DE102010022934A1 - Optical assembly has optical element with rotational-symmetrical cross-section that is approximately perpendicular to symmetrical axis, where lamp holder is provided for optical element with three holding assemblies - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine optische Baugruppe, die ein optisches Element mit einem senkrecht zu einer Symmetrieachse annähernd rotationssymmetrischen Querschnitt umfaßt, sowie eine Fassung, in der das optische Element mit hoher Genauigkeit in stabiler Position und spannungsarm gehalten werden soll.The invention relates to an optical assembly comprising an optical element with a perpendicular to an axis of symmetry approximately rotationally symmetrical cross-section, and a socket in which the optical element with high accuracy in a stable position and low voltage is to be maintained.
Im Stand der Technik sind verschiedene Vorrichtungen bekannt um Linsen möglichst spannungsarm und positionsstabil zu lagern. Dies ist insbesondere dann wichtig, wenn eine genaue Ausrichtung der optischen Achse notwendig ist. Dies ist beispielsweise in der Photolithographie der Fall, aber auch bei astronomischen Teleskopen und insbesondere auch bei solchen Optiken, die in Satelliten eingesetzt werden sollen, wo eine nachträgliche Einstellung bzw. Neujustierung in der Regel nicht oder nur unter schwersten Bedingungen möglich ist.In the prior art, various devices are known to store lenses as low stress and stable position. This is particularly important when precise alignment of the optical axis is necessary. This is the case, for example, in photolithography, but also in astronomical telescopes and in particular also in such optics that are to be used in satellites, where a subsequent adjustment or readjustment is not possible or only under the most severe conditions in the rule.
In der
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Die anderen konventionelle Lösungen, wie sie auch vorangehend beschrieben wurden, und die ohne Adhäsionsmittel auskommen, sind bei Temperaturänderungen aufgrund von Ausdehnungsdifferenzen und durch die Auflage- und Kraftflußgestaltung nicht ausreichend lagestabil oder durch ungünstige Haltekraftflüsse nicht ausreichend spannungsarm, sie sind daher für höchste Ansprüche nicht geeignet.The other conventional solutions, as described above, and manage without adhesive, are not sufficiently stable in temperature changes due to expansion differences and by the support and Kraftflußgestaltung or unfavorable Haltekraftfluß not stress, they are therefore not suitable for the highest demands ,
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine optische Baugruppe der eingangs beschriebenen Art dahingehend weiterzuentwickeln, daß ohne den Einsatz von Adhäsionsmitteln mit primärer Haltefunktion eine möglichst lagestabile und spannungsarme Halterung von optischen Elementen, insbesondere von Linsen, unter extremen Umweltbedingungen wie Temperatur, UV-Strahlung und/oder Feuchtigkeit gewährleistet werden kann, wobei außerdem ein einfacher Aufbau der optischen Baugruppe im Vordergrund steht, der ein Wechseln des optischen Elements mit nur wenig Aufwand gegenüber Lösungen, wie sie im Stand der Technik bekannt sind, ermöglicht, so es erforderlich sein sollte.The object of the invention is therefore to further develop an optical assembly of the type described above, that without the use of adhesives with primary holding function as stable as possible and low-tension mounting of optical elements, in particular of lenses, under extreme environmental conditions such as temperature, UV radiation and In addition, a simple structure of the optical assembly is in the foreground, which allows a change of the optical element with little effort compared to solutions, as they are known in the art, so it should be required.
Diese Aufgabe wird durch eine optische Baugruppe gelöst, welche ein optisches Element mit einem annähernd rotationssymmetrischen Querschnitt senkrecht zu einer Symmetrieachse sowie eine Fassung für das optische Element mit mindestens drei auf einem Kreis um die Symmetrieachse in der Fassung angeordneten Haltebaugruppen, die das optische Element in der Fassung form- und kraftschlüssig fixieren, gelöst, wobei das optische Element einen an seinem Umfang senkrecht zur Symmetrieachse mindestens eine bundartige Erhebung, bzw. eine bundartige Ausbildung aufweist, mit einer oberen und einer dazu beabstandeten unteren Bundfläche, deren Normalen parallel zur optischen Achse liegen, sowie mit einer zur Symmetrieachse parallelen äußeren Bundfläche.This object is achieved by an optical assembly comprising an optical element with an approximately rotationally symmetrical cross-section perpendicular to an axis of symmetry and a socket for the optical element with at least three arranged on a circle about the axis of symmetry in the socket holding assemblies, the optical element in the Fasten form-fitting and non-positive, dissolved, wherein the optical element has a at its periphery perpendicular to the axis of symmetry at least one collar-like elevation, or a collar-like configuration, with an upper and a lower spaced lower collar surface whose normal are parallel to the optical axis, and with an outer collar surface parallel to the symmetry axis.
Dabei gibt es verschiedene, an die konkrete Ausgestaltung des optischen Elements anpaßbare Möglichkeiten zur Realisierung der bundartigen Ausbildung. Einfache Linsen mit konvexen, planen oder konkaven optisch wirksamen Flächen weisen meist einen senkrecht zur Symmetrieachse – die dann der optischen Achse entspricht – kreisförmigen Querschnitt auf. Hier ist die bundartige Erhebung vorzugsweise als am Umfang des optischen Elements senkrecht zur optischen Achse umlaufender, zylinderförmiger Bund mit einer zylinderförmigen äußeren Bundfläche ausgestaltet. Auf der äußeren Bundfläche liegen die differentiellen Normalen, die jeweils in der Tangentialebene eines Flächenpunktes gebildet werden, in radialer Richtung. Auch die Haltebaugruppen sind dann aus spannungstechnischen Gründen vorzugsweise, aber nicht zwingend rotationssymmetrisch auf einem Kreis um die Symmetrieachse angeordnet, so werden drei Haltebaugruppen vorzugsweise in einem Winkel von 120° zueinander angeordnet.There are different, adaptable to the specific design of the optical element options for the realization of the collar-like training. Simple lenses with convex, planar or concave optically active surfaces usually have a circular cross-section perpendicular to the axis of symmetry, which then corresponds to the optical axis. Here, the collar-like elevation is preferably configured as a cylindrical collar having a cylindrical outer collar surface that runs around the circumference of the optical element perpendicular to the optical axis. On the outer collar surface are the differential normals, which are each formed in the tangent plane of a surface point, in the radial direction. The support assemblies are then preferably for voltage reasons, but not necessarily arranged rotationally symmetrical on a circle about the axis of symmetry, three support assemblies are preferably arranged at an angle of 120 ° to each other.
Komplexere optische Elemente mit Freiformflächen weisen in diesem Sinne jedoch keine optische Achse auf, sie müssen auch nicht rotationssymmetrisch sein, da die optisch wirksamen Flächen beliebig geformt sein können. Um sie dennoch in die Fassung einsetzen zu können, weisen solche Elemente ebenfalls bundartige Ausbildungen auf, und zwar vorzugsweise eine mindestens der Anzahl der Haltebaugruppen entsprechende Anzahl. Die bundartigen Ausbildungen sind hier jeweils mit einer ebenen äußeren Bundfläche ausgebildet. Eine der Richtungen, die die Ebene aufspannen, liegt parallel zur Symmetrieachse, die äußere Bundfläche liegt also parallel zur Symmetrieachse. Alle äußeren Bundflächen liegen tangential auf einem gemeinsamen Kreis um die Symmetrieachse. Vorzugsweise sind sie rotationssymmetrisch gegenüber Drehungen von 120° angeordnet. Die Abmessungen des optischen Elements können es jedoch erforderlich machen, von dieser Symmetrie abzuweichen.However, more complex optical elements with free-form surfaces do not have an optical axis in this sense, nor do they have to be rotationally symmetrical, since the optically active surfaces can be shaped as desired. In order to still be able to use them in the version, such elements also have collar-like formations, preferably a number corresponding at least to the number of retaining assemblies. The collar-like formations are each formed here with a flat outer collar surface. One of the directions that span the plane lies parallel to the axis of symmetry, ie the outer collar surface lies parallel to the axis of symmetry. All outer collar surfaces lie tangentially on a common circle around the symmetry axis. Preferably, they are rotationally symmetrical with respect to rotations of 120 °. However, the dimensions of the optical element may require to deviate from this symmetry.
Auch die oben beschriebenen geometrisch einfacheren optischen Elemente können natürlich anstelle eines zylinderförmigen Bundes nur eine entsprechende Anzahl bundartiger Ausbildungen aufweisen, wenn es beispielsweise auf eine material- und platzsparende Bauweise ankommt. Da diese Bauweise allerdings mehr Kanten aufweist, entstehen hier unter Umständen zusätzliche Spannungen. Ebenso können auch die optischen Elemente mit Freiformflächen mit einem umlaufenden Bund ausgebildet sein, dessen äußere Bundfläche dann allerdings nicht mehr zylinderförmig sein muß.Of course, the geometrically simpler optical elements described above can of course also have a corresponding number of bundle-like configurations instead of a cylindrical collar, if, for example, it depends on a material-saving and space-saving design. However, since this design has more edges, there may be additional stresses here. Likewise, the optical elements with free-form surfaces may be formed with a circumferential collar, but the outer collar surface then no longer has to be cylindrical.
Eine jede Haltebaugruppe umfaßt einen mit einem radial federnd ausgebildeten Steg fest verbundenen Kontaktkörper, an welchem eine untere Kontaktfläche und eine parallel zur Symmetrieachse ausgerichtete Anlagefläche ausgebildet ist. Die untere Kontaktfläche, auf der das optische Element mit seiner unteren Bundfläche gelagert ist, kann eben ausgebildet sein, dann weist sie eine Normale parallel zur Symmetrieachse auf. Sie kann aber auch nach Art einer Wulst mit beispielsweise halbkreisförmigem Querschnitt ausgebildet sein, die Kontaktfläche hat dann die Form eines Ringausschnitts, wobei auch hier an der höchsten Erhebung der Wulst, auf der das optische Element zu liegen kommt, der differentielle Normalenvektor parallel zur Symmetrieachse liegt. Auch die Anlagefläche kann eben oder einfach gekrümmt ausgestaltet sein, im Falle einer zylinderförmigen äußeren Bundfläche stehen beide dann jeweils in einer Tangentialebene miteinander in Kontakt. Die Haltebaugruppen sind aus spannungstechnischen Gründen vorzugsweise rotationssymmetrisch auf dem Kreis um die Symmetrieachse angeordnet, so werden drei Haltebaugruppen vorzugsweise in einem Winkel von 120° zueinander angeordnet. Insbesondere bei optischen Elementen mit kreisförmigem Querschnitt ist dies von Vorteil. Von dieser Symmetrie kann aber insbesondere im Fall von optischen Elementen mit Freiformflächen abgewichen werden, wenn die Bauweise des optischen Elements dies erfordern sollte. So können die Haltebaugruppen in der Fassung auch ohne Einhaltung dieser Symmetrie auf dem Kreis angeordnet sein. Wesentlich ist, daß an den Haltepunkten, an denen das optische Element mit der Haltebaugruppe in radialer Richtung in Kontakt steht, die Normalenvektoren der beteiligten Flächen in Richtung der Symmetrieachse weisen.Each retaining assembly includes a fixedly formed with a radially resilient web connected contact body, on which a lower contact surface and a parallel to the symmetry axis aligned contact surface is formed. The lower contact surface on which the optical element is mounted with its lower collar surface may be flat, then it has a normal parallel to the axis of symmetry. However, it can also be designed in the manner of a bead having, for example, a semicircular cross-section, the contact surface then being in the form of a ring cutout, with the differential normal vector lying parallel to the axis of symmetry at the highest elevation of the bead on which the optical element lies , Also, the contact surface can be designed flat or simply curved, in the case of a cylindrical outer collar surface both are then in each case in a tangential plane in contact. The support assemblies are preferably arranged rotationally symmetrical on the circle around the axis of symmetry for stress reasons, so three support assemblies are preferably arranged at an angle of 120 ° to each other. This is advantageous especially in the case of optical elements with a circular cross section. However, this symmetry can be deviated from, in particular in the case of optical elements with free-form surfaces, if the construction of the optical element so requires. Thus, the holding assemblies can be arranged in the socket without adherence to this symmetry on the circle. It is essential that the normal vectors of the surfaces involved point in the direction of the symmetry axis at the holding points at which the optical element is in contact with the holding assembly in the radial direction.
Der Steg einer jeden Haltebaugruppe ist unter Vorspannung stehend ausgeführt, so daß die Anlagefläche des Kontaktkörpers und die äußere Bundfläche in Kontakt stehen und das optische Element in radialer Richtung bezogen auf die Symmetrieachse formschlüssig fixiert ist. Die Stege können in die Fassung beispielsweise durch Drahterosion eingearbeitet sein. Steg und Kontaktkörper können einstückig gefertigt sein, der Kontaktkörper kann aber auch nachträglich an den Steg angebracht werden, beispielsweise mit Hilfe von Schrauben oder Adhäsionsmitteln. In bezug auf eine einfachere Handhabbarkeit und eine Langzeitstabilität ist es jedoch vorteilhaft, so wenig Materialen wie möglich und so wenig lösbare Verbindungen wie möglich zu verwenden, so daß eine einstückige Fertigung zu bevorzugen ist.The web of each support assembly is performed under bias, so that the contact surface of the contact body and the outer collar surface are in contact and the optical element is fixed positively in the radial direction relative to the axis of symmetry. The webs may be incorporated into the socket, for example by wire erosion. Web and contact body can be made in one piece, but the contact body can also be retrofitted to the web, for example by means of screws or adhesives. However, in terms of easier handling and long-term stability, it is advantageous to use as few materials as possible and as little releasable connections as possible, so that one-piece manufacturing is preferable.
Die Haltebaugruppe umfaßt schließlich auch ein Federelement, welches auf die obere Bundfläche eine vorgegebene Anpreßkraft ausübend ausgestaltet ist und den Bund auf die untere Kontaktfläche drückt. Auf diese Weise ist das optische Element in axialer Richtung kraft- und formschlüssig fixiert, sowie in radialer Richtung zusätzlich kraftschlüssig fixiert. Das Federelement kann beispielsweise als an den Kontaktkörper angeschraubte Federspange ausgestaltet sein; mittels der Schraubeneinstellung einer Stellschraube kann die Anpreßkraft variiert werden. Dies ermöglicht außerdem durch Lösen der Schraubverbindung an der Stellschraube ein einfaches Entfernen des optischen Elements aus der Fassung. Durch die Verwendung eines Federelements wird zudem sichergestellt, daß die Anpreßkraft bei normaler Einstellung der Stellschraube nicht zu groß wird, so daß das optische Element an dieser Stelle nicht unter höherer Spannung als gerade notwendig steht.Finally, the retaining assembly also comprises a spring element which is designed to exert a predetermined contact force on the upper collar surface and presses the collar against the lower contact surface. In this way, the optical element is positively and positively fixed in the axial direction, as well as additionally fixed non-positively in the radial direction. The spring element can be configured, for example, as a bolted to the contact body spring clip; By means of the screw adjustment of a set screw, the contact pressure can be varied. This also allows by loosening the screw on the screw easy removal of the optical element from the socket. By using a spring element is also ensured that the contact pressure is not too large at normal setting of the screw, so that the optical element is not at this point under higher voltage than just necessary.
Indem das optische Element in zwei rechtwinklig aufeinander stehenden Richtungen unter Verwendung eines Federelements formschlüssig und kraftschlüssig fixiert wird, werden höchste Lagestabilität und Spannungsarmut gewährleistet. Die Nachteile schräger Anlageflächen und Kraftrichtungen, daß nämlich schräg wirkenden Kraftkomponenten entstehen und es durch Reibung und Ausdehnung zu undefiniertem Rutschen bei Temperaturänderungen oder Stoßbelastungen kommen kann, werden auf diese Weise vermieden. Durch die Vorspannung der Stege wird zudem das Spiel des optischen Elements in der Fassung in radialer Richtung – bezogen auf die Symmetrieachse – beseitigt.By the optical element is fixed positively and non-positively in two mutually perpendicular directions using a spring element, the highest position stability and low tension are guaranteed. The disadvantages of oblique contact surfaces and force directions, namely that oblique force components arise and it can come through friction and expansion to undefined slippage in temperature changes or shock loads are avoided in this way. Due to the bias of the webs also the play of the optical element in the socket in the radial direction - based on the axis of symmetry - eliminated.
Bei Ausdehnungsunterschieden kann die Linse nicht kippen, die Befestigungskräfte ändern sich nicht wesentlich. Die Haltekräfte können zudem vom Betrag her im Vergleich zu Lösungen, wie sie im Stand der Technik bekannt sind, gering gehalten werden, so daß auch die Spannungen im optischen Element gering gehalten werden. Temperaturbedingte Ausdehnungen erfolgen zentralsymmetrisch, wenn das optische Element rotationssymmetrisch in bezug auf Drehungen um die optische Achse in beliebig kleinen Winkeln ist, und die Fassung rotationssymmetrisch in bezug auf Drehungen um diskrete Winkel – im Falle von drei Haltebaugruppen beträgt dieser Winkel 120° – ist.In case of expansion differences, the lens can not tilt, the attachment forces do not change significantly. The holding forces can also be kept small in magnitude compared to solutions, as are known in the art, so that the voltages in the optical element are kept low. Temperature-related expansions are centrally symmetric when the optical element is rotationally symmetric with respect to rotations about the optical axis at arbitrarily small angles, and the socket rotationally symmetric with respect to rotations by discrete angles - in the case of three support assemblies, this angle is 120 ° - is.
Obwohl die Verwendung eines Adhäsionsmittels zur Herstellung einer stoffschlüssigen Verbindung nicht notwendig ist, kann es von Vorteil sein, zur Sicherung gegen äußere Einflüsse das optische Element mit der unteren Kontaktfläche und/oder der Anlagefläche des Kontaktkörpers einer jeden Haltebaugruppe zusätzlich über ein Adhäsionsmittel stoffschlüssig zu verbinden. Das Adhäsionsmittel bzw. die stoffschlüssige Verbindung erfüllt hier nicht den Zweck einer Positionsdefinition, sondern dient dazu, die Belastungsgrenzen in bezug auf die Temperatur und Stoffbelastungen weiter auszudehnen.Although the use of an adhesive agent for producing a cohesive connection is not necessary, it may be advantageous to additionally secure the optical element to the lower contact surface and / or the contact surface of the contact body of each support assembly via an adhesive agent to secure against external influences. The adhesive or the cohesive connection does not fulfill the purpose of a position definition, but serves to further extend the load limits with respect to the temperature and material loads.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung liegt die radiale Bundfläche zumindest annähernd im Bereich der neutralen Biegefaser – diese liegt bei seitensymmetrischen und rotationssymmetrischen Linsen beispielsweise in der Mitte und senkrecht zur Symmetrieachse, ansonsten je nach Geometrie der optisch wirksamen Flächen mehr oder weniger stark in eine Richtung versetzt dazu – des optischen Elements. Auch dies trägt zu einer möglichst spannungsarmen Lagerung bei.In a further advantageous embodiment of the invention, the radial collar surface is at least approximately in the region of the neutral bending fiber - this is in the case of side-symmetrical and rotationally symmetric lenses, for example, in the middle and perpendicular to the axis of symmetry, otherwise depending on the geometry of the optically active surfaces more or less offset in one direction to - the optical element. This also contributes to a stress-free storage as possible.
Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the specified combinations but also in other combinations or alone, without departing from the scope of the present invention.
Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail for example with reference to the accompanying drawings, which also disclose characteristics essential to the invention. Show it:
In
Jede Haltebaugruppe
An dem Kontaktkörper
Das optische Element
Zur Sicherung gegen äußere Einflüsse kann das optische Element
Vorteilhaft ist es außerdem, die Materialien, aus denen die Fassung
Der Kontaktkörper
Die Stellschrauben
In den
In
Durch die orthogonale Einleitung der Kräfte und die orthogonale Lagerung wird erreicht, daß beim Auftreten von Ausdehnungsunterschieden – aufgrund unterschiedlicher Materialien oder aufgrund von Temperaturgradienten innerhalb eines Materials – dafür Sorge getragen wird, daß die Linse nicht kippt und die Befestigungskräfte im wesentlichen konstant bleiben. Dies sorgt für eine hohe Lagestabilität sowie eine hohe Spannungsarmut. Die Haltekräfte können auf diese Weise von ihrem Betrag her im Vergleich mit solchen Kräften, wie sie im Stand der Technik nötig sind, gering gehalten werden, so daß im optischen Element
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- optisches Elementoptical element
- 22
- Fassungversion
- 33
- Haltebaugruppesupport assembly
- 44
- BundFederation
- 55
- obere Bundflächeupper waistband
- 66
- untere Bundflächelower waistband
- 77
- radiale Bundflächeradial collar surface
- 88th
- KontaktkörperContact body
- 99
- Stegweb
- 1010
- untere Kontaktflächelower contact surface
- 1111
- Anlageflächecontact surface
- 1212
- Federspangespring clip
- 1313
- Stellschraubescrew
- 1414
- optisches Elementoptical element
- 1515
- Fassungversion
- 1616
- Haltebaugruppesupport assembly
- 1717
- optisches Elementoptical element
- 1818
- bundartige Ausbildungcollar-type training
- 1919
- obere Bundflächeupper waistband
- 2020
- untere Bundflächelower waistband
- 2121
- äußere Bundflächeouter waistband
- SS
- Symmetrieachseaxis of symmetry
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- EP 1094348 B1 [0003] EP 1094348 B1 [0003]
- DE 102004018656 A1 [0004] DE 102004018656 A1 [0004]
- US 6469844 B1 [0005] US 6469844 B1 [0005]
- US 6400516 B1 [0006] US 6400516 B1 [0006]
- DE 10342269 A1 [0007] DE 10342269 A1 [0007]
- DE 102006060088 A1 [0008] DE 102006060088 A1 [0008]
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---|---|
DE (1) | DE102010022934A1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013110750B3 (en) * | 2013-09-27 | 2014-11-13 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optical assembly with a socket with thermally dependent force compensation |
US20160041361A1 (en) * | 2014-08-06 | 2016-02-11 | Sandia Corporation | Mounting apparatus |
DE102022101921A1 (en) | 2022-01-27 | 2023-07-27 | Toptica Photonics Ag | Holding arrangement for an optical element |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6400516B1 (en) | 2000-08-10 | 2002-06-04 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting |
US6469844B1 (en) | 1999-06-02 | 2002-10-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Lens holding method and lens holder |
US20030147155A1 (en) * | 2000-08-25 | 2003-08-07 | Nikon Corporation | Optical element holding device |
US20030234989A1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-12-25 | Nikon Corporation | Optical-element mountings exhibiting reduced deformation of optical elements held thereby |
DE10342269A1 (en) | 2003-09-12 | 2005-04-14 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Low tension optic socket |
EP1094348B1 (en) | 1999-10-06 | 2005-04-20 | JENOPTIK Aktiengesellschaft | Elastic lens mount |
DE102004018659A1 (en) * | 2004-04-13 | 2005-11-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Termination module for an optical arrangement |
DE102004018656A1 (en) | 2004-04-13 | 2005-11-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical element |
JP2006066836A (en) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Nikon Corp | Supporting structure of optical component and exposing device |
JP2006349946A (en) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Nikon Corp | Optical element holding device, lens barrel, exposure apparatus, and method for manufacturing device |
DE60126103T2 (en) * | 2000-08-18 | 2007-11-15 | Nikon Corp. | Holding device for optical element |
DE102006060088A1 (en) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Optical assembly, e.g. for use in photolithography, has rotation symmetrical rim for holding optical components, rotation symmetrical rim holder with at least one first and second part; first rim holder part encloses rim circumference |
JP2008261985A (en) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Topcon Corp | Optical element holding device |
US20080291555A1 (en) * | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Takaya Okada | Optical element holding apparatus, barrel, exposure apparatus and device manufacturing method |
-
2010
- 2010-06-04 DE DE102010022934A patent/DE102010022934A1/en not_active Ceased
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6469844B1 (en) | 1999-06-02 | 2002-10-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Lens holding method and lens holder |
EP1094348B1 (en) | 1999-10-06 | 2005-04-20 | JENOPTIK Aktiengesellschaft | Elastic lens mount |
US6400516B1 (en) | 2000-08-10 | 2002-06-04 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting |
DE60126103T2 (en) * | 2000-08-18 | 2007-11-15 | Nikon Corp. | Holding device for optical element |
US20030147155A1 (en) * | 2000-08-25 | 2003-08-07 | Nikon Corporation | Optical element holding device |
US20030234989A1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-12-25 | Nikon Corporation | Optical-element mountings exhibiting reduced deformation of optical elements held thereby |
DE10342269A1 (en) | 2003-09-12 | 2005-04-14 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Low tension optic socket |
DE102004018659A1 (en) * | 2004-04-13 | 2005-11-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Termination module for an optical arrangement |
DE102004018656A1 (en) | 2004-04-13 | 2005-11-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical element |
JP2006066836A (en) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Nikon Corp | Supporting structure of optical component and exposing device |
JP2006349946A (en) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Nikon Corp | Optical element holding device, lens barrel, exposure apparatus, and method for manufacturing device |
DE102006060088A1 (en) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Optical assembly, e.g. for use in photolithography, has rotation symmetrical rim for holding optical components, rotation symmetrical rim holder with at least one first and second part; first rim holder part encloses rim circumference |
JP2008261985A (en) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Topcon Corp | Optical element holding device |
US20080291555A1 (en) * | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Takaya Okada | Optical element holding apparatus, barrel, exposure apparatus and device manufacturing method |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013110750B3 (en) * | 2013-09-27 | 2014-11-13 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optical assembly with a socket with thermally dependent force compensation |
WO2015043581A1 (en) | 2013-09-27 | 2015-04-02 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optical assembly comprising a mount having thermally dependent force compensation |
US9482842B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-11-01 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optical assembly comprising a mount having thermally dependent force compensation |
US20160041361A1 (en) * | 2014-08-06 | 2016-02-11 | Sandia Corporation | Mounting apparatus |
DE102022101921A1 (en) | 2022-01-27 | 2023-07-27 | Toptica Photonics Ag | Holding arrangement for an optical element |
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