DE102017125333A1

DE102017125333A1 - Pressure sensor assembly

Info

Publication number: DE102017125333A1
Application number: DE102017125333.5A
Authority: DE
Inventors: Rainer Oberheim; Stefan Kolbenschlag
Original assignee: Samson AG
Current assignee: Samson AG
Priority date: 2017-10-27
Filing date: 2017-10-27
Publication date: 2019-05-02
Also published as: CN209197962U

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Drucksensoranordnung mit zwei Druckkammern (2,4; 42,44), die durch eine Membrananordnung (6; 46) getrennt sind, und mit einem Überlastelement (12; 52) zur Begrenzung der Auslenkung der Membrananordnung (6; 46), wobei die Membrananordnung (6; 46) eine erste flexible Membran (8; 48) und eine zweite flexible Membran (10; 50) für die erste Druckkammer (2; 42) bzw. die zweite Druckkammer (4; 44) umfasst, dass das Überlastelement (12; 52) in einem Raum (18; 58) zwischen den Membranen (8, 10; 48,50) angeordnet ist und sich von Umfangsflanschen (20,21; 60,61) der Druckkammern (2,4; 42,44) bis zu einem zentralen Bereich (22) der Membrananordnung (6; 46) erstreckt, und dass die beiden Druckkammern (2,4; 42,44), die Membranen (8, 10; 48,50) der Membrananordnung (6; 46) und das Überlastelement (12; 52) an Umfangsflanschen (20,21; 60,61) der Druckkammern (2,4; 42,44) miteinander verschraubt sind.

The invention relates to a pressure sensor arrangement with two pressure chambers (2,4; 42,44) which are separated by a membrane arrangement (6; 46) and with an overload element (12; 52) for limiting the deflection of the membrane arrangement (6; 46). wherein the membrane assembly (6; 46) comprises a first flexible membrane (8; 48) and a second flexible membrane (10; 50) for the first pressure chamber (2; 42) and the second pressure chamber (4; 44), respectively the overload element (12, 52) is arranged in a space (18, 58) between the diaphragms (8, 10, 48, 50) and extends from peripheral flanges (20, 21; 60, 61) of the pressure chambers (2, 4; 44, 44) extends to a central region (22) of the membrane arrangement (6, 46), and in that the two pressure chambers (2, 4, 42, 44), the membranes (8, 10, 48, 50) of the membrane arrangement (6 46) and the overload element (12; 52) are screwed together at peripheral flanges (20,21; 60,61) of the pressure chambers (2,4; 42,44).

Description

Die Erfindung betrifft eine Drucksensoranordnung mit zwei Druckkammern, die durch eine Membrananordnung getrennt sind, und mit einem Überlastelement zur Begrenzung der Auslenkung der Membrananordnung.The invention relates to a pressure sensor arrangement with two pressure chambers, which are separated by a membrane arrangement, and with an overload element for limiting the deflection of the membrane assembly.

Die DE 10 2015 223 784 A1 betrifft eine Drucksensoranordnung mit einem Rohr in dessen Querschnitt eine mit dem zu messenden Druck beaufschlagte Membran angeordnet ist. Die Membran weist im mittleren Bereich eine hohe Biegesteifigkeit auf und ist im Randbereich mittels zweier Schenkel federnd im Rohr gelagert. Mittel zur Erfassung der axialen Verschiebung sind an der Außenseite des Rohrs von außen zugänglich angeordnet und stehen nicht in Kontakt zum Prozessmedium. Da die Membran im mittleren Bereich eine hohe Biegesteifigkeit aufweist, kann nur die axiale Verschiebung der Membran gemessen werden, sodass der Messbereich und die Messgenauigkeit der Drucksensoranordnung eingeschränkt ist.The DE 10 2015 223 784 A1 relates to a pressure sensor arrangement with a tube in the cross section of a loaded with the pressure to be measured membrane is arranged. The membrane has a high flexural rigidity in the central region and is resiliently mounted in the edge region by means of two legs in the tube. Means for detecting the axial displacement are arranged on the outside of the tube accessible from the outside and are not in contact with the process medium. Since the diaphragm has a high flexural rigidity in the middle region, only the axial displacement of the diaphragm can be measured, so that the measuring range and the measuring accuracy of the pressure sensor arrangement are limited.

Die DE 10 2015 216 624 A1 betrifft ebenfalls eine Drucksensoranordnung mit einem Rohr, in dessen Querschnitt eine mit dem zu messenden Druck beaufschlagte Membran angeordnet ist. Die Membran weist im mittleren Bereich eine hohe Biegesteifigkeit auf und ist im Randbereich in axialer Richtung federnd im Rohr gelagert. Zur federnden Lagerung dienen vorzugsweise zwei Schenkel, die an ihren einander zugewandten Seiten mit Dehnungsaufnehmern zur Erfassung einer axialen, vom zu messenden Druck abhängigen Verschiebung der Membran versehen sind. Bei dieser Drucksensoranordnung kann ebenfalls nur die axiale Verschiebung der Membran gemessen werden und die Messgröße wird über die Verformung der Schenkel an einer Stelle abgenommen, die nur geringe Messwerte erwarten lässt, sodass die Genauigkeit der Messungen nicht optimal ist.The DE 10 2015 216 624 A1 also relates to a pressure sensor arrangement with a tube, in the cross section of which a membrane acted upon by the pressure to be measured is arranged. The membrane has a high bending stiffness in the middle region and is resiliently mounted in the edge region in the axial direction in the tube. For resilient mounting preferably serve two legs, which are provided on their sides facing each other with strain transducers for detecting an axial, dependent on the pressure to be measured displacement of the membrane. In this pressure sensor arrangement, only the axial displacement of the membrane can be measured and the measured variable is taken over the deformation of the legs at a point that can expect only low readings, so that the accuracy of the measurements is not optimal.

Es ist Aufgabe der Erfindung eine Drucksensoranordnung mit einer einfach zusammenzustellenden und gegenüber Einflüssen von außen stabilen Konstruktion bereitzustellen.It is an object of the invention to provide a pressure sensor assembly with a simple zusammenzustellenden and against influences from the outside stable construction.

Zur Lösung der Aufgabe ist die erfindungsgemäße Drucksensoranordnung mit zwei Druckkammern, die durch eine Membrananordnung getrennt sind, und mit einem Überlastelement zur Begrenzung der Auslenkung der Membrananordnung, dadurch gekennzeichnet, dass die Membrananordnung eine erste flexible Membran und eine zweite flexible Membran für die erste Druckkammer bzw. die zweite Druckkammer umfasst. Ferner ist das Überlastelement in einem Raum zwischen den Membranen angeordnet und erstreckt sich von Umfangsflanschen der Druckkammern bis zu einem zentralen Bereich der Membrananordnung. Die beiden Druckkammern, die Membranen der Membrananordnung und das Überlastelement an Umfangsflanschen der Druckkammern sind miteinander verschraubt. Durch diese Konstruktion werden die die Messung beeinflussenden Teile der Drucksensoranordnung durch die beiden Druckkammern sicher gehalten. Die Drucksensoranordnung ist einfach zusammenzubauen und gegenüber Einflüssen von außen stabil.To achieve the object, the pressure sensor arrangement according to the invention with two pressure chambers, which are separated by a membrane arrangement, and with an overload element for limiting the deflection of the membrane assembly, characterized in that the membrane assembly, a first flexible membrane and a second flexible membrane for the first pressure chamber or The second pressure chamber comprises. Further, the overload member is disposed in a space between the diaphragms and extends from peripheral flanges of the pressure chambers to a central portion of the diaphragm assembly. The two pressure chambers, the membranes of the membrane assembly and the overload element on peripheral flanges of the pressure chambers are screwed together. By this construction, the measurement-influencing parts of the pressure sensor assembly are securely held by the two pressure chambers. The pressure sensor assembly is easy to assemble and stable to external influences.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Druckkammern, die Membranen und das Überlastelement spiegelsymmetrisch zu einer Mittelebene des Überlastelements ausgeführt sind, sodass die Anzahl der erforderlichen Teile reduziert wird.An advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that the two pressure chambers, the membranes and the overload element are designed mirror-symmetrically to a center plane of the overload element, so that the number of required parts is reduced.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Membranen und das Überlastelement durch Flanschansätze an den Flanschen der Druckkammern zentriert und gegenüber den Druckkammern positioniert sind, wobei die für die Drucksensoranordnung erforderlichen Teile beim Zusammenbau der Drucksensoranordnung automatisch in die endgültige Position gebracht werden, was den Aufbau der Drucksensoranordnung vereinfacht.A further advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that the membranes and the overload element are centered by flange approaches to the flanges of the pressure chambers and positioned with respect to the pressure chambers, wherein the parts required for the pressure sensor assembly are automatically brought into the final position during assembly of the pressure sensor assembly , which simplifies the construction of the pressure sensor arrangement.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Überlastelement aus zwei zu einer Mittelebene des Überlastungselements spiegelsymmetrischen Hälften besteht, wobei der Zusammenbau, insbesondere der Einbau einer für die Messung vorgesehenen Platine in das Überlastelement, weiter vereinfacht wird.A further advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that the overload element consists of two mirror-symmetrical halves to a center plane of the overload element, wherein the assembly, in particular the installation of a board provided for the measurement in the overload element, further simplified.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Flanschen der Druckkammern und den Membranen Dichtungsringe vorgesehen sind, wobei die Druckkammern zusätzlich abgedichtet werden und damit die Dichtwirkung, die ansonsten durch den Kontakt der Flansche der Druckkammern mit den aus flexiblem Material bestehenden Membranen hergestellt ist, gegeben ist.A further advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that sealing rings are provided between the flanges of the pressure chambers and the membranes, wherein the pressure chambers are additionally sealed and thus the sealing effect, otherwise by the contact of the flanges of the pressure chambers with those of flexible material Membranes is made, is given.

Nach einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist zwischen der ersten flexiblen Membran und dem Überlastelement und zwischen der zweiten flexiblen Membran und dem Überlastelement an einem zentralen Bereich der Membrananordnung jeweils eine Sensoreinrichtung vorgesehen, von der ein erstes Sensorteil an der flexiblen Membran und ein zweites Sensorteil derart an dem Überlastelement angeordnet ist, dass bei einer Ausbuchtung der Membrananordnung eine relative Verschiebung des ersten Sensorteils gegenüber dem zweiten Sensorteil erfolgt. Bei dieser Drucksensoranordnung kann sowohl eine Druckdifferenz zwischen dem Druck in einer der Druckkammern und dem Druck in der anderen Druckkammer gemessen werden, da die Membrananordnung aus zwei unabhängig voneinander reagierenden flexiblen Membranen besteht. Außerdem wird die Reaktion der Membrananordnung an dem zentralen Bereich der Membrananordnung gemessen, an dem die Auslenkung bzw. die Reaktion der Membrananordnung am größten ist, wobei die Genauigkeit der Messung gewährleistet wird.According to one embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention, a sensor device is provided between the first flexible membrane and the overload element and between the second flexible membrane and the overload element at a central region of the membrane arrangement, of which a first sensor part on the flexible membrane and a second sensor part on the overload element is arranged, that in a bulge of the membrane assembly relative to a relative displacement of the first sensor part takes place the second sensor part. In this pressure sensor arrangement, both a pressure difference between the pressure in one of the pressure chambers and the pressure in the other pressure chamber can be measured, since the membrane assembly consists of two independently responsive flexible membranes. In addition, the reaction of the membrane assembly is measured at the central region of the membrane assembly, where the deflection or the reaction of the membrane assembly is greatest, whereby the accuracy of the measurement is ensured.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass jede Membran einen in den Raum zwischen den Membranen vorstehenden Vorsprung aufweist, und dass die Sensoreinrichtung jeweils zwischen dem Vorsprung der Membran und dem Überlastelement angeordnet ist, sodass die Sensoreinrichtung mit einer einfachen Konstruktion und platzsparend untergebracht ist. Dabei ist auch vorteilhaft, wenn die Sensoreinrichtung jeweils zwischen dem Vorsprung der Membran und dem Überlastelement direkt auf der Innenseite der Membran im drucklosen Bereich angeordnet ist, wobei die Konstruktion der Sensoreinrichtung weiter vereinfacht wird.An advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that each membrane has a projecting into the space between the membranes projection, and that the sensor device is disposed between the projection of the membrane and the overload element, so that the sensor device accommodated with a simple construction and space-saving is. It is also advantageous if the sensor device is arranged in each case between the projection of the membrane and the overload element directly on the inside of the membrane in the unpressurized region, wherein the construction of the sensor device is further simplified.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass das erste Sensorteil einen Magneten an der Membran und das zweite Sensorteil einen magnetempfindlichen Sensor an dem Überlastelement aufweist, wobei eine effektive und stabile Sensoreinrichtung erreicht wird.An advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that the first sensor part has a magnet on the membrane and the second sensor part has a magnet-sensitive sensor on the overload element, wherein an effective and stable sensor device is achieved.

Nach einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung sind die zwei flexiblen Membranen an einem zentralen Bereich der Membrananordnung durch eine Verbindungseinrichtung miteinander verbunden, das Überlastelement ist in einem Raum zwischen den flexiblen Membranen angeordnet und erstreckt sich von Umfangsflanschen der Drucksensoranordnung bis zu einem zentralen Bereich der Membrananordnung. Ferner ist zwischen der Verbindungseinrichtung und dem Überlastelement eine Sensoreinrichtung vorgesehen, von der ein erstes Sensorteil an der Verbindungseinrichtung und ein zweites Sensorteil an dem Überlastelement derart angeordnet ist, wobei bei einer Ausbuchtung der Membrananordnung eine relative Verschiebung des ersten Sensorteils gegenüber dem zweiten Sensorteil erfolgt. Bei dieser Drucksensoranordnung kann eine Druckdifferenz zwischen dem Druck in einer der Druckkammern und dem Druck in der anderen Druckkammer gemessen werden, da die Membrananordnung aus zwei miteinander verbundenen flexiblen Membranen besteht. Außerdem wird auch hier die Reaktion der Membrananordnung an dem zentralen Bereich der Membrananordnung gemessen, an dem die Auslenkung bzw. die Reaktion der Membrananordnung am größten ist, wobei die Genauigkeit der Messung gewährleistet wird.According to a further embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention, the two flexible membranes are connected to one another at a central region of the membrane arrangement by a connecting device, the overload element is arranged in a space between the flexible membranes and extends from peripheral flanges of the pressure sensor assembly to a central region of the membrane assembly. Furthermore, a sensor device is provided between the connecting device and the overload element, of which a first sensor part is arranged on the connecting device and a second sensor part on the overload element, wherein in a bulge of the membrane assembly, a relative displacement of the first sensor part relative to the second sensor part. In this pressure sensor arrangement, a pressure difference between the pressure in one of the pressure chambers and the pressure in the other pressure chamber can be measured, since the diaphragm assembly consists of two interconnected flexible membranes. In addition, the reaction of the membrane assembly is also measured at the central region of the membrane assembly, where the deflection or the reaction of the membrane assembly is greatest, whereby the accuracy of the measurement is ensured.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungseinrichtung eine Hülse umfasst, die sich zwischen den Membranen erstreckt und einen Ringansatz aufweist, und dass die Hülse an den Membranen durch Gewindebolzen befestigt ist, die entsprechende Bohrungen in der Mitte der Membranen durchsetzen und in ein entsprechendes Innengewinde an der Hülse eingeschraubt sind. Die Hülse dient in einer konstruktiv einfachen Weise einerseits als Abstandshalter zwischen den beiden Membranen, und andererseits wird eine sichere Lagerung des entsprechenden Sensorteils an der Hülse erzielt.An advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that the connecting device comprises a sleeve which extends between the membranes and having a ring approach, and that the sleeve is secured to the membranes by threaded bolts, pass through the corresponding holes in the middle of the membranes and are screwed into a corresponding internal thread on the sleeve. The sleeve is used in a structurally simple way on the one hand as a spacer between the two membranes, and on the other hand, a secure mounting of the corresponding sensor part is achieved on the sleeve.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass das erste Sensorteil eine Zahnstruktur an der Verbindungseinrichtung und das zweite Sensorteil ein mit einem Magneten vorgespannter magnetempfindlicher Sensor an dem Überlastelement ist.An advantageous embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention is characterized in that the first sensor part is a tooth structure on the connection means and the second sensor part is a magnet-sensitive sensor biased by a magnet on the overload element.

Alternativ kann das erste Sensorteil einen Magneten an der Verbindungseinrichtung und das zweite Sensorteil einen magnetoresistiven Sensor wie einen AMR-Sensor (anisotroper Magnetowiderstand) an dem Überlastelement aufweisen, wobei wiederum eine effektive und stabile Sensoreinrichtung erreicht wird. Bei der Drucksensoranordnung mit Zahnstruktur-Sensor können prinzipiell alle magnetempfindlichen Sensoren, beispielsweise Hall-Effekt-, AMR-, GMR-, und TMR-Sensoren verwendet werden, wobei das Sensorsystem einen direkt an dem Sensor stationär angebrachten Magneten umfasst und die Magnetfeldveränderung durch die bewegliche Zahnstruktur gemessen wird. Die Zahnstruktur besteht vorzugsweise aus einem ferritischen Material, welches Magnetfelder besonders gut ablenkt.Alternatively, the first sensor part may comprise a magnet on the connection device and the second sensor part a magnetoresistive sensor such as an AMR sensor (anisotropic magnetoresistance) on the overload element, again achieving an effective and stable sensor device. In principle, all magnetically sensitive sensors, for example Hall-effect, AMR, GMR, and TMR sensors can be used in the pressure sensor arrangement with tooth structure sensor, wherein the sensor system comprises a magnet mounted directly on the sensor and the magnetic field change by the movable magnet Tooth structure is measured. The tooth structure is preferably made of a ferritic material, which deflects magnetic fields particularly well.

Wenn in dem Überlastelement eine Platine mit dem ersten Sensorteil angeordnet ist, wird eine zuverlässige Kontaktierung und vorteilhafte Positionierung des ersten Sensorteils erreicht, wobei in vorteilhafter Weise der in dem Überlastelement vorhandene Raum zur platzsparenden Unterbringung von Teilen der Messschaltung genutzt werden kann.If a circuit board with the first sensor part is arranged in the overload element, a reliable contacting and advantageous positioning of the first sensor part is achieved, whereby the space available in the overload element can advantageously be used for space-saving accommodation of parts of the measuring circuit.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen.Further advantages, features and possible applications of the present invention will become apparent from the following description in conjunction with the embodiments illustrated in the drawings.

In der Beschreibung, in den Ansprüchen und in der Zeichnung werden die in der unten aufgeführten Liste der Bezugszeichen verwendeten Begriffe und zugeordneten Bezugszeichen verwendet. In der Zeichnung zeigen:

1 eine Schnittdarstellung eines ersten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in den beiden Druckkammern ein gleich großer Druck herrscht;
2 eine Schnittdarstellung des ersten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in einer der Druckkammern ein höherer Druck herrscht als in der anderen Druckkammer;
3 eine Schnittdarstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in den beiden Druckkammern ein gleich großer Druck herrscht;
4 eine Schnittdarstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in einer der beiden Druckkammern ein höherer Druck herrscht als in der anderen Druckkammer;
5 eine Schnittdarstellung von einem Detail des zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung;
6 eine Schnittdarstellung eines dritten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in den beiden Druckkammern ein gleich großer Druck herrscht.

In the description, the claims, and the drawing, the terms and associated reference numerals used in the list of reference numerals below are used. In the drawing show:

1 a sectional view of a first embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when the same pressure prevails in the two pressure chambers;
2 a sectional view of the first embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when in one of the pressure chambers, a higher pressure than in the other pressure chamber;
3 a sectional view of a second embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when the same pressure prevails in the two pressure chambers;
4 a sectional view of a second embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when in one of the two pressure chambers, a higher pressure than in the other pressure chamber;
5 a sectional view of a detail of the second embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention;
6 a sectional view of a third embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when the same pressure prevails in the two pressure chambers.

Gemäß den 1 und 2 umfasst die erfindungsgemäße Drucksensoranordnung nach einer ersten Ausführungsform zwei, jeweils Einlässe 3 bzw. 5 umfassende Druckkammern 2,4, die durch eine Membrananordnung 6 aus zwei flexiblen Membranen 8,10 getrennt sind, wobei die Membrananordnung 6 eine erste Membran 8 und eine zweite Membran 10 für die erste Druckkammer 2 bzw. die zweite Druckkammer 4 umfasst. Zwischen den beiden Membranen 8,10 befindet sich ein Überlastelement 12 zur Begrenzung der Auslenkung der Membrananordnung 6, wobei das Überlastelement 12 Oberflächen 14,16 aufweist, die den Innenflächen der Membranen 8,10 gegenüberliegen.According to the 1 and 2 The pressure sensor arrangement according to the invention according to a first embodiment comprises two, respectively inlets 3 or. 5 comprehensive pressure chambers 2 . 4 passing through a membrane assembly 6 from two flexible membranes 8th . 10 are separated, wherein the membrane assembly 6 a first membrane 8th and a second membrane 10 for the first pressure chamber 2 or the second pressure chamber 4 includes. Between the two membranes 8th . 10 there is an overload element 12 for limiting the deflection of the membrane assembly 6 , where the overload element 12 surfaces 14 . 16 that faces the inner surfaces of the membranes 8th . 10 are opposite.

Das Überlastelement 12 ist in einem Raum zwischen den Membranen 8,10 angeordnet und erstreckt sich von Umfangsflanschen 20,21 der Druckkammern 2,4 bis zu einem zentralen Bereich 22 der Membrananordnung 6.The overload element 12 is in a space between the membranes 8th . 10 arranged and extends from peripheral flanges 20 . 21 the pressure chambers 2 . 4 up to a central area 22 the membrane assembly 6 ,

Die beiden Druckkammern 2,4, die Membranen 8, 10 der Membrananordnung 6 und die Hälften 9, 11 des Überlastelements 12 sind an Umfangsflanschen 20,21 der Druckkammern 2,4 miteinander durch Bolzenverbindungen verschraubt, von denen eine Bolzenverbindung 15 in den Figuren dargestellt ist. Die beiden Druckkammern 2,4, die Membranen 8, 10 und das Überlastelement 12 sind somit spiegelsymmetrisch zu einer Ebene zwischen den Hälften 9,11 des Überlastelements 12 ausgeführt. Die Membranen 8, 10 und das Überlastelement 12 sind durch Flanschansätze 20A und 21A an den Flanschen 20 bzw. 21 der Druckkammern 2,4 zentriert und gegenüber den Druckkammern 2,4 positioniert.The two pressure chambers 2 . 4 , the membranes 8th . 10 the membrane assembly 6 and the halves 9 . 11 of the overload element 12 are on peripheral flanges 20 . 21 the pressure chambers 2 . 4 bolted together by bolted connections, one of which is a bolted connection 15 is shown in the figures. The two pressure chambers 2 . 4 , the membranes 8th . 10 and the overload element 12 are thus mirror-symmetrical to a plane between the halves 9 . 11 of the overload element 12 executed. The membranes 8th . 10 and the overload element 12 are by flange approaches 20A and 21A on the flanges 20 or. 21 the pressure chambers 2 . 4 centered and opposite the pressure chambers 2 . 4 positioned.

1 zeigt eine Schnittdarstellung des ersten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in den beiden Druckkammern 2,4 ein gleich großer Druck herrscht, während 2 eine Schnittdarstellung des ersten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung zeigt, wenn in einer der Druckkammern 2,4 beispielsweise in der Druckkammer 4, ein höherer Druck herrscht als in der anderen Druckkammer 2. 1 shows a sectional view of the first embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when in the two pressure chambers 2 . 4 an equal pressure prevails while 2 a sectional view of the first embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position shows when in one of the pressure chambers 2 . 4 for example in the pressure chamber 4 , a higher pressure prevails than in the other pressure chamber 2 ,

Zwischen der ersten flexiblen Membran 8 und dem Überlastelement 12 und zwischen der zweiten flexiblen Membran 10 und dem Überlastelement 12 ist jeweils eine Sensoreinrichtung 24 bzw. eine Sensoreinrichtung 26 vorgesehen, wobei die Sensoreinrichtungen 24,26 in dem zentralen Bereich 22 der Membrananordnung 6 angeordnet sind. Die Sensoreinrichtung 24 umfasst einen ersten Sensorteil 28 und einen zweiten Sensorteil 30. Die Sensoreinrichtung 26 umfasst einen ersten Sensorteil 32 und einen zweiten Sensorteil 34. Die ersten Sensorteile 28, 32 sind an den Membranen 8,10 und die zweiten Sensorteile 30,34 sind an dem Überlastelement 12 angeordnet.Between the first flexible membrane 8th and the overload element 12 and between the second flexible membrane 10 and the overload element 12 each is a sensor device 24 or a sensor device 26 provided, wherein the sensor devices 24 . 26 in the central area 22 the membrane assembly 6 are arranged. The sensor device 24 includes a first sensor part 28 and a second sensor part 30 , The sensor device 26 includes a first sensor part 32 and a second sensor part 34 , The first sensor parts 28 . 32 are on the membranes 8th . 10 and the second sensor parts 30 . 34 are on the overload element 12 arranged.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach den 1 und 2 hat die Membran 8 einen in den Raum 18 zwischen den Membranen 8,10 vorstehenden Vorsprung 36 und die Sensoreinrichtung 24 ist zwischen dem Vorsprung 36 der Membran 8 und dem Überlastelement 12 angeordnet. Die Membran 10 hat einen in den Raum 18 zwischen den Membranen 8,10 vorstehenden Vorsprung 38 und die Sensoreinrichtung 26 ist zwischen dem Vorsprung 38 der Membran 10 und dem Überlastelement 12 angeordnet. Die zwei Sensoreinrichtungen 24,26 messen die Bewegung bzw. Ausbuchtung der beiden Membranen 8,10 getrennt voneinander. Auf diese Weise können der Differenzdruck und/oder der absolute Druck in den Druckkammern 2,4 gemessen werden.In the embodiment of the 1 and 2 has the membrane 8th one in the room 18 between the membranes 8th . 10 protruding projection 36 and the sensor device 24 is between the projection 36 the membrane 8th and the overload element 12 arranged. The membrane 10 has one in the room 18 between the membranes 8th . 10 protruding projection 38 and the sensor device 26 is between the projection 38 the membrane 10 and the overload element 12 arranged. The two sensor devices 24 . 26 measure the movement or bulge of the two membranes 8th . 10 separated from each other. In this way, the differential pressure and / or the absolute pressure in the pressure chambers 2 . 4 be measured.

Nach den 1 und 2 umfasst die Sensoreinrichtung 24 als erstes Sensorteil 28 einen Magneten an der Membran 8 und als zweites Sensorteil 30 einen AMR-Sensor an dem Überlastelement 12. Die Sensoreinrichtung 26 hat als erstes Sensorteil 32 einen Magneten an der Membran 10 und als zweites Sensorteil 34 einen AMR-Sensor an dem Überlastelement 23. Die Sensoreinrichtung kann jedoch auch als erstes Sensorteil 28,32 eine Zahnstruktur an der Membran 8,10 und als zweites Sensorteil 30,34 einen Zahnstruktur-Sensor an dem Überlastelement 12 aufweisen, wie in den 3 und 4 gezeigt ist. Bei der Drucksensoranordnung mit Zahnstruktur-Sensor können prinzipiell alle magnetempfindlichen Sensoren, beispielsweise Hall-Effekt-, AMR-, GMR-, und TMR-Sensoren verwendet werden, wobei das Sensorsystem einen direkt an dem Sensor stationär angebrachten Magneten umfasst und die Magnetfeldveränderung durch die bewegliche Zahnstruktur gemessen wird. Die Zahnstruktur besteht vorzugsweise aus einem ferritischen Material, welches Magnetfelder besonders gut ablenkt.After the 1 and 2 includes the sensor device 24 as the first sensor part 28 a magnet on the membrane 8th and as a second sensor part 30 an AMR sensor on the overload element 12 , The sensor device 26 has as the first sensor part 32 a magnet on the membrane 10 and as a second sensor part 34 an AMR sensor on the overload element 23 , However, the sensor device can also be used as the first sensor part 28 . 32 a tooth structure on the membrane 8th . 10 and as a second sensor part 30 . 34 a tooth structure sensor on the overload element 12 have, as in the 3 and 4 is shown. In principle, all magnetically sensitive sensors, for example Hall-effect, AMR, GMR, and TMR sensors can be used in the pressure sensor arrangement with tooth structure sensor, wherein the sensor system comprises a magnet mounted directly on the sensor and the magnetic field change by the movable magnet Tooth structure is measured. The tooth structure is preferably made of a ferritic material, which deflects magnetic fields particularly well.

Bei dem in den 1 und 2 gezeigten Ausführungsbeispielen befindet sich inmitten des Überlastelements 12 eine Platine 13, an deren Ende die beiden ersten Sensorteile 30 bzw. 34 angebracht sind. Die ersten Sensorteile 30 bzw. 34 sind so angeordnet, dass die Bewegung der Membranen 8,10 gegenüber den zweiten Sensorteilen 28 bzw. 32 an dem Überlastelement 12 gemessen wird, woraus der Differenzdruck und der absolute Druck in den Druckkammern 2,4 bestimmt werden kann.In the in the 1 and 2 shown embodiments is located in the middle of the overload element 12 a circuit board 13 , at the end of which are the first two sensor parts 30 or. 34 are attached. The first sensor parts 30 or. 34 are arranged so that the movement of the membranes 8th . 10 opposite the second sensor parts 28 or. 32 on the overload element 12 is measured, from which the differential pressure and the absolute pressure in the pressure chambers 2 . 4 can be determined.

Gemäß den 3 und 4 umfasst die erfindungsgemäße Drucksensoranordnung nach einer zweiten Ausführungsform zwei, jeweils Einlässe 43 bzw. 45 umfassende Druckkammern 42,44, die durch eine Membrananordnung 46 getrennt sind, die eine erste flexible Membran 48 und eine zweite flexible Membran 50 für die erste Druckkammer 42 bzw. die zweite Druckkammer 44 umfasst, wobei die Membranen 48,50 die jeweilige Druckkammer 42,44 begrenzen.According to the 3 and 4 The pressure sensor arrangement according to the invention according to a second embodiment comprises two, respectively inlets 43 or. 45 comprehensive pressure chambers 42,44, through a membrane assembly 46 are separated, which is a first flexible membrane 48 and a second flexible membrane 50 for the first pressure chamber 42 or the second pressure chamber 44 includes, wherein the membranes 48 . 50 the respective pressure chamber 42 . 44 limit.

Die beiden Druckkammern 42,44, die Membranen 48, 50 der Membrananordnung 46 und die Hälften 49, 51 des Überlastelements 52 sind an Umfangsflanschen 60,61 der Druckkammern 42,44 miteinander durch Bolzenverbindungen 55 verschraubt, von denen eine Bolzenverbindung 55 in den Figuren dargestellt ist. Die beiden Druckkammern 42,44, die Membranen 48, 50 und die Hälften 49, 51 des Überlastelements 52 sind somit spiegelsymmetrisch zu einer Ebene zwischen den Hälften 49, 51 des Überlastelements 52 ausgeführt. Die Membranen 48, 50 und das Überlastelement 52 sind durch Flanschansätze 60A und 61A an den Flanschen 60 bzw. 61 der Druckkammern 42,44 zentriert und gegenüber den Druckkammern 2,4 positioniert.The two pressure chambers 42 . 44 , the membranes 48 . 50 the membrane assembly 46 and the halves 49 . 51 of the overload element 52 are on peripheral flanges 60,61 of the pressure chambers 42 . 44 with each other by bolt connections 55 bolted, of which a bolt connection 55 is shown in the figures. The two pressure chambers 42 . 44 the membranes 48 . 50 and the halves 49 . 51 of the overload element 52 are thus mirror-symmetrical to a plane between the halves 49 . 51 of the overload element 52 executed. The membranes 48 . 50 and the overload element 52 are by flange approaches 60A and 61A on the flanges 60 or. 61 the pressure chambers 42 . 44 centered and opposite the pressure chambers 2 . 4 positioned.

Die zwei Membranen 48,50 sind an einem zentralen Bereich 62 der Membrananordnung 46 durch eine Verbindungseinrichtung 76 miteinander verbunden.The two membranes 48 . 50 are at a central area 62 the membrane assembly 46 by a connection device 76 connected with each other.

Ein Überlastelement 52 ist wiederum in einem Raum zwischen den Membranen 48,50 angeordnet und erstreckt sich von Umfangsflanschen 60,61 der Druckkammern 42,44 bis zu dem zentralen Bereich 62 der Membrananordnung 46. Zwischen der Verbindungseinrichtung 76 und dem Überlastelement 52 ist eine Sensoreinrichtung 64 vorgesehen, wobei die Sensoreinrichtung 64 in dem zentralen Bereich 62 der Membrananordnung 46 angeordnet ist. Die Sensoreinrichtung 64 umfasst ein erstes Sensorteil 68 und ein zweites Sensorteil 70. Das erste Sensorteil 68 ist an der Verbindungseinrichtung 76 und das zweite Sensorteil 70 ist an dem Überlastelement 52 derart angeordnet, dass bei einer Ausbuchtung der Membrananordnung 46 eine relative Verschiebung des ersten Sensorteils 68 gegenüber dem zweiten Sensorteil 70 erfolgt.An overload element 52 is again in a space between the membranes 48 . 50 arranged and extends from peripheral flanges 60 . 61 the pressure chambers 42 . 44 to the central area 62 the membrane assembly 46 , Between the connection device 76 and the overload element 52 is a sensor device 64 provided, wherein the sensor device 64 in the central area 62 the membrane assembly 46 is arranged. The sensor device 64 includes a first sensor part 68 and a second sensor part 70 , The first sensor part 68 is at the connection device 76 and the second sensor part 70 is on the overload element 52 arranged such that at a bulge of the membrane assembly 46 a relative displacement of the first sensor part 68 opposite the second sensor part 70 he follows.

Die Verbindungseinrichtung 76 umfasst eine Hülse 78, die sich zwischen den Membranen 48,50 erstreckt und einen Ringansatz 80 aufweist. Die Hülse 78 ist an dem zentralen Bereich 62 an den Membranen 48,50 durch Gewindebolzen 82, 84 befestigt, die Bohrungen 86,88 in der Mitte der Membranen 48,50 durchsetzen und in ein Innengewinde 90 an der Hülse 78 eingeschraubt sind. Im eingeschraubten Zustand rücken die Gewindebolzen 82, 84 die Membranen 48, 50 aus flexiblem Material gegen die Hülse 78, wodurch die Bohrungen 86, 88 abgedichtet werden.The connection device 76 includes a sleeve 78 extending between the membranes 48 . 50 extends and a ring approach 80 having. The sleeve 78 is at the central area 62 on the membranes 48 . 50 through threaded bolts 82 . 84 fastened, the holes 86 . 88 in the middle of the membranes 48 . 50 pass through and into an internal thread 90 on the sleeve 78 are screwed in. When screwed in, the threaded bolts move 82 . 84 the membranes 48 . 50 made of flexible material against the sleeve 78 causing the holes 86 . 88 be sealed.

3 zeigt eine Schnittdarstellung des zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung, wenn in den beiden Druckkammern 42,44 ein gleich großer Druck herrscht, während 4 eine Schnittdarstellung des zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung in der Stellung zeigt, wenn in einer der Druckkammern 42,44, beispielsweise in der Druckkammer 44, ein höherer Druck herrscht als in der anderen Druckkammer 42. 3 shows a sectional view of the second embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when in the two pressure chambers 42 . 44 an equal pressure prevails while 4 shows a sectional view of the second embodiment of the pressure sensor assembly according to the invention in the position when in one of the pressure chambers 42 . 44 , for example in the pressure chamber 44 , a higher pressure prevails than in the other pressure chamber 42 ,

5 zeigt eine Schnittdarstellung von einem Detail des zweiten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Drucksensoranordnung, durch die die Anordnung der Sensoreinrichtung 64 mit den Sensorteilen 68,70 verdeutlicht wird. Das in 5 gezeigte Ausführungsbeispiel zeigt eine abgewandelte Ausführung, indem das Überlastelement 52 eine vergrößerte mittige Öffnung 92 aufweist, die so dimensioniert ist, dass die Verbindungseinrichtung 76 mit dem Ringansatz 80 auch dann in das Überlastelement 52 eingeführt werden kann, wenn das Überlastelement 52 einstückig ausgeführt ist. 5 shows a sectional view of a detail of the second embodiment of the pressure sensor arrangement according to the invention, through which the arrangement of the sensor device 64 with the sensor parts 68 . 70 is clarified. This in 5 embodiment shown shows a modified embodiment, by the overload element 52 an enlarged central opening 92 which is dimensioned so that the connecting device 76 with the ring approach 80 even in the overload element 52 can be introduced when the overload element 52 is made in one piece.

Bei dem in den 3 und 5 gezeigten Ausführungsbeispiel ist das erste Sensorteil 68 eine Zahnstruktur an der Verbindungseinrichtung 76 und das zweite Sensorteil ist ein Zahnstruktur-Sensor an dem Überlastelement 52.In the in the 3 and 5 the embodiment shown is the first sensor part 68 a tooth structure on the connecting device 76 and the second sensor part is a tooth structure sensor on the overload element 52 ,

Bei dem in 6 gezeigten Ausführungsbeispiel umfasst die Sensoreinrichtung als erstes Sensorteil 68 einen Magneten an der Verbindungseinrichtung 76 und als zweites Sensorteil 70 ein AMG-Sensor an dem Überlastelement 52. At the in 6 embodiment shown includes the sensor device as the first sensor part 68 a magnet on the connection device 76 and as a second sensor part 70 an AMG sensor on the overload element 52 ,

Gemäß 6 sind zwischen den Flanschen 60, 61 der Druckkammern 42,44 und den Membranen 48,50 Dichtungsringe 94, 96 vorgesehen, wobei die Druckkammern 42, 44 zusätzlich abgedichtet werden. Derartige Dichtungsringe können auch bei den Ausführungsbeispielen der 1 bis 5 vorgesehen sein.According to 6 are between the flanges 60 . 61 the pressure chambers 42 . 44 and the membranes 48,50 sealing rings 94 . 96 provided, the pressure chambers 42 . 44 additionally sealed. Such sealing rings can also in the embodiments of the 1 to 5 be provided.

Bei dem in den 3 bis 6 gezeigten Ausführungsbeispielen befindet sich inmitten des Überlastelements 52 eine Platine 53, an deren Ende das erste Sensorteil 68 angebracht ist, das ein magnetorestrikiver Sensor wie ein AMR-, TMR-, GMR- oder ein Hall-Effekt-Sensor sein kann. Das erste Sensorteil 68 ist so angeordnet, dass die Bewegung der Membrananordnung 46 mit den Membranen 48,50 gegenüber dem Überlastelement 52 gemessen wird, die proportional zu dem an der Membrananordnung 46 anstehenden Differenzdruck ist.In the in the 3 to 6 shown embodiments is located in the middle of the overload element 52 a circuit board 53 , at the end of which the first sensor part 68 is attached, which may be a magnetoresistive sensor such as an AMR, TMR, GMR or Hall effect sensor. The first sensor part 68 is arranged so that the movement of the membrane assembly 46 with the membranes 48,50 against the overload element 52 is measured, which is proportional to that at the membrane assembly 46 pending differential pressure is.

In den gezeigten Ausführungsbeispielen sind die den Membranen 8,10 bzw. 48,50 zugewandten Oberflächen 14, 16 bzw. 54,56 des Überlastelements 12 bzw. 52 entsprechend den Verformungskurven der Membranen 8,10 bzw. 48,50 geformt.In the embodiments shown, the membranes 8th . 10 or. 48 . 50 facing surfaces 14 . 16 or. 54 . 56 of the overload element 12 or. 52 according to the deformation curves of the membranes 8th . 10 or. 48 . 50 shaped.

Die Erfindung ist nicht auf die gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise kann die Drucksensoranordnung auch kapazitive oder induktive Sensoreinrichtungen umfassen.The invention is not limited to the exemplary embodiments shown. For example, the pressure sensor arrangement may also comprise capacitive or inductive sensor devices.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

22: Druckkammerpressure chamber
33: Einlassinlet
44: Druckkammerpressure chamber
55: Einlassinlet
66: Membrananordnungdiaphragm assembly
88th: Membranmembrane
99: Überlastelement-HälfteOverload member half
1010: Membranmembrane
1111: Überlastelement-HälfteOverload member half
1212: ÜberlastelementOverload element
1313: Platinecircuit board
1414: Oberflächensurfaces
1515: Bolzenverbindungbolt connection
1616: Oberflächensurfaces
1818: Raumroom
2020: Umfangsflanschcircumferential flange
20A20A: Flanschansatzflanged
2121: Umfangsflanschcircumferential flange
21A21A: Flanschansatzflanged
2222: zentraler Bereichcentral area
2424: Sensoreinrichtungsensor device
2626: Sensoreinrichtungsensor device
2828: erstes Sensorteil von 24 first sensor part of 24
3030: zweites Sensorteil von 24 second sensor part of 24
3232: erstes Sensorteil von 26 first sensor part of 26
3434: zweites Sensorteil von 26 second sensor part of 26
3636: Vorsprunghead Start
3838: Vorsprunghead Start
4242: Druckkammerpressure chamber
4343: Einlassinlet
4444: Druckkammerpressure chamber
4545: Einlassinlet
4646: Membrananordnungdiaphragm assembly
4848: Membranmembrane
4949: Überlastelement-HälfteOverload member half
5050: Membranmembrane
5151: Überlastelement-HälfteOverload member half
5252: ÜberlastelementOverload element
5353: Platinecircuit board
5454: Oberflächesurface
5555: Bolzenverbindungbolt connection
5656: Oberflächesurface
5858: Raumroom
6060: Umfangsflanschcircumferential flange
60A60A: Flanschansatzflanged
6161: Umfangsflanschcircumferential flange
61A61A: Flanschansatzflanged
6262: zentraler Bereichcentral area
6464: Sensoreinrichtungsensor device
6666: Sensoreinrichtungsensor device
6868: erstes Sensorteil von 64 first sensor part of 64
7070: zweites Sensorteil von 64 second sensor part of 64
7272: erstes Sensorteil von 66 first sensor part of 66
7474: zweites Sensorteil von 66 second sensor part of 66
76 76: Verbindungseinrichtungconnecting device
7878: Hülseshell
8080: Ringansatzannular shoulder
8282: Gewindebolzenthreaded bolt
8484: Gewindebolzenthreaded bolt
8686: Bohrungdrilling
8888: Bohrungdrilling
9090: Innengewindeinner thread
9292: Öffnungopening
9494: Dichtungsringsealing ring
9696: Dichtungsringsealing ring

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 102015223784 A1 [0002]
DE 102015216624 A1 [0003]

Claims

Pressure sensor arrangement having two pressure chambers (2,4; 42,44) separated by a membrane arrangement (6; 46) and having an overload element (12; 52) for limiting the deflection of the membrane arrangement (6; 46), characterized in that the membrane arrangement (6; 46) comprises a first flexible membrane (8; 48) and a second flexible membrane (10; 50) for the first pressure chamber (2; 42) and the second pressure chamber (4; Overload element (12; 52) is arranged in a space (18; 58) between the diaphragms (8,10; 48,50) and extends from peripheral flanges (20,21; 60,61) of the pressure chambers (2,4; 44) extends to a central region (22) of the membrane assembly (6; 46), and in that the two pressure chambers (2,4; 42,44), the membranes (8,10; 48,50) of the membrane assembly (6; 46) and the overload element (12; 52) are screwed together on circumferential flanges (20, 21; 60, 61) of the pressure chambers (2, 4, 42, 44).

Pressure sensor arrangement after Claim 1 , characterized in that the two pressure chambers (2,4, 42, 44), the membranes (8, 10; 48, 50) and the overload element (12, 52) are mirror-symmetrical to a plane between the halves (9, 11, 49 , 51) of the overload element (12, 52) are executed.

Pressure sensor arrangement after Claim 1 or 2 characterized in that the diaphragms (8, 10; 48, 50) and the overload member (12: 52) are secured to the flanges (20, 21, 60, 61) of the pressure chambers (20A, 21A, 60A, 61A) by flange bosses (20A, 21A; 2,4; 42,44) are centered and positioned opposite the pressure chambers (2,4; 42,44).

Pressure sensor arrangement according to one of Claims 1 to 3 , characterized in that the overload element (12; 52) consists of two halves (9, 11; 49, 51) mirror-symmetrical to a median plane of the overload element (12; 52).

Pressure sensor arrangement according to one of Claims 1 to 4 , characterized in that between the flanges of the pressure chambers (2,4, 42,44) and the membranes (8, 10, 48,50) sealing rings (94, 96) are provided.

Pressure sensor arrangement according to one of Claims 1 to 5 , characterized in that between the first membrane (8) and the overload element (12) and between the second membrane (10) and the overload element (12) at a central region (22) of the membrane assembly (6; 24,26) is provided, of which a first sensor part (28,32) on the respective membrane (8,10) and a second sensor part (30,34) on the overload element (12) are arranged such that at a bulge of the Membrane arrangement, a relative displacement of the first sensor part (28,32) relative to the second sensor part (30,34) takes place.

Pressure sensor arrangement after Claim 6 characterized in that each flexible membrane (8, 10) has a projection (36, 38) projecting into the space (18) between the membranes (8, 10), and that the sensor means (24, 26) are each between the projection (36,38) of the flexible membrane (8,10) and the overload element (12) are arranged.

Pressure sensor arrangement after Claim 7 , characterized in that the sensor means (24,26) respectively between the projection (36,38) of the flexible membrane (8,10) and the overload element (12) directly on an inner side of the flexible membrane (8,10) in the pressureless space (18) is arranged.

Pressure sensor arrangement according to one of Claims 6 to 8th , characterized in that the first sensor part (28, 32) has a magnet on the flexible membrane (8, 10) and the second sensor part (30, 34) has a magnetically sensitive sensor on the overload element (12).

Pressure sensor arrangement according to one of Claims 1 to 5 , characterized in that a sensor device (64) is provided between the connecting device (76) and the overload element (52), of which a first sensor part (68) on the connecting device (76) and a second sensor part (70) on the overload element ( 52) is arranged such that at a bulge of the membrane assembly (46), a relative displacement of the first sensor part (68) relative to the second sensor part (70).

Pressure sensor arrangement after Claim 10 characterized in that the connecting means (76) comprises a sleeve (78) extending between the diaphragms (48, 50) and having a collar (80), and that the sleeve (78) is threadedly engaged (82, 84) attached to the membranes (48,50), pass through the holes (86,88) in the middle of the membranes 48,50 and into an internal thread (90) on the sleeve (78) are screwed.

Pressure sensor arrangement after Claim 10 , characterized in that the first sensor part (68) has a tooth structure on the connecting device (76) and the second sensor part (70) has a prestressed magnetic sensor on the overload element (52).

Pressure sensor arrangement according to one of Claims 1 to 12 , characterized in that in a circuit board (13; 55) with the first sensor part (18; 68) is arranged on the overload element (12; 52).