Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

DE10111422A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material

Info

Publication number
DE10111422A1
DE10111422A1 DE10111422A DE10111422A DE10111422A1 DE 10111422 A1 DE10111422 A1 DE 10111422A1 DE 10111422 A DE10111422 A DE 10111422A DE 10111422 A DE10111422 A DE 10111422A DE 10111422 A1 DE10111422 A1 DE 10111422A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bath
laser
radiation
relative
focus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10111422A
Other languages
English (en)
Inventor
Boris Chichkov
Jesper Serbin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LZH Laser Zentrum Hannover eV
Original Assignee
LZH Laser Zentrum Hannover eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LZH Laser Zentrum Hannover eV filed Critical LZH Laser Zentrum Hannover eV
Priority to DE10111422A priority Critical patent/DE10111422A1/de
Publication of DE10111422A1 publication Critical patent/DE10111422A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/106Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
    • B29C64/124Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified
    • B29C64/129Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask
    • B29C64/135Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask the energy source being concentrated, e.g. scanning lasers or focused light sources
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2995/00Properties of moulding materials, reinforcements, fillers, preformed parts or moulds
    • B29K2995/0037Other properties
    • B29K2995/0072Roughness, e.g. anti-slip
    • B29K2995/0073Roughness, e.g. anti-slip smooth

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)

Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material in einem Bad dieses Materials vorgeschlagen, wobei man zumindest einen Teil des Formkörpers dadurch bildet, dass man innerhalb des Badvolumens ortsselektiv nach Maßgabe von Geometriedaten des herzustellenden Formkörpers die Bestrahlungsbedingungen zur Verfestigung des flüssigen Materials, insbesondere die Bedingungen für einen die Verfestigung induzierenden Mehrphotonenabsorptionsprozess, durch lokale erhöhte Intensitätskonzentration der Strahlung erfüllt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material in einem Bad dieses Materials.
Derartige Verfahren sind unter dem Begriff Stereolithographieverfahren bekannt geworden. Zum Stand der Technik auf dem Gebiet der stereolitho­ graphischen Verfahren kann beispielsweise auf die WO 9525003 oder auf die WO 9308506 verwiesen werden.
Bei diesen bekannten Verfahren wird ein Formkörper, also ein Gegenstand mit einer definierten Form, schichtweise in einem Bad einer durch Strah­ lungseinwirkung verfestigbaren Flüssigkeit aufgebaut, wobei eine jeweils zuletzt durch Bestrahlung an der Badoberfläche verfestigte Schicht des Objektes weiter in das Bad bewegt wird, um eine jeweils nachfolgend durch Bestrahlung zu verfestigende Flüssigkeitsschicht auf der zuletzt verfestigten Schicht an der Badoberfläche bereitzustellen. Bei der Flüssig­ keit handelt es sich um ein photosensitives Harz. Die Bestrahlung erfolgt bei den hier betrachteten konventionellen Verfahren vorzugsweise mittels elektromagnetischer Strahlung im UV-Bereich, wobei als Strahlungsquelle ein Laser herangezogen wird. Eine Strahlablenkeinrichtung in Form eines X- Y-Scanners lenkt den Laserstrahl nach Maßgabe von Geometriebeschrei­ bungsdaten, die der jeweils herzustellenden Schicht des Formkörpers zugeordnet sind, ab, so dass der Laserstrahl mit seinem Fokus die jeweils zu verfestigende Schicht an der Badoberfläche entsprechend abtasten kann.
Der schichtweise Aufbau eines Formkörpers erfolgt bei den konventionellen Stereolithographieverfahren dadurch, dass man eine Trägerplatte oder Bauplattform zunächst dicht unterhalb der Badoberfläche anordnet und die über der Trägerplatte liegende Schicht der Flüssigkeit nach Maßgabe des gewünschten Querschnitts des Objektes bestrahlt, um so eine Basisschicht des Objektes zu verfestigen, die auf der Trägerplatte oder ggf. auf einer vorher bereits präparierten Stützschicht aufliegt. Sodann wird die Träger­ platte mit der darauf verfestigten Schicht weiter in das Bad hineinbewegt, um eine nachfolgend zu verfestigende Flüssigkeitsschicht über der bereits verfestigten Schicht vorzusehen. Der sorgfältigen Schichtpräparation kommt bei den Verfahren nach dem Stand der Technik besondere Bedeu­ tung zu. So ist es mittlerweile gängige Praxis, dass nach jedem Absenken der zuletzt verfestigten Schicht ein Abstreifelement einer relativ aufwendi­ gen Einrichtung zur Glättung der flüssigen Schicht über die Badoberfläche gezogen wird. Das Auftragen und Glätten der neuen Flüssigkeitsschicht beansprucht in etwa die gleiche Zeit wie das Belichten der Flüssigkeitsober­ fläche bei der Verfestigung. Der Prozess der jeweiligen Präparation einer neuen Flüssigkeitsschicht an der Badoberfläche über der zuletzt verfestig­ ten Schicht kann nicht mehr nennenswert beschleunigt bzw. zeitlich ver­ kürzt werden und ist somit ein zeitlich limitierender Faktor. Auch die er­ reichbaren Formteilgenauigkeiten werden durch die Abstreifglättungstech­ nik limitiert. Ein kleiner Fokusdurchmesser würde zwar das Aushärten sehr kleiner Strukturen zulassen; die beim Glätten der Flüssigkeitsoberfläche entstehenden Scherkräfte stellen jedoch eine zu große Belastung für dünn­ wandige Formteile dar. Die zum Glätten benutzten Abstreifelemente oder Wischerklingen müssen außerdem individuell an die jeweiligen Eigenschaf­ ten der Flüssigkeit, wie Viskosität, angepasst werden, was einen flexiblen Einsatz verschiedener Materialien unmöglich macht.
Es hat auch bereits Vorschläge gegeben, unter der Oberfläche des Bades, also im Badvolumen, das photosensitive Harz bzw. einen entsprechenden Photopolymer-Kunststoff im Überschneidungsbereich zweier Laserstrahlen zu verfestigen, die von unterschiedlichen Seiten her in das Photopolymer­ bad gerichtet sind. Durch entsprechende Bewegung der Laserstrahlen kann ihr Überschneidungsbereich im Badvolumen verschoben werden, um so zusammenhängende Bereiche eines Objektes zu verfestigen. Der letztge­ nannte Vorschlag scheint eher theoretischer Art zu sein und hat sich in der Praxis nicht durchgesetzt. Dies wohl auch, weil es sehr schwierig ist, die zwei einander kreuzenden Laserstrahlen exakt koordiniert so zu bewegen, dass der Kreuzungspunkt mit hinreichend großer Präzision die zu verfesti­ genden Strukturen im Badvolumen abtastet.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, welches ohne die herkömmliche und aufwendige Präparation von Schichten an der Badoberfläche auskommt, einen schnelleren Bauprozess zulässt und zuverlässig funktioniert.
Ausgehend von einem Verfahren der eingangs genannten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, das man zumindest einen Teil des Formkörpers dadurch bildet, dass man innerhalb des Badvolumens ortsselektiv nach Maßgabe von Geometriedaten des herzustellenden Form­ körpers die Bestrahlungsbedingungen zur Verfestigung des flüssigen Mate­ rials, insbesondere die Bedingungen für einen die Verfestigung induzieren­ den Mehrphotonenabsorptionsprozess, durch ortsselektiv erhöhte Intensi­ tätskonzentration der Strahlung erfüllt.
Insbesondere strahlt man dazu mit einem fokussierten Laserstrahl in das Bad ein, wobei die Bestrahlungsbedingungen zur Verfestigung des flüssigen Materials, insbesondere die Bedingungen für einen die Verfestigung aus­ lösenden Mehrphotonenabsorptionsprozess, nur in unmittelbarer Umgebung des Fokus erfüllt sind, wobei man den Fokus des Strahls nach Maßgabe der Geometriedaten des herzustellenden Formkörpers innerhalb des Badvolu­ mens zu den zu verfestigenden Stellen führt.
Bei der Flüssigkeit handelt es sich vorzugsweise um ein photosensitives Harz, wobei gemäß der vorliegenden Erfindung ein direktes Polymerisieren des Harzes ortsselektiv innerhalb des Badvolumens, also auch ggf. weit unterhalb der Badoberfläche, stattfindet, um einen Formkörper herzustellen, der nach seiner Fertigstellung aus dem Bad herausgenommen werden kann.
Es wird Strahlung aus einem Spektralbereich verwendet, der normalerweise nicht von der photosensitiven Flüssigkeit unter Hervorrufung des Verfesti­ gungseffektes absorbiert wird. Bei nicht zu hohen Strahlungsintensitäten ist die Flüssigkeit somit für die verwendete Strahlung im Wesentlichen trans­ parent. Erfindungsgemäß wird mit Strahlung bestrahlt, deren Wellenlänge λ in etwa n × λ0 beträgt, wobei, λ0 die Wellenlänge bezeichnet, bei der das flüssige Material Strahlung absorbieren würde und der Absorptionsvorgang mit einer optischen Anregung unter Auslösung des Materialverfestigungs­ prozesses einherginge. n ist eine ganze Zahl größer als 1. In der Praxis ist n üblicherweise 2. Erzeugt man nun durch Intensitätskonzentration der Strahlung innerhalb des Flüssigkeitsbades eine Intensitätserhöhung, bei der Mehrphotonenabsorption, nämlich n-Photonenabsorption stattfindet, so kann in dem Bereich dieser lokal erhöhten Intensität die energetische Anre­ gung des Materials zur Induzierung des Verfestigungseffektes durch Be­ strahlung mit Licht der Wellenlänge λ erfolgen, wobei diese Strahlung außerhalb der genannten Zone erhöhter Strahlungsintensität die Flüssigkeit in der bereits angesprochenen Weise durchdringt, ohne den Verfestigungs­ effekt auszulösen.
Unter einem Gesichtspunkt kann die Erfindung mit dem Titel: "Herstellung von dreidimensionalen Modellen durch Polymerisation eines Monomers, induziert durch die Mehrphotonenabsorption von Laserstrahlung im Volu­ men eines flüssigen Harzes bzw. flüssigen Monomers" umschrieben wer­ den.
Die oben genannte Zone erhöhter Intensität kann mit relativ einfachen Mitteln dadurch realisiert werden, dass man den Strahl - ggf. nach vor­ ausgegangener Strahlaufweitung - fokussiert, so dass nur in unmittelbarer Umgebung des Fokus die Intensität hoch genug ist, um Zweiphotonen­ absorption (n = 2) oder Mehrphotonenabsorption (n = 3. . .) in dem flüssigen Material zu erreichen. Zur Herstellung eines Formkörpers in dem Bad kann dann der Fokus nach Maßgabe von Geometriebeschreibungsdaten des Formkörpers innerhalb des Badvolumens zu den zu verfestigenden Stellen geführt werden.
Die Positionierung dieser Stellen relativ zum Ort des Fokus kann durch Bewegen des Badbehälters oder/und durch Bewegen einer gegebenenfalls innerhalb des Badbehälters vorhandenen Bauplattform für den Formkörper oder/und durch Bewegen des Fokus erfolgen.
Als Strahlungsquelle kommt vorzugsweise ein Laser zur Anwendung, der Strahlungspulse kleiner Pulsdauer und hoher Strahlungsleistung pro Puls emittiert. Die hier genutzten ultrakurzen Laserpulse besitzen bereits bei vergleichsweise kleinen und mittleren Laserleistungen hinreichend große Photonendichten, um Zweiphotonenprozesse oder ggf. Mehrphotonen­ prozesse zu initialisieren. Werden also solche ultrakurze Laserpulse mit einer Pulsdauer von beispielsweise 10-14 s bis 10-10 s der Wellenlänge λ in ein flüssiges photosensitives Harz fokussiert, welches für Aushärtung bei Bestrahlung mit Licht der Wellenlänge λ0 = λ/2 ausgelegt ist, so findet im Fokus mittels Zweiphotonenabsorption der Polymerisationsprozess statt. Wie bereits erwähnt, ist das Harz normalerweise für Strahlung der Wellen­ länge, λ transparent. Durch Bewegen des fokussierten Laserstrahls durch das Badvolumen eines solchen Harzes findet daher die Polymerisation entlang der Spur des Fokus statt. Durch Verfahren der Fokusebene sowie durch Scannen der Ablenkung des Laserstrahls können mit dem Verfahren nach der Erfindung beliebige Objekte gebaut werden.
Das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung erlaubt ein hoch präzises und insbesondere vergleichsweise schnelles Herstellen von festen Objekten im Bad der photosensitiven Flüssigkeit. Auf die aufwendige Schichten­ präparation, wie sie bei der konventionellen Stereolithographie erforderlich ist, kann bei der Vorgehensweise nach der vorliegenden Erfindung ver­ zichtet werden. Die Prozessdauer bei der Herstellung eines Formkörpers wird dadurch erheblich reduziert. Die zur Durchführung des Verfahrens verwendeten Vorrichtungen können einfacher und unkomplizierter als konventionelle Stereolithographiemaschinen sein, da Schichtenpräpara­ tionsbaugruppen entfallen können. Im Vergleich zur herkömmlichen Stereo­ lithographie dürfte der erfindungsgemäße Herstellungsprozess auch im Hinblick auf die Prozessführung einfacher durchzuführen sein.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des hier vorgeschlagenen neuen Verfahrens, wobei die Vorrichtung durch eine Laserstrahlungsquelle, die zur Emission hoch intensiver Strahlungspulse kurzer Dauer von z. B. 10-14 s bis 10-10 s eingerichtet ist, eine Einrichtung zur Fokussierung der Laserstrahlung in einem Fokalbereich, eine Behälter­ einrichtung zur Aufnahme eines Bades einer durch Bestrahlung verfestig­ baren Flüssigkeit und eine Einrichtung zur Führung des Fokalbereichs zu den nach Maßgabe von Geometriebeschreibungsdaten des herzustellenden Formkörpers zu verfestigenden Stellen innerhalb des Bades gekennzeichnet ist.
Bei der Laserstrahlungsquelle handelt es sich vorzugsweise um einen schnell repetierenden, modengekoppelten Laser, der ultrakurze Laserpulse emittiert. Als Beispiel für einen solchen Laser kann ein modengekoppelter Titan-Saphir-Laser mit einer Wellenlänge von etwa 780 nm genannt wer­ den. Die Fokussiereinrichtung umfasst optische Fokussierelemente, ins­ besondere Linsensysteme, die den Strahl der Laserstrahlungsquelle ins Innere der Behältereinrichtung fokussieren. Die Einrichtung zur Führung des Fokalbereiches zu den nach Maßgabe von Geometriebeschreibungsdaten des herzustellenden Formkörpers zu verfestigenden Stellen innerhalb des Bades wird von einer Steuereinrichtung gesteuert, um den Fokus innerhalb des Badvolumens zu den Stellen zu bewegen, an denen Verfestigung stattfinden soll. Die Steuerung erfolgt auf der Basis von CAD-Daten des herzustellenden Formkörpers bzw. von aus solchen CAD-Daten abgeleite­ ten und für den Prozess angepassten Geometriebeschreibungsdaten. Sofern mit einer Strahlablenkeinrichtung eine Ablenkung des Laserstrahls in einer zur Badoberfläche parallelen Ebene mit Schrägeinfall des Strahls an der Badoberfläche erfolgt, kann es zweckmäßig sein, dass die Daten zur Steue­ rung der Einrichtung zur Führung des Fokalbereichs korrigiert werden, und zwar hinsichtlich des Strahlbrechungseffektes aufgrund der unterschiedli­ chen Brechungsindizes zwischen Luft und flüssigem Material.
Die Einrichtung zur Führung des Fokalberichs umfasst vorzugsweise Mittel, die dazu eingerichtet sind, optische Elemente der Einrichtung zur Fokussie­ rung des Strahles relativ zu dem Bad zu bewegen oder/und optische Strahl­ ablenkelemente zur Ablenkung des Strahls relativ zu dem Bad zu bewegen oder/und die Behältereinrichtung relativ zu dem Fokalbereich zu bewegen oder/und eine ggf. vorhandene Bauplattform für den Formkörper innerhalb des Bades relativ zu dem Laser bzw. relativ zu dem Fokalbereich zu bewe­ gen.
So kann z. B. die Einrichtung zur Fokussierung des Strahls so gesteuert werden, dass der Fokus in Z-Richtung bewegt wird. Alternativ oder zusätz­ lich kann es vorgesehen sein, dass der Badbehälter in Z-Richtung gesteuert verfahrbar ist, um eine Relativbewegung zwischen Bad und Fokus in Z- Richtung zu erreichen. Alternativ oder zusätzlich kann es ferner vorgesehen sein, dass eine ggf. vorhandene Bauplattform innerhalb des Badbehälters in Z-Richtung verfahrbar ist. Die Positionierung des Fokus in X- und in Y- Richtung kann sowohl durch Scannen des Laserstrahls als auch durch Bewegen des Harzbehälters erfolgen.
Die Erfindung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt in einer stark vereinfachten schematisierten Darstellung eine Vorrichtung nach der Erfindung zur Durchführung des vorgeschlagenen neuen Verfahrens.
Fig. 2 zeigt in einer Erläuterungsskizze das Strahlprofil eines fokus­ sierten Laserstrahls in der Umgebung des Fokalbereichs und ein Diagramm zur Erläuterung der räumlichen Intensitätsver­ teilung innerhalb des gezeigten Strahlbereichs.
In Fig. 1 ist eine Vorrichtung nach der Erfindung schematisch und stark vereinfacht gezeigt. Die Vorrichtung umfasst einen Laser 2 als Strahlungs­ quelle, die ultrakurze Laserpulse, also Laserpulse mit einer Pulsdauer im Bereich von beispielsweise 10-10 s bis 10-14 s, und mit einer hohen Repeti­ tionsrate sowie mit vergleichsweise hoher Pulsenergie emittiert. Der emit­ tierte Strahl ist in Fig. 1 mit 4 gekennzeichnet. Es kann sich bei dem Laser 2 zum Beispiel um einen modengekoppelten Ti:Sa-Laser handeln, dessen Emissionswellenlänge bei, λ = 780 nm liegt. Zur gesteuerten Ablenkung des Laserstrahls 4 in Bezug auf die orthogonal zur Z-Richtung liegende X-Y- Ebene ist eine Galvano-Scanner-Einrichtung 6 vorgesehen.
Eine Fokussiereinrichtung 8 dient zur Fokussierung des Laserstrahls 4 in einem Punkt innerhalb des Behälters 10. Der Behälter 10 enthält ein photo­ sensitives flüssiges Harz 12, welches bei Bestrahlung mit Licht der Wellen­ länge λ0 verfestigbar ist. Im Fall der Fig. 1 entspricht λ0 in etwa der halben Wellenlänge des Lasers 2.
In dem Behälter 10 ist eine Bauplattform 14 vorgesehen, welche in Z- Richtung gesteuert verfahrbar ist. Insgesamt steht der Behälter 10 auf einem Verschiebetisch 16, der ggf. in Z-Richtung oder/und in der X-Y- Ebene gesteuert verfahrbar ist.
Die Bewegungssteuerung der Elemente 6, 8, 14, 16 erfolgt mittels der Steuereinrichtung 20, welche wenigstens einen Mikrocomputer umfasst. Die Steuerleitungen zwischen der Steuereinrichtung 20 und den betreffen­ den Elementen sind in Fig. 1 mit 22 bezeichnet. Die jeweiligen Antriebsein­ heiten für die bewegbaren Komponenten 6, 8, 14, 16 sind aus Gründen der vereinfachten Darstellung nicht gezeigt.
Fig. 1 repräsentiert eine Momentaufnahme bei der Herstellung eines Form­ körpers 24 durch ortsselektive, lichtinduzierte Verfestigung (Photopolymeri­ sation) des Harzes 12. Verfestigung des Harzes 12 findet jeweils in un­ mittelbarer Umgebung des Fokus 26 des Strahls 4 statt, da nur in einer räumlich eng begrenzten Fokalzone 26 die Intensität des Laserstrahls 4 ausreicht, um einen Zweiphotonenabsorptionsprozess (oder ggf. einen Dreiphotonenabsorptionsprozess bzw. Mehrphotonenabsorptionsprozess) zur Anregung des Verfestigungseffektes in dem Material ausreicht.
In Fig. 2 sind ein Ausschnitt aus dem Strahlprofil des Laserstrahls 4 mit der Fokalzone 26 und ein dem Strahlprofilausschnitt zugeordnetes Orts-Inten­ sitätsdiagramm dargestellt, welches den Intensitätsverlauf des Strahlprofils in Z-Richtung wiedergibt. Wie dem Diagramm zu entnehmen ist, wird die Schwellwertintensität S nur in dem Fokalbereich 26 überschritten. Nur in dem lokalen Bereich 26, in dem die Intensität I des Stahls 4 die Schwell­ wertintensität S überschreitet, sind die Strahlungsbedingungen zur Ver­ festigung des flüssigen Materials erfüllt. Außerhalb der Zone 26 ist das Harz 12 für den Laserstrahl 4 im Wesentlichen transparent.
Mittels der Vorrichtung gemäß Fig. 1 kann nun dieser Fokalbereich 26 innerhalb des Volumens des Bades 12 auch mit nennenswertem Abstand von der Badoberfläche bewegt werden, um entsprechend der von ihm abgetasteten Spur die ortsselektive Verfestigung des flüssigen Harzes auszulösen.
Die Steuerung der Bewegung des Fokalbereichs 26 und der Bewegung der Bauplattform 14 bzw. der Bewegung des Behälters 10 relativ zueinander erfolgt mittels der Steuereinrichtung 20 nach Maßgabe von Geometriebe­ schreibungsdaten des Formkörpers 24. Diese Geometriebeschreibungs­ daten sind aus 3D-CAD-Daten des Formkörpers abgeleitet worden.
Eine Möglichkeit der Verfahrensführung mit der Vorrichtung nach Fig. 1 besteht darin, dass der Fokus 26 unbewegt an seiner Stelle relativ zum Raum bei Einstrahlung senkrecht zur Badoberfläche verbleibt, wobei der Verschiebetisch 16 oder/und die Bauplattform 14 im X-Y-Z-Raum in der Weise relativ zum feststehenden Fokus 26 bewegt werden, dass der Fokal­ bereich 26 die zu verfestigenden Stellen des Formkörpers 24 erreicht.
Andererseits kann es vorgesehen sein, dass der Behälter 10 im Raum feststeht und der Fokalbereich 26 durch gesteuerte Bewegung der opti­ schen Elemente 6, 8 zu den zu verfestigenden Stellen innerhalb des Badvo­ lumens 12 geführt wird. Die Z-Verschiebung des Fokalbereichs 26 kann mittels entsprechender Bewegung der fokussierenden Optik 8 erfolgen. Innerhalb der X-Y-Ebene erfolgt die Strahlablenkung mittels der Scanner­ einrichtung 6.
Weiterhin ist es möglich, die Z-Verschiebung des Fokalbereichs 26 durch Bewegung der Bauplattform 14 in Z-Richtung vorzunehmen.

Claims (8)

1. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Be­ strahlung zu verfestigenden flüssigen Material in einem Bad dieses Materials, dadurch gekennzeichnet, dass man zumindest einen Teil des Formkörpers (24) dadurch bildet, dass man innerhalb des Badvo­ lumens (12) ortsselektiv nach Maßgabe von Geometriebeschrei­ bungsdaten des herzustellenden Formkörpers (24) die Bestrahlungs­ bedingungen zur Verfestigung des flüssigen Materials, insbesondere die Bedingungen für einen die Verfestigung induzierenden Mehrpho­ tonenabsorptionsprozess, durch erhöhte Intensitätskonzentration der Strahlung erfüllt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man mit einem fokussierten Laserstrahl (4) in das Bad (12) einstrahlt, wobei die Bestrahlungsbedingungen zur Verfestigung des flüssigen Materi­ als, insbesondere die Bedingungen für einen die Verfestigung aus­ lösenden Mehrphotonenabsorptionsprozess, nur in unmittelbarer Umgebung des Fokus erfüllt sind, und dass man den Fokus des Strahls nach Maßgabe der Geometriebeschreibungsdaten des herzu­ stellenden Formkörpers (24) innerhalb des Badvolumens (12) zu den verfestigenden Stellen führt.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass man als Strahlungsquelle einen Laser (2) ver­ wendet, der Strahlungspulse kleiner Pulsdauer und hoher Strahlungs­ leistung pro Puls emittiert.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser ein modengekoppelter Laser, insbesondere ein Titan-Saphier-Laser ist.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeich­ net, dass man den Fokus (26) des Strahls (4) gemäß einer oder mehrerer der folgenden Maßnahmen zu den zu verfestigenden Stel­ len innerhalb des Bades (12) führt:
  • - optische Elemente (8) zur Fokussierung des Strahls (4) wer­ den relativ zu dem Bad (12) gesteuert bewegt,
  • - optische Strahlablenkelemente (6) zur Ablenkung des Strahls (4) werden relativ zu dem Bad (12) gesteuert bewegt,
  • - der das Bad (12) beinhaltende Behälter (10) wird relativ zum Fokus (26) gesteuert bewegt,
  • - eine innerhalb des Badbehälters (10) gegebenenfalls vorhan­ dene Bauplattform (14) wird in dem Bad (12) relativ zum Fokus (26) gesteuert bewegt.
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch
eine Laserstrahlungsquelle (2), die zur Emission hoch intensiver Strahlungspulse kurzer Dauer eingerichtet ist,
eine Einrichtung zur Fokussierung der Laserstrahlung (4) in einem Fokalbereich (26),
eine Behältereinrichtung (10) zur Aufnahme eines Bades (12) einer durch Bestrahlung verfestigbaren Flüssigkeit und
eine Einrichtung (6, 8, 14, 16) zur Führung des Fokalbereiches (26) zu den nach Maßgabe von Geometriedaten des herzustellenden Formkörpers (24) zu verfestigenden Stellen innerhalb des Bades (12).
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser (2) ein modengekoppelter Laser, insbesondere Titan-Saphir- Laser, ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zur Führung des Fokalbereichs steuerbare Mittel (6, 8, 14, 16) umfasst, die dazu eingerichtet sind,
optische Elemente der Einrichtung (8) zur Fokussierung des Strahls (4) relativ zu dem Bad (12) zu bewegen oder/und
optische Strahlablenkelemente (6) zur Ablenkung des Strahls (4) relativ zu dem Bad (12) zu bewegen oder/und
die Behältereinrichtung (10) relativ zu dem Fokalbereich (26) zu bewegen oder/und gegebenenfalls
eine Bauplattform (14) für den Formkörper (24) innerhalb des Bades (12) relativ zu dem Fokalbereich (26) zu bewegen.
DE10111422A 2001-03-09 2001-03-09 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material Withdrawn DE10111422A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10111422A DE10111422A1 (de) 2001-03-09 2001-03-09 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10111422A DE10111422A1 (de) 2001-03-09 2001-03-09 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10111422A1 true DE10111422A1 (de) 2002-09-26

Family

ID=7676899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10111422A Withdrawn DE10111422A1 (de) 2001-03-09 2001-03-09 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10111422A1 (de)

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005003218B4 (de) * 2005-01-20 2006-07-20 Ralph Dr.Rer.Nat. Greiner Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Gegenstandes mittels Stereolithographie
EP2174177A1 (de) * 2007-07-20 2010-04-14 Agency for Science, Technology and Research Einrichtung und verfahren zum fokussiseren eines lichtstrahls mit verringerter fokalebenenverzerrung
EP2357186A1 (de) 2010-02-12 2011-08-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Erzeugen biologisch verträglicher, dreidimensionaler Gegenstände oder Oberflächen durch Laser-Bestrahlung, solche Gegenstände, deren Verwendung sowie Ausgangsmaterialien für das Verfahren
DE102010020222A1 (de) 2010-05-11 2011-11-17 Axel Haverich Verfahren zur Herstellung einer Organnachbildung, insbesondere eines Funktionsmodells
DE102010020158A1 (de) * 2010-05-11 2011-11-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung sowie Verfahren zur Erzeugung dreidimensionaler Strukturen
EP2492085A1 (de) 2011-02-25 2012-08-29 Nanoscribe GmbH Verfahren und Vorrichtung zum ortsaufgelösten Einbringen eines Intensitätsmusters aus elektromagnetischer Strahlung in eine photosensitive Substanz sowie Anwendungen hiervon
DE102014222685A1 (de) 2014-11-06 2016-05-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Siliconelastomerteilen
EP3208075A1 (de) 2016-02-17 2017-08-23 Hochschule für angewandte Wissenschaften Aschaffenburg Optisches verfahren und vorrichtung zur herstellung eines strukturierten objekts
WO2018005399A1 (en) * 2016-06-28 2018-01-04 The Gillette Company Llc Cutting edge structures and method of manufacturing polymeric cutting edge structures
EP3266594A1 (de) 2016-07-07 2018-01-10 Technische Universität Wien Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung von dreidimensionalen bauteilen
EP3287262A1 (de) 2016-08-26 2018-02-28 Multiphoton Optics Gmbh Vorrichtung und verfahren zur lasergestützten bearbeitung von körpern oder oberflächen
EP3287263A1 (de) 2016-08-26 2018-02-28 Multiphoton Optics Gmbh Vorrichtung und verfahren zur lasergestützten bearbeitung von körpern oder oberflächen
US10400071B2 (en) 2015-11-09 2019-09-03 Wacker Chemie Ag Silicone compositions for producing elastomeric molded parts by means of ballistic methods
CN111175955A (zh) * 2018-11-13 2020-05-19 纳侬斯桧布有限责任公司 分配器附件及其用于由激光光刻写入3d结构的装置的用途
DE102019102215B3 (de) 2019-01-29 2020-06-25 Nanoscribe Gmbh System zum Aufbau einer Laserlithografievorrichtung und Modulträger hierfür
EP3702132A1 (de) 2019-02-26 2020-09-02 UpNano GmbH Verfahren zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
US11059194B2 (en) 2015-06-30 2021-07-13 The Gillette Company Llc Polymeric cutting edge structures and method of manufacturing polymeric cutting edge structures
EP3888887A1 (de) 2020-03-31 2021-10-06 UpNano GmbH Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
DE102020126432A1 (de) 2020-10-08 2022-04-14 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur herstellung eines bauelements und bauelement
EP4043186A1 (de) 2021-02-16 2022-08-17 Technische Universität Wien Verfahren und vorrichtung zur ansteuerung einer lithographiebasierten additiven fertigungsvorrichtung
DE102022111789B3 (de) 2022-05-11 2023-02-23 Nanoscribe Holding Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur in einem Lithographiefluid
EP4163083A1 (de) 2021-10-06 2023-04-12 UpNano GmbH Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
EP4316782A1 (de) 2022-08-01 2024-02-07 UpNano GmbH Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
EP4420859A1 (de) 2023-02-27 2024-08-28 Nanoscribe Holding GmbH Laserlithografie-vorrichtung und verfahren zum erzeugen einer dreidimensionalen struktur

Cited By (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005003218B4 (de) * 2005-01-20 2006-07-20 Ralph Dr.Rer.Nat. Greiner Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Gegenstandes mittels Stereolithographie
EP2174177A4 (de) * 2007-07-20 2013-03-06 Agency Science Tech & Res Einrichtung und verfahren zum fokussiseren eines lichtstrahls mit verringerter fokalebenenverzerrung
EP2174177A1 (de) * 2007-07-20 2010-04-14 Agency for Science, Technology and Research Einrichtung und verfahren zum fokussiseren eines lichtstrahls mit verringerter fokalebenenverzerrung
EP2357186A1 (de) 2010-02-12 2011-08-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Erzeugen biologisch verträglicher, dreidimensionaler Gegenstände oder Oberflächen durch Laser-Bestrahlung, solche Gegenstände, deren Verwendung sowie Ausgangsmaterialien für das Verfahren
WO2011098460A1 (de) 2010-02-12 2011-08-18 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Verfahren zum erzeugen biologisch verträglicher, dreidimensionaler gegenstände oder oberflächen durch laser-bestrahlung, solche gegenstände, deren verwendung sowie ausgangsmaterialien für das verfahren
US9539763B2 (en) 2010-02-12 2017-01-10 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Method for generating biocompatible three-dimensional objects or surfaces by laser irradiation, such objects, the use thereof and starting materials for the method
EP2752421A2 (de) 2010-02-12 2014-07-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen von (meth)acrylat-substituierten Monosacchariden, Zuckeralkoholen, Mono-Hydroxysäuren und deren Lactone und Lactide, mit diesem Verfahren hergestellte, toxisch unbedenkliche Produkte sowie deren Verwendung zum Erzeugen von Formkörpern oder strukturierten Oberflächen
EP2905121A1 (de) 2010-05-11 2015-08-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung sowie Verfahren zur Erzeugung dreidimensionaler Strukturen
DE102010020158A1 (de) * 2010-05-11 2011-11-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung sowie Verfahren zur Erzeugung dreidimensionaler Strukturen
DE102010020222A1 (de) 2010-05-11 2011-11-17 Axel Haverich Verfahren zur Herstellung einer Organnachbildung, insbesondere eines Funktionsmodells
WO2011153981A2 (de) 2010-05-11 2011-12-15 Axel Haverich Verfahren zur herstellung einer organnachbildung, insbesondere eines funktionsmodells
WO2011141521A1 (de) 2010-05-11 2011-11-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung sowie verfahren zur erzeugung dreidimensionaler strukturen
DE202011111094U1 (de) 2010-05-11 2019-09-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur Erzeugung dreidimensionaler Strukturen
EP3225383A1 (de) 2010-05-11 2017-10-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung sowie verfahren zur erzeugung dreidimensionaler strukturen
US9328327B2 (en) 2010-05-11 2016-05-03 Axel Haverich Method for producing an organ replica, in particular a functional model
EP3225383B1 (de) 2010-05-11 2023-06-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung sowie verfahren zur erzeugung dreidimensionaler strukturen
DE202011111072U1 (de) 2011-02-25 2019-03-27 Nanoscribe Gmbh Vorrichtung zum ortsaufgelösten Einbringen eines Intensitätsmusters aus elektromagnetischer Strahlung in eine photosensitive Substanz
US9302430B2 (en) 2011-02-25 2016-04-05 Nanoscribe Gmbh Method and device for a spatially resolved introduction of an intensity pattern comprising electro-magnetic radiation into a photosensitive substance as well as applications thereof
EP2492085A1 (de) 2011-02-25 2012-08-29 Nanoscribe GmbH Verfahren und Vorrichtung zum ortsaufgelösten Einbringen eines Intensitätsmusters aus elektromagnetischer Strahlung in eine photosensitive Substanz sowie Anwendungen hiervon
DE102011012484A1 (de) 2011-02-25 2012-08-30 Nanoscribe Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum ortsaufgelösten Einbringen eines Intensitätsmusters aus elektromagnetischer Strahlung in eine photosensitive Substanz sowie Verwendung hiervon
WO2016071241A1 (de) 2014-11-06 2016-05-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur herstellung von siliconelastomerteilen
DE102014222685A1 (de) 2014-11-06 2016-05-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von Siliconelastomerteilen
US10471653B2 (en) 2014-11-06 2019-11-12 Wacker Chemie Ag Method for producing silicone elastomer parts
US11597112B2 (en) 2015-06-30 2023-03-07 The Gillette Company Llc Polymeric cutting edge structures and method of manufacturing polymeric cutting edge structures
US11059194B2 (en) 2015-06-30 2021-07-13 The Gillette Company Llc Polymeric cutting edge structures and method of manufacturing polymeric cutting edge structures
US10400071B2 (en) 2015-11-09 2019-09-03 Wacker Chemie Ag Silicone compositions for producing elastomeric molded parts by means of ballistic methods
EP3208075A1 (de) 2016-02-17 2017-08-23 Hochschule für angewandte Wissenschaften Aschaffenburg Optisches verfahren und vorrichtung zur herstellung eines strukturierten objekts
WO2017140546A1 (en) 2016-02-17 2017-08-24 Hochschule Für Angewandte Wissenschaften Aschaffenburg Optical method and apparatus for fabricating a structured object
US10442133B2 (en) 2016-02-17 2019-10-15 Hochschule Fuer Angewandte Wissenschaften Aschaffenburg Optical method and apparatus for fabricating a structured object
WO2018005399A1 (en) * 2016-06-28 2018-01-04 The Gillette Company Llc Cutting edge structures and method of manufacturing polymeric cutting edge structures
EP3266594A1 (de) 2016-07-07 2018-01-10 Technische Universität Wien Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung von dreidimensionalen bauteilen
WO2018006108A1 (de) 2016-07-07 2018-01-11 Technische Universität Wien Verfahren zur lithographiebasierten generativen fertigung von dreidimensionalen bauteilen
US11130199B2 (en) 2016-08-26 2021-09-28 Multiphoton Optics Gmbh Device and method for laser-assisted processing of bodies or surfaces
EP3287262A1 (de) 2016-08-26 2018-02-28 Multiphoton Optics Gmbh Vorrichtung und verfahren zur lasergestützten bearbeitung von körpern oder oberflächen
WO2018036929A1 (de) 2016-08-26 2018-03-01 Multiphoton Optics Gmbh Vorrichtung und verfahren zur lasergestützten bearbeitung von körpern oder oberflächen
EP3287263A1 (de) 2016-08-26 2018-02-28 Multiphoton Optics Gmbh Vorrichtung und verfahren zur lasergestützten bearbeitung von körpern oder oberflächen
WO2018036930A1 (de) 2016-08-26 2018-03-01 Multiphoton Optics Gmbh Vorrichtung und verfahren zur lasergestützten bearbeitung von körpern oder oberflächen
EP3653363A1 (de) 2018-11-13 2020-05-20 Nanoscribe GmbH Verwendung eines dispenser-aufsatzes und dispenser-aufsatz für eine vorrichtung zum schreiben von 3d-strukturen mittels laserlithografie
CN111175955A (zh) * 2018-11-13 2020-05-19 纳侬斯桧布有限责任公司 分配器附件及其用于由激光光刻写入3d结构的装置的用途
EP3693797A1 (de) 2019-01-29 2020-08-12 Nanoscribe GmbH System zum aufbau einer laserlithografievorrichtung und modulträger hierfür
DE102019102215B3 (de) 2019-01-29 2020-06-25 Nanoscribe Gmbh System zum Aufbau einer Laserlithografievorrichtung und Modulträger hierfür
WO2020174411A1 (de) 2019-02-26 2020-09-03 Upnano Gmbh Verfahren zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
EP3702132A1 (de) 2019-02-26 2020-09-02 UpNano GmbH Verfahren zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
US11787106B2 (en) 2019-02-26 2023-10-17 Upnano Gmbh Method for the lithography-based additive manufacturing of a three-dimensional component
EP3888887A1 (de) 2020-03-31 2021-10-06 UpNano GmbH Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
WO2021198835A1 (de) 2020-03-31 2021-10-07 Upnano Gmbh Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
DE102020126432A1 (de) 2020-10-08 2022-04-14 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur herstellung eines bauelements und bauelement
WO2022175830A1 (de) 2021-02-16 2022-08-25 Technische Universität Wien Verfahren und vorrichtung zur ansteuerung einer lithographiebasierten additiven fertigungsvorrichtung
EP4043186A1 (de) 2021-02-16 2022-08-17 Technische Universität Wien Verfahren und vorrichtung zur ansteuerung einer lithographiebasierten additiven fertigungsvorrichtung
EP4163083A1 (de) 2021-10-06 2023-04-12 UpNano GmbH Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
WO2023057857A1 (de) 2021-10-06 2023-04-13 Upnano Gmbh Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
DE102022111789B3 (de) 2022-05-11 2023-02-23 Nanoscribe Holding Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur in einem Lithographiefluid
EP4316782A1 (de) 2022-08-01 2024-02-07 UpNano GmbH Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
WO2024028667A1 (de) 2022-08-01 2024-02-08 Upnano Gmbh Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
EP4420859A1 (de) 2023-02-27 2024-08-28 Nanoscribe Holding GmbH Laserlithografie-vorrichtung und verfahren zum erzeugen einer dreidimensionalen struktur
DE102023104751A1 (de) 2023-02-27 2024-08-29 Nanoscribe Holding Gmbh Laserlithografie-Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10111422A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers aus einem durch Bestrahlung zu verfestigenden flüssigen Material
EP2569140B1 (de) Vorrichtung sowie verfahren zur erzeugung dreidimensionaler strukturen
DE60012667T2 (de) Vorrichtung zur Herstellung eines dreidimensionalen laminierten Gegenstandes aus einer lichthärtenden Flüssigkeit
EP2983898B1 (de) Verfahren zum automatischen kalibrieren einer vorrichtung zum generativen herstellen eines dreidimensionalen objekts
EP3022008B1 (de) Verfahren zur herstellung eines bauteils sowie optische bestrahlungsvorrichtung
EP3266594B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung von dreidimensionalen bauteilen
EP3362259B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum herstellen eines dreidimensionalen objekts
DE10208150B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers
WO1994016875A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen eines dreidimensionalen objekts
EP3242762A1 (de) Vorrichtung und generatives schichtbauverfahren zur herstellung eines dreidimensionalen objekts mit mehrzahligen strahlen
EP3970900B1 (de) Verfahren zum erzeugen einer 3d-struktur mittels laserlithographie mit geänderter belichtdosis an randabschnitten, sowie entsprechendes computerprogrammprodukt
DE102016209933A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum generativen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
WO2018172092A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum herstellen von dreidimensionalen werkstücken
DE69402331T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Formung von fotohärtbarem Harz
WO1996014203A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen eines dreidimensionalen objektes
WO2013182913A2 (de) Stereolithographie-system
DE102013021961A1 (de) Stereolithographie- System
DE4408754A1 (de) Stereolithografisches Verfahren zur Herstellung eines Objektes in einem Bad einer durch Strahlungseinwirkung verfestigbaren Flüssigkeit und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102015225300A1 (de) Verfahren und Anordnungen zur Verringerung der Grenzflächenadhäsion bei der Photopolymerisation
EP3888887B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
WO2021074188A1 (de) Verfahren zum betreiben einer einrichtung zur additiven herstellung eines dreidimensionalen objekts sowie verfahren zum erstellen eines prozessfensters zur durchführung des vorgenannten verfahrens
EP4163083B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
EP3702132B1 (de) Verfahren zur lithographiebasierten generativen fertigung eines dreidimensionalen bauteils
WO2022175830A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ansteuerung einer lithographiebasierten additiven fertigungsvorrichtung
DE102005003218B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Gegenstandes mittels Stereolithographie

Legal Events

Date Code Title Description
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8105 Search report available
8139 Disposal/non-payment of the annual fee