CN110098315B - 层叠压电陶瓷部件和压电器件 - Google Patents
层叠压电陶瓷部件和压电器件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110098315B CN110098315B CN201910091791.6A CN201910091791A CN110098315B CN 110098315 B CN110098315 B CN 110098315B CN 201910091791 A CN201910091791 A CN 201910091791A CN 110098315 B CN110098315 B CN 110098315B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- internal electrode
- piezoelectric ceramic
- electrode
- terminal electrode
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 217
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 23
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 2
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明提供一种能够产生大幅变位、防止变位性能的降低的层叠压电陶瓷部件和压电器件。本发明的层叠压电陶瓷部件包括：压电陶瓷体、第一内部电极、第二内部电极、第三内部电极、第一端子电极、第二端子电极。压电陶瓷体具有上表面和下表面、第一端面和第二端面、一对侧面，且具有上表面侧的第一区域和下表面侧的第二区域。第一内部电极形成于第一区域的内部，被引出至第一端面。第二内部电极形成于第二区域的内部，被引出至第一端面。第三内部电极形成于第一区域的内部和第二区域的内部。第一内部电极、第二内部电极和第三内部电极的宽度与一对侧面之间的距离相同。
Description
技术领域
本发明涉及能够用作压电致动器的层叠压电陶瓷部件和压电器件。
背景技术
压电致动器是由具有压电材料和电极的压电元件构成的，利用了当对电极施加电压时，由于逆压电效应而在压电材料产生的变形的致动器。压电致动器存在由两个压电致动器构成的称为双压电晶片型压电致动器的压电致动器。
普通的双压电晶片型压电致动器具有在金属板的正面和背面两面粘贴有压电致动器的结构，使压电致动器的一者延伸，并使另一者收缩，由此，能够使整体大幅地变位。
另外，还开发有在双压电晶片型压电致动器中，将两个压电致动器形成为一体型的元件双压电晶片结构的压电致动器(元件双压电晶片致动器)(例如，专利文献1～3)。与普通的双压电晶片型压电致动器相比，该元件双压电晶片致动器的变位和产生力的性能优异。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2001-210545号公报
专利文献2：日本特开2006-310700号公报
专利文献3：国际公开2013/051328号
发明内容
发明所要解决的课题
但是，专利文献1～3所记载的元件双压电晶片致动器在元件侧面存在非活性部(非动作部)，因此，存在变位被非活性部限制，伴随大幅变位产生的机械疲劳而变位性能降低的问题。
鉴于以上那样的情况，本发明的目的在于，提供能够产生大幅变位，且能够防止变位性能的降低的层叠压电陶瓷部件和压电器件。
用于解决课题的方案
为了达到上述目的，本发明的一个方式提供一种层叠压电陶瓷部件，其包括：压电陶瓷体、第一内部电极、第二内部电极、第三内部电极、第一端子电极、第二端子电极。
上述压电陶瓷体是长度＞宽度＞厚度的方形形状，具有：在厚度方向上相对的上表面和下表面、在长度方向上相对的第一端面和第二端面、在宽度方向上相对的一对侧面，并且在厚度方向上具有上述上表面一侧的第一区域和上述下表面一侧的第二区域。
第一内部电极形成于上述第一区域的内部，并引出至上述第一端面。
第二内部电极形成于上述第二区域的内部，并引出至上述第一端面。
第三内部电极，其形成于上述第一区域的内部和上述第二区域的内部，并引出至上述第二端面，该第三内部电极在上述第一区域的内部在厚度方向上与上述第一内部电极隔开规定的距离地交替地层叠，而在上述第二区域的内部在厚度方向上与上述第二内部电极隔开规定的距离地交替地层叠。
上述第一端子电极形成于上述第一端面，与上述第一内部电极电连接。
上述第二端子电极形成于上述第一端面，与上述第一端子电极电绝缘，与上述第二内部电极电连接。
上述第三端子电极形成于上述第二端面，与上述第三内部电极电连接。
上述第一内部电极、上述第二内部电极和上述第三内部电极的宽度与上述一对侧面之间的距离相同。
根据该结构，能够通过在第一内部电极与第三内部电极之间施加电压，使第一区域的压电陶瓷体变形，通过在第二内部电极与第三内部电极之间施加电压，使第二区域的压电陶瓷体变形。因此，第一区域与第二区域的变形能够分别独立地控制。在此，第一内部电极、第二内部电极和第三内部电极的宽度与压电陶瓷体的宽度相同，即第一内部电极、第二内部电极和第三内部电极露出于压电陶瓷体的侧面。在第一内部电极、第二内部电极和第三内部电极埋设于压电陶瓷体的内部，而没有露出于侧面的情况下，由于覆盖这些内部电极的侧面的压电陶瓷体(侧边缘)产生的限制，抑制层叠压电陶瓷部件的变形，但根据上述结构，不产生侧边缘导致的限制，就能够防止变位性能的降低。
上述层叠压电陶瓷部件也可以还包括第一表面电极和第二表面电极的至少任一者，其中，上述第一表面电极从上述第二端面延伸而与上述第一内部电极相对地形成于上述上表面，并且与上述第三端子电极电连接；上述第二表面电极从上述第二端面延伸而与上述第二内部电极相对地形成于上述下表面，并且与上述第三端子电极电连接。
上述一对侧面能够被绝缘膜覆盖，该绝缘膜用与上述压电陶瓷体不同的绝缘体(不与上述压电陶瓷体发生化学反应)构成。
上述绝缘体也可以是绝缘性树脂材料。
为了达成上述目的，本发明的一个方式提供一种压电器件，其包括层叠压电陶瓷部件和振动部件。
上述层叠压电陶瓷部件安装于上述振动部件，包括：压电陶瓷体、第一内部电极、第二内部电极、第三内部电极、第一端子电极、第二端子电极。
上述压电陶瓷体是长度＞宽度＞厚度的方形形状，具有：在厚度方向上相对的上表面和下表面、在长度方向上相对的第一端面和第二端面、在宽度方向上相对的一对侧面，并且在厚度方向上具有上述上表面一侧的第一区域和上述下表面一侧的第二区域。
上述第一内部电极形成于上述第一区域的内部，并引出至上述第一端面。
上述第二内部电极形成于上述第二区域的内部，并引出至上述第一端面。
上述第三内部电极，其形成于上述第一区域的内部和上述第二区域的内部，并引出至上述第二端面，该第三内部电极在上述第一区域的内部在厚度方向上与上述第一内部电极隔开规定的距离地交替地层叠，而在上述第二区域的内部在厚度方向上与上述第二内部电极隔开规定的距离地交替地层叠。
上述第一端子电极形成于上述第一端面，与上述第一内部电极电连接。
上述第二端子电极形成于上述第一端面，与上述第一端子电极电绝缘，与上述第二内部电极电连接。
上述第三端子电极形成于上述第二端面，与上述第三内部电极电连接。
上述第一内部电极、上述第二内部电极和上述第三内部电极的宽度与上述一对侧面之间的距离相同。
发明效果
如上所述，根据本发明，能够提供能够产生大幅变位，并且防止变位性能的降低的层叠压电陶瓷部件和压电器件。
附图说明
图1是本发明第一实施方式的层叠压电陶瓷部件的立体图。
图2是该层叠压电陶瓷部件的立体图；
图3是该层叠压电陶瓷部件的侧面的平面图。
图4是该层叠压电陶瓷部件的侧面的平面图。
图5是该层叠压电陶瓷部件的端面的平面图。
图6是该层叠压电陶瓷部件的端面的平面图。
图7是该层叠压电陶瓷部件的上表面的平面图。
图8是该层叠压电陶瓷部件的下表面的平面图。
图9是表示该层叠压电陶瓷部件的第一内部电极的截面图。
图10是表示该层叠压电陶瓷部件的第二内部电极的截面图。
图11是表示该层叠压电陶瓷部件的第三内部电极的截面图。
图12(a)～图12(b)是该层叠压电陶瓷部件的驱动电压的波形。
图13是比较例的层叠压电陶瓷部件的立体图。
图14是本发明第一实施方式的包括绝缘膜的层叠压电陶瓷部件的立体图。
图15(a)～图15(e)是该层叠压电陶瓷部件的制造中所使用的片部件的示意图。
图16是本发明第一实施方式的压电器件的示意图。
图17是本发明第二实施方式的层叠压电陶瓷部件的立体图。
图18是该层叠压电陶瓷部件的立体图。
图19是该层叠压电陶瓷部件的第一侧面的平面图。
图20是该层叠压电陶瓷部件的第二侧面的平面图。
图21是该层叠压电陶瓷部件的第一端面的平面图。
图22是该层叠压电陶瓷部件的第二端面的平面图。
图23是该层叠压电陶瓷部件的上表面的平面图。
图24是该层叠压电陶瓷部件的下表面的平面图。
图25是表示该层叠压电陶瓷部件的第一内部电极的截面图。
图26是表示该层叠压电陶瓷部件的第二内部电极的截面图。
图27是表示该层叠压电陶瓷部件的第三内部电极的截面图。
图28是该层叠压电陶瓷部件的第一端面的放大图。
图29是该层叠压电陶瓷部件的第一端面的放大图。
图30是该层叠压电陶瓷部件的驱动电压的波形。
图31是比较例的层叠压电陶瓷部件的立体图。
图32是本发明第二实施方式的层叠压电陶瓷部件的立体图。
图33是该层叠压电陶瓷部件的第一端面的平面图。
图34是该层叠压电陶瓷部件的立体图。
图35(a)～图35(e)是该层叠压电陶瓷部件的制造中所使用的片部件的示意图。
图36是本发明的第二实施方式的压电器件的示意图。
图37是本发明的变形例的层叠压电陶瓷部件的立体图。
符号说明
100…层叠压电陶瓷部件
101…压电陶瓷体
101a…第一侧面
101b…第二侧面
101c…第一端面
101d…第二端面
101e…上表面
101f…下表面
101g…第一区域
101h…第二区域
102…第一内部电极
103…第二内部电极
104…第三内部电极
105…第一表面电极
106…第二表面电极
107…第一端面端子电极
108…第二端面端子电极
109…第三端面端子电极
110…第一表面端子电极
111…第二表面端子电极
112…绝缘膜
400…压电器件
410…振动部件
420…接合部
1100…层叠压电陶瓷部件
1101…压电陶瓷体
1101a…第一侧面
1101b…第二侧面
1101c…第一端面
1101d…第二端面
1101e…上表面
1101f…下表面
1101g…第一区域
1101h…第二区域
1102…第一内部电极
1103…第二内部电极
1104…第三内部电极
1105…第一表面电极
1106…第二表面电极
1107…第一端面端子电极
1108…第二端面端子电极
1109…第三端面端子电极
1110…第一表面端子电极
1111…第二表面端子电极
1112…绝缘膜
1400…压电器件
1410…振动部件
1420…接合部。
具体实施方式
(第一实施方式)
说明本发明第一实施方式的层叠压电陶瓷部件。以下的各图中，将彼此正交的三个方向设为X方向、Y方向和Z方向。
[压电陶瓷部件的结构]
图1和图2是本实施方式的层叠压电陶瓷部件100的立体图，图2是从图1的相反侧观察的图。
如图1和图2所示，层叠压电陶瓷部件100包括：压电陶瓷体101、第一内部电极102、第二内部电极103、第三内部电极104、第一表面电极105、第二表面电极106、第一端面端子电极107、第二端面端子电极108、第三端面端子电极109、第一表面端子电极110和第二表面端子电极111。
压电陶瓷体101由压电性陶瓷材料构成。压电陶瓷体101能够由例如铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)或锆酸钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)等构成。
如图1和图2所示，压电陶瓷体101具有方形形状。当将X方向设为长度、Y方向设为宽度、Z方向设为厚度时，压电陶瓷体101具有长度＞宽度＞厚度的形状。
关于压电陶瓷体101的表面，将在宽度方向(Y方向)上相对的面设为第一侧面101a和第二侧面101b，将在长度方向(X方向)上相对的面设为第一端面101c和第二端面101d。另外，将在厚度方向(Z方向)上相对的面设为上表面101e和下表面101f。
图3是表示第一侧面101a的平面图，图4是表示第二侧面101b的平面图。图5是表示第一端面101c的平面图，图6是表示第二端面101d的平面图。图7是表示上表面101e的平面图，图8是表示下表面101f的平面图。
如图3和图4所示，压电陶瓷体101具有上表面101e一侧的第一区域101g和下表面101f一侧的第二区域101h。第一区域101g的厚度与第二区域101h的厚度优选为1:1。
第一内部电极102形成于第一区域101g的内部，隔着压电陶瓷体101与第三内部电极104和第一表面电极105相对(参照图3和图4)。图9是表示第一内部电极102的层叠压电陶瓷部件100的截面图，是在图3和图4的A-A线的截面图。如图9所示，第一内部电极102引出至第一端面101c，且局部地露出于第一端面101c，并且与第一端面端子电极107电连接。
另外，第一内部电极102具有与压电陶瓷体101的宽度(Y方向)相同的宽度，且露出于第一侧面101a和第二侧面101b(参照图3和图4)。第一内部电极102的层数没有特别限定，能够形成为一层或多层。
第二内部电极103形成于第二区域101h的内部，隔着压电陶瓷体101与第三内部电极104和第二表面电极106相对(参照图3和图4)。图10是表示第二内部电极103的层叠压电陶瓷部件100的截面图，是在图3和图4的B-B线的截面图。如图10所示，第二内部电极103引出至第一端面101c，且局部地露出于第一端面101c，并且与第二端面端子电极108电连接。
另外，第二内部电极103具有与压电陶瓷体101的宽度(Y方向)相同的宽度，且露出于第一侧面101a和第二侧面101b(参照图3和图4)。第二内部电极103的层数没有特别限定，能够形成为一层或多层。
第三内部电极104形成于第一区域101g和第二区域101h的内部。第三内部电极104在第一区域101g的内部与第一内部电极102在厚度方向(Z方向)上隔开规定距离地与该第一内部电极102交替地层叠，且隔着压电陶瓷体101与第一内部电极102相对(参照图3和图4)。
另外，第三内部电极104在第二区域101h的内部与第二内部电极103在厚度方向(Z方向)上隔开规定距离地与该第二内部电极103交替地层叠，且隔着压电陶瓷体101与第二内部电极103相对(参照图3和图4)。
图11是表示第三内部电极103的层叠压电陶瓷部件100的截面图，是在图3和图4的C-C线的截面图。如图11所示，第三内部电极104引出至第二端面101d且露出于第二端面101d，并且与第三端面端子电极109电连接。
另外，第三内部电极104具有与压电陶瓷体101的宽度(Y方向)相同的宽度，并露出于第一侧面101a和第二侧面101b(参照图3和图4)。第三内部电极104的层数能够形成为与第一内部电极102和第二内部电极103的层数相应的层数。
第一表面电极105形成于上表面101e(参照图1)，且与第三端面端子电极109电连接。另外，第一表面电极105在上表面101e中与第一表面端子电极110和第二表面端子电极111隔开间隔，并且与它们电绝缘(参照图7)。
第二表面电极106形成于下表面101f，且与第三端面端子电极109电连接(参照图2)。
第一端面端子电极107形成于第一端面101c(参照图1)，且与第一内部电极102电连接。另外，第一端面端子电极107与第二内部电极103和第二端面端子电极108电绝缘。第一端面端子电极107在第一端面101c中形成于上表面101e与下表面101f之间，并与第一表面端子电极110电连接。
第二端面端子电极108形成于第一端面101c(参照图1)，并与第二内部电极103电连接。另外，第二端面端子电极108与第一内部电极102和第一端面端子电极107电绝缘。第二端面端子电极108在第一端面101c中形成于上表面101e与下表面101f之间，并与第二表面端子电极111电连接。
第三端面端子电极109形成于第二端面101d(参照图2)，并与第三内部电极104电连接。另外，第三端面端子电极109在第二端面101d中形成于上表面101e与下表面101f之间，并与第一表面电极105和第二表面电极106电连接。
第一表面端子电极110形成于上表面101e(参照图1)。第一表面端子电极110与第一端面端子电极107电连接，而与第二表面端子电极111和第一表面电极105电绝缘。
第二表面端子电极111形成于上表面101e(参照图1)。第二表面端子电极111与第二端面端子电极108电连接，而与第一表面端子电极110和第一表面电极105电绝缘。
第一内部电极102、第二内部电极103、第三内部电极104、第一表面电极105、第二表面电极106、第一端面端子电极107、第二端面端子电极108、第三端面端子电极109、第一表面端子电极110和第二表面端子电极111由导电性材料构成。该导电性材料能够采用例如Ag、Ag/Pd、Pd、Cu和Ni的任意种。
层叠压电陶瓷部件100具有以上所述的结构。如上所述，第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104形成于压电陶瓷体101的内部，第一内部电极102和第三内部电极104隔着压电陶瓷体101相对，第二内部电极103和第三内部电极104隔着压电陶瓷体101相对。第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104彼此绝缘。
层叠压电陶瓷部件100的尺寸没有特别限定，但将长度(X方向)设为L、宽度(Y方向)设为W时，L/W优选为16～50程度。另外，厚度(Z方向)优选为0.5mm～1.5mm程度。
[压电陶瓷部件的动作]
层叠压电陶瓷部件100中，能够在第一内部电极102与第三内部电极104之间、第二内部电极103与第三内部电极104之间分别独立地施加电压。
当在第一内部电极102与第三内部电极104之间施加电压时，在第一内部电极102与第三内部电极104之间的压电陶瓷体101产生逆压电效应，在第一区域101g中在X方向上产生变形(伸缩)。另外，当在第二内部电极103与第三内部电极104之间施加电压时，在第二内部电极103与第三内部电极104之间的压电陶瓷体101产生逆压电效应，在第二区域101h中在X方向上产生变形(伸缩)。
像这样在层叠压电陶瓷部件100中，能够独立地控制第一区域101g和第二区域101h的变形。通过第一区域101g和第二区域101h分别在X方向上变形，能够使层叠压电陶瓷部件100在Z方向上变形(屈曲)。
图12(a)～图12(b)是施加于层叠压电陶瓷部件100的电压波形的例子。图12(a)是第一内部电极102与第三内部电极104之间的电压(V1)的波形，图12(b)是第二内部电极103与第三内部电极104之间的电压(V2)的波形。其中，V0表示第三内部电极104的电位。如该图所示，通过将电压V1和电压V2形成为同相位的逆偏压，能够使第一区域101g和第二区域101h的一者伸展，并使另一者收缩。
此外，通过将第一区域101g的厚度和第二区域101h的厚度形成为1：1，第一区域101g和第二区域101h的变形量成为对称的，这是优选的。另外，电压V1和电压V2的波形不限于图9所示的波形，也可以是正弦波或三角波。
[关于无侧边缘结构]
如上所述，层叠压电陶瓷部件100具有第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104露出于第一侧面101a和第二侧面101b的结构。
图13是比较例的层叠压电陶瓷部件300的立体图。
如该图所示，层叠压电陶瓷部件300包括：压电陶瓷体301、表面电极302、第一端子电极303和第二端子电极304。另外，层叠压电陶瓷部件300包括对应于第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104的未图示的内部电极。
层叠压电陶瓷部件300中，内部电极没有露出于侧面，而埋设于压电陶瓷体301的内部。如图13所示，在内部电极的侧面侧设置有由压电材料构成的侧边缘S。
该侧边缘S在层叠压电陶瓷部件300被驱动时，作为抑制层叠压电陶瓷部件300的变位的限制部发挥作用，使层叠压电陶瓷部件300的变位性能降低。
与之不同，层叠压电陶瓷部件100中，第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104露出于第一侧面101a和第二侧面101b，即不具有侧边缘。因此，不会受到侧边缘产生的限制作用，能够产生较大幅变位，且能够防止变位性能的降低。
[关于绝缘膜]
层叠压电陶瓷部件100也能够包括绝缘膜。图14是表示具有绝缘膜112的层叠压电陶瓷部件100的立体图。
如该图所示，绝缘膜112覆盖层叠压电陶瓷部件100的外周。在绝缘膜112设置有使第一表面端子电极110、第二表面端子电极111和第一表面电极105的一部分露出的开口112a，经由开口112a能够进行与第一表面端子电极110、第二表面端子电极111和第一表面电极105的电连接。
绝缘膜112覆盖的范围不限定于图14所示的范围，只要至少覆盖第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104露出的第一侧面101a和第二侧面101b即可。
绝缘膜112的材料只要是绝缘性材料就没有特别的限定，例如优选为SiN和丙烯酸树脂等的绝缘性树脂。此外，绝缘膜112是与压电陶瓷体101不同的材料，能够利用柔软的材料，因此，能够使绝缘膜112产生的限制作用非常小。
[关于制造方法]
说明层叠压电陶瓷部件100的制造方法。
层叠压电陶瓷部件100能够通过层叠片部件来制造。图15(a)～图15(e)是表示片部件的示意图。图15(a)表示由第一表面电极105、第一表面端子电极110、第二表面端子电极111和压电陶瓷体201构成的片部件210，图15(b)表示由第一内部电极102和压电陶瓷体201构成的片部件220。
图15(c)表示由第三内部电极104和压电陶瓷体201构成的片部件230，图15(d)表示由第二内部电极103和压电陶瓷体201构成的片部件240。图15(e)表示由第二表面电极106和压电陶瓷体201构成的片部件250。
首先，在片部件250上层叠仅由压电陶瓷体构成的片部件(以下，压电体片部件)，在其上依次层叠片部件240、压电体片部件、片部件230。另外，隔着压电体片部件交替地层叠片部件240和片部件230。
接着，隔着压电体片部件交替地层叠片部件220和片部件230，在其上依次层叠压电体片部件和片部件210。接着，压接该层叠体，通过加热等除去粘合剂。
接着进行烧制。该阶段中，各内部电极埋设于压电陶瓷体201中，形成侧边缘。接着，通过热处理在第一端面101c形成第一端面端子电极107和第二端面端子电极108，并且在第二端面101d形成第三端面端子电极109。
接着，将侧边缘切割并除去。由此，由压电陶瓷体201形成压电陶瓷体101。侧边缘的切割能够通过切割器或激光照射来进行。通过侧边缘的切割，形成第一侧面101a和第二侧面101b，第一内部电极102、第二内部电极103和第三内部电极104从第一侧面101a和第二侧面101b露出(参照图1)。
接着，除去开口112a以外形成绝缘膜112(参照图15(a)～图15(e))。绝缘膜112能够通过喷雾沉积、溅射、浸渍或喷雾等的方法形成。然后，与第一表面端子电极110和第二表面端子电极111取得电导通，施加直流电压。由此，进行极化处理，压电陶瓷体101激活。
层叠压电陶瓷部件100能够按如上所述方法制造。此外，层叠压电陶瓷部件100的制造方法不限于这里所示的方法。
[关于压电器件]
层叠压电陶瓷部件100能够安装于振动部件，构成压电器件。图16是包括层叠压电陶瓷部件100的压电器件400的示意图。如该图所示，压电器件400包括层叠压电陶瓷部件100、振动部件410和接合部420。
振动部件410为显示器的玻璃面板或金属板，没有特别限定。接合部420为树脂等，将层叠压电陶瓷部件100与振动部件410接合。
层叠压电陶瓷部件100的上表面101e中、第一端面101c侧的区域与接合部420接合。在第一表面端子电极110、第二表面端子电极111和第一表面电极105经由接合部420连接有未图示的配线。
当对各电极施加电压时，如上所述，在层叠压电陶瓷部件100中，在Z方向上产生变形(图中箭头)。由此，能够使振动部件410振动。此外，层叠压电陶瓷部件100的安装方法不限于这里所示的方法，例如也可以将上表面101e的整体与接合部420接合。
(第二实施方式)
说明本发明的第二实施方式的层叠压电陶瓷部件。以下的各图中，将彼此正交的三个方向设为X方向、Y方向和Z方向。
[蓄电压电陶瓷部件的结构]
图17和图18是本实施方式的层叠压电陶瓷部件1100的立体图，图18是从图17的相反侧观察的图。
如图17和图18所示，层叠压电陶瓷部件1100包括：压电陶瓷体1101、第一内部电极1102、第二内部电极1103、第三内部电极1104、第一表面电极1105、第二表面电极1106、第一端面端子电极1107、第二端面端子电极1108、第三端面端子电极1109、第一表面端子电极1110和第二表面端子电极1111。
压电陶瓷体1101由压电性陶瓷材料构成。压电陶瓷体1101能够由例如铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)或锆酸钛酸铅(PbZrO3-PbTiO3)等构成。
如图17和图18所示，压电陶瓷体1101具有长方体形状。当将X方向设为长度、Y方向设为宽度、Z方向设为厚度时，压电陶瓷体1101具有长度＞宽度＞厚度的形状。
关于压电陶瓷体1101的表面，将在宽度方向(Y方向)上相对的面设为第一侧面1101a和第二侧面1101b，将在长度方向(X方向)上相对的面设为第一端面1101c和第二端面1101d。另外，将在厚度方向(Z方向)上相对的面设为上表面1101e和下表面1101f。
图19是表示第一侧面1101a的平面图，图20是表示第二侧面1101b的平面图。图21是表示第一端面1101c的平面图，图22是表示第二端面1101d的平面图。图23是表示上表面1101e的平面图，图24是表示下表面1101f的平面图。
如图19和图20所示，压电陶瓷体1101具有上表面1101e一侧的第一区域1101g、下表面1101f一侧的第二区域1101h。第一区域1101g的厚度与第二区域1101h的厚度优选为1：1。
第一内部电极1102形成于第一区域1101g的内部，隔着压电陶瓷体1101与第二内部电极1103和第一表面电极1105相对(参照图19和图20)。图25是表示第一内部电极1102的层叠压电陶瓷部件1100的截面图，是在图19和图20的A-A线的截面图。如图25所示，第一内部电极1102引出至第一端面1101c并局部地露出于第一端面1101c，并且与第一端面端子电极1107电连接。
另外，第一内部电极1102具有与压电陶瓷体1101的宽度(Y方向)相同的宽度，并露出于第一侧面1101a和第二侧面1101b(参照图19和图20)。第一内部电极1102的层数没有特别限定，能够形成为一层或多层。
第二内部电极1103形成于第一区域1101g和第二区域1101h的内部。第二内部电极1103在第一区域1101g的内部与第一内部电极1102在厚度方向(Z方向)上隔开规定距离地与该第一内部电极1102交替地层叠，并且隔着压电陶瓷体1101与第一内部电极1102相对(参照图19和图20)。
另外，第二内部电极1103在第二区域1101h的内部与第三内部电极1104在厚度方向(Z方向)上隔开规定距离地与该第三内部电极1104交替地层叠，并且隔着压电陶瓷体1101与该第三内部电极1104相对(参照图19和图20)。
图26是表示第二内部电极1103的层叠压电陶瓷部件1100的截面图，是在图19和图20的B-B线的截面图。如图26所示，第二内部电极1103引出至第二端面1101d，并与第二端面端子电极1108电连接。
另外，第二内部电极1103具有与压电陶瓷体1101的宽度(Y方向)相同的宽度，并露出于第一侧面1101a和第二侧面1101b(参照图19和图20)。第二内部电极1103的层数能够形成为与第一内部电极1102和第三内部电极1104的层数相应的层数。
第三内部电极1104形成于第二区域1101h的内部，隔着压电陶瓷体1101与第二内部电极1103和第二表面电极1106相对(参照图19和图20)。图27是表示第三内部电极1104的层叠压电陶瓷部件1100的截面图，是在图19和图20的C-C线的截面图。如图27所示，第三内部电极1104引出至第一端面1101c且局部地露出于第一端面1101c，并与第三端面端子电极1109电连接。
另外，第三内部电极1104具有与压电陶瓷体1101的宽度(Y方向)相同的宽度，并露出于第一侧面1101a和第二侧面1101b(参照图19和图20)。第三内部电极1104的层数没有特别限定，能够形成为一层或多层。
第一表面电极1105形成于上表面1101e(参照图17)，且与第二端面端子电极1108电连接。另外，第一表面电极1105在上表面1101e中与第一表面端子电极1110和第二表面端子电极1111隔开间隔，与它们电绝缘(参照图23)。
第二表面电极1106形成于下表面1101f，且与第二端面端子电极1108电连接。(参照图19)。
第一端面端子电极1107形成于第一端面1101c(参照图17)，且与第一内部电极1102电连接。另外，第一端面端子电极1107与第三内部电极1104和第三端面端子电极1109电绝缘。第一端面端子电极1107在第一端面1101c中形成于上表面1101e与下表面1101f之间，并与第一表面端子电极1110电连接。
第二端面端子电极1108形成于第二端面1101d(图18参照)，且与第二内部电极1103电连接。另外，第二端面端子电极1108在第二端面1101d中形成与上表面1101e与下表面1101f之间，且与第一表面电极1105和第二表面电极1106电连接。
第三端面端子电极1109形成于第一端面1101c(参照图17)，且与第三内部电极1104电连接。另外，第三端面端子电极1109与第一内部电极1102和第一端面端子电极1107电绝缘。第三端面端子电极1109在第一端面1101c中形成于上表面1101e与下表面1101f之间，且与第二表面端子电极1111电连接。
第一表面端子电极1110形成于上表面1101e(参照图17)。第一表面端子电极1110与第一端面端子电极1107电连接，而与第二表面端子电极1111和第一表面电极1105电绝缘。
第二表面端子电极1111形成于上表面1101e(参照图17)。第二表面端子电极1111与第三端面端子电极1109电连接，而与第一表面端子电极1110和第一表面电极1105电绝缘。
第一内部电极1102、第二内部电极1103、第三内部电极1104、第一表面电极1105、第二表面电极1106、第一端面端子电极1107、第二端面端子电极1108、第三端面端子电极1109、第一表面端子电极1110和第二表面端子电极1111由导电性材料构成。该导电性材料能够采用例如Ag、Ag/Pd、Pd、Cu和Ni的任意种。
层叠压电陶瓷部件1100具有以上那样的结构。如上所述，第一内部电极1102、第二内部电极1103和第三内部电极1104形成于压电陶瓷体1101的内部，第一内部电极1102和第二内部电极1103隔着压电陶瓷体1101相对，第三内部电极1104和第二内部电极1103隔着压电陶瓷体1101相对。第一内部电极1102、第二内部电极1103和第三内部电极1104彼此绝缘。
层叠压电陶瓷部件1100的尺寸没有特别限定，但将长度(X方向)设为L、宽度(Y方向)设为W时，L/W优选为16～50程度。另外厚度(Z方向)优选为0.5mm～1.5mm程度。
[关于第一端面]
如上所述，第一内部电极1102和第三内部电极1104被引出至第一端面1101c，分别连接于第一端面端子电极1107和第三端面端子电极1109。
图28是表示第一端面1101c中的第一内部电极1102和第一端面端子电极1107的平面图，是图21的局部放大图。如该图所示，第一端面1101c中，第一内部电极1102具有覆盖部分1102a和露出部分1102b。
覆盖部分1102a是被第一端面端子电极1107覆盖的部分。露出部分1102b是没有被第一端面端子电极1107覆盖，而露出于第一端面1101c的部分。露出部分1102b相对于覆盖部分1102a位于第二侧面1101b侧。
露出部分1102b的在第一端面1101c中的长度(图中T1)优选为50μm以上，更优选为100μm以上。
图29是表示在第一端面1101c的第三内部电极1104和第三端面端子电极1109的平面图，是图21的局部放大图。如该图所示，第一端面1101c中，第三内部电极1104具有覆盖部分1104a和露出部分1104b。
覆盖部分1104a是被第三端面端子电极1109覆盖的部分。露出部分1104b是没有被第一端面端子电极1109覆盖，而露出于第一端面1101c的部分。露出部分1104b相对于覆盖部分1104a位于第一侧面1101a侧。
露出部分1104b的在第一端面1101c中的长度(图中T2)优选为50μm以上，更优选为100μm以上。
[蓄电压电陶瓷部件的动作]
层叠压电陶瓷部件1100能够在第一内部电极1102与第二内部电极1103之间、第三内部电极1104与第二内部电极1103之间分别独立地施加电压。
当对第一内部电极1102与第二内部电极1103之间施加电压时，第一内部电极1102与第二内部电极1103之间的压电陶瓷体1101中产生逆压电效应，第一区域1101g中在X方向上产生变形(伸缩)。另外，当对第三内部电极1104与第二内部电极1103之间施加电压时，第三内部电极1104与第二内部电极1103之间的压电陶瓷体1101中产生逆压电效应，第二区域1101h中在X方向上产生变形(伸缩)。
像这样，在层叠压电陶瓷部件1100中，能够独立地控制第一区域1101g和第二区域1101h的变形。第一区域1101g和第二区域1101h分别在X方向上产生变形，由此，能够使层叠压电陶瓷部件1100在Z方向上变形(屈曲)。
图30是施加于层叠压电陶瓷部件1100的电压波形的例子。图30(a)是第一内部电极1102与第二内部电极1103之间的电压(V1)的波形，图30(b)是第三内部电极1104与第二内部电极1103之间的电压(V2)的波形。此外，V0表示第二内部电极1103的电位。如该图所示，通过使电压V1和电压V2为同相位的逆偏压，能够使第一区域1101g和第二区域1101h的一者伸展，而使另一方收缩。
此外，通过将第一区域1101g的厚度和第二区域1101h的厚度形成为1：1，第一区域1101g和第二区域1101h的变形量成为对称的，这是优选的。另外，电压V1和电压V2的波形不限于图30所示的波形，也可以是正弦波或三角波。
[关于无边缘结构]
如上所述，层叠压电陶瓷部件1100具有第一内部电极1102、第二内部电极1103和第三内部电极1104露出于第一侧面1101a和第二侧面1101b的结构。
图31是比较例的层叠压电陶瓷部件1300的立体图。
如该图所示，层叠压电陶瓷部件1300包括：压电陶瓷体1301、表面电极1302、第一端子电极1303和第二端子电极1304。另外，层叠压电陶瓷部件1300包括对应于第一内部电极1102、第二内部电极1103和第三内部电极1104的未图示的内部电极。
层叠压电陶瓷部件1300中，内部电极没有露出于侧面和端面，而埋设于压电陶瓷体1301的内部。如图31所示，在内部电极的侧面侧设置有由压电材料构成的侧边缘S，在内部电极的端面侧设置有由压电材料构成的端边缘E。
该侧边缘S和端边缘E在层叠压电陶瓷部件1300被驱动时，作为抑制层叠压电陶瓷部件1300的变位的限制部发挥作用，使层叠压电陶瓷部件1300的变位性能降低。
与之相对，层叠压电陶瓷部件1100中，不具有侧边缘和端边缘。因此，不会受到这些边缘产生的限制作用，能够产生大幅变位，且能够防止变位性能的降低。
另外，层叠压电陶瓷部件1100中，第一内部电极1102和第三内部电极1104从第一端面1101c延伸至第一侧面1101a或第二侧面1101b(参照图17)。由此，能够减轻应力的影响，实现变位量的扩大和元件强度的提高。
[关于连接不良的检测]
层叠压电陶瓷部件1100中，能够使用第一端面1101c的图像检测连接不良。图32是层叠压电陶瓷部件1100的一部分的立体图。如该图所示，第一内部电极1102中包含没有达到第一端面1101c的第一内部电极1102’。
图33是表示该情况下的第一端面1101c的示意图。如该图所示，在第一端面1101c中没有出现第一内部电极1102’的露出部分1102b。由此，能够检测出第一内部电极1102’没有与第一端面端子电极1107导通。
具体而言，在层叠压电陶瓷部件1100的检查工序中，拍摄第一端面1101c，通过对于该拍摄图像的图像处理能够检测出露出部分1102b的像。通过图像处理能够高速且精确地检测出连接不良。
第三内部电极1104与第三端面端子电极1109的导通也能够同样地进行检测。此外，在利用图像处理进行检测时，在第一端面1101c中，露出部分1102b和露出部分1104b需要具有一定的尺寸，长度T1(参照图28)和长度T2(参照图29)优选为50μm以上，更优选为100μm以上。
[关于绝缘膜]
层叠压电陶瓷部件1100也可以具有绝缘膜。图34是表示具有绝缘膜1112的层叠压电陶瓷部件1100的立体图。
如该图所示，绝缘膜1112覆盖层叠压电陶瓷部件1100的外周。在绝缘膜1112设置有使第一表面端子电极1110、第二表面端子电极1111和第一表面电极1105的一部分露出的开口1112a，经由开口1112a能够进行与第一表面端子电极1110、第二表面端子电极1111和第一表面电极1105的电连接。
绝缘膜1112覆盖的范围不限于图34所示的范围，只要至少覆盖第一内部电极1102、第二内部电极1103和第三内部电极1104露出的第一侧面1101a和第二侧面1101b即可。
绝缘膜1112的材料只要是绝缘性材料，就没有特别限定，例如优选为SiN或丙烯酸树脂等的绝缘性树脂。此外，绝缘膜1112是与压电陶瓷体1101不同的材料，能够利用柔软的材料，由此，绝缘膜1112产生的限制作用能够非常小。
[关于制造方法]
说明层叠压电陶瓷部件1100的制造方法。
层叠压电陶瓷部件1100能够通过层叠片部件来制造。图35(a)～图35(e)是表示片部件的示意图。图35(a)表示由第一表面电极1105、第一表面端子电极1110、第二表面端子电极1111和压电陶瓷体1201构成的片部件1210，图35(b)表示由第一内部电极1102和压电陶瓷体1201构成的片部件1220。
图35(c)表示由第二内部电极1103和压电陶瓷体1201构成的片部件1230，图35(d)表示由第三内部电极1104和压电陶瓷体1201构成的片部件1240。图35(e)表示由第二表面电极1106和压电陶瓷体1201构成的片部件1250。
首先，在片部件1250上层叠仅由压电陶瓷体构成的片部件(以下，压电体片部件)，在其上依次层叠片部件1240、压电体片部件、片部件1230。另外，隔着压电体片部件交替地层叠片部件1240和片部件1230。
接着，隔着压电体片部件交替地层叠片部件1220和片部件1230，在其上依次层叠压电体片部件和片部件1210。接着，压接该层叠体，通过加热等除去粘合剂。
接着，进行烧制。该阶段中，各内部电极埋设于压电陶瓷体1201中，形成侧边缘。接着，通过热处理在第一端面1101c形成第一端面端子电极1107和第三端面端子电极1109，在第二端面1101d形成第二端面端子电极1108。
接着，将侧边缘切割并除去。由此，由压电陶瓷体1201形成压电陶瓷体1101。侧边缘的切割能够通过切割器或激光照射进行。通过侧边缘的切割，形成第一侧面1101a和第二侧面1101b，第一内部电极1102、第二内部电极1103和第三内部电极1104从第一侧面1101a和第二侧面1101b露出(参照图17)。
接着，除了开口1112a以外形成绝缘膜1112(参照图34)。绝缘膜1112能够通过喷雾沉积、溅射或浸渍等的方法形成。然后，与第一表面端子电极1110和第二表面端子电极1111取得电导通，施加直流电压。由此，进行极化处理，压电陶瓷体1101激活。
层叠压电陶瓷部件1100能够按以上方式制造。此外，层叠压电陶瓷部件1100的制造方法不限于这里所示的方法。
[关于压电器件]
层叠压电陶瓷部件1100能够被安装于振动部件来构成压电器件。图36是包括层叠压电陶瓷部件1100的压电器件1400的示意图。如该图所示，压电器件1400包括层叠压电陶瓷部件1100、振动部件1410和接合部1420。
振动部件1410为显示器的玻璃面板或金属板，没有特别限定。接合部1420为树脂等，将层叠压电陶瓷部件1100与振动部件1410接合。
层叠压电陶瓷部件1100的上表面1101e中、第一端面1101c侧的区域与接合部1420接合。在第一表面端子电极1110、第二表面端子电极1111和第一表面电极1105经由接合部1420连接有未图示的配线。
当对各电极施加电压时，如上所述，层叠压电陶瓷部件1100中在Z方向上产生变形(图中箭头)。由此，能够使振动部件1410振动。此外，层叠压电陶瓷部件1100的安装方法不限于这里所示的方法，例如也可以将上表面1101e的整体与接合部1420接合。
[变形例]
在上述说明中，层叠压电陶瓷部件1100形成为在第一内部电极1102与第二内部电极1103之间形成压电元件，且在第三内部电极1104与第二内部电极1103之间形成压电元件的双压电晶片层叠型压电致动器，但不限于此。层叠压电陶瓷部件1100也可以不包括第三内部电极1104，而仅包括第一内部电极1102和第二内部电极1103。
图37是表示不包括第三内部电极1104的层叠压电陶瓷部件1100的立体图。如该图所示，第一内部电极1102在第一端面1101c中连接于第一端面端子电极1107。该结构中，也能够根据第一端面1101c中的第一内部电极1102的像的有无来检测第一内部电极1102与第一端面端子电极1107的连接不良。
实施例
制作具有上述第一实施方式中所说明的结构的层叠压电陶瓷部件。压电陶瓷体的材料采用碱性铌酸类材料，形成为长度(X方向)36mm、宽度(Y方向)1.4mm、厚度(Z方向)0.8mm。第一区域和第二区域的厚度(Z方向)分别为0.4mm。
极化处理后，当施加驱动电压(第一区域8kV/mm，第二区域-0.85kV/mm)时，产生±0.72mm的变位。该变位量是相对于具有侧边缘的层叠压电陶瓷部件(参照图13)的1.3～1.5倍的变位量，可以说上述实施方式的层叠压电陶瓷部件中的变位量提高。
Claims (4)
1.一种压电器件，其特征在于，包括：
振动部件；
接合部；和
经由接合部安装于所述振动部件的层叠压电陶瓷部件，
所述层叠压电陶瓷部件包括：
长度＞宽度＞厚度的方形形状的压电陶瓷体，其具有：在厚度方向上相对的上表面和下表面、在长度方向上相对的第一端面和第二端面、在宽度方向上相对的一对侧面，并且在厚度方向上具有所述上表面一侧的第一区域和所述下表面一侧的第二区域；
第一内部电极，其形成于所述第一区域的内部，并引出至所述第一端面；
第二内部电极，其形成于所述第二区域的内部，并引出至所述第一端面；
第三内部电极，其形成于所述第一区域的内部和所述第二区域的内部，并引出至所述第二端面，该第三内部电极在所述第一区域的内部在厚度方向上与所述第一内部电极隔开规定的距离地交替地层叠，而在所述第二区域的内部在厚度方向上与所述第二内部电极隔开规定的距离地交替地层叠；
形成于所述第一端面的第一端面端子电极，其与所述第一内部电极电连接；
形成于所述上表面的第一表面端子电极，其与所述第一端面端子电极电连接；
形成于所述第一端面的第二端面端子电极，其与所述第一端面端子电极电绝缘，与所述第二内部电极电连接；
形成于所述上表面的第二表面端子电极，其与所述第二端面端子电极电连接；
形成于所述第二端面的第三端面端子电极，其与所述第三内部电极电连接；和
形成于所述上表面的与所述第三端面端子电极电连接的第一表面电极，其从所述第二端面向所述第一表面端子电极和所述第二表面端子电极延伸，而与所述第一内部电极相对，并且从厚度方向观察时与所述第一内部电极重叠，
所述第一内部电极、所述第二内部电极和所述第三内部电极的宽度与所述一对侧面之间的距离相同，
所述上表面中、所述第一端面侧的区域与所述接合部接合。
2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于：
还包括第二表面电极，
所述第二表面电极从所述第二端面延伸而与所述第二内部电极相对地形成于所述下表面，并且与所述第三端面端子电极电连接。
3.根据权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于：
所述一对侧面被绝缘膜覆盖，所述绝缘膜由与所述压电陶瓷体不同的绝缘体构成。
4.根据权利要求3所述的压电器件，其特征在于：
所述绝缘体由绝缘性树脂材料构成。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018-013963 | 2018-01-30 | ||
| JP2018013961A JP7158151B2 (ja) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス |
| JP2018013963A JP6998223B2 (ja) | 2018-01-30 | 2018-01-30 | 圧電デバイス |
| JP2018-013961 | 2018-01-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110098315A CN110098315A (zh) | 2019-08-06 |
| CN110098315B true CN110098315B (zh) | 2024-01-02 |
Family
ID=67392428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910091791.6A Active CN110098315B (zh) | 2018-01-30 | 2019-01-30 | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11309481B2 (zh) |
| CN (1) | CN110098315B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7128628B2 (ja) * | 2018-01-30 | 2022-08-31 | 太陽誘電株式会社 | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス |
| US11495731B2 (en) * | 2018-09-13 | 2022-11-08 | Magnecomp Corporation | Multilayer PZT electrode configuration for suspension stroke increase |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239682A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Tohoku Metal Ind Ltd | 積層型圧電バイモルフ素子の製造方法 |
| JP2007150200A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| CN102315017A (zh) * | 2010-06-17 | 2012-01-11 | 株式会社村田制作所 | 陶瓷电子元件及其制造方法 |
| WO2013031715A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 北陸電気工業株式会社 | 積層圧電体 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3185226B2 (ja) * | 1991-01-30 | 2001-07-09 | 株式会社村田製作所 | 圧電バイモルフ素子の駆動方法及び圧電バイモルフ素子 |
| JP3630056B2 (ja) | 2000-01-26 | 2005-03-16 | 株式会社村田製作所 | チップ型電子部品及びチップ型コンデンサ |
| DE10206115A1 (de) * | 2001-03-06 | 2002-09-19 | Ceramtec Ag | Piezokeramische Vielschichtaktoren sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung |
| DE602004029076D1 (de) * | 2003-10-27 | 2010-10-21 | Kyocera Corp | Mehrschichtiges piezoelektrisches bauelement |
| EP1850403B1 (en) * | 2005-02-15 | 2011-12-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer piezoelectric device |
| JP4339816B2 (ja) | 2005-05-02 | 2009-10-07 | Ｔｄｋ株式会社 | 電子部品 |
| KR101514358B1 (ko) | 2011-10-03 | 2015-04-22 | 쿄세라 코포레이션 | 압전 진동 장치 및 그것을 사용한 휴대단말 |
-
2019
- 2019-01-25 US US16/258,370 patent/US11309481B2/en active Active
- 2019-01-30 CN CN201910091791.6A patent/CN110098315B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239682A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Tohoku Metal Ind Ltd | 積層型圧電バイモルフ素子の製造方法 |
| JP2007150200A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| CN102315017A (zh) * | 2010-06-17 | 2012-01-11 | 株式会社村田制作所 | 陶瓷电子元件及其制造方法 |
| WO2013031715A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 北陸電気工業株式会社 | 積層圧電体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110098315A (zh) | 2019-08-06 |
| US11309481B2 (en) | 2022-04-19 |
| US20190237653A1 (en) | 2019-08-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110098317B (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
| TW201813273A (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
| CN110098315B (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
| JP2018152541A (ja) | 振動デバイス | |
| US9590162B2 (en) | Piezoelectric vibration component and portable terminal | |
| CN108417706B (zh) | 振动器件 | |
| CN112445334B (zh) | 振动面板和电子设备 | |
| US20150321222A1 (en) | Piezoelectric element and piezoelectric vibration module having the same | |
| CN109524537B (zh) | 层叠型压电元件及振动设备 | |
| JP7158151B2 (ja) | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス | |
| CN110098316B (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
| JP6998223B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| CN110213704B (zh) | 振动发生器件和电子设备 | |
| JP6776928B2 (ja) | 振動デバイス | |
| JP5589395B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP7441036B2 (ja) | 圧電振動素子、振動発生装置及び電子機器 | |
| JP7003415B2 (ja) | 振動デバイス | |
| JP2018126701A (ja) | 振動デバイス | |
| US20190237657A1 (en) | Method of producing a multi-layer piezoelectric ceramic component, multi-layer piezoelectric ceramic component, and piezoelectric device | |
| JP5087822B2 (ja) | 圧電素子 | |
| JP6961949B2 (ja) | 振動デバイス | |
| JP6920188B2 (ja) | 圧電素子、音響発生器および電子機器 | |
| JPH06181345A (ja) | 積層型変位素子及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |