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DE102010022625A1 - Handling system for handling objects - Google Patents

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DE102010022625A1
DE102010022625A1 DE102010022625A DE102010022625A DE102010022625A1 DE 102010022625 A1 DE102010022625 A1 DE 102010022625A1 DE 102010022625 A DE102010022625 A DE 102010022625A DE 102010022625 A DE102010022625 A DE 102010022625A DE 102010022625 A1 DE102010022625 A1 DE 102010022625A1
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DE
Germany
Prior art keywords
telescopic arm
drive
handling system
unit
telescopic
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE102010022625A
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German (de)
Inventor
Michael Freund
Dr. Eschmann Robert
Lukas Küffer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
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Publication date
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Priority to CN201180027642.5A priority patent/CN102905996B/en
Priority to PCT/EP2011/002278 priority patent/WO2011151004A1/en
Priority to KR1020127029602A priority patent/KR20130094192A/en
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Abstract

Es wird ein Handhabungsgerät zur Handhabung plattenförmiger Gegenstände vorgeschlagen, die mindestens eine Transfereinheit (7) aufweist, die unter Ausführung einer linearen Transferbewegung (23) horizontal verfahrbare Gegenstands-Haltemittel (25) aufweist. Die Transfereinheit (7) verfügt weiterhin über eine Tragstruktur (16) und mindestens eine von dieser getragene Teleskoparmeinheit (18). Die Teleskoparmeinheit (18) setzt sich aus mehreren Teleskoparmen (22) zusammen, die mittels Koppeleinrichtungen (28) antriebsmäßig verbunden sind. Die Koppeleinrichtungen (28) enthalten einen um Umlenkmittel (32) umlaufenden biegeflexiblen Zugstrang (33). Durch diese Bauform können die Gegenstands-Haltemittel (25) trotz schmaler Bauweise der Transfereinheit (7) über eine relativ große Wegstrecke verfahren werden.A handling device for handling plate-shaped objects is proposed which has at least one transfer unit (7) which has object holding means (25) which can be moved horizontally while executing a linear transfer movement (23). The transfer unit (7) also has a support structure (16) and at least one telescopic arm unit (18) carried by this. The telescopic arm unit (18) is composed of several telescopic arms (22) which are connected in terms of drive by means of coupling devices (28). The coupling devices (28) contain a flexurally flexible tensile cord (33) surrounding the deflection means (32). As a result of this design, the object holding means (25) can be moved over a relatively large distance despite the narrow design of the transfer unit (7).

Description

Die Erfindung betrifft ein Handhabungssystem zur Handhabung von insbesondere plattenförmigen Gegenständen, mit einer Transportvorrichtung, die mindestens eine Transfereinheit aufweist, die über unter Ausführung einer linearen Transferbewegung horizontal verfahrbare Gegenstands-Haltemittel verfügt, und die Antriebsmittel zum Hervorrufen der Transferbewegung aufweist.The invention relates to a handling system for handling in particular plate-shaped objects, comprising a transport device which has at least one transfer unit which has object holding means which can be moved horizontally by carrying out a linear transfer movement, and which has drive means for causing the transfer movement.

Derartige Handhabungssysteme werden unter anderem in der Solar- und Flachbildschirm-Industrie eingesetzt und dienen dort zur Handhabung plattenförmiger Gegenstände, insbesondere zu beschichtender Glasplatten. Die DE 10 2005 039 453 A1 beschreibt eine Bearbeitungsanlage zur Bearbeitung flächiger Substrate, die mit einem Handhabungssystem der eingangs genannten Art ausgestattet ist. Dieses bekannte Handhabungssystem weist eine Transportvorrichtung auf, die über mehrere Führungsbahnen verfügt, an denen unter Vermittlung von Führungsschlitten Transfereinheiten derart gelagert sind, dass sie in mehrere Bearbeitungsstationen verfahrbar und dort jeweils gegenüberliegend eines Bearbeitungsmoduls positionierbar sind. Jede Transfereinheit enthält einen flachen Kasten, der eine Transferkammer begrenzt, in der beispielsweise umlaufende Stahlbänder untergebracht sind, die als in Form von Auflagemitteln realisierte Gegenstands-Haltemittel fungieren und auf denen der jeweils handzuhabende Gegenstand abgelegt ist. Bei entsprechendem Antrieb dieser Stahlbänder wird ein darauf liegender Gegenstand quer zur Verfahrrichtung der Transfereinheiten verlagert und kann in ein Bearbeitungsmodul eingeführt werden. Da die Stahlbänder bei diesem Gegenstandstransfer an Ort und Stelle verbleiben, verlässt ein zu transferierender Gegenstand bei der Übergabe in ein Bearbeitungsmodul allmählich die Gegenstands-Haltemittel, was seine Stabilität beeinträchtigt und sich nachteilig auf die Genauigkeit des Positionierens des Gegenstandes in dem Bearbeitungsmodul auswirkt.Such handling systems are used inter alia in the solar and flat panel industry and serve there for handling plate-shaped objects, in particular to be coated glass plates. The DE 10 2005 039 453 A1 describes a processing plant for processing flat substrates, which is equipped with a handling system of the type mentioned. This known handling system has a transport device which has a plurality of guideways on which transfer units are mounted in such a way by means of guide carriages that they can be moved into a plurality of processing stations and positioned there respectively opposite a processing module. Each transfer unit includes a flat box defining a transfer chamber in which, for example, circulating steel belts are housed, which function as article support means realized in the form of support means and on which the object to be handled is stored. With a corresponding drive of these steel belts, an object lying thereon is displaced transversely to the direction of travel of the transfer units and can be introduced into a processing module. As the steel belts remain in place during this article transfer, an article to be transferred, as it is transferred to a processing module, gradually leaves the article holding means, compromising its stability and adversely affecting the accuracy of positioning of the article in the processing module.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Handhabungssystem der eingangs genannten Art zu schaffen, das trotz platzsparender Bauweise einen präzisen Transfer von Gegenständen ermöglicht.It is therefore an object of the present invention to provide a handling system of the type mentioned, which allows a precise transfer of objects despite space-saving design.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, dass die Transfereinheit eine Tragstruktur und mindestens eine von der Tragstruktur getragene Teleskoparmeinheit aufweist, wobei die Teleskoparmeinheit mehrere in Richtung der Transferbewegung relativ zueinander und relativ zu der Tragstruktur verschiebbare, zueinander parallele Teleskoparme enthält, unter denen sich ein durch die Antriebsmittel antreibbarer Antriebs-Teleskoparm und ein die Gegenstands-Haltemittel aufweisender Halte-Teleskoparm befindet, wobei der Antriebs-Teleskoparm und jeder eventuell zwischen dem Antriebs-Teleskoparm und dem Halte-Teleskoparm angeordnete Teleskoparm mit einer Koppeleinrichtung ausgestattet ist, die einen um Umlenkmittel herumgeschlungenen, biegeflexiblen Zugstrang enthält, wobei der am Antriebs-Teleskoparm angeordnete Zugstrang sowohl bezüglich der Tragstruktur als auch bezüglich des ihm benachbarten Teleskoparmes ortsfest fixiert ist und wobei der Halte-Teleskoparm ortsfest bezüglich des Zugstranges des ihm benachbarten Teleskoparmes fixiert ist.To achieve this object, it is provided that the transfer unit has a support structure and at least one telescopic arm unit carried by the support structure, wherein the telescopic arm unit contains a plurality of parallel telescopic arms displaceable in the direction of the transfer movement relative to each other and relative to the support structure, among which a through the Drive means drivable drive telescopic arm and the object holding means exhibiting holding telescopic arm is located, wherein the drive telescopic arm and any telescopic arm disposed between the drive telescopic arm and the telescopic arm telescopic arm is equipped with a coupling device, which wrapped around deflecting, bending flexible Includes pull string, wherein the pull-string arranged on the drive telescopic arm is fixed in position both with respect to the support structure and with respect to the telescopic arm adjacent thereto, and wherein the holding telescopic arm is stationary with respect to the pull string the telescopic arm adjacent to it is fixed.

Auf diese Weise besteht die Möglichkeit, einen umzupositionierenden Gegenstand während des gesamten Umpositioniervorganges an den Gegenstands-Haltemitteln fixiert zu lassen. Dies gewährleistet eine optimale Stabilität während eines Gegenstandstransfers sowie eine hohe Präzision beim Ablegen an einer dafür vorgesehenen Stelle. Ein Teil der Transfereinheit, nämlich die Teleskoparme, machen die Transferbewegung mit und sind gegebenenfalls in der Lage, seitlich über die in der Regel ortsfest verbleibende Tragstruktur hinauszufahren und einen Gegenstand, zum Beispiel eine Glasplatte, bei dauerhafter Unterstützung an einen neben der Transfereinheit befindlichen Ort, beispielsweise in ein Bearbeitungsmodul, zu verbringen. Die Transfereinheit kann bei Bedarf quer zur Richtung der Transferbewegung sehr schmal gehalten werden, was es erlaubt, die Öffnungen eventuell zugeordneter Bearbeitungsmodule mit sehr kleinem Querschnitt auszuführen, um die im Innern des Bearbeitungsmoduls herrschenden Atmosphäre während der Dauer des Öffnens durch äußere Einflüsse möglichst wenig zu beeinträchtigen.In this way it is possible to leave a repositioned object fixed to the article holding means during the entire repositioning process. This ensures optimum stability during article transfer and high precision when depositing at a designated location. A part of the transfer unit, namely the telescopic arms, carry along the transfer movement and may be able to move laterally beyond the usually remaining supporting structure and an object, for example a glass plate, with permanent support to a place next to the transfer unit, for example, in a processing module to spend. If required, the transfer unit can be kept very narrow transversely to the direction of the transfer movement, which makes it possible to carry out the openings of possibly assigned processing modules with a very small cross-section in order to minimize the influence on the inside of the processing module during the opening time due to external influences ,

Ein zu transferierender Gegenstand ist an den am Halte-Teleskoparm angeordneten Gegenstands-Haltemitteln gehalten und wird zusammen mit diesen zu einer linearen Transferbewegung veranlasst, indem an dem Antriebs-Teleskoparm angreifende Antriebsmittel aktiviert werden. Die Antriebsmittel rufen ein lineares Verfahren des Antriebs-Teleskoparmes hervor, was aufgrund der mindestens einen vorhandenen Koppeleinrichtung den Effekt hat, dass alle weiteren Teleskoparme, einschließlich des Halte-Teleskoparmes, ebenfalls eine Linearbewegung relativ zu dem sie tragenden Teleskoparm ausführen, was letztlich, bezogen auf die Bewegung des Antriebs-Teleskoparmes, eine Weg- und Geschwindigkeitsübersetzung zur Folge hat. Verfügt die Transfereinheit beispielsweise über lediglich zwei Teleskoparme, nämlich einen Antriebs-Teleskoparm und einen Halte-Teleskoparm, bewegt sich der Halte-Teleskoparm bezogen auf die als Basis fungierende Tragstruktur mit doppelter Geschwindigkeit und um die doppelte Wegstrecke wie der Antriebs-Teleskoparm. Bei insgesamt drei Teleskoparmen pro Telekoparmeinheit ergibt sich eine Übersetzung um den Faktor „3”.An article to be transferred is held to the article support means disposed on the support telescoping arm and is caused to move linearly with them by activating drive means engaging the drive telescoping arm. The drive means cause a linear process of the drive telescopic arm, which due to the at least one existing coupling device has the effect that all other telescopic arms, including the holding telescopic arm, also perform a linear movement relative to the telescopic arm carrying them, which ultimately, based on the movement of the drive telescopic arm, a displacement and speed translation result. For example, if the transfer unit has only two telescopic arms, namely a drive telescopic arm and a holding telescopic arm, the holding telescopic arm moves at twice the speed and twice as long as the drive telescopic arm with respect to the supporting structure acting as the base. With a total of three telescopic arms per Telekoparmeinheit results in a translation by the factor "3".

Ob die Teleskoparmeinheit mit nur zwei Teleskoparmen oder mit mehr als zwei Teleskoparmen ausgestattet wird, hängt insbesondere von der gewünschten Transferstrecke und Transfergeschwindigkeit ab. In aller Regel ist es empfehlenswert, zwischen den Antriebs-Teleskoparm und den Halte-Teleskoparm mindestens einen als Zwischen-Teleskoparm bezeichenbaren weiteren Teleskoparm einzugliedern, der dann seinerseits mit den jeweils benachbarten Teleskoparmen über eine Koppeleinrichtung antriebsmäßig gekoppelt ist. Als derzeit optimal hinsichtlich des Verhältnisses zwischen Aufwand und Nutzen wird eine Ausgestaltung angesehen, bei der die mindestens eine Teleskoparmeinheit insgesamt drei Teleskoparme enthält, nämlichen einen Antriebs-Teleskoparm, einen mit Gegenstands-Haltemitteln versehenen Halte-Teleskoparm und einen dazwischen angeordneten Zwischen-Teleskoparm. Whether the telescopic arm unit is equipped with only two telescopic arms or with more than two telescopic arms depends in particular on the desired transfer distance and transfer speed. As a rule, it is advisable to integrate at least one additional telescopic arm, which can be labeled as an intermediate telescopic arm, between the drive telescopic arm and the holding telescopic arm, which in turn is then drivingly coupled to the respectively adjacent telescopic arms via a coupling device. As currently optimal in terms of the relationship between effort and benefits is considered an embodiment in which the at least one telescopic arm unit contains a total of three telescopic arms, namely a drive telescopic arm, provided with a subject-holding means holding telescopic arm and an intermediate intermediate telescopic arm arranged therebetween.

Die jeweilige Koppeleinrichtung verfügt über einen biegeflexiblen, beispielsweise seilförmig oder bandförmig ausgebildeten Zugstrang, der um Umlenkmittel, insbesondere rollenförmige Umlenkmittel, herumgeschlungen ist. Es besteht die Möglichkeit, den Zugstrang einteilig oder mehrteilig, insbesondere aus mehreren aufeinanderfolgenden Zugstrangabschnitten zusammengesetzt, auszubilden. Letzteres eröffnet beispielsweise die Möglichkeit, einen der Zugstrangabschnitte mittels einer Feder vorzuspannen, so dass Dehnungen durch Elastizität oder Temperatur kompensiert werden können.The respective coupling device has a flexurally flexible, for example, rope-shaped or band-shaped cord, which is wrapped around deflecting means, in particular roller-shaped deflection means. It is possible, the pull cord in one piece or in several parts, in particular from several successive Zugstrangabschnitten, form. The latter, for example, opens up the possibility of biasing one of the tension cord sections by means of a spring so that strains can be compensated by elasticity or temperature.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.Advantageous developments of the invention will become apparent from the dependent claims.

Die Transportvorrichtung enthält vorzugsweise eine Positioniereinrichtung, an der die mindestens eine Transfereinheit angeordnet ist und die es ermöglicht, die Transfereinheit in einer zur Transferbewegung rechtwinkeligen horizontalen Richtung oder in einer vertikalen Richtung oder sowohl horizontal als auch vertikal zu verfahren und zu positionieren. Auf diese Weise können umzupositionierende Gegenstände mit hoher Flexibilität im Raum verfahren werden. Es besteht insbesondere die Möglichkeit, die Positioniereinrichtung so aufzubauen, dass die Transfereinheit längs einer Reihe von Bearbeitungsmodulen verfahrbar ist und sich gegenüberliegend jedes dieser Bearbeitungsmodule positionieren lässt, um von dieser Position aus ein Beladen oder Entladen eines Bearbeitungsmoduls durchführen zu können. Auch können bei vertikaler Verfahrbarkeit Höhenunterschiede zwischen den Bearbeitungsmodulen ausgeglichen werden.The transport device preferably includes a positioning device on which the at least one transfer unit is arranged and which makes it possible to move and position the transfer unit in a horizontal direction perpendicular to the transfer movement or in a vertical direction or both horizontally and vertically. In this way, repositioning objects can be moved with high flexibility in space. In particular, it is possible to construct the positioning device in such a way that the transfer unit can be moved along a row of processing modules and opposite each of these processing modules can be positioned in order to be able to load or unload a processing module from this position. Also, vertical differences between the processing modules can be compensated for vertical mobility.

Ein besonders vorteilhafter Aufbau der Teleskoparmeinheit sieht vor, dass die vorhandenen Teleskoparme quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind. Auf diese Weise lässt sich eine geringe Bauhöhe der Teleskoparmeinheit realisieren. Besonders vorteilhaft ist eine dahingehende Anordnung, dass sich sämtliche Teleskoparme zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene erstrecken.A particularly advantageous construction of the telescopic arm unit provides that the existing telescopic arms are arranged horizontally next to one another transversely to their longitudinal axes. In this way, a small overall height of the telescopic arm unit can be realized. Particularly advantageous is a pertinent arrangement that extend all telescopic arms at least approximately in a common horizontal plane.

Benachbarte Teleskoparme sind zweckmäßigerweise durch Linearführungsmittel linear verschiebbar aneinander gelagert. Darüber hinaus kann der Antriebs-Teleskoparm ebenfalls durch Linearführungsmittel an der Tragstruktur verschiebbar gelagert sein. Auf diese Weise ergibt sich eine hohe Stabilität der Teleskoparmeinheit.Adjacent telescopic arms are expediently supported by linear guide means linearly displaceable together. In addition, the drive telescopic arm can also be slidably mounted by linear guide means on the support structure. This results in a high stability of the telescopic arm unit.

Die Linearführungsmittel enthalten zweckmäßigerweise jeweils mindestens eine Führungsschiene und mindestens einen an der Führungsschiene linear verschiebbar gelagerten und in Querrichtung abgestützten Führungsschlitten. Das Zusammenwirken von Führungsschiene und Führungsschlitten erfolgt durch Gleitlagermittel und/oder durch Wälzlagermittel.The linear guide means expediently each comprise at least one guide rail and at least one guide carriage mounted linearly displaceably on the guide rail and supported in the transverse direction. The interaction of guide rail and guide carriage is effected by plain bearing means and / or rolling bearing means.

Die Linearführungsmittel sind vorzugsweise quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet, was die Einhaltung einer geringen Bauhöhe der Transfereinheit gestattet. Alle Linearführungsmittel können beispielsweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene verlaufen.The linear guide means are preferably arranged transversely to their longitudinal axes horizontally next to each other, which allows compliance with a low overall height of the transfer unit. All linear guide means may, for example, extend at least approximately in a common horizontal plane.

Die Antriebsmittel sind zweckmäßigerweise mit einer Antriebseinheit ausgestattet, die mindestens einen sich in Richtung der Transferbewegung erstreckende Linearantrieb aufweist. Dieser Linearantrieb ist an der Tragstruktur ortsfest fixiert und verfügt über ein zu einer linearen Abtriebsbewegung antreibbares Abtriebsteil, das mit dem Antriebs-Teleskoparm bewegungsgekoppelt ist. Obgleich es prinzipiell möglich wäre, die Antriebseinheit elektrisch betätigt auszubilden, insbesondere ausgestattet mit einem elektrischen Servomotor oder Schrittmotor, wird eine Bauform bevorzugt, bei der die Antriebseinheit mindestens einen fluidbetätigten und vorzugsweise kolbenstangenlosen Linearantrieb aufweist. Ein fluidbetätigter Linearantrieb hat den Vorteil, dass er problemlos vakuumtauglich ist, was besonders universelle Einsatzmöglichkeiten gewährleistet.The drive means are expediently equipped with a drive unit which has at least one linear drive extending in the direction of the transfer movement. This linear drive is fixed in place on the support structure and has a drivable to a linear output drive output member which is coupled for movement with the drive telescopic arm. Although it would be possible in principle to form the drive unit electrically actuated, in particular equipped with an electric servomotor or stepper motor, a design is preferred in which the drive unit has at least one fluid-operated and preferably rodless linear drive. A fluid-actuated linear drive has the advantage that it is easily vacuum suitable, which ensures particularly universal applications.

Um bei kleinen Abmessungen hohe Antriebskräfte generieren zu können, ist es vorteilhaft, wenn die Antriebseinheit mit wenigstens zwei parallel geschalteten und antriebsmäßig miteinander gekoppelten Linearantrieben ausgestattet ist.In order to be able to generate high driving forces with small dimensions, it is advantageous if the drive unit is equipped with at least two parallel-connected and drive-coupled linear drives.

Prinzipiell könnte die mindestens eine Transfereinheit mit nur einer einzigen Teleskoparmeinheit ausgestattet sein. Als besonders vorteilhaft wird jedoch ein Aufbau angesehen, der über mindestens zwei quer zur Richtung der Transferbewegung mit Abstand horizontal nebeneinander angeordnete Teleskoparmeinheiten verfügt, die gemeinsam an ein und derselben Tragstruktur angeordnet sind. Diese beiden oder mehr als zwei Teleskoparmeinheiten sind antriebsmäßig synchronisiert, so dass ihre mit Gegenstands-Haltemitteln ausgestatteten Halte-Teleskoparme stets synchron aus- und einfahrbar sind. Die Doppelanordnung von Teleskoparmeinheiten bietet die vorteilhafte Möglichkeit eines besonders stabilen und präzisen Abstützens von zu transportierenden Gegenständen, bei gleichzeitig hoher Verwindungssteifigkeit und geringem Platzbedarf.In principle, the at least one transfer unit could be equipped with only a single telescopic arm unit. However, a construction is considered to be particularly advantageous which is arranged horizontally next to one another over at least two transversely to the direction of the transfer movement Teleskoparmeinheiten has, which are arranged together on one and the same support structure. These two or more than two telescoping arm units are drivingly synchronized so that their holding telescopic arms equipped with article-holding means are always synchronously extendable and retractable. The double arrangement of Teleskoparmeinheiten offers the advantageous possibility of a particularly stable and precise support of objects to be transported, while high torsional rigidity and small footprint.

Die Teleskoparmeinheiten sind insbesondere derart horizontal nebeneinander angeordnet, dass sie im ausgefahrenen Zustand gemeinsam nach Art einer mindestens zweizinkigen Gabel über die bevorzugt plattenförmige Tragstruktur seitlich hinausragen.The telescopic arm units are in particular arranged horizontally next to one another in such a way that, in the extended state, they protrude laterally in the manner of an at least two-pronged fork over the preferably plate-shaped support structure.

Die Antriebseinheit ist, in vertikaler Draufsicht auf die Transfereinheit gesehen, zweckmäßigerweise zwischen den beiden Teleskoparmeinheiten angeordnet, vorzugsweise mittig zwischen diesen beiden Teleskoparmeinheiten. Es sind dann die Antriebs-Teleskoparme beiden Teleskoparmeinheiten über mindestens einen Mitnehmer mit dem Abtriebsteil des mindestens einen Linearantriebes der Antriebseinheit bewegungsgekoppelt. Als Mitnehmer kann mindestens ein biegeflexibler Strang, beispielsweise ein Stahlseil oder ein Stahlband, eingesetzt werden. Eine dauerhaft besonders hohe Präzision bei relativ einfacher Herstellung bietet dagegen eine Bauform, bei der der Mitnehmer strebenartig ausgebildet ist und die Antriebs-Teleskoparme unter Überbrückung des dazwischen vorhandenen Zwischenraumes starr miteinander verbindet. Dieser Mitnehmer kann beispielsweise plattenförmig gestaltet sein. Er kann sich oberhalb oder, vorzugsweise, unterhalb der Antriebseinheit an letzterer vorbei erstrecken, wobei er an dem Abtriebsteil des mindestens einen Linearantriebes befestigt sein kann.The drive unit is, as seen in a vertical plan view of the transfer unit, expediently arranged between the two telescopic arm units, preferably centrally between these two telescopic arm units. There are then the drive telescopic arms of two telescopic arm units via at least one driver with the driven part of the at least one linear drive of the drive unit motion-coupled. As a driver, at least one flexible strand, such as a steel cable or a steel strip, can be used. In contrast, a permanently particularly high precision with relatively simple production offers a design in which the driver is designed like a strut and rigidly connects the drive telescopic arms while bridging the intermediate space between them. This driver may for example be designed plate-shaped. It may extend above or, preferably, below the drive unit past the latter, wherein it may be fastened to the output part of the at least one linear drive.

In vertikaler Draufsicht betrachtet verfügt die Transfereinheit im eingefahren Zustand der mindestens einen Teleskoparmeinheit über einen als Basis-Umriss bezeichenbaren Ausgangsumriss. Innerhalb dieses Basis-Umrisses befinden sich in der Grundstellung der Teleskoparmeinheit(en) sowohl die Gegenstands-Haltemittel als auch die Antriebsmittel. Durch entsprechende Gestaltung der mindestens einen Teleskoparmeinheit ist zweckmäßigerweise gewährleistet, dass im ausgefahrenen Zustand der Teleskoparmeinheiten zwar die Antriebsmittel weiterhin innerhalb des Basis-Umrisses liegen, die Teleskoparmeinheit(en) und insbesondere die Gegenstands-Haltemittel jedoch zumindest teilweise seitlich über den Basis-Umriss hinausragen. Auf diese Weise kann ein an den Gegenstands-Haltemitteln gehaltener Gegenstand, der im eingefahrenen Zustand der Teleskoparmeinheit(en) innerhalb des Basis-Umrisses liegt, komplett aus dem Basis-Umriss hinaus transferiert werden, unter ständiger Beibehaltung der Unterstützung durch die ihn tragenden Gegenstands-Haltemittel.Viewed in a vertical plan view, the transfer unit in the retracted state of the at least one telescopic arm unit has a starting outline that can be labeled as a base outline. Within this basic outline are located in the basic position of the telescopic arm unit (s) both the article-holding means and the drive means. By appropriately designing the at least one telescopic arm unit, it is expedient to ensure that in the extended state of the telescopic arm units, the drive means continue to lie within the basic outline, but the telescopic arm unit (s) and in particular the object holding means project at least partially laterally beyond the base outline. In this way, an object held on the article-holding means, which in the retracted state of the telescoping arm unit (s) lies within the base outline, can be completely transferred out of the base outline, while retaining the support of the object-article supporting it. holding means.

Die Gegenstands-Haltemittel sind insbesondere als Auflagemittel realisiert, auf die der zu transportierende Gegenstand auflegbar ist, so dass er beispielsweise reibungsbedingt festgehalten wird. Der Gegenstand kann zu seinem Aufnehmen von den Gegenstands-Haltemitteln unterfahren und dann angehoben werden. Vorzugsweise sind die Auflagemittel von an der nach oben weisenden Längsseite des Halte-Teleskoparms angeordneten, punktuell verteilten Auflageelementen gebildet, die aus einem elastisch nachgiebigen Material bestehen können. Es ist jedoch auch möglich, die Außenfläche des Halte-Teleskoparmes unmittelbar direkt als Auflagemittel zu nutzen.The article-holding means are in particular realized as a support means on which the object to be transported can be placed, so that it is retained for example due to friction. The article may be undermined and then lifted by the article-holding means for its picking up. Preferably, the support means are arranged on the upwardly facing longitudinal side of the holding telescopic arm, selectively distributed support elements formed, which may consist of an elastically yielding material. However, it is also possible to use the outer surface of the holding telescopic arm directly directly as a support means.

Alternativ zu reinen Auflagemitteln können die Gegenstands-Haltemittel auch als Greifmittel konzipiert sein. Sie können beispielsweise aus einem oder mehreren Sauggreifern bestehen, die einen zu transportierenden Gegenstand mit Unterdruck festhalten. Eine andere verwendbare Art von Greifern sind elektrostatische Greifer, wie sie beispielsweise in der DE 102 32 080 A1 oder der WO 2004/077531 A1 beschrieben werden.As an alternative to pure support means, the article holding means can also be designed as gripping means. For example, they can consist of one or more suction pads, which hold a transportable object with negative pressure. Another useful type of grippers are electrostatic grippers, such as those in the DE 102 32 080 A1 or the WO 2004/077531 A1 to be discribed.

Bei allen Ausführungsformen der Gegenstands-Haltemittel können diese Gegenstands-Haltemittel beispielsweise ausschließlich an dem mindestens einen Halte-Teleskoparm angeordnet sein. Darüber hinaus besteht die Möglichkeit, Gegenstands-Haltemittel vorzusehen, die über eine Halteplatte verfügen, die beispielsweise mit an der Oberseite angeordneten Auflageelementen oder mit an der Unterseite angeordneten Greifmitteln der zuvor geschilderten Art ausgestattet ist. Durch eine solche Halteplatte können auch die Halte-Teleskoparme mehrerer benachbarter Teleskoparmeinheiten miteinander verbunden sein.In all embodiments of the article holding means, these article holding means may for example be arranged exclusively on the at least one holding telescopic arm. In addition, it is possible to provide article-holding means which have a holding plate, which is equipped for example with arranged on the top support elements or arranged on the bottom gripping means of the type described above. By such a holding plate and the holding telescopic arms of several adjacent Teleskoparmeinheiten can be interconnected.

Je nachdem, ob die Halteplatte zum Auflegen von Gegenständen oder zum Greifen von Gegenständen genutzt wird, kann sie beispielsweise an der Oberseite oder an der Unterseite der Halte-Teleskoparme befestigt sein. Auch ist es möglich, die Transfereinheit mit um 180° gewendeter Ausrichtung zu betreiben.Depending on whether the holding plate is used for placing objects or for gripping objects, it may for example be attached to the top or bottom of the holding telescopic arms. It is also possible to operate the transfer unit with 180 ° orientation.

Es ist von Vorteil, wenn die mindestens eine Transfereinheit mit Positionserfassungsmitteln ausgestattet ist, insbesondere in Form eines Wegmesssystems, mit dem sich die aktuelle Position der Gegenstands-Haltemittel direkt oder indirekt erfassen lassen. Die Positionserfassungseinrichtung kooperiert zweckmäßigerweise mit einem Antriebs-Teleskoparm.It is advantageous if the at least one transfer unit is equipped with position detection means, in particular in the form of a position measuring system, with which the current position of the object holding means can be detected directly or indirectly. The position detection device cooperates expediently with a drive telescopic arm.

Das Handhabungssystem lässt sich ohne weiteres derart konzipieren, dass die Teleskoparmeinheiten relativ zu der bevorzugt plattenartigen Tragstruktur ausgehend von einer eingefahrenen Grundstellung in zwei einander entgegengesetzte Richtungen horizontal ausfahrbar und positionierbar sind. Auf diese Weise besteht die Möglichkeit, auf entgegengesetzten Seiten einer Transfereinheit angeordnete Bearbeitungsmodule abwechselnd zu bedienen und beispielsweise Gegenstände aus einem auf der einen Seite der Transfereinheit angeordneten Bearbeitungsmodul zu entnehmen und in ein auf der anderen Seite der Transfereinheit angeordnetes Bearbeitungsmodul zu übergeben. Bei dieser Übergabebewegung ist ein Bewegungsstopp in der eingefahrenen Grundstellung nicht zwingend erforderlich. Es besteht also die vorteilhafte Möglichkeit, die Teleskoparmeinheiten ohne Bewegungsunterbrechung von der einen ausgefahrenen Endstellung in die zur entgegengesetzten Seite ausgefahrene andere Endstellung zu verlagern. The handling system can be readily conceived such that the telescoping arm units are horizontally extendable and positionable relative to the preferably plate-like support structure starting from a retracted basic position in two opposite directions. In this way it is possible alternately to operate processing modules arranged on opposite sides of a transfer unit and, for example, to take objects from a processing module arranged on one side of the transfer unit and transfer them to a processing module arranged on the other side of the transfer unit. In this transfer movement is a movement stop in the retracted home position is not mandatory. Thus, there is the advantageous possibility of relocating the Teleskoparmeinheiten without interruption of movement from the one extended end position in the extended to the opposite side other end position.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings. In this show:

1 eine teilweise schematisierte Draufsicht auf eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Handhabungssystems im Zusammenhang mit einer Bearbeitungsanlage, wobei die vorhandene Teleskoparmeinheiten in der eingefahrenen Grundstellung gezeigt sind und wobei ein zu transportierender plattenförmiger Gegenstand strichpunktiert angedeutet ist, 1 a partially schematic plan view of a preferred embodiment of the handling system according to the invention in connection with a processing plant, wherein the existing Teleskoparmeinheiten are shown in the retracted home position and wherein a transportable plate-shaped object is indicated by dash-dotted lines,

2 eine Stirnansicht der Anordnung aus 1 mit Blickrichtung gemäß Pfeil II, 2 an end view of the arrangement 1 looking in the direction of arrow II,

3 eine Seitenansicht der bei dem Handhabungssystem der 1 und 2 vorhandenen Transfereinheit mit Blickrichtung gemäß Pfeil 111 aus 1, 3 a side view of the handling system of 1 and 2 existing transfer unit as viewed in the arrow 111 out 1 .

4 eine Draufsicht auf die aus 1 bis 3 ersichtliche Transfereinheit in einer Zwischenstellung der Teleskoparmeinheiten, die zwischen der eingefahrenen Grundstellung und der ausgefahrenen Endstellung liegt, wobei ein zu transferierender Gegenstand wiederum mit strichpunktierter Linie gezeigt ist, 4 a top view of the 1 to 3 apparent transfer unit in an intermediate position of the Teleskoparmeinheiten, which lies between the retracted home position and the extended end position, wherein an object to be transferred is again shown with dotted line,

5 eine Seitenansicht der Transfereinheit aus 4 mit Blickrichtung gemäß Pfeil V. 5 a side view of the transfer unit 4 with view in accordance with arrow V.

6 eine Draufsicht auf die Transfereinheit bei in die ausgefahrene Endstellung verfahrenen Teleskoparmeinheiten und mit strichpunktierter Illustration eines zu transferierenden Gegenstandes, 6 a top view of the transfer unit in the extended end position moved Teleskoparmeinheiten and with dash-dotted illustration of an object to be transferred,

7 eine Seitenansicht der Transfereinheit aus 6 mit Blickrichtung gemäß Pfeil VII, 7 a side view of the transfer unit 6 looking in the direction of arrow VII,

8 eine Stirnansicht einer bevorzugten Ausgestaltung einer Teleskoparmeinheit, wie sie bei der Transfereinheit der 1 bis 7 verwirklicht ist, mit Blickrichtung gemäß Pfeil VIII aus 1, 8th an end view of a preferred embodiment of a telescopic arm, as in the transfer unit of 1 to 7 is realized, looking in accordance with arrow VIII 1 .

9 eine schematische Seitenansicht der Transfereinheit mit Blickrichtung gemäß Pfeil II in der eingefahrenen Grundstellung einer Transporteinheit, 9 a schematic side view of the transfer unit with viewing direction according to arrow II in the retracted basic position of a transport unit,

10 die Anordnung aus 9 bei teilweise ausgefahrener Teleskoparmeinheit entsprechend einer Seitenansicht gemäß Pfeil V aus 4, und 10 the arrangement 9 at partially extended telescopic arm according to a side view according to arrow V from 4 , and

11 die Anordnung aus 9 und 10 in einer Seitenansicht gemäß Pfeil VII aus 6 zur Illustration der ausgefahrenen Endstellung einer Teleskoparmeinheit. 11 the arrangement 9 and 10 in a side view according to arrow VII 6 to illustrate the extended end position of a Teleskoparmeinheit.

Die 1 zeigt schematisch einen Ausschnitt einer Bearbeitungsvorrichtung 1, in der Gegenstände 2, insbesondere flächige bzw. plattenförmige Gegenstände 2, bearbeitet werden können. Beispielsweise handelt es sich bei der Bearbeitungsvorrichtung um eine Vorrichtung zur Beschichtung von Glasplatten in der Solar- und/oder Flachbildschirmindustrie.The 1 schematically shows a section of a processing device 1 in which objects 2 , in particular flat or plate-shaped objects 2 , can be edited. For example, the processing device is a device for coating glass plates in the solar and / or flat panel industry.

Die Bearbeitungsvorrichtung 1 enthält exemplarisch ein Lade-/Endlademodul 3 und mehrere Bearbeitungsmodule 4, die in einer Reihe liegend aufeinanderfolgend angeordnet sind. Neben der Modulreihe ist ein Handhabungssystem 5 angeordnet, das in der Lage ist, zu bearbeitende Gegenstände 2 aus dem Lade-/Endlademodul 3 zu entnehmen und in eines der Bearbeitungsmodule 4 zu verbringen, sowie nach der Bearbeitung aus dem betreffenden Bearbeitungsmodul 4 zu entnehmen und wieder an das Lade-/Endlademodul 3 zum Herausschleusen aus der Bearbeitungsvorrichtung 1 zurückzubringen. Das Handhabungssystem 5 kann auch zur Umpositionierung von Gegenständen 2 zwischen verschiedenen Bearbeitungsmodulen 4 eingesetzt werden.The processing device 1 contains an example of a charging / discharging module 3 and several editing modules 4 which are arranged in a row lying consecutively. Next to the module row is a handling system 5 arranged, which is able to edit objects 2 from the charging / discharging module 3 and in one of the editing modules 4 to spend, as well as after processing from the respective processing module 4 and again to the charging / discharging module 3 for ejection from the processing device 1 return. The handling system 5 can also be used to reposition objects 2 between different processing modules 4 be used.

Ein wesentlicher Bestandteil des Handhabungssystems 5 ist eine in ihrer Gesamtheit mit Bezugsziffer 6 bezeichnete Transportvorrichtung. Selbige umfasst mindestens eine Transfereinheit 7 und zweckmäßigerweise auch eine zum wunschgemäßen Verfahren und Positionieren der Transfereinheit 7 dienende Positioniereinrichtung 8.An essential part of the handling system 5 is one in its entirety with reference number 6 designated transport device. The same includes at least one transfer unit 7 and expediently also a desired method and positioning of the transfer unit 7 serving positioning device 8th ,

Die Positioniereinrichtung 8 verfügt über eine Linearführung 12, die ein Verfahren der Transfereinheit 7 in einer horizontalen, ersten Verfahrrichtung 13 ermöglicht. Die Transfereinheit 7 ist dabei zweckmäßigerweise unter Vermittlung einer Hubeinrichtung 14 an der Linearführung 12 gelagert, die es ermöglicht, die Transfereinheit 7 in einer zur ersten Verfahrrichtung 13 rechtwinkeligen, vertikalen zweiten Verfahrrichtung 15 zu verfahren. Eine oder mehrere nicht dargestellte Antriebseinrichtungen der Positioniereinrichtung 8 ermöglichen den Verfahrantrieb der Transfereinheit 7, um die genannten Verfahrbewegungen 13, 15 hervorrufen zu können.The positioning device 8th has a linear guide 12 , which is a method of transfer unit 7 in a horizontal, first traversing direction 13 allows. The transfer unit 7 is expediently under mediation of a lifting device 14 on the linear guide 12 stored, which allows the transfer unit 7 in one to the first traversing 13 right-angled, vertical second travel direction 15 to proceed. One or more drive means, not shown, of the positioning device 8th enable the travel drive of the transfer unit 7 to the mentioned traversing movements 13 . 15 to be able to cause.

Durch Verfahren in der ersten Verfahrrichtung 13 kann die Transfereinheit 7 längs der Reihe von Modulen 3, 4 bewegt werden, um sie horizontal gegenüberliegend jeweils eines der Module 3, 4 positionieren zu können. Befinden sich alle Module 3, 4 auf gleicher Höhe, kann auf die vertikale zweite Verfahrmöglichkeit 15 der Transfereinheit 7 verzichtet werden.By process in the first direction of travel 13 can the transfer unit 7 along the row of modules 3 . 4 be moved to horizontally opposite each one of the modules 3 . 4 to be able to position. Are all modules 3 . 4 at the same height, can on the vertical second Verfahrmöglichkeit 15 the transfer unit 7 be waived.

Soll eine Transfereinheit 7 lediglich ein einziges Modul bedienen oder zwei sich auf entgegengesetzten Seiten der Transfereinheit gegenüberliegende Module, kann auf die horizontale und/oder auf die vertikale Verfahrmöglichkeit der Transfereinheit 7 auch verzichtet werden. In diesem Falle erspart man sich eine aufwendig konstruierte Positioniereinrichtung 8.Should a transfer unit 7 operate only a single module or two opposite on opposite sides of the transfer unit modules, can on the horizontal and / or on the vertical displacement of the transfer unit 7 also be waived. In this case, you save yourself a consuming constructed positioning 8th ,

Jedes Modul 3, 4 hat eine nicht dargestellte, normalerweise geschlossene Öffnung, die der Transportvorrichtung 6 zugewandt ist. Die Transporteinheit 7 kann beim Ausführungsbeispiel durch Verfahren in der ersten Verfahrrichtung 13 so positioniert werden, dass sie einer der Öffnungen der Module 3, 4 gegenüberliegt.Every module 3 . 4 has a not shown, normally closed opening, the transport device 6 is facing. The transport unit 7 can in the embodiment by methods in the first direction of travel 13 be positioned so that they are one of the openings of the modules 3 . 4 opposite.

Das Lade-/Endlademodul 3 dient dazu, zu bearbeitende plattenförmige Gegenstände 2 ein- und auszuschleusen. Die Transfereinheit 7 kann einen in dem Lade-/Endlademodul 3 befindlichen Gegenstand 2 aufnehmen, herausholen, in den einem Bearbeitungsmodul 4 gegenüberliegenden Bereich verfahren und dann, nachdem zuvor die zugeordnete Öffnung freigegeben wurde, in das ausgewählte Bearbeitungsmodul 4 einführen und dort ablegen. Auf diese Weise lässt sich ein Gegenstand 2 zwischen Lade-/Endlademodul 3 und einem Bearbeitungsmodul 4 transferieren. Umgekehrte Transfers sind ebenfalls möglich und auch Gegenstandstransfers zwischen verschiedenen Bearbeitungsmodulen 4.The charging / discharging module 3 serves to plate-shaped objects to be processed 2 in and out. The transfer unit 7 can one in the charge / discharge module 3 located object 2 record, bring out, in the one editing module 4 Move the opposite area and then, after previously the associated opening has been released, in the selected processing module 4 introduce and store there. In this way, an object can be 2 between charging / discharging module 3 and a processing module 4 transfer. Reverse transfers are also possible and also subject transfers between different processing modules 4 ,

Die Transfereinheit 7, die einfach oder mehrfach vorhanden sein kann, enthält eine zweckmäßigerweise plattenförmig ausgebildete und bevorzugt horizontal ausgerichtete Tragstruktur 16. Diese definiert exemplarisch eine horizontal verlaufende, vertikal nach oben weisende Tragebene 16a. Über dieser Tragstruktur 16 ist die Transfereinheit 7 an der Positioniereinrichtung 8 fixiert. Mit anderen Worten wirkt die Positioniereinrichtung 8 auf die Tragstruktur 16 und ist in der Lage, selbige in der ersten Verfahrrichtung 13 und, optional, in der zweiten Verfahrrichtung 15 zu verlagern.The transfer unit 7 , which may be present once or several times, contains a suitably plate-shaped and preferably horizontally oriented support structure 16 , By way of example, this defines a horizontally extending, vertically upwardly pointing carrying plane 16a , About this support structure 16 is the transfer unit 7 at the positioning device 8th fixed. In other words, the positioning device acts 8th on the support structure 16 and is capable of the same in the first direction of travel 13 and, optionally, in the second direction of travel 15 to relocate.

Die Tragstruktur 16 trägt im Bereich der Tragebene 16a zwei Teleskoparmeinheiten 17, 18, die jeweils mehrere Teleskoparme 22 beinhaltet, die relativ zueinander und auch jeweils mit Bezug zu der Tragstruktur 16 unter Ausführung einer durch einen Doppelpfeil angedeuteten linearen Transferbewegung 23 verfahrbar sind. Die Transferbewegung 23 ist horizontal ausgerichtet und verläuft beim Ausführungsbeispiel rechtwinkelig zu der ersten Verfahrrichtung 13 und auch zu der optionalen zweiten Verfahrrichtung 15.The supporting structure 16 carries in the area of the carrying plane 16a two telescopic arm units 17 . 18 , each with several telescopic arms 22 includes, relative to each other and also each with respect to the support structure 16 under execution of a indicated by a double arrow linear transfer movement 23 are movable. The transfer movement 23 is oriented horizontally and runs in the embodiment perpendicular to the first direction of travel 13 and also to the optional second travel direction 15 ,

Jeder Teleskoparm 22 hat eine Längsgestalt. Alle Teleskoparme 22 sind mit ihrer Längsrichtung parallel zu der Transferbewegung 23 ausgerichtet.Every telescopic arm 22 has a longitudinal shape. All telescopic arms 22 are with their longitudinal direction parallel to the transfer movement 23 aligned.

An der Tragstruktur 16 sind die beiden Transfereinheiten 17, 18 quer und insbesondere rechtwinkelig zur Richtung der Transferbewegung 23 mit Abstand horizontal nebeneinander angeordnet. Die Tragstruktur 16 trägt gemeinsam beide Teleskoparmeinheiten 17, 18.On the support structure 16 are the two transfer units 17 . 18 transverse and in particular perpendicular to the direction of the transfer movement 23 spaced horizontally next to each other. The supporting structure 16 carries both telescopic arm units together 17 . 18 ,

Exemplarisch enthält jede Teleskoparmeinheit 17, 18 insgesamt drei Teleskoparme 22. Im Einzelnen sind dies ein Antriebs-Teleskoparm 22a, ein Halte-Teleskoparm 22c und ein zwischen diesen beiden Teleskoparmen 22a, 22c angeordneter Zwischen-Teleskoparm 22b.As an example, each telescopic arm unit contains 17 . 18 a total of three telescopic arms 22 , In detail, these are a drive telescopic arm 22a , a holding telescopic arm 22c and one between these two telescopic arms 22a . 22c arranged intermediate telescopic arm 22b ,

Der Antriebs-Teleskoparm 22a ist unter Vermittlung erster Linearführungsmittel 24a zur Ausführung der Transferbewegung 23 linear verschiebbar an der Tragstruktur 16 gelagert. Man kann insgesamt also sagen, dass zum einen jeweils benachbarte Teleskoparme 22a, 22b, 22c linear verschiebbar aneinander gelagert sind und dass zum anderen der Antriebs-Teleskoparm 22a an der Tragstruktur 16 verschiebbar gelagert ist.The drive telescopic arm 22a is mediated by first linear guide means 24a to carry out the transfer movement 23 linearly displaceable on the support structure 16 stored. So one can say that on the one hand in each case adjacent telescopic arms 22a . 22b . 22c Linearly displaceable are stored together and that on the other hand, the drive telescopic arm 22a on the supporting structure 16 is slidably mounted.

Jeder Teleskoparm 22 ist im Übrigen zweckmäßigerweise holmartig gestaltet, wobei er sich allerdings aus mehreren Bestandteilen zusammensetzen kann.Every telescopic arm 22 Incidentally, it is expediently shaped like a spar, although it can be composed of several components.

Die Bezeichnung des „Halte-Teleskoparmes” 22c rührt daher, dass er – beim Ausführungsbeispiel an seiner vertikal nach oben weisenden Oberseite – mit Gegenstands-Haltemitteln 25 ausgestattet ist. Selbige sind beim Ausführungsbeispiel als Auflagemittel ausgebildet, insbesondere in Gestalt von in Längsrichtung des Halte-Teleskoparms 22c punktuell verteilten Auflageelementen, die beispielsweise aus Kunststoffmaterial bestehen. Allerdings können als Auflagemittel konzipierte Gegenstands-Haltemittel 25, wie dies in 9 bis 11 illustriert ist, auch unmittelbar von der nach oben weisenden, insbesondere ebenen Außenfläche des Halte-Teleskoparmes 22c gebildet sein. Zweckmäßig ist es, wenn die als Auflagemittel konzipierten Gegenstands-Haltemittel 25 über rutschfeste Eigenschaften verfügen.The name of the "holding telescopic arm" 22c This is due to the fact that it - in the embodiment on its vertically upwardly facing top - with article-holding means 25 Is provided. The same are formed in the embodiment as a support means, in particular in the form of in the longitudinal direction of the holding telescopic arm 22c selectively distributed support elements, which consist for example of plastic material. However, article support means designed as a support means 25 like this in 9 to 11 is illustrated, also directly from the upwardly facing, in particular flat outer surface of the holding telescopic arm 22c be formed. It is useful if the object holding means designed as a support means 25 have non-slip properties.

Die Gegenstands-Haltemittel 25 ermöglichen das lose Auflegen des zu transferierenden Gegenstandes 2. Ein zu transferierender bzw. zu transportierender Gegenstand 2 ist also von oben her auf die beiden Teleskoparmeinheiten 17, 18 aufgelegt, wobei er, wie dies in der Zeichnung illustriert ist, den zwischen den benachbarten Teleskoparmeinheiten 17, 18 vorhandenen Zwischenraum 26 überbrückt und auf den Gegenstands-Haltemitteln 25 beider Halte-Teleskoparme 22c verrutschungssicher aufliegt.The article holding means 25 allow the loose placement of the object to be transferred 2 , An object to be transferred or transported 2 is thus from above on the two Teleskoparmeinheiten 17 . 18 as illustrated in the drawing, between the adjacent telescoping arm units 17 . 18 existing gap 26 bridged and on the article-holding means 25 both holding telescopic arms 22c rests against slipping.

Dadurch, dass die Gegenstands-Haltemittel 25 an dem Halte-Teleskoparm 22c angeordnet sind, sind sie zusammen mit diesem unter Ausführung der linearen Transferbewegung 23 horizontal verfahrbar.In that the article-holding means 25 on the holding telescopic arm 22c are arranged, they are together with this under execution of the linear transfer movement 23 horizontally movable.

Die Gegenstands-Haltemittel 25 können beispielsweise auch als Greifmittel ausgebildet sein, die einen zu transferierenden Gegenstand insbesondere von unten her oder von oben her ergreifen. Solche Greifmittel sind beispielsweise in Form von auf Unterdruckbasis arbeitenden Sauggreifern oder auf der Basis elektrostatischer Greifer verwirklicht. Auch mechanische Greifer sind möglich. Die Greifmittel können, wie beim Ausführungsbeispiel die Auflagemittel, an der Oberseite des jeweiligen Halte-Teleskoparmes angeordnet sein, wobei man die Teleskoparmeinheiten oder die gesamte Transfereinheit 7, je nachdem, ob ein Gegenstand von unten oder von oben her ergriffen werden soll, entweder in der aus der Zeichnung ersichtlichen Ausrichtung betriebt oder in einer um 180° gedrehten Ausrichtung, – also quasi auf dem Kopf stehend – so dass die beim Ausführungsbeispiel nach oben weisende Seite der Halte-Teleskoparme nach unten weist.The article holding means 25 For example, they can also be embodied as gripping means which grip an object to be transferred, in particular from below or from above. Such gripping means are realized, for example, in the form of vacuum grippers or on the basis of electrostatic grippers. Also mechanical grippers are possible. The gripping means can, as in the embodiment of the support means, be arranged on the upper side of the respective holding telescopic arm, wherein the telescopic arm units or the entire transfer unit 7 , depending on whether an object is to be taken from below or from above, either in the direction shown in the drawing operating or in a rotated by 180 ° orientation, - so quasi upside down - so that in the embodiment upwards pointing side of the holding telescopic arms facing down.

Die Transferbewegung 23 ist durch Antriebsmittel 27 hervorrufbar. Letztere sind exemplarisch an der Tragstruktur 16, insbesondere an deren Tragebene 16a, angeordnet und stehen mit jedem Antriebs-Teleskoparm 22a in Antriebsverbindung.The transfer movement 23 is by drive means 27 hervorrufbar. The latter are exemplary of the supporting structure 16 , in particular at the support level 16a , arranged and stand with each drive telescopic arm 22a in drive connection.

Einander jeweils unmittelbar benachbarte Teleskoparme 22a, 22b; 22b, 22c sind jeweils durch eine Koppeleinrichtung 28 antriebsmäßig gekoppelt. Durch diese Kopplung wird erreicht, dass aus der durch die Antriebsmittel 27 hervorgerufenen Transferbewegung 23 des Antriebs-Teleskoparmes 22a eine Transferbewegung 23 des darauffolgenden Zwischen-Teleskoparmes 22b generiert wird, wobei aus der Transferbewegung 23 dieses Zwischen-Teleskoparmes 22b die Transferbewegung 23 des Halte-Teleskoparmes 22c erzeugt wird.Each other directly adjacent telescopic arms 22a . 22b ; 22b . 22c are each by a coupling device 28 drivingly coupled. By this coupling is achieved that from the by the drive means 27 caused transfer movement 23 of the drive telescopic arm 22a a transfer movement 23 of the subsequent intermediate telescopic arm 22b is generated, taking out of the transfer movement 23 this intermediate telescopic arm 22b the transfer movement 23 of the holding telescopic arm 22c is produced.

Letztlich werden also sämtliche Linearbewegungen der zur gleichen Teleskoparmeinheit 17, 18 gehörenden Teleskoparme 22 durch das Antreiben des Antriebs-Teleskoparmes 22a hervorgerufen, mit dem die Antriebsmittel 27 kooperieren.Ultimately, therefore, all linear movements of the same Teleskoparmeinheit 17 . 18 belonging telescopic arms 22 by driving the drive telescopic arm 22a caused by the drive means 27 cooperate.

Aufbau und Wirkungsweise der Koppeleinrichtungen 28 ist besonders gut aus 8 bis 11 ersichtlich.Structure and operation of the coupling devices 28 is especially good 8th to 11 seen.

Eine an dem Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnete erste Koppeleinrichtung 28 verfügt über zwei mit axialem Abstand zueinander am Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnete Umlenkmittel 32 – vorzugsweise in Gestalt von am Antriebs-Teleskoparm 22a drehbar gelagerten Umlenkrollen –, sowie einen um diese beiden Umlenkmittel 32 herumgeschlungenen, biegeflexiblen Zugstrang 33. Bei dem Zugstrang 33 handelt es sich insbesondere um ein Seil oder um ein Band, vorzugsweise aus Metall oder aus einem hoch zugfesten Kunststoffmaterial. Abgebildet ist eine einteilige Variante des Zugstranges 33, dieser kann jedoch ohne weiteres auch aus mehreren aufeinanderfolgend angeordneten Strangteilen bzw. Strangabschnitten bestehen.One on the drive telescopic arm 22a arranged first coupling device 28 has two with axial distance to each other on the drive telescopic arm 22a arranged deflection 32 - Preferably in the form of the drive telescopic arm 22a rotatably mounted pulleys -, and one around these two deflection 32 looped, bend-flexible cord 33 , At the tension cord 33 it is in particular a rope or a band, preferably made of metal or of a high tensile plastic material. Pictured is a one-piece version of the pull string 33 However, this can readily consist of several successively arranged strand parts or strand sections.

An dem Zwischen-Teleskoparm 22a ist eine vergleichbar ausgebildete weitere Koppeleinrichtung 28 angeordnet, deren Komponenten in der Zeichnung mit identischen Bezugszeichen versehen sind.At the intermediate telescopic arm 22a is a comparably trained further coupling device 28 arranged, whose components are provided in the drawing with identical reference numerals.

Jeder Zugstrang 33 kann eine hin und her gehende Umlaufbewegung (Doppelpfeil 30) um die von ihm umschlungenen Umlenkmittel 32 ausführen. Bei dieser Umlaufbewegung 30 bewegen sich zwischen den Umlenkmitteln 32 erstreckenden Strangtrume 33a, 33b jeweils in der einen oder anderen Richtung der Transferbewegung 23.Every string of tension 33 can be a reciprocating motion (double arrow 30 ) around the deflecting means wrapped around it 32 To run. In this orbital motion 30 move between the deflection 32 extending strand dreams 33a . 33b in each case in one or the other direction of the transfer movement 23 ,

Jeder Zugstrang 33 verfügt exemplarisch über einen ersten Strangtrum 33a und einen zweiten Strangtrum 33b. Der am Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnete Zugstrang 33 ist mit seinem ersten Strangtrum 33a an mindestens einer Befestigungsstelle 34 an der Tragstruktur 16 ortsfest fixiert. Der zweite Strangtrum 33b dieses Zugstranges 33 ist an mindestens einer zweiten Befestigungsstelle 35 an dem dem Antriebs-Teleskoparm 22a benachbarten Teleskoparm 22 ortsfest fixiert, bei dem es sich exemplarisch um den Zwischen-Teleskoparm 22b handelt.Every string of tension 33 has an example of a first strand 33a and a second strand 33b , The at the drive telescopic arm 22a arranged tensile strand 33 is with his first strand 33a at least one attachment point 34 on the supporting structure 16 fixed in place. The second strand 33b this train string 33 is at least one second attachment point 35 on the drive telescopic arm 22a adjacent telescopic arm 22 fixed in place, which is exemplified by the intermediate telescopic arm 22b is.

Was den Zugstrang 33 des Zwischen-Teleskoparmes 22b anbelangt, so ist dessen erster Strangtrum 33a an mindestens einer dritten Befestigungsstelle 36 ortsfest an dem Zwischen-Teleskoparm 22b fixiert und sein zweiter Strangtrum 33b ist an mindestens einer vierten Befestigungsstelle 37 ortsfest am Halte-Teleskoparm 22c befestigt. Letzteres bedeutet, dass der Halte-Teleskoparm 22c jedenfalls ortsfest bezüglich des Zugstranges 33 des ihm benachbarten Teleskoparmes 22 fixiert ist, der beim Ausführungsbeispiel von dem Zwischen-Teleskoparm 22b gebildet ist.What the pull string 33 of the intermediate telescopic arm 22b As far as its first strand is concerned 33a at least one third attachment point 36 fixed to the intermediate telescopic arm 22b fixed and his second strand 33b is at least a fourth attachment point 37 stationary on the holding telescopic arm 22c attached. The latter means that the holding telescopic arm 22c in any case, stationary with respect to the tension cord 33 of the telescopic arm adjacent to it 22 is fixed, the in the embodiment of the intermediate telescopic arm 22b is formed.

Bei einer Ausführungsform, die keinen Zwischen-Teleskoparm 22b besitzt, erfolgt die ortsfeste Fixierung des Halte-Teleskoparmes 22a dementsprechend am zweiten Strangtrum 33b des am Antriebs-Teleskoparm 22a angeordneten Zugstranges 33.In one embodiment, no intermediate telescopic arm 22b owns, the stationary fixation of the holding telescopic arm 22a accordingly at the second strand strand 33b of the drive telescopic arm 22a arranged pull strings 33 ,

Es wäre ohne weiteres auch denkbar, anstelle nur eines einzigen Zwischen-Teleskoparmes 22b mehrere Zwischen-Teleskoparme 22b zwischen den Antriebs-Teleskoparm 22a und den Halte-Teleskoparm 22c einzugliedern, wobei in diesem Falle die Kopplung in gleicher Weise wie vorstehend geschildert stattfindet.It would also be conceivable, instead of just a single intermediate telescopic arm 22b several intermediate telescopic arms 22b between the drive telescopic arm 22a and the holding telescopic arm 22c to incorporate, in which case the coupling takes place in the same manner as described above.

Die gegenseitige Fixierung der einzelnen Komponenten an den Befestigungsstellen 3437 erfolgt beispielsweise mittels Befestigungslaschen 38, die in der Lage sind, vorhandene Abstände zu überbrücken.The mutual fixation of the individual components at the attachment points 34 - 37 For example, by means of fastening tabs 38 which are able to bridge existing distances.

Bei Bedarf können einzelne Befestigungsstellen auch mehrfach vorhanden sein.If necessary, individual attachment points can also be present multiple times.

Ein Vergleich der 9 bis 11 macht die bei Aktivierung der Antriebsmittel 27 stattfindenden Bewegungsabläufe deutlich.A comparison of 9 to 11 makes the activation of the drive means 27 clearly occurring movements.

Beginnend mit der in 9 gezeigten eingefahrenen Grundstellung, sind sämtliche Teleskoparme 22 eingefahren und liegen zweckmäßigerweise in Achsrichtung der Transferbewegung 23 im Wesentlichen auf gleicher Höhe.Starting with the in 9 shown retracted home position, are all telescopic arms 22 retracted and expediently lie in the axial direction of the transfer movement 23 essentially at the same height.

Bei Betätigung der Antriebsmittel 27 erfährt der Antriebs-Teleskoparm 22a einen Vorschub, wobei sein Zugstrang 33 an der ersten Befestigungsstelle 34 ortsfest bleibt. Die Folge hiervon ist, dass dieser Zugstrang 33 um die Umlenkmittel 32 des sich bewegenden Antriebs-Teleskoparmes 22a umläuft und hierdurch, wie aus 10 und 11 ersichtlich ist, die an dem Zugstrang 33 angeordnete zweite Befestigungsstelle 35 eine axiale Verlagerung erfährt. Diese axiale Verlagerung hat zur Folge, dass der an der zweiten Befestigungsstelle 35 angeordnete Zwischen-Teleskoparm 22b mitgenommen wird. Da dessen Zugstrang 33 an der dritten Befestigungsstelle 36 ortsfest am Antriebs-Teleskoparm 22a fixiert ist, läuft auch der Zugstrang 33 des Zwischen-Teleskoparmes 22b um die Umlenkmittel 32 des Zwischen-Teleskoparmes 22b um. Letzteres hat zur Folge, dass die am zweiten Strangtrum 33b des betreffenden Zugstranges 33 geordnete vierte Befestigungsstelle 37 ihrerseits axial verlagert wird und dabei den Halte-Teleskoparm 22c mit den daran angeordneten Gegenstands-Haltemitteln 25 mitnimmt.Upon actuation of the drive means 27 learns the drive telescopic arm 22a a feed, being his tensile strand 33 at the first attachment point 34 remains stationary. The consequence of this is that this tensile strand 33 around the deflection 32 of the moving drive telescopic arm 22a revolves and thereby, how out 10 and 11 it can be seen that on the tension cord 33 arranged second attachment point 35 undergoes an axial displacement. This axial displacement has the consequence that at the second attachment point 35 arranged intermediate telescopic arm 22b is taken. As its tensile strand 33 at the third attachment point 36 stationary on the drive telescopic arm 22a is fixed, runs the cord 33 of the intermediate telescopic arm 22b around the deflection 32 of the intermediate telescopic arm 22b around. The latter has the consequence that the second strand strand 33b of the relevant pull string 33 ordered fourth attachment point 37 in turn is displaced axially, while the holding telescopic arm 22c with the article-holding means disposed thereon 25 entraining.

Die Linearbewegung der einzelnen Teleskoparme 22 findet gleichzeitig und relativ zueinander mit gleicher Geschwindigkeit statt. Durch die Kopplung wird jedoch erreicht, dass letztlich der Halte-Teleskoparm 22c bezüglich dem Antriebs-Teleskoparm 22a mit der dreifachen Geschwindigkeit um die dreifache Wegstrecke verlagert wird. Diese Weg- und Geschwindigkeitsübersetzung reduziert sich vom Faktor „drei” auf den Faktor „zwei”, wenn auf den Zwischen-Teleskoparm 22b verzichtet wird.The linear movement of the individual telescopic arms 22 takes place simultaneously and relative to each other at the same speed. By coupling is achieved, however, that ultimately the holding telescopic arm 22c with respect to the drive telescopic arm 22a is shifted by three times the speed by three times the distance. This displacement and speed ratio reduces from the factor "three" to the factor "two" when on the intermediate telescopic arm 22b is waived.

Auf diese Weise kann die Teleskoparmeinheit 17, 18 aus der eingefahrenen Grundstellung in die ausgefahrene Endstellung bewegt werden. Zum Zurückfahren in die Grundstellung sind lediglich die Antriebsmittel mit umgekehrten Vorzeichen zu betreiben.In this way, the telescopic arm unit 17 . 18 be moved from the retracted home position in the extended end position. To return to the basic position, only the drive means to operate with the opposite sign.

Vorteilhafterweise besteht die Möglichkeit, jede Teleskoparmeinheit 17, 18 ausgehend von der Grundstellung durch entsprechende Aktivierung der Antriebsmittel 27 wahlweise in die eine oder andere axiale Richtung auszufahren. Auf diese Weise ist die Transportvorrichtung 6 in der Lage, beidseits der Transfereinheit 7 angeordnete Module 3, 4 zu bedienen.Advantageously, there is the possibility of each Teleskoparmeinheit 17 . 18 starting from the basic position by appropriate activation of the drive means 27 optionally extend in one or the other axial direction. In this way, the transport device 6 able to both sides of the transfer unit 7 arranged modules 3 . 4 to use.

Wenn man die Transfereinheit 7 in einer Draufsicht von oben betrachtet, verfügt sie in dem aus 1 bis 3 und 9 ersichtlichen eingefahrenen Zustand der Teleskoparmeinheiten 17, 18 über einen beim Ausführungsbeispiel vom Umriss der plattenförmigen Tragstruktur 16 definierten Basis-Umriss 42. Innerhalb dieses Basis-Umrisses befinden sich bei eingefahrenen Teleskoparmeinheiten 17, 18 sowohl die Gegenstands-Haltemittel 25 als auch die Antriebsmittel 27. Genauer gesagt sind beim Ausführungsbeispiel in der eingefahrenen Grundstellung beide Teleskoparmeinheiten 17, 18 vollständig innerhalb des Basis-Umrisses 42 angeordnet.If you have the transfer unit 7 seen in a plan view from above, it has in the off 1 to 3 and 9 apparent retracted state of Teleskoparmeinheiten 17 . 18 about a embodiment of the outline of the plate-shaped support structure 16 defined base outline 42 , Within this basic outline are located in retracted Teleskoparmeinheiten 17 . 18 both the article-holding means 25 as well as the drive means 27 , More specifically, in the embodiment in the retracted home position both Teleskoparmeinheiten 17 . 18 completely within the basic outline 42 arranged.

Ein flächiger bzw. plattenförmiger Gegenstand, der auf den Gegenstands-Haltemitteln 25 abgelegt ist, befindet sich in der eingefahrenen Grundstellung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 zweckmäßigerweise ebenfalls zur Gänze innerhalb des Basis-Umrisses 42. Auf diese Weise kann die Transfereinheit 7 problemlos in der ersten Verfahrrichtung 13 entlang den seitlich daneben angeordneten Modulen 3, 4 verfahren werden.A sheet-like article resting on the article-holding means 25 is stored, is located in the retracted basic position of Teleskoparmeinheiten 17 . 18 expediently also entirely within the basic outline 42 , In this way, the transfer unit 7 easily in the first direction of travel 13 along the modules arranged laterally next to it 3 . 4 be moved.

Wenn durch Betätigung der Antriebsmittel 27 die Teleskoparmeinheiten 17, 18 in der Transferrichtung 23 bewegt werden, fahren sie allmählich seitwärts über den genannten Basis-Umriss 42 hinaus. Dies gilt insbesondere für die Halte-Teleskoparme 22c und die an diesen angeordneten Gegenstands-Haltemitteln 25.If by operation of the drive means 27 the telescopic arm units 17 . 18 in the transfer direction 23 are moved, they gradually move sideways over the above base outline 42 out. This is especially true for the holding telescopic arms 22c and the object holding means disposed thereon 25 ,

Man erkennt anhand 4, 5 und 10, wie die Gegenstands-Haltemittel 25 bei Betätigung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 allmählich seitwärts aus dem Basis-Umriss 42 hinausfahren. Die 4, 5 und 10 illustrieren eine Zwischenstellung, in der die Gegenstands-Haltemittel 25 zum Teil außerhalb des Basis-Umrisses 42 liegen. One recognizes by means of 4 . 5 and 10 as the article-holding means 25 when operating the telescopic arm units 17 . 18 gradually sideways from the base outline 42 go out. The 4 . 5 and 10 illustrate an intermediate position in which the article-holding means 25 partly outside the basic outline 42 lie.

In der in 6, 7 und 11 illustrierten ausgefahrenen Endstellung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 sind die Gegenstands-Haltemittel 25 und insbesondere auch die diese aufweisenden Halte-Teleskoparme 22c zur Gänze aus dem Basis-Umriss 42 herausgefahren. Entsprechendes für den auf den Gegenstands-Haltemitteln 25 aufliegenden Gegenstand 2.In the in 6 . 7 and 11 illustrated extended end position of the telescopic arm units 17 . 18 are the article holding means 25 and in particular also these holding telescopic arms 22c entirely from the base outline 42 moved out. Corresponding to that on the article-holding means 25 resting object 2 ,

Nimmt die Transfereinheit 7 eine der Öffnung eines Moduls 3, 4 gegenüberliegende Position ein und ist die Öffnung des betreffenden Moduls 3, 4 freigegeben, tauchen die Teleskoparmeinheiten 17, 18 bei Einnahme der ausgefahrenen Endstellung mit ihren Gegenstands-Haltemitteln 25 vollständig in das betreffende Modul 3, 4 ein. Somit kann also ein Gegenstand 2 problemlos aus einem Modul 3, 4 herausgenommen oder in ein Modul 3, 4 eingelagert werden, wobei er während des gesamten Transfers ortsfest an den Gegenstands-Haltemitteln 25 gehalten ist.Takes the transfer unit 7 one of the opening of a module 3 . 4 opposite position and is the opening of the relevant module 3 . 4 released, dip the telescopic arm units 17 . 18 when taking the extended end position with its article-holding means 25 completely in that module 3 . 4 one. Thus, therefore, an object 2 easily from a module 3 . 4 taken out or in a module 3 . 4 be stored, being stationary during the entire transfer to the article-holding means 25 is held.

Um einen Gegenstand 2 in einem Modul 3, 4 aufzunehmen, werden beim Ausführungsbeispiel die Gegenstands-Haltemittel 25 im in der zweiten Verfahrrichtung 15 abgesenkten Zustand der Transfereinheit 7 in das betreffende Modul eingefahren, bis sie unterhalb des aufzunehmenden Gegenstandes 2 liegen, worauf sie angehoben werden, bis der Gegenstand 2 auf den Gegenstands-Haltemitteln 25 aufliegt. Jetzt kann die Teleskoparmeinheit 17, 18 gemeinsam mit dem aufliegenden Gegenstand 2 aus dem betreffenden Modul 3, 4 herausgefahren werden.To an object 2 in a module 3 . 4 to receive the object holding means in the embodiment 25 in the second direction of travel 15 lowered state of the transfer unit 7 retracted into the relevant module until it is below the male object 2 lie whereupon they are raised until the object 2 on the article-holding means 25 rests. Now the telescopic arm unit can 17 . 18 together with the resting object 2 from the relevant module 3 . 4 be moved out.

Das Ablegen eines Gegenstandes 2 in einem Modul 3, 4 geschieht in umgekehrter Bewegungsabfolge. Die Gegenstands-Haltemittel 25 werden gemeinsam mit dem Gegenstand 2 in der Transferrichtung 23 in das Modul 3, 4 eingefahren. Im eingefahrenen Zustand werden die Transfereinheit 7 und mithin die Gegenstands-Haltemittel 25 abgesenkt, so dass der Gegenstand 2 auf innerhalb des Moduls 3, 4 angeordneten Auflagemitteln abgelegt wird und darauffolgend die Teleskoparmeinheiten 17, 18 wieder aus dem Modul 3, 4 ohne Gegenstand 2 herausgefahren werden können.Dropping an object 2 in a module 3 . 4 happens in reverse sequence. The article holding means 25 be together with the object 2 in the transfer direction 23 in the module 3 . 4 retracted. When retracted, the transfer unit becomes 7 and hence the article holding means 25 lowered so that the object 2 within within the module 3 . 4 arranged support means is stored and subsequently the Teleskoparmeinheiten 17 . 18 back out of the module 3 . 4 without an object 2 can be moved out.

Wenn die Gegenstands-Haltemittel 25 als Greifmittel ausgebildet sind, die einen Gegenstand von oben her ergreifen können, wird der mindestens eine Halte-Teleskoparm 22c zur Aufnahme eines Gegenstandes 2 oberhalb diesem in ein Modul 3, 4 eingefahren. Zum Ergreifen des Gegenstandes kann die Transfereinheit 7 anschließend kurzzeitig abgesenkt werden. Zum Ablegen eines Gegenstandes 2 in einem Modul 3, 4 wird der mindestens eine Halte-Teleskoparm 22c mit daran hängendem Gegenstand 2 in das betreffende Modul eingefahren, worauf die erzeugte Greifkraft entfernt wird, so dass sich der Gegenstand 2 löst. Auch das Ablegen kann mit einer kurzzeitigen Vertikalbewegung kombiniert werden.When the article-holding means 25 are formed as gripping means which can take an object from above, the at least one holding telescopic arm 22c for receiving an item 2 above this into a module 3 . 4 retracted. To grasp the object, the transfer unit 7 then be briefly lowered. To deposit an item 2 in a module 3 . 4 becomes the at least one holding telescopic arm 22c with the object hanging on it 2 retracted into the relevant module, whereupon the generated gripping force is removed, so that the object 2 solves. Also, the drop can be combined with a short-term vertical movement.

Wenn die beiden Teleskoparmeinheiten 17, 18 aus dem Basis-Umriss 42 ausfahren, weisen sie beim Ausführungsbeispiel gemeinsam die Struktur einer zweizinkigen Gabel auf. Jede Teleskoparmeinheit 17, 18 entspricht hierbei einem Gabelzinken, wobei der dazwischen angeordnete Zwischenraum 26 vorzugsweise komplett frei ist.If the two telescopic arm units 17 . 18 from the base outline 42 extend, they share the structure of a two-pronged fork in the embodiment. Each telescopic arm unit 17 . 18 in this case corresponds to a fork tine, wherein the space arranged therebetween 26 preferably completely free.

Bei einer nicht dargestellten Ausführungsform ist der zwischen benachbarten Teleskoparmeinheiten 17, 18 vorhandene Zwischenraum 26 zumindest in demjenigen Bereich zumindest partiell belegt, in dem sich die Halte-Teleskoparme 22c befinden. Die Gegenstands-Haltemittel 25 verfügen hierbei über eine Halteplatte, die an den Halte-Teleskoparmen 22c benachbarter Teleskoparmeinheiten 17, 18 befestigt ist und dabei den Zwischenraum 26 überbrückt. An dieser Halteplatte können dann je nach Realisierungsform entweder Auflagemittel zum Auflegen des zu transportierenden Gegenstandes vorhanden sein oder aber Greifmittel zum aktiven Ergreifen des zu transferierenden Gegenstandes 2. Als Greifmittel können beispielsweise mehrere Greifeinheiten vorgesehen sein, die großflächig über die Halteplatte verteilt sind und die beispielsweise als Sauggreifer oder als elektrostatische Greifer oder als mechanischer Greifer konzipiert sind. Auf diese Weise kann ein handzuhabender Gegenstand großflächig und damit sehr sicher erfasst werden, auch wenn er relativ dünn ist. Ebenso besteht die Möglichkeit, durch die Gegenstands-Haltemittel 25 gleichzeitig mehrere kleinere Gegenstände zu ergreifen und zu transportieren.In an embodiment not shown, that between adjacent Teleskoparmeinheiten 17 . 18 existing gap 26 at least partially occupied at least in that area in which the holding telescopic arms 22c are located. The article holding means 25 in this case have a holding plate, which on the holding telescopic arms 22c adjacent telescopic arm units 17 . 18 is attached while keeping the gap 26 bridged. Depending on the form of implementation, either supporting means for placing the object to be transported can then be present on this holding plate, or gripping means for actively gripping the object to be transferred 2 , As gripping means, for example, a plurality of gripping units may be provided which are distributed over a large area over the holding plate and which are designed, for example, as a suction gripper or as an electrostatic gripper or as a mechanical gripper. In this way, an object to be handled can be detected over a large area and thus very securely, even if it is relatively thin. It is also possible by the article holding means 25 simultaneously grab and transport several smaller items.

Bei der Transfereinheit 7 des Ausführungsbeispiels würde man die erwähnte Halteplatte zweckmäßigerweise an der vertikal nach oben weisenden Seite anordnen, insbesondere derart, dass sie sich über mehrere Halte-Teleskoparme 22c hinweg erstreckt und den dazwischen befindlichen Zwischenraum 26 überbrückt. Soll die Transfereinheit 7 in diesem Fall mit Greifmitteln ausgestattet sein, die einen Gegenstand 2 von oben her ergreifen, wird man die Teleskoparmeinheiten 17, 18 und zweckmäßigerweise die gesamte Transfereinheit 7 jedoch in einer um 180° umgedrehten Lage verwenden. Dadurch können die zu transferierenden Gegenstände bequem unterhalb der Transfereinheit an dieser hängend transportiert werden.At the transfer unit 7 of the embodiment, one would arrange the mentioned holding plate expediently on the vertically upwardly facing side, in particular such that it extends over a plurality of holding telescopic arms 22c and the intervening space between them 26 bridged. Should the transfer unit 7 in this case be equipped with gripping means, which is an object 2 From above, you become the telescopic arm units 17 . 18 and expediently the entire transfer unit 7 but use in a 180 ° reversed position. As a result, the objects to be transferred can be conveniently transported suspended below the transfer unit.

Die in ihrer Gesamtheit mit Bezugsziffer 27 bezeichneten Antriebsmittel enthalten vorzugsweise eine Antriebseinheit 43, die mindestens einen sich in der Richtung der Transferbewegung 23 erstreckenden Linearantrieb 44, 45 aufweist. Dieser mindestens eine Linearantrieb 44, 45 ist bezüglich der Tragstruktur 16 ortsfest fixiert und insbesondere an der nach oben weisenden Tragebene 16a der Tragstruktur 16 befestigt. Die Antriebseinheit 43 ist vorzugsweise mittig zwischen den beiden Teleskoparmeinheiten 17, 18 angeordnet, wobei sie sich parallel zu diesen erstreckt. Die Antriebseinheit 43 liegt zur Gänze innerhalb des Basis-Umrisses 42. The in their entirety with reference numeral 27 designated drive means preferably include a drive unit 43 at least one in the direction of the transfer movement 23 extending linear drive 44 . 45 having. This at least one linear drive 44 . 45 is with respect to the support structure 16 fixed in place and in particular at the upwardly facing support plane 16a the supporting structure 16 attached. The drive unit 43 is preferably in the middle between the two Teleskoparmeinheiten 17 . 18 arranged, extending parallel to these. The drive unit 43 lies entirely within the basic outline 42 ,

Beim Ausführungsbeispiel enthält die Antriebseinheit 43 zwei mit paralleler Ausrichtung Seite an Seite nebeneinander angeordnete Linearantriebe 44, 45. Auf diese Weise kann bei kompakten Abmessungen eine hohe Antriebskraft erzeugt werden.In the embodiment, the drive unit includes 43 two with parallel alignment side by side arranged side by side linear actuators 44 . 45 , In this way, with compact dimensions, a high driving force can be generated.

Die Antriebseinheit 43 könnte prinzipiell aus einem oder mehreren elektrischen Antrieben bestehen, beispielsweise aus einem elektrischen Servomotor oder Schrittmotor. Als besonders vorteilhaft hat sich allerdings eine Ausgestaltung in fluidbetätigter Bauart erwiesen, insbesondere in Gestalt einer pneumatisch betätigbaren Antriebseinheit 43.The drive unit 43 could in principle consist of one or more electric drives, for example, an electric servomotor or stepper motor. However, a design in fluid-actuated design has proved to be particularly advantageous, in particular in the form of a pneumatically actuatable drive unit 43 ,

Unabhängig von ihrer Ausgestaltung verfügen die Linearantriebe 44, 45 zweckmäßigerweise jeweils über einen langgestreckten, an der Tragstruktur 16 fixierten Stator 46 und ein bezüglich dem Stator 46 in dessen Längsrichtung linear bewegbares Abtriebsteil 47. Der Stator 46 ist an der Tragstruktur 16 befestigt. Durch Betätigung des Linearantriebes 44, 45 kann das Abtriebsteil 47 zu einer mit der Richtung der Transferbewegung 23 zusammenfallenden Abtriebsbewegung angetrieben werden.Regardless of their design, the linear drives have 44 . 45 expediently in each case via an elongated, on the support structure 16 fixed stator 46 and one regarding the stator 46 in the longitudinal direction linearly movable output part 47 , The stator 46 is on the support structure 16 attached. By actuating the linear drive 44 . 45 can the stripping section 47 to one with the direction of the transfer movement 23 be driven coinciding output motion.

Beim Ausführungsbeispiel besteht jeder Stator 46 aus einem Rohrkörper, in dem ein durch Fluidbeaufschlagung linear verschiebbarer Antriebskolben angeordnet ist, der mit dem außen an dem Stator 46 linear verschiebbar angeordneten Abtriebsteil 47 bewegungsgekoppelt ist. Diese Bewegungskopplung kann mechanisch sein, ist bei Ausführungsbeispiel jedoch in vorteilhafter Weise berührungslos ausgeführt, indem der Antriebskolben mit dem Abtriebsteil 47 durch eine permanentmagnetische Magneteinrichtung bewegungsgekoppelt ist. Ein solches System hat den Vorteil, dass es absolut fluiddicht ausgeführt werden kann, da bezüglich des Antriebsfluides keine dynamischen Dichtungen vorhanden sind.In the embodiment, each stator 46 from a tubular body in which a linearly displaceable by fluid loading drive piston is arranged, with the outside of the stator 46 linearly displaceable arranged driven part 47 is motion coupled. This movement coupling can be mechanical, but in the exemplary embodiment, however, carried out in an advantageous manner without contact, by the drive piston with the driven part 47 is motion-coupled by a permanent magnetic device. Such a system has the advantage that it can be performed absolutely fluid-tight, since there are no dynamic seals with respect to the drive fluid.

Die beiden Linearantriebe 44, 45 sind funktionell parallel geschaltet, treiben also die Teleskoparmeinheiten 17, 18 jeweils gleichzeitig und gleichsinnig an. Hierzu sind die beiden Antriebs-Teleskoparme 22a in synchron antreibbarer Weise mit den Abtriebsteilen 47 antriebsmäßig verbunden.The two linear drives 44 . 45 are functionally connected in parallel, so drive the Teleskoparmeinheiten 17 . 18 each simultaneously and in the same direction. These are the two drive telescopic arms 22a in synchronously drivable manner with the driven parts 47 drivingly connected.

Die antriebsmäßige Verbindung wird zweckmäßigerweise mittels eines starren Mitnehmers 48 realisiert, der sich strebenartig rechtwinkelig zu der Transferrichtung 23 zwischen den beiden Antriebs-Teleskoparmen 22a erstreckt, wobei er den Zwischenraum 26 überbrückt und an beiden Antriebs-Teleskoparmen 22a starr befestigt ist. Vorzugsweise ist der Mitnehmer 48 plattenförmig oder leistenförmig ausgebildet, wobei er sich entweder oberhalb oder unterhalb der Abtriebsteile 47 quer zu diesen erstreckt.The drive connection is expediently by means of a rigid driver 48 realized, which struts like a right angle to the transfer direction 23 between the two drive telescopic arms 22a extends, leaving the gap 26 bridged and on both drive telescopic arms 22a is rigidly attached. Preferably, the driver 48 plate-shaped or strip-shaped, where it is either above or below the driven parts 47 extends transversely to these.

Beim Ausführungsbeispiel werden die beiden Abtriebsteile 47 von dem Mitnehmer 48 unterhalb passiert. Führen die Abtriebsteile 47 die lineare Abtriebsbewegung aus, wird selbige von dem Mitnehmer 48 direkt mitgemacht und folglich direkt auf die Antriebs-Teleskoparme 22a übertragen, so dass die Teleskoparmeinheiten 17, 18 synchron betätigt werden.In the embodiment, the two output parts 47 from the driver 48 happened below. Guide the driven parts 47 the linear output movement from, is the same of the driver 48 directly involved and therefore directly on the drive telescopic arms 22a transferred so that the telescopic arm units 17 . 18 be operated synchronously.

Es wäre denkbar, auf eine andere Art von Mitnehmer 48 zurückzugreifen, beispielsweise auf einen oder mehrere seilförmig oder bandförmige Mitnehmer, die eine Antriebsverbindung zwischen dem mindestens einen Abtriebsteil 47 und einem jeweiligen Antriebs-Teleskoparm 22a schaffen. Derartige Seile oder Bänder bestehen zweckmäßigerweise aus Stahl.It could conceivably be a different type of driver 48 recourse, for example, to one or more rope-shaped or band-shaped driver, the drive connection between the at least one output member 47 and a respective drive telescopic arm 22a create. Such ropes or bands are suitably made of steel.

Wie insbesondere aus 3 und 8 gut ersichtlich ist, sind die Teleskoparme 22 jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 zweckmäßigerweise quer zu ihren Längsachsen und mithin quer zu der Transferrichtung 23 horizontal nebeneinander angeordnet. Hierbei können sie insbesondere zumindest annähernd in einer in 8 angedeuteten gemeinsamen Horizontalebene 52 verlaufen. Eine solche, längsseitig benachbarte Anordnung der Teleskoparme 22 ermöglicht die Einhaltung sehr geringer Höhenabmessungen für die Teleskoparmeinheit 17, 18.As in particular from 3 and 8th is clearly visible, are the telescopic arms 22 each telescopic arm unit 17 . 18 expediently transversely to their longitudinal axes and thus transversely to the transfer direction 23 arranged horizontally next to each other. In this case, they can in particular at least approximately in an in 8th indicated common horizontal plane 52 run. Such, longitudinally adjacent arrangement of the telescopic arms 22 allows compliance with very small height dimensions for the telescopic arm unit 17 . 18 ,

Die vorgenannten Illustrationen machen deutlich, dass zweckmäßigerweise auch die Linearführungsmittel 24a, 24b, 24c quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind, wobei auch sie sich zweckmäßigerweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene 52 erstrecken können.The above illustrations make it clear that expediently also the linear guide means 24a . 24b . 24c are arranged horizontally next to each other transversely to their longitudinal axes, which also expediently at least approximately in a common horizontal plane 52 can extend.

In Richtung der Transferbewegung 23 betrachtet, liegen die beiden Antriebs-Teleskoparme 22a zweckmäßigerweise außen, während die Halte-Teleskoparme 22c innen liegen. Unter „innen” ist dabei diejenige Längsseite jeder Teleskopeinheit 17, 18 zu verstehen, die der jeweils anderen Teleskopeinheit 18, 17 zugewandt ist.Towards the transfer movement 23 considered, are the two drive telescopic arms 22a expediently outside, while the holding telescopic arms 22c lie inside. Under "inside" is that long side of each telescope unit 17 . 18 to understand that of the other telescope unit 18 . 17 is facing.

In den 9 bis 11 sind die Teleskoparme 22 nur der besseren Übersichtlichkeit wegen vertikal übereinanderliegend dargestellt. In the 9 to 11 are the telescopic arms 22 only for the sake of clarity because of vertical superimposed.

Es ist zweckmäßig, wenn die Linearführungsmittel 24a, 24b, 24c jeweils mindestens eine und vorzugsweise genau eine sich linear erstreckende Führungsschiene 53 aufweisen sowie mindestens einen an dieser Führungsschiene 23 linear verschiebbar gelagerten und in Querrichtung abgestützten Führungsschlitten 54. Die Führungsschiene 53 ist an der einen, der Führungsschlitten 54 an der anderen der jeweils relativ zueinander zu lagernden Komponenten fixiert.It is useful if the linear guide means 24a . 24b . 24c in each case at least one and preferably exactly one linearly extending guide rail 53 and at least one on this guide rail 23 linearly displaceably mounted and supported in the transverse direction guide carriage 54 , The guide rail 53 is on the one, the guide slide 54 fixed to the other of each to be stored relative to each other components.

Exemplarisch ist die Führungsschiene 53 der ersten Linearführungsmittel 24a an der Tragstruktur 16 angeordnet. Sie sitzt. insbesondere an der nach oben weisenden Seite eines von der Tragstruktur 16 hochragenden Tragholmes 55. Der zugeordnete Führungsschlitten 54 ist am Antriebs-Teleskoparm 22a befestigt.Exemplary is the guide rail 53 the first linear guide means 24a on the supporting structure 16 arranged. She sits. in particular on the upwardly facing side of the support structure 16 towering carrying Holmes 55 , The assigned guide carriage 54 is on the drive telescopic arm 22a attached.

Die Führungsschiene 53 der zweiten Linearführungsmittel 24b ist am Antriebs-Teleskoparm 22a befestigt, zweckmäßigerweise an einer zur anderen Teleskoparmeinheit 17 bzw. 18 hin weisenden Längsseite. Der zugeordnete Führungsschlitten 54 ist an dem Zwischen-Teleskoparm 22b befestigt.The guide rail 53 the second linear guide means 24b is on the drive telescopic arm 22a fastened, expediently on one to the other Teleskoparmeinheit 17 respectively. 18 pointing long side. The assigned guide carriage 54 is on the intermediate telescopic arm 22b attached.

Schließlich befindet sich die Führungsschiene 53 der dritten Linearführungsmittel 24c am Zwischen-Teleskoparm 22b, und zwar insbesondere an einer zur jeweils benachbarten Teleskoparmeinheit 17 bzw. 18 weisenden Längsseite. Der zugeordnete Führungsschlitten 54 ist am Halte-Teleskoparm 22c angeordnet.Finally, there is the guide rail 53 the third linear guide means 24c at the intermediate telescopic arm 22b , in particular at one to each adjacent telescopic arm unit 17 respectively. 18 pointing longitudinal side. The assigned guide carriage 54 is on the holding telescopic arm 22c arranged.

Jeder Führungsschlitten 54 übergreift die zugeordnete Führungsschiene 53 zweckmäßigerweise reiterartig. Hierzu kann jeder Führungsschlitten 54 U-förmig gestaltet sein. Vorzugsweise sind die Führungsschlitten 54 so ausgerichtet, dass ihre U-Öffnungen im Falle der ersten Linearführungsmittel 24a nach unten und im Falle der zweiten und dritten Linearführungsmittel 24b, 24c seitwärts, in Richtung zum Führungsschlitten 54 der ersten Linearführungsmittel 24a orientiert sind.Every guide slide 54 engages over the assigned guide rail 53 expediently equestrian. For this purpose, each guide carriage 54 Be designed U-shaped. Preferably, the guide carriages 54 aligned so that their U-openings in the case of the first linear guide means 24a down and in the case of the second and third linear guide means 24b . 24c sideways, towards the guide sled 54 the first linear guide means 24a are oriented.

Damit sich die Gegenstands-Haltemittel 25 optimal positionieren lassen, verfügt die Transfereinheit 7 zweckmäßigerweise über Positionserfassungsmittel 56. Selbige sind vorzugsweise in Form eines Wegmesssystems realisiert, mit dem sich stufenlos jede Position der Gegenstands-Haltemittel 25 in der Transferrichtung 23 erfassen lässt. Die Position der Gegenstands-Haltemittel 25 wird dabei allerdings zweckmäßigerweise nicht direkt erfasst, sondern lediglich indirekt, durch Erfassung der Position mindestens eines Antriebs-Teleskoparmes 22a. Da zwischen den Relativbewegungen der einzelnen Teleskoparme 22 jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 eine feste Beziehung besteht, kann durch die Positionserfassung eines Antriebs-Teleskoparmes 22a sehr präzise auf die Position der Gegenstands-Haltemittel 25 bzw. der diese Gegenstands-Haltemittel 25 aufweisenden Halte-Teleskoparme 22c geschlossen werden.So that the article-holding means 25 can be optimally positioned, has the transfer unit 7 expediently via position detection means 56 , The same are preferably realized in the form of a displacement measuring system, with which any position of the object-holding means is infinitely variable 25 in the transfer direction 23 can capture. The position of the article holding means 25 However, it is expediently not directly detected, but only indirectly, by detecting the position of at least one drive telescopic arm 22a , As between the relative movements of the individual telescopic arms 22 each telescopic arm unit 17 . 18 a fixed relationship can, by the position detection of a drive telescopic arm 22a very precise on the position of the article holding means 25 or this article holding means 25 having holding telescopic arms 22c getting closed.

Die Positionserfassungsmittel 56 sind zweckmäßigerweise längsseits neben einer Teleskoparmeinheit 18 angeordnet, wobei von den relativ zueinander zu bewegenden Komponenten der Positionserfassungsmittel 56 die eine an der Tragstruktur 16 und die andere an dem Antriebs-Teleskoparm 22a angeordnet ist.The position detecting means 56 are expediently alongside a telescopic arm unit 18 arranged, wherein of the relative to each other to moving components of the position detecting means 56 one on the support structure 16 and the other on the drive telescopic arm 22a is arranged.

Der besondere Vorteil des beim Ausführungsbeispiel realisierten Teleskoparmsystems 17, 18 besteht in der optimalen Anpassung an die räumlichen und technischen Gegebenheiten des Anwendungsfalls. Durch die Verwendung zweier Teleskoparmeinheiten 17, 18 wird mit relativ wenig Aufwand der vorhandene Bauraum optimal ausgenutzt, wodurch eine gegebenenfalls vorhandene Vakuumkammer der Bearbeitungsvorrichtung 1 relativ klein gestaltet werden kann. Bei einer vorteilhaften Anwendung der Bearbeitungsvorrichtung 1 stehen sämtliche ihrer Komponenten unter Vakuum, wobei in den in den Bearbeitungsmodulen 3 vorhandenen Prozesskammern sehr hohe Temperaturen herrschen. Für den Betrieb unter Vakuum und bei hohen Temperaturen sind die fluidisch und insbesondere pneumatisch betätigbaren Antriebsmittel 27 besonders prädestiniert.The particular advantage of realized in the embodiment Teleskoparmsystems 17 . 18 consists in the optimal adaptation to the spatial and technical conditions of the application. By using two telescopic arm units 17 . 18 is optimally utilized with relatively little effort of the existing space, whereby an optionally existing vacuum chamber of the processing device 1 can be made relatively small. In an advantageous application of the processing device 1 all of their components are under vacuum, with those in the processing modules 3 existing process chambers very high temperatures prevail. For operation under vacuum and at high temperatures are the fluidic and in particular pneumatically actuated drive means 27 especially predestined.

Indem die Gegenstands-Haltemittel 25 Bestandteil eines Teleskoparmsystems 17, 18 sind, kann die Transfereinheit 7 in Richtung der Transferbewegung 23 sehr schmal ausgebildet werden. Die Baubreite der Transfereinheit 7 ist in der eingefahrenen Grundstellung der Teleskoparmeinheiten 17, 18 sehr gering.By the article holding means 25 Part of a telescopic arm system 17 . 18 are, the transfer unit can 7 in the direction of the transfer movement 23 be made very narrow. The width of the transfer unit 7 is in the retracted basic position of the telescopic arm units 17 . 18 very low.

Ausgehend von der eingefahrenen Grundstellung können die Teleskoparmeinheiten 17, 18 zweckmäßigerweise wahlweise in die eine oder andere Richtung ausgefahren werden. Um dies zu gewährleisten, sind die Antriebsmittel 27 zweckmäßigerweise so ausgebildet, dass das mindestens eine Abtriebsteil 47 in der eingefahrenen Grundstellung eine Mittelposition zwischen den beiden in Achsrichtung der Transferbewegung 23 orientierten Stirnseiten der Teleskoparmeinheiten 17, 18 einnimmt. Wird die Antriebseinheit 43 betätigt, fahren die Abtriebsteile 47 ausgehend von der Mittenposition entweder in Richtung des einen oder des anderen Seitenrandes der Tragstruktur 16.Starting from the retracted basic position, the telescopic arm units 17 . 18 expediently be extended either in one or the other direction. To ensure this, are the drive means 27 suitably designed so that the at least one output part 47 in the retracted basic position, a middle position between the two in the axial direction of the transfer movement 23 oriented end faces of the telescopic arm units 17 . 18 occupies. Will the drive unit 43 actuated, drive the output parts 47 starting from the middle position either in the direction of the one or the other side edge of the support structure 16 ,

Das Funktionsprinzip jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 lässt sich insbesondere dahingehend zusammenfassen, dass jeweils mindestens eine auf einem Seilzugprinzip basierende Koppeleinrichtung 28 vorhanden ist. Über insbesondere als Umlenkrollen gestaltete Umlenkmittel 32 wird mittels seil- oder bandförmiger Zugstränge ein geschlossener Ring gebildet. An diesem Seilzugring werden dann die beiden relativ zueinander zu bewegenden Komponenten der jeweils unmittelbar benachbarten Teleskoparme 22 befestigt. Wir nun ein Teleskoparm 22 um einen Weg „s” bewegt, bewegt sich der daran gekoppelte nächste Teleskoparm mit der doppelten Geschwindigkeit und dem doppelten Weg. Kommen drei Teleskoparme zur Anwendung, bewegt sich der als Halte-Teleskoparm 22c fungierende dritte Teleskoparm verglichen mit dem den Antriebs-Teleskoparm 22a bildenden ersten Teleskoparm 22 mit der dreifachen Geschwindigkeit um den dreifachen Weg „3s”. The operating principle of each telescopic arm unit 17 . 18 can be summarized in particular to the effect that in each case at least one based on a cable principle coupling device 28 is available. About in particular designed as pulleys deflecting 32 is formed by means of rope or band-shaped tensile cords a closed ring. At this pulley then the two relative to each other to be moved components of each immediately adjacent telescopic arms 22 attached. We now have a telescopic arm 22 Moving around a path "s", the next telescopic arm coupled to it moves at twice the speed and twice the travel. If three telescopic arms are used, it moves as a holding telescopic arm 22c acting third telescopic arm compared with the drive telescopic arm 22a forming the first telescopic arm 22 at triple speed around the triple way "3s".

Durch die Linearführungsmittel 24a, 24b, 24c sind die Teleskoparme 22 jeder Teleskoparmeinheit 17, 18 aneinander abgestützt und verwindungssteif miteinander verbunden.Through the linear guide means 24a . 24b . 24c are the telescopic arms 22 each telescopic arm unit 17 . 18 supported on each other and torsionally rigid connected.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 102005039453 A1 [0002] DE 102005039453 A1 [0002]
  • DE 10232080 A1 [0022] DE 10232080 A1 [0022]
  • WO 2004/077531 A1 [0022] WO 2004/077531 A1 [0022]

Claims (17)

Handhabungssystem zur Handhabung von insbesondere plattenförmigen Gegenständen (2), mit einer Transportvorrichtung (6), die mindestens eine Transfereinheit (7) aufweist, die über unter Ausführung einer linearen Transferbewegung (23) horizontal verfahrbare Gegenstands-Haltemittel (25) verfügt, und die Antriebsmittel (27) zum Hervorrufen der Transferbewegung (23) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) eine Tragstruktur (16) und mindestens eine von der Tragstruktur (16) getragene Teleskoparmeinheit (17, 18) aufweist, wobei die Teleskoparmeinheit (17, 18) mehrere in Richtung der Transferbewegung (23) relativ zueinander und relativ zu der Tragstruktur (16) verschiebbare, zueinander parallele Teleskoparme (22) enthält, unter denen sich ein durch die Antriebsmittel (27) antreibbarer Antriebs-Teleskoparm (22a) und ein die Gegenstands-Haltemittel (25) aufweisender Halte-Teleskoparm (22c) befindet, wobei der Antriebs-Teleskoparm (22a) und jeder eventuell zwischen dem Antriebs-Teleskoparm (22a) und dem Halte-Teleskoparm (22c) angeordnete Teleskoparm (22b) mit einer Koppeleinrichtung (28) ausgestattet ist, die einen um Umlenkmittel (32) herumgeschlungenen, biegeflexiblen Zugstrang (33) enthält, wobei der am Antriebs-Teleskoparm (22a) angeordnete Zugstrang (33) sowohl bezüglich der Tragstruktur (16) als auch bezüglich des ihm benachbarten Teleskoparmes (22b) ortsfest fixiert ist und wobei der Halte-Teleskoparm (22c) ortsfest bezüglich des Zugstranges (33) des ihm benachbarten Teleskoparmes (22b) fixiert ist.Handling system for handling in particular plate-shaped objects ( 2 ), with a transport device ( 6 ) containing at least one transfer unit ( 7 ) carrying out a linear transfer movement ( 23 ) horizontally movable article holding means ( 25 ), and the drive means ( 27 ) for causing the transfer movement ( 23 ), characterized in that the transfer unit ( 7 ) a supporting structure ( 16 ) and at least one of the support structure ( 16 ) carried telescopic arm unit ( 17 . 18 ), wherein the telescopic arm unit ( 17 . 18 ) several in the direction of the transfer movement ( 23 ) relative to each other and relative to the support structure ( 16 ) displaceable, mutually parallel telescopic arms ( 22 ), under which one by the drive means ( 27 ) drivable drive telescopic arm ( 22a ) and the article holding means ( 25 ) holding telescopic arm ( 22c ), wherein the drive telescopic arm ( 22a ) and any one between the drive telescopic arm ( 22a ) and the holding telescopic arm ( 22c ) arranged telescopic arm ( 22b ) with a coupling device ( 28 ) equipped, one by deflection ( 32 ) wrapped, bend-flexible tensile strand ( 33 ), wherein the on the drive telescope arm ( 22a ) arranged tensile strand ( 33 ) both with regard to the supporting structure ( 16 ) as well as with respect to its adjacent telescopic arm ( 22b ) is fixed in place and wherein the holding telescopic arm ( 22c ) stationary with respect to the tension cord ( 33 ) of the telescopic arm ( 22b ) is fixed. Handhabungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eines Transfereinheit (7) an einer Positioniereinrichtung (8) angeordnet ist, mittels der sie in einer zur Transferbewegung (23) rechtwinkeligen horizontalen Richtung (13) und/oder in einer vertikalen Richtung (15) verfahrbar und positionierbar ist.Handling system according to claim 1, characterized in that the at least one transfer unit ( 7 ) at a positioning device ( 8th ) is arranged by means of which they are in a transfer movement ( 23 ) right-angled horizontal direction ( 13 ) and / or in a vertical direction ( 15 ) is movable and positionable. Handhabungssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Transfereinheit (7) mindestens einen zwischen dem Antriebs-Teleskoparm (22a) und dem Halte-Teleskoparm (22c) angeordneten Zwischen-Teleskoparm (22b) aufweist, wobei der Zugstrang (33) jedes Zwischen-Teleskoparmes (22b) ortsfest bezüglich beiden ihm benachbarten Teleskoparmen (22a, 22c) fixiert ist.Handling system according to claim 1 or 2, characterized in that the at least one transfer unit ( 7 ) at least one between the drive telescopic arm ( 22a ) and the holding telescopic arm ( 22c ) arranged intermediate telescopic arm ( 22b ), wherein the tensile strand ( 33 ) of each intermediate telescopic arm ( 22b ) stationary with respect to both its adjacent telescopic arms ( 22a . 22c ) is fixed. Handhabungssystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Teleskoparmeinheit (17, 18) drei Teleskoparme (22) in Gestalt eines Antriebs-Teleskoparmes (22a), eines Zwischen-Teleskoparmes (22b) und eines Halte-Teleskoparmes (22c) aufweist.Handling system according to claim 3, characterized in that the at least one telescopic arm unit ( 17 . 18 ) three telescopic arms ( 22 ) in the form of a drive telescopic arm ( 22a ), an intermediate telescopic arm ( 22b ) and a holding telescopic arm ( 22c ) having. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Teleskoparme (22) der mindestens einen Teleskoparmeinheit (17, 18) quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind, wobei sie sich zweckmäßigerweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene (52) erstrecken.Handling system according to one of claims 1 to 4, characterized in that the telescopic arms ( 22 ) of the at least one telescopic arm unit ( 17 . 18 ) are arranged horizontally next to each other transversely to their longitudinal axes, wherein they expediently at least approximately in a common horizontal plane ( 52 ). Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebs-Teleskoparm (22a) durch Linearführungsmittel (24a) an der Tragstruktur (16) in Achsrichtung der Transferbewegung (23) verschiebbar gelagert ist und dass jeweils benachbart zueinander angeordnete Teleskoparme (22a, 22b; 22b, 22c) ebenfalls durch Linearführungsmittel (24b, 24c) in Achsrichtung der Transferbewegung (23) verschiebbar aneinander gelagert sind, wobei die Linearführungsmittel (24a, 24b, 24c) zweckmäßigerweise mindestens eine am jeweils einen Teil angeordnete Führungsschiene (53) und mindestens einen am jeweils anderen Teil angeordneten, an der zugeordneten Führungsschiene (53) verschiebbar gelagerten Führungsschlitten (54) enthalten.Handling system according to one of claims 1 to 5, characterized in that the drive telescopic arm ( 22a ) by linear guide means ( 24a ) on the supporting structure ( 16 ) in the axial direction of the transfer movement ( 23 ) is displaceably mounted and that respectively adjacent to each other arranged telescopic arms ( 22a . 22b ; 22b . 22c ) also by linear guide means ( 24b . 24c ) in the axial direction of the transfer movement ( 23 ) are mounted displaceably on each other, wherein the linear guide means ( 24a . 24b . 24c ) expediently at least one on each part arranged guide rail ( 53 ) and arranged at least one on the other part, on the associated guide rail ( 53 ) slidably mounted guide carriage ( 54 ) contain. Handhabungssystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Linearführungsmittel (24a, 24b, 24c) quer zu ihren Längsachsen horizontal nebeneinander angeordnet sind, wobei sie sich zweckmäßigerweise zumindest annähernd in einer gemeinsamen Horizontalebene (52) erstrecken.Handling system according to claim 6, characterized in that the linear guide means ( 24a . 24b . 24c ) are arranged horizontally next to each other transversely to their longitudinal axes, wherein they expediently at least approximately in a common horizontal plane ( 52 ). Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsmittel (27) eine Antriebseinheit (43) umfassen, die mindestens einen sich in Richtung der Transferbewegung (23) erstreckenden Linearantrieb (44, 45) aufweist, der bezüglich der Tragstruktur (16) ortsfest fixiert ist und ein mit dem Antriebs-Teleskoparm (22a) mindestens einer Teleskoparmeinheit (17, 18) bewegungsgekoppeltes, zu einer linearen Abtriebsbewegung antreibbares Abtriebsteil (47) aufweist, wobei der Linearantrieb (44, 45) zweckmäßigerweise als fluidbetätigter, kolbenstangenloser Linearantrieb ausgebildet ist.Handling system according to one of claims 1 to 7, characterized in that the drive means ( 27 ) a drive unit ( 43 ), which at least one in the direction of the transfer movement ( 23 ) extending linear drive ( 44 . 45 ), with respect to the support structure ( 16 ) is fixed in place and one with the drive telescopic arm ( 22a ) at least one telescopic arm unit ( 17 . 18 ) motion-coupled, driven to a linear output movement driven part ( 47 ), wherein the linear drive ( 44 . 45 ) is suitably designed as a fluid-operated, rodless linear drive. Handhabungssystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheit (43) wenigstens zwei parallel geschaltete Linearantriebe (44, 45) aufweist.Handling system according to claim 8, characterized in that the drive unit ( 43 ) at least two parallel-connected linear drives ( 44 . 45 ) having. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) mindestens zwei quer zur Richtung der Transferbewegung (23) mit Abstand horizontal nebeneinander angeordnete Teleskoparmeinheiten (17, 18) aufweist, denen gemeinsam eine Tragstruktur (16) zugeordnet ist, an der ihre Antriebs-Teleskoparme (22a) verschiebbar gelagert sind, wobei die Antriebs-Teleskoparme (22a) der beiden Teleskoparmeinheiten (17, 18) in synchron antreibbarer Weise mit den Antriebsmitteln (27) in Antriebsverbindung stehen.Handling system according to one of claims 1 to 9, characterized in that the transfer unit ( 7 ) at least two transverse to the direction of the transfer movement ( 23 ) spaced horizontally next to each other Telescopic arm units ( 17 . 18 ), which together have a supporting structure ( 16 ) at which its drive telescopic arms ( 22a ) are slidably mounted, wherein the drive telescopic arms ( 22a ) of the two telescopic arm units ( 17 . 18 ) in synchronously drivable manner with the drive means ( 27 ) are in drive connection. Handhabungssystem nach Anspruch 10 in Verbindung mit Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheiten (43) in vertikaler Draufsicht auf die Transfereinheit (7) gesehen, zwischen den beiden Teleskoparmeinheiten (17, 18) angeordnet ist, wobei die Antriebs-Teleskoparme (22a) beider Teleskoparmeinheiten (17, 18) über mindestens einen Mitnehmer (48) mit dem Abtriebsteil (47) des mindestens einen Linearantriebes (44, 45) bewegungsgekoppelt sind, wobei der Mitnehmer (48) zweckmäßigerweise strebenartig ausgebildet ist und die Antriebs-Teleskoparme (22a) unter Überbrückung des dazwischen vorhandenen Zwischenraumes (26) insbesondere starr miteinander verbindet.Handling system according to claim 10 in conjunction with claim 8 or 9, characterized in that the drive units ( 43 ) in a vertical plan view of the transfer unit ( 7 ), between the two Teleskoparmeinheiten ( 17 . 18 ), wherein the drive telescopic arms ( 22a ) of both telescopic arm units ( 17 . 18 ) via at least one driver ( 48 ) with the output part ( 47 ) of the at least one linear drive ( 44 . 45 ) are motion-coupled, wherein the driver ( 48 ) is expediently strut-like and the drive telescopic arms ( 22a ) while bridging the intermediate space between them ( 26 ) in particular rigidly interconnected. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) im eingefahrenen Zustand der mindestens einen Teleskoparmeinheit (17, 18) und in vertikaler Draufsicht betrachtet einen Basis-Umriss (42) aufweist, innerhalb dessen sich sowohl die Gegenstands-Haltemittel (25) als auch die Antriebsmittel (27) befinden, wobei im ausgefahrenen Zustand der mindestens einen Teleskoparmeinheit (17, 18) die Antriebsmittel (27) innerhalb des Basis-Umrisses (42) liegen, während die Gegenstands-Haltemittel (25) zumindest teilweise über den Basis-Umriss (42) hinausragen.Handling system according to one of claims 1 to 11, characterized in that the transfer unit ( 7 ) in the retracted state of the at least one telescopic arm unit ( 17 . 18 ) and in vertical plan view a base outline ( 42 ) within which both the article holding means ( 25 ) as well as the drive means ( 27 ), wherein in the extended state of at least one Teleskoparmeinheit ( 17 . 18 ) the drive means ( 27 ) within the basic outline ( 42 ), while the article holding means ( 25 ) at least partially beyond the base outline ( 42 ) protrude. Handhabungssystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) wenigstens zwei horizontal nebeneinander angeordnete Teleskoparmeinheiten (17, 18) aufweist, die im ausgefahrenen Zustand nach Art einer mindestens zweizinkigen Gabel über den Basis-Umriss (42) hinausragen.Handling system according to claim 12, characterized in that the transfer unit ( 7 ) at least two horizontally juxtaposed Teleskoparmeinheiten ( 17 . 18 ) in the extended state in the manner of a least two-pronged fork over the base outline ( 42 ) protrude. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragstruktur (16) der Transfereinheit (7) plattenförmig ausgebildet und zweckmäßigerweise in einer Horizontalebene ausgerichtet ist.Handling system according to one of claims 1 to 13, characterized in that the support structure ( 16 ) of the transfer unit ( 7 ) plate-shaped and is suitably aligned in a horizontal plane. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenstands-Haltemittel (25) als zum Auflegen eines Gegenstandes dienende Auflagemittel ausgebildet und zweckmäßigerweise von an der nach oben weisenden Längsseite des Halte-Teleskoparmes (22c) angeordneten, punktuell verteilten Auflageelementen gebildet sind.Handling system according to one of claims 1 to 14, characterized in that the article holding means ( 25 ) is designed as a support for serving an object and expediently from on the upwardly facing longitudinal side of the holding telescopic arm ( 22c ) arranged, selectively distributed support elements are formed. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass jede Koppeleinrichtung (28) als Umlenkmittel (32) zwei mit Abstand zueinander drehbar am zugeordneten Teleskoparm (22) gelagerte Umlenkrollen aufweist, um die ein zweckmäßigerweise seilförmiger oder bandförmiger Zugstrang (33) herumgeschlungen ist.Handling system according to one of claims 1 to 15, characterized in that each coupling device ( 28 ) as deflection means ( 32 ) two spaced apart rotatably on the associated telescopic arm ( 22 ) mounted pulleys to which a suitably rope-shaped or band-shaped tensile strand ( 33 ) is wrapped around. Handhabungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinheit (7) insbesondere in Form eines Wegmesssystems realisierte Positionserfassungsmittel (56) für die mindestens eine Teleskoparmeinheit (17, 18) aufweist.Handling system according to one of claims 1 to 16, characterized in that the transfer unit ( 7 ) in particular in the form of a position measuring system realized position detecting means ( 56 ) for the at least one telescopic arm unit ( 17 . 18 ) having.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014001406A1 (en) 2014-02-04 2015-08-06 Festo Ag & Co. Kg transport device
US9573281B2 (en) 2013-06-27 2017-02-21 Denso Wave Incorporated Industrial robot provided with horizontal multistage telescopic device
DE102017106309B3 (en) * 2016-12-05 2018-02-22 Bystronic Lenhardt Gmbh Handling device for a glass plate
EP3444220A1 (en) * 2017-08-14 2019-02-20 Josef Muser Linear drawer unit
DE102019119228A1 (en) * 2019-07-16 2021-01-21 Strothmann Machines & Handling GmbH Linear conveyor for moving workpieces between two consecutive positions in one direction of travel
US20230192402A1 (en) * 2020-04-27 2023-06-22 Beijing Geekplus Technology Co., Ltd. Container retrieval apparatus and robot

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012020679B4 (en) * 2012-10-22 2022-01-05 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Method and device for the rapid relocation of panels
AT515565B1 (en) * 2014-04-08 2015-12-15 Swisslog Evomatic Gmbh Storage and retrieval unit for storing and retrieving a load in a rack
CN105016043B (en) * 2015-07-07 2019-08-30 中国核电工程有限公司 A kind of material transfer device between hot cell
DE202016100689U1 (en) 2016-02-11 2016-03-03 Analytik Jena Ag Cartesian transporter
KR102491718B1 (en) * 2016-03-04 2023-01-27 주식회사 케이씨텍 Wafer transfer apparatus
EP3369684A1 (en) * 2017-03-03 2018-09-05 Swisslog Evomatic GMBH Method and device for commissioning an article
CN109436938B (en) * 2018-11-28 2021-02-02 潍坊凯德塑料机械有限公司 Online automatic coil changing, cutting, bundling and coil unloading device for plastic pipes
DE102019006503A1 (en) * 2019-09-16 2021-03-18 Satisloh Ag Loading system for an optical machine, in particular for loading and unloading optical workpieces, such as spectacle lenses, and a blocking device comprising such a loading system
TWI730695B (en) 2020-03-27 2021-06-11 潤弘精密工程事業股份有限公司 Transport apparatus for transporting plate
US11955364B2 (en) 2021-01-22 2024-04-09 Kimball Electronics Indiana, Inc. Telescoping linear extension robot
CN113130967B (en) * 2021-03-29 2022-09-23 广东利元亨智能装备股份有限公司 Battery cell packaging mechanism, battery cell packaging logistics line and battery cell folding and transferring method

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1925367U (en) * 1964-08-12 1965-10-14 Ver Flugtechnische Werke Ges M HEIGHT-ADJUSTABLE WORK PLATFORM.
FR2611826A1 (en) * 1987-02-25 1988-09-09 Masseron Alain TELESCOPIC ARM THAT CAN BE DESIGNED IN DEMOUNTABLE FORM
EP0362680A2 (en) * 1988-10-03 1990-04-11 Peter Hürlimann Extending and retractable telescopic arm
DE9110687U1 (en) * 1991-08-29 1991-10-10 Hauser Elektronik GmbH, 7600 Offenburg linear actuator
DE19606132A1 (en) * 1996-02-20 1997-08-21 Dieffenbacher Gmbh Maschf Feeding and emptying of a short cycle press
DE10232080A1 (en) 2002-07-15 2004-02-05 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Electrostatic gripper and process for its manufacture
WO2004077531A1 (en) 2003-02-25 2004-09-10 Technische Universität München Device for gripping, retaining and orienting contact-sensitive flat components involving little contact therewith
DE102005039453A1 (en) 2005-08-18 2007-03-01 Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg Machining plant of modular construction for flat substrates

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE899228A (en) * 1984-03-23 1984-07-16 Tecnomatix N V Telescopic tool carrier for robot - has drive coupled to all telescoping tubes for simultaneous extension and refraction
FR2709745B1 (en) * 1993-09-08 1995-10-20 Productique Cie Gle Gripping system with double depth telescopic forks.
JP2664354B2 (en) * 1995-07-21 1997-10-15 シーケーディ株式会社 Multi-stage slide device
JP2001300883A (en) * 2000-04-20 2001-10-30 Kawasaki Heavy Ind Ltd Robot
JP4302575B2 (en) * 2003-05-30 2009-07-29 東京エレクトロン株式会社 Substrate transfer apparatus and vacuum processing apparatus
JP2006062846A (en) * 2004-08-27 2006-03-09 Murata Mach Ltd Transfer device
TWM281944U (en) * 2005-06-15 2005-12-01 De-Zheng Chen Improved structure of transportation cartridge for glass substrate for liquid crystal display panel manufacturing operation
JP4999144B2 (en) * 2006-01-26 2012-08-15 株式会社ソディック Servo motor drive device
CN100560470C (en) * 2006-06-13 2009-11-18 大福株式会社 Slide fork device
DE202006013135U1 (en) * 2006-08-26 2006-11-02 Festo Ag & Co. Linear drive for moving heavy loads has guide with spaced shafts having bridge to form rigid assembly and with guide rails for carriage
JP2009034783A (en) * 2007-08-02 2009-02-19 Denso Corp Inner face grinding pattern setting device, inner face grinding device, inner face grinding pattern setting method, and inner face grinding method and program
DE202008011687U1 (en) * 2008-09-02 2008-10-30 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Device for the temporary storage of glass plates for photovoltaic modules
US20100070077A1 (en) * 2008-09-15 2010-03-18 Xyz Automation Programmed calibration and mechanical impulse response application iin robotic automation systems

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1925367U (en) * 1964-08-12 1965-10-14 Ver Flugtechnische Werke Ges M HEIGHT-ADJUSTABLE WORK PLATFORM.
FR2611826A1 (en) * 1987-02-25 1988-09-09 Masseron Alain TELESCOPIC ARM THAT CAN BE DESIGNED IN DEMOUNTABLE FORM
US4907768A (en) * 1987-02-25 1990-03-13 Masseron Alain O F Telescoping crane
EP0362680A2 (en) * 1988-10-03 1990-04-11 Peter Hürlimann Extending and retractable telescopic arm
DE9110687U1 (en) * 1991-08-29 1991-10-10 Hauser Elektronik GmbH, 7600 Offenburg linear actuator
DE19606132A1 (en) * 1996-02-20 1997-08-21 Dieffenbacher Gmbh Maschf Feeding and emptying of a short cycle press
DE10232080A1 (en) 2002-07-15 2004-02-05 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Electrostatic gripper and process for its manufacture
WO2004077531A1 (en) 2003-02-25 2004-09-10 Technische Universität München Device for gripping, retaining and orienting contact-sensitive flat components involving little contact therewith
DE102005039453A1 (en) 2005-08-18 2007-03-01 Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg Machining plant of modular construction for flat substrates

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9573281B2 (en) 2013-06-27 2017-02-21 Denso Wave Incorporated Industrial robot provided with horizontal multistage telescopic device
DE102014108982B4 (en) 2013-06-27 2022-05-12 Denso Wave Incorporated Industrial robot with a horizontal, multi-stage, telescopic device
DE102014108982B8 (en) 2013-06-27 2022-07-07 Denso Wave Incorporated Industrial robot with a horizontal, multi-stage, telescopic device
DE102014001406A1 (en) 2014-02-04 2015-08-06 Festo Ag & Co. Kg transport device
WO2015117632A1 (en) 2014-02-04 2015-08-13 Festo Ag & Co. Kg Conveying device
DE102017106309B3 (en) * 2016-12-05 2018-02-22 Bystronic Lenhardt Gmbh Handling device for a glass plate
EP3444220A1 (en) * 2017-08-14 2019-02-20 Josef Muser Linear drawer unit
DE102019119228A1 (en) * 2019-07-16 2021-01-21 Strothmann Machines & Handling GmbH Linear conveyor for moving workpieces between two consecutive positions in one direction of travel
DE102019119228B4 (en) 2019-07-16 2024-07-18 Strothmann Machines & Handling GmbH Linear conveyor for moving workpieces between two consecutive positions in a throughput direction
US20230192402A1 (en) * 2020-04-27 2023-06-22 Beijing Geekplus Technology Co., Ltd. Container retrieval apparatus and robot
EP4144668A4 (en) * 2020-04-27 2023-10-18 Beijing Geekplus Technology Co., Ltd. Container retrieval apparatus and robot
US12116204B2 (en) * 2020-04-27 2024-10-15 Beijing Geekplus Technology Co., Ltd. Container retrieval apparatus and robot

Also Published As

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