DE10036254C2 - Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von optischen Datenträgern - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen von optischen Datenträgern, bei welchen die Datenträger jeweils wenigstens einer optischen Inspektion unterzogen und optisch detektierbare Fehler erkannt werden.

Solche optische Inspektionssysteme sind beispielsweise aus der DE 44 34 474 C2 und DE 44 34 475 C2 bekannt. Dort wird mit Hilfe von optischen Meßverfahren und entsprechenden Auswertekriterien die auf einem optischen Datenträger vorhandenen Fehler erkannt und klassifiziert. Je nach Größe und Art führen diese Fehler zu einem Ausschuß. Die entsprechenden Parameter für die optische Fehlerklassifizierung werden anhand von Erfahrungswerten, Qualitätsbestimmungen oder dergleichen eingestellt. Dabei liegen die optisch detektierbaren Fehler in der Regel nicht als Muster vor, so daß die Parameter vielmehr empirisch eingestellt werden müssen. Um auf der sicheren Seite zu liegen, müssen die Parameter so ausgewählt sein, daß ein schlechter Datenträger mit Sicherheit auch als solcher erkannt wird. Es besteht daher die Gefahr, daß eventuell mehr Ausschuß erzeugt wird als tatsächlich vorliegt, oder aber technisch unbrauchbare Datenträger unerkannt bleiben. Bei Grenzfällen sind der optischen Fehlerinspektion Grenzen gesetzt, da die tatsächliche Funktion der Datenträger nicht mit diesen Inspektionssystemen geprüft wird.

Es ist daher wünschenswert, eine technische Funktionsprüfung der Datenträger ebenfalls durchzuführen. Eine technische Funktionsprüfung ist jedoch aus Zeitgründen für alle optischen Datenträger nicht in einem laufenden Produktionsprozeß möglich, da auch bei einer vielfachen Abspielgeschwindigkeit die Prüfzeit ein Vielfaches der Taktzeit des Herstellungsprozesses beträgt. Für eine gesicherte Prüfung beträgt die Prüfzeit in der Regel sogar die Spieldauer des Datenträgers.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs geschilderten Art so auszubilden, daß auch eine technische Funktionsprüfung der Datenträger ermöglicht wird.

Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß bei wenigstens einem optisch detektierten Fehler der betreffende Datenträger einer elektrischen Inspektion unterzogen und zumindest im Bereich des detektierten Fehlers auf seine Funktion geprüft wird. Die Erfindung nutzt hierbei aus, daß ein Funktionsfehler vor allem dann zu erwarten ist, wenn auch ein optisch detektierbarer Fehler vorliegt. Aufgrund der Tatsache, daß nur solche Datenträger der elektrischen Prüfung unterzogen werden, die auch einen optisch detektierten Defekt aufweisen, wird die Anzahl der elektrisch zu prüfenden Datenträger reduziert. Eine Integration der elektrischen Prüfung auf technisches Funktionieren der Datenträger in einem laufenden Produktionsprozeß ist somit möglich.

Es ist zweckmäßig, wenn die elektrische Inspektion nur in dem Bereich oder der Umgebung des optisch detektierten Fehlers erfolgt. Dies hat den Vorteil, daß die Prüfzeit der elektrischen Prüfung stark verringert werden kann. Es ist hierbei insbesondere nicht erforderlich, den gesamten Datenträger abzuspielen. Der optisch detektierte Defekt kann in der elektrischen Prüfstation gezielt angefahren werden, um dort die technische Funktion zu überprüfen.

Besonders zweckmäßig kann es sein, wenn die elektrische Inspektion nur bei bestimmten optisch detektierten und klassifizierten Fehlertypen erfolgt. Dadurch wird eine weitere Reduzierung der auf die technische Funktion zu prüfenden Datenträger erreicht, da nur noch solche Datenträger mit den entsprechenden Fehlertypen untersucht zu werden brauchen. Zusammen mit der Maßnahme, nur die lokale Fehlerstelle elektrisch zu Prüfen, kann eine weitere Reduzierung der Prüfzeit erfolgen. Liegt hingegen ein optisch erfaßter Fehler vor, der nach der Klassifizierung stets zu einem Ausschuß führt, beispielsweise ein Pinhole bestimmter Größe, braucht die elektrische Prüfung nicht mehr zu erfolgen. Vielmehr kann das Inspektionssystem so eingestellt sein, daß vor allem bei Grenzfällen die elektrischen Prüfung durchgeführt wird.

Werden beispielsweise Grauwerte als Fehlerkriterien verwendet, kann vorgesehen werden, daß über oder unter einem bestimmten Grauwert und über einer bestimmten Größe eines klassifizierten Fehlertyps in jedem Fall ein Fehler und im anderen Fall, also unter bzw. über einem bestimmten Grauwert und unterhalb einer bestimmten Größe des Fehlertyps kein Fehler vorliegt. Die betreffenden Werte definieren vorzugsweise einen Grauwert- und Größenbereich. Nur Datenträger, die optische detektierte Bereiche aufweisen, deren Grauwerte und Größe zwischen diesen Werten liegen, werden der elektrischen Prüfung unterzogen. Entsprechendes gilt für andere Parameter.

Nach der elektrischen Prüfung steht fest, ob der Datenträger technisch einwandfrei ist oder nicht. Es kann vorgesehen werden, daß bei einem optisch detektierten Fehler der Datenträger wieder gut gegeben wird, wenn die elektrische Inspektion keinen Fehler detektiert. In diesem Fall kann es zweckmäßig sein, wenn das Ergebnis der elektrischen Inspektion zur Parametrisierung der optischen Inspektion herangezogen wird. So kann eine zu empfindlich eingestellte optische Inspektion durchlässiger eingestellt werden. Auch ist es natürlich möglich, daß die Schwellenwerte für eine weniger durchlässige Prüfung empfindlicher eingestellt werden. Diese Parametrisierung kann während des laufenden Produktionsprozesses durchgeführt werden.

Die elektrische Inspektion eines Datenträgers wird auch aufgrund der erforderlichen Handhabung des Datenträgers zu der elektrischen Prüfstation in der Regel länger dauern als eine optische Prüfung. Es werden daher während der technischen Funktionsprüfung mehrere Datenträger die optische Inspektion durchlaufen. Hier kann ein Problem dann auftauchen, wenn währenddessen ein oder mehrere Datenträger mit einem optisch detektierten Fehler auftauchen, die einer elektrischen Prüfung zu unterziehen sind.

Grundsätzlich kann dieses Problem durch das Vorsehen einer entsprechende Anzahl von parallel arbeitenden elektrischen Prüfstationen gelöst werden, die nacheinander beschickt werden. Es kann aber auch zweckmäßig sein, wenn zumindest die Datenträger, die während der elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Inspektion durchlaufen und wenigstens einen optisch detektierten Fehler aufweisen, markiert oder in einem Zwischenspeicher gesammelt werden und nach der elektrischen Inspektion des einen Datenträgers die elektrische Inspektion durchlaufen. Hier wird ausgenutzt, daß es in dem laufenden Herstellungsprozeß immer Zeiten oder aufeinanderfolgende Datenträger geben wird, in denen eine elektrische Prüfung nicht erforderlich ist. In dieser Zeit können die in dem Zwischenspeicher vorhandenen Datenträger nach und nach abgearbeitet werden. Selbstverständlich ist es auch möglich, daß Datenträger in der Zeit, in der die elektrische Prüfstation belegt ist, nur optisch geprüft werden. Dann kann auf einen Zwischenspeicher verzichtet werden.

Gemäß einer alternativen oder zusätzlichen Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß zumindest die Datenträger, die während der elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Inspektion durchlaufen und den näherungsweise gleichen oder ähnlichen optischen detektierten Fehler aufweisen, markiert oder in einem Zwischenspeicher gesammelt werden und nach der elektrischen Inspektion des einen Datenträgers in Abhängigkeit des Ergebnisses als Ausschuß oder als gut deklariert werden. Dadurch wird erreicht, daß Datenträger mit ähnlichen oder gleichen optisch erfaßten Fehlern nicht alle der elektrischen Inspektion unterzogen werden müssen. Die gesammelten Datenträger werden dann entweder vollzählig wieder dem laufenden Produktionsprozeß zugeführt oder verworfen. Sofern eine Vielzahl von Datenträgern derart aussortiert werden, kann sogar auf einen Systemfehler bei der Herstellung geschlossen werden, und es ist schnell möglich, in den Herstellungsprozeß einzugreifen.

Grundsätzlich ist es zweckmäßig, wenn nach einer vorbestimmbaren Zeit und/oder einer vorbestimmbaren Anzahl von optisch geprüften Datenträgern und/oder nach einem Zufallsprinzip Datenträger auch ohne optische detektierten Fehler der elektrischen Inspektion zugeführt werden. Auch ist es zweckmäßig, wenn nach einer vorbestimmbaren Zeit und/oder einer vorbestimmbaren Anzahl von optisch geprüften Datenträgern und/oder nach einem Zufallsprinzip Datenträger auch mit solchen optisch detektierten Fehlern, die unmittelbar Ausschuß darstellen, der elektrischen Prüfung zugeführt werden. Dies hat den Vorteil, daß die Parametrisierung der optische Inspektion insbesondere bei größeren Serien laufend überwacht werden kann. Die Effektivität und die Sicherheit bei der Fehlererkennung des Prüfsystems kann damit erhöht werden.

Es ist hierbei nicht zwingend erforderlich, daß stets der gesamte Datenträger abgespielt wird. Es kann ausreichend sein, wenn aufeinanderfolgend stets andere Bereiche geprüft werden. Nach einer vorgegebenen Anzahl der getesteten Datenträger ist dann der gesamte zu prüfende Bereich des Datenträgers und somit die gesamte Preßmatrize einmal geprüft worden. Somit können Preßfehler ebenfalls erkannt werden. Es kann zur Überprüfung des Preßwerkzeuges auch vorgesehen werden, daß fehlerhafte Datenträger, die bereits in der elektrischen Prüfstation sind, in Bereichen geprüft werden, in denen diese keine optisch detektierten Fehler besitzen. In diesem Bereich wird dann der Datenträger auf eventuelle Preßfehler hin geprüft. Diese Maßnahme kann mit der erstgenannten Maßnahme abgestimmt werden, so daß das Preßwerkzeug stets überwacht wird. Insgesamt kann damit die Anzahl der zur elektrischen Inspektion geführten Datenträger reduziert werden.

Bei der Parametrisierung kann so vorgegangen werden, daß bei einer größeren Anzahl von optisch detektierten Fehler der gleichen Art, die durch die elektrische Inspektion wieder gut gegeben werden, der oder die betreffenden Parameter durchlässiger eingestellt werden. So kann beispielsweise der Schwellenwert für die Größe eines Kratzers, der optisch als Fehler erkannt wird, hochgesetzt werden. Bei der folgenden Inspektion werden insbesondere solche Datenträger der elektrischen Inspektion unterzogen, die Kratzer in einer Größe zwischen dem alten und dem neuen Parameter aufweisen.

Auch kann es zweckmäßig sein, stets, nach dem Zufallsprinzip oder nach einer bestimmten Anzahl solche Datenträger der elektrischen Inspektion zu unterziehen, die von der optischen Prüfung gerade noch als fehlerfrei gegeben werden. Hierzu können weitere Schwellenwerte für jeden Fehlertyp vorgegeben sein, innerhalb welcher ein Datenträger als gerade noch gut bezeichnet wird. Als gerade noch gut werden vor allem solche Datenträger mit einem Fehler zu bezeichnen sein, dessen Fehlerparameter dicht an den vorbestimmten Parametern liegt. Auch werden solche Datenträger gerade noch gut sein, die einen Fehler aufweisen, dessen erfaßter Fehlerparameter in einem Bereich liegt, der durch einen neuen, durchlässigeren, und einen älteren, weniger durchlässigen Parameter nach einer Parametriesierung gebildet wird. Insgesamt wird hierdurch erreicht, daß die Parametrisierung des Systems laufend überwacht wird.

Die Vorrichtung zum Prüfen von optischen Datenträgern gemäß der Erfindung weist wenigstens eine optische Prüfstation auf, in welcher die Datenträger jeweils wenigstens einer optischen Inspektion unterzogen und optisch detektierbare Fehler erkannt werden. Es ist zudem wenigstens eine elektrische Prüfstation vorhanden, in welcher der betreffende Datenträger bei wenigstens einem optisch detektierten Fehler zumindest im Bereich des detektierten Fehlers auf seine Funktion geprüft wird.

Zweckmäßig ist es, wenn wenigstens ein Zwischenspeicher vorhanden ist, in dem zumindest die Datenträger mit einem optisch detektierten Fehler gesammelt werden, die während einer elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Prüfstation durchlaufen. Gemäß einer weitergehenden Ausführungsform der Erfindung sind wenigstens zwei Zwischenspeicher vorhanden, in denen die Datenträger mit einem optisch detektierten Fehler gesammelt werden, die während einer elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Prüfstation durchlaufen, wobei in dem einen Zwischenspeicher nur die Datenträger gesammelt werden, die den gleichen oder zumindest ähnlichen Fehler aufweisen, wie der gerade in der elektrischen Prüfeinrichtung befindliche Datenträger.

Die Datenträger werden in der Regel von einem Transportmittel zu der optischen Prüfstation gebracht. Grundsätzlich kann vorgesehen werden, daß dieses Transportmittel auch die elektrische Prüfstation anfährt, und daß der Datenträger nur bei Bedarf abgenommen und geprüft wird. Es können aber auch separate Handhabungsmittel vorhanden sein, die den Datenträger von der optischen Prüfstation entweder zur elektrischen Prüfstation oder zum Zwischenspeicher transportieren. Die elektrische Prüfung findet in einem parallelen Prozeß mit einem unterschiedlichen Zeittakt statt, so daß dieses separate Handling der betreffenden Datenträger zweckmäßig ist. Das Handhabungsmittel kann den gleichen Takt wie das Transportmittel aufweisen. Auch können Handhabungsmittel vorgesehen werden, um den Zwischenspeicher zu entleeren oder die darin vorhanden Datenträger dem laufenden Transportmittel zuzuführen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm des Prüfablaufs gemäß der Erfindung

Fig. 2 ein Blockdiagramm der Parametrisierung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung und

Fig. 3 ein Blockdiagramm des Prüfablaufs gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung.

In Fig. 1 ist ein möglicher Ablauf der Prüfung von optischen Datenträgern dargestellt. Die Datenträger werden mit einem nicht gezeigten Transportmittel der optischen Prüfstation 11 zugeführt. In der optischen Prüfstation wird der Datenträger abgetastet, und es werden entsprechende Fehler anhand von vorgebbaren Kriterien und Parametern erkannt. Welche optische Meßverfahren eingesetzt werden, ist grundsätzlich beliebig. Auch ist es möglich, mehrere optische Prüfstationen nebeneinander oder hintereinander vorzusehen. Auch kann zwischen zwei Prüfstationen oder zwischen der optischen und elektrischen Prüfstation ein weiterer Verarbeitungsschritt vorgesehen sein. Am Ende der optischen Prüfung wird im Schritt 12 des Ablaufs abgefragt, ob ein optisch erfaßter Fehler vorliegt oder nicht. Liegt kein Fehler vor und ist der Datenträger in Ordnung (j) wird der Datenträger für GUT (OK) befunden und dem Herstellungsprozeß wieder zugeführt.

Wenn ein optisch erfaßter Fehler vorliegt (n), wird im Schritt 13 abgefragt, ob dieser Fehler einer elektrischen Inspektion zugeführt werden soll (j). Es kann hier vorgesehen werden, daß alle Datenträger mit einem optisch erfaßten Fehler der elektrischen Inspektion zugeführt werden. Es kann aber auch eine Auswahl stattfinden derart, daß Datenträger nur mit bestimmten Fehlerarten, Fehlergrößen oder dergleichen der elektrischen Prüfstation 14 zugeführt werden. Die anderen Datenträger werden unmittelbar als SCHLECHT (nOK) deklariert und sind Ausschuß.

In der elektrischen Prüfstation 14 wird der Datenträger auf seine technische Funktion hin untersucht. Die elektrische Prüfstation umfaßt hier in der Regel ein Abspielgerät für solche Datenträger. Es kann vorgesehen werden, daß die technische Funktion nur in dem Bereich erfolgt, in dem der optisch erfaßte Fehler liegt. Eine Zuordnung des geometrischen Ortes des Fehlers zu der entsprechenden Abspielstelle ist ohne weiteres möglich.

Nach der elektrischen Prüfung wird im Schritt 15 abgefragt, ob der Datenträger seine Funktion erfüllt oder nicht. Im letzten Fall (n) ist der Datenträger endgültig Ausschuß. Im anderen Fall (j) wird er als GUT deklariert und dem laufenden Prozeß wieder zugeführt. Hier kann es zweckmäßig sein, wenn aufgrund des Ergebnisses der elektrischen Prüfung die Parameter der optischen Prüfung neu eingestellt werden. Dies insbesondere dann, wenn gleichartige optisch erfaßte Fehler nie zu einem Funktionsversagen führen. Hierzu können entsprechende Datenspeicher vorgesehen werden, die eine derartige Auswertung ermöglichen. Die entsprechende Signalverbindung 16 ist in der Fig. 1 gestrichelt dargestellt.

In Fig. 2 ist die automatische Parametrisierung der optischen Prüfstation durch das Ergebnis in der elektrischen Prüfstation 14 schematisch dargestellt. Der Prüfablauf entspricht dem gemäß Fig. 1, und es sind gleiche und gleichwirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen. Nach dem Schritt 12 steht fest, ob der Datenträger nach der optischen Prüfung als GUT oder SCHLECHT deklariert worden ist. Im Schritt 13 wird gefragt, ob eine elektrische Prüfung durchgeführt werden soll (j). Dies kann bei bestimmten Fehlertypen oder Fehlergrößen der Fall sein. Es kann aber auch vorgesehen werden, daß nach einer bestimmten Anzahl von Datenträgern oder nach dem Zufallsprinzip ein Datenträger der elektrischen Inspektion 14 zugeführt wird. Andernfalls (n) wird der Datenträger unmittelbar als SCHLECHT (nOK) deklariert.

Wird im Schritt 12 der Datenträger als GUT deklariert, wird in einem zusätzlichen Schritt 23 abgefragt, ob dennoch eine elektrische Inspektion erfolgen soll (j). Dies kann dann der Fall sein, wenn der Datenträger gerade noch gut ist, was anhand eines weiteren Schwellenwert- oder Parameterbereichs erkannt werden kann, innerhalb dessen sich ein optische erfaßter Fehler befindet. Ein Parameter oder ein Schwellenwert kann durch das Signal 16 verändert werden, wenn Datenträger mit bestimmten optisch erfaßten Fehler nach der elektrischen Inspektion wieder gut gegeben werden. Es wird hierdurch ein Schwellenwert- oder Parameterbereich zwischen den Ursprungswert und dem neuen Wert gebildet. Liegt ein Fehler innerhalb dieses Bereichs kann nach dem Schritt 23 stets eine elektrische Inspektion veranlaßt werden. Es kann zudem im Schritt 23 vorgesehen werden, daß nach einer bestimmten Anzahl von Datenträgern oder nach dem Zufallsprinzip ein Datenträger der elektrischen Inspektion zugeführt wird. Andernfalls wird der Datenträger unmittelbar GUT (OK) gegeben.

Im Schritt 15 nach der elektrischen Inspektion 14 steht fest, ob der Datenträger endgültig Ausschuß (n) ist oder nicht (j). In beiden Fällen kann das Ergebnis zur Parametrisierung der optischen Prüfung herangezogen werden. Die betreffenden Signalleitungen 16, 24 sind in der Zeichnung gestrichelt dargestellt. Eine Verfeinerung des Parameters durch das Signal 24 bei einem schlechten Datenträger wird insbesondere dann erforderlich werden, wenn diese schlechten Datenträger aus der Menge Datenträger stammen, die seitens der optischen Prüfung gerade noch gut gegeben worden sind oder Fehlertypen oder -größen aufweisen, für die der Parameter vorher durch das Signal 16 durchlässiger eingestellt worden ist.

In Fig. 3 ist eine erweiterte Ausführungsform des Prüfverfahrens gegenüber dem gemäß Fig. 1 gezeigt, und es sind gleiche Elemente oder Schritte mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die elektrische Prüfung in der Prüfstation 14 wird in der Regel länger dauern als eine optische Prüfung eines Datenträgers. Es werden daher in der Prüfzeit eines Datenträgers in der elektrischen Prüfstation mehrere Datenträger die optische Prüfstation 11 durchlaufen. Sofern in dieser Zeit Datenträger mit optisch erfaßten Fehlern auftauchen, wäre ein anschließender elektrischer Test nicht möglich.

Nach dem Abfrageschritt 13 steht fest, ob für diesen Datenträger eine elektrische Prüfung erfolgen soll. Im Schritt 17 wird abgefragt, ob die elektrische Prüfstation belegt (j) ist oder nicht (n). Im letzten Fall wird der Datenträger der elektrischen Prüfstation 14 zugeführt.

Im anderen Fall kann vorgesehen werden, daß der Datenträger einem Zwischenspeicher 18 zugeführt wird. Die darin befindlichen Datenträger werden dann nach und nach der elektrischen Prüfung unterzogen. Dazu wird taktweise im Schritt 19 abgefragt, ob die elektrische Prüfstation frei ist oder nicht. Falls ja (j), wird ein Datenträger aus dem Speicher 18 genommen, falls nein (n), bleibt der Speicher unverändert.

Bei der in der Fig. 3 gezeigten Ausführungsform ist vor dem Zwischenspeicher 18 noch ein weiterer Abfrageschritt 20 vorhanden. Hier wird abgefragt, ob der optisch erfaßte Fehler dem Fehler entspricht, der auch auf dem Datenträger vorhanden ist, der gerade in der elektrischen Prüfstation geprüft wird. Wenn ja (j), wird dieser Datenträger einem anderen Zwischenspeicher 21 zugeführt, in dem solche Datenträger gesammelt werden, die den gleichen Fehler aufweisen.

Am Ende der elektrischen Prüfung wird im Schritt 15 abgefragt, ob der Datenträger die technische Funktion erfüllt oder nicht. Wenn nein (n), wird dieser Datenträger als SCHLECHT (nOK) deklariert und ist Ausschuß. Dann wird zudem ein Signal an den Zwischenspeicher 21 gegeben, daß alle darin befindlichen Datenträger. Ausschuß sind und im Schritt 22 aussortiert werden. Im anderen Falle (j), also wenn der Datenträger funktioniert, wird zum einen dieser Datenträger dem Herstellungsprozeß wieder zugeführt. Zum anderen wird ein Signal an den Zwischenspeicher 21 gegeben, daß alle darin befindlichen Datenträger GUT (OK) sind und im Schritt 22 dem Herstellungsprozeß wieder zugeführt werden können.

Mit diesen Maßnahmen ist eine effektive Einbindung einer elektrischen Inspektion in einen laufenden Herstellungsprozeß mit optischer Inspektion möglich. Die Anzahl der elektrisch zu überprüfenden Datenträger kann auf ein Minimum reduziert werden, ohne daß die Gefahr besteht, zuviel Ausschuß zu erzeugen oder fehlerhafte Datenträger nicht zu erkennen. Durch die Rückmeldung des Prüfergebnisses der elektrischen Inspektion zur Parametrisierung der optischen Inspektion wird zudem eine Optimierung des gesamten Prüfprozesses bewirkt.

Claims (20)

1. Verfahren zum Prüfen von optischen Datenträgern, bei welchem die Datenträger jeweils wenigstens einer optischen Inspektion (11) unterzogen und optisch detektierbare Fehler erkannt werden, dadurch gekennzeichnet, daß bei wenigstens einem optisch detektierten Fehler der betreffende Datenträger einer elektrischen Inspektion (14) unterzogen und zumindest im Bereich des detektierten Fehlers auf seine Funktion geprüft wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Inspektion nur bei vorbestimmten optisch detektierten Fehlertypen und/oder Fehlergrößen erfolgt.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Inspektion nur in dem Bereich und/oder der Umgebung des optisch detektierten Fehlers erfolgt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem optisch detektierten Fehler der Datenträger wieder gut gegeben wird, wenn die elektrische Inspektion keinen Fehler detektiert.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die optische und elektrische Inspektion in einem laufenden Produktionsprozeß erfolgt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Datenträger, die während der elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Inspektion durchlaufen und wenigstens einen optisch detektierten Fehler aufweisen, markiert oder in einem Zwischenspeicher (18) gesammelt werden und nach der elektrischen Inspektion des einen Datenträgers die elektrische Inspektion durchlaufen.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Datenträger, die während der elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Inspektion durchlaufen und den näherungsweise gleichen oder ähnlichen optischen detektierten Fehler aufweisen, markiert oder in einem Zwischenspeicher (21) gesammelt werden und nach der elektrischen Inspektion des einen Datenträgers in Abhängigkeit des Ergebnisses als Ausschuß oder als gut deklariert werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die von der elektrischen Inspektion als gut deklarierten Datenträger dem laufenden Produktionsprozeß wieder zugeführt werden.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß nach einer vorbestimmbaren Zeit und/oder einer vorbestimmbaren Anzahl von optisch geprüften Datenträgern und/oder nach einem Zufallsprinzip Datenträger auch ohne optisch detektierten Fehler der elektrischen Inspektion zugeführt werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß nach einer vorbestimmbaren Zeit und/oder einer vorbestimmbaren Anzahl von optisch geprüften Datenträgern und/oder nach einem Zufallsprinzip Datenträger auch mit solchen optisch detektierten Fehlern, die unmittelbar Ausschuß darstellen, der elektrischen Prüfung zugeführt werden.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Inspektion aufeinanderfolgender Datenträger aufeinanderfolgend an unterschiedlichen Abschnitten erfolgt, so daß nach einer vorbestimmten Anzahl von elektrisch geprüften Datenträgern der gesamte zu prüfende Bereich aufeinanderfolgend elektrisch erfaßt und geprüft worden ist.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Ergebnis der elektrischen Inspektion zur Parametrisierung der optischen Inspektion herangezogen wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verfeinerung wenigstens eines Parameters zu einer weniger durchlässigen Inspektion dann erfolgt, wenn wenigstens ein gerader noch guter Datenträger und/oder wenigstens ein Datenträger mit einem Fehler, der aufgrund einer vorherigen Veränderung des betreffenden Parameters nach der optischen Prüfung als gut gegeben wird, nach der elektrischen Prüfung als schlecht deklariert wird.

14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vergröberung wenigstens eines Parameters zu einer durchlässigeren Inspektion dann erfolgt, wenn wenigstens ein Datenträger, vorzugsweise mehrere Datenträger, die einen gleichartigen optisch detektierten Fehler aufweisen und als schlecht deklariert sind, nach der elektrischen Prüfung wieder gut gegeben werden.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest teilweise solche Datenträger der elektrischen Prüfung unterzogen werden, die seitens der optischen Prüfung gerade noch gut gegeben worden sind und/oder wenigstens einen solchen Fehler aufweisen, dessen Parameter in einem Bereich liegen, der durch einen aufgrund der Parametrisierung neuen Parameter und einen alten Parameter gebildet wird.

16. Vorrichtung zum Prüfen von optischen Datenträgern mit wenigstens einer optischen Prüfstation (11), in welcher die Datenträger jeweils wenigstens einer optischen Inspektion unterzogen und optisch detektierbare Fehler erkannt werden, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine elektrische Prüfstation (14) vorhanden ist, in welcher der betreffende Datenträger bei wenigstens einem optisch detektierten Fehler zumindest im Bereich des detektierten Fehlers auf seine Funktion geprüft wird.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Zwischenspeicher (18) vorhanden ist, in dem zumindest die Datenträger mit einem optisch detektierten Fehler gesammelt werden, die während einer elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Prüfstation durchlaufen.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei Zwischenspeicher (18, 21) vorhanden sind, in denen die Datenträger mit einem optisch detektierten Fehler gesammelt werden, die während einer elektrischen Inspektion eines Datenträgers die optische Prüfstation durchlaufen, wobei in dem einen Zwischenspeicher (21) nur die Datenträger gesammelt werden, die den gleichen oder zumindest ähnlichen Fehler aufweisen, wie der gerade in der elektrischen Prüfeinrichtung befindliche Datenträger.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß Handhabungsmittel vorhanden sind, die den Datenträger von der optischen Prüfstation entweder zur elektrischen Prüfstation oder zum Zwischenspeicher transportieren.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß Handhabungsmittel vorgesehen sind, um den Zwischenspeicher zu entleeren oder die darin vorhandenen Datenträger einem laufenden Transportmittel zuzuführen.