CN208772043U - 一种半导体超洁净清洗台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种半导体超洁净清洗台，其特征在于：包括支撑架、清洁舱、半导体夹持架、脉冲机构和紫外线杀菌灯；本实用新型中通过驱动电机驱动的半导体夹持架旋转，通过脉冲阀的控制在对准半导体夹持架的脉冲管上产生脉冲，产生的脉冲能对旋转状态的半导体夹持架进行除尘，掉落的灰尘通过负压排风口的负压风机吸出清洁舱；此外，在清洁舱内设置紫外线杀菌灯，能够消毒杀菌，从而提供良好的工作环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体清洁台领域，尤其涉及一种半导体超洁净清洗台。
背景技术
目前，随着经济的快速发展，生产技术也得到一定的提高，并伴随着技术的增长，超净工作台是为了适应现代化工业、光电产业、生物制药以及科研试验等领域对局部工作区域洁净度的需求而设计的，通过洁净空气将尘埃颗粒和生物颗粒带走，以形成无菌的高洁净的工作环境，但是现有的超洁净工作台，往往只除尘，或者除尘效果较差，同时设备的整体设计不利于使用人员操作。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种导体超洁净清洗台，采用的结构设计，造型美观，实用性好，能够很好的在除去灰尘的同时杀菌消毒，增加了便利性，本实用新型简单合理，实用性好，具备多功能。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种半导体超洁净清洗台，其创新点在于：包括支撑架、清洁舱、半导体夹持架、脉冲机构和紫外线杀菌灯；
所述支撑架呈长方体框架结构，清洁舱设置在支撑架上；所述清洁舱的一侧面开有进风口，底端面上开有负压排风口；所述进风口上设置有清洁气源；所述半导体夹持架设置在清洁舱内且半导体夹持架的两端设置有回转轴，所述半导体夹持架的两端通过回转轴承连接在清洁舱的侧壁上，所述半导体夹持架的回转轴延伸至清洁舱的外侧，所述清洁舱的外侧设置有驱动半导体夹持架旋转的驱动电机且驱动电机的输出端连接有减速器；
所述脉冲机构包括气包和脉冲管；所述气包通过支撑板水平设置在清洁舱的顶端，所述气包的一侧边连接有清洁的脉冲气源，气包的另一侧水平设置有出气口且出气口处设置有脉冲阀；所述脉冲管至少具有两个且脉冲管的一端连接在气包的出气口上，脉冲管的另一端延伸至清洁舱内；所述脉冲管上设置有若干对准半导体夹持架的脉冲口；所述紫外线杀菌灯设置在清洁舱的内臂上。
进一步的，所述半导体夹持架为板状结构，半导体夹持架上设置有半导体卡槽且半导体从侧边嵌入到卡槽内。
进一步的，所述负压排风口处设置有负压风机。
本实用新型的优点在于：
1）本实用新型中通过驱动电机驱动的半导体夹持架旋转，通过脉冲阀的控制在对准半导体夹持架的脉冲管上产生脉冲，产生的脉冲能对旋转状态的半导体夹持架进行除尘，掉落的灰尘通过负压排风口的负压风机吸出清洁舱；此外，在清洁舱内设置紫外线杀菌灯，能够消毒杀菌，从而提供良好的工作环境。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型的一种半导体超洁净清洗台的主视图。
具体实施方式
下面的实施例可以使本专业的技术人员更全面地理解本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在所述的实施例范围之中。
如图1所示的一种半导体超洁净清洗台，包括支撑架１、清洁舱２、半导体夹持架３、脉冲机构４和紫外线杀菌灯５。
支撑架１呈长方体框架结构，清洁舱２设置在支撑架１上；所述清洁舱２的一侧面开有进风口，底端面上开有负压排风口21；所述进风口上设置有清洁气源；所述半导体夹持架3设置在清洁舱2内且半导体夹持架3的两端设置有回转轴，所述半导体夹持架3的两端通过回转轴承连接在清洁舱2的侧壁上，所述半导体夹持架3的回转轴延伸至清洁舱2的外侧，所述清洁舱2的外侧设置有驱动半导体夹持架3旋转的驱动电机6且驱动电机的输出端连接有减速器。
脉冲机构4包括气包41和脉冲管42；所述气包41通过支撑板水平设置在清洁舱2的顶端，所述气包41的一侧边连接有清洁的脉冲气源，气包41的另一侧水平设置有出气口且出气口处设置有脉冲阀43；所述脉冲管42至少具有两个且脉冲管的一端连接在气包41的出气口上，脉冲管42的另一端延伸至清洁舱2内；所述脉冲管42上设置有若干对准半导体夹持架3的脉冲口；所述紫外线杀菌灯5设置在清洁舱2的内臂上。
半导体夹持架3为板状结构，半导体夹持架3上设置有半导体卡槽且半导体从侧边嵌入到卡槽内。
负压排风口21处设置有负压风机。
本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (3)
1.一种半导体超洁净清洗台，其特征在于：包括支撑架、清洁舱、半导体夹持架、脉冲机构和紫外线杀菌灯；
所述支撑架呈长方体框架结构，清洁舱设置在支撑架上；所述清洁舱的一侧面开有进风口，底端面上开有负压排风口；所述进风口上设置有清洁气源；所述半导体夹持架设置在清洁舱内且半导体夹持架的两端设置有回转轴，所述半导体夹持架的两端通过回转轴承连接在清洁舱的侧壁上，所述半导体夹持架的回转轴延伸至清洁舱的外侧，所述清洁舱的外侧设置有驱动半导体夹持架旋转的驱动电机且驱动电机的输出端连接有减速器；
所述脉冲机构包括气包和脉冲管；所述气包通过支撑板水平设置在清洁舱的顶端，所述气包的一侧边连接有清洁的脉冲气源，气包的另一侧水平设置有出气口且出气口处设置有脉冲阀；所述脉冲管至少具有两个且脉冲管的一端连接在气包的出气口上，脉冲管的另一端延伸至清洁舱内；所述脉冲管上设置有若干对准半导体夹持架的脉冲口；所述紫外线杀菌灯设置在清洁舱的内臂上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体超洁净清洗台，其特征在于：所述半导体夹持架为板状结构，半导体夹持架上设置有半导体卡槽且半导体从侧边嵌入到卡槽内。
3.根据权利要求1所述的一种半导体超洁净清洗台，其特征在于：所述负压排风口处设置有负压风机。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821370230.7U CN208772043U (zh) | 2018-08-24 | 2018-08-24 | 一种半导体超洁净清洗台 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201821370230.7U CN208772043U (zh) | 2018-08-24 | 2018-08-24 | 一种半导体超洁净清洗台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN208772043U true CN208772043U (zh) | 2019-04-23 |
Family
ID=66158279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201821370230.7U Active CN208772043U (zh) | 2018-08-24 | 2018-08-24 | 一种半导体超洁净清洗台 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN208772043U (zh) |
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2018
- 2018-08-24 CN CN201821370230.7U patent/CN208772043U/zh active Active
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