CN1670939A

CN1670939A - 标记方法及标记装置和检查装置

Info

Publication number: CN1670939A
Application number: CN 200510055195
Authority: CN
Inventors: 矢泽雅彦
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2004-03-18
Filing date: 2005-03-16
Publication date: 2005-09-21
Also published as: JP2005268486A

Abstract

本发明提供一种标记方法及标记装置和检查装置，目的在于，对基板上的特定位置迅速附加大小均匀的标记。检查装置具有显微镜(1)和标记装置(2)，标记装置(2)具有：保持形成有多个电路(W2)的基板(W1)的载物台(21)；对判定为不良的电路(W2)附加标记的标记附加单元(22)；控制载物台(21)和标记附加单元(22)的控制装置(24)。控制装置(24)存储通过显微镜检查判定为不良的电路(W2)的载物台(21)的位置，根据该位置控制标记附加单元(22)和载物台(21)的位置。

Description

标记方法及标记装置和检查装置

技术领域

本发明涉及对特定的检查对象进行标记的标记方法及标记装置、以及包括这种标记装置的检查装置。

本申请对2004年03月18日申请的日本国专利申请第2004-077896号主张优先权，并将其内容引用于此。

背景技术

在半导体电路的制造工序等中，在其最后工序中，对形成于晶片上的电路进行电气检查和目视检查，对判断为不良的电路，使用墨水附加标记(符号)。这样，通过附加标记，可以通过晶片表面的图像处理筛选合格品和不合格品，所以在将晶片按电路进行切割后，能够用芯片安装器自动地仅取出合格品。

此处，为了可靠地进行根据图像处理的筛选，优选标记的大小和形状要均匀。另外，如果墨水量大，在检查后烘干晶片时，产生墨水滴下，墨水有时会附着在其他电路上。另外，如果墨水量少，将不能通过图像处理进行识别，有可能把不合格品视为合格品。因此，在以往的标记装置中，在向电路上点墨水的墨印器上设置压力传感器，并控制成利用相同的接触压力对多个电路进行标记(例如，参照日本国特开2000-269274号公报的第0011～0013段)。另外，在具有电气检查用探针和墨印器的装置中，设置摄像单元，拍摄检查时的探针，存储其焦点对准的摄像条件，在进行标记时移动墨印器，以使在该摄像条件下墨印器的焦点对准(例如，参照日本国特开平7-297242号公报的第0016～0020段)。

但是，为了检测墨印器和电路的接触压力，存在需要用于检测压力的新机构的问题。另外，需要预先调整接触压力和标记大小的相关。并且，晶片有时因形成电路而翘曲或因保持条件而挠曲，但在这种翘曲或挠曲较大的情况下，有可能不能准确测定接触压力。

另一方面，在设置摄像单元的情况下，需要新的摄像单元。并且，必须根据摄像条件运算载物台、探针和墨印器的位置，处理需要较长的时间。另外，在晶片有翘曲和挠曲的情况下，按电路调整位置是很困难的事情。

发明内容

本发明就是鉴于这些问题而提出的，其目的在于，对基板上的特定位置迅速附加大小均匀的标记。

本发明的标记方法是，把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据关于所述特定电路的所述位置信息，调整所述基板的位置，然后附加标记。

也可以根据对先检查的基板所测定的位置信息，调整后检查的基板的位置。

并且，本发明的标记装置，根据形成于基板上的多个电路的检查结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有：保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；对所述特定电路附加标记的标记附加单元；在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。

另外，本发明的检查装置，检查形成于基板上的多个电路，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有：保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；使用所述载物台检查电路的检查单元；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；对所述特定电路附加标记的标记附加单元；在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。

也可以把所述检查单元作为光学观察装置，所述存储单元存储相当于所述光学观察装置的焦点位置的所述载物台的位置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的检查装置的结构的示意图。

图2是表示检查流程的图。

图3是表示利用显微镜进行目视检查时的载物台位置的一例的示意图。

图4是表示附加标记时的载物台位置的一例的示意图。

图5是表示检查流程的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的优选实施方式。

首先，说明本发明的第1实施方式。

如图1所示，检查装置包括：显微镜1，用于目视检查形成于基板W1上的多个电路W2；对判定为不良的电路W2附加标记的标记装置2。其中，作为基板W1，可以列举硅等的半导体晶片或玻璃基板、玻璃环氧树脂和酚醛树脂等树脂基板、陶瓷基板。并且，电路W2构成为包括使用规定的半导体工艺和印刷技术在基板W1上制作的布线和元件等。并且，电路W2在一个基板W1上形成有多个。在图1中，作为一例图示了9个电路W21～W29。另外，在后面的工序中，基板W1被按电路W2进行切割，形成多个电路基板即芯片。

作为检查单元的显微镜1具有主体11，在主体11上安装有自由旋转的转换器(revolver)13，转换器13上安装有多个物镜12。另外，在主体11上安装有观察电路W2的目镜14。另外，该显微镜1也可以使用CCD(Charged Coupled Device：电荷耦合器件)等的摄像单元(未图示)代替目镜14，也可以同时使用目镜14和摄像单元。这些情况时的显微镜1还具有显示摄像单元的像的监视器。即，检查单元是光学观察装置即可，优选具有自动调焦机构。

标记装置2包括：从下侧保持基板W1的载物台21；对特定电路W2附加标记的标记附加单元22；输入单元23；控制装置24；存储单元25。另外，在该实施方式中，载物台21和显微镜1是共用的。

载物台21具有：吸附并保持基板W1的基板保持部31；使基板保持部31在上下方向(图1中的Z方向)移动的升降部32；使升降部32在与上下方向正交的两个方向(图1中的X方向和Y方向)移动的水平移动部33。另外，所说的Z方向是在显微镜1中调整焦点的光轴方向。

标记附加单元22具有储存墨水的墨盒34，在墨盒34的下端安装有筒状喷嘴35。在该喷嘴35内插入有针头(needle)36。针头36的一部分也插入墨盒34内。另外，针头36通过由螺线管线圈等构成的驱动部37可从喷嘴35的末端自由进退。

输入单元23是向控制装置24输入将要标记的电路W2的装置，例如包括作业者用手指操作的按钮等。并且，也包括在检查时用于使载物台21在X方向、Y方向、Z方向移动的开关等。

控制装置24连接着显微镜1、载物台21的升降部32和水平移动部33、标记附加单元22的驱动部37、和存储单元25。该控制装置24由CPU(中央运算装置)和存储器等构成，控制基板W1的位置调整和附加标记的定时等。

存储单元25存储利用显微镜1检查电路W2时的基板位置的信息(位置信息)。此处，位置信息由载物台21的X方向的位置(X坐标)、Y方向的位置(Y坐标)和Z方向的位置(Z坐标)构成。各坐标可以从控制装置24指令载物台21移动时输出的信号中获得。并且，在对载物台21的位置进行反馈控制时，可以从安装在升降部32和水平移动部33的位置检测传感器(未图示)的测定数据中获得。其中，所说的X坐标和Y坐标是以基板W1的中心为基准的值。这样，可以利用X坐标和Y坐标确定电路W2。另外，一般，标记是针对电路(切割后的芯片)W2的中心位置进行的，所以将该电路W2的中心位置作为X坐标和Y坐标进行存储。

下面，参照图1～图4说明该实施方式的作用。

首先，如图1所示，把形成有多个电路W2的基板W1吸附保持在载物台21上，使基板W1的中心和载物台21的中心一致。此时的载物台21和基板W1的中心的X坐标和Y坐标都是零。

在该状态下，如图2所示，一面使载物台21在X方向和Y方向移动，一面使将要检查的电路W2移动到显微镜1的光轴上(步骤S1)。例如图3所示，在检查电路W22时，使载物台21向X方向的负侧移动，把电路W22配置在物镜12的光轴上。

在载物台21的移动结束后，检查员操作显微镜1的未图示的调焦部，使显微镜1的焦点对准在电路W22上(步骤S2)。

此处，在电路W22中发现有布线不足等缺陷时，检查员操作输入单元23，把电路W22登记为不良电路(步骤S3)。由此，载物台21的X坐标、Y坐标、Z坐标被从载物台21输入到控制装置24。在控制装置24中获得来自输入单元23的信息后，作为不良电路W2的位置信息，把此时的载物台2 1的X坐标、Y坐标、Z坐标存储在存储单元25中。

并且，在其他电路W2的检查结束，而且不良电路(例如电路W22)的登记结束后，转入标记工序。即，使载物台21水平移动，从图1所示的观察位置移动到可以标记的位置(步骤S4)。例如图4所示，使载物台21向X方向的正侧移动，把电路W22配置在标记附加单元22的针头36的下方。此时的载物台21的移动量通过控制装置24进行运算。即，控制装置24读出存储在记录单元38中的电路W22的位置信息，分别从针头36的末端的X坐标和Y坐标减去电路W22的X坐标和Y坐标，使载物台21仅移动相当于该差的距离。

在针头36的下方，使应该附加标记的特定电路(电路W22)移动后，控制装置24读出位置信息中包含的Z坐标，使升降部32在上下方向移动，调整载物台21的高度(步骤S5)。这样，在X方向、Y方向和Z方向的位置调整结束后，控制装置24向标记附加单元22输出驱动信号。然后，标记附加单元22使针头36仅突出预先确定的量。此时，针头36的末端以规定的接触压力接触被调整了位置的电路W22，在其表面涂覆墨水。然后，针头36被拉回喷嘴35内，在电路W22上形成标记(步骤S6)。

此处，作为应该附加标记的特定电路，只取了一个电路W22，但在有多个不良电路时，有关所有不良电路的位置信息被登记在存储单元25中。并且，在进行标记时，控制装置24从第一个登记的位置信息开始顺序读出，对每个不良电路调整载物台21的位置，对所有不良电路顺序进行标记。然后，在全部完成必要的标记后，结束此处的处理。另外，已完成检查的基板W1被切割成各电路W2，只取出合格品。

根据该实施方式，在利用检查单元(显微镜1)进行电路W2的检查时，将判定为不良的电路W2的位置包括高度方向的位置在内存储在存储单元25中，根据该位置调整标记位置，所以即使基板W1存在翘曲和挠曲时，也能够把从标记附加单元22到电路W2的距离调整得大致固定。因此，可以把标记的形状和大小控制为大致固定。特别是即使在相对基板W1，载物台21的基板保持部31的直径较小、基板W1容易挠曲的情况下，也能够均匀地对不良电路附加标记。

并且，不必在标记附加单元22上设置压力传感器等特殊机构，即可均匀地进行标记。另外，在有大量不良电路W2的情况下，也能够迅速地进行标记。

并且，在对每个电路W2调整标记附加单元22和电路W2之间的距离时，把调整使用的位置信息作为显微镜1的焦点位置(动作距离)，所以与机械地测定载物台21的位置时相比，能够容易获得精度良好的信息。

另外，在检查和标记时共用载物台，所以能够迅速进行从基于外观检查的不良电路判定到标记的工序。

下面，说明本发明的第2实施方式。另外，对和第1实施方式相同的构成要素赋予相同符号。并且，省略重复说明。

该实施方式的特征是，在具有图1所示结构的检查装置中，在基板没有翘曲和挠曲、或几乎可以忽略的情况下，沿着基板的一条直线获取位置信息，根据该位置信息进行标记的位置调整。

以下，主要参照图5的流程图说明基板W1为圆形状时的情况。

首先，获取基板W1的一个半径上的电路W2的位置信息(步骤S11)。例如，如图1所示，使载物台21从基板W1的中心和载物台21的中心一致的保持状态起在X方向移动，并顺序进行表示从基板中心朝向周缘部的一个半径的直线(一个半径)上的电路W21～W25的焦点对准。并且，把在各个电路W21～W25上进行焦点对准时的载物台21的位置，作为第一位置信息从输入单元23存储在存储单元25中。

获取了沿着基板W1的一个半径的第一位置信息后，接着使载物台21的水平移动部33动作，将要检查的电路W2移动到显微镜1的光轴上(步骤S12)。另外，使载物台21的升降部32动作，将焦点对准在将要检查的电路W2上(步骤S13)。并且，根据显微镜1的目视结果，在将视场内的电路W2判定为不良时，使用输入单元23把该电路W2的X坐标和Y坐标存储在存储单元25中(步骤S14)。存储单元25把X坐标和Y坐标存储为不良电路的位置信息(第二位置信息)。

并且，在所有不良电路的位置信息登记结束后，使载物台21移动到标记位置，对不良电路进行标记。此时，在确定不良电路的第二位置信息中不包含Z坐标的信息，所以控制装置24根据沿着基板W1的一个半径获取的第一位置信息，设定不良电路的Z坐标。例如，在图1所示电路W27为不良电路的情况下，根据第二位置信息算出从基板W1的中心到电路W27的距离。并且，抽出沿着基板W1的一个半径获取的第一位置信息中接近该距离的位置信息的Z坐标，把该坐标设为该不良电路的Z坐标。

根据该实施方式，即使不登记所有不良电路的Z坐标，也能够对每个特定的不良电路调整位置，所以能够附加大小均匀的标记。在连续检查具有相同结构的多个基板W1时，可以使用先检查的基板W1的信息，调整后检查的基板W1的标记位置，所以能够快速进行检查。此处，沿着半径获取位置信息的基板W1可以是为了测定位置信息而准备的基板。

以上，说明了本发明的优选实施方式，但本发明不限于这些实施方式，可以广泛应用。可以在不脱离本发明宗旨的范围内进行结构的追加、省略、替换及其他变更。本发明不受前面说明的限定，仅受附加的权利要求书的限定。

例如，标记附加单元22也可以是利用激光光束照射进行标记的单元，以代替使针头接触电路W2进行标记的单元。并且，也可以是利用从喷嘴喷出墨水进行标记的单元。在喷出墨水时，如果从喷嘴到电路W2的距离变化，则标记的大小也变化，但如前述的实施方式那样，获取调整显微镜1的焦点时的位置信息，根据该位置信息控制从喷嘴的末端到电路W2的距离使其保持固定，由此可以使标记的大小和形状均匀。

并且，也可以分别构成显微镜1和标记装置2。也可以将控制装置24和存储单元25构成为一体。

另外，设有检查装置的检查单元也可以是进行电气检查的探针装置，以代替目视检查用显微镜1。该情况时，把探针接触电路W2的规定位置时的X坐标、Y坐标和Z坐标存储为位置信息。

并且，也可以在每检查一个电路W2时进行标记，还可以在每检查相邻的规定数量的电路时进行标记。

另外，在调整标记位置时，也可以对位置信息进行校正。例如在把显微镜作为检查单元的情况下，焦点距离(动作距离)根据物镜12的倍率而不同，所以控制装置24获取检查时使用的物镜12的倍率信息，根据物镜12的倍率校正Z坐标。

并且，也可以在切割后的芯片状态下进行检查，以代替在形成有多个电路W2的状态下检查。该情况时，载物台21被用来保持芯片。

本发明的标记方法把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据所述特定电路的所述位置信息，在调整所述基板的位置后附加标记。

在该情况下，可以根据对先检查的基板所测定的位置信息，调整后检查的基板的位置。

根据该标记方法，对需要标记的电路存储其检查时的载物台的位置，根据该位置调整标记位置，所以即使基板的高度因位置而变化时，也能够使标记的形状和大小均匀。此处，在连续检查相同基板时，如果共用位置信息、特别是高度方向的信息，可以缩短检查时间。

并且，本发明的标记装置，根据形成于基板上的多个电路的检查结果，对判定为不良的特定电路附加标记，具有：保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；对所述特定电路附加标记的标记附加单元；在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。

根据该标记装置，对需要标记的电路存储其检查时的载物台的位置信息，根据该位置信息调整标记位置，所以即使基板的高度因位置而不同时，也能够使从电路到标记附加单元的距离固定。由此，在利用标记附加单元对电路附加标记时，该标记的形状和大小均匀。

另外，本发明的检查装置，检查形成于基板上的多个电路，对判定为不良的特定电路附加标记，具有：保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；使用所述载物台检查电路的检查单元；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；对所述特定电路附加标记的标记附加单元；在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。

该情况时，把所述检查单元作为光学观察装置，所述存储单元也可以存储相当于所述光学观察装置的焦点位置的所述载物台的位置。

根据该检查装置，使用相同载物台进行检查和标记，所以能够连续进行检查和标记。特别是能够对检查结果是判定为不良的电路快速附加标记。此时，根据检查时的载物台的位置信息调整标记位置，所以标记的形状和大小均匀。此处，如果把检查单元用作光学观察装置，根据对准焦点的位置信息对标记位置进行光学调整，所以能够使用已有的自动聚焦机构。

Claims

1.一种标记方法，把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，

存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据关于所述特定电路的所述位置信息，调整所述基板的位置，然后附加标记。

2.根据权利要求1所述的标记方法，其特征在于，

根据对先检查的基板所测定的位置信息，调整后检查的基板的位置。

3.一种标记装置，根据检查形成于基板上的多个电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有：

保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；

在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；

对所述特定电路附加标记的标记附加单元；

在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。

4.一种检查装置，检查形成于基板上的多个电路，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有：

保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；

使用所述载物台检查电路的检查单元；

对所述特定电路附加标记的标记附加单元；

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述检查单元是光学观察装置，所述存储单元存储相当于所述光学观察装置的焦点位置的所述载物台的位置。