CN206998695U - 宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具 - Google Patents
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 239000010437 gem Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 44
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 3
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 2
- 229920005479 Lucite® Polymers 0.000 claims 1
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 239000000306 component Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical group [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 210000003437 trachea Anatomy 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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Abstract
本专利公开了一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，由上下真空腔体板组成真空密封腔体，在真空腔体表面加工真空吸附孔阵列，通过真空排气管对真空腔体抽气，从而固定测试样品。该结构的优点在于充分利用背光照射宝石电极板可以避免正光照射镀金图形存在强烈反射的问题。该结构真空吸附夹具采用透光材料制备，使测试样品可以背光照射，对宝石电极板上高密度镀金图形可以清晰分辨，并且采用真空吸附方式固定测试样品不会造成样品表面污染和表面损伤。该结构的真空吸附夹具结构简单，容易加工，特别适合于高密度电极布线的宝石电极板飞针电学测试时样品的固定。
Description
技术领域
本专利公开了一种宝石电极板真空吸附夹具，特别是一种用于高密度布线的宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具。
背景技术
红外探测器组件是红外探测系统的核心元件，在航天和军事等领域有广泛的应用。组件大多数需要工作在低温，为了消除探测器芯片与基板之间的应力,一般采用与红外探测器芯片热匹配的材料进行信号引出,蓝宝石具有低出气率及与探测器材料应力匹配的优点,是目前红外探测器组件应用最多的一种引线基板材料。随着红外探测器组件的规模越来越大,宝石电极板布线密度越来越大,引线间距已经小于100μm，电极金层互联短路和铬残留已经影响到宝石电极板的成品率,采用万用表测试和显微镜镜检已经无法满足高密度布线宝石电极板成品率的筛选。飞针测试设备是一种PCB板内部各网络节点的通断关系，以及内部网络之间内埋电容、电阻、电感值、二极管、三极管的常规检测手段，由于其测试效率高、测试过程可以无压痕和定位精度高的优点，特别适合宝石电极板的通断检测。飞针设备用于高密度布线电极板筛选检测存在两个方面的问题，一是宝石电极板的固定，宝石电极板面积较小和中间存在孔洞，一般的真空吸附夹具稳定吸附存在问题，同时采用粘接的方式存在污染；二是宝石电极板的清晰定位，宝石电极板采用镀金电极层，从设备内部的正光照射存在强烈的反射，CCD无法清晰分辨电极图形。宝石电极板的清晰定位和可靠固定直接关系到探针的定位精度和重复性，从而影响宝石电极板的测试精度和可靠 性，在高密度布线宝石电极板飞针测试时尤为重要。本专利针对这个问题，提出了一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具。
发明内容
本专利的解决的技术问题是：一是宝石电极板的固定，宝石电极板面积较小和中间存在孔洞，一般的真空吸附夹具稳定吸附存在问题，同时采用粘接的方式存在污染；二是宝石电极板的清晰定位，宝石电极板采用镀金电极层，从设备内部的正光照射存在强烈的反射，CCD无法清晰分辨电极图形。
本专利解决的技术问题所采用的技术方案是：在传统真空吸附夹具的基础上改进结构，将真空吸附小孔的大小和间距设计成适合宝石电极板面积小和中间存在孔洞的特点，同时采用蓝膜覆盖宝石电极板放置后多余的真空吸附小孔，蓝膜厚度远小于宝石电极板的厚度，不存在撞针的问题，从而实现宝石电极板的可靠固定；采用背光方式照射宝石电极板，从而避免正光照射金层的强烈反射，真空吸附夹具采用透明度高的材料进行加工，同时减小上下真空腔板透光部分的厚度，在真空腔体下面放置LED灯，从而实现宝石电极板背光照射，使宝石电极板的图形可以清晰分辨，从而解决宝石电极板飞针测试的精度和可靠性问题。
本专利的真空吸附夹具结构包括上真空腔板1、下真空腔板2和真空排气管3，真空吸附夹具由透明材料的上真空腔板1和下真空腔板2通过定位孔1-1和定位螺纹孔2-1螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边1-3将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板1的真空吸附孔阵列1-2区域，裸露的真空吸附孔阵列1-2采用蓝膜覆盖，下真空腔板2内部镂空为中空腔体4，并加工真空排气孔2-2紧配合真空排气管3，真空吸附夹具的抽气通道依次为下真空排气管3、真空排气孔2-2、中空腔体4和真 空吸附孔阵列1-2，当测试样品上下表面形成压差，测试样品就牢固地吸附在测试平台上，测试完成后，停止抽气即可取下样品。LED光源入射到下真空腔板2，透射经过中空腔体4和上真空腔板1，对宝石电极板形成背光照射，从而使飞针测试设备对宝石电极板的图形清晰定位。
所述的真空排气管3采用不锈钢材料。
所述的上真空腔板1和下真空腔板2采用FR-4环氧玻璃纤维板、聚碳酸酯板或PMMA有机玻璃板透光材料。
所述的真空排气孔阵列2-2未被测试样品覆盖的区域采用蓝膜或PE保鲜膜材料覆盖。
本专利的有益效果是：该结构的真空吸附夹具可以用于宝石电极板的通断飞针测试。本专利真空吸附夹具吸附测试样品不会造成样品表面污染和表面损伤，同时真空吸附夹具采用透光材料，使测试样品可以背光照射，对宝石电极板上图形可以清晰分辨。该结构的真空吸附夹具可应用于宝石电极板、陶瓷基板和PCB板等各种测试样品的吸附，同时可应用于飞针测试系统的电学测试和三维影像仪等光学设备的尺寸测量的样品固定。
附图说明
图1是本专利的真空吸附夹具整体结构图。
图2是本专利的真空吸附夹具剖面结构图。
图中：1.上真空腔板，2.下真空腔板，3.真空排气管，4.中空腔体，1-1.定位孔，1-2.真空吸附孔阵列，1-3.夹具固定边，2-1.定位螺纹孔，2-2.真空排气孔。
具体实施方式：
下面结合附图和实例对本专利进一步说明，从图1和图2中可以看出，本 专利为一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，特别适用于存在高密度镀金图形的宝石电极板飞针测试，该结构真空吸附夹具由上真空腔板1和下真空腔板2通过定位孔1-1和定位螺纹孔2-1的8个M3螺丝螺接成真空密封腔体，腔体材料采用透光的FR-4环氧玻璃纤维板，真空腔体上下透光部分板材厚度为3mm,整个真空吸附夹具的尺寸为200mm(长)×200mm(宽)×17mm(高)。通过夹具固定边1-3将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板1的真空吸附孔1-2区域，真空吸附孔1-2为直径Φ4mm，间距7mm的20×15阵列，裸露的真空吸附孔1-2采用蓝膜覆盖，下真空腔体板2内部镂空为中空腔体4，并加工真空排气孔2-2紧配合真空排气管3，真空真空吸附夹具的抽气通道依次为KF16真空排气管3、真空排气孔2-2、中空腔体4和真空吸附孔阵列1-2，当测试样品上下表面形成压差，测试样品就牢固地吸附在测试平台上，测试完成后，停止抽气即可取下样品。LED光源入射到下真空腔板2，透射经过中空腔体4和下真空腔板2，对宝石电极板形成背光照射，从而使飞针测试设备对宝石电极板的图形清晰定位。该真空吸附夹具结构简单，可以实现测试样品的背光照射，同时采用吸附方式固定样品，免除测试样品的安装和拆卸，不会对测试样品造成表面污染和表面损伤。
Claims (3)
1.一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)和真空排气管(3)，其特征在于：
所述的真空吸附夹具由真空吸附夹具由上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1-1)和定位螺纹孔(2-1)螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边(1-3)将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板(1)的真空吸附孔阵列(1-2)区域，裸露的真空吸附孔阵列(1-2)采用蓝膜覆盖，下真空腔板(2)内部镂空为中空腔体(4)，并加工真空排气孔(2-2)紧配合真空排气管(3)，真空吸附夹具的抽气通道依次为下真空排气管(3)、真空排气孔(2-2)、中空腔体(4)和真空吸附孔阵列(1-2)，当测试样品上下表面形成压差，测试样品就牢固地吸附在测试平台上，测试完成后，停止抽气即可取下样品。
2.根据权利要求1所述的一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，其特征在于：所述的真空排气管(3)采用不锈钢材料。
3.根据权利要求1所述的一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，其特征在于：所述的上真空腔板(1)和下真空腔板(2)采用FR-4环氧玻璃纤维板、聚碳酸酯板或PMMA有机玻璃板透光材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720838180.XU CN206998695U (zh) | 2017-07-12 | 2017-07-12 | 宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720838180.XU CN206998695U (zh) | 2017-07-12 | 2017-07-12 | 宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206998695U true CN206998695U (zh) | 2018-02-13 |
Family
ID=61453893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720838180.XU Active CN206998695U (zh) | 2017-07-12 | 2017-07-12 | 宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206998695U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107186648A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-09-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具 |
-
2017
- 2017-07-12 CN CN201720838180.XU patent/CN206998695U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107186648A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-09-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具 |
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |