehnten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 11 nach 9 werden dann über die erste Kontaktgruppe 111 gebracht, und diese 16 Bauelemente 20 werden im ersten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der Kopf 201c mit dem Greifkopf 201d für das Fördermedium 11 angehoben und um eine Zeile in X-Richtung bewegt, und 16 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten bis zur sechzehnten Spalte in der zweiten Zeile werden im zweiten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der das Fördermedium 11 haltende Kopf 201c angehoben und um eine Zeile in X-Richtung bewegt, und 16 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten bis zur sechzehnten Spalte in der dritten Zeile werden im dritten Durchgang geprüft.
Insgesamt werden für das Fördermedium 11 drei Prüfdurchgänge durchgeführt. Nach Abschluß dieser drei Durchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen und ein nächstes Fördermedium 11 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das zweite Fördermedium 12, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der zweiten Bewegungseinrichtung 202 in einen Bereich über der zweiten Kontaktgruppe 112 gebracht.
Zu prüfende Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 12 nach 9 werden dann über die zweite Kontaktgruppe 112 gebracht, und diese 24 Bauelemente 20 werden im ersten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der Kopf 201c mit dem Greifkopf 202d für das Fördermedium 12 angehoben und um acht Spalten in Y-Richtung bewegt, und 24 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und sechzehnten Spalte werden im zweiten Durchgang geprüft.
Für ein einzelnes Fördermedium 12 werden insgesamt zwei Prüfdurchgänge durchgeführt. Nach Abschluß dieser beiden Durchgänge wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein neues Fördermedium 12 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Das dritte Fördermedium 13, das mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt wurde, wird mit der dritten Bewegungseinrichtung 203 in einem Bereich über der dritten Kontaktgruppe 113 gebracht.
Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur dritten Zeile und achten Spalte in der Anordnung auf dem Fördermedium 13 in 9 werden über die dritte Kontaktgruppe 113 gebracht, und diese 24 Bauelemente 20 werden im ersten Durchgang geprüft.
Nach Abschluß der Prüfung wird der Kopf 203c mit dem Greifkopf 203d für das Fördermedium 13 angehoben und um acht Spalten in Y-Richtung bewegt, und im zweiten Durchgang werden 24 Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und neunten Spalte bis zur dritten Zeile und sechzehnten Spalte geprüft.
An dem Fördermedium 13 werden insgesamt zwei Prüfdurchgänge durchgeführt. Wenn diese beiden Durchgänge abgeschlossen sind, wird das Fördermedium mit der Fördereinrichtung 400 zur Entladesektion UL ausgetragen, und ein neues Fördermedium 13 wird mit der Fördereinrichtung 400 von der Ladesektion LD zugeführt.
Bis die Prüfungen an zwei Fördermedien in der ersten Kontaktgruppe 111 abgeschlossen sind, werden mit Hilfe der unabhängigen Bewegungseinrichtungen Prüfungen an drei Fördermedien in der zweiten Kontaktgruppe 112 und an drei Fördermedien in der dritten Kontaktgruppe 113 durchgeführt.
Die Zeitpunkte der Prüfungen mit Hilfe der ersten, zweiten und dritten Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 werden durch die Hauptsteuerung MC synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig durchgeführt.
Durch unabhängige Steuerung der drei Bewegungseinrichtungen 201, 202 und 203 mit Hilfe der Untersteuerungen SC1, SC2 und SC3 ist es auch möglich, stets die maximale Anzahl von 64 gleichzeitigen Prüfungen für das Prüfgerät 1 sicherzustellen, bei beliebiger Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10, und es wird eine hohe Prüfeffizienz erreicht.
Wie oben erläutert wurde, wird in den einzelnen Kontaktgruppen, wenn die Prüfungen an allen Bauelementen 20 auf einem Fördermedium 10 abgeschlossen sind, dieses Fördermedium gegen das Nächste ausgetauscht, auch wenn andere Kontaktgruppen noch in Betrieb sind, und die Operation kann unabhängig ausgeführt werden, ohne daß sie durch den Fortschritt in anderen Kontaktgruppen beeinflußt wird. Deshalb kann die maximale Anzahl von 32 oder 64 gleichzeitigen Messungen für das Prüfgerät 1 in den meisten Fällen auch bei einer beliebigen Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10 sichergestellt und eine hohe Prüfeffizienz erreicht werden.
Wenn jedoch das obige Verfahren zur Sicherstellung gleichzeitiger Messungen durch eine Vielzahl von Kontaktgruppen angewandt wird, sind die Zeitpunkte für den Abschluß der letzten Prüfungen in den einzelnen Kontaktgruppen 110 nicht immer miteinander kompatibel, wenn ein Los der Bauelemente 20 ausläuft, denn wenn eine Kontaktgruppe die Prüfung abschließt, können andere Kontaktgruppen die Prüfungen nicht zur gleichen Zeit abschließen, und es wird Zeit für die verbleibenden Prüfungen benötigt.
Wenn, wie in 11 gezeigt ist, 6 elektronische Bauelemente 24 (in 11 durch schwarze Rechtecke dargestellt) in einem Bereich von der ersten Zeile und ersten Spalte bis zur zweiten Zeile und dritten Spalte auf dem Fördermedium 14 mit einer Anordnung in zwei Zeilen und neun Spalten bereits in der ersten Kontaktgruppe geprüft worden sind, die zwei Kontaktbereiche aufweist (dies ist nicht gezeigt, weil sich die erste Kontaktgruppe 111 in 11 unter dem Fördermedium 14 für die letzten elektronischen Bauelemente befindet) und die zweite Kontaktgruppe 112, die 6 Kontaktbereiche 110a aufweist, die Prüfungen an einem Punkt abschließt, so wird die Prüfung an den elektronischen Bauelementen 23, die noch in der ersten Kontaktgruppe 111 zu prüfen wären, nicht fortgesetzt, sondern abgebrochen, und die Bauelemente 23 werden zu der zweiten Kontaktgruppe 112 bewegt, die eine große Anzahl von Kontaktbereichen 110a aufweist, um die Prüfung durchzuführen, so daß die verbleibende Prüfzeit auf ein Drittel vermindert werden kann (die Zeit für die Bewegung zwischen den Kontaktbereichen ist nicht berücksichtigt).
Zum Beispiel stellt die Hauptsteuerung MC anhand eines Prüfungsende-Signals, das ausgegeben wird, wenn die Prüfung an Bauelementen 20 auf dem letzten Fördermedium 10 in den betreffenden Bewegungseinrichtungen beendet ist, fest, daß die zweite Kontaktgruppe 112 ihre Prüfungen bereits abgeschlossen hat.
Die Hauptsteuerung MC vergleicht dann die Summe aus der Zeit zum Abbrechen der Prüfung in der ersten Kontaktgruppe 111 und zum Bewegen des Fördermediums 14 zu der zweiten Kontaktgruppe 112 und der Zeit nach der Bewegung zu der zweiten Kontaktgruppe 112 bis zum Abschluß der Prüfung durch die Kontaktgruppe 112 mit der Zeit, die bis zum Abschluß der Prüfung benötigt würde, wenn die Prüfung in der ersten Kontaktgruppe 111 fortgesetzt würde. Die Zeit bis zum Abschluß der Prüfung mit der zweiten Kontaktgruppe 112 nach der Bewegung zu der zweiten Kontaktgruppe 112 wird berechnet aus der Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der zweiten Kontaktgruppe 112, die ihre Prüfungen abgeschlossen hat, und der Anzahl der verbleibenden elektronischen Bauelemente 23. Ebenso wird die Zeit bis zum Abschluß der Prüfungen bei fortgesetzter Prüfung in der ersten Kontaktgruppe 111 berechnet aus der Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 111, bei der die Prüfung bereits angelaufen ist, wenn ein Los der elektronischen Bauelemente 20 endet, und der Anzahl der verbleibenden Bauelemente 23.
Wenn der Vergleich ergibt, daß die Zeit bis zum Abschluß der Prüfung in der Kontaktgruppe 112 die kürzeste ist, gibt die Hauptsteuerung MC an die betreffenden Untersteuerungen SC1 und SC2 einen Befehl aus, die Prüfung mit der ersten Untersteuerung SC1 abzubrechen und das Fördermedium 10 zu der zweiten Bewegungseinrichtung zu bewegen, und die zweite Bewegungseinrichtung 202 übernimmt das Fördermedium 14 und führt die Prüfung aus, so daß die verbleibende Zeit verkürzt werden kann.
Wie oben erläutert wurde, wird eine bereits begonnene Prüfung der Bauelemente 20 in der Kontaktgruppe 111 abgebrochen, obwohl noch Prüfungen übrig bleiben, wenn ein Los der zu prüfenden Bauelemente 20 ausläuft, und es erfolgt eine Steuerung zum Zurückführen des Fördermediums zu der Ladesektion LD mit Hilfe der Fördereinrichtung 400 und zum Bewegen zu der anderen Kontaktgruppe 112, die eine große Anzahl von Kontaktbereichen 110a hat und ihre Prüfungen bereits abgeschlossen hat, ebenfalls mit Hilfe der Fördereinrichtung 400, oder eine Steuerung zur direkten Überführung des Fördermediums 14 zu der zweiten Kontaktgruppe 112 mit Hilfe der ersten Bewegungseinrichtung 201 und der zweiten Bewegungseinrichtung 202 ohne den Umweg über die Ladesektion LD etc., so daß die verbleibende Prüfzeit bei Auslaufen eines Loses der Bauelemente 20 verkürzt werden kann.
Auch wenn zu der Zeit, zu der ein Los der zu prüfenden Bauelemente 20 ausläuft, wie bei dem Beispiel in 12, das letzte Fördermedium 14 noch zu der ersten Kon taktgruppe 111 zugeführt werden müßte, um die Prüfung in der ersten Kontaktgruppe 111 mit zwei Kontaktbereichen vorzunehmen, wird die verbleibende Zeit lang. Deshalb ist ein Verfahren vorgesehen, bei dem das Fördermedium 14 nicht zu dem ersten Kontaktbereich 111 zugeführt wird, sondern zu dem zweiten Kontaktbereich 112, der eine größere Anzahl von Kontaktbereichen hat, nämlich 6, oder zu der dritten Kontaktgruppe 113, die 6 Kontaktbereiche hat und mit ihren Prüfungen bereits fertig ist, so daß die verbleibende Prüfzeit auf ein Drittel reduziert werden kann.
Zum Beispiel wird in der Hauptsteuerung MC die Zeit für den Abschluß der Prüfungen in der ersten Kontaktgruppe 111 berechnet aus der Anzahl der Kontaktbereiche 110a in der ersten Kontaktgruppe 111 und der Anzahl der verbleibenden elektronischen Bauelemente 23 auf dem letzten Fördermedium 14, das noch zugeführt werden müßte, wenn das Los ausläuft, und diese Zeit wird verglichen mit der Zeit für den Abschluß der Prüfungen in der Kontaktgruppe 112 oder 113, berechnet aus der Anzahl der Kontaktbereiche 110a der Kontaktgruppe 112 oder 113, die mit den Prüfungen bereits fertig ist, und der Anzahl der verbleibenden Bauelemente 23 auf dem letzten Fördermedium 14, das noch zuzuführen ist.
Wenn der Vergleich ergibt, daß die Zeit für den Abschluß der Prüfungen mit der zweiten Kontaktgruppe 112 oder der dritten Kontaktgruppe 113 am kürzesten ist, gibt die Hauptsteuerung MC an die Untersteuerungen SC1 und SC2 einen Befehl aus, der bewirkt, daß die erste Bewegungseinrichtung 201 die Zufuhr des Fördermediums 14 zu der ersten Kontaktgruppe 111 abbricht und das Fördermedium 14 zu der zweiten Bewegungseinrichtung 202 überführt, und die zweite Bewegungseinrichtung 202 übernimmt das Fördermedium 14, um die Prüfungen auszuführen, so daß die verbleibende Zeit verkürzt werden kann.
Auch wenn zu dem Zeitpunkt, an dem das Los der Bauelemente 20 ausläuft, das Fördermedium 14, das noch zu der ersten Kontaktgruppe 111 zuzuführen wäre, nicht das letzte ist, sondern es z.B. noch mehr als ein solches Fördermedium gibt, vergleicht die Hauptsteuerung MC die Summe aus der Wartezeit für die Durchführung der Prüfungen in der ersten Kontaktgruppe 111 und der Prüfzeit in der ersten Kontaktgruppe 111 mit der Summe aus der Wartezeit für die Durchführung der Prüfung in der zweiten Kontaktgruppe 112 und der Prüfzeit in der zweiten Kontaktgruppe 112 und mit der Summe aus der Wartezeit für die Durchführung der Prüfungen in der dritten Kontaktgruppe 113 und der Prüfzeit in der dritten Kontaktgruppe 113.
Wenn Zeiten für die Bewegung zu den betreffenden Kontaktgruppen unterschiedlich sind, muß auch dies berücksichtigt werden.
Indem wie oben das verbleibende Fördermedium 14, das noch zu einer Kontaktgruppe zuzuführen ist (nicht unbedingt nur das letzte), nicht mehr (zu der ursprünglich vorgesehenen) Kontaktgruppe zugeführt wird, sondern für die Zufuhr eine (andere) Kontaktgruppe bestimmt wird, auf der Grundlage der Anzahl der Bauelemente 23 auf dem Fördermedium 14, der Anzahlen der Kontaktbereiche 110a der betreffenden Kontaktgruppen und der Wartezeit bis zu den Prüfungen, und indem die Zufuhr zu den Kontaktgruppen entsprechend gesteuert wird, kann die verbleibende Prüfzeit verkürzt werden.
Da, wie oben erläutert wurde, bei der vorliegenden Erfindung mehrere Kontaktgruppen an dem Prüfkopf vorgesehen sind und unabhängige Bewegungseinrichtungen daran angebracht sind, kann für eine begrenzte Anzahl gleichzeitiger Messungen in dem Prüfgerät die Flexibilität zwischen den Kontaktgruppen gesteigert werden und die verbleibende Prüfzeit bei Auslaufen eines Loses der Bauelemente 20 verkürzt werden.
Die Erfindung ist nicht auf das obige Steuerungsverfahren beschränkt, sondern schließt ein Prüfgerät ein, das eine Steuerung zum Abschluß der Prüfungen an noch zu prüfenden Bauelementen auf einem verbleibenden Fördermedium bei Auslaufen eines Loses der Bauelemente innerhalb kürzester Zeit ausführt, sowie ein Prüfgerät mit einer Steuerung, die eine bereits laufende Prüfung an Bauelementen in der Kontaktgruppe abbricht und das Fördermedium, das mit zu prüfenden Bauelementen beladen ist, zu einer anderen Kontaktgruppe überführt, die eine größere Anzahl von Kontaktbereichen hat und mit ihren Prüfungen bereits fertig ist, wenn das mit den zu prüfenden Bauelementen beladene Fördermedium sich zu dem Zeitpunkt, an dem das Los ausläuft, schon auf einer Kontaktgruppe befindet.
Die Erfindung ist auch nicht auf das obige Steuerungsverfahren beschränkt, sondern schließt auch ein Prüfgerät mit einer Steuerung ein, die verbleibende, mit zu prüfenden Bauelementen beladene Fördermedien, die zu dem Zeitpunkt, an dem das Los der Bauelemente ausläuft, noch zu einer Kontaktgruppe zugeführt werden müßten, zu einer anderen Kontaktgruppe umleitet, die mit ihren Prüfungen bereits fertig ist, unter Berücksichtigung der Anzahl der zu prüfenden Bauelemente auf dem För dermedium, der Anzahl der Kontaktbereiche in den jeweiligen Kontaktgruppen und der Wartezeit bis zur Durchführung der Prüfungen.
In den 11 und 12 wurden zur einfachen Erläuterung die Anzahlen der Kontaktbereiche 110 in den jeweiligen Kontaktgruppen 111, 112 und 113 wie angegeben gewählt, doch stimmt tatsächlich die Gesamtzahl der Kontaktbereiche in den verschiedenen Kontaktgruppen mit der maximal möglichen Anzahl gleichzeitiger Messungen für das Gerät überein, da noch weitere Kontaktgruppen vorhanden sind.
Zweite Ausführungsform
Bei der Prüfung von Bauelementen 20 auf einem Wafer 701 soll immer erreicht werden, daß die Prüfpositionen der Anzahl gleichzeitiger Messungen entsprechen, doch in einigen Fällen, insbesondere bei Messungen in der Nähe des äußeren Randes des Wafers 701, ergibt sich die Situation, daß weniger Prüfpositionen zur Verfügung stehen als gleichzeitige Messungen möglich wären.
Die vorliegende Erfindung kann nicht nur auf den Fall angewandt werden, daß elektronische Bauelemente auf einem Fördermedium 10 im Streifenformat etc. geprüft werden, wie in der ersten Ausführungsform beschrieben wurde, sondern auch auf den Fall, daß zu prüfende Bauelemente 20 auf einem Wafer 701 angeordnet sind, und ist vorteilhaft, um Prüfpositionen festzulegen, die der Anzahl gleichzeitiger Messungen entsprechen.
Wie in 13 gezeigt ist, weist der Prüfkopf 100 zwei Prüfgruppen auf, nämlich eine erste Prüfgruppe 601 mit 28 Prüfeinheiten 600a und eine zweite Prüfgruppe 602 mit vier Prüfeinheiten 600a. Die Anzahl gleichzeitiger Messungen beträgt in diesem Fall 32. Auf dem Wafer 701, der von einer (nicht gezeigten) Ladesektion zugeführt wurde, sind 72 zu prüfende elektronische Bauelemente 20 in sieben Zeilen und zwölf Spalten angeordnet (jedoch fehlen jeweils einige Bauelemente 20 in der Nähe des äußeren Randes: in der ersten Zeile in der ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte, in der zweiten Zeile in der ersten und zwölften Spalte, in der sechsten Zeile in der ersten und zwölften Spalte und in der siebten Zeile in der ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte), und davon werden im ersten Durchgang achtundzwanzig Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und dritten Spalte bis zur siebten Zeile und sechsten Spalte in der ersten Prüfgruppe 601 geprüft, wie in 14 gezeigt ist. Der bewegliche Kopf (nicht gezeigt), der einen (nicht gezeigten) Greifkopf zum Erfassen des Wafers 701 hat, wird angehoben und dann in vier Spalten in X-Richtung bewegt. Im zweiten Durchgang werden achtundzwanzig Bauelemente 20 im Bereich von der ersten Zeile und siebten Spalte bis zur siebten Zeile und zehnten Spalte geprüft. Die insgesamt 56 Bauelemente 20 in Prüfpositionen 25 werden in insgesamt zwei Durchgängen in der ersten Prüfgruppe 601 geprüft (die Prüfpositionen 25 für die erste Prüfgruppe 601 sind in 14 als gemusterte Rechtecke dargestellt) und der Wafer 701 wird an die zweite Prüfgruppe 602 übergeben.
Die Erfindung ist jedoch nicht darauf beschränkt, daß der Wafer 701, bei dem die Prüfungen in der ersten Prüfgruppe 601 abgeschlossen sind, an die zweite Prüfgruppe 602 übergeben wird, sondern schließt auch ein Verfahren ein, bei dem für jede Prüfgruppe etc. an eine (nicht gezeigte) Entladesektion übergeben wird.
Der erste Wafer 701 bewegt sich zu der zweiten Prüfgruppe 602, nachdem die Prüfung in der ersten Prüfgruppe 601 abgeschlossen ist, und zwei Bauelemente 20, die in der zweiten Zeile in der zweiten und elften Spalte liegen, werden im ersten Durchgang geprüft. Nach Abschluß der Prüfungen wird der (nicht gezeigte) Kopf mit dem (nicht gezeigten) Greifkopf zum Erfassen des Wafers 701 angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt, und im zweiten Durchgang werden vier Bauelemente 20 geprüft, die in der dritten Zeile in der ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte liegen.
Wenn die Prüfungen abgeschlossen sind, wird der den Wafer 701 haltende Kopf angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt und im dritten Durchgang werden vier Bauelemente 20 geprüft, die in der vierten Zeile in der ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte liegen.
Wenn die Prüfungen abgeschlossen sind, wird der den Wafer 701 haltende Kopf angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt, und im vierten Durchgang werden vier Bauelemente 20 geprüft, die in der fünften Zeile in der ersten, zweiten, elften und zwölften Spalte liegen.
Nach Abschluß der Prüfungen wird der den Wafer 701 haltende Kopf angehoben und um eine Zeile in Y-Richtung bewegt, und im fünften Durchgang werden zwei Bauelemente 20 geprüft, die in der sechsten Zeile in der zweiten und elften Spalte liegen. Dann sind die Prüfungen für insgesamt 16 Bauelemente 20 in den Prüfpositionen 26 für die zweite Prüfgruppe 602 abgeschlossen (die Prüfposition 26 für die Prüfgruppe 601 sind in 15 als gemusterte Rechtecke dargestellt).
Nach dem Abschluß der Prüfungen in der zweiten Prüfgruppe 602 wird der Wafer 701 an die Entladesektion übergeben, und der nächste Wafer wird von der ersten Prüfgruppe 601 oder einer unabhängigen Ladesektion für jede Prüfgruppe zugeführt.
Die Zeitpunkte der Prüfungen durch die erste Prüfgruppe 601 und die Zeitpunkte der Prüfungen durch die zweite Prüfgruppe 602 sind in den jeweiligen Bewegungseinrichtungen durch die Hauptsteuerung MC (nicht gezeigt) synchronisiert, und die Prüfungen werden gleichzeitig durchgeführt.
Wenn die Prüfungen an den Bauelementen 20 auf dem Wafer 701 in der oben erläuterten Weise durchgeführt werden, durch Aufteilen einer Prüfgruppe in die erste Prüfgruppe 601 zum Prüfen von Bauelementen im mittleren Bereich des Wafers 701 und die zweite Prüfgruppe 602 zum Prüfen von Bauelementen 20 in der Nähe des äußeren Randes, können Prüfpositionen sichergestellt werden, die der Anzahl von 32 gleichzeitigen Messungen nahekommen. Es wird eine hohe Prüfeffizienz erreicht, insbesondere bei Prüfungen an Bauelementen in der Nähe des äußeren Randes auf dem Wafer 701, wo eine der Anzahl gleichzeitiger Messungen entsprechende Anzahl von Prüfpositionen manchmal nicht erreicht werden kann.
Bei dem obigen Ausführungsbeispiel wurde ein Verfahren eingesetzt, bei dem der Wafer 701 von einem Greifkopf erfaßt und ein mit dem Greifkopf versehener beweglicher Kopf bewegt wurde, doch ist die Erfindung nicht auf dieses Verfahren beschränkt, sondern es ist auch ein Verfahren denkbar, bei dem der Wafer 701 festgehalten wird und die Position der Prüfgruppen in Bezug auf die Bauelemente 20 gesteuert wird.
Die oben erläuterten Ausführungsformen wurden beschrieben, um das Verständnis der Erfindung zu erleichtern, und sollen die vorliegende Erfindung nicht beschränken. Die in den obigen Ausführungsformen dargestellten Elemente umfassen somit alle konstruktiven Abwandlungen und Äquivalente, die zum technischen Rahmen der vorliegenden Erfindung gehören.
Zum Beispiel ist der Fall der ersten Ausführungsform auf ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente anwendbar, das für ein Verfahren vorgesehen ist, bei dem der gesamte Prüfkopf 100 mit einer Kammer bedeckt ist, um die Prüfung in einem Zustand durchzuführen, in dem eine thermische Beanspruchung ausgeübt wird, oder für andere Verfahren, und das Prüfgerät nach der vorliegenden Erfindung schließt diese Fälle ein.
Auch die Anzahl der Kontaktgruppen in dem Prüfgerät und die Anzahl und die Anordnung der Kontaktbereiche in den jeweiligen Kontaktgruppen sind nicht auf die oben genannten Zahlen beschränkt, und die Abfolge der Prüfungen für die Anordnung schließt alle optimalen Anzahlen ein, die sich aus der Anzahl und Anordnung der Bauelemente 20 auf dem Fördermedium 10, dem Produktionsplan etc. herleiten lassen.
Die Anzahl gleichzeitiger Messungen in den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die obigen Anzahlen beschränkt, sondern es können auch 2ⁿ gleichzeitige Messungen vorgesehen sein.
ZUSAMMENFASSUNG
Prüfgerät für elektronische Bauelemente (20), zur Durchführung einer Prüfung durch Andrücken von Eingangs/Ausgangs-Kontakten der zu prüfenden Bauelemente (20) gegen Kontaktbereiche (110a) eines Prüfkopfes, mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung, die die zu prüfenden Bauelemente (20) auf einem Fördermedium (11, 12, 13) hält, mit:
mehreren Kontaktgruppen (111, 112, 113), die jeweils einen Satz von Kontaktbereichen (110a) aufweisen, an dem Prüfkopf und
Bewegungseinrichtungen (X, Y, Z, θ), die in der Lage sind, das mit den Bauelementen (20) beladene Fördermedium (11, 12, 13) unabhängig zu den Kontaktgruppen (111, 112, 113) zu bringen.

Claims

Prüfgerät für elektronische Bauelemente (20), zur Durchführung einer Prüfung durch Andrücken von Eingangs/Ausgangs-Kontakten der zu prüfenden Bauelemente (20) gegen Kontaktbereiche (110a) eines Prüfkopfes (100), mit Hilfe einer Bewegungseinrichtung (201, 202, 203), die die zu prüfenden Bauelemente (20) auf einem Fördermedium (10; 701) hält, mit: mehreren Kontaktgruppen (111, 112, 113), die jeweils einen Satz von Kontaktbereichen (110a) aufweisen, an dem Prüfkopf (100) und Bewegungseinrichtungen (201, 202, 203), die in der Lage sind, das mit den Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10; 701) unabhängig zu den Kontaktgruppen (111, 112, 113) zu bringen.
Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem das mit den Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10; 701) die Form eines Streifens oder Wafers hat.
Prüfgerät nach Anspruch 1 oder 2, mit einer Steuereinrichtung (MC, SC1, SC2, SC3), die, wenn das Ende eines Loses der zu prüfenden Bauelemente (20) erreicht ist, die Prüfung der verbleibenden Bauelemente (20) auf dem Fördermedium (10) in kürzester Zeit abschließt.
Prüfgerät nach Anspruch 3, bei dem, wenn sich das mit den Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10) bereits auf der Kontaktgruppe (111) befindet, wenn das Ende des Loses der zu prüfenden Bauelemente erreicht wird, die Steuereinrichtung die bereits laufende Prüfung in dieser Kontaktgruppe abbricht und einen Befehl ausgibt, das mit den Bauelementen beladene Fördermedium zu einer anderen Kontaktgruppe (112) zu überführen, bei der die Prüfungen bereits abgeschlossen sind und die eine größere Anzahl von Kontaktbereichen (110a) hat.
Prüfgerät nach Anspruch 3 oder 4, bei dem, wenn das Ende eines Loses der zu prüfenden Bauelemente erreicht wird, die Steuereinrichtung einen Befehl ausgibt, zu welcher Kontaktgruppe das mit den verbleibenden Bauelementen (23) beladene Fördermedium (10) zuzuführen ist, auf der Grundlage der Anzahl der zu prüfenden Bauelemente (23) auf diesem Fördermedium, der Anzahl der Kontaktbereiche (110a) in den jeweiligen Kontaktgruppen (111, 112) und der Rüstzeit bis zur Prüfung.
Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem jede der Bewegungseinrichtungen (201, 202, 203) das mit den Bauelementen (20) beladene Fördermedium (10) erfaßt und von einer Ladeposition (LD) für die ungeprüften Bauelemente zu einer entsprechenden Kontaktgruppe überführt.
Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem jede der Bewegungseinrichtungen (201, 202, 203) das mit den Bauelementen beladene Fördermedium (10) erfaßt und von der betreffenden Kontaktgruppe zu einer Ladeposition (UL) für geprüfte Bauelemente überführt.
Prüfgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem die Summe der Anzahlen der Kontaktbereiche (110a) der mehreren Kontaktgruppen (112, 112, 113) des Prüfkopfes 2ⁿ beträgt, wobei n eine natürliche Zahl ist.
Prüfgerät nach Anspruch 8, bei dem n = 5 ist.
Prüfgerät nach Anspruch 8, bei dem n = 6 ist.
Verfahren zum Prüfen von elektronischen Bauelementen (20) mit einem Prüfkopf (100), der mehrere Kontaktgruppen (111, 112, 113) aufweist, die durch Sätze von Kontaktbereichen (110a) gebildet werden, wobei mehrere Fördermedien (10, 11, 12, 13; 701), die mit zu prüfenden Bauelementen (20) beladen sind, zu einem gegebenen Zeitpunkt geprüft werden, indem Eingangs/Ausgangs-Kontakte der Bauelemente gegen die Kontaktbereiche (110a) des Prüfkopfes angedrückt werden, wobei die Fördermedien unabhängig voneinander zu den jeweiligen Kontaktgruppen bewegt werden.
Verfahren nach Anspruch 11, bei dem, wenn das Ende eines Loses von zu prüfenden Bauelementen erreicht ist, die Prüfungen an verbleibenden Bauelementen auf den Fördermedien in kürzester Zeit abgeschlossen werden.
Prüfgerät nach Anspruch 12, bei dem, falls ein mit zu prüfenden Bauelementen beladenes Fördermedium sich bereits auf der Kontaktgruppe befindet, wenn das Ende des Loses erreicht ist, die bereits laufende Prüfung an den Bauelementen in dieser Kontaktgruppe abgebrochen wird und das mit den Bauelementen beladene Fördermedium zu einer anderen Kontaktgruppe bewegt wird, die die Prüfungen bereits abgeschlossen hat und eine größere Anzahl von Kontaktbereichen aufweist.
Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, mit Ausgabe eines Befehls zur Entscheidung, zu welcher Kontaktgruppe das Fördermedium, das mit den verbleibenden, noch zu prüfenden Bauelementen beladen ist und noch zu einer Kontaktgruppe zuzuführen ist, zugeführt werden soll, wenn das Ende des Loses erreicht ist, auf der Grundlage der Anzahl der zu prüfenden Bauelemente auf dem Fördermedium, der Anzahl der Kontaktbereiche in den jeweiligen Kontaktgruppen und der Rüstzeit bis zur Prüfung.
Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, bei dem die Summen der Anzahlen der Kontaktbereiche der mehreren Kontaktgruppen in dem Prüfkopf 2ⁿ ist, wobei n eine natürliche Zahl ist.
Verfahren nach Anspruch 15, bei dem n = 5 ist.
Verfahren nach Anspruch 15, bei dem n = 6 ist.