CN201081770Y - 一种可动镜片调整装置 - Google Patents

Abstract

一种可动镜片调整装置，包括底座(1)、镜片座(5)、镜片(6)、凸轮机构(2)、滑动导轨组件(3)和拉伸弹簧(4)，其中凸轮机构固定在底座(1)上，镜片座(5)安装在凸轮机构(2)的上方，镜片(6)固定在镜片座(5)上，滑动导轨组件(3)垂直于底座(1)和镜片座(5)，对称布置在凸轮机构(2)的两侧，拉伸弹簧(4)安装在底座(1)和镜片座(5)之间。本实用新型调整定位的幅度较大，Z向位移精度较高，能有效的减少补偿安装误差和热效应误差。

Description

一种可动镜片调整装置

技术领域

本发明涉及一种光刻设备，尤其涉及一种在光刻领域内的可动镜片调整装置。

背景技术

在光学仪器及光学设备中，镜片的安装精度和温度对镜片造成的热效应影响，使得镜头对物体的成像像质变差，为了解决这一问题，一般采用一个可动镜片，通过调节可动镜片来补偿安装误差和热效应误差。在光刻设备中，投影物镜是一种高精度的光学成像系统，使用时，镜片对环境的热效应影响要求很严格，单纯的依靠控制环境温度来控制热效应影响，在实际中很难操作，难以实现。采用上述的可动镜片的方法，来补偿温度变化对镜片热效应的影响，是一种常用的做法。

可动镜片的调节机构一般采用丝母丝杆，蜗轮蜗杆和滚珠丝杆等，虽然丝母丝杆调节机构结构简单，紧凑，成本低，但移动精度和定位精度较低；蜗轮蜗杆调节机构工作平稳，结构紧凑，但加工困难，并且精度低；滚珠丝杆相对丝母丝杆精度稍高，但成本较高。

实用新型内容

本实用新型所提供的可动镜片调整装置，结构紧凑，成本较低，调整定位的幅度较大，并且定位准确。

为解决以上技术问题，本实用新型一种可动镜片调整装置包括：底座、镜片、座镜片、凸轮机构、滑动导轨组件和拉伸弹簧，其中凸轮机构固定在底座上，镜片座安装在凸轮机构的上方，镜片固定在镜片座上，滑动导轨组件垂直于底座和镜片座，对称布置在凸轮机构的两侧，拉伸弹簧安装在底座和镜片座之间。

其中凸轮机构包括，轴承座、旋转装置，联轴器、主动轮、主动轮轴承、凸轮、凸轮轴承、凸轮座和轴，其中旋转装置通过连轴器与主动轮相连接，主动轮通过主动轮轴承固定在轴承座上，凸轮与轴相连接，轴通过轴承固定在凸轮座上，凸轮座固定在镜片座上，其中旋转装置可以是旋转电机或者旋转手轮。

其中滑动导轨组件包括导轨座、导轨、滑块连接架和滑块，其中导轨固定在导轨座上，导轨座固定在底座上，滑块固定在滑块连接架上，滑块连接架固定在镜片座上。

其中底座还包括三个凸台，位于底座的下方。

本实用新型由于采用了以上技术特征，使之与现有技术相比具有以下优点和积极效果：

1、采用了拉伸弹簧，提高了调解精度和调整幅度；

2、采用了凸轮结构，保证了可动镜片的Z向位移精度。

附图说明

图1为一种可动镜片调整装置的立体图；

图2为一种可动镜片调整装置的平面图；

图3为凸轮机构剖视图；

图4为滑块导轨组件的结构图。

具体实施方式

结合附图1、2、3、4对本实用新型的具体实施方式做详细的介绍：

该可动镜片调整装置主要包括：底座1，凸轮机构2，两个Z向滑动导轨组件3，预紧弹簧4，镜片固定座5，镜片6，其中凸轮机构2固定在底座1上，镜片座5安装在凸轮机构2的上方，镜片6固定在镜片座5上，滑动导轨组件3垂直于底座1和镜片座5，对称布置在凸轮机构2的两侧，拉伸弹簧4安装在底座1和镜片座5之间。

其中底座1是该可动镜片调整装置的基础，它有三个高精度的凸台101位于底座1的下端，凸台101是该可动镜片滑块导轨3的安装基准。

凸轮机构包括，轴承座201、旋转电机202，联轴器203、轴承盖204、主动轮轴承205、主动轮206、轴用弹性挡圈207、凸轮208、轴承盖209、凸轮轴承210、轴211、轴用弹性挡圈212、套筒213、凸轮座214和紧定螺钉215，其中主动轮206通过联轴器203与旋转电机202连接，主动轮206通过主动轮轴承205固定在轴承座201上，轴承座201固定在底座1上，主动轮轴承205的端面用轴承盖204和轴用弹性挡圈207轴向固定；凸轮208通过紧定螺钉215与轴211连接，轴211通过凸轮轴承210固定在凸轮座214上，凸轮座214固定在镜片座5上，凸轮轴承210的两端分别用套筒213和轴承盖209和轴用弹性挡圈212作轴向固定。

为了增强整个机构的调节稳定性，在底座1和镜片座5之间增加了两个滑块导轨3装置，使得整个调节过程变成有轨直线调节。

滑动导轨组件3包括导轨座301、导轨302、滑块连接架303和滑块4，其中两个滑块导轨组件3垂直于底座1和镜片座5安装，对称布置在凸轮机构2的两边，导轨302固定在导轨座301上，导轨座301固定在底座1上，滑块304固定在滑块连接架303上，滑块连接架303固定在镜片座5上。

为了提高调节精度在底座1和镜片座5之间加了4个拉伸弹簧4，防止运动过程中产生间隙，提高调节精度。

本可动镜片调整装置的使用方法是：

1、旋转电机202通过连轴器203与主动轮206连接，带动主动轮206一起旋转；

2、主动轮206通过摩擦带动凸轮208一起旋转，由于凸轮208的偏心结构，使得凸轮208的旋转运动转换成凸轮座214的直线运动。

本凸轮机构采用凸轮的线性原理，可将其位差设计的很小，则Z向位移就容易控制的很准确，从而保证了可动镜片的Z向位移精度，并且近年来随着数控机床和计算机辅助设计与制造的广泛应用，使得凸轮轮廓的精确加工也比较容易。

该可动镜片调整装置，不但操作简单，而且可以有效地减少补偿安装误差和热效应误差。

Claims (5)

1.一种可动镜片调整装置，包括底座(1)、镜片座(5)和镜片(6)，其特征在于该可动镜片调整装置还包括凸轮机构(2)、滑动导轨组件(3)和拉伸弹簧(4)，其中凸轮机构固定在底座(1)上，镜片座(5)安装在凸轮机构(2)的上方，镜片(6)固定在镜片座(5)上，滑动导轨组件(3)垂直于底座(1)和镜片座(5)，对称布置在凸轮机构(2)的两侧，拉伸弹簧(4)安装在底座(1)和镜片座(5)之间。

2.如权利要求1所述的一种可动镜片调整装置，其特征在于，所述的凸轮机构包括，轴承座(201)、旋转装置(202)，联轴器(203)、主动轮(206)、主动轮轴承(205)、凸轮(208)、凸轮轴承(210)、凸轮座(214)和轴(211)，其中旋转电机(202)通过连轴器(203)与主动轮(206)相连接，主动轮(206)通过主动轮轴承(205)固定在轴承座(201)上，凸轮(208)与轴(211)相连接，轴(211)通过轴承(210)固定在凸轮座(214)上，凸轮座(214)固定在镜片座(5)上。

3.如权利要求2所述的一种可动镜片调整装置，其特征在于所述的旋转装置(202)可以是旋转电机或者旋转手轮。

4.如权利要求1所述的一种可动镜片调整装置，其特征在于所述的滑动导轨组件(3)包括导轨座(301)、导轨(302)、滑块连接架(303)和滑块(4)，其中导轨(302)固定在导轨座(301)上，导轨座(301)固定在底座(1)上，滑块(304)固定在滑块连接架(303)上，滑块连接架(303)固定在镜片座(5)上。

5.如权利要求1所述的一种可动镜片调整装置，其特征在于所述的底座(1)还包括三个凸台(101)，位于底座(1)的下方。

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