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DE102005010291A1 - Diaphragm pump and a method of manufacturing a pump diaphragm - Google Patents

Diaphragm pump and a method of manufacturing a pump diaphragm Download PDF

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DE102005010291A1
DE102005010291A1 DE102005010291A DE102005010291A DE102005010291A1 DE 102005010291 A1 DE102005010291 A1 DE 102005010291A1 DE 102005010291 A DE102005010291 A DE 102005010291A DE 102005010291 A DE102005010291 A DE 102005010291A DE 102005010291 A1 DE102005010291 A1 DE 102005010291A1
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Abstract

The invention relates to a diaphragm pump comprising a device for transmitting exclusively hydraulic power through a membrane device (10) which is used in the form of a pressure transmitter between at least two fluids in a pump chamber and comprises at least one undulating structure (1) for improving the mobility thereof, thereby making it possible to accelerate the important flow rates at high pressures and temperatures and in aggressive media. .

Description

Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, ein Verfahren zur Herstellung einer Pumpenmembran nach Anspruch 10 und eine Verwendung der Membranpumpe gemäß Anspruch 13.The The invention relates to a diaphragm pump according to the preamble of the claim 1, a method of manufacturing a pumping membrane according to claim 10 and a use of the diaphragm pump according to claim 13.

Bei Membranpumpen mit ausschließlich hydraulischer Kraftübertragung werden Membranen verwendet, die Kräfte zwischen zwei Fluiden übertragen, d.h. die Membran wird insbesondere nicht durch ein Gestänge angetrieben. Die Membran trennt dabei zwei Fluide bei gleichem Druck voneinander dicht ab.at Diaphragm pumps with exclusively hydraulic power transmission membranes are used which transfer forces between two fluids, i.e. in particular, the membrane is not driven by a linkage. The membrane separates two fluids at the same pressure from each other tight.

Es ist bekannt, dass bei der Verwendung hoher Temperaturen und/oder aggressiver Medien bzw. extremen Reinheitsanforderungen bei solchen Membranpumpen ebene Membranen aus sehr dünnen, wenig elastisch dehnbaren Werkstoffen, wie z.B. Metallen, Glas, Silizium oder PEEK verwendet werden. Bei der Verwendung einer ebenen Membran geht der Vorteil, dass die Membranen völlig zugspannungsfrei arbeiten können, verloren, da jede Auslenkung (von einer ebenen Membran ausgehend) mit einer Dehnung verbunden ist. Damit ist die maximale Auslenkung durch die elastische Dehnbarkeit des Membranmaterials begrenzt. Außerdem können diese Membranen nicht ohne weiteres durch die Nulllage (ebene Membran) gedrückt werden, da die Werkstoffe nach einiger Betriebszeit etwas fließen, damit zu groß werden und beim Nulllagendurchgang knittern würden, was zur Zerstörung führt. Damit wird das theoretisch beim entsprechenden Membrandurchmesser erreichbare Fördervolumen noch einmal verringert bzw. der Durchmesser vergrößert. Insbesondere bei hohen Drücken und Temperaturen kommt man schon Fördervolumen von etwas über 1 m3/h zu Druckkörpergrößen an der Grenze des bautechnisch Realisierbaren.It is known that in the use of high temperatures and / or aggressive media or extreme purity requirements in such membrane pumps planar membranes of very thin, little elastically extensible materials, such as metals, glass, silicon or PEEK are used. When using a flat membrane, the advantage that the membranes can work completely free of tension is lost, since each deflection (starting from a planar membrane) is associated with an expansion. Thus, the maximum deflection is limited by the elastic extensibility of the membrane material. In addition, these membranes can not be easily pushed through the zero position (flat membrane), since the materials flow somewhat after some operating time, so that they become too large and wrinkle at zero clearance, which leads to destruction. Thus, the theoretically achievable at the corresponding membrane diameter delivery volume is again reduced or increased the diameter. In particular at high pressures and temperatures, delivery volumes of just over 1 m 3 / h can be achieved in terms of pressure-vessel sizes at the limit of what is structurally feasible.

Dem Knittern der Membran kann man durch Vorspannen der Membran entgegenwirken, in dem man die bei erhöhter Temperatur arbeitende Membran aus einem Material mit geringerer thermischer Dehnung als die Einspannung fertigt. Dann ist die Membran im erhitzten Zustand vorgespannt. Diese Vorgehensweise erweist sich doch im praktischen Betrieb, bei Probeläufen, beim An- und Abfahren und bei Störungen als recht impraktikabel, so dass man meist auf den Nulldurchgang verzichtet.the Wrinkling of the membrane can be counteracted by biasing the membrane, in which one at elevated Temperature working membrane made of a material with lower thermal expansion than the restraint manufactures. Then the membrane biased in the heated state. This procedure proves itself but in practical operation, during trial runs, on and off and in case of failures as quite impracticable, so you mostly on the zero crossing waived.

Die hydraulische Energie, die bei Membranpumpen mit ausschließlich hydraulischer Druckübertragung übertragen werden kann, berechnet sich aus dem Produkt aus Druck mal Volumenstrom. Der Volumenstrom berechnet sich aus dem Produkt bewegter Membranfläche mal Geschwindigkeit der Membranbewegung. Der Arbeitsweg der Membran kann ein- oder beidseitig durch Lochplatten begrenzt sein, um das Zerreißen der Membran durch zu starke Auslenkung zu verhindern.The Hydraulic energy used in diaphragm pumps with hydraulic only Transfer print transfer can be calculated from the product of pressure times volume flow. The volume flow is calculated from the product of moving membrane surface times Speed of membrane movement. The working path of the membrane can be limited on one or both sides by perforated plates to the Tear to prevent the diaphragm from being deflected too much.

Die beschriebenen technischen Lösungen erfüllen nicht die Anforderungen, die zum Beispiel für das Pumpen von aggressiven Medien und/oder bei hohen Drücken wie z.B. in Melaminschmelzen erforderlich sind. Auch lassen sich die bekannten Membranen nicht ohne weiteres durch die Nulllage drücken, ohne Schaden zu nehmen.The described technical solutions do not meet the requirements, for example, for pumping aggressive Media and / or at high pressures such as. in melamine melts are required. Also can be the known membranes not readily press through the zero position, without To be damaged.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Membranpumpe zu schaffen, die für große Förderströme, für hohe Drücke, hohe Temperaturen und aggressive Medien bzw. extreme Reinheitsanforderungen geeignet ist.Of the Invention has for its object to provide a diaphragm pump, the for size Flow rates, for high pressures, high Temperatures and aggressive media or extreme purity requirements suitable is.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Gegenstand mit dem Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.The Task is achieved by an article with the features of claim 1 solved.

Dadurch, dass die Membranvorrichtung eine wellenförmige Struktur zur Verbesserung der Beweglichkeit der Membranvorrichtung aufweist, wird sichergestellt, dass hohe Drücke bei relativ kleiner Baugröße der Membranvorrichtung erreicht werden können. Unter einer Membranvorrichtung werden hier eine einzelne Membran, aber auch eine Kombination von Membranen verstanden, die in einer Pumpkammer der Membranpumpe zwei Flüssigkeiten trennen.Thereby, the membrane device has a wave-shaped structure for improvement the mobility of the membrane device is ensured that high pressures at a relatively small size of the membrane device can be achieved. Under a membrane device here are a single membrane, but also a combination of membranes understood in a pumping chamber the diaphragm pump two fluids separate.

Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Membranvorrichtung bringt den Vorteil, dass die Membranvorrichtung deutlich tiefer in eine Kalotte der Pumpkammer gedrückt werden kann als dies bei einer ebenen Ausbildung der Membran gemäß dem Stand der Technik möglich wäre; dies führt zu einer kleineren Bauform. Die im Membranmaterial durch die Deformation hervorgerufene Spannung ist auch im Maximum deutlich geringer. Zum Verdrängen gleichen Volumens kann in diesem Fall der Membrandurchmesser auf ein Drittel und stärker reduziert werden, was den Aufwand für den Druckkörper entscheidend senkt. Neben dem Vorteil der Verkleinerung der Baugröße, werden auch Pumpen mit viel größerer Förderkapazität technisch möglich bzw. wirtschaftlich. Ein weiterer Vorteil einer derart gestalteten Membranvorrichtung besteht darin, dass sie durch die Nulllage gedrückt werden kann ohne sie durch Temperierung vorspannen zu müssen und ohne dass die Membranvorrichtung Schaden nimmt. Auf Dehnungskoeffizienten des Membranmaterials muss keine Rücksicht genommen werden.The inventive design the membrane device has the advantage that the membrane device pushed deeper into a dome of the pumping chamber can than this with a planar design of the membrane according to the state the technology possible would; this leads to a smaller design. The in the membrane material through the deformation caused voltage is also significantly lower in the maximum. To the repress same volume can in this case the membrane diameter a third and stronger be reduced, which is the cost of the pressure hull crucial lowers. Besides the advantage of reducing the size, be also pumps with much larger production capacity technically possible or economically. Another advantage of such a designed membrane device is that it can be pushed through the zero position without them by tempering to have to pretend and without the membrane device being damaged. On expansion coefficients the membrane material need not be considered.

Auch ist es vorteilhaft, wenn die Membranvorrichtung zumindest teilweise aus Stahl, Edelstahl, Nickel-Basislegierungen und/oder Titan- bzw. Titanlegierungen, insbesondere Titan Grade 5 oder 2 besteht.It is also advantageous if the membrane Device at least partially made of steel, stainless steel, nickel-based alloys and / or titanium or titanium alloys, in particular titanium grades 5 or 2 consists.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Struktur der Wellenform einer Kalotte der Pumpkammer der Membranpumpe entspricht. Damit kann sich eine Membran der Membranvorrichtung in den Endlagen der Auslenkung an der Begrenzung der Pumpkammer, d.h. der Kalotte, abstützen.Especially it is advantageous if the structure of the waveform of a dome corresponds to the pumping chamber of the diaphragm pump. This can be a membrane the membrane device in the end positions of the deflection at the boundary the pumping chamber, i. the dome, support.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Membranpumpe weist mindestens eine Membran eine Dicke zwischen 0,05 und 2 mm, insbesondere eine Dicke von 1 mm auf.at an advantageous embodiment of the diaphragm pump according to the invention at least one membrane has a thickness between 0.05 and 2 mm, in particular a thickness of 1 mm.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Membranvorrichtung mehr als eine Membran aufweist, wobei zwischen jeweils zwei Membranen ein Raum mit vorbestimmbarem Druck angeordnet ist. Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Raum mit dem vorbestimmbaren Druck mit einer Druckmessvorrichtung zur Überwachung der Stabilität der Membranvorrichtung gekoppelt ist.Further it is advantageous if the membrane device more than one membrane has, between each two membranes a space with predeterminable Pressure is arranged. It is particularly advantageous if the room with the pre-definable pressure with a pressure measuring device for monitoring stability the membrane device is coupled.

Vorteilhafte Ausbildungen der Membranvorrichtung sind kreisförmig, ellipsenförmig, oval oder polygonal. Diese Bauformen lassen sich in Membranpumpen gut einbauen.advantageous Formations of the membrane device are circular, elliptical, oval or polygonal. These designs are good in diaphragm pumps Install.

Mit Vorteil ist mindestens eine Membran ermüdungsfrei durch die Nulllage drückbar.With Advantage is at least one membrane fatigue-free by the zero position pressed.

Die Aufgabe wird auch durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 10 gelöst.The Task is also performed by a method having the features of the claim 10 solved.

Dabei wird ein zumindest teilweise plastisch verformbares Membranmaterial in einer Pumpkammer mit Fluiddruck derart beaufschlagt, dass das Membranmaterial mindestens teilweise in eine Kalotte der Pumpkammer gedrückt wird. Da die Kalotte eine wellenförmige Struktur aufweist, wird das Membranmaterial mit der wellenförmigen Struktur versehen.there becomes an at least partially plastically deformable membrane material in a pumping chamber with fluid pressure applied in such a way that the membrane material is pressed at least partially into a dome of the pumping chamber. Because the dome is a wavy Structure, the membrane material with the wavy structure Mistake.

Dies geschieht vorteilhafterweise unter einer Temperaturerhöhung oberhalb der Fließtemperatur des Membranmaterials, wobei das Membranmaterial dann unter Druck abgekühlt wird, wodurch die Struktur fixiert wird.This advantageously takes place above a temperature increase the flow temperature of the Membrane material, wherein the membrane material is then cooled under pressure, whereby the structure is fixed.

Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Druckkammer extern von der Membranpumpe angeordnet ist oder die Druckkammer die Pumpkammer der Membranpumpe ist. Wenn die Druckkammer die Pumpkammer der Membranpumpe ist, wird die Membranvorrichtung in-situ hergestellt.there it is advantageous if the pressure chamber is external to the diaphragm pump is arranged or the pressure chamber, the pumping chamber of the diaphragm pump is. When the pressure chamber is the pumping chamber of the diaphragm pump is the membrane device made in situ.

Ferner löst auch eine Verwendung der Membranpumpe nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9 zum Fördern von Melaminschmelze die Aufgabe.Further solve too a use of the diaphragm pump according to at least one of claims 1 to 9 to promote melamine melt the task.

Verwendet man als Membran ein plastisch verformbares Elastomer wie Teflon, würde sich die Kreiswellenstruktur nach Ende der Fluidbeaufschlagung rückbilden, so dass mit diesen Materialien nur dergestalt gearbeitet werden kann, dass die erfindungsgemäßen Kreiswellen vor dem Einsatz der Membran in diese eingepresst werden.used as a membrane a plastically deformable elastomer such as Teflon, would become the circular wave structure after the end of the fluid application regress, so that work with these materials only like that can that the circular waves according to invention be pressed into it before use of the membrane.

Eine derart erhaltene Membran hat den Vorteil, dass sie vor Ort hergestellt werden kann, indem die Fluidbeaufschlagung auf die Membran nach deren Einspannen oder Einschweißen geschieht. Ein weiterer erfindungsgemäßer Vorteil besteht in der Strukturierung der Membran durch Kreiswellen, bevorzugt konzentrisch angeordnet, die bewirken, dass ein störungsfreies Durchschreiten der Nulllage gesichert ist.A thus obtained membrane has the advantage of being manufactured on site can be, by the fluid application to the membrane after their clamping or welding happens. Another advantage of the invention is the structuring the membrane by circular waves, preferably concentric, which cause a trouble-free Passing through the zero position is assured.

Die Membranen arbeiten zuverlässig bei Temperaturen um 400°C und bei Drücken bis 700 bar.The Membranes work reliably at temperatures around 400 ° C and when pressed up to 700 bar.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnungen an mehreren Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:The Invention will be described below with reference to the figures of Drawings on several embodiments explained in more detail. It demonstrate:

1 eine Detailansicht einer Pumpkammer einer Ausführungsform einer erfinderischen Membranpumpe; 1 a detailed view of a pumping chamber of an embodiment of an inventive diaphragm pump;

2 eine Detailansicht einer Ausführungsform einer Membranvorrichtung mit zwei Membranlagen; 2 a detailed view of an embodiment of a membrane device with two membrane layers;

3 eine schematische Draufsicht auf eine runde Membranvorrichtung; 3 a schematic plan view of a round membrane device;

4 eine schematische Draufsicht auf eine elliptische Membranvorrichtung. 4 a schematic plan view of an elliptical membrane device.

In 1 ist eine Schnittansicht eines Details einer Membranpumpe dargestellt. Hier geht es vor allem um die Pumpkammer 5, in der eine Membranvorrichtung 10 angeordnet ist. Die Membranvorrichtung 10 ist hier als eine einzelne Membran ausgebildet, die zwei Fluidräume voneinander trennt. Der untere Fluidraum ist über einem Zugang 3 mit einem Druckmedium (z.B. Öl) oszillierend beaufschlagbar. Das Druckmedium verteilt sich auf zahlreiche Bohrungen und erreicht den unteren Fluidraum.In 1 is a sectional view of a detail of a diaphragm pump shown. This is mainly about the pumping chamber 5 in which a membrane device 10 is arranged. The membrane device 10 is here formed as a single membrane separating two fluid spaces. The lower fluid space is above an access 3 with a pressure medium (eg oil) acted oscillating. The pressure medium spreads over numerous holes and reaches the lower fluid space.

Der obere Fluidraum weist einen Zufluss 4' und einen Abfluss 4" für ein Fluid auf der Druckseite auf.The upper fluid space has an inflow 4 ' and a drain 4 ' for a fluid on the pressure side.

Die Membranvorrichtung 10 ist hier seitlich im Schnitt dargestellt. Konzentrisch ist in dieser eine wellenartige Struktur 1 ausgebildet, die der Verbesserung der Beweglichkeit der Membranvorrichtung 10 im Inneren der Pumpkammer 5 dient.The membrane device 10 is shown here laterally in section. Concentric in this is a wave-like structure 1 designed to improve the mobility of the membrane device 10 inside the pumping chamber 5 serves.

Die Pumpkammer 5 selbst weist an der Ober- und Unterseite Kalotten auf, die wellenförmig ausgebildet sind.The pumping chamber 5 itself has at the top and bottom calottes, which are wave-shaped.

Die Membranvorrichtung 10 ist hier aus dünnem Blech gefertigt. Grundsätzlich sind aber auch andere Metalle oder zumindest teilweise plastisch verformbare Materialien für die Membranvorrichtung 10 denkbar.The membrane device 10 Here is made of thin sheet metal. In principle, however, other metals or at least partially plastically deformable materials for the membrane device 10 conceivable.

Das Einpressen der wellenartigen Struktur 1, z.B. Kreiswellen, erfolgt in einer Ausführungsform der Erfindung vor Ort in der Pumpkammer 5, in einer anderen Ausführungsform auch gesondert, wobei die Einpressung im Pumpenkörper in die gewellten Anlaufflächen (Kalotte) 2 der Pumpkammer bevorzugt ist.The pressing in of the wavy structure 1 , For example, circular waves, takes place in one embodiment of the invention on site in the pumping chamber 5 , in another embodiment also separately, wherein the injection in the pump body in the corrugated contact surfaces (dome) 2 the pumping chamber is preferred.

Die eingespannte oder eingeschweißte Membranvorrichtung 10 wird mit einem Fluiddruck beaufschlagt (gegebenenfalls bei spezieller Temperierung), der die Membranvorrichtung 10 in eine Kalotte 2 drückt. Dabei werden die Strukturen 1 in der Membranvorrichtung 10 erzeugt und stabilisiert (gegebenenfalls durch Abkühlung), so dass die Membranvorrichtung 10 die erzeugte Form behält.The clamped or welded membrane device 10 is subjected to a fluid pressure (optionally with special temperature control), the membrane device 10 in a dome 2 suppressed. In the process, the structures become 1 in the membrane device 10 generated and stabilized (optionally by cooling), so that the membrane device 10 retains the generated shape.

Das ist erfolgreich bei metallischem Material für die Membranvorrichtung wie Stahl, Edelstahl, Nickel-Basislegierungen und Titan- bzw. Titanlegierungen.The is successful with metallic material for the membrane device such as Steel, stainless steel, nickel base alloys and titanium or titanium alloys.

Bei plastisch nicht deformierbaren Materialien wie Siliziumkristall oder Glas muss die Form den Materialeigenschaften entsprechend anders erzeugt werden.at plastically non-deformable materials such as silicon crystal or glass, the shape must be different according to the material properties be generated.

Wie in 2 dargestellt, können auch mehrlagige Membranvorrichtungen eingesetzt werden. In 2 ist der Bereich A in 1 vergrößert dargestellt, wobei hier eine Ausführungsform der Membranvorrichtung 1 gewählt wurde, die eine erste Membran 11 und eine zweite Membran 12 aufweist. Zwischen den Membranen 11, 12 ist ein Zwischenraum 20 angeordnet, wobei im Zwischenraum 20 ein Vakuum oder ein geringerer Druck als der minimale Fluiddruck eingesperrt wird.As in 2 shown, multi-layer membrane devices can be used. In 2 is the area A in 1 shown enlarged, in which case an embodiment of the membrane device 1 was chosen, which is a first membrane 11 and a second membrane 12 having. Between the membranes 11 . 12 is a gap 20 arranged, being in the intermediate space 20 a vacuum or a lower pressure than the minimum fluid pressure is locked.

Dieser Druck im Zwischenraum 20 wird permanent überwacht, denn wenn dieser plötzlich auf den Fluiddruck ansteigt, zeigt das den Bruch einer Membranschicht an. In 2 ist rechts der Anschluss für diese Membranbruchanzeige dargestellt. Da beide dichten Membranlagen 11, 12 nur unwahrscheinlich zum exakt gleichen Zeitpunkt brechen kann durch rechtzeitiges Abfahren meist ein Schaden im Hydraulik- und Triebwerksteil durch Produkt oder umgekehrt eine Verunreinigung der Anlage durch Hydraulikmedium vermieden werden.This pressure in the space 20 is constantly monitored because if it suddenly rises to fluid pressure, it indicates the breakage of a membrane layer. In 2 the connection for this diaphragm rupture indicator is shown on the right. Because both dense membrane layers 11 . 12 only unlikely to break at the exact same time can be avoided by timely departure usually a damage in the hydraulic and engine part by product or vice versa contamination of the system by hydraulic medium.

Im Folgenden werden Anwendungsbeispiele für Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Membranpumpe beschrieben.in the Below are examples of applications for embodiments of the diaphragm pump according to the invention described.

Eine Verwendung wäre eine Schmelzepumpe für Melamin und Melaminnebenprodukte. Die Betriebstemperatur beträgt dabei zwischen ca. 360 bis 450 °C. Die Drücke auf der Saugseite liegen zwischen 70 und 300 bar, auf der Druckseite zwischen 360 bis 500 bar.A Use would be a melt pump for Melamine and melamine by-products. The operating temperature is thereby between about 360 to 450 ° C. The pressures on the suction side are between 70 and 300 bar, on the pressure side between 360 to 500 bar.

Grundsätzlich kann mit der Pumpe auch ein Druck von 2.000 bis 3.000 bar auf der Druckseite eingesetzt werden. Gerade in Verbindung mit überkritischen Betriebsbedingungen können sehr hohe Drücke sinnvoll sein.Basically With the pump also a pressure of 2,000 to 3,000 bar on the pressure side be used. Especially in connection with supercritical operating conditions can very high pressures make sense.

Als Fördergut können auch Harnstoff, Nebenprodukte, Ammoniak, Kohlendioxid bei entsprechenden Temperaturen dienen.When conveyed can also urea, by-products, ammonia, carbon dioxide at appropriate Serve temperatures.

Das Pumpengehäuse, insbesondere die Pumpenkammer wird z.B. aus Titan oder Ni-Basislegierungen hergestellt.The Pump housing, in particular the pump chamber is e.g. made of titanium or Ni-based alloys produced.

In den 3 und 4 sind unterschiedlich ausgebildete Membranvorrichtungen 10 in einer Draufsicht dargestellt.In the 3 and 4 are differently shaped membrane devices 10 shown in a plan view.

Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf die vorstehend angegebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele. Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, die von der erfindungsgemäßen Membranpumpe, dem Verfahren zur Herstellung der Pumpenmembran und der Verwendung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführungen Gebrauch machen.The Restricted invention in their execution not to the preferred embodiments given above. Rather, a number of variants are conceivable that of the diaphragm pump according to the invention, the process of making the pump membrane and use also in principle different types Make use.

Claims (13)

Membranpumpe mit einer ausschließlich hydraulischen Kraftübertragung durch eine Membranvorrichtung als Druckmittler zwischen mindestens zwei Fluiden in einer Pumpkammer dadurch gekennzeichnet, dass die Membranvorrichtung (10) mindestens eine wellenförmige Struktur (1) zur Verbesserung der Beweglichkeit der Membranvorrichtung (10) aufweist.Diaphragm pump with an exclusively hydraulic power transmission through a membrane device as a pressure transmitter between at least two fluids in a pumping chamber, characterized in that the membrane device ( 10 ) at least one wave-shaped structure ( 1 ) for improving the mobility of the membrane device ( 10 ) having. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membranvorrichtung (10) zumindest teilweise aus Metall, einem steifen Elastomer, einem Glaswerkstoff und/oder einem Keramikwerkstoff besteht.Diaphragm pump according to claim 1, characterized in that the membrane device ( 10 ) consists at least partially of metal, a rigid elastomer, a glass material and / or a ceramic material. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Membranvorrichtung (10) zumindest teilweise aus Stahl, Edelstahl, Nickel-Basislegierungen und/oder Titan- bzw. Titanlegierungen, insbesondere Titan Grade 5 oder 2 besteht.Diaphragm pump according to claim 1 or 2, characterized in that the membrane device ( 10 ) at least partially made of steel, stainless steel, nickel-base alloys and / or titanium or titanium alloys, in particular titanium grades 5 or 2 consists. Membranpumpe nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (1) der Wellenform mindestens teilweise einer Kalotte (2) der Pumpkammer der Membranpumpe entspricht.Diaphragm pump according to at least one of the preceding claims, characterized in that the structure ( 1 ) of the waveform at least partially a dome ( 2 ) corresponds to the pumping chamber of the diaphragm pump. Membranpumpe nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membranvorrichtung (10) mindestens eine Membran mit einer Dicke zwischen 0,05 und 2 mm, insbesondere eine Dicke von 0,1 mm aufweist.Diaphragm pump according to at least one of the preceding claims, characterized in that the membrane device ( 10 ) has at least one membrane with a thickness between 0.05 and 2 mm, in particular a thickness of 0.1 mm. Membranpumpe nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membranvorrichtung (10) mehr als eine Membran aufweist, wobei zwischen jeweils zwei Membranen ein Raum mit vorbestimmbaren Druck angeordnet ist.Diaphragm pump according to at least one of the preceding claims, characterized in that the membrane device ( 10 ) has more than one membrane, wherein between each two membranes a space with predeterminable pressure is arranged. Membranpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Raum mit vorbestimmbaren Druck mit einer Druckmessvorrichtung zur Überwachung der Stabilität der Membranvorrichtung (10) gekoppelt ist.Diaphragm pump according to claim 6, characterized in that the space with predeterminable pressure with a pressure measuring device for monitoring the stability of the membrane device ( 10 ) is coupled. Membranpumpe nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membranvorrichtung (10) kreisförmig, ellipsenförmig, oval oder polygonal ausgebildet ist.Diaphragm pump according to at least one of the preceding claims, characterized in that the membrane device ( 10 ) is circular, elliptical, oval or polygonal. Membranpumpe nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Membran ermüdungsfrei durch die Nulllage drückbar ist.Diaphragm pump according to at least one of the preceding Claims, characterized in that at least one membrane by fatigue the zero position can be pressed is. Verfahren zur Herstellung einer Membran einer Membranvorrichtung zur Verwendung in einer Membranpumpe gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein zumindest teilweise plastisch verformbares Membranmaterial in einer Pumpkammer (5) mit Fluiddruck derart beaufschlagt wird, dass das Membranmaterial in eine Kalotte (2) der Druckkammer mit einer wellenförmigen Struktur zur Einbringung der wellenförmigen Struktur (1) in die Membranvorrichtung (2) gedrückt wird.Method for producing a membrane of a membrane device for use in a membrane pump according to claim 1, characterized in that an at least partially plastically deformable membrane material in a pumping chamber ( 5 ) is pressurized with fluid pressure such that the membrane material in a cap ( 2 ) of the pressure chamber with a wave-shaped structure for introducing the wave-shaped structure ( 1 ) into the membrane device ( 2 ) is pressed. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Eindrücken des Membranmaterials in die Kalotte (2) oberhalb der Fließtemperatur des Membranmaterials erfolgt, wobei anschließend das Membranmaterial unter Druck abgekühlt wird, wodurch die Struktur (1) im Membranmaterial fixiert wird.A method according to claim 10, characterized in that the impressions of the membrane material in the calotte ( 2 ) is carried out above the flow temperature of the membrane material, wherein subsequently the membrane material is cooled under pressure, whereby the structure ( 1 ) is fixed in the membrane material. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckkammer extern von der Membranpumpe angeordnet ist oder die Druckkammer die Pumpkammer der Membranpumpe ist.Method according to claim 10 or 11, characterized that the pressure chamber is arranged externally of the diaphragm pump or the pressure chamber is the pumping chamber of the diaphragm pump. Verwendung der Membranpumpe nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9 zum Fördern von Melaminschmelze.Use of the diaphragm pump after at least one the claims 1 to 9 to promote Melamine melt.
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