CN204966451U - 一种磷扩散用匀流挡板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种磷扩散用匀流挡板，包括方形的匀流板本体，匀流板本体按对角线分成上本体板和下本体板，匀流板本体的四个角设有圆弧倒角，所述上本体板上均匀设有呈喇叭状的孔洞，孔洞包括进气的前孔和出气的后孔，后孔直径大于前孔，所述下本体板两侧设有卡槽，本实用新型解决了气流通过匀流挡板时均匀性不容易控制、匀流挡板容易损坏和扩散时气流容易导致匀流挡板晃动和断裂的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种匀流挡板，尤其涉及一种磷扩散用匀流挡板。
背景技术
近年来，随着常规能源的逐步枯竭和对能源需求的的日益剧增，人类面临的越来越严重的能源危机，而发展太阳能电池是解决上述问题的途经之一。投资者对于太阳能行业的兴趣也与日俱增。太阳能作为一种新型可再生能源，同化石燃料相比，其分布发广泛，可自由利用，取之不尽，用之不竭；而且太阳能发电绝对干净，不产生公害。所以太阳能发电被誉为最理想的能源，是人类最终可以依赖的能源。
太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转化成电能。在太阳能电池中晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。
目前晶体硅太阳电池作为主要的光伏材料占市场份额的80-90%，现有的制造晶体硅太阳电池的制造流程为：表面清洗及织构化、扩散制结、清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。这种商业化的晶体硅电池制造技术相对简单、成本较低，适合工业化、自动化生产，因而得到了广泛应用。其中，扩散制结工艺作为晶体硅太阳电池的核心技术，目的是形成与基体导电类型相反的发射区，从而形成PN结。
目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结工序是关键工序之一。太阳能电池在不断追求高效率的同时，扩散也不断追求高方阻，而方块电阻均匀性是扩散高方阻追求的首要目标，方阻均匀性的好坏会严重影响太阳能电池的效率。现有的技术中在进行磷扩散时，扩散炉口及炉尾处方块电阻的均匀性不容易控制，现有的匀流挡板容易损坏，而且扩散时气流容易导致匀流挡板晃动和断裂。
实用新型内容
本实用新型发明的目的是提供一种磷扩散用匀流挡板，该磷扩散用匀流挡板解决了气流通过匀流挡板时均匀性不容易控制、匀流挡板容易损坏和扩散时气流容易导致匀流挡板晃动和断裂的问题。
为了实现上述发明目的，本实用新型的一种磷扩散用匀流挡板包括方形的匀流板本体，匀流板本体按对角线分成上本体板和下本体板，匀流板本体的四个角设有圆弧倒角，所述上本体板上均匀设有呈喇叭状的孔洞，孔洞包括进气的前孔和出气的后孔，后孔直径大于前孔，所述下本体板两侧设有卡槽。
所述匀流板本体为石英板，匀流板本体厚度为300μm-500μm。
所述前孔直径大小为5mm。
所述后孔直径为前孔的两倍。
所述圆弧倒角直径为20mm。
采用这种磷扩散用匀流挡板，具有以下优点：
1、由于上本体板上均匀设有呈喇叭状的孔洞，这样掺杂源的气流会从孔洞中均匀的流入待扩散的硅片中，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高方块电阻的均匀性；
2、由于匀流板本体的四个角设有圆弧倒角，这样可以防止匀流挡板由于应力集中而损坏，提高了匀流挡板的使用寿命；
3、由于下本体板两侧设有卡槽，这样可以使匀流挡板能卡在石英舟上，与石英舟更好的匹配，避免扩散时的气流导致匀流挡板晃动和断裂的情况发生。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型一种磷扩散用匀流挡板的结构示意图。
图2是本实用新型中孔洞的截面图。
其中有：1.匀流板本体；2.圆弧倒角；3.上本体板；4.下本体板；5.孔洞；5.1.前孔；5.2.后孔；6.卡槽。
具体实施方式
图1、图2所示一种磷扩散用匀流挡板，包括方形的匀流板本体1，匀流板本体1按对角线分成上本体板3和下本体板4，匀流板本体1的四个角设有圆弧倒角2，所述上本体板3上均匀设有呈喇叭状的孔洞5，孔洞5包括进气的前孔5.1和出气的后孔5.2，后孔5.2直径大于前孔5.1，所述下本体板4两侧设有卡槽6。
所述匀流板本体1为石英板，匀流板本体1厚度为300μm-500μm。
所述前孔5.1直径大小为5mm。
所述后孔5.2直径为前孔5.1的两倍。
所述圆弧倒角2直径为20mm。
在使用时，将匀流档板置于扩散用石英舟的炉口及炉尾，在进行磷扩散时，掺杂源的气流会从孔洞5中均匀的流入待扩散的硅片中，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高方块电阻的均匀性，并且在下本体板4两侧设有卡槽6，这样可以使匀流挡板能卡在石英舟上，与石英舟更好的匹配，避免扩散时的气流导致匀流挡板晃动和断裂的情况发生。
本申请中没有详细说明的技术特征为现有技术。上述实施例仅例示性说明本申请的原理及其功效，而非用于限制本申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种磷扩散用匀流挡板，其特征在于：包括方形的匀流板本体，匀流板本体按对角线分成上本体板和下本体板，匀流板本体的四个角设有圆弧倒角，所述上本体板上均匀设有呈喇叭状的孔洞，孔洞包括进气的前孔和出气的后孔，后孔直径大于前孔，所述下本体板两侧设有卡槽。
2.按照权利要求1所述的磷扩散用匀流挡板，其特征在于：所述匀流板本体为石英板，匀流板本体厚度为300μm-500μm。
3.按照权利要求1所述的磷扩散用匀流挡板，其特征在于：所述前孔直径大小为5mm。
4.按照权利要求1所述的磷扩散用匀流挡板，其特征在于：所述后孔直径为前孔的两倍。
5.按照权利要求1所述的磷扩散用匀流挡板，其特征在于：所述圆弧倒角直径为20mm。
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| CN201520584580.3U CN204966451U (zh) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 一种磷扩散用匀流挡板 |
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| CN204966451U true CN204966451U (zh) | 2016-01-13 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
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2015
- 2015-08-05 CN CN201520584580.3U patent/CN204966451U/zh not_active Expired - Fee Related
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