DE10143978A1 - Hydraulisch angetriebene Membranpumpe mit vorgespannter Membran - Google Patents

Abstract

Bei einer hydraulisch angetriebenen Membranpumpe mit einer randseitig zwischen einem Pumpenkörper (2) und einem Pumpendeckel (3) eingespannten Membran, die einen Förderraum (4) von einem Hydraulikraum (5) trennt sowie in Richtung ihres Saughubes durch Federkraft vorgespannt ist, und mit einem hydraulischen Membranantrieb in Form eines oszillierenden Verdrängerkolbens (6), der im Pumpenkörper (2) zwischen einem Vorratsraum (8) für die Hydraulikflüssigkeit und dem Hydraulikraum (5) verschiebbar ist, ist die Anordnung derart getroffen, daß die Membran (1) mittels Federkraft so stark vorgespannt ist, daß sie eine beträchtliche Druckkraft auf die im Hydraulikraum (5) befindliche Hydraulikflüssigkeit ausübt und daß somit im Hydraulikraum (5) ein wesentlicher Überdruck gegen den Förderraum (4) aufgebaut ist.

Description

• Die Erfindung betrifft eine hydraulisch angetriebene Membranpumpe gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
• Bei bekannten Membranpumpen der gattungsgemäßen Art (DE-AS 10 34 030, DE-OS 25 26 925) ist die jeweilige Membran durch eine Druckfeder vorgespannt. Hierbei ist diese Druckfeder entweder im Förderraum der Membranpumpe oder in deren Hydraulikraum angeordnet, und zwar derart, daß sie die Bewegung der Membran in Richtung deren Saughubes unterstützt.
• Da es sich hierbei jedoch jeweils lediglich um eine schwache Druckfeder handelt, wird hierdurch auch nur eine relativ leichte Vorspannung auf die Membran ausgeübt. Dies hat zur Folge, daß die Membranlagensteuerung in jeder Situation noch nicht befriedigend gelöst ist. Es sind daher zur Membranlagensteuerung zusätzliche Konstruktionselemente notwendig, die naturgemäß den Aufbau der Membranpumpe komplizieren und damit verteuern.
• Hinzu kommt außerdem, daß aufgrund der von der relativ schwachen Feder ausgeübten geringen Vorspannung die Gasbildung im Hydraulikraum beim Saughub nicht wirksam unterbunden ist. Daher ist aufgrund der immer noch vorhandenen Gasbildung im Hydraulikraum die gesamte Saugfähigkeit der bekannten Membranpumpen begrenzt.
• Bei Membranpumpen der gattungsgemäßen Art ist schließlich noch deren Anfahrsicherheit von großer Bedeutung. Hierbei ist bei heutigen Membranpumpen die mangelnde Anfahrsicherheit eindeutig als Nachteil anzusehen. Dieser ist nur dann beseitigt, wenn zusätzliche konstruktive Einrichtungen vorhanden sind, die jedoch zusätzliche Kostren bedingen. Es ist daher wünschenswert, bei derartigen Membranpumpen eine ausreichende Anfahrsicherheit zur Verfügung zu haben, aufgrund welcher gewährleistet ist, daß sich die Membran im Stillstand der Pumpe - aufgrund stets vorhandener interner Leckage - auch dann nicht in Richtung Druckhub bewegt, wenn im Förderraum Vakuum anliegt.
• Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Membranpumpe der gattungsgemäßen Art zur Beseitigung der geschilderten Nachteile derart auszugestalten, daß sie bei einfachem Aufbau gleichwohl eine hohe Dosiergenauigkeit aufweist und daß ihre Saugfähigkeit nicht durch Gasbildung im Hydraulikraum begrenzt wird, so daß auch ein Ansaugen aus Vakuum gut möglich ist.
• Die Merkmale der zur Lösung dieser Aufgabe geschaffenen Erfindung ergeben sich aus Anspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen hiervon sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
• Der erfindungsgemäß ausgestalteten Membranpumpe liegt der wesentliche Gedanke zugrunde, die Membran mittels Federkraft so stark vorzuspannen, daß sie eine beträchtliche Druckkraft auf die im Hydraulikraum befindliche Hydraulikflüssigkeit ausübt und daß somit im Hydraulikraum ein wesentlicher Überdruck gegen den Förderraum aufgebaut ist.
• Vorteilhafterweise ist die Federkraft so bemessen, daß die Membran im Saughub dem Kolben auch dann folgt, wenn im Förderraum Vakuum anliegt.
• Aufgrund der erfindungsgemäß ausgestalteten Membranpumpe ist ausserdem die erwünschte Anfahrsicherheit gegeben. Dies beruht darauf, daß erfindungsgemäß die Federkraft so bemessen ist, daß sich die Membran im Stillstand der Pumpe auch dann nicht in Richtung Druckhub bewegt, wenn im Förderraum Vakuum anliegt.
• Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Federkraft so bemessen, daß der Druck im Hydraulikraum stets wenigstens 1 bar größer ist als der Druck im Förderraum.
• Im speziellen kann die Ausgestaltung hierbei derart getroffen sein, daß die Federkraft so bemessen ist, daß stets ein Differenzdruck von wenigstens 1 bar an der Membran anliegt.
• Besondere Vorteile mit der Erfindung lassen sich dann erzielen, wenn die Federkraft so bemessen ist, daß im Hydraulikraum während des Saughubes zu keinem Zeitpunkt Unterdruck herrscht, bis sich die Membran mechanisch am Pumpenkörper abstützt.
• In Weiterbildung der Erfindung kann die Ausgestaltung auch derart getroffen sein, daß die Summe aus dem von der Federkraft erzeugten Differenzdruck an der Membran und dem Haltedruck eines befederten Leckergänzungsventils stets wenigstens ein bar beträgt. Hierbei ist es von Vorteil, wenn der Differenzdruck an der Membran sehr groß ist im Vergleich zum Haltedruck des Leckergänzungsventils.
• Zweckmäßigerweise kann die Dimensionierung beispielsweise derart getroffen sein, daß der Differenzdruck an der Membran mit mindestens 0,8 bar und der Haltedruck des Leckergänzungsventils mit ca. 0,3 bar bemessen ist.
• Bei dieser abgewandelten Ausführungsform der Erfindung ist es demgemäß mit Vorteil möglich, die Saugfähigkeit der Pumpe - auch aus dem Vakuum heraus - nicht allein durch den Differenzdruck an der Membran, sondern durch die Summe aus dem Differenzdruck an der Membran und dem Haltedruck des Leckergänzungsventlis zu gewährleisten.
• Solange hierbei die erwähnte Summe größer als ein bar ist, kann auch bei anstehendem Vakuum nicht unkontrolliert nachgeschnüffelt werden. Dadurch ist sichergestellt, daß die Membran im Saughub dem Kolben auch bei Vakuumbedingungen folgt.
• Wird der Differenzdruck an der Membran beispielsweise zu 0,8 bar im hinteren Totpunkt der Membran bemessen, ist am Leckergänzungsventil lediglich ein Haltedruck von 0,3 bar notwendig, um in der Summe den erwünschten Gesamtdifferenzdruck von mehr als 1 bar zu erreichen.
• Beim Leckergänzungsvorgang entsteht im Hydrauliköl dann ein Unterdruck von 0,3 bar. Die Erfahrung hat gezeigt, daß derart niedrige Haltedrücke am Leckergänzungsventil in der Praxis keine Nachteile erbringen. In entsprechender Weise entsteht beim Saughub und bei Vakuumbedingungen auf der Saugseite im Hydrauliköl ein Unterdruck von 0,2 bar bei einem Differenzdruck von 0,8 bar an der Membran.
• Derart niedrige Unterdrücke erbringen in der Praxis keine Nachteile. Die - unerwünschte - Gasbildung von Hydraulikölen setzt erfahrungsgemäß erst bei größeren Unterdrücken ab ca. 0,4 bar massiv ein.
• Hierdurch ergibt sich insgesamt der Vorteil, daß durch die mögliche schwächere Befederung Bauraum und Kosten gespart werden.
• Die Erfindung läßt sich mit Vorteil in konstruktiver Hinsicht auf verschiedene Art und Weise verwirklichen. So ist es zum Beispiel möglich, die die Membran in Richtung des Saughubes vorspannende starke Federkraft durch die Membran selbst, d. h. durch deren Form und/oder Material zu erzeugen. Hierbei kommt als Material für die Membran beispielsweise Polytetrafluorethylen (PTFE) in Frage, während eine geeignete Membranform beispielsweise durch eine entsprechende Vorverformung gebildet wird.
• In einer abgewandelten konstruktiven Ausführungsform ist es auch erfindungsgemäß möglich, die die Membran in Richtung des Saughubes vorspannende starke Federkraft durch wenigstens ein in die Membran eingebautes Federelement, beispielsweise eine Tellerfeder, zu erzeugen.
• Eine konstruktiv besonders einfache Verwirklichung des der Erfindung zugrunde liegenden Gedankens ergibt sich dann, wenn die die Membran in Richtung des Saughubes vorspannende starke Federkraft durch eine im Hydraulikraum angeordnete Druckfeder erzeugt ist; diese kann sich auf einer mit der Membran verbundenen zentralen Führungsstange einerseits am Pumpengehäuse sowie andererseits am Ende der Führungsstange abstützen, wobei ihre Stärke in Bezug auf die wirksame Membranfläche entsprechend bemessen ist.
• Es liegt im Rahmen der Erfindung, daß die Membran in Anpassung an den an ihr anliegenden Differenzdruck als Formmembran ausgebildet ist. Hierbei ergibt sich eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung, wenn die Formmembran eine umlaufende Sicke aufweist, deren konkave Seite zum Hydraulikraum zeigt. Aufgrund des an der Membran anliegenden Differenzdruckes wird hierbei die Sicke der Formmembran stabilisiert. Es ergibt sich hierdurch keinerlei Neigung zum Beulen, so daß die Membran eine hohe Lebensdauer aufweist. Außerdem ist die Neigung zu Reibverschleiß bei Sandwichmembranen außerordentlich gering.
• In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann die Membran als Sandwichmembran mit wenigstens zwei Membranlagen ausgebildet sein, deren einzelne Lagen mechanisch gekoppelt sind und beim Saughub durch die Federwirkung der Druckfeder als komplettes Membranpaket zurückgeholt werden.
• Es liegt schließlich im Rahmen der Erfindung, die Ausgestaltung derart zu treffen, daß die Membran in ihrer hinteren Totpunktlage durch eine nahezu spaltfreie Fläche abgestützt ist, die durch einen Teil des Pumpenkörpers und eine Membrankopplungsscheibe gebildet ist.
• Insgesamt ergeben sich damit durch die Erfindung wesentliche Vorteile, die sich lediglich des Beispiels halber folgendermaßen darlegen lassen:
  
• - Die Saugfähigkeit der Pumpe wird nicht durch eine unerwünschte Gasbildung im Hydraulikraum begrenzt, so daß auch das Ansaugen aus Vakuum sehr gut möglich ist. Damit entspricht die Saugfähigkeit der erfindungsgemäßen Membranpumpe derjenigen einer Kolbenpumpe.
• - Die erfindungsgemäße Membranpumpe weist eine hohe Dosiergenauigkeit auf, da durch den im Hydraulikraum herrschenden, erfindungsgemäß vorgesehenen Überdruck jegliche Gasbildung unterbunden wird.
• - Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Hydraulikpumpe kann diese mit einem lediglich einfachen Leckergänzungsventil versehen werden, das nur eine sehr schwache oder sogar gar keine Feder aufweist, so daß während des Leckergänzungsvorgangs kaum Gasbildung auftritt.
• - Aufgrund der stark verringerten bzw. vollkommen unterbundenen Gasbildung ergibt sich eine sehr vereinfachte Gasaustragung aus dem Hydraulikraum, so daß auch keine kontinuierliche Gasaustragung erforderlich ist.
• - Die erfindungsgemäße Membranpumpe weist insgesamt einen einfachen Aufbau auf, so daß zur Membranlagensteuerung keine zusätzlichen Elemente erforderlich sind.
• - Die Drehzahl des Antriebs der Pumpe wird nicht durch eine Gasbildung im Hydraulikraum begrenzt, so daß hohe Drehzahlen möglich sind.
• - Aufgrund des im Hydraulikraum herrschenden Überdrucks wird verhindert, daß sich die Membran im Stillstand der Pumpe nach vorn in Richtung ihres Druckhubes bewegt, auch wenn im Förderraum Vakuum anliegt.
• - Aufgrund des im Hydraulikraum herrschenden Überdrucks ist die Membran immer in Richtung des Förderraums ausgewölbt, d. h. vorgewölbt, so daß sie in ihrer Form stabilisiert ist.
• Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Diese zeigt in
• Fig. 1 schematisch im Längsschnitt die erfindungsgemäße Membranpumpe;
• Fig. 2 im Diagramm den allein aufgrund Federkraft erzeugten Differenzdruck an der Membran über deren Hubweg;
• Fig. 3 gleichfalls im Diagramm den Druck im Hydrauliköl bei Vakuumbedingungen auf der Saugseite, wobei die Federkraft so bemessen ist, daß ein Differenzdruck von mindestens 0,8 bar entsteht bei einem Haltedruck des Leckergänzungsventils von 0,3 bar;
• Fig. 4 im Detail schematisch im Schnitt die Membran in ihrer hinteren Totpunktlage, in der sie an einer aus Pumpenkörper und Membrankopplungsscheibe gebildeten nahezu spaltfreien Fläche abgestützt ist;
• Fig. 5 die Ausbildung der Membran als Wellenmembran, deren Eigensteifigkeit zum Erzeugen einer Federkraft genutzt ist;
• Fig. 6 die Ausbildung einer Membran mit einer integrierten Tellerfeder zum Erzeugen der gewünschten Federkraft und
• Fig. 7 schematisch im Diagramm den nutzbaren Arbeitsbereich einer Membran, die entweder als Wellenmembran gemäß Fig. 5 oder als Membran mit integrierter Tellerfeder gemäß Fig. 6 ausgebildet ist.
• Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist die dargestellte, hydraulisch angetriebene Membranpumpe eine Membran 1 auf, die randseitig zwischen einem Pumpenkörper 2 und einem Pumpendeckel 3 eingespannt ist und einen Förderraum 4 von einem Hydraulikraum 5 trennt.
• Der hydraulische Antrieb der Membran 1 erfolgt durch einen oszillierenden Verdrängerkolben 6, der im Pumpenkörper 2 in einer Buchse 7 zwischen dem Hydraulikraum 5 und einem Vorratsraum 8 für die Hydraulikflüssigkeit hin- und herverschiebbar ist.
• Die Membran 1 ist beim dargestellten Ausführungsbeispiel als dreilagige Sandwichmembran in Gestalt einer Formmembran mit einer umlaufenden Sicke 9 ausgebildet, deren konkave Seite zum Hydraulikraum 5 zeigt.
• Die nicht näher dargestellten einzelnen Lagen der Membran 1 sind in ihrem zentralen Bereich mechanisch mittels entsprechender Scheiben 10, 11 gekoppelt, die miteinander verbunden, insbesondere verschraubt, sind. Die in Richtung des Hydraulikraums 5 zeigende Scheibe 11 trägt eine zentrale Führungsstange 12, die sich axial nach hinten in den Hydraulikraum 5 erstreckt. Auf dieser Führungsstange 12 ist eine starke Druckfeder 13 angeordnet, die sich einerseits an einer Schulter 14 des Pumpenkörpers 2 sowie andererseits an dem entsprechend schulterartig ausgebildeten Ende der Führungsstange 12 abstützt. Aufgrund der hierdurch ausgeübten starken Federkraft ist die Membran 1 stets in Richtung ihres Saughubes, d. h. ihres hinteren Totpunktes, vorgespannt. Hierbei ist die Stärke der Druckfeder 13 derart bemessen, daß auf die im Hydraulikraum 5 befindliche Hydraulikflüssigkeit eine beträchtliche Druckkraft ausgeübt ist, so daß somit im Hydraulikraum 5 ein wesentlicher Überdruck gegenüber dem Förderraum 4 aufgebaut ist. Dieser wesentliche Überdruck im Hydraulikraum 5 ist hierbei beim dargestellten Ausführungsbeispiel stets wenigstens 1 bar größer als der Druck im Förderraum 4.
• Im Diagramm gemäß Fig. 2 ist schematisch der Differenzdruck an der Membran über deren Hubweg vom vorderen Totpunkt VT bis zum hinteren Totpunkt HT aufgetragen, wobei hier der Differenzdruck an der Membran allein aufgrund der zuvor beschriebenen Feder 13 erzeugt ist. Wie ersichtlich, erzeugt die Feder 13 auch im hinteren Totpunkt HT der Membran einen Differenzdruck von wenigstens 1 bar, so daß damit im Hydraulikraum 5 stets ein wesentlicher Überdruck gegen den Förderraum 4 aufgebaut ist.
• Im Diagramm gemäß Fig. 3 ist bei Vakuumbedingungen auf der Saugseite gleichfalls der Differenzdruck an der Membran 1 (Druck im Hydrauliköl) dargestellt. Der Differenzdruck wird durch Federkraft erzeugt. Darüber hinaus ist der effektive Haltedruck des Leckergänzungsventils 15 dargestellt als Summe aus dem Differenzdruck an der Membran 1 und dem Haltedruck des Leckergänzungsventils 15 (siehe Fig. 1). Er beträgt stets wenigstens 1 bar. Hierbei kann die Ausgestaltung beispielsweise derart getroffen sein, daß der Differenzdruck an der Membran 1 mindestens 0,8 bar beträgt und daß der Haltedruck des Leckergänzungsventils 15 mit ca. 0,3 bar bemessen ist. Der effektive Haltedruck beträgt dann im hinteren Totpunkt HT der Membran 1 mindestens 1,1 bar. Bei Leckergänzung ist die Membran 1 früher in ihrem hinteren Totpunkt als der Kolben 6. Der Druck im Hydrauliköl fällt dann auf 0,7 bar absolut bzw. auf einen Unterdruck von 0,3 bar ab.
• Fig. 4 zeigt die Membran 1 in ihrer hydraulikseitigen Anlage, d. h. in ihrem hinteren Totpunkt HT. Hierbei ist die Ausgestaltung derart getroffen, daß der Pumpenkörper 2 zusammen mit der hinteren Membrankopplungsscheibe 11 eine nahezu spaltfreie Fläche zur Abstützung der Membran 1 bildet. Dadurch kann die Membran im Stillstand Differenzdrücke von bis zu 400 bar ertragen, ohne daß sie Schaden leidet.
• Bei der aus Fig. 5 ersichtlichen Ausführungsform ist die dargestellte Membran 1' als Wellenmembran ausgebildet. Diese besitzt aufgrund ihrer Ausgestaltung eine solche Eigensteifigkeit, daß diese die Funktion der zuvor beschriebenen Druckfeder 13 erfüllt und zum Aufbringen der gewünschten Federkraft auf die Membran 1' genutzt werden kann. Hierbei verdeutlichen die gestrichelten Linien den Arbeitsbereich einer derartigen Wellenmembran 1'.
• Bei der abgewandelten Ausführungsform gemäß Fig. 6 weist die dargestellte Membran 1" integrierte Tellerfedern 16 auf. Diese können z. B. in eine Elastomermembran einvulkanisiert sein und erfüllen gleichfalls die Funktion dahingehend, daß sie die Membran in Richtung ihres Saughubes mit einer starken Federkraft vorspannen. Auch hier verdeutlichen die gestrichelten Linien den Arbeitsbereich einer solchen Membran 1".
• Fig. 7 schließlich verdeutlicht schematisch den nutzbaren Arbeitsbereich einer der zuvor beschriebenen Membranen 1' bzw. 1".
• Hinsichtlich vorstehend nicht im einzelnen näher erläuterter Merkmale der Erfindung wird im übrigen ausdrücklich auf die Ansprüche sowie auf die Zeichnung verwiesen.

Claims (16)

1. Hydraulisch angetriebene Membranpumpe mit einer randseitig zwischen einem Pumpenkörper (2) und einem Pumpendeckel (3) eingespannten Membran, die einen Förderraum (4) von einem Hydraulikraum (5) trennt sowie in Richtung ihres Saughubes durch Federkraft vorgespannt ist, und mit einem hydraulischen Membranantrieb in Form eines oszillierenden Verdrängerkolbens (6), der im Pumpenkörper (2) zwischen einem Vorratsraum (8) für die Hydraulikflüssigkeit und dem Hydraulikraum (5) verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (1) mittels Federkraft so stark vorgespannt ist, daß sie eine beträchtliche Druckkraft auf die im Hydraulikraum (5) befindliche Hydraulikflüssigkeit ausübt und daß somit im Hydraulikraum (5) ein wesentlicher Überdruck gegen den Förderraum (4) aufgebaut ist.

2. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Federkraft so bemessen ist, daß die Membran (1) im Saughub dem Kolben (6) auch dann folgt, wenn im Förderraum (4) Vakuum anliegt.

3. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Federkraft so bemessen ist, daß sich die Membran (1) im Stillstand der Pumpe infolge unvermeidbarer interner Leckage auch dann nicht in Richtung Druckhub bewegt, wenn im Förderraum (4) Vakuum anliegt.

4. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Federkraft so bemessen ist, daß der Druck im Hydraulikraum (5) stets wenigstens 1 bar größer ist als der Druck im Förderraum (4).

5. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Federkraft so bemessen ist, daß stets ein Differenzdruck von wenigstens 1 bar an der Membran (1) anliegt.

6. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Federkraft so bemessen ist, daß im Hydraulikraum (5) während des Saughubes zu keinem Zeitpunkt Unterdruck herrscht, bis sich die Membran (1) mechanisch am Pumpenkörper (2) abstützt.

7. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Summe aus dem von der Federkraft erzeugten Differenzdruck an der Membran (1) und dem Haltedruck eines befederten Leckergänzungsventils (15) stets wenigstens 1 bar beträgt.

8. Membranpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Differenzdruck an der Membran (1) sehr groß ist im Vergleich zum Haltedruck des Leckergänzungsventils (15).

9. Membranpumpe nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Differenzdruck an der Membran (1) mit mindestens 0,8 bar und der Haltedruck des Leckergänzungsventils (15) mit ca. 0,3 bar bemessen ist.

10. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die die Membran (1) in Richtung des Saughubes vorspannende starke Federkraft durch die Membran (1) selbst, d. h. durch deren Form (beispielsweise Wellenmembran (1')) und/oder deren Material, erzeugt ist.

11. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß die die Membran (1") in Richtung des Saughubes vorspannende starke Federkraft durch wenigstens ein in die Membran (1) eingebautes Federelement, beispielsweise eine Tellerfeder (16), erzeugt ist.

12. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß die die Membran (1) in Richtung des Saughubes vorspannende starke Federkraft durch eine im Hydraulikraum (5) angeordnete Druckfeder (13) erzeugt ist, die sich auf einer mit der Membran (1) verbundenen zentralen Führungsstange (12) einerseits am Pumpenkörper (2) sowie andererseits am Ende der Führungsstange (12) abstützt und deren Stärke in bezug auf die wirksame Membranfläche entsprechend bemessen ist.

13. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (1) in Anpassung an den an ihr anliegenden Differenzdruck als Formmembran ausgebildet ist.

14. Membranpumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Formmembran eine umlaufende Sicke (9) aufweist, deren konkave Seite zum Hydraulikraum (5) zeigt.

15. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (1) als Sandwichmembran mit wenigstens zwei Membranlagen ausgebildet ist, deren einzelne Lagen mechanisch gekoppelt und beim Saughub durch die Federwirkung der Druckfeder (13) als komplettes Membranpaket zurückholbar sind.

16. Membranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (1) in ihrer hinteren Totpunktlage durch eine nahezu spaltfreie Fläche abgestützt ist, die durch einen Teil des Pumpenkörpers (2) und eine Membrankopplungsscheibe (11) gebildet ist.