CN113149299A - 一种超纯水过滤系统 - Google Patents
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- 238000001914 filtration Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims abstract description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 99
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 claims abstract description 96
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 22
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 15
- 238000005189 flocculation Methods 0.000 claims description 6
- 230000016615 flocculation Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
Images
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/001—Processes for the treatment of water whereby the filtration technique is of importance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/28—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
- C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
- C02F1/54—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using organic material
- C02F1/56—Macromolecular compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2303/00—Specific treatment goals
- C02F2303/04—Disinfection
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种超纯水过滤系统，包括过滤系统本体，所述过滤系统本体主要包括过滤罐和消毒罐，所述过滤罐主要包括罐体及横向设置在罐体内的若干过滤层，所述过滤罐的顶部设置有进水口，过滤罐的底部设置有带有电磁阀的出水口，该出水口上通过带有抽水泵和单向阀的出水管道与所述消毒罐连接并将过滤后的水输送至消毒罐进行消毒；所述消毒罐包括第一消毒罐和第二消毒罐，第一消毒罐内设置有水质检测系统，第一消毒罐的排水口上通过三通管道设置有第一控制阀和第二控制阀，所述水质检测系统用于检测第一消毒罐内消毒后的水质并根据检测结果控制第一控制阀和第二控制阀的通断以将第一消毒罐内的水排出或循环至第二消毒罐进行二次消毒。
Description
技术领域
本发明涉及水处理装置技术领域，具体涉及一种超纯水过滤系统。
背景技术
超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm的水，常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等，此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水，超纯水处理，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18 .25MΩ*cm，超纯水生产时往往需要用到过滤设备，但是现有的超纯水过滤设备结构比较单一，大多为一体式的过滤结构，清洗较为不便的同时还存在过滤效果不佳的问题，加大了后续设备的处理压力，提高了加工成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种结构简单，使用方便且过滤效果更好的超纯水过滤系统。
本发明的目的是通过如下技术方案来完成的，一种超纯水过滤系统，包括用于超纯水处理过程中对水进行过滤的过滤系统本体，所述过滤系统本体主要包括配套设置的过滤罐和消毒罐，所述过滤罐主要包括罐体及横向设置在罐体内的若干过滤层，所述过滤罐的顶部设置有进水口，过滤罐的底部设置有带有电磁阀的出水口，该出水口上通过带有抽水泵和单向阀的出水管道与所述消毒罐连接并将过滤后的水输送至消毒罐进行消毒；所述消毒罐包括并列设置的第一消毒罐和第二消毒罐，所述第一消毒罐内设置有水质检测系统，第一消毒罐的排水口上通过三通管道设置有第一控制阀和第二控制阀，所述水质检测系统用于检测第一消毒罐内消毒后的水质并根据检测结果控制第一控制阀和第二控制阀的通断以将第一消毒罐内的水排出或循环至第二消毒罐进行二次消毒。
进一步地，所述第一消毒罐主要包括罐体及设置在罐体内的消毒层、吸附层和储水层，所述消毒层内设置有紫外发生器；所述水质检测系统主要包括设置在储水层内的水质检测器及设置在罐体外壁上并与所述水质检测器电性连接的控制模块，所述控制模块用于接收水质检测器的检测数据并根据该检测数据控制第一控制阀和第二控制阀的通断；所述第一消毒罐与第二消毒罐的连接管道上设置有抽水泵及单向阀。
进一步地，所述第二消毒罐主要包括罐体及设置在罐体内的消毒层、第一吸附层、第二吸附层和储水层，且所述第一吸附层和第二吸附层的厚度均大于第一消毒罐内吸附层的厚度，所述消毒层内设置有紫外发生器，所述第二消毒罐的储水层内设置有水质检测器。
进一步地，所述过滤层包括由上到下依次设置在过滤罐内的絮凝层、粗过滤层和精过滤层，且所述絮凝层的材料为聚丙烯酰胺。
进一步地，所述第一消毒罐、第二消毒罐及过滤罐的罐体底部均设置有支撑腿，所述支撑腿的底部设置有橡胶脚垫。
本发明的有益技术效果在于：本发明通过分体式的过滤罐和消毒罐对水进行分步处理，因此在清洗或更换过滤层时只需要对过滤罐进行清洗或更换即可，从而降低了设备维护成本，消毒罐分为第一消毒罐和第二消毒罐，当第一消毒罐内处理后的水质符合预定值时即可直接排除进行后续处理，如果低于预期则将水通入到第二消毒罐进行二次处理，从而提高了水的过滤效果，避免了因过滤不佳给后续设备带来的处理压力。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
具体实施方式
为使本领域的普通技术人员更加清楚地理解本发明的目的、技术方案和优点，以下结合附图和实施例对本发明做进一步的阐述。
在本发明的描述中，需要理解的是，“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“横向”、“竖向”等术语所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示或暗示所指的装置或原件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本发明的限制。
如图1所示，本发明所述的一种超纯水过滤系统，包括用于超纯水处理过程中对水进行过滤的过滤系统本体，所述过滤系统本体主要包括配套设置的过滤罐1和消毒罐2，所述过滤罐1主要包括罐体及横向设置在罐体内的若干过滤层，所述过滤罐1的顶部设置有进水口11，过滤罐1的底部设置有带有电磁阀12的出水口13，该出水口13上通过带有抽水泵3和单向阀4的出水管道5与所述消毒罐2连接并将过滤后的水输送至消毒罐2进行消毒；所述消毒罐2包括并列设置的第一消毒罐21和第二消毒罐22，所述第一消毒罐21内设置有水质检测系统，第一消毒罐21的排水口上通过三通管道设置有第一控制阀211和第二控制阀212，所述水质检测系统用于检测第一消毒罐21内消毒后的水质并根据检测结果控制第一控制阀211和第二控制阀212的通断以将第一消毒罐21内的水排出或循环至第二消毒罐22进行二次消毒。所述过滤层包括由上到下依次设置在过滤罐1内的絮凝层14、粗过滤层15和精过滤层16，且所述絮凝层14的材料为聚丙烯酰胺。
参照图1所示，所述第一消毒罐21主要包括罐体及设置在罐体内的消毒层213、吸附层214和储水层，所述消毒层213内设置有紫外发生器215；所述水质检测系统主要包括设置在储水层内的水质检测器6及设置在罐体外壁上并与所述水质检测器3电性连接的控制模块，所述控制模块用于接收水质检测器3的检测数据并根据该检测数据控制第一控制阀211和第二控制阀212的通断；所述第一消毒罐21与第二消毒罐22的连接管道上设置有抽水泵3及单向阀4。所述第二消毒罐22主要包括罐体及设置在罐体内的消毒层213、第一吸附层216、第二吸附层217和储水层，且所述第一吸附层216和第二吸附层217的厚度均大于第一消毒罐21内吸附层214的厚度，所述消毒层213内设置有紫外发生器215，所述第二消毒罐22的储水层内设置有水质检测器6。
参照图1所示，所述第一消毒罐21、第二消毒罐22及过滤罐1的罐体底部均设置有支撑腿7，所述支撑腿7的底部设置有橡胶脚垫8。
本发明通过分体式的过滤罐和消毒罐对水进行分步处理，因此在清洗或更换过滤层时只需要对过滤罐进行清洗或更换即可，从而降低了设备维护成本，消毒罐分为第一消毒罐和第二消毒罐，当第一消毒罐内处理后的水质符合预定值时即可直接排除进行后续处理，如果低于预期则将水通入到第二消毒罐进行二次处理，从而提高了水的过滤效果，避免了因过滤不佳给后续设备带来的处理压力。本文中所描述的具体实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，但凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种超纯水过滤系统，包括用于超纯水处理过程中对水进行过滤的过滤系统本体，其特征在于：所述过滤系统本体主要包括配套设置的过滤罐和消毒罐，所述过滤罐主要包括罐体及横向设置在罐体内的若干过滤层，所述过滤罐的顶部设置有进水口，过滤罐的底部设置有带有电磁阀的出水口，该出水口上通过带有抽水泵和单向阀的出水管道与所述消毒罐连接并将过滤后的水输送至消毒罐进行消毒；所述消毒罐包括并列设置的第一消毒罐和第二消毒罐，所述第一消毒罐内设置有水质检测系统，第一消毒罐的排水口上通过三通管道设置有第一控制阀和第二控制阀，所述水质检测系统用于检测第一消毒罐内消毒后的水质并根据检测结果控制第一控制阀和第二控制阀的通断以将第一消毒罐内的水排出或循环至第二消毒罐进行二次消毒。
2.根据权利要求1所述的超纯水过滤系统，其特征在于：所述第一消毒罐主要包括罐体及设置在罐体内的消毒层、吸附层和储水层，所述消毒层内设置有紫外发生器；所述水质检测系统主要包括设置在储水层内的水质检测器及设置在罐体外壁上并与所述水质检测器电性连接的控制模块，所述控制模块用于接收水质检测器的检测数据并根据该检测数据控制第一控制阀和第二控制阀的通断；所述第一消毒罐与第二消毒罐的连接管道上设置有抽水泵及单向阀。
3.根据权利要求2所述的超纯水过滤系统，其特征在于：所述第二消毒罐主要包括罐体及设置在罐体内的消毒层、第一吸附层、第二吸附层和储水层，且所述第一吸附层和第二吸附层的厚度均大于第一消毒罐内吸附层的厚度，所述消毒层内设置有紫外发生器，所述第二消毒罐的储水层内设置有水质检测器。
4.根据权利要求2或3所述的超纯水过滤系统，其特征在于：所述过滤层包括由上到下依次设置在过滤罐内的絮凝层、粗过滤层和精过滤层，且所述絮凝层的材料为聚丙烯酰胺。
5.根据权利要求4所述的超纯水过滤系统，其特征在于：所述第一消毒罐、第二消毒罐及过滤罐的罐体底部均设置有支撑腿，所述支撑腿的底部设置有橡胶脚垫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110430251.3A CN113149299A (zh) | 2021-04-21 | 2021-04-21 | 一种超纯水过滤系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110430251.3A CN113149299A (zh) | 2021-04-21 | 2021-04-21 | 一种超纯水过滤系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113149299A true CN113149299A (zh) | 2021-07-23 |
Family
ID=76869164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110430251.3A Pending CN113149299A (zh) | 2021-04-21 | 2021-04-21 | 一种超纯水过滤系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113149299A (zh) |
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2021
- 2021-04-21 CN CN202110430251.3A patent/CN113149299A/zh active Pending
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