CN114146532B - 一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺。一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态。本发明所述的一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，缩短了单座吸附塔的吸附时间，延长了活性炭的再生时间，确保了活性炭再生效果，使其能有效吸附氢气中杂质，提高氢气品质。
Description
技术领域
本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺。
背景技术
多晶硅尾气回收工序中回收氢活性炭吸附提纯工艺是：将含有氯硅烷、氯化氢等少量杂质的回收氢，从吸附塔底部输入，利用活性炭吸附剂疏松多孔结构的物理特性对氯硅烷、HCL等杂质进行吸附，以此净化氢气。吸附完成后通过降压、加热、吹扫等方式对吸附塔活性炭进行再生，活性炭微孔中的杂质因压力和温度等变化以及外作用力而脱附，活性炭从而达到循环利用的效果。
在多晶硅行业回收氢吸附工艺中，每一套吸附系统由三座吸附塔组成，在运行过程中，一塔处于吸附过程，一塔处于加热解吸过程，一塔处于冷却过程，三座塔操作循环周期约为5小时。对于单座塔而言，其运行步骤为：吸附、减压加热、加热吹扫、充压冷却、冷却、下一次吸附。但是，在该过程中，存在以下缺点：(1)由于活性炭在周期性的重复吸附和再生的过程，其寿命会随着时间的推移衰减，具体表现为吸附塔会出现加热/冷却延时的现象。这样就无形中增加了吸附工况下的吸附塔的吸附时间。(2)现有工艺方案(控制时序)在吸附后期氢气中磷含量显著上升，严重制约多晶硅产量和品质。(3)若三台吸附塔中有一台吸附塔因故障检修，则剩下的两台吸附塔通常需要降量至少30％后交替运行，才能保证氢气质量不受影响，从而降低了装置产量。
有鉴于此，本发明提出一种新的多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，可有效解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，通过四塔吸附技术，实现周期性切换，对吸附和再生进行了优化。
为了实现上述目的，所采用的技术方案为：
一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；
在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态。
进一步的，所述的运行工艺包括以下步骤：
(1)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于冷却、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
(2)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少3min；
(3)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少50min；
(4)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热吹扫、均压冷却的状态，在该状态下运行至少100min；
(5)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少10min；
(6)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少70min；
(7)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
(8)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
(9)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少3min；
(10)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少50min；
(11)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少100min；
(12)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少10min；
(13)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少70min；
(14)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
(15)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
(16)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少3min；
(17)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少50min；
(18)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少100min；
(19)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少10min；
(20)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少70min；
(21)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、吸附、加热的状态，在该状态下运行至少1min；
(22)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、冷却、加热的状态，在该状态下运行至少1min；
(23)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少3min；
(24)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少50min；
(25)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少100min；
(26)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少10min；
(27)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少70min；
(28)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于吸附、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min。
再进一步的，所述的步骤(2)、(9)、(16)、(23)中，水路隔离充压冷却状态下的吸附塔，降压加热状态下的吸附塔热水进冷水出，加热状态下的吸附塔冷水进热水出，至冷热水温度平衡后，将水路切回正常管路，进行下一步骤。
进一步的，所述的运行工艺中，当其中一座吸附塔出现故障，切至三塔运行模式。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
本发明将吸附系统的运行模式由三座一组升级为四座一组，具有以下优点：(1)四塔同时投入运行，确保一座吸附塔处于吸附状态，其它三座塔处于再生的不同阶段。通过优化吸附塔吸附和再生时间，延长活性碳的使用寿命，提高吸附塔处理量。
(2)降低吸附过程中存留在吸附塔中的杂质总量，同时确保被吸附的杂质能更好地脱附，保证吸附全过程氢气质量稳定，不出现吸附后期杂质含量陡增的情况。
(3)实现四塔运行和三塔运行的无缝切换，当四座吸附塔中的一座出现故障时，可切至三塔运行模式，保证装置不降量。
附图说明
图1为现有技术三塔运行示意图；
图2为三塔吸附运行模式开关阀控制程序；
图3为本发明四塔吸附技术运行示意图；
图4为本发明四塔吸附运行模式开关阀控制程序。
具体实施方式
为了进一步阐述本发明一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，达到预期发明目的，以下结合较佳实施例，对依据本发明提出的一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构或特点可由任何合适形式组合。
在详细阐述本发明一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺之前，有必要对本发明中提及的相关背景做进一步说明，以达到更好的效果。
对于单座塔而言，其运行步骤为：吸附、减压加热、加热吹扫、充压冷却、冷却、下一次吸附。具体流程简述如下：
(1)吸附过程：含有氯硅烷、氯化氢等少量杂质的回收氢从吸附塔塔底进入处于吸附工况下的吸附塔内，在活性炭吸附剂的选择吸附下，其中的氯硅烷和氯化氢等组分被吸附下来，未被吸附的氢气(纯度可达到99.9％)从塔顶经过滤器后送入还原工序。当被吸附杂质的传质区前沿(称为吸附前沿)到达床层出口预留段时，关掉该吸附塔的进气阀和氢气出口阀，停止吸附。吸附塔开始转入再生过程。
(2)减压加热过程：在吸附过程结束后，打开吹扫出口阀，关闭冷水进口阀，打开热水进口阀和冷水出口阀，热水赶冷水5分钟完成后，打开热水出口阀，关闭冷水出口阀，通过热水(约176℃)加热吸附塔，使被吸附的气体减压解吸，从吸附塔的底部经压力调节阀调节后平稳地进入再生压缩系统。当吸附塔压力小于0.1MPaG时，吸附塔进入加热吹扫过程。
(3)加热吹扫过程：在减压加热过程结束后，打开吹扫进口阀，用经吸附提纯后的氢气经吸附塔热水间接加热，吹扫吸附剂床层，将吸附在吸附剂上的氯硅烷和氯化氢完全解吸出来，使活性炭吸附剂得到再生。当吸附塔底部温度大于120℃时可认为加热吹扫完成，吸附塔进入回压冷却过程。
(4)回压冷却过程：为了使吸附塔可以平稳地切换至下一次吸附并保证产品纯度在这一过程中不发生波动，需要将吸附塔压力升至吸附压力，以保证产品升压过程的充分和减少对吸附压力波动的影响。当加热吹扫过程完成后，关闭吹扫出口阀和热水进口阀，打开冷水进口阀，当冷水赶热水完成后，关闭热水出口阀，打开冷水出口阀，当吸附塔上下压差小于0.06MPaG时，回压冷却过程完成，吸附塔进入冷却过程。
(5)冷却过程：利用氢气经吸附塔冷水间接冷却对吸附塔自上而下进行吹冷，当吸附塔内温度小于50℃时冷却过程完成。经这一过程后吸附塔便完成了一个完整的“吸附—再生”循环，又为下一次吸附做好了准备。三座吸附塔交替进行上述的吸附、再生操作(始终有一座吸附塔处于吸附状态)，即可实现氢气中杂质的连续分离与净化。
在了解了本发明中提及的相关材料之后，下面将结合具体的实施例，对本发明一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺做进一步的详细介绍：
本发明的技术方案为：
一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；
在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态。
优选的，所述的运行工艺包括以下步骤：
(1)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于冷却、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
(2)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少3min；
(3)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少50min；
(4)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热吹扫、均压冷却的状态，在该状态下运行至少100min；
(5)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少10min；
(6)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少70min；
(7)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
(8)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
(9)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少3min；
(10)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少50min；
(11)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少100min；
(12)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少10min；
(13)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少70min；
(14)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
(15)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
(16)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少3min；
(17)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少50min；
(18)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少100min；
(19)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少10min；
(20)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少70min；
(21)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、吸附、加热的状态，在该状态下运行至少1min；
(22)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、冷却、加热的状态，在该状态下运行至少1min；
(23)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少3min；
(24)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少50min；
(25)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少100min；
(26)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少10min；
(27)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少70min；
(28)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于吸附、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min。
进一步优选的，所述的步骤(2)、(9)、(16)、(23)中，水路隔离充压冷却状态下的吸附塔，降压加热状态下的吸附塔热水进冷水出，加热状态下的吸附塔冷水进热水出，至冷热水温度平衡后，将水路切回正常管路，进行下一步骤。
优选的，所述的运行工艺中，当其中一座吸附塔出现故障，切至三塔运行模式。
本发明将吸附系统的运行模式由三座一组升级为四座一组，带来的有益效果主要有：(1)四塔同时投入运行，确保一座吸附塔处于吸附状态，其余三座塔处于再生的不同阶段。缩短了单座吸附塔的吸附时间，延长了活性炭的再生时间，确保了活性炭再生效果，使其能有效吸附氢气中杂质，提高氢气品质。(2)实现四塔运行和三塔运行的无缝切换，当四座吸附塔中的一座出现故障时，可切至三塔运行模式，确保吸附系统不降量运行。
实施例1.
现有技术：回收氢吸附工艺中，吸附系统是靠各个管线上的开关阀的周期性开关来实现各座吸附塔交替进行吸附、减压加热、加热吹扫、充压冷却、冷却、下一次吸附等步骤的(如图1所示)。其中三塔吸附运行模式开关阀控制程序如下表所示(o表示开，c表示关，时间单位分钟)，三塔运行模式分15步，各步骤根据预设好的时间对阀门进行切换，从而实现周期性运行(如图2所示)。
本发明：四塔吸附技术与三塔吸附不同(如图3所示)。运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔A、吸附塔B、吸附塔C和吸附塔D，即表1中的T-101A、T-101B、T-101C、T-101D。
为了实现周期性切换，其运行模式由15步上升至28步(具体见表1和图4)，同时对吸附和再生时间进行了优化。
表1
三塔运行模式下，吸附塔吸附时间为323分钟，加热吹扫时间为321分钟；四塔运行模式下，吸附塔吸附时间为236分钟，加热吹扫时间为388分钟。四塔运行模式，吸附时间更短，加热时间更长，这样的调整在降低了活性炭吸附负荷的同时，还延长了吸附塔的再生时间，从而延长了吸附塔的使用寿命，同时还能提高单位时间吸附塔进气量，提高装置产量。
另外，在四塔运行模式下，一旦有一座吸附塔出现泄漏等故障，可以将故障塔切出系统，将四塔运行模式切换至原来的三塔运行模式，从而保证吸附系统不降量。提高了吸附系统的稳定性。
由本发明实施例可知，四塔运行模式运行稳定可靠，因单塔吸附时间变短，再生时间变长，在保证氢气品质不变的前提下，能进一步提升吸附系统的氢气处理量。同时，因能在单塔故障的情况下切换回三塔运行模式，故杜绝了因单塔故障而导致的减产风险，工艺较三塔运行模式有明显的优势和先进性。
实施例2.
在实施例1本发明四塔运行的28个操作步骤的基础上，进一步细化混水过程。
现有技术中其他公司四塔吸附水路切换流程如表2所示：
表2
| A(吸附) | B(冷转热) | C(加热) | D(冷却) | |
| 切换前 | 冷进不出 | 冷进不出 | 热进热出 | 冷进冷出 |
| 混水 | 冷进不出 | 热进冷出 | 热进热出 | 冷进冷出 |
| 切换后 | 冷进不出 | 热进热出 | 热进热出 | 冷进冷出 |
以第一步B塔切换至A塔吸附为例。切换之前(27、28步)，B塔处于吸附状态，冷水只进不出，维持吸附塔低温状态；C塔处于加热状态，热水进热水出；D塔处于冷却状态，冷水进冷水出；A塔处于冷却状态，冷水进冷水出。原四塔程序中切换至下一步，A塔进入吸附状态，冷水只进不出；B塔进入加热再生状态，将由冷水切换为热水；C塔保持加热状态不变，热水进热水出；D塔保持冷却状态不变，冷水进冷水出。原程序混水步骤中，仅有B塔单塔混水，导致撬块水路系统紊乱，管道和平衡水罐出现剧烈震动。
即在现有的四塔程序的混水过程中存在着水击现象。本发明为了解决该技术问题，通过隔离出冷却状态的塔，吸附转加热的塔和原加热状态的塔交互混水。改动如表3所示，为关闭D塔冷水出口，冷水只进不出，从而隔离D塔；原加热状态的C塔改为冷水进热水出，参与B塔混水。当冷热水温度相等后，再将B塔切为加热状态、C塔切回加热状态，D塔开冷水出口，切回冷却状态。
表3
以下为具体控制步骤说明：
(1)程序第1-3步，由B塔吸附切换为A塔吸附。
将各塔状态切换至以下状态(程序第2步)：
A塔：吸附B塔：热水进冷水出C塔：冷水进热水出D塔：水路隔离(热水进出关，冷水出口关)
即以下开关阀同时动作：
冷热水温度平衡后(约105℃)，将水路切回正常管路(程序第3步)：
即以下开关阀同时动作：
(2)程序第8-10步，由A塔吸附切换为D塔吸附。
将各塔状态切换至以下状态(程序第9步)：
A塔：热水进冷水出 B塔：冷水进热水出 C塔：水路隔离(热水进出关，冷水出口关)D塔：吸附
即以下开关阀同时动作：
冷热水温度平衡后(约105℃)，将水路切回正常管路(程序第10步)：
即以下开关阀同时动作：
(3)程序第15-17步，由D塔吸附切换为C塔吸附。
将各塔状态切换至以下状态(程序第16步)：
A塔：冷水进热水出 B塔：水路隔离(热水进出关，冷水出口关)C塔：吸附 D塔：热水进冷水出
即以下开关阀同时动作：
冷热水温度平衡后(约105℃)，将水路切回正常管路(程序第17步)：
即以下开关阀同时动作：
(4)程序第22-24步，由C塔吸附切换为B塔吸附。
将各塔状态切换至以下状态(程序第23步)：
A塔：水路隔离(热水进出关，冷水出口关) B塔：吸附 C塔：热水进冷水出 D塔：冷水进热水出
即以下开关阀同时动作：
冷热水温度平衡后(约105℃)，将水路切回正常管路(程序第24步)：
即以下开关阀同时动作：
本发明通过该水路切换方法(即第2、9、16、23步的开关阀动作步骤)可以防止吸附塔四塔运行工艺中为水击现象的产生。
以上所述，仅是本发明实施例的较佳实施例而已，并非对本发明实施例作任何形式上的限制，依据本发明实施例的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明实施例技术方案的范围内。
Claims (2)
1.一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，其特征在于，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；
在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态；
所述的运行工艺包括以下步骤：
（1）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于冷却、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
（2）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少3min；
（3）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少50min；
（4）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热吹扫、均压冷却的状态，在该状态下运行至少100min；
（5）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少10min；
（6）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少70min；
（7）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
（8）所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
（9）所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少3min；
（10）所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少50min；
（11）所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少100min；
（12）所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少10min；
（13）所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少70min；
（14）所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；
（15）所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
（16）所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少3min；
（17）所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少50min；
（18）所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少100min；
（19）所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少10min；
（20）所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少70min；
（21）所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、吸附、加热的状态，在该状态下运行至少1min；
（22）所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、冷却、加热的状态，在该状态下运行至少1min；
（23）所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少3min；
（24）所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少50min；
（25）所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少100min；
（26）所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少10min；
（27）所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少70min；
（28）所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于吸附、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min；
其中，所述的步骤（2）、（9）、（16）、（23）中，水路隔离充压冷却状态下的吸附塔，降压加热状态下的吸附塔热水进冷水出，加热状态下的吸附塔冷水进热水出，至冷热水温度平衡后，将水路切回正常管路，进行下一步骤。
2.根据权利要求1所述的运行工艺，其特征在于，
所述的运行工艺中，当其中一座吸附塔出现故障，切至三塔运行模式。
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