CN211687228U - 一种硅片夹层配置机构 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 45
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 36
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 36
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 101
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 claims abstract description 18
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 22
- 239000011088 parchment paper Substances 0.000 claims description 17
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 10
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 claims description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 4
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片夹层配置机构,包括机架、辅料提升装置、备料旋转机械手、夹层备料转台、硫酸纸配料台、提升器、珍珠棉供料旋转平台,辅料提升装置、备料旋转机械手、夹层备料转台、硫酸纸配料台、提升器、珍珠棉供料旋转平台均安装于机架上,实现了夹层配置机构的一体化。其中,通过备料旋转机械手配合程序进行转动,将不同的备料按不同的先后顺序吸取至夹层备料转台上,实现不同类型夹层的配置,可有效代替繁琐的人工配置。本实用新型硅片夹层配置机构,具有人员依赖性低、硅片夹层配置速率高的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉硅片装盒设备,具体涉及一种硅片夹层配置机构。
背景技术
在由于硅片属于易碎品,在运输途中为了避免损坏,所以采用泡沫盒将硅片装起来,每盒硅片之间用泡棉隔起来,最外层再各放一片瓦楞纸板,这样硅片在泡沫盒里面相对是静止的,在运送途中有泡棉的缓冲保护避免了碰撞损坏,由于这种“夹心”形式的装盒方式比较繁琐,目前传统的装盒还是采用人工方式装盒,装盒效率不高,人员依赖性高,增加装盒成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对上述问题,提供一种硅片夹层配置机构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:一种硅片夹层配置机构,其中:包括机架、辅料提升装置、备料旋转机械手、夹层备料转台、硫酸纸配料台、提升器、珍珠棉供料旋转平台,辅料提升装置、备料旋转机械手、夹层备料转台、硫酸纸配料台、提升器、珍珠棉供料旋转平台均设置于机架上;
机架上设有配料台,配料台的两边分别设置有提升器,备料旋转机械手、夹层备料转台、硫酸纸配料台均设置于配料台台面上;
辅料提升装置由料夹、提升器组成,料夹安装于提升器上;提升器由外框、旋转电机、旋转轮、同步带、提升板组成,旋转电机安装于外框外部,外框的内顶面与内底面相对且转动固定有旋转轮,两个旋转轮之间通过同步带转动连接,提升板固定于同步带上,旋转电机的输出端连接一个旋转轮;
备料旋转机械手由支撑架一、旋转电机一、旋转工作台、升降气缸、吸盘组成,支撑架一固定配料台台面上,支撑架一的一侧安装有旋转电机一,旋转电机一的上方连接有旋转工作台,旋转工作台转动连接旋转手臂的一端,旋转手臂的另一端连接升降气缸,升降气缸的底面连接吸盘;
夹层备料转台由旋转电机二、旋转台、调节架,旋转台转动安装于旋转电机二上,调节架活动安装于旋转台的四角;
珍珠棉供料旋转平台包括支撑架、驱动气缸、插销气缸、旋转挂台,支撑架固定于机架上,驱动气缸安装于支撑架上,插销气缸安装于驱动气缸的活塞杆一端,旋转挂台转动安装于支撑架上,且位于驱动气缸、插销气缸下方,旋转挂台上设有若干插销孔,插销孔与插销气缸上的插销相配合;旋转挂台上环绕安装有料夹,料夹与提升器相配合。
作为本实用新型的进一步优化方案,外框的内部还固定有两根导柱,导柱分别固定于同步带的两侧,提升板的两侧分别安装有直线轴承,直线轴承滑动安装于导柱上。通过设置导柱与直线轴承,保证提升板在升降过程中保持稳定。
作为本实用新型的进一步优化方案,在每个调节架的一侧还设有一个压紧机构,压紧机构安装于旋转台上。通过设置压紧机构,保证夹层在配置好以后,旋转台转动过程中夹层不会飘走。
进一步地,压紧机构由顶升架、顶升气缸、顶升导柱、压板组成,顶升架一端固定于旋转台台面上,压板的一端转动安装于顶升架的另一端,顶升导柱的一端穿过旋转台固定于压板上,顶升导柱的另一端连接安装于旋转台下方的顶升气缸上。
作为本实用新型的进一步优化方案,支撑架的架臂上还安装有锁止气缸,锁止气缸上的插销与插销孔相配合。通过设置锁止气缸,将锁止气缸上的插销插入插销孔中,保证料夹在上料过程不会发生转动。
作为本实用新型的进一步优化方案,提升器上设有料位感应器,所述料位感应器电性连接旋转电机。通过设置料位感应器,保证对材料的实时监测,防止出现材料供应不足的现象。
本实用新型的有益效果是:
通过设置辅料提升装置、夹层备料转台、硫酸纸配料台、珍珠棉供料旋转平台,实现了材料配置设备的的一体化。
通过设置备料旋转机械手,实现了各种材料的抓取与配置。
通过设置压紧机构,保证夹层在配置好以后,旋转台转动过程中夹层不会飘走。
通过设置导柱与直线轴承,保证提升板在升降过程中保持稳定。
通过设置锁止气缸,将锁止气缸上的插销插入插销孔中,保证料夹在上料过程不会发生转动。
通过设置料位感应器,保证对材料的实时监测,防止出现材料供应不足的现象。
附图说明
图1是本实用新型硅片夹层配置机构结构示意图;
图2是本实用新型硅片夹层配置机构的备料旋转机械手结构示意图;
图3是本实用新型硅片夹层配置机构的夹层备料转台结构示意图;
图4是本实用新型硅片夹层配置机构的夹层备料转台侧视图;
图5是本实用新型硅片夹层配置机构的提升器结构示意图;
图6是本实用新型硅片夹层配置机构的提升器结构主视图;
图7是本实用新型硅片夹层配置机构的珍珠棉供料旋转平台结构示意图;
图8是本实用新型硅片夹层配置机构的料架结构示意图;
1-机架、2-辅料提升装置、3-备料旋转机械手、4-夹层备料转台、5- 硫酸纸配料台、6-提升器、7-珍珠棉供料旋转平台、8-料架、11-配料台、 31-支撑架一、32-旋转电机一、33-旋转工作台、34-升降气缸、35-吸盘、 41-旋转电机二、42-旋转台、43-调节架、61-外框、62-旋转电机、63-旋转轮、64-同步带、65-提升板、66-导柱、67-直线轴承、71-支撑架、72-驱动气缸、73-插销气缸、74-旋转挂台、75-锁止气缸、421-压紧机构、741- 插销孔、4211-顶升架、4212-顶升气缸、4213-顶升导柱、4214-压板。
具体实施方式
下面结合附图对本申请作进一步详细描述,有必要在此指出的是,以下具体实施方式只用于对本申请进行进一步的说明,不能理解为对本申请保护范围的限制,该领域的技术人员可以根据上述申请内容对本申请作出一些非本质的改进和调整。
实施例1
在硅片装盒过程中,需要将一定数量的硅片进行分隔,因此需要用到不同种类的夹层,配置夹层的材料包括瓦楞板、硫酸纸、珍珠棉,其中硅片只可与硫酸纸接触,因此需要三种不同的夹层,由上至下包括瓦楞板、珍珠棉、硫酸纸,硫酸纸、珍珠棉、硫酸纸,硫酸纸、珍珠棉、瓦楞板,人工配置费时费力,因此设计如图1所示的一种硅片夹层配置机构,包括机架1、辅料提升装置2、备料旋转机械手3、夹层备料转台4、硫酸纸配料台5、提升器6、珍珠棉供料旋转平台7,辅料提升装置2、备料旋转机械手3、夹层备料转台4、硫酸纸配料台5、提升器6、珍珠棉供料旋转平台7均设置于机架1上,实现夹层配置的自动化,硅片夹层配置机构的一体化。其中,通过备料旋转机械手3配合程序进行转动,将不同的备料按不同的先后顺序吸取至夹层备料转台4上,实现不同类型夹层的配置,可有效代替繁琐的人工配置。
机架1上设有配料台11,配料台11的两边分别设置有提升器6,备料旋转机械手3、夹层备料转台4、硫酸纸配料台5均设置于配料台11台面上,旋转机械手3安装于台面的中部,方便转动,实现吸取夹层进行配料。
辅料提升装置2由料夹8、提升器6组成,料夹8安装于提升器6上,如图8所示为料夹8。如图5、图6所示,提升器6由外框61、旋转电机 62、旋转轮63、同步带64、提升板65组成,旋转电机62安装于外框61 的外部,外框61的内顶面与内底面相对且转动固定有旋转轮63,两个旋转轮63之间通过同步带64转动连接,提升板65固定于同步带64上,可通过转轮63转动实现提升板65的上下移动,旋转电机62的输出端连接一个旋转轮63,可为转轮63提供转动力。
如图2所述,备料旋转机械手3由支撑架一31、旋转电机一32、旋转工作台33、升降气缸34、吸盘35组成,支撑架一31固定配料台11台面上,支撑架一31的一侧安装有旋转电机一32,旋转电机一32的上方连接有旋转工作台33,旋转工作台33转动连接旋转手臂的一端,旋转手臂的另一端连接升降气缸34,升降气缸34的底面连接吸盘35。通过旋转电机一32驱动旋转工作台33转动,再由升降气缸34驱动吸盘35吸取不同种类的夹层。
如图3、图4所示,夹层备料转台4由旋转电机二41、旋转台42、调节架43,旋转台42转动安装于旋转电机二41上,调节架43活动安装于旋转台42的四角。当需要不同种类的成品夹层时,备料旋转机械手3转动,就近夹取所述材料,夹层配置完成后,旋转台42转动,提供空置的调节架 43。
如图7所示,珍珠棉供料旋转平台7包括支撑架71、驱动气缸72、插销气缸73、旋转挂台74,支撑架71固定于机架1上,与配料台11相邻。驱动气缸72安装于支撑架71上,插销气缸73安装于驱动气缸72的活塞杆一端,可由驱动气缸72驱动发生位移。旋转挂台74转动安装于支撑架上,且位于驱动气缸72、插销气缸73下方,旋转挂台74上设有若干插销孔741,插销孔741与插销气缸73上的插销相配合。旋转挂台74上环绕安装有料夹8,料夹8与提升器6相配合,且可以进行自动更换料夹8。工作时,由工人将各个料夹8装满,提升器6不断上升为备料旋转机械手3 提供珍珠棉,当一个料夹8上的珍珠棉用完时,提升器6回到原来最低位置,插销气缸73上的插销插入插销孔741内,驱动气缸72驱动插销气缸 73运动,从而使旋转挂台74转动,将装有珍珠棉的料夹8对齐至提升器6 上,插销气缸73上的插销收回,提升器6重新工作。
工作时,辅料提升装置2、珍珠棉供料旋转平台7上的提升器6工作,备料旋转机械手3由程序控制,按照就近原则抓取辅料提升装置2、备料旋转机械手3、硫酸纸配料台5、珍珠棉供料旋转平台7上的备料,配置完成一种后,夹层备料转台4上的压紧机构421压紧夹层,等待使用者取走。
实施例2
如实施例1所示的一种硅片夹层配置机构,其区别仅在于,外框61的内部还固定有两根导柱66,导柱66分别固定于同步带64的两侧,提升板 65的两侧分别安装有直线轴承67,直线轴承67滑动安装于导柱66上。通过设置导柱66与直线轴承67,保证提升板65在升降过程中保持稳定。
实施例3
如实施例1所示的一种硅片夹层配置机构,其区别仅在于,在每个调节架43的一侧还设有一个压紧机构421,压紧机构421安装于旋转台42 上,压紧机构421用于压紧配置的夹层,保证夹层在配置好以后,旋转台转动过程中夹层不会飘走。
压紧机构421由顶升架4211、顶升气缸4212、顶升导柱4213、压板 4214组成,顶升架4211一端固定于旋转台42台面上,压板4214的一端转动安装于顶升架4211的另一端,顶升导柱4213的一端穿过旋转台42固定于压板4214上,顶升导柱4213的另一端连接安装于旋转台42下方的顶升气缸4212上。工作时,由顶升气缸4212拉动顶升导柱4213,顶升导柱4213带动压板4214上下运动,实现对夹层的压紧。
实施例4
如实施例1所示的一种硅片夹层配置机构,其区别仅在于,支撑架71 的架臂上还安装有锁止气缸75,锁止气缸75上的插销与插销孔741相配合。通过设置锁止气缸75,将锁止气缸75上的插销插入插销孔中,保证料夹在上料过程不会发生转动。
实施例5
如实施例1所示的一种硅片夹层配置机构,其区别仅在于,提升器6 上设有料位感应器,所述料位感应器电性连接旋转电机62。通过设置料位感应器,保证对材料的实时监测,防止出现材料供应不足的现象。
上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述,并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下,本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进,均应落入到本实用新型的保护范围,本实用新型请求保护的技术内容,已经全部记载在权利要求书中。
Claims (6)
1.一种硅片夹层配置机构,其特征在于:包括机架(1)、辅料提升装置(2)、备料旋转机械手(3)、夹层备料转台(4)、硫酸纸配料台(5)、提升器(6)、珍珠棉供料旋转平台(7),辅料提升装置(2)、备料旋转机械手(3)、夹层备料转台(4)、硫酸纸配料台(5)、提升器(6)、珍珠棉供料旋转平台(7)均设置于机架(1)上;
机架(1)上设有配料台(11),配料台(11)的两边分别设置有提升器(6),备料旋转机械手(3)、夹层备料转台(4)、硫酸纸配料台(5)均设置于配料台(11)台面上;
辅料提升装置(2)由料夹(8)、提升器(6)组成,料夹(8)安装于提升器(6)上;提升器(6)由外框(61)、旋转电机(62)、旋转轮(63)、同步带(64)、提升板(65)组成,旋转电机(62)安装于外框(61)外部,外框(61)的内顶面与内底面相对且转动固定有旋转轮(63),两个旋转轮(63)之间通过同步带(64)转动连接,提升板(65)固定于同步带(64)上,旋转电机(62)的输出端连接一个旋转轮(63);
备料旋转机械手(3)由支撑架一(31)、旋转电机一(32)、旋转工作台(33)、升降气缸(34)、吸盘(35)组成,支撑架一(31)固定配料台(11)台面上,支撑架一(31)的一侧安装有旋转电机一(32),旋转电机一(32)的上方连接有旋转工作台(33),旋转工作台(33)转动连接旋转手臂的一端,旋转手臂的另一端连接升降气缸(34),升降气缸(34)的底面连接吸盘(35);
夹层备料转台(4)由旋转电机二(41)、旋转台(42)、调节架(43),旋转台(42)转动安装于旋转电机二(41)上,调节架(43)活动安装于旋转台(42)的四角;
珍珠棉供料旋转平台(7)包括支撑架(71)、驱动气缸(72)、插销气缸(73)、旋转挂台(74),支撑架(71)固定于机架(1)上,驱动气缸(72)安装于支撑架(71)上,插销气缸(73)安装于驱动气缸(72)的活塞杆一端,旋转挂台(74)转动安装于支撑架上,且位于驱动气缸(72)、插销气缸(73)下方,旋转挂台(74)上设有若干插销孔(741),插销孔(741)与插销气缸(73)上的插销相配合;旋转挂台(74)上环绕安装有料夹(8),料夹(8)与提升器(6)相配合。
2.如权利要求1所述的一种硅片夹层配置机构,其特征在于:外框(61)的内部还固定有两根导柱(66),导柱(66)分别固定于同步带(64)的两侧,提升板(65)的两侧分别安装有直线轴承(67),直线轴承(67)滑动安装于导柱(66)上。
3.如权利要求1所述的一种硅片夹层配置机构,其特征在于:在每个调节架(43)的一侧还设有一个压紧机构(421),压紧机构(421)安装于旋转台(42)上。
4.如权利要求3所述的一种硅片夹层配置机构,其特征在于:压紧机构(421)由顶升架(4211)、顶升气缸(4212)、顶升导柱(4213)、压板(4214)组成,顶升架(4211)一端固定于旋转台(42) 台面上,压板(4214)的一端转动安装于顶升架(4211)的另一端,顶升导柱(4213)的一端穿过旋转台(42)固定于压板(4214)上,顶升导柱(4213)的另一端连接安装于旋转台(42)下方的顶升气缸(4212)上。
5.如权利要求1所述的一种硅片夹层配置机构,其特征在于:支撑架(71)的架臂上还安装有锁止气缸(75),锁止气缸(75)上的插销与插销孔(741)相配合。
6.如权利要求1所述的一种硅片夹层配置机构,其特征在于:提升器(6)上设有料位感应器,所述料位感应器电性连接旋转电机(62)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201922167982.4U CN211687228U (zh) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 一种硅片夹层配置机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201922167982.4U CN211687228U (zh) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 一种硅片夹层配置机构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN211687228U true CN211687228U (zh) | 2020-10-16 |
Family
ID=72789866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201922167982.4U Withdrawn - After Issue CN211687228U (zh) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 一种硅片夹层配置机构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN211687228U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110963279A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-07 | 杭州中为光电技术有限公司 | 硅片夹层配置机构 |
-
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110963279A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-07 | 杭州中为光电技术有限公司 | 硅片夹层配置机构 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20201016 Effective date of abandoning: 20240712 |
|
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20201016 Effective date of abandoning: 20240712 |
|
AV01 | Patent right actively abandoned | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |