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DE102007054832A1 - Flachbilddetektor mit Temperatursensor - Google Patents

Flachbilddetektor mit Temperatursensor Download PDF

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DE102007054832A1
DE102007054832A1 DE102007054832A DE102007054832A DE102007054832A1 DE 102007054832 A1 DE102007054832 A1 DE 102007054832A1 DE 102007054832 A DE102007054832 A DE 102007054832A DE 102007054832 A DE102007054832 A DE 102007054832A DE 102007054832 A1 DE102007054832 A1 DE 102007054832A1
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Germany
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temperature sensor
flat panel
panel detector
temperature
radiation
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DE102007054832A
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English (en)
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Mathias HÖRNIG
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Siemens AG
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16Measuring radiation intensity
    • G01T1/20Measuring radiation intensity with scintillation detectors
    • G01T1/2018Scintillation-photodiode combinations
    • G01T1/20188Auxiliary details, e.g. casings or cooling

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Abstract

Die Erfindung gibt einen Flachbilddetektor (1) für Röntgenstrahlung mit mindestens einem Strahlungssensor (7) und mindestens einem Temperatursensor (11) an. Der Strahlungssensor (7) umfasst eine Vielzahl von Strahlungssensorelementen (8). Der Temperatursensor (11) ist flächenhaft ausgebildet und seine Oberfläche ist in etwa gleich groß der Oberfläche des Strahlungssensors (7). Der Temperatursensor (11) kann aus einer Vielzahl von Temperatursensorelementen (10) bestehen. Dadurch kann die aktuelle Temperatur jedes Pixels des Strahlungssensors (7) bestimmt werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen im Patentanspruch 1 angegebenen Flachbilddetektor für Röntgenstrahlung.
  • In der modernen Röntgenbildgebung sind Flachbilddetektoren, auch Festkörperdetektoren genannt, bekannt, welche ein Röntgenbild direkt in digitaler Form liefern. Dabei werden zwei Arten von Flachbilddetektoren unterschieden: indirekte und direkte.
  • Bei einem indirekten Flachbilddetektor wird die eingehende Röntgenstrahlung mittels eines Szintillators in sichtbares Licht gewandelt. Unterhalb des Szintillators befindet sich ein Halbleiter, in der Regel aus amorphem Silizium, aus dem eine integrierte Schaltung zur Umwandlung des sichtbaren Lichtes in elektrische Signale gebildet ist. Pro Bildpunkt gibt es je einen Kondensator, einen Dünnschichttransistor, auch TFT genannt, und eine Fotodiode. Die Fotodiode wandelt das sichtbare Licht in Elektronen um. Der Kondensator speichert diese Ladung, und mit Hilfe des Dünnschichttransistors kann der Bildpunkt ausgelesen werden.
  • Direkte Flachbilddetektoren nutzen anstelle eines Szintillators und einer Fotodiode einen für Röntgenstrahlung empfindlichen Fotoleiter, der beim Eintreffen von Photonen elektrische Ladungen erzeugt. Diese Ladungen werden mit Elektroden abgesaugt. Der Fotoleiter besteht üblicherweise aus amorphem Selen, welches eine hohe Empfindlichkeit gegenüber Röntgenstrahlung sowie eine sehr gute räumliche Auflösung besitzt. An einer Selenschicht wird ein elektrisches Feld angelegt. Durch die Röntgenstrahlung entstehen Löcher und Elektronen, die in Richtung des angelegten Feldes diffundieren. Die Auswerteelektronik ist ähnlich aufgebaut wie bei den oben beschriebenen indirekten Flachbilddetektoren.
  • Sowohl bei indirekten als auch bei direkten Flachbilddetektoren können thermische Einflüsse die Bildaufnahme störend beeinflussen. Nicht nur bei großflächigen Flachbilddetektoren treten diese temperaturabhängigen Röntgenstrahlensensitiviätsveränderungen an den Klebekanten der einzelnen Strahlungssensoren auf, sondern auch bei Flachbilddetektoren ab ca. einer Größe von 20 × 20 cm2, sobald sich lokale Wärmequellen, beispielsweise elektrische Baugruppen auf einer Leiterplatte, unter dem Strahlungssensor befinden. Die dadurch entstehenden lokalen Temperaturunterschiede führen zu unterschiedlichen Dunkelströmen, elektrischem Rauschen und einem Anstieg des Geistbildverhaltens, somit zu einer Verschlechterung der Röntgenbildqualität.
  • In der Regel verfügen daher Flachbilddetektoren über Temperatursensoren, welche in der Nähe des Strahlungssensors angeordnet sind. In DE 101 08 430 A1 ist beschrieben, wie ein Temperatursensor angeordnet ist, und der von diesem gemessene Temperaturwert zur Erkennung von Fehlern und/oder einer Alterung eines Strahlungssensor-Chips verwendet werden kann.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung einen Flachbilddetektor mit verbesserter Temperaturwertmessung anzugeben.
  • Gemäß der Erfindung wird die gestellte Aufgabe mit der Anordnung des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst, indem in einem Flachbilddetektor für Röntgenstrahlung, der mindestens einen Strahlungssensor mit einer Vielzahl von Strahlungssensorelementen umfasst, mindestens ein flächenhaft ausgeprägter Temperatursensor, dessen Oberfläche in etwa gleich groß der Oberfläche des Strahlungssensors ist, angeordnet.
  • Dies bietet den Vorteil, dass eine genaue Temperaturanzeige für jeden Punkt des Strahlungssensors möglich ist. Ein weiterer Vorteil ist, dass Temperaturschwankungen und der Aufbau eines Temperaturgradienten für den ganzen Strahlungssensor erfassbar sind.
  • In einer Weiterbildung kann der Temperatursensor unterhalb des Strahlungssensors angeordnet sein und mit diesem in Wirkverbindung stehen.
  • Vorteilhaft daran ist, dass lokale Auswirkungen von Wärmestrahlern unterhalb des Strahlungssensors erfasst und durch geeignete Maßnahmen kompensiert werden können. Temperaturbedingte Artefakte, wie beispielsweise Geisterbilder und Rauschen, können somit verhindert bzw. reduziert werden.
  • In einer weiteren Ausführungsform kann der Temperatursensor im Strahlungssensor integriert sein.
  • Dadurch ist eine einfache und kostengünstige Herstellung möglich.
  • In einer Weiterbildung kann der Temperatursensor eine Vielzahl von Temperatursensorelementen umfassen.
  • Vorteilhaft daran ist, dass die Temperaturverteilung jederzeit pixelgenau abrufbar ist und einer pixelbezogenen Bildinformation zuordenbar ist.
  • In einer weiteren Ausführungsform können die Temperatursensorelemente einen temperaturabhängigen Halbleiterwiderstand (Spreading-Resistance) umfassen.
  • Dies hat den Vorteil, dass bewährte Halbleitertechnologien zur Herstellung verwendet werden können.
  • In einer Weiterbildung ist jedem Strahlungssensorelement genau ein Temperatursensorelement zugeordnet ist.
  • Dies hat den Vorteil einer pixelgenauen Temperaturmessung.
  • In einer weiteren Ausführungsform wird jeweils vier Strahlungssensorelementen ein Temperatursensorelement zugeordnet.
  • Dadurch kann die Anordnung bei hinreichend guter Auflösung der Temperaturverteilung einfacher ausgeführt werden.
  • In einer Weiterbildung kann der Strahlungssensor Röntgenstrahlung direkt in elektrische Ladungen umwandelt (direkte Konversion).
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Röntgenbildaufnahmeeinheit anzugeben.
  • Gemäß der Erfindung wird die gestellte Aufgabe mit der Röntgenbildaufnahmeeinheit des unabhängigen Patentanspruchs 10 gelöst, indem ein erfindungsgemäßer Flachbilddetektor Verwendung findet.
  • Weitere Besonderheiten der Erfindung werden aus den nachfolgenden Erläuterungen mehrerer Ausführungsbeispiele anhand von schematischen Zeichnungen ersichtlich.
  • Es zeigen:
  • 1: einen Flachbilddetektor,
  • 2: eine Schnittansicht eines Strahlungssensors für direkte Konversion,
  • 3: eine Schnittansicht eines Strahlungssensors für indirekte Konversion und
  • 4: eine Schnittansicht eines Strahlungssensorelements und eines Temperatursensorelements.
  • 1 zeigt einen Flachbilddetektor 1 in Form einer Platte. Unterhalb ist eine Leiterplatte 2, beispielsweise ein Analogboard, mit nicht im Detail dargestellten elektronischen Baugruppen angeordnet. Durch eine Wärme abgebende Baugruppe 3 wird der Flachbilddetektor 1 lokal im in 1 gekennzeichneten Bereich 4 erwärmt. In Folge kommt es zu räumlich unterschiedlichen Temperaturverteilungen auf dem Flachbilddetektor, was zu unterschiedlichen Dunkelströmen, elektrischen Rauschen und einem Anstieg des Geistbildverhaltens führen kann. Dadurch verschlechtert sich die Bildqualität einer Röntgenbildaufnahme. Zur Vermeidung sind Maßnahmen zur Erfassung der Temperaturverteilung erforderlich.
  • 2 zeigt einen erfindungsgemäßen Flachbilddetektor, welches eine Szintillator-Schicht 5, als indirektem Konverter einer eintreffenden Röntgenstrahlung 9, eine Auswerteelektronik 6 und eine aktive Matrix, dem sogenannten Strahlungssensor 7, aus einer Vielzahl von matrixförmig angeordneten Strahlungssensorelementen 8 enthält. Die Strahlungssensorelemente 8 enthalten jeweils mindestens eine Photodiode, ein Zwischenspeicherelement in Form eines Speicherkondensators und ein Zwischenschaltelement in Form eines Transfertransistors.
  • Unterhalb des Strahlungssensors 7 ist ein flächenhafter Temperatursensor 11 bestehend aus einer Vielzahl von Temperatursensorelementen 10 angeordnet. Die Temperaturmessung der Temperatursensorelemente 10 beruht auf der Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstandes von dotiertem Silizium. Der Aufbau der Temperatursensorelemente 10 erfolgt entweder als Silizium-Kompaktblock oder als Spreading-Resistance. Details dazu sind in 4 wiedergegeben.
  • Mit Hilfe der Temperatursensorelemente 10 ist es möglich bis auf Pixelebene genau die Widerstände und somit die Temperaturen zu erfassen. Diese können beispielsweise auf Anforderung oder automatisch mit jeder Bildpixelinformation, zum Beispiel als 16tes Bit, an die Auswerteeinheit eines Röntgenbildaufnahmesystems zur weiteren Auswertung übermittelt werden. Alternativ erfolgt die Übermittlung nur mit den Offset- oder Dunkelbildern.
  • Wird eine kritische Temperatur auf dem Strahlungssensor 7 erreicht, kann ein neues Gainbild oder ein neues Offset-Bild angefordert werden, die Intensität des Rücklichts auf einem Rücklichtboard der lokalen Temperaturverteilung angepasst werden oder über eine Widerstandsheizung auf oder unterhalb des Strahlungssensors 7 die Temperaturänderung kompensiert werden.
  • Die Auswertelektronik 6 ist in Dünnschichttechnik mit Dünnschichttransistoren (TFT, thin-film-transistor) aufgebaut.
  • Die Szintillator-Schicht 5 ist beispielsweise aus Cäsiumjodid, der Strahlungssensor 7 und der Temperatursensor 11 sind bevorzugt aus amorphem Silizium aufgebaut.
  • 3 zeigt einen Flachbilddetektor 1 mit direkter Konversion der einfallenden Röntgenstrahlung 9. In einer Konverterschicht 12, zum Beispiel aus amorphem Selen, wird die Röntgenstrahlung 9 direkt in elektrische Ladungen umgewandelt. Diese Ladung wird von den Strahlungssensorelementen 8 des Strahlungssensors 7 gespeichert und an die Auswerteelektronik 6 übermittelt. Die Strahlungssensorelemente 6 enthalten jeweils mindestens ein Zwischenspeicherelement in Form eines Speicherkondensators und ein Zwischenschaltelement in Form eines Transfertransistors. Der Temperatursensor 11 ist ähnlich 2 unterhalb des Strahlungssensors 7 angeordnet und vergleichsweise aus Temperatursensorelementen 10 aufgebaut.
  • Vorzugsweise ist der Temperatursensor 11 in den Strahlungssensor 7 integriert bzw. bildet mit diesem eine Einheit. 4 zeigt eine diesbezügliche Ausgestaltung im Detail. Dargestellt ist ein Strahlungssensorelement 8, welches eine Konverterschicht 12 aus amorphen Selen und Elektroden 13, 14 umfasst. Zwischen den Elektroden 13, 14 befindet sich ein Dielektrikum 15. Das Strahlungssensorelement 8 ist auf einem Glassubstrat 16 angeordnet.
  • In unmittelbarer Nähe zum Strahlungssensorelement 8 ist ein Temperatursensorelement 10 auf dem Glassubstrat 16 angeordnet. Das Temperatursensorelement 10 besteht aus den Elektroden 17, 18 zwischen denen sich das Dielektrikum 15 und eine Halbleiterschicht 19 aus beispielsweise amorphem Silizium befinden. Die Halbleiterschicht 19 bildet das Widerstandsge biet, dessen Widerstand sich in Abhängigkeit der Temperatur ändert. Somit kann durch Messung des Widerstands zwischen den beiden Elektroden 17, 18 die Temperatur in unmittelbarer Nähe des Strahlungssensorelements 8 bestimmt werden. In der Patentschrift DE 101 36 005 C1 sind Aufbau und Funktionsweise dieser sogenannten Spreading-Resistance Temperatursensorelemente ausführlich beschrieben.
  • In einer weiteren Ausführungsform können für jeweils mehrere Strahlungssensorelemente 8, beispielsweise vier, ein Temperatursensorelement 10 vorgesehen werden.
  • 1
    Flachbilddetektor
    2
    Leiterplatte
    3
    Baugruppe
    4
    erwärmter Bereich
    5
    Szintillator-Schicht
    6
    Auswerteelektronik
    7
    Strahlungssensor
    8
    Strahlungssensorelement
    9
    Röntgenstrahlung
    10
    Temperatursensorelement
    11
    Temperatursensor
    12
    Konverterschicht
    13, 14
    Elektroden des Strahlungssensorelements 8
    15
    Dielektrikum
    16
    Glassubstrat
    17, 18
    Elektroden des Temperatursensorelements 10
    19
    Halbleiterschicht
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 10108430 A1 [0006]
    • - DE 10136005 C1 [0040]

Claims (10)

  1. Flachbilddetektor (1) für Röntgenstrahlung mit mindestens einem Strahlungssensor (7) umfassend eine Vielzahl von Strahlungssensorelementen (8) und mindestens einem Temperatursensor (11), dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (11) flächenhaft ausgebildet ist und seine Oberfläche in etwa gleich groß der Oberfläche des Strahlungssensors (7) ist.
  2. Flachbilddetektor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (11) unterhalb des Strahlungssensors (7) angeordnet ist und mit diesem in Wirkverbindung steht.
  3. Flachbilddetektor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (11) im Strahlungssensor (7) integriert ist.
  4. Flachbilddetektor (1) nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (11) eine Vielzahl von Temperatursensorelementen (10) umfasst.
  5. Flachbilddetektor (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Temperatursensorelement (10) einen temperaturabhängigen Halbleiterwiderstand (Spreading-Resistance) umfasst.
  6. Flachbilddetektor (1) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass jedem Strahlungssensorelement (8) ein Temperatursensorelement (10) zugeordnet ist.
  7. Flachbilddetektor (1) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils vier Strahlungssensorelementen (8) ein Temperatursensorelement (10) zugeordnet ist.
  8. Flachbilddetektor (1) nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, das der Strahlungssensor (7) Röntgenstrahlung direkt in elektrische Ladungen umwandelt (direkte Konversion).
  9. Flachbilddetektor (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, das der Temperaturmessewert des Temperatursensorelements (10) für eine Strahlungssensorelementweise Offsetkorrektur verwendbar ist.
  10. Röntgenbildaufnahmeeinheit mit mindestens einem Flachbilddetektor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9.
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