CN117607489B - 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器 - Google Patents

Abstract

本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元，框架形成有第一容置空间，敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部；第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置；其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行；质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置，从而减小敏感结构的体积。

Description

压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，具体涉及压阻式加速度传感器。

背景技术

基于微纳加工技术的压阻式加速度传感器在汽车碰撞、爆炸冲击测试等领域具有广泛应用。压阻式加速度传感器包括框架、质量块、连接梁和应变电阻（电阻式应变片），连接梁的一端固定至框架，连接梁的另一端固定至质量块。连接梁上设有应变电阻，质量块受加速度作用使连接梁产生形变，从而引起连接梁上的应变电阻的电阻值变化。

在现有技术中，通常设置单层的连接梁，加速度传感器的抗冲击能力较弱，横向抗干扰能力也弱。另外，连接梁、质量块及框架之间具有间隙，三者的空间布置往往限制了加速度传感器的体积大小，使得加速度传感器不能进一步优化体积。并且，敏感结构无应力隔离边框，外部干扰应力容易作用到应变电阻部位，导致温度漂移严重，测量误差大。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器，不仅可以提高传感器的抗冲击能力，还可减小传感器的体积。

本公开的第一方面，提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构，包括框架和敏感单元，框架形成有第一容置空间，敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及凸出于主体的凸部；第一支撑梁的一端连接至质量块的主体的第一纵向位置，另一端连接至框架；第二支撑梁的一端连接至质量块的主体的第二纵向位置，另一端连接至框架。其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向；第一支撑梁与第二支撑梁分别设置于质量块的主体的相对的两侧，质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行；质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。

进一步地，质量块具有两个凸部，两个凸部分别设置于质量块的主体的两侧。

进一步地，敏感结构还包括应变电阻，应变电阻设置于第一支撑梁，第一支撑梁的刚性大于第二支撑梁的刚性。

进一步地，敏感结构具有两个第一支撑梁、两个第二支撑梁，质量块的两侧分别设置一个第一支撑梁和一个第二支撑梁，且一侧的第一支撑梁与另一侧的第二支撑梁相对设置。

进一步地，第一支撑梁的宽度大于第二支撑梁的宽度。

进一步地，质量块的凸部与同侧的第一支撑梁、第二支撑梁之间的间隙宽度相等。

进一步地，第一支撑梁、第二支撑梁的厚度小于质量块的厚度，第一支撑梁的上表面与敏感结构的上表面齐平，每个第一支撑梁的上表面设有两个应变电阻，两个应变电阻分别设置于第一支撑梁的两端。

进一步地，框架的上表面设置四个焊盘，每个焊盘分别与一个应变电阻电连接，四个应变电阻通过电连接形成惠斯顿全桥电路。

进一步地，敏感结构还包括设置于第一容置空间内的隔离边框和连接梁，隔离边框通过连接梁连接至框架。隔离边框形成有第二容置空间，敏感单元设置于第二容置空间内；第一支撑梁的另一端和第二支撑梁的另一端均固定至隔离边框，第一支撑梁、第二支撑梁通过隔离边框连接至框架。

本公开的第二方面，提供一种加速度传感器，其包括上盖板、底板和前述的敏感结构，敏感结构设置于上盖板和底板之间。

本发明的压阻式加速度传感器的敏感结构层及加速度传感器，具备以下的特点和优点：

1、敏感结构具有双层支撑梁，有利于提高敏感结构的抗冲击能力；并且双层支撑梁可有效限制质量块的横向摆动，即抑制敏感结构的横向耦合效应，有利于提高敏感结构的横向抗干扰能力；

2、另外，第一支撑梁、第二支撑梁和质量块的凸部错开布置，可充分利用空间位置，从而减小敏感结构的体积；

3、第一支撑梁的刚性大于第二支撑梁的刚性，在第一支撑梁设置应变电阻，使得应变电阻可获得较大的应力；另外，通过调整第二支撑梁的宽度、厚度或长度，可对敏感结构的频率、模态进行调制，提高敏感结构的灵敏度，从而获得最佳的动态响应特性；

4、敏感结构设置隔离边框，可将加速度传感器外围的封装应力、温度应力、冲击应力等干扰应力完全隔离，降低对应变电阻的干扰，从而使加速度传感器获得更好的温度稳定性和加速度测量精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本发明的加速度传感器的立体示意图；

图2示出了图1中的一种敏感结构的立体示意图；

图3示出了图2所示的敏感结构的俯视示意图；

图4示出了沿图3中AA方向剖切的敏感结构的示意图；

图5示出了图1中的另一种敏感结构的立体示意图；

图6示出了图5所示的敏感结构的俯视示意图；

图7示出了沿图6中BB方向剖切的敏感结构的示意图；

图8示出了图5中应变电阻的分布示意图；

图9示出了隔离边框及敏感单元在静止时的示意图；

图10示出了隔离边框及敏感单元在加速度作用下的示意图；

图11示出了本实施例的惠斯通全电桥的电连接示意图。

附图标记说明：

100-加速度传感器，10-上盖板，30-底板；

20-敏感结构，21-框架，23-第一支撑梁，24-第二支撑梁，26-质量块，262-主体，264-凸部，27-应变电阻，28-焊盘，212-第一容置空间；

42-隔离边框，45-连接梁，422-第二容置空间。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明公开一种加速度传感器100，其至少包括敏感结构20，该敏感结构具有第一支撑梁、第二支撑梁和质量块，质量块受加速度作用使两种支撑梁产生形变。敏感结构20的质量块为异形，该质量块具有主体以及凸出于主体的凸部，第一支撑梁的一端连接至质量块的主体的第一纵向位置，第二支撑梁的一端连接至质量块的主体的第二纵向位置。相对于传统的单层支撑梁结构，设置两个纵向位置的支撑梁连接至质量块（即双层支撑梁结构），具有更好的抗冲击能力；并且在保证敏感结构20敏感性的前提下，双层支撑梁可有效限制质量块的横向摆动，即抑制敏感结构20的横向耦合效应，有利于提高敏感结构20的横向抗干扰能力。另外，质量块为异形结构，第一支撑梁和第二支撑梁的延伸方向与质量块的凸部延伸方向平行，第一支撑梁、第二支撑梁与质量块的凸部错开布置，可充分利用空间位置，从而减小敏感结构20的体积。

参见图1，在一些实施例中，加速度传感器100包括上盖板10、敏感结构20和底板30，其中，敏感结构20位于上盖板10和底板30之间，三者键合连接。上盖板10和底板30用于支撑和密封敏感结构20，两者的中心区域可设置凹槽，从而为敏感结构20的质量块提供运动空间。上盖板10和底板30的材料可以是玻璃或者硅，敏感结构20的材料为硅。下面具体介绍敏感结构20。

在一种实施例中，参见图2至图4，敏感结构20包括框架21和敏感单元。框架21形成有第一容置空间212，敏感单元设置于第一容置空间212内。敏感单元具体包括第一支撑梁23、第二支撑梁24和质量块26。质量块26具有主体262和凸出于主体262的凸部264。第一支撑梁23的一端连接至主体262的第一纵向位置，另一端连接至框架21；第二支撑梁24的一端连接至主体262的第二纵向位置，另一端连接至框架21；质量块26的纵向为质量块26的敏感方向。其中，质量块26的凸部264、第一支撑梁23、第二支撑梁24的延伸方向平行，例如，三者的延伸方向与纵向垂直。质量块26在加速度作用下对第一支撑梁23、第二支撑梁24产生作用力，当该作用力达到阈值时可使第一支撑梁23、第二支撑梁24变形。其中，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向为三个相互垂直的方向，Z轴方向为纵向。参见图2，主体262的延伸方向为X轴方向，凸部264、第一支撑梁23和第二支撑梁24的延伸方向为Y轴方向，敏感结构20的敏感方向为Z轴方向。在X轴方向上，同侧的凸部264与支撑梁错开布置，同侧的凸部264与支撑梁投影至Y轴的投影至少部分重合，这种布置方式，可以在保证敏感结构的敏感性的同时，减小敏感结构的体积。

具体地，敏感结构20被构造成平板状，敏感单元设置于框架21的第一容置空间212，即框架21环绕敏感单元。也就是说，第一容置空间212可容纳质量块26、第一支撑梁23、第二支撑梁24，并为质量块26的移动和两种支撑梁的形变提供空间。框架21可以被构造成圆环状或方环形等规则或不规则环状。参见图2，框架21被构造成方环形，第一容置空间212为方形。需要说明的是，方形是指长方形或正方形。

继续参见图2至图4，质量块26被构造成异形，包括主体262和凸部264。在一些实施例中，质量块26的厚度与框架21的厚度一致。优选地，质量块26和框架21的上下表面分别齐平。主体262被构造成长方形或大致成长条形，凸部264至少设置于长方形的一侧。在一些实施例中，质量块26具有一个凸部264，凸部264、第一支撑梁23、第二支撑梁24均位于主体262的同一侧。例如，沿X轴方向，凸部264设置于第一支撑梁23和第二支撑梁24之间。在另一些实施例中，参见图2至图4，质量块26具有两个凸部264，两个凸部264分别设置于主体262的相对的两侧，第一支撑梁23、第二支撑梁24也分别设置于主体262的不同的两侧。优选地，第一支撑梁23与其中一个凸部264相对设置，第二支撑梁24与另一个凸部264相对设置。在一些实施例中，凸部264投影至Y轴的长度大于主体262投影至Y轴的长度。在图2至图4所示的实施例中，凸部264投影至Y轴的长度约等于主体262投影至Y轴长度的2倍。优选地，沿X轴方向，质量块26与框架21之间的间隙和第一支撑梁23、第二支撑梁24与框架21之间的间隙相等。在一些实施例中，同侧的凸部264、第一支撑梁23和第二支撑梁24三者中，凸部264位于第一支撑梁23和第二支撑梁24之间；更优选地，质量块26的凸部264与同侧的第一支撑梁23、第二支撑梁24之间的间隙相等。沿X轴方向，凸部264的宽度与第一支撑梁23、第二支撑梁24的宽度相关。

敏感结构20包括应变电阻27，应变电阻27设置于第一支撑梁23或第二支撑梁24的表面。质量块26受加速度作用使第一支撑梁23和第二支撑梁24产生形变，从而引起应变电阻27的电阻值变化。通过检测电阻值，可计算出加速度值。

加速度传感器100的检测方向可以是Z轴方向（即质量块26做面外运动），也可以是平行于X-Y平面的任意方向（即质量块26做面内运动）。加速度传感器100的检测方向即质量块26、第一支撑梁23、第二支撑梁24的敏感方向。

在一些实施例中，具体地，参见图2和图4，加速度传感器100的检测方向为Z轴方向，第一支撑梁23、第二支撑梁24的厚度小于质量块26的厚度。应变电阻27设置于第一支撑梁23的上表面或下表面，或者设置于第二支撑梁24的上表面或下表面。优选地，应变电阻27设置于第一支撑梁23和第二支撑梁24的外侧面。其中，第一支撑梁23靠近敏感结构20的上表面，第一支撑梁23的外侧面为第一支撑梁23的上表面，第二支撑梁24的外侧面为第二支撑梁24的下表面。在一些实施例中，沿Z轴方向，第一支撑梁23的上表面与质量块26的上表面齐平，第二支撑梁24的下表面与质量块26的下表面齐平。

第一支撑梁23、第二支撑梁24的刚性可以相同也可不同。在一些实施例中，参见图3、图4，第一支撑梁23和第二支撑梁24的刚性相同。具体地，第一支撑梁23和第二支撑梁24的宽度和厚度一致，应变电阻27可设置于第一支撑梁23的上表面和第二支撑梁24的下表面。例如，第一支撑梁23的上表面设置两个应变电阻27，第二支撑梁24的下表面设置两个应变电阻27，四个应变电阻27可构造成惠斯通电桥，便于测量电阻值。更具体地，应变电阻27被构造成长条状，沿X轴延伸。其中两个应变电阻27分别设置于第一支撑梁23与框架21、质量块26的连接处；另外两个应变电阻27分别设置于第二支撑梁24与框架21、质量块26的连接处。即，其中两个应变电阻27设置于第一支撑梁23的两端，另外两个应变电阻27设置于第二支撑梁的两端。应变电阻设置在连接处，有利于提高检测灵敏性。

在另一些实施例中，第一支撑梁23和第二支撑梁24的刚性不同，应变电阻27可设置于两者中刚性强的一者的表面。在刚性强的一者上设置应变电阻27，使得应变电阻27可获得较大的应力。另外，通过调整另一者的宽度、厚度或长度，可对敏感结构20的频率、模态进行调制，提高敏感结构的灵敏度，获得最佳的动态响应特性。具体地，例如，第一支撑梁23和第二支撑梁24的宽度或厚度不同，使得第一支撑梁23的刚性较强。优选地，第一支撑梁23和第二支撑梁24的宽度一致，第一支撑梁23的厚度大于第二支撑梁24的厚度，应变电阻27设置于第一支撑梁23的上表面。

参见图1、图2和图3，在一些实施例中，框架21上设有与应变电阻27电连接的焊盘28，应变电阻27可通过焊盘28与外部电路连接。具体地，敏感结构20具有四个应变电阻27，框架21设有四个焊盘28，四个焊盘28与四个应变电阻27电连接形成惠斯通全桥电路。四个焊盘28被平均分成两组，分别设置于框架21的平行于第一支撑梁23延伸方向的两侧，且位于两侧的上表面。

本发明还提供敏感结构的另一种实施例，参见图5至图7，与前一种实施例相比，敏感结构20具有两个第一支撑梁23、两个第二支撑梁24。敏感结构20包括框架21、两个第一支撑梁23、两个第二支撑梁24和质量块26。框架21具有第一容置空间212，第一支撑梁23、第二支撑梁24和质量块26设置于第一容置空间212内。具体地，质量块26的主体262被构造成长方形或近似长方形，主体262的长度方向沿X轴延伸，主体262的宽度方向沿Y轴延伸，两个凸部264分别设置于主体262宽度方向的相对的两侧，该两侧的每一侧还设有第一支撑梁23和第二支撑梁24。优选地，沿X轴方向，凸部264设置于第一支撑梁23和第二支撑梁24之间。更优选地，沿Y轴方向，一侧的第一支撑梁23与另一侧的第二支撑梁24相对设置。在一些实施例中，同侧的凸部264、第一支撑梁23和第二支撑梁24三者中，凸部264位于第一支撑梁23和第二支撑梁24之间；更优选地，沿X轴方向，第一支撑梁23、第二支撑梁24与框架21之间的距离相等。每个质量块26的凸部264与同侧的第一支撑梁23、第二支撑梁24之间的间隙宽度相等。

参见图5，在Y轴方向上，两个凸部264错开布置；在X轴方向上，两个凸部264部分错开布置，也即，两个凸部264投影至X轴的投影部分重合；在X轴方向上，同侧的凸部264、第一支撑梁23和第二支撑梁24三者错开布置；同侧的凸部264、第一支撑梁23和第二支撑梁24三者投影至Y轴的投影至少部分重合；这种布置方式，在保证敏感结构的敏感性的同时，可减小敏感结构的体积。

参见图6和图7，每个第一支撑梁23的上表面设有两个应变电阻27，具体地，每个第一支撑梁23的两端分别设置一个应变电阻27。在一些实施例中，第一支撑梁23的刚性大于第二支撑梁24的刚性。具体地，参见图6，第一支撑梁23的宽度大于第二支撑梁24的宽度。优选地，参见图7，第一支撑梁23的厚度大于第二支撑梁24的厚度。更优选地，参见图6，第一支撑梁23的长度小于第二支撑梁24的长度。其中，支撑梁的宽度方向为X轴方向，支撑梁的厚度方向为Z轴方向，支撑梁的长度方向为Y轴方向。

在一些实施例中，敏感结构20还包括隔离边框42，隔离边框42设置于框架21的第一容置空间212，隔离边框42通过连接梁45连接至框架21。隔离边框42形成有第二容置空间422，敏感单元设置于第二容置空间422，即第一支撑梁23、第二支撑梁24和质量块26设置于第二容置空间422。第一支撑梁23、第二支撑梁24分别固定至隔离边框42，第一支撑梁23、第二支撑梁24通过隔离边框42连接至框架21。敏感单元设置于隔离边框42内侧，隔离边框42与框架21之间形成间隙，该间隙有利于阻止作用至框架21的干扰应力传递至隔离边框42或隔离边框42内侧部件。例如，前述结构可阻止封装应力、温度应力等外围干扰应力传递至应变电阻27布置的位置，应变电阻27只受质量块惯性作用产生的应力，不受干扰应力的影响，使得加速度传感器100可以获得很好的温度稳定性和测量精度，继而提高加速度传感器100的检测可靠性。

优选地，在一些实施例中，继续参照图5和图6，沿X轴方向，质量块26的主体262与隔离边框42之间的间隙和第一支撑梁23、第二支撑梁24与隔离边框42之间的间隙相等。质量块26的凸部264与隔离边框42、第一支撑梁23、第二支撑梁24之间的间隙相等，并且第一支撑梁23与位于其两侧的隔离边框42和质量块26的凸部264之间的间隙相等。如此布置，使得加速度传感器100既满足质量块26、第一支撑梁23、第二支撑梁24的形变空间需求，又可充分利用空间位置，从而减小加速度传感器100的体积。

在一些实施例中，两个沿X轴方向延伸的连接梁45分别设置于隔离边框42的两侧，连接梁45的延伸方向垂直于第一支撑梁23的延伸方向（长度方向）。框架21被构造成方环形，连接梁45固定至框架21。在一些实施例中，与连接梁45相连的框架21的两侧的上表面还分别设有两个焊盘28，每个焊盘28分别与一个应变电阻27电连接。具体地，每个第一支撑梁23的两端均设有应变电阻27。更具体地，每个第一支撑梁23与隔离边框42、质量块26的连接处的上表面分别设有应变电阻27。参见图8，电阻为R4、R3、R2、R1的应变电阻沿Y轴方向依次分布。

下面结合图9、图10，详细说明具有敏感结构20的加速度传感器100的工作原理。图9示出了隔离边框42及敏感单元在静止时的示意图，第一支撑梁23的上表面与隔离边框42上表面平齐，第二支撑梁24的下表面与隔离边框42的下表面平齐。图10示出了隔离边框42及敏感单元在加速度a作用下的示意图。当质量块26受到加速度a的作用时，在惯性力作用下，质量块26沿着敏感结构20的Z轴方向产生位移，使得第一支撑梁23和第二支撑梁24发生完全变形。第一支撑梁23的靠近隔离边框42的根部将产生相应的拉应力，第一支撑梁23的靠近质量块26的根部将产生相应的压应力，其大小与加速度成正比。第一支撑梁23弯曲变形时，第一支撑梁23将产生垂直于横截面的拉应力和压应力。如图10所示的变形中，电阻为R1、R4的应变电阻受到沿应变电阻长度方向的拉应力，电阻为R2、R3的应变电阻受到沿应变电阻长度方向的压应力，两组电阻受力大小相同，方向相反。

如图11所示，将电阻为R1~R4的应变电阻连接成惠斯通全桥电路。根据惠斯通电桥原理，加速度传感器100输出信号与电阻值变化量成正比，从而与待测加速度成正比，实现对加速度的测量。图11示出了本实施例的惠斯通全电桥的电连接示意图。通过V_out = V_in ×ΔR / R可计算出ΔR，从而获得加速度值。其中，V_in为输入电压，V_out为输出电压，R为应变电阻的基础电阻值，ΔR为应变电阻的变化电阻值。

本发明公开的敏感结构20具有双层支撑梁，比单层质量梁的抗冲击能力更好；并且双层支撑梁可有效限制质量块的横向摆动，即抑制敏感结构20的横向耦合效应，有利于提高敏感结构20的横向抗干扰能力。另外，第一支撑梁、第二支撑梁和质量块错开布置，可充分利用空间位置，从而减小敏感结构20的体积。第一支撑梁的刚性大于第二支撑梁的刚性。在第一支撑梁设置应变电阻，使得应变电阻可获得较大的应力。另外，通过调整第二支撑梁的宽度、厚度或长度，可对敏感结构的频率、模态进行调制，提高敏感结构的灵敏度，获得最佳的动态响应特性。敏感结构20设置隔离边框42，可将加速度传感器100外围的封装应力、温度应力、冲击应力等完全隔离，降低对应变电阻的干扰，从而使加速度传感器100获得更好的温度稳定性和加速度测量精度。

需要补充的是，敏感结构20可以与上盖板10或底板30形成一个整体。因此，在一些实施例中，敏感结构20不是加速度传感器100的中间层，而是构成加速度传感器100的上层或下层。

以上所述仅为本发明的几个实施例，本领域的技术人员依据申请文件公开的内容可以对本发明实施例进行各种改动或变型而不脱离本发明的精神和范围。

Claims (6)

1.一种压阻式加速度传感器的敏感结构，其特征在于，包括：

框架，所述框架形成有第一容置空间；

敏感单元，所述敏感单元设置于所述第一容置空间内，所述敏感单元包括：

质量块，所述质量块具有主体以及凸出于所述主体相对两侧的两个凸部；

两个第一支撑梁，所述第一支撑梁的一端连接至所述质量块的主体的第一纵向位置，另一端连接至所述框架；

两个第二支撑梁，所述第二支撑梁的一端连接至所述质量块的主体的第二纵向位置，另一端连接至所述框架；及

应变电阻，所述应变电阻设置于所述第一支撑梁；

其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，所述第一纵向位置和所述第二纵向位置为不同的纵向位置；

所述质量块的凸部的延伸方向与所述第一支撑梁、所述第二支撑梁的延伸方向平行；

所述质量块在加速度作用下对所述第一支撑梁和所述第二支撑梁产生作用力；

所述主体相对两侧分别设置一个所述第一支撑梁和一个所述第二支撑梁，且一侧的所述第一支撑梁与另一侧的所述第二支撑梁相对设置；

所述第一支撑梁的刚性大于所述第二支撑梁的刚性，所述第一支撑梁的宽度大于所述第二支撑梁的宽度。

2.根据权利要求1所述的敏感结构，其特征在于，所述质量块的凸部与同侧的第一支撑梁、第二支撑梁之间的间隙宽度相等。

3.根据权利要求2所述的敏感结构，其特征在于，所述第一支撑梁、所述第二支撑梁的厚度小于所述质量块的厚度，所述第一支撑梁的上表面与所述敏感结构的上表面齐平，每个第一支撑梁的上表面设有两个应变电阻，所述两个应变电阻分别设置于所述第一支撑梁的两端。

4.根据权利要求3所述的敏感结构，其特征在于，所述框架的上表面设置四个焊盘，四个所述应变电阻与四个所述焊盘电连接形成惠斯顿全桥电路。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的敏感结构，其特征在于，还包括设置于所述第一容置空间内的隔离边框和连接梁，所述隔离边框通过所述连接梁连接至所述框架；

所述隔离边框形成有第二容置空间，所述敏感单元设置于所述第二容置空间内；

所述第一支撑梁的另一端和所述第二支撑梁的另一端均固定至所述隔离边框，所述第一支撑梁、所述第二支撑梁通过所述隔离边框连接至所述框架。

6.一种加速度传感器，其特征在于，包括上盖板、底板和权利要求1~5中任一项所述的敏感结构，所述敏感结构设置于所述上盖板和所述底板之间。