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DE10231140A1 - Optoelectronic component with electrically conductive organic material and method for producing the component - Google Patents

Optoelectronic component with electrically conductive organic material and method for producing the component Download PDF

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DE10231140A1
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strip electrodes
optoelectronic component
organic material
component according
electrically conductive
Prior art date
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Withdrawn
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DE10231140A
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German (de)
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Michael Dipl.-Ing. Niggemann
Andreas Dr. Gombert
Wolfgang Dipl.-Ing. Graf
Andreas Dr. Hinsch
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Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
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Abstract

Beschrieben wird ein optoelektronisches Bauelement mit elektrisch leitfähigem organischem Material und mit wenigstens zwei voneinander beabstandet angeordneten Streifenelektroden, die ein Streifenelektroden-Paar bilden und zwischen denen wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist. Ferner wird ein Verfahren zur Herstellung des Bauelementes beschrieben. DOLLAR A Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass mehr als zwei voneinander beabstandet, stapelförmig angeordnete Streifenelektroden derart angeordnet sind, dass die Steifenelektroden wenigstens zwei Streifenelektroden-Paare bilden, zwischen deren Streifenelektroden jeweils die wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist.An optoelectronic component is described with electrically conductive organic material and with at least two strip electrodes arranged at a distance from one another, which form a pair of strip electrodes and between which at least one layer of the electrically conductive organic material is provided. A method for producing the component is also described. DOLLAR A The invention is characterized in that more than two spaced-apart, stacked strip electrodes are arranged in such a way that the strip electrodes form at least two pairs of strip electrodes, between the strip electrodes of which at least one layer of the electrically conductive organic material is provided.

Description

Technisches GebietTechnical field

Die Erfindung bezieht sich auf ein optoelektronisches Bauelement mit elektrisch leitfähigem organischem Material und mit wenigstens zwei voneinander beabstandet angeordneten Streifenelektroden, die ein Streifenelektroden-Paar bilden und zwischen denen wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist.The invention relates to a optoelectronic component with electrically conductive organic Material and with at least two spaced apart Strip electrodes that form a pair of strip electrodes and between them at least one layer of the electrically conductive organic material is provided.

Unter der Bezeichnung "optoelektronische Bauelemente" sind grundsätzlich sowohl Solarzellen zur Umwandlung elektromagnetischer Strahlungsenergie in elektrische Energie, als auch Leuchtdioden zu verstehen, die im umgekehrten Sinne elektrische in elektromagnetische Energie, vorzugsweise in Form sichtbaren Lichtes umwandeln. Optoelektronische Bauelemente der vorstehend genannten Gattung, die anstelle einer aus Halbleitermaterial bestehenden photoaktiven Schicht eine elektrisch leitfähige, organische, vorzugsweise polymere Materialschicht vorsehen, vermögen derzeit zwar nicht an jene energetischen Wirkungsgrade heranreichen, die mit konventionellen, ausschließlich auf Halbleitermaterialien beruhenden optoelektronischen Bauelementen erzielbar sind, doch zeichnen sich eben jene, neuartigen optoelektronischen Bauelemente durch ihre überaus preisgünstigen Materialien und Herstellungsmöglichkeiten aus, wodurch sie zunehmend auf wirtschaftliches Interesse stoßen.Under the name "optoelectronic components" are basically both Solar cells for converting electromagnetic radiation energy to understand in electrical energy, as well as light emitting diodes in the opposite sense electrical into electromagnetic energy, preferably convert it into visible light. Optoelectronic Components of the aforementioned type, which instead of one an electrically photoactive layer consisting of semiconductor material conductive, Organic, preferably polymeric material layers are currently capable not reach those energetic efficiencies that with conventional, exclusively optoelectronic components based on semiconductor materials are achievable, but it is precisely those new types of optoelectronic Components by their extremely cheapest Materials and manufacturing options from which they are increasingly of economic interest.

In 1b ist ein typischer Schichtaufbau einer organischen Leuchtdiode (OLED) dargestellt, der ebenso auch repräsentativ für eine Schichtenabfolge organischer Photo- bzw. Solarzellen ist. So befindet sich eine aktive organische Schicht 1 zwischen zwei Elektrodenflächen 2, 3, die zumindest im Falle von Solarzellen jeweils über unterschiedliche elektrische Austrittsarbeiten verfügen. Wenigstens eine der beiden Elektroden ist optisch transparent und gewährleistet das Austreten bzw. Eintreten von Strahlung hv. Im Falle des bekannten Schichtaufbaus gemäß 1b sei angenommen, dass die optisch transparente Elektrode 3 auf einem ebenso Lichttransparenten Trägersubstrat T aufgebracht ist. Typischerweise besteht die lichttransparente Elektrode aus einer kommerziell erhältlichen ITO-Schicht (Zinndotiertes Indiumoxid), die vorzugsweise auf einem Glassubstrat T im Wege eines typischen Aufdampf- bzw. Sputterverfahrens aufgebracht ist. Die photoaktive, organische Materialschicht 1, die aus Polymeren, wie beispielsweise PPV, Poly-Para-Phenylen-Vinylen oder Polythiophen-Derivaten sowie Fulleren-Derivaten wie beispielsweise C60 besteht, wird durch Spin-Coating oder Rakeln auf der abgeschiedenen ITO-Schicht 3 aufgebracht. Typische Schichtdicken der organischen Schicht 1 liegen im Bereich von 100 nm bis wenigen 100 nm. Letztlich wird als Gegenelektrode 2 zumeist eine Aluminiumschicht auf der optisch aktiven, organischen Materialschicht 1 aufgedampft.In 1b A typical layer structure of an organic light-emitting diode (OLED) is shown, which is also representative of a layer sequence of organic photo or solar cells. So there is an active organic layer 1 between two electrode surfaces 2 . 3 which, at least in the case of solar cells, each have different electrical work functions. At least one of the two electrodes is optically transparent and ensures the emission or entry of radiation hv. In the case of the known layer structure according to 1b assume that the optically transparent electrode 3 is applied to an equally light-transparent carrier substrate T. The light-transparent electrode typically consists of a commercially available ITO layer (tin-doped indium oxide), which is preferably applied to a glass substrate T by means of a typical vapor deposition or sputtering process. The photoactive, organic material layer 1 , which consists of polymers such as PPV, poly-para-phenylene-vinylene or polythiophene derivatives as well as fullerene derivatives such as C 60 , is by spin coating or knife coating on the deposited ITO layer 3 applied. Typical layer thicknesses of the organic layer 1 are in the range of 100 nm to a few 100 nm. Ultimately, the counter electrode 2 mostly an aluminum layer on the optically active, organic material layer 1 evaporated.

Der vorstehende Schichtaufbau für optoelektronische Bauelemente weist jedoch eine Reihe von Nachteilen auf: Aufgrund einer nur begrenzten Ladungsträgerbeweglichkeit für Löcher und Elektronen innerhalb der organischen Materialschicht 1 sind einer beliebigen Schichtdickenwahl für die Schicht 1 technische Grenzen gesetzt, die sich lediglich auf Schichtdicken von wenigen 100 nm beschränken. Größere Schichdicken wären jedoch in Hinblick auf ein verbessertes Absorptionsvermögen für den Solarzellenbetrieb wünschenswert.However, the above layer structure for optoelectronic components has a number of disadvantages: due to only limited charge carrier mobility for holes and electrons within the organic material layer 1 are any layer thickness selection for the layer 1 set technical limits that are only limited to layer thicknesses of a few 100 nm. Larger layer thicknesses would, however, be desirable in view of an improved absorption capacity for solar cell operation.

Treten zudem herstellungsbedingt innerhalb der auf der ITO-Schicht 3 abgeschiedenen organischen Schicht 1 Diskontinuitäten, bspw. in Form von Durchgangslöchern, sogenannte Pinholes, auf, so können diese im Rahmen eines Metall-Abscheideprozesses zur Herstellung der Elektrodenfläche 2 ebenso mit elektrisch leitfähigem Material ausgefüllt werden, wodurch letztlich die Kurzschlussgefahr zwischen den Elektroden 2 und 3 erhöht wird.In addition, due to manufacturing, occur within the ITO layer 3 deposited organic layer 1 Discontinuities, for example in the form of through holes, so-called pinholes, can be found in a metal deposition process for the production of the electrode surface 2 can also be filled with electrically conductive material, which ultimately creates the risk of a short circuit between the electrodes 2 and 3 is increased.

Darüber hinaus ist die erforderliche transparente ITO-Elektrode 3, über die der Lichteintritt im Falle des Solarzelle sowie die Lichtemission im Falle der Leuchtdiode erfolgt, ein entscheidender Kostenfaktor und schränkt darüber hinaus die Variabilität bei der freien Elektrodenmaterialwahl bezüglich elektrischer Austrittsarbeit erheblich ein.In addition, the required transparent ITO electrode 3 , through which the light enters in the case of the solar cell and the light emission in the case of the light-emitting diode, is a decisive cost factor and moreover limits the variability in the free choice of electrode material with regard to electrical work function.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein gattungsgemäßes optoelektronisches Bauelement mit elektrisch leitfähigem organischen Material und mit wenigstens zwei voneinander beabstandet angeordneten Streifenelektroden, die ein Streifenelektroden-Paar bilden und zwischen denen wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist, derart weiterzubilden, dass die optoelektronischen Eigenschaften des optoelektronischen Bauelementes verbessert werden sollen. Im einzelnen gilt es nach Lösungen zu suchen, um die kostenintensive ITO-Schicht durch günstigere Varianten zu ersetzen, wodurch letztlich auch der Freiheitsgrad für eine größere Materialwahl für die Elektrodenschichten geschaffen werden soll. Für die Betriebsweise des eingangs beschriebenen Schichtaufbaus sowohl als Solarzelle als auch als Leuchtdiode gilt es in beiden Fällen die energetischen Wirkungsgrade zu optimieren sowie deren Herstellkosten zu senken. In Verbindung mit dem Wunsch nach geringeren Herstellungskosten gilt es ebenso, eine Verfahrenstechnik anzugeben, mit der das optoelektronische Bauelemente unter wirtschaftlichem sowie industriellen Aspekten herstellbar ist.The invention is based on the object generic optoelectronic Component with electrically conductive organic material and with at least two spaced apart Strip electrodes that form a pair of strip electrodes and between which at least one layer of the electrically conductive organic Material is provided to develop such that the optoelectronic Properties of the optoelectronic component can be improved should. In particular, it is necessary to look for solutions to the cost-intensive ITO layer through cheaper To replace variants, which ultimately also means the degree of freedom for one greater choice of materials for the electrode layers to be created. For the operation of the layer structure described above both as a solar cell and as a light-emitting diode, it applies in both cases optimize energy efficiency and their manufacturing costs to lower. In connection with the desire for lower manufacturing costs It is also important to specify a process technology with which the optoelectronic Components from an economic and industrial point of view can be produced.

Die Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe ist im Anspruch 1 angegeben. Gegenstand des Anspruches 25 ist ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauelementes, das vorzugsweise als Solarzelle sowie auch als Leuchtdiode einsetzbar ist.The solution to the problem on which the invention is based is specified in claim 1. Ge The subject matter of claim 25 is a method for producing an electronic component according to the invention, which can preferably be used as a solar cell and also as a light-emitting diode.

Die der Erfindung zugrundeliegende Idee setzt sich über das bisher übliche Durchstrahlungsprinzip bei optoelektronischen Bauelementen hinweg, nach dem die Durchstrahlungsrichtung stets senkrecht zu den Bauelementschichten orientiert ist und deshalb wenigstens eine lichttransparente Elektrode, vorzugsweise eine ITO-Elektrode, erforderlich ist. In Abkehr hierzu wird erfindungsgemäß ein neuartiger Aufbau bzw. eine neuartige Zellarchitektur für organische Photo- bzw. Solarzellen sowie organische Leuchtdioden vorgeschlagen, die wenigstens zwei, vorzugsweise eine Vielzahl von stapelförmig übereinander, jeweils gegenseitig beabstandet angeordnete Streifenelektroden vorsieht, die zu Streifenelektroden-Paaren gruppierbar sind, zwischen deren Streifenelektroden jeweils wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist. Charakteristisch für diesen neuartigen Elektrodenaufbau für ein optoelektronisches Bauelement ist die durch die stapelförmige Streifenelektrodenanordnung bedingte Betriebsweise des Bauelementes dergestalt, dass sich das mit der elektrisch leitfähigen, optisch aktiven, organischen Materialschicht in Wechselwirkung tretende Licht parallel zu den Streifenelektrodenflächen innerhalb der organischen Materialschicht ausbreitet. Dies führt letztlich dazu, dass das mit der organischen Materialschicht in Wechselwirkung tretende Licht ohne Vorsehen jeglicher Zwischenschichten über die Seitenkanten in die zwischen beiden Streifenelektrodenflächen eingeschlossene, organische Materialschicht eintreten bzw. aus dieser abgestrahlt werden kann. Hierdurch eröffnet sich eine Reihe von Vorteilen: Trotz der materialbedingten verhältnismäßig geringen Ladungsträgerbeweglichkeit von geeigneten, organischen Materialien, ist die Schichttiefe, längs der im Falle einer Solarzelle Lichtabsorption innerhalb der organischen Schicht stattfindet, nahezu beliebig groß zu wählen, zumal bei der parallelen zu den Streifenelektrodenflächen gerichteten Durchstrahlung die für die Absorption relevante Schichttiefe nicht vom Elektrodenabstand, sondern von der Elektrodenlänge bestimmt ist. Hingegen bleibt der Elektrodenabstand bezüglich der Ladungsträgerbeweglichkeit nach wie vor relevant und entspricht typischerweise der Schichtdicke der organischen Materialschicht von konventionellen organischen Solarzellen.The basis of the invention Idea prevails the usual so far Radiographic principle in optoelectronic components, after which the radiation direction is always perpendicular to the component layers is oriented and therefore at least one light-transparent electrode, preferably an ITO electrode, is required. In turn, according to the invention, a novel one Construction or a new type of cell architecture for organic photo or solar cells as well as organic light-emitting diodes, which have at least two, preferably a plurality of stacked one above the other, each mutually provides spaced strip electrodes that form pairs of strip electrodes can be grouped, at least between their strip electrodes a layer of the electrically conductive organic material is provided. Characteristic of this new type of electrode structure for a The optoelectronic component is the stacked strip electrode arrangement conditional mode of operation of the component such that the with the electrically conductive, optically active, organic material layer interacting Light parallel to the stripe electrode surfaces within the organic Spreads material layer. This ultimately leads to that light interacting with the organic material layer without providing any intermediate layers over the side edges in the organic trapped between two strip electrode surfaces Enter material layer or can be emitted from this. This opened there are a number of advantages: Despite the material-related relatively small Carrier mobility of suitable organic materials, the layer depth is along the in the case of a solar cell, light absorption within the organic Layer takes place to choose almost any size, especially with the parallel to the strip electrode surfaces directed radiation for the absorption-relevant layer depth not from the electrode distance, but from the electrode length is determined. In contrast, the electrode spacing remains with respect to the Carrier mobility still relevant and typically corresponds to the layer thickness the organic material layer of conventional organic Solar cells.

Um eine möglichst großflächige, für den Fall einer Solarzelle zur Verfügung stehende Beleuchtungsfläche aus elektrisch leitfähigen, organischen Material zu erhalten, wird erfindungsgemäß eine Vielzahl nebeneinander angeordnete Flächenelektroden-Paare mit jeweils dazwischen befindlichem organischen Material vorgesehen, deren Anzahl und Anordnung grundsätzlich beliebig dimensionierbar und skalierbar sind.To be as large as possible, in the case of a solar cell to disposal standing lighting surface made of electrically conductive, Obtaining organic material is a variety according to the invention juxtaposed surface electrode pairs each with organic material in between, the number of which is provided and arrangement basically are freely dimensionable and scalable.

Da die Lichtausbreitungscharakteristik innerhalb des neuartigen optoelektronischen Bauelementes die Verwendung optisch transparenter Elektrodenschichten, insbesondere die Verwendung von Indium-Zinn-Oxid (ITO) als transparentes Elektrodenmaterial, überflüssig macht, verbessern sich durch den Wegfall dieses bisherigen Zwangserfordernis automatisch die Auswahlmöglichkeiten erheblich für Elektrodenmaterialien, insbesondere in Hinblick auf günstige Elektrodenpaar-Materialien mit unterschiedlichen elektrischen Austrittsarbeiten für den Aufbau von Solarzellen.Because the light propagation characteristic the use within the novel optoelectronic component optically transparent electrode layers, especially the use of indium tin oxide (ITO) as a transparent electrode material, makes it superfluous, improve by eliminating this previous requirement automatically the selection options significant for electrode materials, especially with regard to cheap Electrode pair materials with different electrical work functions for the construction of Solar cells.

Wie im weiteren noch im einzelnen ausgeführt wird, ermöglicht die erfindungsgemäße Zeltarchitektur ein neuartiges Herstellverfahren, wodurch insbesondere die Kurzschlussgefahr durch vorhandene Pinholes innerhalb der organischen Materialschicht vollkommen ausgeschlossen werden kann.As in more detail below accomplished is made possible the tent architecture according to the invention a novel manufacturing process, which in particular the risk of short circuit due to existing pinholes within the organic material layer can be completely excluded.

So sieht ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelementes der vorstehenden erfindungsgemäßen Art in einem ersten Schritt zunächst die Herstellung der stapelförmig angeordneten Streifenelektroden vor. Erst nach Fertigstellen der Streifenelektrodenanordnung, zu deren Ausbildung Metallabscheidungsprozesse erforderlich sind, wird das elektrisch leitfähige, organische Material in die entsprechend vorgesehenen freien Zwischenräume zwischen den Streifenelektroden-Paaren eingebracht. Zwar kann auch auf diese Weise die Ausbildung von sich innerhalb der organischen Materialschicht ausbildenden Diskontinuitäten, beispielsweise in Form von Durchgangsöffnungen, nicht vollständig vermieden werden, doch ist verfahrensbedingt ausgeschlossen, dass etwaige vorhandene Pinholes innerhalb der organischen Materialschicht mit elektrisch leitfähigem Elektrodenmaterial nachträglich aufgefüllt werden können, zumal die Herstellung der Streifenelektroden und damit jegliche Metallabscheidungen bereits im vorangegangenen Verfahrensschritt abgeschlossen sind.A method according to the invention provides for Production of an optoelectronic component of the above Art in a first step first the manufacture of the stacked arranged strip electrodes in front. Only after completing the Strip electrode arrangement, for their formation metal deposition processes are required, the electrically conductive, organic material in the correspondingly provided free spaces between the pairs of strip electrodes brought in. In this way too, training can be done by itself discontinuities forming within the organic material layer, for example in the form of through openings, not completely can be avoided, but due to procedural reasons it is excluded that any pinholes present within the organic material layer with electrically conductive Subsequent electrode material filled can be especially since the manufacture of the strip electrodes and thus any Metal deposits already in the previous process step Are completed.

Weitere Vorteile des erfindungsgemäß ausgebildeten optoelektronischen Bauelementes sowie vorteilhafte Ausführungsbeispiele und insbesondere die Beschreibung der erfindungsgemäßen Herstellung eines derartigen optoelektronischen Bauelementes werden nachstehend unter Bezugnahme auf die Ausführungsbeispiele beschrieben.Further advantages of the designed according to the invention optoelectronic component and advantageous exemplary embodiments and in particular the description of the manufacture according to the invention of such an optoelectronic component are shown below with reference to the embodiments described.

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exemplarisch beschrieben. Es zeigen:The invention is hereinafter without restriction the general inventive concept based on exemplary embodiments described by way of example with reference to the drawing. Show it:

1a stapelförmiger Elektrodenaufbau eines optoelektronischen Bauelementes, 1a stack-shaped electrode structure of an optoelectronic component,

1b konventioneller Schichtaufbau eines bekannten optoelektronischen Bauelementes (Stand der Technik), 1b conventional layer structure of a known optoelectronic component (prior art),

2a,b elektrische Verschaltungsmöglichkeiten eines optoelektronischen Bauelementes, 2a . b electrical connection options of an optoelectronic component,

3 Streifenelektroden-Paare mit einer Vielzahl von p- und n-leitenden organischen Materialschichten, 3 Strip electrode pairs with a multiplicity of p- and n-conducting organic material layers,

4 Elektrodenstruktur für eine organische Leuchtdiode mit ausgerichteten photoaktiven Teilchen, 4 Electrode structure for an organic light-emitting diode with aligned photoactive particles,

5a, b Darstellung zur Schrägbedampfung, 5a . b Representation for oblique steaming,

6a,b Darstellungen zur Herstellung der stapelförmigen Streifenelektrodenanordnung, 6a . b Representations for the production of the stacked strip electrode arrangement,

7a–d Sequenzbilddarstellungen zur Herstellung elektrisch kontaktierter Streifenelektroden, 7a-d Sequence image representations for the production of electrically contacted strip electrodes,

8 sowie 9a bis c Sequenzbilddarstellungen zur Fertigstellung eines erfindungsgemäß ausgebildeten optoelektronischen Bauelementes. 8th such as 9a to c Sequence image representations for the completion of an optoelectronic component designed according to the invention.

Wege zur Ausführung der Erfindung, gewerbliche VerwendbarkeitWays to Execute the Invention, industrial applicability

In Gegenüberstellung zu dem bekannten Schichtaufbau gemäß 1b bsieht die erfindungsgemäß ausgebildete Zeltarchitektur eines optoelektronischen Bauelements eine Vielzahl stapelförmig vertikal bzw. nebeneinander angeordneter Streifenelektroden 4, 5 vor, die beide im Unterschied zum bekannten Ausführungsbeispiel gemäß 1b aus für Solarstrahlung nicht transparente, elektrisch leitfähige Materialien bestehen. Hierdurch eröffnet sich eine große Bandbreite und Auswahlmöglichkeit für geeignete Elektrodenmaterialien, die in Bezug auf ihre elektrische Austrittsarbeiten je nach Materialkombinationen frei wählbar sind. Die Vielzahl der stapelförmig angeordneten Streifenelektroden 4, 5 bilden Streifenelektroden-Paare P, deren jeweils zugehörige Streifenelektroden 4, 5 elektrisch leitfähiges, organisches Material 1 einschließen. Das organische Material 1 füllt den durch die jeweiligen Streifenelektroden 4, 5 begrenzten Zwischenraum eines Streifenelektroden-Paars P vollständig aus und schließt beidseitig mit den jeweiligen Begrenzungskanten der Streifenelektroden 4, 5 bündig ab.In contrast to the known layer structure according to 1b The tent architecture of an optoelectronic component designed according to the invention has a plurality of stacked strip electrodes arranged vertically or next to one another 4 . 5 before, both in contrast to the known embodiment according to 1b consist of electrically conductive materials that are not transparent to solar radiation. This opens up a wide range and selection options for suitable electrode materials, which can be freely selected in terms of their electrical work functions depending on the material combinations. The large number of strip electrodes arranged in a stack 4 . 5 form strip electrode pairs P, their respective associated strip electrodes 4 . 5 electrically conductive, organic material 1 lock in. The organic material 1 fills the through the respective strip electrodes 4 . 5 limited space between a pair of strip electrodes P completely and closes on both sides with the respective boundary edges of the strip electrodes 4 . 5 flush.

Ferner sieht der Schichtaufbau gemäß 1a elektrisch und optisch inaktive Zwischenschichten 6 vor, durch die jeweils zwei benachbarte Streifenelektroden-Paare P getrennt sind. Die Zwischenschichten 6 rühren vom Herstellungsprozess her und bestehen vorzugsweise aus jenem Material, das als strukturiertes Trägersubstrat zur Herstellung der Streifenelektrodenanordnung 4, 5 dient. Hierzu wird im weiteren noch im einzelnen eingegangen.Furthermore, the layer structure looks like 1a electrically and optically inactive intermediate layers 6 before, by which two adjacent strip electrode pairs P are separated. The intermediate layers 6 originate from the manufacturing process and preferably consist of the material used as a structured carrier substrate for manufacturing the strip electrode arrangement 4 . 5 serves. This will be discussed in more detail below.

Durch die Vielfachanordnung der stapelförmig aneinander gereihten Streifenelektroden-Paare P in der in 1a dargestellten Weise ist eine frei zugängliche Übertrittsebene 7 geschaffen, über die Licht by in die einzelnen organischen Materialschichten 1 eintritt bzw. aus diesen ungehindert austritt. Dies gilt sowohl für die dargestellte Ober- als auch für die Unterseite der Schichtanordnung.Due to the multiple arrangement of the stacked strip electrode pairs P in the in 1a is a freely accessible transition level 7 created by the light by in the individual organic material layers 1 enters or exits unhindered. This applies to both the upper and the lower side of the layer arrangement shown.

Je nach verwendeten Elektrodenmaterialien sowie dem Einsatzzweck des optoelektronischen Bauelementes beispielsweise in Form einer Solarzelle oder einer Leuchtdiode, weisen die Streifenelektroden innerhalb eines Streifenelektroden-Paars P einen gegenseitigen Abstand b zwischen 300 nm und 1,5 μm auf. Die Erstreckung der Streifenelektroden normal zur Übertrittsebene 7 misst typischerweise wenigstens das 0,5-fache, vorzugsweise jedoch die doppelte Länge des Streifenelektrodenabstandes. Hierdurch können insbesondere in Anwendung des optoelektronischen Bauelementes als Solarzelle lange Absorptionswege für das durch die Übertrittsebene 7 in das organische Material einfallende Licht realisiert werden. Vorzugsweise werden die Streifenelektrodenabstände weitgehend konstant gewählt, doch können aufgrund verfahrensbedingter Fertigungstoleranzen Abweichungen mit Abstandsschwankungen von 5% auftreten.Depending on the electrode materials used and the intended use of the optoelectronic component, for example in the form of a solar cell or a light-emitting diode, the strip electrodes within a pair of strip electrodes P have a mutual spacing b between 300 nm and 1.5 μm. The extension of the strip electrodes normal to the transition plane 7 typically measures at least 0.5 times, but preferably twice the length of the strip electrode spacing. In this way, especially when using the optoelectronic component as a solar cell, long absorption paths for that through the transition level 7 light entering the organic material can be realized. The strip electrode distances are preferably chosen to be largely constant, but deviations with distance fluctuations of 5% can occur due to process-related manufacturing tolerances.

Wie im weiteren noch unter Bezugnahme auf 9 ausgeführt wird, sind in einer bevorzugten Ausführungsform auch die Zwischenschichten 6 gemäß 1a durch Vorsehen organischer Materialschichten ersetzbar. Im Falle der in 1a dargestellten Schichtabfolge sind die Schichtdicken der elektrisch und optisch inaktiven Zwischenschichten 6 vorzugsweise geringer gewählt, als die organischen Materialschichtdicken 6 innerhalb der Streifenelektroden-Paare P, um ein möglichst wirkungsvolles optoelektronisches Bauelement zur realisieren, dessen energetischer Wirkungsgrad letztlich von der Güte und Umfang der Energieumwandlung in den Volumenbereichen der organischen Materialschichten bestimmt ist.As further below with reference to 9 in a preferred embodiment, the intermediate layers are also executed 6 according to 1a replaceable by providing organic material layers. In the case of in 1a Layer sequence shown are the layer thicknesses of the electrically and optically inactive intermediate layers 6 preferably chosen less than the organic material layer thicknesses 6 within the strip electrode pairs P, in order to realize an optoelectronic component which is as effective as possible, the energy efficiency of which is ultimately determined by the quality and extent of the energy conversion in the volume regions of the organic material layers.

Mit der erfindungsgemäßen Vielfachanordnung der stapelförmig aneinander gereihten Streifenelektroden-Paare P, die bezogen auf die jeweils eingeschlossene organische Materialschicht 1 ein Aspektverhältnis von vorzugsweise 2 vorsehen, d.h. Verhältnis zwischen Länge 1 zu Breite b der Materialschicht 1, sowie ein möglichst kleines Tastverhältnis, d.h. Verhältnis zwischen der Gesamtstrukturbreite eines Streifenelektroden-Paars P und dem gegenseitigem Abstand zwischen zwei benachbarten Streifenelektroden-Paaren, ist es möglich, eine große optisch wirksame Oberfläche zu schaffen, über die Licht ungehindert in die Materialschicht 1 eintreten bzw. aus dieser austreten kann, wobei zugleich für eine große effektive Schichtdicke 1 gesorgt ist, die letztlich für eine erhöhte Absorption im Falle einer Solarzelle und eine effektive Lichterzeugung im Falle einer Leuchtdiode sorgt.With the multiple arrangement according to the invention of the stacked strip electrode pairs P, which are based on the respectively enclosed organic material layer 1 provide an aspect ratio of preferably 2, ie ratio between length 1 and width b of the material layer 1 , and the smallest possible duty cycle, ie the ratio between the overall structure width of a pair of strip electrodes P and the mutual distance between two adjacent pairs of strip electrodes, it is possible to create a large optically effective surface through which light can freely enter the material layer 1 can enter or leave this, at the same time for a large effective layer thickness 1 is taken care of, which ultimately ensures increased absorption in the case of a solar cell and effective light generation in the case of a light-emitting diode.

Auch ist es mit dem in 1a dargestellten Schichtaufbau möglich, eine teiltransparente Solarzelle zu realisieren, da auf den für Solarzellen typischen hochreflektierenden Rückseitenkontakt verzichtet werden kann. Vielmehr gestattet die Teiltransparenz der jeweiligen organischen Materialschichten 1 zwei oder mehrere derartiger Schichtstrukturen hintereinander zu verschalten. Somit lassen sich sogenannte Tandem-Solarzellen in einfacher Weise realisieren.It is also with the in 1a layer structure shown possible to realize a partially transparent solar cell, since the highly reflective back contact typical for solar cells can be dispensed with. Rather, the partial transparency of the respective organic material layers allows 1 two or more such layer structures interconnect. So-called tandem solar cells can thus be implemented in a simple manner.

Auch lassen sich durch die erfindungsgemäße stapelförmige Vielfachanordnung einzelner Streifenelektroden-Paare vollkommen neue Leistungsbereiche für den Betrieb von Solarzellen sowie auch für organische Leuchtdioden erschließen. Werden beispielsweise benachbart angeordnete Streifenelektroden-Paare P in der in 2a dargestellten Weise elektrisch in Reihe geschaltet, so ergeben sich in der Betriebsweise der optoelektronischen Bauelemente als organische Solarzellen weitaus höhere Spannungen als es mit herkömmlichen, mit konventioneller Planartechnologie aufgebaute Solarzellen möglich ist. Ebenso lassen sich organische Leuchtdioden mit dem erfindungsgemäßen, stapelförmigen Streifenelektrodenaufbau mit weitaus höheren Betriebsspannungen betreiben, als im Falle konventioneller organischer Leuchtdioden.The inventive stacked multiple arrangement of individual pairs of strip electrodes also opens up completely new power ranges for the operation of solar cells and also for organic light-emitting diodes. If, for example, adjacent pairs of strip electrodes P in the in 2a electrically connected in series as shown, the operation of the optoelectronic components as organic solar cells results in much higher voltages than is possible with conventional solar cells constructed with conventional planar technology. Organic light-emitting diodes can also be operated with the stacked strip electrode structure according to the invention with much higher operating voltages than in the case of conventional organic light-emitting diodes.

Überlegungen sowie auch bereits durchgeführte Versuche zeigen, dass durch vielfache, stapelförmige Hintereinanderschaltung von in Reihe geschalteter Streifenelektroden-Paare Betriebsspannungen erreicht werden, durch die das optoelektronische Bauelement selbst zerstört werden würde. Um derartig hohe Betriebsspannungen zu vermeiden, lassen sich einzelne oder bestimmte in Reihe geschaltete Gruppen von Streifenelektroden-Paaren parallel zueinander schalten, wie es schematisch aus der 2b hervorgeht. Die Parallelschaltung gemäß 2b führt zu einer interdigitalen Anordnung der einzelnen Streifenelektroden, an denen jeweils die gleiche elektrische Spannung anliegt. Beide dargestellten Verschaltungstypen gem. 2a und b lassen sich somit im Hinblick auf individuelle Schaltungsanforderungen, aber insbesondere zur Vermeidung überhöhter Spannungen, in geeigneter Weise miteinander kombinieren.Considerations as well as tests that have already been carried out show that multiple stacked series connection of strip electrode pairs connected in series achieves operating voltages which would destroy the optoelectronic component itself. In order to avoid such high operating voltages, individual or certain groups of strip electrode pairs connected in series can be connected in parallel with one another, as is shown schematically in FIG 2 B evident. The parallel connection according to 2 B leads to an interdigital arrangement of the individual strip electrodes, to which the same electrical voltage is applied. Both types of interconnection shown acc. 2a and b can thus be combined with one another in a suitable manner with regard to individual circuit requirements, but in particular to avoid excessive voltages.

Im Falle der Betriebsweise des erfindungsgemäß ausgeführten optoelektronischen Bauelementes als Solarzelle gilt es im einzelnen, die im Wege der lichtinduzierten Elektron-Loch-Paare innerhalb der organischen, photoaktiven Materialschicht 1 zu trennen und über die jeweiligen Streifenelektroden abzuführen, um auf diese Weise die an den Streifenelektroden anliegende Solarspannung abgreifen zu können. Um den Vorgang der Ladungsträgerauftrennung sowie -ableitung innerhalb des photoaktiven organischen Materials zu den jeweiligen Streifenelektroden zu verbessern, gilt es die Ladungsträgerbeweglichkeit der Elektronen sowie auch Löchern innerhalb der organischen Materialschicht zu optimieren. In diesem Zusammenhang verhilft der erfindungsgemäße Aufbau der Streifenelektrodenanordnung, aber insbesondere das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren, den vorstehend beschriebenen Ladungsträgertransport in vorteilhafter Weise zu beeinflussen. Wie eingangs bereits kurz erläutert, werden die einzelnen Streifenelektroden in einem ersten Verfahrensschritt vollständig hergestellt, so dass die Zwischenräume zwischen den Streifenelektroden eines Streifenelektroden-Paars in einem nachfolgendem Verfahrensschritt lediglich aufgefüllt werden müssen. Eine erste Verfahrensvariante sieht vor, fließfähiges, organisches Material – in aller Regel liegt das fließfähige Material als Gemisch in Verbindung mit einem Lösungsmittel vor, das nach Verflüchtigen des Lösungsmittels erstarrt – in die Zwischenräume der Streifenelektroden-Paare einzubringen, während zwischen den Streifenelektroden eines Streifenelektroden-Paars eine elektrische Spannung zur Erzeugung eines elektrischen Feldes anliegt. Noch während des fließfähigen Zustandes des organischen Materials richten sich die innerhalb des organischen Materials enthaltenen Polymerketten längs des elektrischen Feldes aus und verbleiben mit dieser Orientierung innerhalb der sich verfestigenden Polymermatrix. Eine derartige räumliche Ausrichtung der Polymerketten zwischen den Streifenelektroden innerhalb des organischen Materials längs der elektrischen Feldlinien führt letztlich zu einer Optimierung der Ladungsträgerbeweglichkeit im Hinblick auf Elektronen- und Löcherbeweglichkeit innerhalb des organischen Materials.In the case of the mode of operation of the optoelectronic component designed according to the invention as a solar cell, it is important in detail that the light-induced electron-hole pairs within the organic, photoactive material layer 1 to separate and dissipate via the respective strip electrodes in order to be able to tap the solar voltage applied to the strip electrodes. In order to improve the process of charge carrier separation and derivation within the photoactive organic material to the respective strip electrodes, it is important to optimize the charge carrier mobility of the electrons and also holes within the organic material layer. In this context, the structure of the strip electrode arrangement according to the invention, but in particular the manufacturing method according to the invention, helps to influence the charge carrier transport described above in an advantageous manner. As already briefly explained at the beginning, the individual strip electrodes are completely produced in a first method step, so that the gaps between the strip electrodes of a pair of strip electrodes only have to be filled in a subsequent method step. A first process variant provides that flowable, organic material - as a rule the flowable material is present as a mixture in combination with a solvent which solidifies after the solvent has evaporated - is introduced into the spaces between the strip electrode pairs, while between the strip electrodes of a strip electrode Pairs an electrical voltage to generate an electrical field. Even while the organic material is in the flowable state, the polymer chains contained within the organic material align themselves along the electrical field and remain with this orientation within the solidifying polymer matrix. Such a spatial alignment of the polymer chains between the strip electrodes within the organic material along the electrical field lines ultimately leads to an optimization of the charge carrier mobility with regard to electron and hole mobility within the organic material.

Eine alternative Variante zum Einbringen des organischen Materials in den Zwischenraum eines Streifenelektroden-Paars sieht das abwechselnde Einbringen p- und n-leitender organischer Materialschichten im Wege eines gezielten Aufdampfprozesses vor. So ist es möglich, durch abwechselndes Aufdampfen von p- und n-leitenden organischen Materialien, die aus der Gruppe der Oligomere stammen, die Zwischenräume zwischen zwei Streifenelektroden-Paaren schichtweise abwechselnd aufzufüllen. Die einzelnen p- und n-leitenden organischen Materialschichten werden senkrecht zu den beiden sich gegenüberliegenden Streifenelektroden jeweils eines Streifenelektroden-Paars abgeschieden. Einen derartigen schichtförmigen organischen Materialschichtaufbau ist in 3 dargestellt. Hierbei sind die Streifenelektroden-Paare P mit n- und p-leitenden organischen Schichten bündig aufgefüllt. Trifft Licht über die Übergangsebene 7 in die organische Schichtstruktur der jeweiligen Streifenelektroden-Paare, so werden innerhalb der organischen Materialschicht erzeugte Elektron-Loch-Paare durch das aufgrund der unterschiedlichen elektrischen Austrittsarbeiten der jeweiligen Streifenelektroden-Materialien bestehende Potenzialgefälle getrennt. Die Löcher werden längs der p-Schicht, die Elektronen längs der n-Schicht zu den jeweiligen Streifenelektroden abgeführt. Wesentlich hierbei ist die für beide Ladungsträgertypen in den jeweiligen Materialschichten verbesserte Ladungsträgerbeweglichkeit gegenüber konventionellen organischen Materialien.An alternative variant for introducing the organic material into the intermediate space of a pair of strip electrodes provides for the alternating introduction of p- and n-conducting organic material layers by means of a targeted vapor deposition process. It is thus possible, by alternately evaporating p- and n-conducting organic materials, which come from the group of oligomers, to fill in the interstices between two pairs of strip electrodes alternately in layers. The individual p- and n-type organic material layers are deposited perpendicular to the two opposite strip electrodes of a pair of strip electrodes. Such a layered organic material layer structure is shown in 3 shown. Here, the strip electrode pairs P are filled flush with n- and p-type organic layers. Strikes light across the transition plane 7 into the organic layer structure of the respective strip electrode pairs, electron-hole pairs generated within the organic material layer are separated by the potential gradient existing due to the different electrical work functions of the respective strip electrode materials. The holes are dissipated along the p-layer, the electrons along the n-layer to the respective strip electrodes. What is essential here is the improved mobility of the charge carriers in the respective material layers for both charge carrier types compared to conventional organic materials.

Zur Herstellung der einzelnen n- und p-leitenden organischen Materialschichten dienen zwei, die entsprechenden Schichtmaterialien aufweisende Verdampferquellen, die beide gegenüber der zu bedampfenden Streifenelektrodenanordnung positioniert sind und wechselweise durch eine entsprechende Shutter-Vorrichtung zur selektiven Bedampfung abgedeckt werden.To produce the individual n- and p-conducting organic material layers, two evaporator sources are used, which have the corresponding layer materials, both of which are opposite to the one to be steaming strip electrode arrangement are positioned and alternately covered by a corresponding shutter device for selective vapor deposition.

In gleicher Weise, in der die vorstehenden, vorteilhafte Effekte für eine verbesserte Ladungsträgerbeweglichkeit zur Realisierung einer Solarzellen genutzt werden, können diese auch für die Herstellung und den Betrieb organischer Leuchtdioden in Anwendung gebracht werden.In the same way as the above, advantageous Effects for improved carrier mobility can be used to implement solar cells also for the production and operation of organic light emitting diodes in use to be brought.

So führen auch bei der Herstellung organischer Leuchtdioden die gezielte Ausrichtung geeigneter asymmetrischer Moleküle oder Teilchen, die im fließfähigen organischen Material enthalten sind und deren durch ein vorgegebenes E-Feld bestimmte Orientierung und Ausrichtung auch im erstarrten Zusand des organischen Materials erhalten bleiben, zu vollkommen neuen Eigenschaften derartiger Leuchtdioden. In 4 ist ein schematisierter Querschnitt durch einen organischen Leuchtdiodenaufbau gezeigt, der im Zwischenraum zwischen den Streifenelektroden-Paaren eine organische Polymermatrix vorsieht, innerhalb der photoaktive Moleküle oder Teile 8 vorgesehen sind, die bei entsprechender elektrischer Anregung stark polarisiertes Licht emittieren. Sind wie im angegebenen Ausführungsbeispiel die Licht-emittierenden Teilchen 8 auf makroskopischer Ebene zueinander ausgerichtet, so emittiert die Fläche polarisiertes Licht. Im Vergleich zur Polarisierung durch Filterung von unpolarisiertem Licht ist dies eine sehr effiziente Art der Erzeugung von polarisiertem Licht. Voraussetzung für die Polarisierbarkeit der Teilchen 8 ist ein starkes Dipolmoment, das von bestimmten Nanokristallen erfüllt wird. Derartige Nanokristalle sind vorzugsweise CdSe- oder CdS-Nanokristalle, die im CdSe/P3HToder CsS/P3HAT-Mischungen enthalten sind. Derartige photoaktive Teilchen sind beispielsweise in dem Artikel von C. Chen „Photoluminescence from single CdSequantum rods", Journal of Luminescence 97 (2002), p. 205–211, beschrieben.In the production of organic light-emitting diodes, for example, the targeted alignment of suitable asymmetrical molecules or particles, which are contained in the flowable organic material and whose orientation and alignment, which are determined by a given E field, are retained even in the solidified state of the organic material, leading to completely new properties such LEDs. In 4 is a schematic cross section through an organic light emitting diode structure, which provides an organic polymer matrix in the space between the pairs of strip electrodes, within the photoactive molecules or parts 8th are provided which emit highly polarized light with appropriate electrical excitation. As in the exemplary embodiment given, are the light-emitting particles 8th Aligned at a macroscopic level, the surface emits polarized light. Compared to polarization by filtering unpolarized light, this is a very efficient way of generating polarized light. Prerequisite for the polarizability of the particles 8th is a strong dipole moment, which is fulfilled by certain nanocrystals. Such nanocrystals are preferably CdSe or CdS nanocrystals which are contained in the CdSe / P3HT or CsS / P3HAT mixtures. Such photoactive particles are described, for example, in the article by C. Chen "Photoluminescence from single CdSequantum rods", Journal of Luminescence 97 (2002), p. 205-211.

Da die Teilchen 8 herstellungsbedingt mit ihren Längsachse parallel zu den Feldlinien des elektrischen Feldes zwischen zwei Streifenelektroden ausgerichtet und somit orthogonal zu den Streifenelektrodenflächen orientiert sind, führt die stapelförmige oder vertikale Anordnung der Streifenelektroden idealisiert zu einer Polarisationsrichtung orthogonal zu den Streifenelektroden und somit orthogonal zum Normalenvektor der Übergangsebene 7 (siehe Pfeildarstellungen).Because the particles 8th Due to the manufacturing process, with their longitudinal axis parallel to the field lines of the electric field between two strip electrodes and thus oriented orthogonally to the strip electrode surfaces, the stacked or vertical arrangement of the strip electrodes ideally leads to a polarization direction orthogonal to the strip electrodes and thus orthogonal to the normal vector of the transition plane 7 (see arrow representations).

Liegt darüber hinaus die periodische Wiederkehr benachbart angeordneter Streifenelektroden-Paare in der Größenordnung der von den photoaktiven Teilchen emittierten Lichtwellenlänge, so ist das Emissionsverhalten einer derartig betriebenen Leuchtdiode durch die Dimensionierung der einzelnen Streifenelektroden-Paare und deren gegenseitige Beabstandung gezielt beeinflussbar. Hierbei können Beugungseffekte an der Übertrittsebene 7 bedingt durch die Streifenelektrodenbeabstandung ausgenutzt werden.In addition, if the periodic recurrence of adjacent pairs of strip electrodes is in the order of the light wavelength emitted by the photoactive particles, the emission behavior of a light-emitting diode operated in this way can be influenced in a targeted manner by dimensioning the individual pairs of strip electrodes and their mutual spacing. Diffraction effects can occur at the transition level 7 due to the strip electrode spacing.

Im weiteren wird auf das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren für das vorstehend beschriebene optoelektronische Bauelement im einzelnen eingegangen.Furthermore, the manufacturing process according to the invention is described for the optoelectronic component described above in detail.

Wie bereits erwähnt, gilt es in einem ersten Verfahrensschritt die Streifenelektrodenanordnung herzustellen, bevor organische Materialschichten in die entsprechenden Zwischenräume zwischen zwei benachbarten Streifenelektroden eingebracht werden. Zur Herstellung der Streifenelektrodenanordnung bedarf es einer gezielten Strukturierung eines Flächensubstrates, das als Grundstruktur vorzugsweise parallel verlaufende Rippenzüge aufweist. Zur Erzeugung eines derartigen linearen Oberflächenrelief-Gitters in Form parallel verlaufender Rippenzüge mit Strukturgrößen typischerweise im Mikrometerbereich, eignen sich photolithografische Verfahren, wie beispielsweise die Interferenzlithografie. Nach entsprechender Musterbildung innerhalb eines belichteten Photoresistes erfolgt zumeist eine galvanische Abformung in eine Nickeloberfläche, die letztlich als Prägewerkzeug zur Replikation der Mikrostruktur in Kunststoffe dient. Zur Herstellung derartig strukturierter Substratoberflächen eignen sich eine Reihe aus dem Stand der Technik bekannte Prozesstechniken, auf die an dieser Stelle im einzelnen nicht eingegangen wird.As already mentioned, it applies in a first process step manufacture the strip electrode assembly before layers of organic material in the corresponding spaces between two adjacent strip electrodes. One is required to produce the strip electrode arrangement targeted structuring of a flat substrate that serves as a basic structure preferably has parallel ribs. For generation of such a linear surface relief grating typically in the form of parallel ribs with structure sizes in the micrometer range, photolithographic processes are suitable, such as interference lithography. After corresponding Pattern formation takes place within an exposed photoresist mostly a galvanic impression in a nickel surface, the ultimately as an embossing tool serves to replicate the microstructure in plastics. For the production A number of such structured substrate surfaces are suitable Process techniques known from the prior art, to which this point is not dealt with in detail.

In den 5a und b ist jeweils ein im Querschnitt gezeigtes Beispiel eines strukturierten Flächensubstrates 6 dargestellt, das über seine Substratoberfläche emporragende, rippenartige, parallel zueinander verlaufende Erhebungen 61 aufweist. Die einzelnen Erhebungen 61 weisen parallel zueinander orientierte Seitenflanken auf, die im Wege einer metallischen Schrägbedampfung nacheinander mit entsprechenden Metallschichten beaufschlagt werden. Die Schrägbedampfung der Erhebungen 61 erfolgt in zwei Schritten, einem ersten Schritt, in dem gemäß 5a die jeweils linken Seitenflanken mit einer Metallschicht überzogen werden und einem zweiten Bedampfungsvorgang, bei dem die jeweils nach rechts orientierten Seitenflanken mit einer entsprechenden Metallschicht abgedeckt werden. Die Schrägbedampfung erfolgt jeweils derart, dass lediglich die Seitenflanken der Erhebungen 61 metallisiert werden, nicht jedoch die zwischen den Erhebungen vorhandenen Oberflächen des strukturierten Substrats. Je nach späterer Verwendungsweise des zu erhaltenden optoelektronischen Bauelementes werden in beiden Schrägbedampfungsschritten identische oder unterschiedliche Elektrodenmaterialien auf den Oberflächen der Erhebungen 6 abgeschieden.In the 5a and b is an example of a structured sheet substrate shown in cross section 6 shown, the rib-like elevations that extend above its substrate surface and run parallel to one another 61 having. The individual surveys 61 have side flanks which are oriented parallel to one another and which are successively acted upon by appropriate metal layers by means of metallic oblique vapor deposition. The oblique vapor deposition of the elevations 61 takes place in two steps, a first step in which according to 5a the respective left-hand side flanks are coated with a metal layer and a second vapor deposition process in which the right-hand side flanks are covered with a corresponding metal layer. The oblique vapor deposition takes place in such a way that only the side flanks of the elevations 61 are metallized, but not the surfaces of the structured substrate present between the elevations. Depending on the later use of the optoelectronic component to be obtained, identical or different electrode materials are formed on the surfaces of the elevations in both oblique vapor deposition steps 6 deposited.

Durch die hintereinander ausgeführte Schrägbedampfung, sowohl der linken als auch der rechten Seitenflanken der Erhebungen 61 gemäß der 5a und b, werden, sollten keine weiteren Maßnahmen getroffen worden sein, beide Metallabscheidungen an den jeweiligen Kappen der Erhebungen durch gegenseitige Überlagerung kurzgeschlossen.Due to the successive oblique vapor deposition, both the left and the right side flanks of the elevations 61 according to the 5a and b , should no further measures have been taken, both metal deposits on the respective caps of the elevations short-circuited by mutual superposition.

Auf diese Weise wird automatisch eine Reihenschaltung benachbarter Streifenelektroden-Paare geschaffen, wie sie in der schematisierten Darstellung gemäß 2a zu entnehmen ist. In dieser Schaltungsvariante bestimmt sich die Höhe der elektrischen Spannung im Falle einer organischen Leuchtdiode, die zum Betrieb angelegt werden muss bzw. die an der organischen Solarzelle abgegriffen werden kann, durch die Anzahl der in Reihe geschalteter Streifenelektroden-Paare. Um zu verhindern, dass die elektrische Spannung zu sehr ansteigt, sorgt eine elektrische Unterbrechung parallel zu den Elektroden, wodurch die entsprechende elektrische Spannung auf ein definiertes Maß vorgegeben werden kann.In this way, a series connection of adjacent pairs of strip electrodes is automatically created, as shown in the schematic illustration 2a can be seen. In this circuit variant, the level of the electrical voltage in the case of an organic light-emitting diode which has to be applied for operation or which can be tapped at the organic solar cell is determined by the number of strip electrode pairs connected in series. In order to prevent the electrical voltage from rising too much, an electrical interruption in parallel with the electrodes ensures that the corresponding electrical voltage can be predetermined to a defined level.

Um den im Wege der vorstehend beschriebenen Schrägbedampfung entstehenden Ohm'schen Kontakt zwischen den Metallabscheidungen auf den Seitenflanken einer Erhebung am Kappenbereich zu vermeiden, stehen grundsätzlich zwei Maßnahmen zur Verfügung. So ist es einerseits möglich, gemäß 6a die kurzgeschlossenen Kappen der Erhebungen 61 im Wege eines anisotropen Ätzverfahrens abzutragen, so dass lediglich die voneinander räumlich getrennten Streifenelektroden an den Seitenflanken der Erhebungen 61 gemäß der in 6a dargestellten Weise erhalten werden.In order to avoid the ohmic contact between the metal deposits on the side flanks of an elevation at the cap area, which occurs as a result of the oblique vapor deposition described above, two measures are basically available. So it is possible on the one hand, according to 6a the short-circuited caps of the surveys 61 by means of an anisotropic etching process, so that only the spatially separated strip electrodes on the side flanks of the elevations 61 according to the in 6a shown manner can be obtained.

Alternativ verhilft eine Zwischenabscheidung von elektrisch isolierendem Material 9 zur räumlichem Beabstandung beider Metallisierungen im Kappenbereich der Erhebungen 61. Hierbei wird, nachdem die erste Schrägbedampfung gem. 5a durchgeführt worden ist, elektrisch isolierendes Material 9 lediglich auf den Kappenbereich der Erhebungen 61 abgeschieden. Anschließend erfolgt die zweite Schrägbedampfung wie vorstehend erläutert. Als Ergebnis wird eine Metallisierung an den einzelnen Erhebungen 61 erhalten wie in 6b dargestellt Zur Herstellung einer in 2d dargestellten Parallelschaltung einzelner Streifenelektroden-Paare oder entsprechend in Reihe geschalteter Gruppen von Streifenelektroden-Paaren sei auf die in den 7a bis d dargestellten Prozessschritte zur Ausbildung von Interdigitalelektroden verwiesen.Alternatively, an intermediate separation of electrically insulating material helps 9 for spatial spacing of both metallizations in the cap area of the elevations 61 , Here, after the first oblique steaming acc. 5a has been carried out, electrically insulating material 9 only on the cap area of the surveys 61 deposited. The second oblique vaporization then takes place as explained above. The result is a metallization on the individual surveys 61 received as in 6b shown to produce a in 2d parallel connection of individual pairs of strip electrodes or groups of strip electrode pairs connected in series should be shown in the 7a to d referenced process steps for the formation of interdigital electrodes.

In 7a sei angenommen, dass das Flächensubstrat 6 eine Vielzahl parallel nebeneinander liegender, über die Ebene des Flächensubstrates 6 erhabene einzelne rippenartige Erhebungen 61 aufweist. Im weiteren wird eine Teilmaskierung 10 in der in 7b dargestellten Weise auf das Flächensubstrat 6 sowie die oberen Bereiche der Erhebungen 61 aufgebracht. Im Anschluss erfolgt eine Schrägbedampfung von der linken Seite gemäß Pfeildarstellung in 7b, durch die die jeweils nach links orientierten Seitenflanken der Erhebungen 61 sowie der untere Bereich des Substrates 6 metallisiert werden. Nach Durchführung der Metallisierung gemäß 7b werden im einzelnen durch den unteren Elektrodenbereich 11 miteinander elektrisch kontaktierte Streifenelektroden erhalten, die jeweils die linken Seitenflanken der Erhebungen 61 bekleiden.In 7a suppose that the sheet substrate 6 a multiplicity of parallel ones lying across the plane of the flat substrate 6 raised single rib-like elevations 61 having. The next step is a partial masking 10 in the in 7b shown way on the flat substrate 6 as well as the upper areas of the surveys 61 applied. This is followed by oblique steaming from the left side as shown by the arrow in 7b , through which the side flanks of the elevations oriented to the left 61 as well as the lower area of the substrate 6 be metallized. After performing the metallization according to 7b are in detail through the lower electrode area 11 strip electrodes electrically contacted with each other, each of the left side flanks of the elevations 61 clothe.

In einem weiteren Verfahrensschritt wird der Elektrodenbereich 11 mit leichtem Übermaß abgedeckt, so dass auch die untersten Bereiche der Erhebungen 61 von der Teilmaskierung 12 überdeckt werden. Nun erfolgt eine Schrägbedampfung von der rechten Seite, durch den die nach rechts orientierten Seitenflanken der einzelnen Erhebungen 61 metallisiert werden. Zudem wird der obere Bereich des Flächensubstrats 6 metallisiert, auf dem eine Elektrodenfläche 13 entsteht, die jeweils die Streifenelektroden, die sich an den rechten Seitenflanken der Erhebungen 61 ausbilden, miteinander elektrisch kontaktiert. Nicht dargestellt ist ein Prozess, mit dem die obersten Kappen der Erhebungen abgetrennt werden, wodurch Kurzschlüsse an den oberen Kappen der einzelnen Erhebungen vermieden werden. Als Ergebnis wird eine interdigitale Elektrodenanordnung gemäß Darstellung in 7d erhalten.In a further process step, the electrode area 11 covered with a slight oversize, so that even the lowest areas of the surveys 61 from partial masking 12 be covered. Now there is an oblique vapor deposition from the right side, through which the side flanks of the individual elevations oriented to the right 61 be metallized. In addition, the upper area of the flat substrate 6 metallized on which an electrode surface 13 arises, each the strip electrodes, located on the right side flanks of the bumps 61 train, electrically contacted with each other. A process is not shown with which the uppermost caps of the elevations are separated off, as a result of which short circuits on the upper caps of the individual elevations are avoided. As a result, an interdigital electrode arrangement as shown in FIG 7d receive.

Die vorstehenden Verfahrensschritte dienten der Herstellung der Streifenelektrodenstruktur mit entsprechenden Zwischenräumen, die es gilt, mit einem elektrisch leitenden photoaktiven organischen Material zu befüllen.The above process steps were used to produce the strip electrode structure with corresponding Interspaces with an electrically conductive photoactive organic material to fill.

In 8 ist hierzu ein schematisiertes Querschnittsbild durch die metallisierten Seitenflanken eines strukturierten Substrates 6 dargestellt, das durch entsprechendes Tauchen oder Spin-coaten mit photoaktivem Material, vorzugsweise photoaktivem Polymer oder Oligomer gefüllt wird. Das photoaktive organische Material liegt wie bereits mehrfach erwähnt, zum Verfüllen in einer gießfähigen Form vor, das nach entsprechendem Verfüllen und Verflüchtigen des enthaltenden Lösungsmittels erstarrt und eine feste Form annimmt. In 9a ist das photoaktive Polymer 1 verfestigt sowie dessen Oberfläche eingeebnet.In 8th is a schematic cross-sectional image through the metallized side flanks of a structured substrate 6 shown, which is filled by appropriate dipping or spin-coating with photoactive material, preferably photoactive polymer or oligomer. As already mentioned several times, the photoactive organic material is in a pourable form for filling, which solidifies and assumes a solid form after appropriate filling and volatilization of the solvent contained. In 9a is the photoactive polymer 1 solidified and leveled its surface.

An dieser Stelle eröffnen sich grundsätzlich zwei alternative weitere Verfahrenspfade. Zum einen ist es möglich, durch entsprechenden bündigen Abtrag des organischen Materials sowie des Substrates 6 die Schichtenstruktur gemäß dem Ausführungsbeispiel nach 1a zu erhalten. Zum anderen kann gemäß 9b unter Anwendung eines Lift-Off-Schrittes das organische Material samt Streifenelektrodenanordnung vom Substrat selbst getrennt werden. Die verbleibenden Elektrodenzwischenräume werden anschließend mit organischem Material aufgefüllt, so dass eine Streifenelektrodenanordnung gemäß der Bilddarstellung in 9c erhalten wird. Diese Ausführungsform sieht keine inaktiven Zwischenbereich 6 vor, sondern besteht vollständig aus dem elektrisch leitenden organischen Material 1, in dem lediglich die Streifenelektroden 4,5 enthalten sind. Diese Ausführungsform kann als eine optimierte Variante eines optoelektronischen Bauelementes angesehen werden, mit der besonders hohe energetische Wirkungsgrade erzielbar sind.At this point, two alternative additional process paths basically open up. On the one hand, it is possible to remove the organic material and the substrate appropriately flush 6 the layer structure according to the embodiment 1a to obtain. On the other hand, according to 9b the organic material including the strip electrode arrangement are separated from the substrate itself using a lift-off step. The remaining electrode gaps are then filled with organic material, so that a strip electrode arrangement according to the image in 9c is obtained. This embodiment does not see an inactive intermediate area 6 before, but consists entirely of the electrically conductive organic material 1 , in which only the strip electrodes 4 . 5 are included. This embodiment can be regarded as an optimized variant of an optoelectronic component with which particularly high energetic efficiencies can be achieved.

11
Elektrisch leitfähiges organisches Materialelectrical conductive organic material
22
Flächenelektrodesurface electrode
33
Optisch transparente ITO-Elektrodeoptical transparent ITO electrode
44
Optisch transparentes Substratoptical transparent substrate
55
Streifenelektrodestrip electrode
66
Nicht elektrische nicht optisch aktive Zwischenschicht, SubstratNot electrical non-optically active intermediate layer, substrate
77
ÜbertrittsebeneCrossing level
88th
Optisch aktive Teilchenoptical active particles
99
Elektrisch isolierende Zwischenschichtelectrical insulating intermediate layer
PP
Streifenelektroden-PaareStrip electrode pairs
1010
Teilmaskesubform
1111
Elektrodenbereichelectrode area
1212
Teilmaskesubform
1313
Elektrodenbereichelectrode area

Claims (32)

Optoelektronisches Bauelement mit elektrisch leitfähigem organischem Material und mit wenigstens zwei voneinander beabstandet angeordneten Streifenelektroden, die ein Streifenelektroden-Paar bilden und zwischen denen wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass mehr als zwei voneinander beabstandet, stapelförmig angeordnete Streifenelektroden derart angeordnet sind, dass die Streifenelektroden wenigstens zwei Streifenelektroden-Paare bilden, zwischen deren Streifenelektroden jeweils die wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials vorgesehen ist.Optoelectronic component with electrically conductive organic material and with at least two strip electrodes arranged at a distance from one another, which form a pair of strip electrodes and between which at least one layer of the electrically conductive organic material is provided, characterized in that more than two stacked strip electrodes are arranged in such a way are arranged such that the strip electrodes form at least two pairs of strip electrodes, between the strip electrodes of which in each case the at least one layer of the electrically conductive organic material is provided. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwei in der stapelförmigen Anordnung unmittelbar benachbart angeordneten Streifenelektroden-Paare durch eine elektrisch- und optisch inaktive Zwischenschicht voneinander getrennt sind.Optoelectronic component according to claim 1, characterized in that two in the stacked Arrangement of directly adjacent strip electrode pairs through an electrically and optically inactive intermediate layer are separated. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwei in der stapelförmigen Anordnung unmittelbar benachbart angeordnete Streifenelektroden-Paare eine gemeinsame Streifenelektrode besitzen.Optoelectronic component according to claim 1, characterized in that two in the stacked Arrangement of directly adjacent strip electrode pairs have a common strip electrode. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden aus einem Material bestehen, das für Sonnenlicht, insbesondere für Licht aus dem sichtbaren Spektralbereich nicht transparent ist.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 3, characterized in that the strip electrodes from a Material exist for Sunlight, especially for Light from the visible spectral range is not transparent. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden jeweils eine Abschlusskante aufweisen, die jeweils in einer gemeinsamen Ebene, der sogenannten Übertrittsebene, liegen, dass mit den Abschlusskanten aller Streifenelektroden jeweils die zwischen den Streifenelektroden-Paaren befindliche wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials weitgehend bündig abschließt, und dass Licht, das mit dem elektrisch leitfähigen organischen Material in Wechselwirkung tritt, über die Übertrittsebene in das elektrisch leitfähige organische Material eintritt oder aus dem elektrisch leitfähigen organischen Material austritt.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 4, characterized in that the strip electrodes each one Have end edge, each in a common plane, the so-called transition level, lie, that with the end edges of all strip electrodes at least that between the pairs of strip electrodes a layer of the electrically conductive organic material largely flush closes, and that light that with the electrically conductive organic Material interacts via the transition level into the electrical conductive organic material enters or from the electrically conductive organic Material escapes. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden einen gegenseitigen Abstand zwischen 300 nm und 1,5 μm aufweisen.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 5, characterized in that the strip electrodes a mutual Distance between 300 nm and 1.5 μm exhibit. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen den Flächenelektroden weitgehend konstant ist.Optoelectronic component according to claim 6, characterized in that the distance between the surface electrodes is largely constant. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 2 und 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen den Streifenelektroden eines Streifenelektroden-Paars größer als die elektrisch- und optisch inaktive Zwischenschicht ist.Optoelectronic component according to claim 2 and 6, characterized characterized that the distance between the strip electrodes a pair of strip electrodes larger than the electrical and optically inactive intermediate layer. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden eine normal zur Übertrittsebene gerichtete Erstreckung von wenigstens dem 0,5-fachen, vorzugsweise dem 2-fachen des gegenseitigen Streifenelektrodenabstandes aufweisen.Optoelectronic component according to one of claims 5 to 8, characterized in that the strip electrodes are normal to the crossing level directional extension of at least 0.5 times, preferably have 2 times the mutual strip electrode spacing. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden eines Streifenelektroden-Paares ein Volumenbereich zumindest teilweise umschließt, das von dem elektrisch leitfähigen organischen Material vollständig ausgefüllt ist.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 9, characterized in that the strip electrodes of a strip electrode pair a volume area at least partially encloses that of the electrically conductive organic material completely filled out is. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden der wenigstens zwei Streifenelektroden-Paare elektrisch in Reihe geschaltet sind.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 10, characterized in that the strip electrodes of the at least two pairs of strip electrodes are electrically connected in series. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine erste Gruppe in Reihe geschalteter Streifenelektroden-Paare vorgesehen ist, die parallel zu einer zweiten Gruppe in Reihe geschalteter Streifenelektroden-Paare geschaltet ist.Optoelectronic component according to claim 11, characterized in that at least a first group of strip electrode pairs connected in series is provided, which is connected in series with a second group Strip electrode pairs is connected. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifenelektroden eines Streifenelektroden-Paares jeweils aus Materialien bestehen, die über unterschiedliche elektrische Austrittsarbeiten verfügen.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 12, characterized in that the strip electrodes each of a pair of strip electrodes Materials exist that over have different electrical work functions. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das optoelektronisches Bauelement als organische Photozelle betreibbar ist.Optoelectronic component according to claim 13, characterized in that the optoelectronic component can be operated as an organic photocell is. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Schicht des elektrisch leitfähigen organischen Materials weitgehend bündig mit beiden Streifenelektroden eines Streifenelektroden-Paares verbunden ist.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 14, characterized in that the at least one layer of electrically conductive organic material largely flush with both strip electrodes a pair of strip electrodes is connected. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch leitfähige organische Material aus einem gießförmigen Material oder Materialgemisch besteht, das selbstaushärtend ist.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 15, characterized in that the electrically conductive organic Material from a cast material or material mixture that is self-curing. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch leitfähige organische Material ein Oligomer oder Polymer ist, dass das Oligomer oder Polymer Molekülketten enthält, die eine einheitliche gerichtete Anordnung zwischen den Streifenelektroden aufweisen.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 16, characterized in that the electrically conductive organic Material an oligomer or polymer is that the oligomer or polymer molecular chains contains which is a uniform directional arrangement between the strip electrodes exhibit. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von n- und p-leitenden Schichten aus elektrisch leitfähigem organischen Material in abwechselnder Aufeinanderfolge zwischen zwei Streifenelektroden vorgesehen ist, und dass die elektrisch leitfähigen organischen n- oder p-leitenden Materialien aus der Stoffgruppe der Oligomere stammen.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 17, characterized in that a variety of n- and p-type Layers of electrically conductive organic material in an alternating sequence between two strip electrodes is provided and that the electrically conductive organic n- or p-conductive materials from the group of oligomers come. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die n- und p-leitenden organischen Materialschichten einzelne parallel zueinander verlaufende Schichtebenen aufweisen, die senkrecht zu den Flächenelektroden orientiert sind und Schichtdicken von wenigstens 8 nm aufweisen.Optoelectronic component according to claim 18, characterized in that the n- and p-type organic material layers are individual in parallel have mutually extending layer planes that are perpendicular to the surface electrodes are oriented and have layer thicknesses of at least 8 nm. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass die organischen n- oder p-leitenden Materialien im Rahmen eines Beschichtungsprozesses abscheidbar sind.Optoelectronic component according to claim 18 or 19, characterized characterized that the organic n- or p-type materials can be deposited as part of a coating process. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das optoelektronisches Bauelement als organische Leuchtdiode einsetzbar ist.Optoelectronic component according to one of claims 1 to 13, characterized in that the optoelectronic component can be used as an organic light-emitting diode. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch leitfähige organische Material photoaktive Teilchen oder Moleküle enthält, die über eine Längserstreckung verfügen, längs der die Teilchen oder Moleküle untereinander gleichgerichtet sind und orthogonal zur Oberfläche der Streifenelektroden orientiert sind.Optoelectronic component according to claim 21, characterized in that the electrically conductive organic material contains photoactive particles or molecules that have a longitudinal extension feature, along the the particles or molecules are mutually rectified and orthogonal to the surface of the Strip electrodes are oriented. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die photoaktiven Teilchen oder Moleküle innerhalb einer elektrisch leitfähigen Polymermatrix eingebunden sind.Optoelectronic component according to Claim 22, characterized in that the photoactive particles or molecules within an electrical conductive Polymer matrix are integrated. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass die photoaktiven Teilchen CdSe- und oder CdS-Nanokristalle sind, die in einer Polymermischung, vorzugsweise eine CdSe/P3HToder CsS/P3HAT-Mischung, enthalten sind.Optoelectronic component according to claim 22 or 23, characterized characterized in that the photoactive particles are CdSe and or CdS nanocrystals, which in a polymer mixture, preferably a CdSe / P3HT or CsS / P3HAT mixture, are included. Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 24, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: a) Prozessieren eines Flächensubstrates zum Erhalt eines linearen Oberflächenreliefgitters mit durch Vertiefungen voneinander getrennter Erhebungen, die parallel zueinander verlaufende Seitenflanken aufweisen, b) Abscheiden von Elektrodenmaterial an den Seitenflanken der Erhebungen im Wege einer Schrägbedampfung unter gleichzeitiger Ausbildung einer elektrischen Verschaltung der durch Materialabscheidung entstehenden Streifenelektroden an den Seitenflanken oder nachträgliches Verschalten der Streifenelektroden nach der Schrägbedampfung, c) Befüllen der Vertiefungen nach Fertigstellen der die Seitenflanken überdeckenden Streifenelektroden mit dem elektrisch leitfähigen organischen Material, d) Entfernen des Flächensubstrates derart, dass eine gemeinsame Übertrittsebene geschaffen wird, in der Abschlußkanten der Streifenelektroden liegen und mit der das elektrisch leitfähige organische Material weitgehend bündig abschließt.Method for producing an optoelectronic component according to one of the claims 1 to 24, characterized by the following process steps: a) Processing a flat substrate to obtain a linear surface relief grid with elevations separated by depressions, which are parallel have mutually extending side flanks, b) separation of electrode material on the side flanks of the bumps in the way an oblique vapor deposition with simultaneous formation of an electrical circuit the strip electrodes created by material deposition the side flanks or later Wiring the strip electrodes after the oblique evaporation, c) filling the Wells after finishing the side flanks covering Strip electrodes with the electrically conductive organic material, d) Removal of the surface substrate such that a common level of transition is created in the end edges the strip electrodes and with which the electrically conductive organic Material largely flush concludes. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Schrägbedampfung in zwei getrennten Schritten unter entgegengesetzten Bedampfungswinkeln relativ zu den parallel zueinander verlaufenden Seitenflanken derart durchgeführt wird, dass im ersten Schritt die Seitenflanken mit einheitlicher Orientierung in Bezug zur orthogonalen Richtung zum Verlauf der Erhebungen bedampft werden und im zweiten Schritt jene Seitenflanken mit der jeweils umgekehrten Orientierung.A method according to claim 25, characterized in that the oblique in two separate steps at opposite vapor deposition angles relative to the side flanks running parallel to one another in this way carried out is that in the first step the side flanks with more uniform Orientation in relation to the orthogonal direction to the course of the Elevations are steamed and in the second step those side flanks with the opposite orientation. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass in den beiden Bedampfungsschritten jeweils unterschiedliche Metalle mit unterschiedlichen elektrischen Austrittsarbeiten verwendet werden.A method according to claim 26, characterized in that in different metals in each of the two vaporization steps can be used with different electrical work functions. Verfahren nach einem der Ansprüche einem der Ansprüche 25 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass nach Abscheiden des Elektrodenmaterials obere Bereiche der mit Elektrodenmaterial überdeckten Erhebungen abgetragen werden.Method according to one of claims 25 to 27, characterized in that after deposition of the electrode material above right areas of the elevations covered with electrode material are removed. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem ersten Bedampfungsschritt an den oberen Bereichen der Erhebungen eine elektrisch isolierende Zwischenschicht aufgebracht wird bevor der zweite Bedampfungsschritt durchgeführt wird.A method according to claim 26, characterized in that after the first vaporization step on the upper areas of the elevations electrically insulating intermediate layer is applied before the second vaporization step is carried out. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Befüllen der Vertiefungen mit dem elektrisch leitfähigen organischen Material im Wege eines Giessverfahrens oder eines Bedampfungsverfahrens durchgeführt wird.Method according to one of claims 25 to 29, characterized in that that filling of the wells with the electrically conductive organic material is carried out by means of a casting process or an evaporation process. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass das strukturierte Flächensubstrat vollständig von den Streifenelektroden und dem elektrisch leitfähigen organischen Material getrennt wird.Method according to one of claims 25 to 30, characterized in that that the structured sheet substrate Completely from the strip electrodes and the electrically conductive organic Material is separated. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass verbleibende Zwischenräume zwischen den Streifenelektroden, in denen sich vor der Abtrennung Erhebungen des Flächensubstrats befanden, mit elektrisch leitfähigen organischem Material aufgefüllt werden.A method according to claim 31, characterized in that remaining Gaps between the strip electrodes, in which there are bumps before the separation of the flat substrate, with electrically conductive padded organic material become.
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