DE102017115021A1

DE102017115021A1 - Digital determination of the focus position

Info

Publication number: DE102017115021A1
Application number: DE102017115021.8A
Authority: DE
Inventors: Lars Stoppe; Thomas Milde; Andrea Berner
Original assignee: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date: 2017-07-05
Filing date: 2017-07-05
Publication date: 2019-01-10
Also published as: US11460683B2; CN110945398B; WO2019007698A1; CN110945398A; US20200257101A1

Abstract

Eine Detektionsoptik (112) einer optischen Vorrichtung ist eingerichtet, um ein Abbild (151, 152) eines Probenobjekts (150) auf einem Detektor (114) zu erzeugen. Ein einstellbares Filterelement (119) ist in einem das Abbild (151, 152) definierenden Strahlengang der Detektionsoptik (112) angeordnet. Eine Steuerung ist eingerichtet, um das einstellbare Filterelement (119) anzusteuern, um das Spektrum des Strahlengangs mit einem ersten Filtermuster (301-308) und mit einem zweiten Filtermuster (301-308) zu filtern, und um den Detektor (114) anzusteuern, um ein mit dem ersten Filtermuster (301-308) assoziiertes erstes Bild zu erfassen und um ein mit dem zweiten Filtermuster (301-308) assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Die Steuerung ist weiterhin eingerichtet, um eine Fokusposition (181) des Probenobjekts (150) basierend auf dem ersten Bild und dem zweiten Bild zu bestimmen.An optical device detection optic (112) is arranged to generate an image (151, 152) of a sample object (150) on a detector (114). An adjustable filter element (119) is arranged in a beam path of the detection optics (112) which defines the image (151, 152). A controller is arranged to control the adjustable filter element (119) to filter the spectrum of the beam path with a first filter pattern (301-308) and a second filter pattern (301-308), and to drive the detector (114), to detect a first image associated with the first filter pattern (301-308) and to detect a second image associated with the second filter pattern (301-308). The controller is further configured to determine a focus position (181) of the sample object (150) based on the first image and the second image.

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA

Verschiedene Beispiele der Erfindung betreffen im Allgemeinen die Bestimmung einer Fokusposition eines Probenobjekts. Verschiedene Beispiele der Erfindung betreffen insbesondere die Bestimmung der Fokusposition basierend auf mehreren Bildern, die mit unterschiedlichen Filtermustern zur Filterung des Spektrums eines Strahlengangs einer Detektionsoptik assoziiert sind.Various examples of the invention generally relate to the determination of a focus position of a sample object. In particular, various examples of the invention relate to the determination of the focus position based on a plurality of images associated with different filter patterns for filtering the spectrum of a beam path of a detection optics.

HINTERGRUNDBACKGROUND

Das Bestimmen der Position eines Probenobjekts entlang einer optischen Achse einer Detektionsoptik einer optischen Vorrichtung (Z-Position oder Fokusposition) - d.h. des Abstands des Probenobjekts von einer Fokusebene der Detektionsoptik - kann aus verschiedenen Gründen erstrebenswert sein. So kann es mittels der bestimmten Fokusposition möglich sein, das Probenobjekt möglichst gut in der Fokusebene der Detektionsoptik zu positionieren. Dadurch kann ein scharfes Abbild des Probenobjekts erzeugt werden. Dies wird als Autofokus-Anwendung bezeichnet. Bei senkrecht zur optischen Achse ausgedehnten Probenobjekten kann es erstrebenswert sein, die Fokusposition für verschiedene Punkte des Probenobjekts senkrecht zur optischen Achse zu bestimmen, um den relevanten Bildausschnitt fokussieren zu können. Es kann auch erstrebenswert sein, basierend auf der Fokusposition ein Höhenprofil des Probenobjekts zu bestimmen.Determining the position of a sample object along an optical axis of detection optics of an optical device (Z position or focus position) - i. the distance of the sample object from a focal plane of the detection optics - may be desirable for various reasons. Thus, it may be possible by means of the determined focus position to position the sample object as well as possible in the focal plane of the detection optics. As a result, a sharp image of the sample object can be generated. This is called an autofocus application. With sample objects extended perpendicular to the optical axis, it may be desirable to determine the focus position for different points of the sample object perpendicular to the optical axis in order to be able to focus the relevant image section. It may also be desirable to determine a height profile of the sample object based on the focus position.

Bestehende Techniken erlauben das Bestimmen der Fokusposition zum Beispiel über eine Positionierung des Probenobjekts an verschiedenen Referenzpositionen. Anhand einer Schärfe eines Abbilds des Probenobjekts an den verschiedenen Referenzpositionen, kann dann die Fokusposition bestimmt werden. Jedoch kann es manchmal nur mit eingeschränkter Genauigkeit möglich sein, die Schärfe des Abbilds des Probeobjekts zu bestimmen. Deshalb können solche Referenzimplementierungen vergleichsweise ungenau sein.Existing techniques allow the focus position to be determined, for example, by positioning the sample object at various reference positions. Based on a sharpness of an image of the sample object at the different reference positions, then the focus position can be determined. However, sometimes it may be possible only with limited accuracy to determine the sharpness of the image of the sample object. Therefore, such reference implementations may be relatively inaccurate.

Weitere bestehende Techniken verwenden interferometrische Ansätze zum Bestimmen der Fokusposition. Während solche Techniken eine vergleichsweise hohe Genauigkeit beim Bestimmen der Fokusposition ermöglichen, können die entsprechenden Vorrichtungen aber vergleichsweise kompliziert und teuer sein. Außerdem kann der Fangbereich zur Fokusdetektion stark eingeschränkt sein.Other existing techniques use interferometric approaches to determine the focus position. While such techniques may provide relatively high accuracy in determining the focus position, the corresponding devices may be relatively complicated and expensive. In addition, the capture range for focus detection can be severely limited.

Weitere bestehende Techniken verwenden die Beleuchtung des Probenobjekts aus unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen. Dann erfolgt eine digitale Auswertung entsprechender Bilder zum Bestimmen der Fokusposition. Entsprechende Techniken sind etwa beschrieben in DE10 2014 109 687 A1 . Manchmal kann es aber schwierig sein, ein Beleuchtungsmodul, dass eine solche strukturierte Beleuchtung aus unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen ermöglicht, in eine optische Vorrichtung zu integrieren. Das kann bei telezentrischen System der Fall sein.Other existing techniques use the illumination of the sample object from different directions of illumination. Then, a digital evaluation of corresponding images for determining the focus position. Corresponding techniques are described approximately in DE10 2014 109 687 A1 , Sometimes, however, it may be difficult to integrate a lighting module that allows such structured illumination from different directions of illumination into an optical device. This can be the case with a telecentric system.

KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGBRIEF SUMMARY OF THE INVENTION

Deshalb besteht ein Bedarf für verbesserte Techniken zur Bestimmung der Fokusposition eines Probenobjekts. Insbesondere besteht ein Bedarf für solche Techniken, die zumindest einige der oben genannten Nachteile und Einschränkungen beheben.Therefore, there is a need for improved techniques for determining the focus position of a sample object. In particular, there is a need for such techniques that overcome at least some of the above disadvantages and limitations.

Diese Aufgabe wird von den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Die Merkmale der abhängigen Patentansprüche definieren Ausführungsformen.This object is solved by the features of the independent claims. The features of the dependent claims define embodiments.

In einem Beispiel umfasst eine optische Vorrichtung eine Detektionsoptik. Die Detektionsoptik ist eingerichtet, um ein Abbild eines Probenobjektes auf einem Detektor zu erzeugen. Die optische Vorrichtung umfasst auch den Detektor und ein einstellbares Filterelement. Das einstellbare Filterelement ist in einem Strahlengang der Detektionsoptik angeordnet. Der Strahlengang definiert das Abbild. Die optische Vorrichtung umfasst ferner eine Steuerung. Die Steuerung ist eingerichtet, um das einstellbare Filterelement anzusteuern, um das Spektrum des Strahlengangs mit einem ersten Filtermuster und mit einem zweiten Filtermuster zu filtern. Die Steuerung ist außerdem eingerichtet, um den Detektor anzusteuern, um ein mit dem ersten Filtermuster assoziiertes erstes Bild zu erfassen, sowie um ein mit dem zweiten Filtermuster assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Die Steuerung ist auch eingerichtet, um eine Fokusposition des Probenobjekts basierend auf dem ersten Bild und basierend auf dem zweiten Bild zu bestimmen.In one example, an optical device includes detection optics. The detection optics are configured to generate an image of a sample object on a detector. The optical device also includes the detector and an adjustable filter element. The adjustable filter element is arranged in a beam path of the detection optics. The beam path defines the image. The optical device further includes a controller. The controller is arranged to control the adjustable filter element to filter the spectrum of the beam path with a first filter pattern and with a second filter pattern. The controller is further configured to drive the detector to detect a first image associated with the first filter pattern and to capture a second image associated with the second filter pattern. The controller is also configured to determine a focus position of the sample object based on the first image and based on the second image.

In einem weiteren Beispiel umfasst ein Verfahren das Ansteuern eines in einem ein Abbild eines Probenobjekt definierenden Strahlengang angeordneten Filterelements zum Filtern des Spektrums des Strahlengangs mit einem ersten Filtermuster und mit einem zweiten Filtermuster. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern eines Detektors, um ein mit dem ersten Filtermuster assoziiertes erstes Bild zu erfassen und um ein mit dem zweiten Filtermuster assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Das Verfahren umfasst auch das Bestimmen einer Fokusposition des Probenobjektes basierend auf dem ersten Bild und auf dem zweiten Bild.In another example, a method comprises driving a filter element arranged in a beam path defining an image of a sample object for filtering the spectrum of the beam path with a first filter pattern and with a second filter pattern. The method also includes driving a detector to detect a first image associated with the first filter pattern and to detect a second image associated with the second filter pattern. The method also includes determining a focus position of the sample object based on the first image and on the second image.

In einem weiteren Beispiel umfasst ein Computerprogrammprodukt Programm-Code, der von mindestens einer Recheneinheit ausgeführt werden kann. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass die mindestens eine Recheneinheit ein Verfahren ausführt. Das Verfahren umfasst das Ansteuern eines in einem ein Abbild eines Probenobjekt definierenden Strahlengang angeordneten Filterelements zum Filtern des Spektrums des Strahlengangs mit einem ersten Filtermuster und mit einem zweiten Filtermuster. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern eines Detektors, um ein mit dem ersten Filtermuster assoziiertes erstes Bild zu erfassen und um ein mit dem zweiten Filtermuster assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Das Verfahren umfasst auch das Bestimmen einer Fokusposition des Probenobjekt basierend auf dem ersten Bild und auf dem zweiten Bild.In another example, a computer program product includes program code generated by at least one arithmetic unit can be executed. The execution of the program code causes the at least one arithmetic unit to execute a method. The method comprises the activation of a filter element arranged in a beam path defining an image of a sample object for filtering the spectrum of the beam path with a first filter pattern and with a second filter pattern. The method also includes driving a detector to detect a first image associated with the first filter pattern and to detect a second image associated with the second filter pattern. The method also includes determining a focus position of the sample object based on the first image and on the second image.

In einem weiteren Beispiel umfasst ein Computerprogramm Programm-Code, der von mindestens einer Recheneinheit ausgeführt werden kann. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass die mindestens eine Recheneinheit ein Verfahren ausführt. Das Verfahren umfasst das Ansteuern eines in einem ein Abbild eines Probenobjekt definierenden Strahlengang angeordneten Filterelements zum Filtern des Spektrums des Strahlengangs mit einem ersten Filtermuster und mit einem zweiten Filtermuster. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern eines Detektors, um ein mit dem ersten Filtermuster assoziiertes erstes Bild zu erfassen und um ein mit dem zweiten Filtermuster assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Das Verfahren umfasst auch das Bestimmen einer Fokusposition des Probenobjektes basierend auf dem ersten Bild und auf dem zweiten Bild.In another example, a computer program includes program code that may be executed by at least one computing unit. The execution of the program code causes the at least one arithmetic unit to execute a method. The method comprises the activation of a filter element arranged in a beam path defining an image of a sample object for filtering the spectrum of the beam path with a first filter pattern and with a second filter pattern. The method also includes driving a detector to detect a first image associated with the first filter pattern and to detect a second image associated with the second filter pattern. The method also includes determining a focus position of the sample object based on the first image and on the second image.

In einem Beispiel umfasst eine optische Vorrichtung eine Detektionsoptik. Die Detektionsoptik ist eingerichtet, um ein Abbild eines Probenobjektes auf einem Detektor zu erzeugen. Die optische Vorrichtung umfasst auch den Detektor und ein einstellbares Filterelement. Das einstellbare Filterelement ist in einem Strahlengang der Detektionsoptik angeordnet. Der Strahlengang definiert das Abbild. Die optische Vorrichtung umfasst ferner eine Steuerung. Die Steuerung ist eingerichtet, um das einstellbare Filterelement anzusteuern, um Strahlen des Strahlengangs zu filtern, die einen ersten Winkel in Bezug auf eine Sensorfläche des Detektors aufweisen und die einen zweiten Winkel in Bezug auf die Sensorfläche aufweisen. Die Steuerung ist weiterhin eingerichtet, um den Detektor anzusteuern, um ein mit den Strahlen, die den ersten Winkel aufweisen, assoziiertes erstes Bild zu erfassen; sowie um ein mit den Strahlen, die den zweiten Winkel aufweisen, assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Die Steuerung ist auch eingerichtet, um eine Fokusposition des Probenobjekts basierend auf dem ersten Bild und basierend auf dem zweiten Bild zu bestimmen.In one example, an optical device includes detection optics. The detection optics are configured to generate an image of a sample object on a detector. The optical device also includes the detector and an adjustable filter element. The adjustable filter element is arranged in a beam path of the detection optics. The beam path defines the image. The optical device further includes a controller. The controller is arranged to drive the adjustable filter element to filter beams of the beam path that have a first angle with respect to a sensor surface of the detector and that have a second angle with respect to the sensor surface. The controller is further arranged to drive the detector to detect a first image associated with the rays having the first angle; and to detect a second image associated with the rays having the second angle. The controller is also configured to determine a focus position of the sample object based on the first image and based on the second image.

In einem weiteren Beispiel umfasst ein Verfahren das Ansteuern eines Filterelements. Das Filterelement ist in einem Strahlengang angeordnet, der ein Abbild eines Probenobjekts definiert. Das Ansteuern erfolgt zum Filtern von Strahlen des Strahlengangs, die einen ersten Winkel in Bezug auf eine Sensorfläche eines Detektors aufweisen und die einen zweiten Winkel in Bezug auf die Sensorfläche aufweisen. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern des Detektors, um ein mit den Strahlen, die den ersten Winkel aufweisen, assoziiertes erstes Bild zu erfassen; sowie um ein mit den Strahlen, die den zweiten Winkel aufweisen, assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Das Verfahren umfasst auch das Bestimmen einer Fokusposition des Probenobjektes basierend auf dem ersten Bild und auf dem zweiten Bild.In another example, a method includes driving a filter element. The filter element is arranged in a beam path which defines an image of a sample object. The driving is for filtering rays of the beam path having a first angle with respect to a sensor surface of a detector and having a second angle with respect to the sensor surface. The method also includes driving the detector to detect a first image associated with the rays having the first angle; and to detect a second image associated with the rays having the second angle. The method also includes determining a focus position of the sample object based on the first image and on the second image.

In einem weiteren Beispiel umfasst ein Computerprogrammprodukt Programm-Code, der von mindestens einer Recheneinheit ausgeführt werden kann. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass die mindestens eine Recheneinheit ein Verfahren ausführt. Das Verfahren umfasst das Ansteuern eines Filterelements. Das Filterelement ist in einem Strahlengang angeordnet, der ein Abbild eines Probenobjekts definiert. Das Ansteuern erfolgt zum Filtern von Strahlen des Strahlengangs, die einen ersten Winkel in Bezug auf eine Sensorfläche eines Detektors aufweisen und die einen zweiten Winkel in Bezug auf die Sensorfläche aufweisen. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern des Detektors, um ein mit den Strahlen, die den ersten Winkel aufweisen, assoziiertes erstes Bild zu erfassen; sowie um ein mit den Strahlen, die den zweiten Winkel aufweisen, assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Das Verfahren umfasst auch das Bestimmen einer Fokusposition des Probenobjektes basierend auf dem ersten Bild und auf dem zweiten Bild.In another example, a computer program product includes program code that may be executed by at least one computing unit. The execution of the program code causes the at least one arithmetic unit to execute a method. The method comprises driving a filter element. The filter element is arranged in a beam path which defines an image of a sample object. The driving is for filtering rays of the beam path having a first angle with respect to a sensor surface of a detector and having a second angle with respect to the sensor surface. The method also includes driving the detector to detect a first image associated with the rays having the first angle; and to detect a second image associated with the rays having the second angle. The method also includes determining a focus position of the sample object based on the first image and on the second image.

In einem weiteren Beispiel umfasst ein Computerprogramm Programm-Code, der von mindestens einer Recheneinheit ausgeführt werden kann. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass die mindestens eine Recheneinheit ein Verfahren ausführt. Das Verfahren umfasst das Ansteuern eines Filterelements. Das Filterelement ist in einem Strahlengang angeordnet, der ein Abbild eines Probenobjekts definiert. Das Ansteuern erfolgt zum Filtern von Strahlen des Strahlengangs, die einen ersten Winkel in Bezug auf eine Sensorfläche eines Detektors aufweisen und die einen zweiten Winkel in Bezug auf die Sensorfläche aufweisen. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern des Detektors, um ein mit den Strahlen, die den ersten Winkel aufweisen, assoziiertes erstes Bild zu erfassen; sowie um ein mit den Strahlen, die den zweiten Winkel aufweisen, assoziiertes zweites Bild zu erfassen. Das Verfahren umfasst auch das Bestimmen einer Fokusposition des Probenobjekt basierend auf dem ersten Bild und auf dem zweiten Bild.In another example, a computer program includes program code that may be executed by at least one computing unit. The execution of the program code causes the at least one arithmetic unit to execute a method. The method comprises driving a filter element. The filter element is arranged in a beam path which defines an image of a sample object. The driving is for filtering rays of the beam path having a first angle with respect to a sensor surface of a detector and having a second angle with respect to the sensor surface. The method also includes driving the detector to detect a first image associated with the rays having the first angle; and to detect a second image associated with the rays having the second angle. The method also includes determining a focus position of the sample object based on the first image and on the second image.

Die oben dargelegten Merkmale und Merkmale, die nachfolgend beschrieben werden, können nicht nur in den entsprechenden explizit dargelegten Kombinationen verwendet werden, sondern auch in weiteren Kombinationen oder isoliert, ohne den Schutzumfang der vorliegenden Erfindung zu verlassen. The features and features set out above, which are described below, can be used not only in the corresponding combinations explicitly set out, but also in other combinations or isolated, without departing from the scope of the present invention.

Figurenlistelist of figures

1 schematically illustrates an optical device according to various examples.
2 schematically illustrates a detection optics with an adjustable filter element of an optical device according to various examples.
3 illustrates exemplary filter patterns that may be implemented by the filter element.
4 illustrates exemplary filter patterns that may be implemented by the filter element.
5 illustrates exemplary filter patterns that may be implemented by the filter element.
6 illustrates exemplary filter patterns that may be implemented by the filter element.
7 illustrates images associated with different filter patterns according to different examples.
8th illustrates images associated with different filter patterns according to different examples.
9 schematically illustrates aspects related to an optical device controller according to various examples.
10 FIG. 10 is a flowchart of an example method. FIG.
11 - 13 schematically illustrate rays of a ray path that are filtered by different filter patterns.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMENDETAILED DESCRIPTION OF EMBODIMENTS

Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden.The above-described characteristics, features, and advantages of this invention, as well as the manner in which they will be achieved, will become clearer and more clearly understood in connection with the following description of the embodiments, which will be described in detail in conjunction with the drawings.

Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder ähnliche Elemente. Die Figuren sind schematische Repräsentationen verschiedener Ausführungsformen der Erfindung. In den Figuren dargestellte Elemente sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu dargestellt. Vielmehr sind die verschiedenen in den Figuren dargestellten Elemente derart wiedergegeben, dass ihre Funktion und genereller Zweck dem Fachmann verständlich wird. In den Figuren dargestellte Verbindungen und Kopplungen zwischen funktionellen Einheiten und Elementen können auch als indirekte Verbindung oder Kopplung implementiert werden. Eine Verbindung oder Kopplung kann drahtgebunden oder drahtlos implementiert sein. Funktionale Einheiten können als Hardware, Software oder eine Kombination aus Hardware und Software implementiert werden.Hereinafter, the present invention will be described with reference to preferred embodiments with reference to the drawings. In the figures, like reference characters designate the same or similar elements. The figures are schematic representations of various embodiments of the invention. Elements shown in the figures are not necessarily drawn to scale. Rather, the various elements shown in the figures are reproduced in such a way that their function and general purpose will be understood by those skilled in the art. Connections and couplings between functional units and elements illustrated in the figures may also be implemented as an indirect connection or coupling. A connection or coupling may be implemented by wire or wireless. Functional units can be implemented as hardware, software or a combination of hardware and software.

Nachfolgend werden Techniken zum Bestimmen der Fokusposition eines Probenobjekts beschrieben. Die Fokusposition beschreibt typischerweise einen Abstand zwischen der Fokusebene und dem Probenobjekt parallel zur optischen Achse, d.h. in Z-Richtung. Auf Grundlage der bestimmten Fokusposition können unterschiedliche Anwendungen implementiert werden. Beispielsweise wäre es möglich, eine Autofokus-Anwendung zu implementieren. Dies bedeutet, dass auf Grundlage der bestimmten Fokusposition ein beispielsweise mechanisch betriebener Probenhalter, der das Probenobjekt lösbar fixiert, derart parallel zur optischen Achse einer Detektionsoptik verstellt werden kann, dass das Probenobjekt in einer Fokusebene der Detektionsoptik angeordnet ist. Der Abstand dieser Verstellung kann der Fokusposition entsprechen. Eine weitere Anwendung, die von den hierin beschriebenen Techniken zum Bestimmen der Fokusposition profitieren kann, ist das Erstellen eines Höhenprofils des Probenobjektes. Beispielsweise kann das Probenobjekt senkrecht zur optischen Achse (laterale Ebene, XY-Ebene) eine signifikante Ausdehnung aufweisen und innerhalb der lateralen Ebene auch eine Topologie, d.h. eine Variation der Fokusposition als Funktion der Position innerhalb der lateralen Ebene. Dies kann durch ortsaufgelöstes Bestimmen der Fokusposition für unterschiedliche Positionen innerhalb der lateralen Ebene erfasst werden, und ein entsprechendes Höhenprofil kann erstellt werden. Eine weitere Anwendung, die von den hierin beschriebenen Techniken zum Bestimmen der Fokusposition profitieren kann, ist die Verfolgung der Fokusposition bei bewegten Probenobjekten. Beispielsweise im Zusammenhang mit biologischen Zellkulturen kann eine Bewegung von einzelnen Zellen durch wiederholtes Bestimmen der Fokusposition verfolgt werden und eine kontinuierliche Autofokus-Anwendung kann implementiert werden.Hereinafter, techniques for determining the focus position of a sample object will be described. The focus position typically describes a distance between the focal plane and the sample object parallel to the optical axis, i. in the Z direction. Different applications can be implemented based on the determined focus position. For example, it would be possible to implement an autofocus application. This means that on the basis of the determined focus position, for example, a mechanically operated sample holder which removably fixes the sample object, can be adjusted parallel to the optical axis of a detection optics such that the sample object is arranged in a focal plane of the detection optics. The distance of this adjustment may correspond to the focus position. Another application that may benefit from the focus position determination techniques described herein is to create a height profile of the sample object. For example, the sample object can have a significant extent perpendicular to the optical axis (lateral plane, XY plane) and within the lateral plane also a topology, i. a variation of the focus position as a function of position within the lateral plane. This can be detected by spatially resolved determining the focus position for different positions within the lateral plane, and a corresponding elevation profile can be created. Another application that may benefit from the techniques for determining the focus position described herein is tracking the focus position on moving specimen objects. For example, in the context of biological cell cultures, movement of individual cells may be tracked by repeatedly determining the focus position, and a continuous autofocus application may be implemented.

Die hierin beschriebenen Techniken ermöglichen das Bestimmen der Fokusposition des Probenobjekts mit einem großen Fangbereich. Dies bedeutet, dass auch für vergleichsweise defokussiert angeordnete Probenobjekte eine zuverlässige Bestimmung der Fokusposition durchgeführt werden kann. Die hierin beschriebenen Techniken ermöglichen ferner das schnelle Bestimmen der Fokusposition des Probenobjekts; innerhalb einer besonders kurzen Zeitspanne kann die Fokusposition des Probenobjekts zuverlässig bestimmt werden, z.B. innerhalb von Millisekunden. Dies ermöglicht es beispielsweise, parallel mit der optischen Vorrichtung - beispielsweise einem Mikroskop - zu arbeiten. Langzeitmessungen an bewegten Proben werden ermöglicht. The techniques described herein enable determining the focus position of the sample object with a large capture area. This means that reliable determination of the focus position can also be carried out for sample objects arranged comparatively defocused. The techniques described herein further allow for quickly determining the focus position of the sample object; Within a particularly short period of time, the focus position of the sample object can be reliably determined, eg within milliseconds. This makes it possible, for example, to work in parallel with the optical device, for example a microscope. Long-term measurements on moving samples are possible.

Die hierein beschriebenen Beispiele beruhen auf der digitalen Auswertung verschiedener Bilder. Die verschiedenen Bilder entsprechen der Selektion unterschiedlicher Winkel, aus denen Licht vom Probenobjekt auf eine Sensorfläche eines Detektors einfällt.The examples described herein are based on the digital evaluation of various images. The different images correspond to the selection of different angles from which light from the sample object is incident on a sensor surface of a detector.

Verschiedene Beispiele der hierin beschriebenen Techniken beruhen auf einer Amplitudenfilterung des Abbildungsspektrums des Probenobjekts in oder nahe bei einer Pupillenebene der Detektionsoptik der optischen Vorrichtung. Dies entspricht der Filterung bestimmter Winkel, mit denen Strahlen auf eine Sensorfläche des Detektors auftreffen; d.h. es werden selektiv einzelne Strahlen gemäß ihres Winkels zur Sensorfläche durchgelassen. Es werden unterschiedliche Filtermuster verwendet; für jedes Filtermuster wird ein zugehöriges Bild durch einen Detektor erfasst. Dann kann ein Vergleich der verschiedenen Bilder durchgeführt werden, um die Fokusposition zu bestimmen.Various examples of the techniques described herein are based on amplitude filtering the imaging spectrum of the sample object at or near a pupil plane of the optical device detection optics. This corresponds to the filtering of certain angles with which rays impinge on a sensor surface of the detector; i.e. selectively, individual beams are transmitted according to their angle to the sensor surface. Different filter patterns are used; For each filter pattern, an associated image is detected by a detector. Then, a comparison of the different images can be performed to determine the focus position.

In den verschiedenen hierin beschriebenen Beispielen können unterschiedliche Filtermuster verwendet werden. Beispielsweise kann es möglich sein, dass jedes Filtermuster mindestens einen lichtdurchlässigen Bereich definiert, der umgeben von einem nicht-lichtdurchlässigen Bereich ist. Zum Beispiel könnte der lichtdurchlässige Bereich beabstandet von der optischen Achse eines durch die Detektionsoptik definierten Strahlengangs angeordnet sein, d.h. außeraxial angeordnet sein. In manchen Beispielen ist es möglich, dass der lichtdurchlässige Bereich linienförmig ausgebildet ist, d.h. dass das entsprechende Filtermuster eine Linie definiert. Dann werden nur Strahlen mit Winkeln in einem eng begrenzten Winkelbereich durchgelassen. Die verwendeten Filtermuster können beispielsweise durch Translation entlang eines Vektors ineinander überführt werden. Ein Filtermuster kann auch Amplitudenmaske implementiert werden. Die Filtermuster müssen jedoch nicht notwendigerweise als Amplitudenmasken implementiert sein. Es könnten auch Flüssigkristalldisplays mit mehreren Pixeln oder Mikrospiegelanordnungen (engl. micromirror device, DMD) oder Laserscanner zur Filterung verwendet werden.Different filter patterns may be used in the various examples described herein. For example, it may be possible for each filter pattern to define at least one translucent area surrounded by a non-translucent area. For example, the translucent region could be spaced apart from the optical axis of a beam path defined by the detection optics, i. be arranged off-axis. In some examples, it is possible that the translucent area is linear, i. that the corresponding filter pattern defines a line. Then only beams with angles in a narrow angular range are transmitted. The filter patterns used can, for example, be converted into one another by translation along a vector. A filter pattern can also be implemented amplitude mask. However, the filter patterns do not necessarily have to be implemented as amplitude masks. Also, multi-pixel liquid crystal displays or micromirror device (DMD) or laser scanners could be used for filtering.

Bei der Verwendung eines geeigneten Filtermusters - beispielsweise eines Filtermusters, das einen außeraxial angeordneten, linienförmigen lichtdurchlässigen Bereich aufweist - wird ein defokussiert angeordnetes Probenobjekt verschoben dargestellt. Wenn zwei Bilder, die mit unterschiedlichen Filtermustern assoziiert sind, erfasst werden, kann aus einem Abstand der Positionen der Abbildungen des Probenobjekts in den beiden Bildern die Fokusposition bestimmt werden.When using a suitable filter pattern - for example, a filter pattern having an off-axis, linear light-transmissive area - a defocused sample object is displayed shifted. When two images associated with different filter patterns are detected, the focus position can be determined from a distance of the positions of the images of the sample object in the two images.

1 illustriert eine beispielhafte optische Vorrichtung 100. Beispielsweise könnte die optische Vorrichtung 100 gemäß dem Beispiel der 1 ein Lichtmikroskop implementieren, beispielsweise in Durchlichtgeometrie. Es wäre auch möglich, dass die optische Vorrichtung 100 ein Laser-Scanning-Mikroskop oder ein Fluoreszenzmikroskop implementiert. Mittels der optischen Vorrichtung 100 kann es möglich sein, kleine Strukturen eines von einem Probenhalter 113 fixierten Probenobjekts vergrößert darzustellen. Eine Detektionsoptik 112 ist eingerichtet, um ein Abbild des Probenobjektes auf einem Detektor 114 zu erzeugen. Der Detektor 114 kann dann eingerichtet sein, um ein oder mehrere Bilder des Probenobjekt zu erfassen. Auch eine Betrachtung durch ein Okular ist möglich. 1 illustrates an exemplary optical device 100 , For example, the optical device could 100 according to the example of 1 implement a light microscope, for example in transmitted light geometry. It would also be possible for the optical device 100 a laser scanning microscope or a fluorescence microscope implemented. By means of the optical device 100 It may be possible to use small structures one of a sample holder 113 enlarged display of the fixed sample object. A detection optics 112 is set up to image the sample object on a detector 114 to create. The detector 114 may then be arranged to capture one or more images of the sample object. A viewing through an eyepiece is possible.

Ein Beleuchtungsmodul 111 ist eingerichtet, um das Probenobjekt, das auf dem Probenhaltern 113 fixiert ist, zu beleuchten. Beispielsweise könnte diese Beleuchtung mittels der Köhler'schen Beleuchtung implementiert werden. Dabei werden eine Kondensorlinse und eine Kondensor-Aperturblende verwendet. Dies führt zu einer besonders homogenen Intensitätsverteilung des zur Beleuchtung verwendeten Lichts in der Ebene des Probenobjekts. Beispielsweise kann eine partiell inkohärente Beleuchtung implementiert werden.A lighting module 111 is set up to hold the sample object on the sample holder 113 is fixed to light. For example, this lighting could be implemented by means of Köhler illumination. In this case, a condenser lens and a condenser aperture diaphragm are used. This leads to a particularly homogeneous intensity distribution of the light used for the illumination in the plane of the sample object. For example, a partially incoherent illumination can be implemented.

Eine Steuerung 115 ist vorgesehen, um die verschiedenen Komponenten 111-114 der optischen Vorrichtung 100 anzusteuern. Beispielsweise könnte die Steuerung 115 eingerichtet sein, um einen Motor des Probenhalters 113 anzusteuern, um eine Autofokus-Anwendung zu implementieren. Beispielsweise könnten die Steuerung 115 als Mikroprozessor oder Mikrocontroller implementiert sein. Alternativ oder zusätzlich könnte die Steuerung 115 beispielsweise einen FPGA oder ASIC umfassen.A controller 115 is provided to the different components 111 - 114 the optical device 100 head for. For example, the controller could 115 be set up to a motor of the sample holder 113 to implement an autofocus application. For example, the controller could 115 be implemented as a microprocessor or microcontroller. Alternatively or additionally, the controller could 115 For example, include an FPGA or ASIC.

2 illustriert Aspekte in Bezug auf die Detektionsoptik 112. 2 illustriert eine beispielhafte Implementierung der Detektionsoptik 112 mit einem einstellbaren Filterelement 119. Das Filterelement 119 ist im Bereich einer konjugierten Ebene des Strahlengangs 135 angeordnet, das heißt nahe oder bei einer Pupillenebene des Strahlengangs 135. Deshalb erfolgt eine Filterung des (Ortsfrequenz-)Spektrums des Strahlengangs 135. Im Ortsraum entspricht dies der Selektion unterschiedlicher Winkel 138, 139, unter denen das Licht entlang entsprechender Strahlen 131, 132 vom Probenobjekt 150 auf die Sensorfläche 211 einfällt. Das Filterelement 119 bildet auch eine Aperturblende aus. Der Strahlengang 135 wird durch Linsen 202, 203 implementiert. 2 illustrates aspects related to the detection optics 112 , 2 illustrates an example implementation of the detection optics 112 with an adjustable filter element 119 , The filter element 119 is in the range of a conjugate plane of the beam path 135 arranged, that is near or at a pupil plane of the beam path 135 , Therefore, there is a filtering of the (spatial frequency) spectrum of the beam path 135 , In the physical space this corresponds to the selection of different angles 138 . 139 under which the light passes along corresponding rays 131 . 132 from the sample object 150 on the sensor surface 211 incident. The filter element 119 also forms an aperture stop. The beam path 135 is through lenses 202 . 203 implemented.

In 2 sind die Strahlen 131, 132 des Strahlengangs 135 ausgehend von einem defokussiert angeordneten Probenobjekt 150 durch die Detektionsoptik 112 hin zu dem Detektor 114, das heißt insbesondere einer Sensorfläche 211 des Detektors 114, dargestellt. Die Strahlen 131 (gestrichelte Linien in 2) entsprechen dabei einem Filtermuster 301, das einen ersten lichtdurchlässigen Bereich 381 mit einer Ausdehnung in X-Richtung definiert; während die Strahlen 132 (gestrichelt-gepunktete Linien in 2) einem Filtermuster 302 entsprechen, das einen zweiten Lichtdurchlässigen Bereich 382 mit Ausdehnung in X-Richtung definiert. Das Probenobjekt 150 ist defokussiert angeordnet und weist eine Fokusposition 181 auf, die ungleich null ist. Deshalb fallen die Strahlen unter unterschiedlichen Winkeln 138, 139 auf die Sensorfläche 211 ein (winkelselektive Detektion). Außerdem sind die Abbilder 151, 152 des Probenobjekts 150 zueinander beanstandet.In 2 are the rays 131 . 132 of the beam path 135 starting from a defocused sample object 150 through the detection optics 112 towards the detector 114 , that is in particular a sensor surface 211 of the detector 114 represented. The Rays 131 (dashed lines in 2 ) correspond to a filter pattern 301 , which is a first translucent area 381 defined with an extent in the X direction; while the rays 132 (dashed dotted lines in 2 ) a filter pattern 302 correspond to a second translucent area 382 defined with extension in the X direction. The sample object 150 is arranged defocused and has a focus position 181 which is nonzero. Therefore, the rays fall at different angles 138 . 139 on the sensor surface 211 an (angle-selective detection). In addition, the images are 151 . 152 of the sample object 150 objected to each other.

Aufgrund einer Fokusposition 181, die ungleich null ist, - d.h. einer Beabstandung der Position des Probenobjekts 150 entlang der optischen Achse 130 von der Fokusebene 201 der Detektionsoptik 112 -, sind die durch die Strahlen 131, 132 bewirkten , des Probenobjekts 150 auf der Sensorfläche 211 um einen Abstand 182 zueinander beabstandet positioniert. Dabei hängt der Abstand 182 ab von der Fokusposition 181: $Δ z = \frac{Δ x}{2 \frac{Δ k}{\emptyset P} \cdot m \cdot N A} \sqrt{1 - {(\frac{\frac{Δ k}{\emptyset P} N A}{m})}^{2}}$

wobei Δz die Fokusposition 181 bezeichnet, Δx den Abstand 182 bezeichnet, ∅P den Durchmesser der Aperturblende bezeichnet, Δk die Länge der Entfernung der lichtdurchlässigen Bereiche der Filtermuster 301, 302, m die Vergrößerung der Detektionsoptik 112 bezeichnet und NA einen Korrekturwert aufgrund des schrägen Einfallswinkels 138, 139 bezeichnet. NA kann beispielsweise empirisch oder durch Strahlengangberechnung bestimmt werden.Due to a focus position 181 which is nonzero, that is, a spacing of the position of the sample object 150 along the optical axis 130 from the focal plane 201 the detection optics 112 - are those through the rays 131 . 132 caused . of the sample object 150 on the sensor surface 211 by a distance 182 Positioned spaced apart. The distance depends on it 182 from the focus position 181 :

Δ z = \frac{Δ x}{2 \frac{Δ k}{\emptyset P} \cdot m \cdot N A} \sqrt{1 - {(\frac{\frac{Δ k}{\emptyset P} N A}{m})}^{2}}

where Δz is the focus position 181 denotes, Δx the distance 182 ,P denotes the diameter of the aperture diaphragm, Δk the length of the distance of the transparent areas of the filter pattern 301 . 302 , m the magnification of the detection optics 112 and NA a correction value due to the oblique angle of incidence 138 . 139 designated. NA can be determined, for example, empirically or by optical path calculation.

Die dargestellte Gleichung ist eine Näherung. In manchen Beispielen kann es möglich sein, ferner eine Abhängigkeit des Einfallswinkel 138, 139 in Abhängigkeit der Fokusposition 181, d.h. von Δz zu berücksichtigen. Diese Abhängigkeit kann Systemspezifisch sein.The equation shown is an approximation. In some examples it may be possible, furthermore, a dependence of the angle of incidence 138 . 139 depending on the focus position 181 , ie from Δz to take into account. This dependency can be system specific.

Grundsätzlich kann es in verschiedenen Beispielen erstrebenswert sein, besonders dünne lichtdurchlässige Bereiche 381, 382 - d.h. eine geringe Ausdehnung in X-Richtung - zu definieren. Dies kann eine besonders große Genauigkeit beim Bestimmen des Abstands 182 und damit der Fokusposition 182 ermöglichen. Andererseits wird durch eine geringe Ausdehnung der lichtdurchlässigen Bereiche in X-Richtung die Intensität auf der Sensorfläche 211 herabgesetzt. Deshalb kann eine Abwägung getroffen werden zwischen Intensität einerseits und Genauigkeit andererseits. Aus 2 ist ersichtlich, dass die 0.-Ordnung der des vom Probenobjekt 150 gebeugten Lichts nicht detektiert wird; damit ist die Intensität vergleichsweise gering.In principle, it may be desirable in various examples, particularly thin translucent areas 381 . 382 - ie a small extent in the X direction - to define. This can be a particularly great accuracy in determining the distance 182 and thus the focus position 182 enable. On the other hand, by a small extent of the light-transmissive regions in the X direction, the intensity on the sensor surface 211 reduced. Therefore, a balance can be made between intensity on the one hand and accuracy on the other hand. Out 2 it can be seen that the 0 . Order of the of the sample object 150 diffracted light is not detected; so that the intensity is comparatively low.

2 ist eine eindimensionale Darstellung der Filtermuster 301, 302. In manchen Beispielen könnten aber auch Filtermuster verwendet werden, die eine zweidimensionale Ausdehnung aufweisen, d.h. eine Ausdehnung in der XY-Ebene. 2 is a one-dimensional representation of the filter patterns 301 . 302 , However, in some examples, filter patterns that have a two-dimensional extent, that is, an extent in the XY plane, could also be used.

3 illustriert Aspekte in Bezug auf beispielhafte Filtermuster 301, 302. In dem Beispiel der 3 definiert das Filtermuster 301 eine Linie und das Filtermuster 302 definiert eine weitere Linie. Das Filtermuster 301 kann durch Translation entlang des Vektors 350 in das Filtermuster 302 überführt werden. Die Linien der Filtermuster 301, 302 sind entlang ihrer gesamten Längen parallel zueinander. Im Allgemeinen wäre es auch möglich, dass Linien verwendet werden, die nur entlang eines Teils ihrer Längen parallel zueinander verlaufen, beispielsweise entlang zumindest 50 % ihrer Längen oder entlang zumindest 80 % ihrer Längen. Derart kann eine flexiblere Wahl von Filtermustern 301, 302 gewährleistet werden. 3 illustrates aspects relating to exemplary filter patterns 301 . 302 , In the example of 3 defines the filter pattern 301 a line and the filter pattern 302 defines another line. The filter pattern 301 can be translated along the vector 350 into the filter pattern 302 be transferred. The lines of the filter patterns 301 . 302 are parallel to each other along their entire length. In general, it would also be possible to use lines that run along only part of their lengths parallel to each other, for example along at least 50% of their lengths or along at least 80% of their lengths. This allows a more flexible choice of filter patterns 301 . 302 be guaranteed.

Aus 3 ist ersichtlich, dass die Linien der Filtermuster 301, 302 außeraxial in Bezug auf die optische Achse 130 angeordnet sind. Dadurch kann die Länge des Vektors 350 maximiert werden; wodurch der Abstand 182 der , maximiert werden kann. Dadurch kann wiederum die Fokusposition 181 besonders zuverlässig bestimmt werden.Out 3 it can be seen that the lines of the filter pattern 301 . 302 off-axis with respect to the optical axis 130 are arranged. This can change the length of the vector 350 to be maximized; whereby the distance 182 of the . can be maximized. This in turn allows the focus position 181 be determined particularly reliable.

Durch die Verwendung der Filtermuster 301, 302, die durch Translation entlang des Vektors 350 ineinander überführt werden können, kann eine eindimensionale Beabstandung der , erzielt werden. Der Abstand 182 ist dann parallel zum Vektor 350 angeordnet. Dies kann eine besonders einfache Bestimmung der Fokusposition 181 ermöglichen, insbesondere im Vergleich zu Techniken, die auf unterschiedliche Filtermuster zurückgreifen, die nicht durch einfache Translation ineinander überführt werden können. Dennoch wäre es in manchen Beispielen möglich, solche komplexen Filtermuster - die beispielsweise durch Rotation oder Verformung ineinander überführt werden können - zu verwenden.By using the filter pattern 301 . 302 by translation along the vector 350 can be converted into each other, a one-dimensional spacing of the . be achieved. The distance 182 is then parallel to the vector 350 arranged. This can be a particularly simple determination of the focus position 181 allow, in particular compared to techniques that rely on different filter patterns that can not be converted into each other by simple translation. Nevertheless, it would be possible in some instances to construct such complex filter patterns - the For example, by rotation or deformation can be converted into each other - to use.

4 illustriert Aspekte in Bezug auf beispielhafte Filtermuster 303, 304. Auch in dem Beispiel der 4 definieren die Filtermuster Linien. In einem Zentralbereich dieser Linien können die Filtermuster 303, 304 wiederum durch Translation entlang des Vektors 350 ineinander überführt werden. 4 illustrates aspects relating to exemplary filter patterns 303 . 304 , Also in the example of 4 define the filter pattern lines. In a central area of these lines, the filter patterns 303 . 304 again by translation along the vector 350 be converted into each other.

5 illustriert Aspekte in Bezug auf beispielhafte Filtermuster 305, 306. Auch in dem Beispiel der 5 definieren die Filtermuster 305, 306 Linien. Diese Linien werden durch mehrere beabstandet zueinander angeordnete Löcher ausgebildet (engl. pinholes). Das Filtermuster 305 kann durch Translation entlang des Vektors 350 in das Filtermuster 306 überführt werden. 5 illustrates aspects relating to exemplary filter patterns 305 . 306 , Also in the example of 5 define the filter patterns 305 . 306 Lines. These lines are formed by a plurality of spaced apart holes (pinholes). The filter pattern 305 can be translated along the vector 350 into the filter pattern 306 be transferred.

6 illustriert Aspekte in Bezug auf beispielhafte Filtermuster 307, 308. Auch in dem Beispiel der 6 definieren die Filtermuster 307, 308 Linien, wobei diese Linien der Filtermuster 307, 308 - im Gegensatz zu den geraden Linien der Filtermuster 301-306 - gekrümmt sind. Das Filtermuster 307 kann durch Translation entlang des Vektors 350 in das Filtermuster 308 überführt werden. 6 illustrates aspects relating to exemplary filter patterns 307 . 308 , Also in the example of 6 define the filter patterns 307 . 308 Lines, these lines being the filter pattern 307 . 308 - in contrast to the straight lines of the filter pattern 301 - 306 - are curved. The filter pattern 307 can be translated along the vector 350 into the filter pattern 308 be transferred.

Die verschiedenen Filtermuster 301-308, wie sie voranstehend in Bezug auf die 3-6 diskutiert wurden, können durch unterschiedlichste Hardware-Implementierungen des Filterelements 119 umgesetzt werden. Beispielsweise wäre es möglich, dass das Filterelement 119 durch ein Filterrad implementiert ist, welches einen einzelnen lichtdurchlässigen Bereich - zum Beispiel in Linienform - aufweist; dann kann ein erstes Filtermuster bei einer Stellung des Filterrads bei 0° definiert sein und ein zweites Filtermuster kann bei einer Stellung des Filterrads bei 180° definiert sein. Andere Beispiele für Hardware-Implementierungen des Filterelements 119 betreffen beispielsweise ein Mikrospiegelgerät (engl. digital micromirror device, DMD), ein Flüssigkristallfilter (engl. liquid crystal filter) oder bewegbar bzw. austauschbare Filterplatten. Dadurch können insbesondere Filterelemente geschaffen werden, die eingerichtet sind um eine Amplitudenfilterung des Lichts vorzunehmen. [The different filter patterns 301 - 308 as stated above in relation to the 3-6 can be discussed by a variety of hardware implementations of the filter element 119 be implemented. For example, it would be possible for the filter element 119 is implemented by a filter wheel having a single translucent area, for example in line form; then a first filter pattern may be defined at a position of the filter wheel at 0 °, and a second filter pattern may be defined at a position of the filter wheel at 180 °. Other examples of hardware implementations of the filter element 119 For example, a micromirror device (DMD), a liquid crystal filter, or movable or replaceable filter plates. As a result, in particular filter elements can be created, which are set up to perform an amplitude filtering of the light. [

7 illustriert Aspekte in Bezug auf Bilder 401, 402 die mittels des Detektors 114 erfasst wurden. Dabei entspricht das Bild 401 einer Beleuchtung der Sensorfläche 211 des Detektors 114 bei Verwendung des Filtermusters 301; das Bild 402 entspricht einer Beleuchtung der Sensorfläche 211 des Detektors 114 bei Verwendung des Filtermusters 302 (vergleiche 2 und 3). Im Bild 402 ist auch der Abstand 182 dargestellt. Durch die Verwendung der Filtermuster 301, 302 weisen die Bilder 401, 402 eine vergleichsweise geringe Auflösung auf. 7 illustrates aspects relating to images 401 . 402 the means of the detector 114 were recorded. The picture is the same 401 a lighting of the sensor surface 211 of the detector 114 when using the filter pattern 301 ; the picture 402 corresponds to a lighting of the sensor surface 211 of the detector 114 when using the filter pattern 302 (see 2 and 3 ). In the picture 402 is also the distance 182 shown. By using the filter pattern 301 . 302 show the pictures 401 . 402 a comparatively low resolution.

Die Bilder 401, 402 können vorbearbeitet sein. Beispielsweise könnte für jeden Bildpunkt der mittlere Kontrastwert über alle Bildpunkte vom entsprechenden Kontrastwert abgezogen werden, d.h. eine Normierung erfolgen. I_m' = |I_m - 〈I〉|, wobei m die verschiedenen Bildpunkte indiziert, I den jeweiligen Kontrastwert. The pictures 401 . 402 can be preprocessed. For example, for each pixel, the average contrast value over all pixels could be subtracted from the corresponding contrast value, ie a normalization. I _m '= | I _m - <I> |, where m indicates the different pixels, I the respective contrast value.

In den verschiedenen hierin beschriebenen Beispielen ist es möglich, dass die Fokusposition 181 des Probenobjektes 150 basierend auf dem Bild 401 sowie basierend auf dem Bild 402 bestimmt wird. Insbesondere wäre es möglich, dass die Fokusposition 181 basierend auf dem Abstand 182 der Position des Abbilds 151 des Probenobjekts 150 in dem Bild 401 von der Position des Abbilds 152 des Probenobjekts 150 in dem Bild 402 bestimmt wird. Siehe etwa die oben wiedergegebene Gleichung.In the various examples described herein, it is possible for the focus position 181 of the sample object 150 based on the picture 401 as well as based on the picture 402 is determined. In particular, it would be possible for the focus position 181 based on the distance 182 the position of the image 151 of the sample object 150 in the picture 401 from the position of the image 152 of the sample object 150 in the picture 402 is determined. See, for example, the equation given above.

Je nach Komplexität der Struktur des Probenobjektes 150 kann es erforderlich sein, den Abstand 182 durch Verwendung geeigneter Techniken zu bestimmen. Beispielsweise könnte in einem vergleichsweise einfachen Szenario eine Objekterkennung zur Bestimmung der Position der , des Probenobjekts in dem entsprechenden Bild 401, 402 durchgeführt werden. Im Rahmen der Objekterkennung könnten zum Beispiel lokale Kontrastwerte des entsprechenden Bilds 401, 402 mit einem gemittelten Kontrastwert verglichen werden. Eine Kantenerkennung könnte durchgeführt werden. Es könnte auch eine Landmarkenerkennung durchgeführt werden. Beispielsweise könnte das Probenobjekt besonders markante, a-priori bekannte Strukturen aufweisen; solche Strukturen könnten dann im Rahmen der Landmarkenerkennung identifiziert werden. Es wäre auch eine eindimensionale oder zweidimensionale Korrelation der Bilder 401, 402 möglich. Beispielsweise könnte die Orientierung des Vektors 350 berücksichtigt werden: durch die Orientierung des Vektors 350 ist bekannt, dass die Positionen der , auch entlang der X-Richtung beabstandet sind. Deshalb könnte eine Mittelung der Kontrastwerte der verschiedenen Bildpunkte der Bilder 401, 402 entlang der Y-Richtung erfolgen, so das eindimensionale Bilder 411, 412 (vergleiche 8) erhalten werden. Es könnte dann eine eindimensionale Korrelation zwischen diesen Bildern 411, 412 in X-Richtung durchgeführt werden, um den Abstand 182 zu bestimmen. Typischerweise kann durch solche Techniken das Signalrauschen reduziert werden und der Abstand 182 - und damit die Fokusposition 181 - kann besonders genau bestimmt werden. Im Allgemeinen kann durch die Reduktion der Freiheitsgrade bei der Erkennung des Abstands 182 - z.B. durch Berücksichtigung der Orientierung des Vektors 350 - eine höhere Genauigkeit erzielt werden. Depending on the complexity of the structure of the sample object 150 It may be necessary to change the distance 182 by using appropriate techniques. For example, in a comparatively simple scenario, an object recognition could be used to determine the position of the object . of the sample object in the corresponding image 401 . 402 be performed. In the context of object recognition, for example, local contrast values of the corresponding image could 401 . 402 be compared with an averaged contrast value. An edge detection could be performed. It could also be a landmark detection performed. For example, the sample object could have particularly prominent, a priori known structures; such structures could then be identified as part of landmark recognition. It would also be a one-dimensional or two-dimensional correlation of the images 401 . 402 possible. For example, the orientation of the vector 350 be considered: by the orientation of the vector 350 is known that the positions of . are also spaced along the X direction. Therefore, an averaging of the contrast values of the different pixels of the images 401 . 402 along the Y-direction, so the one-dimensional images 411 . 412 (see 8th ). There could then be a one-dimensional correlation between these images 411 . 412 be performed in the X direction to the distance 182 to determine. Typically, such techniques can reduce signal noise and distance 182 - and thus the focus position 181 - can be determined very precisely. In general, by reducing the degrees of freedom in the detection of the distance 182 - eg by taking into account the orientation of the vector 350 - Greater accuracy can be achieved.

9 illustriert Aspekte in Bezug auf die Steuerung 115. Die Steuerung 115 umfasst eine Recheneinheit 501, beispielsweise einen Mikroprozessor, einen FPGA oder einen ASIC. Außerdem umfasst die Steuerung 115 auch einen Speicher 502, beispielsweise einen nicht flüchtigen Speicher. Es ist möglich, dass Programm-Code in dem Speicher 502 abgespeichert ist. Der Programm-Code kann von der Recheneinheit 501 geladen und ausgeführt werden. Dann kann die Recheneinheit 501 eingerichtet sein, basierend auf dem Programm-Code Techniken zur Bestimmung der Fokusposition durchzuführen, wie sie im Zusammenhang mit den hierin beschriebenen Beispielen erläutert wurden. Beispielsweise könnte die Recheneinheit 501 eingerichtet sein, um das Verfahren gemäß dem Flussdiagramm aus 10 auszuführen. 9 illustrates aspects related to the controller 115 , The control 115 includes one computer unit 501 For example, a microprocessor, an FPGA or an ASIC. In addition, the controller includes 115 also a memory 502 For example, a non-volatile memory. It is possible that program code in the memory 502 is stored. The program code can be from the arithmetic unit 501 loaded and executed. Then the arithmetic unit 501 be configured based on the program code techniques for determining the focus position, as explained in connection with the examples described herein. For example, the arithmetic unit 501 be set up to the method according to the flowchart 10 perform.

10 ist ein Flussdiagramm eines beispielhaften Verfahrens. Zunächst erfolgt in Block 1001 das Ansteuern eines Filterelements zum Filtern von Licht, das von einem Probenobjekt ausgeht, mit einem ersten Filtermuster. In Block 1002 wird ein erstes Bild erfasst. Das erste Bild wird in Block 1002 während dem Filtern mit dem ersten Filtermuster erfasst. Das erste Filtermuster kann im Bereich einer konjugiert Ebene einer Detektionsoptik, die einen Strahlengang des Lichts definiert, angeordnet sein, so dass das erste Bild im Ortsraum trotz der Filterung ein komplettes Abbild des Probenobjekt an einer bestimmten Position beinhaltet. Diese bestimmte Position ist abhängig von der Fokusposition des Probenobjekts, das heißt von dem Abstand zwischen dem Probenobjekt und einer durch die Detektionsoptik definierten Fokusebene. Das Filtern mit dem ersten Filtermuster entspricht dem selektiven Durchlassen von Strahlen des Strahlengangs, die in Bezug auf die Sensorfläche eines Detektors einen entsprechenden Winkel aufweisen. 10 FIG. 10 is a flowchart of an example method. FIG. First, in block 1001 driving a filter element to filter light emanating from a sample object with a first filter pattern. In block 1002 a first image is captured. The first picture is in block 1002 during filtering with the first filter pattern detected. The first filter pattern can be arranged in the region of a conjugate plane of a detection optical system that defines a beam path of the light, so that the first image in the spatial space, despite the filtering, contains a complete image of the sample object at a specific position. This particular position is dependent on the focus position of the sample object, that is, on the distance between the sample object and a focal plane defined by the detection optics. The filtering with the first filter pattern corresponds to the selective transmission of rays of the beam path, which have a corresponding angle with respect to the sensor surface of a detector.

Anschließend erfolgt in Block 1003 das Ansteuern des Filterelements zum Filtern des Lichts mit einem zweiten Filtermuster. In Block 1004 wird ein zweites Bild erfasst. Das zweite Bild wird in Block 1004 während dem Filtern mit dem zweiten Filtermuster erfasst. Das zweite Filtermuster kann wiederum im Bereich der konjugiert Ebene der Detektionsoptik angeordnet sein, so dass auch das zweite Bild ein komplettes Abbild des Probenobjekts an einer entsprechenden Position beinhaltet. Auch diese Position ist abhängig von der Fokusposition des Probenobjekts. Das Filtern mit dem zweiten Filtermuster entspricht dem selektiven Durchlassen von Strahlen des Strahlengangs, die in Bezug auf die Sensorfläche eines Detektors wiederum einen entsprechenden Winkel aufweisen.Subsequently, in block 1003 driving the filter element to filter the light with a second filter pattern. In block 1004 a second image is captured. The second picture is in block 1004 during filtering with the second filter pattern. The second filter pattern can in turn be arranged in the region of the conjugate plane of the detection optics, so that the second image also contains a complete image of the sample object at a corresponding position. This position also depends on the focus position of the sample object. The filtering with the second filter pattern corresponds to the selective transmission of rays of the beam path, which in turn have a corresponding angle with respect to the sensor surface of a detector.

Basierend auf dem ersten Bild aus Block 1002, sowie basierend auf dem zweiten Bild aus Block 1004 kann dann in Block 1005 die Fokusposition bestimmt werden. Insbesondere wäre es möglich, in Block 1005 einen Abstand der Positionen der Abbilder des Probenobjekts in dem ersten Bild und in dem zweiten Bild zu berücksichtigen, beispielsweise gemäß der oben genannten Gleichung.Based on the first image from block 1002 , as well as based on the second image from block 1004 can then in block 1005 the focus position can be determined. In particular, it would be possible in block 1005 take into account a distance of the positions of the images of the sample object in the first image and in the second image, for example according to the above-mentioned equation.

In manchen Beispielen wäre es möglich, dass die Blöcke 1001, 1002, 1003 sowie 1004 zumindest teilweise zeitparallel durchgeführt werden. Beispielsweise wäre es möglich, dass das Filtern mit dem ersten Filtermuster einen lichtdurchlässigem Bereich definiert, der Durchlass von Licht in einem ersten Wellenlängenbereich ermöglicht; entsprechend kann das Filtern mit dem zweiten Filtermuster einen weiteren lichtdurchlässigen Bereich definieren, der Durchlass von Licht in einem zweiten Wellenlängenbereich ermöglicht. Der erste Wellenlängenbereich und der zweiten Wellenlängenbereich können verschieden voneinander sein. Derart kann eine Trennung des mit dem ersten Filtermuster assoziierten Lichts und des mit dem zweiten Filtermuster assoziierten Lichts durch die Wellenlängen erfolgen. Wenn ein Wellenlängen-aufgelöster Detektor (z.B. ein rot, grün, blau-Sensor) verwendet wird, kann es dadurch möglich sein, das erste Bild und das zweite Bild zeitparallel zu erfassen bzw. keine Rekonfiguration des Filterelements zwischen dem Filtern mit dem ersten Filtermuster und dem zweiten Filtermuster durchzuführen. Dadurch kann die Zeitdauer, die zum Bestimmen der Fokusposition benötigt wird, reduziert werden. Dies fördert schnelle Autofokus-Anwendungen. Außerdem kann die Zeitdauer zwischen dem Erfassen des ersten Bilds und des zweiten Bilds reduziert werden, wodurch Bewegungsartefakte oder zeitliche Drifts reduziert werden können.In some examples, it would be possible for the blocks 1001 . 1002 . 1003 such as 1004 at least partially parallel to time. For example, it would be possible for filtering with the first filter pattern to define a transmissive area that allows passage of light in a first wavelength range; Accordingly, filtering with the second filter pattern may define another translucent area that allows passage of light in a second wavelength range. The first wavelength range and the second wavelength range may be different from each other. Thus, the light associated with the first filter pattern and the light associated with the second filter pattern may be separated by the wavelengths. If a wavelength-resolved detector (eg, a red, green, blue sensor) is used, it may thereby be possible to detect the first image and the second image in parallel, or no reconfiguration of the filter element between the filtering with the first filter pattern and to perform the second filter pattern. Thereby, the time required for determining the focus position can be reduced. This promotes fast autofocus applications. In addition, the time period between the detection of the first image and the second image can be reduced, whereby motion artifacts or temporal drifts can be reduced.

Während voranstehend eine Kodierung des durch das erste Filtermuster bzw. das zweite Filtermuster gefilterten Lichts durch unterschiedliche Wellenlängen bzw. Farben beschrieben wurde, wäre es in anderen Beispielen auch möglich, dass eine solche Kodierung alternativ oder zusätzlich durch unterschiedliche Polarisationen erfolgt.While coding of the light filtered by the first filter pattern and the second filter pattern has been described above by different wavelengths or colors, in other examples it would also be possible for such encoding to occur alternatively or additionally by different polarizations.

In den verschiedenen hierin beschriebenen Beispielen wurde dargestellt, wie basierend auf dem Abstand 182 die die Fokusposition 181 des Probenobjekt bestimmt werden kann. Dabei kann das Probenobjekt sowohl entlang der optischen Achse 130 verschoben sein, d.h. entlang der Z-Richtung gegenüber der Fokusebene 201 beabstandet angeordnet sein. Es ist auch möglich, dass das Probenobjekt 150 einen Abstand in X-Richtung oder Y-Richtung zur optischen Achse 130 aufweist. Dies ist in 11 - 13 dargestellt. In 11 ist das Probenobjekt 150 in der Fokusebene 201 angeordnet, d.h. Δz = 0, Δx = 0. In 12 - die grds. 2 entspricht - ist Δz < 0 sowie Δx = 0. In 13 ist Δz < 0 sowie Δx < 0.In the various examples described herein, it was shown how based on the distance 182 the focus position 181 of the sample object can be determined. In this case, the sample object both along the optical axis 130 be shifted, ie along the Z-direction relative to the focal plane 201 be spaced apart. It is also possible that the sample object 150 a distance in the X direction or Y direction to the optical axis 130 having. This is in 11 - 13 shown. In 11 is the sample object 150 in the focal plane 201 arranged, ie Δz = 0, Δx = 0. In 12 - the grds. 2 corresponds to - Δz <0 and Δx = 0. In 13 Δz <0 and Δx <0.

Zusammenfassend wurden voranstehend Techniken beschrieben, welche die Bestimmung der Fokusposition eines Probenobjekts ermöglichen. Dadurch können schnelle Autofokus-Anwendungen - bis hin zu single-shot Autofokus-Anwendungen - ermöglicht werden. Dadurch werden Bewegungsartefakte vermieden und eine schnelle Fokusfindung in Echtzeit kann ermöglicht werden. Beispielsweise könnte auch eine Benutzerschnittstelle angesteuert werden, um ein eine Benutzeranweisung, die auf der bestimmten Fokusposition basiert, auszugeben. Zum Beispiel könnte die Verstellrichtung eines Probenhalters indiziert werden, die zur Erreichung einer Fokussierung vom Benutzer betätigt werden soll. Dies kann bei manuell verstellbaren Probenhaltern hilfreich sein. Insbesondere im Vergleich zu Techniken, die ein Beleuchtungsmodul, das zur strukturierten Beleuchtung aus unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen eingerichtet ist, kann eine reduzierte Komplexität der Hardware erreicht werden. Dadurch können die hierin beschriebenen Techniken in verschiedensten Anwendungsfällen eingesetzt werden. Außerdem ist es möglich, auch für nicht-telezentrische Systeme die Fokusposition zu bestimmen, wobei keine Aufnahme eines z-Stacks erforderlich ist. Der Fangbereich zur Bestimmung der Fokusposition ist einstellbar, insbesondere können vergleichsweise kleine lichtdurchlässige Bereiche verwendet werden.In summary, techniques have been described above which allow the determination of the focus position of a sample object. This enables fast autofocus applications, including single-shot autofocus applications. This avoids motion artifacts and enables fast focus in real time. For example, a user interface could also be driven to output a user instruction based on the particular focus position. For example, the adjustment direction of a specimen holder to be actuated to achieve focus by the user could be indexed. This can be helpful with manually adjustable sample holders. In particular, compared to techniques that a lighting module that is configured for structured lighting from different lighting directions, a reduced complexity of the hardware can be achieved. As a result, the techniques described herein can be used in a wide variety of applications. In addition, it is possible to determine the focus position for non-telecentric systems as well, whereby no recording of a z-stack is required. The capture range for determining the focus position is adjustable, in particular comparatively small transparent areas can be used.

Die oben stehend beschriebenen Techniken beruhen auf eine Filterung des Spektrums eines Strahlengangs nahe bei einer konjugierten Ebene des Strahlengangs. Es werden komplementäre Filtermuster zur Filterung verwendet, um einen Abstand zwischen den Positionen der Abbildungen des Probenobjektes in entsprechenden Bildern zu erzeugen. Dies entspricht der Auswahl unterschiedlicher Winkel der Beleuchtung einer Sensorfläche des Detektors beim Erfassen der unterschiedlichen Bilder, das heißt es wird eine winkelselektive Detektion verwendet. Basierend auf dem Abstand kann dann die Fokusposition bestimmt werden.The techniques described above are based on filtering the spectrum of a beam path close to a conjugate plane of the beam path. Complementary filter patterns are used for filtering to create a spacing between the positions of the images of the sample object in corresponding images. This corresponds to the selection of different angles of illumination of a sensor surface of the detector when detecting the different images, that is, an angle-selective detection is used. Based on the distance then the focus position can be determined.

Selbstverständlich können die Merkmale der vorab beschriebenen Ausführungsformen und Aspekte der Erfindung miteinander kombiniert werden. Insbesondere können die Merkmale nicht nur in den beschriebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder für sich genommen verwendet werden, ohne das Gebiet der Erfindung zu verlassen.Of course, the features of the previously described embodiments and aspects of the invention may be combined. In particular, the features may be used not only in the described combinations but also in other combinations or per se, without departing from the scope of the invention.

Beispielsweise wurden voranstehend Beispiele illustriert, bei denen ein flaches Probenobjekt verwendet wird. Es wäre aber möglich, ein in der XY-Ebene ausgedehntes Probenobjekt mit einer Topografie zu verwenden.For example, examples using a flat sample object have been illustrated above. However, it would be possible to use a sample object with a topography extended in the XY plane.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 102014109687 A1 [0005]

Claims

An optical device (100) comprising: a detection optics (112) arranged to generate an image (151, 152) of a sample object (150) on a detector (114), the detector (114), - An adjustable filter element (119) which is arranged in a the image (151, 152) defining beam path (135) of the detection optics (112), and a controller (115) arranged to drive the adjustable filter element (119) to filter the spectrum of the beam path (135) with a first filter pattern (301-308) and with a second filter pattern (301-308), and to drive the detector (114) to detect a first image (401, 402) associated with the first filter pattern (301-308) and to obtain a second image (401, 402) associated with the second filter pattern (301-308). wherein the controller (115) is further configured to determine a focus position (181) of the sample object (150) based on the first image (401, 402) and the second image (401, 402).

Optical device (100) according to Claim 1 wherein the controller (115) is arranged to maintain a distance (182) of a position of the image (151, 152) of the sample object (150) in the first image (401, 402) from a position of the image (151, 152) of the image Specimen object (150) in the second image (401, 402), wherein the controller (115) is further configured to determine the focus position (181) based on the distance (182).

Optical device (100) according to Claim 2 wherein the controller (115) is arranged to determine the distance (182) based on one or more of the following techniques: one-dimensional or two-dimensional correlation of the first image with the second image (401, 402); Object recognition of the sample object (150) in the first image (401, 402) and in the second image (401, 402); and landmark recognition in the first image (401, 402) and in the second image (401, 402).

An optical device (100) according to any one of the preceding claims, wherein the first filter pattern (301-308) can be translated into a second filter pattern (301-308) along a vector (350).

Optical device (100) according to Claim 2 or 3 , as well as after Claim 4 wherein the controller (115) is arranged to determine the distance (182) in consideration of an orientation of the vector (350).

Optical device (100) according to one of the preceding claims, wherein the first filter pattern (301-308) defines a first line, wherein the second filter pattern (301-308) defines a second line.

Optical device (100) according to Claim 6 wherein the first line is at least 50% of its length parallel to the second line, optionally along at least 80%, more optionally along 100%.

An optical device (100) according to any one of the preceding claims, wherein the filter element (119) is selected from one of the following groups: filter wheel; Micromirror device; Liquid crystal filter; movable filter plates; and amplitude filter element.

Optical device (100) according to one of the preceding claims, wherein the first filter pattern (301-308) allows transmission of light in a first wavelength range and / or with a first polarization, wherein the second filter pattern (301-308) allows transmission of light in a second wavelength range and / or with a second polarization, wherein the first wavelength range or the first polarization is different from the second wavelength range or the second polarization, wherein the first image (401, 402) represents the first wavelength range, and wherein the second image (401, 402) represents the second wavelength range.

The optical device (100) of any one of the preceding claims, wherein the controller (115) is further configured to drive a user interface of the optical device to output a user instruction based on the focus position (181).

Method, comprising: - Controlling a filter element (119) arranged in a beam path (135) defining an image (151, 152) of a sample object (150) for filtering the spectrum of the beam path (135) with a first filter pattern (301-308) and with a second filter pattern (301-308) - driving a detector (114) to detect a first image (401, 402) associated with the first filter pattern (301-308) and to receive a second image (401, 402) associated with the second filter pattern (301-308) capture, and - determining a focus position (181) of the sample object (150) based on the first image (401, 402) and the second image (401, 402).

Method according to Claim 11 wherein the method of the optical device according to any one of Claims 1 - 10 is carried out.

An optical device (100), comprising: - detection optics (112) arranged to generate an image (151, 152) of a sample object (150) on a detector (114), - the detector (114), an adjustable filter element (119) disposed in a beam path (135) of the detection optics (112) defining the image (151, 152); and a controller (115) arranged to drive the adjustable filter element (119) for filtering rays (131, 132) of the beam path (145) having a first angle (381) with respect to a sensor surface (211) of the detector (114) and a second angle (138, 139) with respect to the sensor surface (211), wherein the controller is further adapted to drive the detector (114) to provide a first image (401, 401) associated with the beams (131, 132) having the first angle (138, 139); 402) and at one with the beams (131, 132) having the second angle (138, 139), a detecting a second position (401, 402), wherein the controller (115) is further configured to set a focus position (181) of the sample object (150) based on the first image (401, 402) and the second image (401, 402 ).

Method, comprising: Controlling a filter element (119) arranged in an optical path (135) defining an image (151, 152) of a specimen object (150) for filtering rays (131, 132) of the optical path (135) having a first angle (381) in Reference to a sensor surface (211) of a detector (114) and having a second angle (138, 139) with respect to the sensor surface (211), Driving the detector (114) to detect a first image (401, 402) associated with the beams (131, 132) having the first angle (138, 139) and to register with the beams (131, 132 ) having the second angle (138, 139) to detect associated second image (401, 402), and - determining a focus position (181) of the sample object (150) based on the first image (401, 402) and the second image (401, 402).