CN219324479U - 用于集成电路产品的上料装置、分选机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及用于集成电路产品的上料装置和分选机。该上料装置包括：供料模块，具有依次排列的供料位、识别位及取料位；视觉识别系统，沿第一方向与供料模块配合设置，视觉识别系统对应于供料模块的识别位；取放料模块，沿第一方向与供料模块配合设置，取放料模块对应于供料模块的取料位；以及收空盘模块，沿第一方向与供料模块配合设置，收空盘模块对应于供料模块的识别位，视觉识别系统沿第一方向与收空盘模块错位。该上料装置可以实现视觉识别，继而有助于实现自动化上料，该上料装置具有空间利用率较高并具有较高的流转效率。

Description

用于集成电路产品的上料装置、分选机

技术领域

本实用新型涉及自动化设备技术领域，特别是涉及用于集成电路产品的上料装置、分选机。

背景技术

集成电路(IC)产品在制造后还需要经过测试、筛选、分装等工序。对集成电路产品的测试可利用自动测试机(ATE)实现，得知经过测试的集成电路产品的性能后，通常期望将性能属于同一等级的集成电路产品分入同一组(BIN)。

在批量化生产的过程中，不同工序可由不同的设备实现，继而每个设备都可能需要配备符合其所执行工序的上料装置。例如期望实现对集成电路产品进行自动化分组，当面向分选工序的分选机所要配置的分组较多时，往往需要设置较长的流水线来上料。同时，批量的集成电路产品会借助料盘等盛放器具盛放，测试的集成电路产品被取光后会造成一些空料盘。这些较长的流水线会占用厂房空间，增加料盘运输时间，降低流转效率。

实用新型内容

基于此，有必要针对集成电路产品的高效自动化分装问题，提供一种用于集成电路产品的上料装置、分选机。

本实用新型在一方面提供一种用于集成电路产品的上料装置，该上料装置包括：供料模块，具有依次排列的供料位、识别位及取料位；视觉识别系统，沿第一方向与供料模块配合设置，视觉识别系统对应于供料模块的识别位；取放料模块，沿第一方向与供料模块配合设置，取放料模块对应于供料模块的取料位；以及收空盘模块，沿第一方向与供料模块配合设置，收空盘模块对应于供料模块的识别位，视觉识别系统沿第一方向与收空盘模块错位。

本实用新型提供的用于集成电路的上料装置，通过将收空盘模块集成在识别位，使得供料模块的结构精巧，布置空间紧凑；盛放有待分组集成电路产品的料盘的被搬运路线的集成度高，识别位的时间利用率和空间利用率高，取料位至供料位的总距离也较短。该上料装置构造紧凑，空间利用率高，流转效率高，物料运输时间短。此外，该上料装置可实现视觉识别、有助于自动分选。

在一些实施方式中，视觉识别系统包括避让动力机构、受避让动力机构驱动并沿第一方向可移动的相机以及与相机沿第一方向相对设置的可调节光源。

如此设置，可以提升视觉识别系统的准确性又能提高空间利用效率，保证上料装置安全运行。

在一些实施方式中，供料模块包括供料托盘机构、行车机构及第一料盘输送机构。示例性地，供料托盘机构位于供料位，供料托盘机构包括：供料顶升动力机构、受供料顶升动力机构驱动并沿第一方向可移动的供料托板以及送料分盘机构，供料托板位于供料位，送料分盘机构沿第一方向与供料托板配合设置，送料分盘机构适于承载至少一个用于盛放集成电路产品的料盘，并用于将最靠近供料托板的料盘与其余料盘分离。示例性地，行车机构的有效行程经过供料位和识别位，行车机构包括：行车传动动力机构、受行车传动动力机构驱动的行车同步带、行车升降机构及连接于行车同步带的行车托盘，行车托盘的行程经过供料位和识别位，并受行车升降机构驱动地沿第一方向可移动。示例性地，第一料盘输送机构的有效行程与行车机构的有效行程搭接，且第一料盘输送机构的有效行程经过取料位，第一料盘输送机构包括：第一输送动力机构和受第一输送动力机构驱动的第一输送同步带，第一输送同步带用于实现第一料盘输送机构的有效行程。

如此设置，供料托盘机构、行车机构及第一料盘输送机构能够接力地实现供料模块的功能，减少机构等待时间、提高运转效率，并可稳定地移动料盘，实现与其他模块或与外部来料良好配合。

在一些实施方式中，取放料模块包括：驱动组件和受驱动组件驱动的机械手组件。示例性地，驱动组件包括第一驱动机构和第二驱动机构，第一驱动机构驱动第二驱动机构，第二驱动机构驱动机械手组件，第一驱动机构的驱动方向与第二驱动机构的驱动方向交叉。示例性地，机械手组件包括：至少两个吸嘴组件、调节组件、至少两个升降组件以及至少两个吸嘴传感器，调节组件用于调节至少一个吸嘴组件与其他吸嘴组件之间的间距，升降组件用于调节对应的吸嘴组件沿第一方向的位置，吸嘴传感器用于检测对应的吸嘴组件沿第一方向的位置。

如此设置，多套升降组件及吸嘴组件可同时或独立进行工作，节省了重复来回取放料行程时间，保证设备每小时产出，可提高分选效率；提高上料装置的柔性上料能力，对不同尺寸的集成电路产品进行拾取；实现单一调节组件控制多工位运动效果，并且实现多个吸嘴组件的同步性，能减少制造成本，并且能保证集成电路产品吸取间距的一致性。

本实用新型在另一方面提供一种用于集成电路产品的分选机，该分选机包括：前述的上料装置；料盘存储模组，其中，收空盘模块具有供料模块和料盘存储模组之间流转的第一有效行程；若干收料模块，其中，上料装置的取放料模块的有效行程经过若干收料模块；供空盘模块，沿第一方向与若干收料模块配合设置，供空盘模块具有料盘存储模组和收料模块之间流转的第二有效行程；以及控制系统，与上料装置、收空盘模块、供空盘模块、取放料模块及视觉识别系统通信连接。

本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机可视觉识别、自动分选，继而实现自动化分组，该分选机具有较好的生产效率。通过设置各个系统的各功能模块，使得各工位紧凑；视觉识别系统与取放料模块分离可避免取放料模块空置等待，同时供、收空盘模块与取放料模块分别运盘与运料，有效地保证了分选机整体具有较高的效率、较高的每小时产出，还可以通过料盘存储模组平衡生产脉动。此外，该分选机的收料模块数量可拓展，适应自动化柔性生产线。

在一些实施方式中，供料位、识别位及取料位的排列方向为第二方向，第二方向与第一方向交叉；收料模块具有沿第二方向排列的第一收料盘位、第一流转位及第一放料位，第一收料盘位和供料位沿第三方向并列设置且二者位于收空盘模块沿第二方向的同一侧，供空盘模块对应第一流转位，取放料模块对应第一放料位。

如此设置，收料模块能够通过供收空盘模组和取放料模块而与料盘存储模组和供料模块良好地耦合，该分选机整体结构紧凑，空间利用率高。

在一些实施方式中，收料模块包括：收料托盘机构和第二料盘输送机构。示例性地，收料托盘机构位于第一收料盘位，收料托盘机构包括：收料顶升动力机构、受收料顶升动力机构驱动并沿第二方向可移动的收料托板及收料集盘机构，收料托板位于第一收料盘位，收料集盘机构沿第一方向与收料托板配合设置，收料集盘机构用于使收料托板传递的用于盛放集成电路产品的料盘单向通过并适于承载至少一个料盘。示例性地，第二料盘输送机构被配置为：具有自第一流转位至第一放料位的第一输送行程，及具有自第一放料位至第一收料盘位的第二输送行程，第二料盘输送机构包括：第二输送动力机构和受第二输送动力机构驱动的第二输送同步带，第二输送同步带用于实现第一输送行程和第二输送行程。

如此设置，该分选机可对每组被分出的集成电路产品进行自动连续的收集，并且可稳定可靠地对料盘进行不同阶段的输送。

在一些实施方式中，分选机还包括手工收料模块。示例性地，取放料模块的有效行程经过手工收料模块。示例性地，供料位、识别位及取料位的排列方向为第二方向，第二方向与第一方向交叉；料盘存储模组包括第一料盘存储模块和第二料盘存储模块，第一料盘存储模块、供料模块、若干收料模块、手工收料模块及第二料盘存储模块沿第三方向依次排列，第三方向交叉于第一方向，第三方向交叉于第二方向。示例性地，收空盘模块的有效行程经过供料模块与第一料盘存储模块；供空盘模块的有效行程经过第二料盘存储模块、手工收料模块及若干收料模块。收空盘模块可供空盘模块可用于构成供收空盘模组。

通过设置两侧的两个料盘存储模块并设置收空盘模块和供空盘模块，缩短了每个模块的有效行程，继而提高了料盘搬运效率，降低了视觉识别系统和供料模块的等待时间。此外拓展手工取料模块，可使该分选机功能丰富，使用灵活，提升自动分选的安全可靠性。

在一些实施方式中，第一料盘存储模块具有沿第二方向排列的收盘位和第二流转位，第二料盘存储模块具有沿第二方向排列的供盘位和第三流转位；收盘位、供盘位及供料位位于收空盘模块沿第二方向的同一侧；收空盘模块的有效行程经过第二流转位，供空盘模块的有效行程经过第三流转位。

如此设置，有利于该分选机与外部设备或者与操作者配合，并保证自身的工作效率。

在一些实施方式中，第一料盘存储模块包括：第一搬运动力机构、受第一搬运动力机构驱动的第一搬运同步带及收空盘托盘机构，第一搬运同步带的同步行程经过第二流转位和收盘位。示例性地，收空盘托盘机构包括：收空盘顶升动力机构、位于收盘位并受收空盘顶升动力机构驱动的收空盘托板及收盘集盘机构，收盘集盘机构沿第一方向与收空盘托板配合设置，收盘集盘机构用于使收空盘托板传递的用于盛装集成电路产品的料盘单向通过并适于承载至少一个料盘。示例性地，第二料盘存储模块包括：第二搬运动力机构、受第二搬运动力机构驱动的第二搬运同步带及供空盘托盘机构，第二搬运同步带的同步行程经过供盘位和第三流转位。示例性地，供空盘托盘机构包括：供空盘顶升动力机构、位于供盘位并受供空盘顶升动力机构驱动的供空盘托板及供盘分盘机构，供盘分盘机构适于承载至少一个料盘并用于将最靠近供空盘托板的料盘与其余料盘分离。示例性地，收空盘模块包括：第一流转动力机构、受第一流转动力机构驱动的第一流转同步带、连接于第一流转同步带的第一夹爪动力机构以及受第一夹爪动力机构驱动的第一夹爪，收空盘模块的有效行程为第一夹爪随第一流转同步带移动的行程。示例性地，供空盘模块包括：第二流转动力机构、受第二流转动力机构驱动的第二流转同步带、连接于第二流转同步带的第二夹爪动力机构以及受第二夹爪动力机构驱动的第二夹爪，供空盘模块的有效行程为第二夹爪随第二流转同步带移动的行程。

如此设置，料盘存储模组能够稳定地实现供料盘和收料盘的功能，平衡多组分选的数量波动，保证分选机的高效运转。

在一些实施方式中，手工收料模块具有沿第二方向排列的第二收料盘位、第四流转位及第二放料位，第二收料盘位与供料模块的供料位位于收空盘模块沿第二方向的同一侧，供空盘模块对应第四流转位，取放料模块对应第二放料位。

如此设置，手工收料模块可良好地耦合入分选流程，保证分选效率。此外，该分选机的结构紧凑，空间利用率高，又能保证足够的人工操作空间。

在一些实施方式中，手工收料模块包括顶升料仓机构、第三料盘输送机构、推盘机构及回收机构。示例性地，顶升料仓机构位于第二收料盘位，顶升料仓机构包括料仓顶升动力机构、受料仓顶升动力机构驱动并沿第一方向可移动的料仓以及用于对料仓进行监测的料仓传感器。示例性地，第三料盘输送机构被配置为：具有自第四流转位至第二放料位的第三输送行程，及具有自第二放料位至第四流转位的第四输送行程，第三料盘输送机构包括：第三输送动力机构和受第三输送动力机构驱动的第三输送同步带，第三输送同步带用于实现第三输送行程和第四输送行程。示例性地，推盘机构用于将料仓内的料盘部分地推出至第四流转位。示例性地，回收机构用于将料盘自第四流转位完全移回料仓内。

如此设置，能有效缩短设备长度、提升收料效能、在有限的空间内增加可分组数量。分选机运转安全，多非常规分组的产品容纳能力强。

附图说明

图1为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机的示意性轴测图；

图2为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机的示意性轴测透视图；图3为图2的俯视图；图4为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中承载系统和供收空盘模组的示意性俯视图；

图5为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中供料模块的结构示意图；图6为图5的局部放大图；图7为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中供料托盘机构的结构示意图；图8为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中行车机构的结构示意图；图9为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中第一料盘输送机构的结构示意图；

图10为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中收料模块的结构示意图；图11为图10的局部放大图。

图12为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中手工收料模块的结构示意图；

图13为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中推盘机构和回收机构的结构示意图；

图14为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中料盘搬运模组和供收空盘模组的结构示意图；图15为图14的局部放大图；

图16为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中取放料模块的结构示意图；图17为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中机械手组件的结构示意图；图18为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中升降组件的结构示意图；图19为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中机械手组件的示意性主视图；

图20为本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机中视觉识别系统的结构示意图。

附图标记说明：1000、分选机；1、下机架；2、上机架；3、控制系统；4、承载系统；5、料盘存储模组；501、第一料盘存储模块；502、第二料盘存储模块；6、供料模块；7、收料模块；8、流转系统；9、手工收料模块；10、视觉识别系统；11、供收空盘模组；12、收空盘模块；13、供空盘模块；14、取放料模块；15、供料托盘机构；16、行车机构；17、第一料盘输送机构；18、供料顶升动力机构；19、供料同步带；20、供料丝杆；21、供料托板；22、行车传动动力机构；23、行车同步带；24、行车托盘；25、第一输送动力机构；26、第一输送带轮；27、第一输送同步带；28、收料托盘机构；29、第二料盘输送机构；30、收料顶升动力机构；31、收料托板；32、第二输送动力机构；33、第二输送同步带；34、顶升料仓机构；35、第三料盘输送机构；36、推盘机构；361、推盘动力机构；362、推块；37、回收机构；371、回收动力机构；372、回收块；373、避位动力机构；38、第三输送动力机构；39、第三输送同步带；40、料仓顶升动力机构；41、料仓丝杆；42、料仓滑轨；43、料仓；44、料仓传感器；45、第一搬运动力机构；46、第一搬运同步带；47、第一流转动力机构；48、第一流转同步带；49、第一夹爪动力机构；50、第一夹爪；51、第一驱动机构；52、第一驱动滑轨；53、第一驱动动力机构；54、第二驱动机构；55、第二驱动滑轨；56、第二驱动动力机构；57、机械手组件；58、吸嘴组件；581、第一吸嘴组件；582、第二吸嘴组件；583、第三吸嘴组件；584、第四吸嘴组件；59、调节组件；60、升降组件；61、吸嘴传感器；62、升降动力机构；63、升降同步带；64、升降滑轨；65、调节滑轨；66、调节电机；67、调节同步带；68、第一比例同步带；69、第二比例同步带；70、避让动力机构；71、相机；72、可调节光源；73、送料分盘机构；74、行车升降机构；75、收料集盘机构；76、收空盘顶升动力机构；77、收空盘托板。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开实施方式的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“垂直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。示例性地，第一方向也可被称作第二方向，第二方向也可被称作第一方向；第一流转位可称第二流转位，第二流转位可称第一流转位。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是柔性连接，也可以是沿至少一个方向的刚性连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或者使直接相连同时存在中间媒介，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。术语“安装”、“设置”、“固定”等可以广义理解为连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参阅图1，图1示出了本实用新型一实施方式中的用于集成电路产品的分选机。结合图2所示，图2示出了本实用新型一实施方式中分选机的透视图。本实施方式提供的用于集成电路产品的分选机1000可包括承载系统4、视觉识别系统10、供收空盘模组11及取放料模块14。

在一些实施方式中，分选机1000可包括下机架1、上机架2及控制系统3。下机架1可为其余模块提供安装位置，保证各模块的相对位置。上机架2可用于提供工作空间，保障运行安全。控制系统3可存储或执行计算机程序产品，用于控制各功能模块执行动作，继而分选机1000实现对集成电路产品的自动分选。示例性地，控制系统3可包括相互通信的多个控制单元，每个控制单元控制一个功能模块。

如图1和图2所示，工作空间内可建立XYZ直角坐标系。示例性地，Z轴方向可大致平行于铅垂方向，XY面可平行于水平面。Z轴方向可称为第一方向，Y轴方向可称为第二方向，X轴方向可称为第三方向。

在一方面，料盘存储模组5、供料模块6及收料模块7可用于构成承载系统4。分选机1000中仅设置一个收料模块7时，仍可实现对集成电路产品的挑拣，但正常会设置至少两个收料模块7以实现正常的分选工艺。图2所示，分选机1000设置了十个收料模块7，但本实用新型并不以此为限，可以设置五个、十五个或者更多个。料盘存储模组5、供料模块6及若干收料模块7中每个功能模块均可承载用于盛放集成电路产品的料盘。

视觉识别系统10沿第一方向与供料模块6配合设置。示例性地，视觉识别系统10被配置为：识别供料模块6承载的集成电路产品的信息。视觉识别系统10所识别的信息可包括每个集成电路产品自身的特性信息，以便于将集成电路产品分选入指定的组；可包括每个集成电路产品在料盘中的位置；还可包括每个集成电路产品的尺寸信息等，并可不限于这些信息。

供收空盘模组11和取放料模块14亦可合称流转系统8，流转系统8用于在承载系统4的各功能模块之间转移集成电路产品或料盘。流转系统8沿第一方向与承载系统4配合设置。

示例性地，供收空盘模组11沿第一方向与承载系统4配合设置，供收空盘模组11具有供料模块6和料盘存储模组5之间流转的第一有效行程，以及具有料盘存储模组5和收料模块7之间流转的第二有效行程。供收空盘模组11可用于在承载系统4的各功能模块之间转移料盘，每个转移路径被称为一个有效行程。例如，前述第一有效行程可指：供收空盘模组11能够从供料模块6向料盘存储模组5转移料盘。供收空盘模组11可自供料模块6向料盘存储模组5转移料盘。供收空盘模组11可自料盘存储模组5向收料模块7转移料盘，由于设置有若干收料模块7，因此供收空盘模组11可具有若干个第二有效行程。供收空盘模组11的有效行程可由控制系统3控制实现。

示例性地，取放料模块14沿第一方向与承载系统4配合设置，取放料模块14的有效行程经过供料模块6和若干收料模块7。取放料模块14可用于在承载系统4的各功能模块之间转移集成电路产品，并可将集成电路产品准确地放入料盘。取放料模块14可自供料模块6向一个指定的收料模块7转移集成电路产品。取放料模块14所具有的若干有效行程可由控制系统3控制实现。控制系统3可响应于视觉识别系统10识别的信息而控制取放料模块14。

本实用新型提供的分选机1000用于分选时，可向供料模块6放置盛满的料盘，该盛满的料盘被视觉识别系统10识别；可在同一步骤时，供收空盘模组11可自料盘存储模组5向收料模块7放置空的料盘。该盛满的料盘被识别后，可被取放料模块14分选不同的集成电路产品并放入收料模块7承载的料盘中；可在同一步骤时，对下一个盛满的料盘进行识别。盛满的料盘被取成空料盘后，供收空盘模组11可自供料模块6向料盘存储模组5转移该空料盘。在一些可选地实施例中，可将该空料盘转移至急需补充空料盘的收料模块7。

图3示出了用于集成电路产品的分选机中的上料装置。图4示出了与转移料盘功能相关的各功能模块。

在另一方面，本实用新型示例性实施例提供一种上料装置，该上料装置包括供料模块6、视觉识别系统10、取放料模块14以及收空盘模块12。视觉识别系统10、取放料模块14以及收空盘模块12分别沿第一方向与供料模块6配合设置。供料模块6，取放料模块14对应于供料模块6的取料位，收空盘模块12和视觉识别系统10均对应于供料模块6的识别位且二者错位。

本实用新型提供的上料装置可用于分选上料，各工位紧凑且有效利用空间位置，行程短、效率高、节省时间；视觉识别系统可识别集成电路产品的信息，使得该上料装置能够良好地应用于自动化流水线。

本实用新型提供的分选机中，上料装置可以进行柔性化改造，继而分选机的构造可以包括同一设计的上料装置，也可以是在完整的上料装置基础上，配合收料装置和料盘存储模组而组装的。

本实用新型提供的用于集成电路产品的分选机，结构紧凑、工作效率高，可对集成电路产品进行自动化分选，并适应柔性生产线。

图3还示出了与上料模块配合的收料模块、供空盘模块及料盘存储模组，如图3和图4所示，在一些实施例中，分选机1000沿Y轴方向可具有三个区域，分别是第一区域A、第二区域B和第三区域C。分选机1000也可具有其他的区域。

示例性地，供料模块6具有沿第二方向排列的供料位、识别位及取料位。供料位位于第一区域A，识别位位于第二区域B，取料位位于第三区域C。如图3所示，视觉识别系统10主体位于第二区域B，供收空盘模组11主体位于第二区域B，取放料模块14主体位于第三区域C。对于供料模块6而言，视觉识别系统10对应识别位，供收空盘模组11对应识别位，取放料模块14对应取料位。参考图2，视觉识别系统10沿第一方向与供收空盘模组11错位。识别位位于供料位和取料位之间，可提高分选机1000的集成程度，缩短模块距离，减少机构运动时间，提高分选效率。

图5示出了供料模块的结构。图6是图5中D处的放大图。示例性地，供料模块6包括供料托盘机构15、行车机构16及第一料盘输送机构17。供料托盘机构15位于供料位。行车机构16的有效行程经过供料位和识别位，具体地，可至少自供料位至识别位。第一料盘输送机构17的有效行程与行车机构16的有效行程搭接，且第一料盘输送机构17的有效行程经过取料位。其他一些实施方式中，第一料盘输送机构17的一个有效行程可为自行车机构16的有效行程至取料位。可选地，第一料盘输送机构17的一个有效行程可为自识别位至取料位，另一个可为自取料位回至识别位。分选机1000工作时，满料料盘可在供料位由供料托盘机构15承载，然后被行车机构16输送至识别位，之后再被第一料盘输送机构17输送至取料位；待被取为空料盘后，该空料盘被第一料盘输送机构17输送回识别位，然后被供收空盘模组11转移至料盘存储模组5。连续作业时，可待空料盘被转移后，由行车机构16输送下一个满料料盘至识别位进行识别；可选地，可在取放料模块14取料时即对下一个满料料盘进行识别，在退回空料盘前利用行车机构16使该满料料盘避让至供料位。通常下一个满料料盘识别的较快，可提前避位；若未识别完成，也可待供收空盘模组11取走空料盘后继续识别，以及之后输送该满料料盘至取料位，并对再下一个满料料盘进行识别。

如图5、图6和图7所示，在一些实施方式中，供料托盘机构15包括：供料顶升动力机构18、受供料顶升动力机构18驱动的供料丝杆20、与供料丝杆20动力连接并沿第一方向可移动的供料托板21以及送料分盘机构73。示例性地，供料顶升动力机构18包括电机，继而供料托盘机构15可包括供料同步带19，以向供料丝杆20传递电机的驱动动力。可选地，供料顶升动力机构18可包括气动马达等。供料托板21沿Z轴方向可移动并可与供料丝杆20动力连接。示例性地，供料丝杆20的轴线沿Z轴方向，供料托板21固定连接有螺母，该螺母与供料丝杆20螺纹配合。

供料托盘机构15可用于从一摞料盘分解出一个料盘。如图5和图6所示，供料托板21位于供料位，送料分盘机构73沿第一方向与供料托板21配合设置。送料分盘机构73可包括至少一对插块。相对设置的两个插块之间可令从上方放置的料盘向下通过，而供料托板21可用于托举料盘。分选机1000作业时，送料分盘机构73执行分盘动作后，例如插块向内插动后，除最下侧的料盘之外的料盘被送料分盘机构73承载，最靠近供料托板21的料盘与其余料盘分离，并被供料托板21托举。供料托板21可向下运动，此时行车机构16可位于供料托板21的中间，继而其托举的满料料盘被行车机构16承载。在行车机构16将该满料料盘输送出供料位后，供料托板21可向上运动继而用于托举送料分盘机构73承载的其余料盘。送料分盘机构73适于承载至少一个用于盛放集成电路产品的料盘，再次放行一个料盘并执行分盘动作，用于再次将最靠近供料托板21的料盘与其余料盘分离。

图8示出了行车机构的结构。示例性地，行车机构16可包括：行车传动动力机构22、受行车传动动力机构22驱动的行车同步带23、行车升降机构74及连接于行车同步带23的行车托盘24。行车传动动力机构22可以为电机或气动马达等。行车同步带23受行车传动动力机构22驱动而转动时，可带动行车托盘24沿Y轴方向移动，且在例如控制系统3的而控制下，行车传动动力机构22可正转或反转以驱动行车托盘24沿Y轴方向可往复移动。行车托盘24的行程经过供料位和识别位。行车托盘24还可直接或间接地受行车升降机构74驱动而沿第一方向升降。行车托盘24可在供料位升起以交接供料托板21托举的满料料盘，还可在识别位下降以将经过识别的满料料盘交接给第一料盘输送机构17。此外，在满料料盘被视觉识别系统10识别的过程中，行车托盘24可保持升起状态。

如图9所示，示例性地，第一料盘输送机构17包括：第一输送动力机构25和受第一输送动力机构25驱动的第一输送同步带27。第一输送同步带27用于实现第一料盘输送机构17的有效行程。可理解地，可选择齿形带、平皮带、链板等实施例，同步带的传动准确、响应灵敏。第一输送动力机构25可为电机、气动马达等，示例性地，第一料盘输送机构17还包括：第一输送带轮26，其与第一输送动力机构25的输出轴配合并可同步带动第一输送同步带27。第一输送同步带27可自识别位延伸至取料位。第一输送动力机构25可受控制系统3的控制而驱动第一输送同步带27往复运动。分选机1000作业时，第一输送同步带27可将满料料盘自识别位输送至取料位，还可将空料盘自取料位输送至识别位。第一料盘输送机构17与行车机构16的配合，保证了各工步分步、连续执行，并可同步进行，每步的输送距离较短，使得分选机1000工作效率高。

图10示出了收料模块的结构。图11是图10中E处的放大图。示例性地，收料模块7具有沿第二方向排列的第一收料盘位、第一流转位及第一放料位，第一收料盘位对应第一区域A，第一流转位对应第二区域B，第一放料位对应第三区域C。参考图3和图4，第一收料盘位和供料位位于供收空盘模组11沿第二方向的同一侧。供收空盘模组11的第二有效行程经过第一流转位，取放料模块14的有效行程经过第一放料位。用于投放空料盘的第一流转位处于第一收料盘位和第一放料位之间，可缩短空料盘在收料模块7的运动距离，提高输送效率，并且保证较高的空间利用率。

示例性地，收料模块7包括收料托盘机构28和第二料盘输送机构29。

第二料盘输送机构29包括：第二输送动力机构32和受第二输送动力机构32驱动的第二输送同步带33。第二输送动力机构32可以为电机。第二输送同步带33可沿Y轴方向延伸经过第一放料位、第一流转位及第一收料盘位。第二输送动力机构32可在控制系统3的控制下驱动第二输送同步带33往复运动，第二输送同步带33用于实现对料盘的输送。例如第二输送同步带33的同步位置承载的空料盘可自第一流转位至第一放料位；在反方向上第二输送同步带33的同步位置承载的料盘可自第一放料位至第一收料盘位，该料盘可盛放有被分为同一组的集成电路产品。换言之，第二料盘输送机构29被配置为：具有自第一流转位至第一放料位的第一输送行程，及具有自第一放料位至第一收料盘位的第二输送行程。

收料托盘机构28位于第一收料盘位，收料托盘机构28可包括：收料顶升动力机构30、收料托板31及收料集盘机构75。收料托板31位于第一收料盘位，并沿第一方向可移动。收料集盘机构75沿第一方向与收料托板31配合设置。收料托板31可受收料顶升动力机构30驱动，收料托板31下降时可低于收料集盘机构75，升起时可高于收料集盘机构75。第二料盘输送机构29可托举料盘的侧边将料盘输送到第一收料盘位，且料盘可位于收料托板31之上；收料托板31可托举料盘的中部将料盘托举至收料集盘机构75之上。收料集盘机构75用于使收料托板31传递的料盘单向通过并适于承载至少一个料盘。收料集盘机构75可包括至少一对翻块，料盘可从相对设置的一对翻块之间向上运动继而被翻块托举而不能下落，后托举至收料集盘机构75之上的料盘可顶起先收集的料盘。这一摞料盘所盛放的可以是同一组的集成电路产品。收料顶升动力机构30可以为气缸，气缸传动结构震动小，可减少收盘过程中的震料问题。

如图12所示并参考图2至图4，在示例性实施方式中，分选机1000还包括手工收料模块9。沿X轴方向，手工收料模块9可设置于收料模块7背离供料模块6的一侧。手工收料模块9具有沿第二方向排列的第二收料盘位、第四流转位及第二放料位，第二收料盘位对应第一区域A，第四流转位对应第二区域B，第二放料位对应第三区域C。第二收料盘位与供料模块6的供料位可位于供收空盘模组11沿Y轴方向的同一侧。供收空盘模组11的第二有效行程经过第四流转位，取放料模块14的有效行程经过手工收料模块9的第二放料位。

手工收料模块9可包括顶升料仓机构34、第三料盘输送机构35、推盘机构36及回收机构37。顶升料仓机构34位于第二收料盘位。手工收料模块9的物料流转路线与收料模块7的物料流转路线相似。

在一些实施方式中，第三料盘输送机构35被配置为：具有自第四流转位至所述第二放料位的第三输送行程，及具有自第二放料位至第二收料盘位的第四输送行程。示例性地，第三料盘输送机构35包括：第三输送动力机构38和受第三输送动力机构38驱动的第三输送同步带39。第三输送动力机构38可为电机。第三输送同步带39可延伸经过第二放料位和第四流转位。第三输送动力机构38可受控制系统3的控制带动第三输送同步带39往复运动以实现第三输送行程和第四输送行程。分选机1000作业时，供收空盘模组11可将空料盘投放至第四流转位，第三输送同步带39将空盘输送到第二放料位，取放料模块14可将一些特殊分组的集成电路产品放入该空料盘，然后第三输送同步带39将盛放有集成电路产品的料盘输送回第四流转位。

示例性地，顶升料仓机构34包括料仓顶升动力机构40、受料仓顶升动力机构40驱动的料仓丝杆41、与料仓丝杆41动力连接并沿第二方向可移动的料仓43以及用于对料仓43进行监测的料仓传感器44。料仓顶升动力机构40可以包括电机，可通过同步带或齿轮组与料仓丝杆41动力连接。料仓顶升动力机构40可受控制系统3的控制而驱动料仓丝杆41转动。料仓丝杆41的轴线可沿Z轴设置，顶升料仓机构34可包括沿Z轴方向设置的料仓滑轨42。料仓43可与料仓滑轨42滑动连接，并可固接有例如丝杠螺母。该丝杠螺母与料仓丝杆41螺纹配合并可因料仓丝杆41的转动而沿Z轴方向运动。

料仓43可包括多层存放位，例如十层，每层存放位都可用于存放料盘，可针对各种特殊分组灵活地进行收料，提高分选机1000的收料效能，在有限的空间内增加可分组数量。料仓43可受控地升降，以将期望的存放位与第三输送同步带39在高度方向对齐。示例性地，顶升料仓机构34还包括料仓传感器44，料仓传感器44可对料仓43进行检测，可检测每层存放位是否有料盘。该分选机1000能准确地判断料仓43的进出料盘情况。

如图13所示并参考图12，推盘机构36用于将料仓43内对应第三料盘输送机构35的料盘部分地推出料仓43，而回收机构37用于将该第四流转位的料盘完全移回料仓43内。示例性地，推盘机构36包括推盘动力机构361和推块362。推盘动力机构361可包括电机，用于驱动推块362沿Y轴方向移动，并可用于将料仓43中的料盘推出例如2/3的尺寸。回收机构37可包括回收动力机构371、回收块372和避位动力机构373。回收动力机构371可包括电机，可驱动回收块372沿Y轴方向移动，并用于将料盘完全移回料仓43内。避位动力机构373用于驱动回收块372沿Z方向移动，以在回收块372远离料仓43时避位可能的输送到第四流转位的料盘。

如图14所示并参考图2至图4，料盘存储模组5包括第一料盘存储模块501和第二料盘存储模块502。第一料盘存储模块501、供料模块6、若干收料模块7、手工收料模块9及第二料盘存储模块502沿第三方向依次排列，可以以图2中由左向右的方向为X轴正向，可选地，前述模块可以以X轴负向依次排列。示例性地，第三方向可交叉于第一方向，第三方向可交叉于第二方向。

供收空盘模组11包括收空盘模块12和供空盘模块13。收空盘模块12的有效行程对应供料模块6与第一料盘存储模块501。供空盘模块13的有效行程对应第二料盘存储模块502及若干收料模块7，示例性地，供空盘模块13的有效行程还对应手工收料模块9。设置收空盘模块12和供空盘模块13独立进行供盘和收盘，缩短了动作行程，既保证取放盘精度，又提高了搬运效率。

第一料盘存储模块501和第二料盘存储模块502的结构相似。第一料盘存储模块501具有沿第二方向排列的收盘位和第二流转位，收盘位可位于第一区域A，第二流转可位于第二区域B。第二料盘存储模块502具有沿第二方向排列的供盘位和第三流转位，供盘位可位于第一区域A，第三流转位可位于第二区域B。收空盘模块12的有效行程对应第二流转位，供空盘模块13的有效行程对应第三流转位。

示例性地，收盘位、供盘位及供料位位于供收空盘模组11沿第二方向的同一侧。同侧操作较为方便。在另一些实施方式中，收盘位、供盘位也可沿第二方向位于另一侧；或者第一料盘存储模块501和第二料盘存储模块502自身沿第三方向放置，收盘位、供盘位位于第二区域B。

图15为图14中F处的放大图。如图14和图15所示，收空盘模块12包括：第一流转动力机构47、受第一流转动力机构47驱动的第一流转同步带48、连接于第一流转同步带48的第一夹爪动力机构49以及受第一夹爪动力机构49驱动的第一夹爪50。第一流转动力机构47可包括电机，第一流转同步带48可沿X轴方向延伸经过第二流转位和供料模块6的识别位。收空盘模块12的有效行程为第一夹爪50随第一流转同步带48移动的行程。分选机1000工作时，第一夹爪50可移动至识别位继而夹取空料盘，然后第一夹爪50携带空料盘移动至第二流转位并可将该空料盘投放至第一料盘存储模块501。第一夹爪动力机构49可包括气缸，气缸驱动第一夹爪50开合进行料盘取放动作，有利于使得取放料盘动作平稳，夹紧力可调。

第一料盘存储模块501包括：第一搬运动力机构45、受第一搬运动力机构45驱动的第一搬运同步带46及收空盘托盘机构。收空盘托盘机构可与收料托盘机构28具有相似的结构和动作设计。第一搬运动力机构45可包括电机。第一搬运同步带46延伸经过第二流转位和收盘位，其承载空料盘的同步位置可自第二流转位而被驱动至收盘位，以将空料盘输送到收盘位。收空盘托盘机构包括：收空盘顶升动力机构76、位于收盘位并受收空盘顶升动力机构76驱动的收空盘托板77及收盘集盘机构(未示出)。收空盘托盘机构可与收料托盘机构28具有相似的结构和动作设计，收盘集盘机构可与收料集盘机构75具有相似的结构和动作设计。收空盘顶升动力机构76可包括气缸。工作时，第一搬运同步带46输送的空料盘位于收空盘托板77之上，收空盘顶升动力机构76可顶起收空盘托板77继而将该空料盘顶起。收盘集盘机构沿第一方向与收空盘托板77配合设置，收盘集盘机构用于使收空盘托板77传递的料盘单向通过并适于承载至少一个料盘。收空盘托板77在收盘动作后受控地下降。

供空盘模块13包括：第二流转动力机构、受第二流转动力机构驱动的第二流转同步带、连接于第二流转同步带的第二夹爪动力机构以及受第二夹爪动力机构驱动的第二夹爪，供空盘模块13的有效行程为第二夹爪随第二流转同步带移动的行程。第二夹爪的移动路径可以自第二料盘存储模块502的第三流转位至任一收料模块7的第一流转位，还可至手工收料模块9的第四流转位。第一夹爪50和第二夹爪分别独立进行料盘搬运，减小了第一夹爪50的运行行程，提高了料盘搬运效率，缩短了视觉识别系统10、供料模块6的等待时间。第二流转动力机构可包括电机，第二夹爪动力机构可包括气缸。

第二料盘存储模块502包括：第二搬运动力机构、受第二搬运动力机构驱动的第二搬运同步带及供空盘托盘机构。供空盘托盘机构可与供料托盘机构15具有相似的结构和动作设计。供空盘托盘机构包括：供空盘顶升动力机构、位于供盘位并受供空盘顶升动力机构驱动的供空盘托板及供盘分盘机构。供盘分盘机构适于承载至少一个料盘并用于将最靠近供空盘托板的料盘与其余料盘分离。供空盘顶升动力机构可包括气缸，可用于驱动供空盘托板下降。工作时，供空盘托板托举的一个空料盘落在第二搬运同步带，继而该空料盘被第二搬运同步带搬运出供盘位；供空盘托板再上升以托举供盘分盘机构所承载的其余料盘，并利用供盘分盘机构分出下一个空料盘。第二搬运同步带可延伸经过供盘位和第三流转位。第二搬运动力机构可包括电机，并可受控制系统3的控制。第二搬运同步带承载空料盘的同步位置可受控地自供盘位运动至第三流转位。

示例性地，供盘位、收盘位及收料盘位均与机器人配合实现自动上下料盘，下机架1的高度可根据机器人的配合需求而设计。

图16示出了取放料模块14。在一些实施方式中，取放料模块14包括：驱动组件和受驱动组件驱动的机械手组件57。驱动组件可包括第一驱动机构51和第二驱动机构54，驱动组件用于实现机械手组件57在XY面内的移动。

示例性地，第一驱动机构51驱动第二驱动机构54，第二驱动机构54驱动机械手组件57。第一驱动机构51的驱动方向与第二驱动机构54的驱动方向交叉。如图16所示，第一驱动机构51可包括第一驱动滑轨52和第一驱动动力机构53。第二驱动机构54可与第一驱动滑轨52滑动连接且滑动方向可沿X轴方向。第一驱动动力机构53可包括电机，并可利用例如同步带连接第二驱动机构54。第一驱动机构51可驱动第二驱动机构54沿X轴方向移动。第二驱动机构54可包括第二驱动滑轨55和第二驱动动力机构56。机械手组件57可与第二驱动滑轨55滑动连接且滑动方向可沿Y轴方向。第二驱动动力机构56可包括电机，并可利用例如同步带连接机械手组件57。第二驱动机构54可驱动机械手组件57沿Y轴方向移动。

参考图17，机械手组件57包括：至少两个吸嘴组件58、调节组件59、至少两个升降组件60以及至少两个吸嘴传感器61。示例性地，机械手组件57包括八个吸嘴组件58，对应地，可包括八个升降组件60及八个吸嘴传感器61。应当理解，本实用新型提供的分选机1000中吸嘴组件58的数量并不以此为限。这些吸嘴组件58可同时或独立进行工作，节省了重复来回取放料行程时间，保证分选机1000的每小时产出。调节组件59用于调节至少一个吸嘴组件58与其他吸嘴组件58之间的间距，升降组件60用于调节对应的吸嘴组件58沿第一方向的位置。吸嘴传感器61用于检测对应的吸嘴组件58沿第一方向的位置。

参考图18，升降组件60可包括升降动力机构62、升降同步带63及升降滑轨64。吸嘴组件58可与升降滑轨滑动连接且滑动方向沿Z轴方向，吸嘴组件58还与升降同步带63固定连接。升降同步带63可沿Z轴方向延伸，并受升降动力机构62的驱动而带动吸嘴组件58并使吸嘴组件58沿Z轴方向升降。升降动力机构62可包括电机。吸嘴组件58用于吸附集成电路产品，工作时，驱动组件可受控制系统3控制，继而将机械手组件57移至供料模块6的取料位中对应位置，吸嘴组件58下降并吸取指定的集成电路产品并上升；然后将机械手组件移至对应的收料模块7的放料位处，吸嘴组件58下降并释放所吸取的集成电路产品至该收料模块7的料盘内，实现对该集成电路产品的分组。

参考图18和图19，示例性地，多个吸嘴组件58中包括：沿X轴方向依次设置的第一吸嘴组件581、第二吸嘴组件582、第三吸嘴组件583及第四吸嘴组件584，不限于此。示例性地，调节组件59可包括：至少一个调节滑轨65、调节电机66、调节同步带67及第一比例同步带68。示例性地，调节组件59还可可包括第二比例同步带69。调节电机66可为其他调节动力机构。

第一吸嘴组件581及第三吸嘴组件583分别通过一个调节滑轨65而与升降同步带63间接连接。第一吸嘴组件581与调节滑轨65滑动连接且滑动方向沿X轴方向，继而第一吸嘴组件581和调节滑轨65可共同随第一吸嘴组件581所对应的升降同步带63沿Z轴方向升降。第三吸嘴组件583可与另一个调节滑轨65滑动连接且滑动方向沿X轴方向，继而第三吸嘴组件583和该调节滑轨65可共同随第三吸嘴组件583随对应的升降组件60的升降同步带63沿Z轴方向升降。

调节同步带67可沿X轴方向延伸，调节电机66可带动调节同步带67。示例性地，调节同步带67可利用变径轴系或其他传动机构与第一比例同步带68及第二比例同步带69动力连接。第一比例同步带68沿X轴方向可具有折返的两段，一段可与第一吸嘴组件581固定连接，另一段可与第三吸嘴组件583固定连接。在调节电机66的驱动下，第一吸嘴组件581和第三吸嘴组件583可沿X轴方向反向运动，进而二者相对第二吸嘴组件582的距离可控地调节。示例性地，第二比例同步带69沿X轴方向延伸并与第四吸嘴组件584固定连接。第四吸嘴组件584与其对应的升降同步带63可通过一个调节滑轨65间接连接。因此，在调节电机66的驱动下，第四吸嘴组件584也可沿X轴方向移动，进而其与第二吸嘴组件582的距离可控地调节。第二比例同步带69的转速与第一比例同步带68的转速可不同。示例性地，第四吸嘴组件584的移动方向与第三吸嘴组件583的移动方向可相同。

本实用新型提供的分选机1000通过配置取放料模块14的机械手组件57，实现了第一吸嘴组件581、第三吸嘴组件583及第四吸嘴组件584的联动，可对四个吸嘴组件的间距进行调节，应用于多种不同尺寸集成电路产品的分选生产。此外，该取放料模块14的取放料范围广、效率高。在动力源的设计方面，将三个吸嘴组件58通过一个调节电机66去带动，实现单一动力电机控制多工位运动效果，并且实现三个吸嘴组件58的同步性，不仅减少了电机成本，还保证了芯片吸取间距的一致性。

如图20所示，在一些实施方式中，视觉识别系统10包括避让动力机构70、受避让动力机构70驱动并沿第一方向可移动的相机71以及与相机71沿第一方向相对设置的可调节光源72。视觉识别系统10位于识别区并与供收空盘模组11错位。避让动力机构70可包括电机，其可驱动相机71下降以更接近盛满料的料盘，可提高识别效果。示例性地，相机71为线扫相机。分选机1000工作时，行车托盘24带动料盘以一定速度沿Y轴方向匀速运动，使得线扫相机可拍完整张料盘内的集成电路产品，然后该被识别后的料盘可输送到取料位。取放料模块14可响应于视觉识别系统10识别的信息而分拣集成电路产品。在分拣操作时，可利用视觉识别系统10对下一个满料料盘进行视觉识别，并利用行车机构16将识别后的该下一个满料料盘暂时退回供料位。取放料模块14分拣后得到的空料盘可退回识别位，避让动力机构70可驱动相机71升高以避让供收空盘模组11。

以上公开的各实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上公开的实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型的专利保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型要求的专利保护范围。因此，本实用新型的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.用于集成电路产品的上料装置，其特征在于，包括：

供料模块(6)，具有依次排列的供料位、识别位及取料位；

视觉识别系统(10)，沿第一方向与所述供料模块(6)配合设置，所述视觉识别系统(10)对应于所述供料模块(6)的识别位；

取放料模块(14)，沿所述第一方向与所述供料模块(6)配合设置，所述取放料模块(14)对应于所述供料模块(6)的取料位；以及

收空盘模块(12)，沿所述第一方向与所述供料模块(6)配合设置，所述收空盘模块(12)对应于所述供料模块(6)的识别位，所述视觉识别系统(10)沿所述第一方向与收空盘模块(12)错位。

2.根据权利要求1所述的上料装置，其中，所述视觉识别系统(10)包括避让动力机构(70)、受所述避让动力机构(70)驱动并沿所述第一方向可移动的相机(71)以及与所述相机(71)沿所述第一方向相对设置的可调节光源(72)。

3.根据权利要求1所述的上料装置，其中，所述供料模块(6)包括供料托盘机构(15)、行车机构(16)及第一料盘输送机构(17)；

所述供料托盘机构(15)位于所述供料位，所述供料托盘机构(15)包括：供料顶升动力机构(18)、受所述供料顶升动力机构(18)驱动并沿所述第一方向可移动的供料托板(21)以及送料分盘机构(73)，所述供料托板(21)位于所述供料位，所述送料分盘机构(73)沿所述第一方向与所述供料托板(21)配合设置，所述送料分盘机构(73)适于承载至少一个用于盛放所述集成电路产品的料盘，并用于将最靠近所述供料托板(21)的料盘与其余料盘分离；

所述行车机构(16)的有效行程经过所述供料位和所述识别位，所述行车机构(16)包括：行车传动动力机构(22)、受所述行车传动动力机构(22)驱动的行车同步带(23)、行车升降机构(74)及连接于所述行车同步带(23)的行车托盘(24)，所述行车托盘(24)的行程经过所述供料位和所述识别位，并受所述行车升降机构(74)驱动地沿所述第一方向可移动；

所述第一料盘输送机构(17)的有效行程与所述行车机构(16)的有效行程搭接，且所述第一料盘输送机构(17)的有效行程经过所述取料位，所述第一料盘输送机构(17)包括：第一输送动力机构(25)和受所述第一输送动力机构(25)驱动的第一输送同步带(27)，所述第一输送同步带(27)用于实现所述第一料盘输送机构(17)的有效行程。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的上料装置，其中，所述取放料模块(14)包括：驱动组件和受所述驱动组件驱动的机械手组件(57)；

所述驱动组件包括第一驱动机构(51)和第二驱动机构(54)，所述第一驱动机构(51)驱动所述第二驱动机构(54)，所述第二驱动机构(54)驱动所述机械手组件(57)，所述第一驱动机构(51)的驱动方向与所述第二驱动机构(54)的驱动方向交叉；

所述机械手组件(57)包括：至少两个吸嘴组件(58)、调节组件(59)、至少两个升降组件(60)以及至少两个吸嘴传感器(61)，所述调节组件(59)用于调节至少一个所述吸嘴组件(58)与其他吸嘴组件(58)之间的间距，所述升降组件(60)用于调节对应的吸嘴组件(58)沿所述第一方向的位置，所述吸嘴传感器(61)用于检测对应的吸嘴组件(58)沿所述第一方向的位置。

5.用于集成电路产品的分选机，其特征在于，包括：

如权利要求1至4中任一项所述的上料装置；

料盘存储模组(5)，其中，所述收空盘模块(12)具有所述供料模块(6)和所述料盘存储模组(5)之间流转的第一有效行程；

若干收料模块(7)，其中，所述上料装置的取放料模块(14)的有效行程经过所述若干收料模块(7)；

供空盘模块(13)，沿所述第一方向与所述若干收料模块(7)配合设置，所述供空盘模块(13)具有所述料盘存储模组(5)和所述收料模块(7)之间流转的第二有效行程；以及

控制系统(3)，与所述上料装置、所述收空盘模块(12)、所述供空盘模块(13)、所述取放料模块(14)及所述视觉识别系统(10)通信连接。

6.根据权利要求5所述的分选机，其中，所述供料位、所述识别位及所述取料位的排列方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向交叉；

所述收料模块(7)具有沿所述第二方向排列的第一收料盘位、第一流转位及第一放料位，所述第一收料盘位和所述供料位沿第三方向并列设置且两者位于所述收空盘模块(12)沿所述第二方向的同一侧，

所述供空盘模块(13)对应所述第一流转位，所述取放料模块(14)对应所述第一放料位；

所述收料模块(7)包括：收料托盘机构(28)和第二料盘输送机构(29)；

所述收料托盘机构(28)位于所述第一收料盘位，所述收料托盘机构(28)包括：收料顶升动力机构(30)、受所述收料顶升动力机构(30)驱动并沿所述第二方向可移动的收料托板(31)及收料集盘机构(75)，所述收料托板(31)位于所述第一收料盘位，所述收料集盘机构(75)沿所述第一方向与所述收料托板(31)配合设置，所述收料集盘机构(75)用于使所述收料托板(31)传递的用于盛放所述集成电路产品的料盘单向通过并适于承载至少一个所述料盘；

所述第二料盘输送机构(29)被配置为：具有自所述第一流转位至所述第一放料位的第一输送行程，及具有自所述第一放料位至所述第一收料盘位的第二输送行程，所述第二料盘输送机构(29)包括：第二输送动力机构(32)和受所述第二输送动力机构(32)驱动的第二输送同步带(33)，所述第二输送同步带(33)用于实现所述第一输送行程和所述第二输送行程。

7.根据权利要求6所述的分选机，其中，所述分选机还包括手工收料模块(9)，所述取放料模块(14)的有效行程经过所述手工收料模块(9)，所述供料位、所述识别位及所述取料位的排列方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向交叉；

所述料盘存储模组(5)包括第一料盘存储模块(501)和第二料盘存储模块(502)，所述供料模块(6)、所述若干收料模块(7)、所述手工收料模块(9)及所述第二料盘存储模块(502)沿第三方向依次排列，所述第三方向交叉于所述第一方向，所述第三方向交叉于所述第二方向；

所述收空盘模块(12)的有效行程经过所述供料模块(6)与所述第一料盘存储模块(501)；

所述供空盘模块(13)的有效行程经过所述第二料盘存储模块(502)、所述手工收料模块(9)及所述若干收料模块(7)；

所述取放料模块(14)的有效行程经过所述手工收料模块(9)。

8.根据权利要求7所述的分选机，其中，所述第一料盘存储模块(501)具有沿所述第二方向排列的收盘位和第二流转位，所述第二料盘存储模块(502)具有沿所述第二方向排列的供盘位和第三流转位；

所述收盘位、所述供盘位及所述供料位位于所述收空盘模块(12)沿所述第二方向的同一侧；

所述收空盘模块(12)的有效行程经过所述第二流转位，所述供空盘模块(13)的有效行程经过所述第三流转位。

9.根据权利要求8所述的分选机，其中，所述第一料盘存储模块(501)包括：第一搬运动力机构(45)、受所述第一搬运动力机构(45)驱动的第一搬运同步带(46)及收空盘托盘机构，所述第一搬运同步带(46)的同步行程经过所述第二流转位和所述收盘位，

所述收空盘托盘机构包括：收空盘顶升动力机构(76)、位于所述收盘位并受所述收空盘顶升动力机构(76)驱动的收空盘托板(77)及收盘集盘机构，所述收盘集盘机构沿所述第一方向与所述收空盘托板(77)配合设置，所述收盘集盘机构用于使所述收空盘托板(77)传递的用于盛装所述集成电路产品的料盘单向通过并适于承载至少一个所述料盘；

所述第二料盘存储模块(502)包括：第二搬运动力机构、受所述第二搬运动力机构驱动的第二搬运同步带及供空盘托盘机构，所述第二搬运同步带的同步行程经过所述供盘位和所述第三流转位，

所述供空盘托盘机构包括：供空盘顶升动力机构、位于所述供盘位并受所述供空盘顶升动力机构驱动的供空盘托板及供盘分盘机构，所述供盘分盘机构适于承载至少一个所述料盘并用于将最靠近所述供空盘托板的料盘与其余料盘分离；

所述收空盘模块(12)包括：第一流转动力机构(47)、受所述第一流转动力机构(47)驱动的第一流转同步带(48)、连接于所述第一流转同步带(48)的第一夹爪动力机构(49)以及受所述第一夹爪动力机构(49)驱动的第一夹爪(50)，所述收空盘模块(12)的有效行程为所述第一夹爪(50)随所述第一流转同步带(48)移动的行程；

所述供空盘模块(13)包括：第二流转动力机构、受所述第二流转动力机构驱动的第二流转同步带、连接于所述第二流转同步带的第二夹爪动力机构以及受所述第二夹爪动力机构驱动的第二夹爪，所述供空盘模块(13)的有效行程为所述第二夹爪随所述第二流转同步带移动的行程。

10.根据权利要求7所述的分选机，其中，所述手工收料模块(9)具有沿所述第二方向排列的第二收料盘位、第四流转位及第二放料位，所述第二收料盘位与所述供料模块(6)的供料位位于收空盘模块(12)沿所述第二方向的同一侧，所述供空盘模块(13)对应所述第四流转位，所述取放料模块(14)对应所述第二放料位；

所述手工收料模块(9)包括顶升料仓机构(34)、第三料盘输送机构(35)、推盘机构(36)及回收机构(37)，

所述顶升料仓机构(34)位于所述第二收料盘位，所述顶升料仓机构(34)包括料仓顶升动力机构(40)、受所述料仓顶升动力机构(40)驱动并沿所述第一方向可移动的料仓(43)以及用于对所述料仓(43)进行监测的料仓传感器(44)，

所述第三料盘输送机构(35)被配置为：具有自所述第四流转位至所述第二放料位的第三输送行程，及具有自所述第二放料位至所述第四流转位的第四输送行程，所述第三料盘输送机构(35)包括：第三输送动力机构(38)和受所述第三输送动力机构(38)驱动的第三输送同步带(39)，所述第三输送同步带(39)用于实现所述第三输送行程和所述第四输送行程，

所述推盘机构(36)用于将所述料仓(43)内的料盘部分地推出到所述第四流转位，

所述回收机构(37)用于将所述料盘自所述第四流转位完全移回所述料仓(43)内。

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