CN114631822A - 一种柔性神经电极、制备方法及设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及神经电极技术领域，特别涉及一种柔性神经电极、制备方法及设备。该柔性神经电极，包括：柔性植入部和后端接口部；柔性植入部包括至少一个柔性探针，柔性探针的一端与后端接口部连接，柔性探针用于植入生物体的深部脑区；柔性探针包括金属电极和柔性支撑层，金属电极设置在柔性支撑层内；柔性支撑层上设置有电极孔，金属电极通过电极孔露出柔性支撑层形成电极点；柔性支撑层的材质为聚亚酰胺。该柔性神经电极，在器件结构上增大了植入深度和横向覆盖面积，并采用聚酰亚胺作为柔性支撑层，使用MEMS工艺制造电极结构。该柔性神经电极具有很好的生物相容性，且针对植入海马体等深部脑区的使用场景，能够应用于临床研究。
Description
技术领域
本发明涉及神经电极技术领域，特别涉及一种柔性神经电极、制备方法及设备。
背景技术
在生物科学研究领域，生物监测对各器官的科学研究、诊断等起着重要作用。以脑科学为例，脑电监测对于脑科学研究、脑疾病诊断和脑机接口技术发展起着不可替代的作用。脑监测技术能够对脑电信号进行采集，进而有助于脑功能解码。针对脑电信号采集的方法主要依靠脑部电极，应用比较广泛的脑部电极包括3种：头皮脑电极(EEG)、皮层脑电极(ECoG)和深度脑电极(SEEG)。
对于应用在头皮外或浅脑区的头皮脑电极和皮层脑电极，已有较多的成果。而对于应用于深脑区的深度脑电极由于其植入脑部深度深，且深脑区神经网络错综复杂，对电极的结构及材质有较高的要求。目前还未出现能够在临床上应用于深脑区的神经电极。
发明内容
本发明提供一种用于深部脑区检测的柔性神经电极、制备方法及设备，该柔性神经电极具有较大植入深度和横向覆盖面积，且具有很好的生物相容性，能够用于临床研究。
为解决上述技术问题，第一方面，本申请实施例公开了一种用于深部脑区检测的柔性神经电极，包括：柔性植入部和后端接口部；
所述柔性植入部包括至少一个柔性探针，所述柔性探针的一端与所述后端接口部连接，所述柔性探针用于植入生物体的深部脑区；
所述柔性探针包括金属电极和柔性支撑层，所述金属电极设置在所述柔性支撑层内；
所述柔性支撑层上设置有电极孔，所述金属电极通过所述电极孔露出所述柔性支撑层形成电极点；
所述柔性支撑层的材质为聚亚酰胺。
进一步的，所述柔性探针包括电极点区和过渡区；
所述过渡区的一端与所述电极点区连接，所述过渡区的另一端与所述后端接口部连接；
所述电极点区具有预设数量的所述电极点。
进一步的，所述电极点区远离所述过渡区的一端设置有牵引孔，所述牵引孔用于与牵引器械连接，以引导所述柔性探针植入生物体的深部脑区。
进一步的，所述预设数量为50-200，所述电极点在所述电极点区按预设阵列分布。
进一步的，相邻所述电极点之间的间距为100μm-200μm。
进一步的，所述柔性探针的长度为10mm-40mm；
所述柔性探针的径向尺寸为0.1mm-1mm；
所述电极点区的长度为4mm-40mm。
进一步的，所述柔性植入部包括4个所述柔性探针；
相邻所述柔性探针之间具有预设间距，所述预设间距为1mm-5mm。
进一步的，所述后端接口部包括转接区和焊盘区；
所述转接区的一侧与所述柔性探针连接，所述转接区的另一侧所述焊盘区连接；
所述转接区用于将所述金属电极转接到所述焊盘区；
所述焊盘区用于与后端处理电路连接。
第二方面，本申请实施例公开了一种用于深部脑区检测的柔性神经电极制备方法，所述方法包括：
在支撑衬底上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜；所述第一聚酰亚胺柔性薄膜包括柔性植入部和后端接口部；
在所述聚酰亚胺柔性衬底上制备图形化的金属导电层；其中，所述金属导电层包括制备在所述柔性植入部的金属电极和制备在所述后端接口部的焊盘导电层；
在所述金属导电层和所述第一聚酰亚胺柔性薄膜上制备第二聚酰亚胺柔性薄膜；
对所述第二聚酰亚胺柔性薄膜进行刻蚀，以使所述金属电极露出所述第二聚酰亚胺柔性薄膜形成电极点；
去除所述柔性植入部所对应的支撑衬底，得到所述柔性神经电极。
第三方面，本申请实施例公开了一种电子设备，所述电子设备包括如上所述的用于深部脑区检测的柔性神经电极。
采用上述技术方案，本申请实施例所述的柔性神经电极、制备方法及设备具有如下有益效果：
该用于深部脑区检测的柔性神经电极，在器件结构上增大了植入深度和横向覆盖面积，并采用聚酰亚胺作为柔性支撑层，使用MEMS工艺制造电极结构。该柔性神经电极具有很好的生物相容性，且针对植入海马体等深部脑区的使用场景，能够应用于临床研究。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的一种柔性神经电极的结构示意图；
图2为本申请实施例提供的一种电极点区局部放大结构示意图；
图3为本申请实施例提供的一种柔性探针端部放大结构示意图；
图4为本申请实施例提供的一种牵引孔与牵引器械配合结构示意图；
图5是本申请实施例提供的一种用于深部脑区检测的柔性神经电极制备方法流程示意图；
图6是本申请实施例提供的一种制备牺牲层后的器件结构示意图；
图7是本申请实施例提供的一种制备第一聚酰亚胺柔性薄膜后的器件结构示意图；
图8是本申请实施例提供的一种制备金属导电层后的器件结构示意图；
图9是本申请实施例提供的一种制备第二聚酰亚胺柔性薄膜后的器件结构示意图；
图10是本申请实施例提供的一种制备刻蚀第二聚酰亚胺柔性薄膜后的器件结构示意图；
图11是本申请实施例提供的一种去除牺牲层后的器件结构示意图。
以下对附图作补充说明：
1-柔性探针；110-电极点区；111-电极点；112-金属引线；120-过渡区；130-牵引孔；2-后端接口部；210-转接区；220-焊盘区；3-牵引器械；410-支撑衬底；411-硅片；412-氧化层；420-牺牲层；430-第一聚酰亚胺柔性薄膜；440-金属导电层；450-第二聚酰亚胺柔性薄膜；460-掩模。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本申请至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
神经电极是将神经元与外部电子设备连接起来的桥梁，通过神经电极我们可以测量到大脑皮层的电生理信号，包括局部场电位和动作电位，这对于脑科学的发展和脑疾病的诊断具有重大意义，比如癫痫、帕金森和阿尔兹海默病等。性能优异的神经电极需要具备以下两个条件：一是植入损伤小，降低脑组织对电极的排异反应；二是能够对于神经信号测量具有较高的时空分辨率。当前大部分植入式柔性器件使用SU8作为结构材料，SU8具有工艺简单、成品率高、生物相容性较好的优势，基于这种材料制备的柔性电极已经被广泛应用于动物试验。然而，SU8存在机械性能差、长期稳定性一般、易吸水膨胀导致失效等缺点，且由于SU8溶剂具有一定毒性，尚未通过美国食品药品监督管理局(Food and DrugAdministration，FDA)的临床使用认证，因此无法用于制备临床研究用神经电极。
有鉴于此，本申请实施例提供了一种用于深部脑区检测的柔性神经电极，图1为本申请实施例提供的一种柔性神经电极的结构示意图，如图1所示，该柔性神经电极包括：柔性植入部和后端接口部2。
柔性植入部包括至少一个柔性探针1，柔性探针1的一端与后端接口部2连接，柔性探针1用于植入生物体的深部脑区。柔性探针1包括金属电极和柔性支撑层，金属电极设置在柔性支撑层内。柔性支撑层上设置有电极孔，金属电极通过电极孔露出柔性支撑层形成电极点111。柔性支撑层的材质为聚亚酰胺。
本申请实施例中，柔性植入部包括一个至多个柔性探针1，每个柔性探针1上设置有多个电极点111，用于采集神经元信号。当柔性植入部包括多个柔性探针1时，相邻柔性探针1之间具有预设间距，预设间距D1为1mm-5mm。
本申请实施例中，如图1所示，柔性探针1包括电极点区110和过渡区120。过渡区120的一端与电极点区110连接，过渡区120的另一端与后端接口部2连接。电极点区110具有预设数量的电极点111。可选的，预设数量为50-200。图2为本申请实施例提供的一种电极点区110局部放大结构示意图，如图2所示，电极点111在电极点区110按预设阵列分布。相邻电极点111之间的间距为100μm-200μm。电极点区110用于植入大脑内，用于采集神经元信号。电极点区110中的电极点111数量可以根据实际需求进行调整。过渡区120为柔性探针1上的冗余结构，柔性探针1植入大脑中时，过渡区120通常并不会被植入大脑中，而是余留在大脑外部。可选的，过渡区120上可以设置有电极点111，也可不设置。
本申请实施例中，如图1所示，由于该柔性神经电极用于深脑区的检测，可选的，柔性探针1的长度D3为10mm-40mm。柔性探针1的径向尺寸为0.1mm-1mm。电极点区110的长度D2为4mm-40mm。作为一种可选的实施方式，柔性探针1的长度D3为20mm，电极点区110的长度D2为12.75mm。柔性植入部包括4个柔性探针1。相邻柔性探针1之间的预设间距为2.6mm。每个柔性探针1上设置有64个电极点111，相邻电机点之间的间距为170μm。对于深脑区来说，其神经元密集，且目前人们对深脑区的工作模式认知较少，通过设置多根柔性探针1能够增加柔性神经电极的横向覆盖面积，从而能够采集到更多的神经元信号，有助于人们研究深脑区的工作方式。将相邻柔性探针1之间间距设置为2mm左右可以降低柔性神经电极的整体宽度，从而能够降低植入创伤面积且能够平衡神经电极的植入手术难度。
本申请实施例中，由于该柔性神经电极的柔性探针1的长度较长，且用于植入深脑区，该柔性探针1的柔性支撑层可以采用聚亚酰胺(Polyimide，PI)制备。聚亚酰胺机械性能好、韧性高、化学性质稳定，且生物相容性好，可以实现长期稳定的在体植入和记录。
本申请实施例中，图3为本申请实施例提供的一种柔性探针1端部放大结构示意图，如图3所示，电极点区110远离过渡区120的一端设置有牵引孔130，牵引孔130用于与牵引器械3连接，以引导柔性探针1植入生物体的深部脑区。在柔性神经电极植入大脑中时，由于柔性神经电极比较柔软，需要采用牵引器械3进行引导植入。因此，柔性探针1的端部设置有牵引孔130来固定牵引器械3。图4为本申请实施例提供的一种牵引孔130与牵引器械3配合结构示意图，如图4所示，牵引器械3可以是钨丝。在该柔性神经电极植入大脑时，采用电化学刻蚀等方法可以锐化钨丝尖端，使钨丝尖端穿过牵引孔130而钨丝本体被牵引孔130卡住。因此，钨丝插入大脑时可以带动柔性探针1进入脑组织，从而实现柔性探针1的植入。
本申请实施例中，如图1所示，后端接口部2包括转接区210和焊盘区220。转接区210的一侧与柔性探针1连接，转接区210的另一侧焊盘区220连接。转接区210用于将金属电极转接到焊盘区220。转接区210的主要用于内部导线宽度过渡，缩小器件尺寸。焊盘区220用于与后端处理电路连接。焊盘区220包括多个焊点，焊点与电极点111一一对应，焊点与电极点111之间通过金属引线112导通。焊盘区220的主要作用是与外部数据处理设备进行连接。
本申请实施例所述的柔性神经电极适用于长期植入深脑区，脑中海马体、内侧颞叶等脑区位于大脑深部，且与记忆、情绪、听觉等功能相关，具有极高的研究价值，该柔性神经电极设计为兼容植入皮层及深部脑区的结构，结合PI机械性能好、韧性高、化学性质稳定等优势，可以实现长期稳定的在体植入和记录。
本申请实施例还提供了一种用于深部脑区检测的柔性神经电极制备方法，图5是本申请实施例提供的一种用于深部脑区检测的柔性神经电极制备方法流程示意图，如图5所示，该方法包括：
S501：在支撑衬底410上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜430；
本申请实施例中，选用硅片411作为支撑衬底410，可选的，硅片411的厚度为200μm-1000μm，优选为400μm。支撑衬底410的表面具有一定厚度的氧化层412，从而易于与聚酰亚胺柔性薄膜分离。可选的，氧化层412的厚度为0.5μm-10μm，优选为2μm。除了硅片411之外，也可以选用氮化硅、碳化硅、玻璃等作为支撑衬底410。在支撑衬底410上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜430之前，对支撑衬底410进行清洗。具体的，首先将支撑衬底410浸没在丙酮中进行清洗，然后再将支撑衬底410浸没在乙醇中进行清洗，然后用流动的乙醇或乙醇洗瓶对支撑衬底410冲洗，接着用去离子水冲洗，最后甩干，完成对支撑衬底410的清洗。
本申请实施例中，在支撑衬底410上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜430之前，首先在支撑衬底410上制备一层牺牲层420。图6是本申请实施例提供的一种制备牺牲层420后的器件结构示意图，如图6所示，通过光刻工艺得到牺牲层420图形。可选的，该牺牲层420的材料包括镍，可选的，该牺牲层420的厚度范围为
具体的，在支撑衬底410上涂覆光刻胶，并对该光刻胶图形化，再采用蒸镀或者溅射在支撑衬底410上制备牺牲层420，从而采用剥离工艺图形化得到牺牲层420。
本申请实施例中，图7是本申请实施例提供的一种制备第一聚酰亚胺柔性薄膜430后的器件结构示意图，如图7所示，在支撑衬底410上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜430具体为：在牺牲层420上旋涂一层PI，通过阶梯加热的方式在牺牲层420上形成第一聚酰亚胺柔性薄膜430。作为一种可选的实施方式，对PI进行阶梯加热时，初始温度为25℃，然后在55min内将温度升到250℃，保温90min。接着在60min内将温度升到380℃，保温200min。最后在130min内将温度降到30℃。
S503：在聚酰亚胺柔性衬底上制备图形化的金属导电层440。
本申请实施例中，第一聚酰亚胺柔性薄膜430包括柔性植入部和后端接口部2。柔性植入部区域内需要沉积金属导电层440作为金属电极以及将金属电极引出的内部导线，而后端接口部2区域内需要沉积金属导电层440作为转接导线和焊盘。
本申请实施例中，金属导电层440包括制备在柔性植入部的金属电极和制备在后端接口部2的焊盘导电层。图8是本申请实施例提供的一种制备金属导电层440后的器件结构示意图，如图8所示，在聚酰亚胺柔性衬底上制备图形化的金属导电层440具体为，在第一聚酰亚胺柔性薄膜430表面的柔性植入部区域内旋涂光刻胶，通过光刻图形化后，蒸镀厚度为1.25nm/10nm的铬/金合金，采用剥离工艺图形化得到金属电极和金属引线112。金属电极和金属引线112制备完成后，再次沉积金属导电层440，以制作焊盘导电层。在第一聚酰亚胺柔性薄膜430表面的后端接口部2区域内旋涂光刻胶，通过光刻图形化后，蒸镀厚度为12.5nm/150nm/100nm的铬/镍/金合金，采用剥离工艺图形化得到后端焊盘。其中镍作为粘附金属用于植球焊接，以连接焊点。在一些实施例中，也可以不蒸镀镍金属，如此，可以在第一聚酰亚胺柔性薄膜430上一次性制作出金属电极和内部导线以及后端焊盘。
S505：在金属导电层440和第一聚酰亚胺柔性薄膜430上制备第二聚酰亚胺柔性薄膜450。
本申请实施例中，金属导电层440制备完成后，通过制备第二聚酰亚胺柔性薄膜450进行封装。具体的，图9是本申请实施例提供的一种制备第二聚酰亚胺柔性薄膜450后的器件结构示意图，如图9所示，在第一聚酰亚胺柔性薄膜430、金属导电层440的表面旋涂一层PI，通过阶梯加热形成顶层第二聚酰亚胺柔性薄膜450。
S507：对第二聚酰亚胺柔性薄膜450进行刻蚀，以使金属电极露出第二聚酰亚胺柔性薄膜450形成电极点111。
本申请实施例中，第二聚酰亚胺柔性薄膜450制备完成后，对第二聚酰亚胺柔性薄膜450进行刻蚀，以暴露出电极点111和后端焊盘。图10是本申请实施例提供的一种制备刻蚀第二聚酰亚胺柔性薄膜450后的器件结构示意图，如图10所示，在对第二聚酰亚胺柔性薄膜450进行刻蚀时，首先需要在第二聚酰亚胺柔性薄膜450制作掩模460，可选的，掩模460可以为金属铝或厚胶层。作为一种可选的实施方式，在第二聚酰亚胺柔性薄膜450表面溅射沉积厚度为100nm的铝，然后在铝表面旋涂光刻胶，通过光刻图形化后，湿法刻蚀形成硬质铝掩膜。然后使用干法刻蚀对第二聚酰亚胺柔性薄膜450进行刻蚀，露出电极点111和后端焊盘。
需要说明的是，上述刻蚀方法不仅限于湿法刻蚀和干法刻蚀，还可以是深反应离子刻蚀、等离子体刻蚀等。具体可根据实际工艺需求进行选择。
S509：去除柔性植入部所对应的支撑衬底410，得到柔性神经电极。
本申请实施例中，完成对第二聚酰亚胺柔性薄膜450刻蚀后，去除掩模460，然后去除牺牲层420。图11是本申请实施例提供的一种去除牺牲层420后的器件结构示意图，如图11所示，牺牲层420去除后，支撑衬底410与器件结构剥离，使器件结构得到释放，从而得到柔性神经电极。
本申请实施例所述的柔性神经电极，使用PI作为柔性衬底材料，大幅提升了植入式柔性电极的生物相容性、长期稳定性和在体可靠性，使得本发明可以应用于临床研究。此外，该柔性神经电极相较于普通的神经电极，增大柔性探针1的植入深度和横向覆盖面积，使其可以兼容皮层和深部脑区的植入和神经信号记录，拓展了器件的应用场景。使用机械性能好、在体可靠性高的PI作为结构材料，有效避免了柔性探针1断裂、吸水膨胀导致失效等基于SU8的柔性植入式器件存在的问题。
本申请实施例提供了一种电子设备，电子设备包括如上所述的用于深部脑区检测的柔性神经电极。
本申请实施例中，该电子设备可包括但不限于为植入式神经刺激器、植入式神经记录器、植入式刺激-记录器等。具体地，以脑部器官为例，该电子设备具体可为脑神经刺激器、脑神经记录器、脑神经刺激-记录器等等。
本申请实施例所述的一种用于深部脑区检测的柔性神经电极，能够用于临床应用，可以使用该柔性神经电极记录人脑神经元信号。作为一种示例，脑电记录系统包含柔性神经电极，柔性神经电极通过微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)工艺制造而成，以柔性聚合物PI为结构材料，结合金属工艺和光刻工艺制造金属导线和电极，通过干法刻蚀工艺形成点击形貌，并通过湿法刻蚀工艺去除牺牲层420将柔性探针1部分从硅片411上释放。受试者在植入区域对应颅骨上使用骨钻打磨出微型孔，使用钨丝辅助神经探针的植入，将探针通过微型孔植入受试者的大脑指定脑区。神经元电生理信号被柔性探针1上的电极点111记录，通过内部金属导线传输至器件后端，并由后端进一步传输至外接数据处理设备。
以上所述仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于深部脑区检测的柔性神经电极，其特征在于，包括：柔性植入部和后端接口部(2)；
所述柔性植入部包括至少一个柔性探针(1)，所述柔性探针(1)的一端与所述后端接口部(2)连接，所述柔性探针(1)用于植入生物体的深部脑区；
所述柔性探针(1)包括金属电极和柔性支撑层，所述金属电极设置在所述柔性支撑层内；
所述柔性支撑层上设置有电极孔，所述金属电极通过所述电极孔露出所述柔性支撑层形成电极点(111)；
所述柔性支撑层的材质为聚亚酰胺。
2.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性探针(1)包括电极点区(110)和过渡区(120)；
所述过渡区(120)的一端与所述电极点区(110)连接，所述过渡区(120)的另一端与所述后端接口部(2)连接；
所述电极点区(110)具有预设数量的所述电极点(111)。
3.根据权利要求2所述的柔性神经电极，其特征在于，所述电极点区(110)远离所述过渡区(120)的一端设置有牵引孔(130)，所述牵引孔(130)用于与牵引器械(3)连接，以引导所述柔性探针(1)植入生物体的深部脑区。
4.根据权利要求2所述的柔性神经电极，其特征在于，所述预设数量为50-200，所述电极点(111)在所述电极点区(110)按预设阵列分布。
5.根据权利要求4所述的柔性神经电极，其特征在于，相邻所述电极点(111)之间的间距为100μm-200μm。
6.根据权利要求1-5任一项所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性探针(1)的长度为10mm-40mm；
所述柔性探针(1)的径向尺寸为0.1mm-1mm；
所述电极点区(110)的长度为4mm-40mm。
7.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性植入部包括4个所述柔性探针(1)；
相邻所述柔性探针(1)之间具有预设间距，所述预设间距为1mm-5mm。
8.根据权利要求1或7所述的柔性神经电极，其特征在于，所述后端接口部(2)包括转接区(210)和焊盘区(220)；
所述转接区(210)的一侧与所述柔性探针(1)连接，所述转接区(210)的另一侧所述焊盘区(220)连接；
所述转接区(210)用于将所述金属电极转接到所述焊盘区(220)；
所述焊盘区(220)用于与后端处理电路连接。
9.一种用于深部脑区检测的柔性神经电极制备方法，其特征在于，所述方法包括：
在支撑衬底(410)上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜(430)；所述第一聚酰亚胺柔性薄膜(430)包括柔性植入部和后端接口部(2)；
在所述聚酰亚胺柔性衬底上制备图形化的金属导电层(440)；其中，所述金属导电层(440)包括制备在所述柔性植入部的金属电极和制备在所述后端接口部(2)的焊盘导电层；
在所述金属导电层(440)和所述第一聚酰亚胺柔性薄膜(430)上制备第二聚酰亚胺柔性薄膜(450)；
对所述第二聚酰亚胺柔性薄膜(450)进行刻蚀，以使所述金属电极露出所述第二聚酰亚胺柔性薄膜(450)形成电极点(111)；
去除所述柔性植入部所对应的支撑衬底(410)，得到所述柔性神经电极。
10.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括如权利要求1-8任一项所述的用于深部脑区检测的柔性神经电极。
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