CN114059045A

CN114059045A - 疏水疏油涂层及其制备方法和产品

Info

Publication number: CN114059045A
Application number: CN202010766901.7A
Authority: CN
Inventors: 宗坚
Original assignee: Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd
Current assignee: Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd
Priority date: 2020-08-03
Filing date: 2020-08-03
Publication date: 2022-02-18

Abstract

本发明公开一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其中所述疏水疏油涂层由全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物通过PECVD方式沉积于一基体的表面形成，以通过全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物涂层来改善基体表面的疏水疏油性能。

Description

疏水疏油涂层及其制备方法和产品

技术领域

本发明涉及表面改性领域，更进一步，涉及一利用等离子体化学气相沉积技术形成的疏水疏油涂层及其制备方法和产品。

背景技术

现如今，疏水疏油性产品不断受到广大消费者的青睐，同时越来越多关于疏水疏油的研究也接踵报道。其中研究最多的化合物为全氟化合物(PFASs)，由于其出色的热稳定性、疏水性和疏油性，已经在工业生产上应用广泛。

但是PFASs具有难降解、易生物累积、高毒性等特性，成为了一种新型的污染物。大多数的PFASs降解产物为全氟辛酸(PFOA)和全氟辛烷磺酸(PFOS)，而全氟辛酸(PFOA)和全氟辛烷磺酸(PFOS)可造成动物生殖、发育、肝脏和免疫系统损伤，并可诱发肿瘤产生，对人类健康带来不利影响。因为这些全氟化合物很难降解，已经有很多发达国家颁布了严禁使用含有长碳链的全氟化合物，这无疑限制了这类疏水疏油涂层技术的开发与应用。如何实现织物上疏水疏油性能，又能避免使用全氟化合物带来的环境问题，这是近年来疏水疏油涂层领域的研究热点。

申请公布号为CN107558184A的中国专利文件公开了一种织物疏水疏油剂的制备方法，这种方法所用的原料无毒无害，对人体不刺激。但是合成过程中需要将织物在反应釜和搅拌釜中浸泡，容易造成浸渍不均匀，不适用于成型的大件织物成品的运用。

专利申请号为2019105740043的中国专利文件公开了一种具有超疏水疏油性能的含氟纳米聚合物修饰镍钛合金材料及其制备方法，修饰后的镍钛合金材料表面具备优异的超疏水、超疏油特性；申请号为2018100098455的中国专利文件公开了一种利用引发式化学气相沉积的方法制备超疏水超疏油薄膜材料的方法，这些超疏水超疏油材料却利用了全氟丙烯酸酯类，全氟硅氧烷类等全氟化合物。这无疑限制了这类疏水疏油涂层技术的开发与应用。

发明内容

本发明的一个优势在于提供一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其通过等离子体增强化学的气相沉积法在基体表面形成疏水疏油涂层，以改善基体的疏水疏油性能。

本发明的另一个优势在于提供一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其中所述疏水疏油涂层所用的原料为全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物。

本发明的另一个优势在于提供一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其中全氟聚醚可以包括K型、Y型、Z型、D型结构。

本发明的另一个优势在于提供一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其中全氟聚醚衍生物可以是具有至少一个羟基的全氟聚醚羟基衍生物(PFPE-OH)。

本发明的另一个优势在于提供一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其中全氟聚醚衍生物可以是全氟间二氧杂环戊烯的无定形全氟化均聚物或共聚物。

本发明的另一个优势在于提供一疏水疏油涂层及其制备方法和产品，其中所用的原料全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物是环境友好型材料，减少对环境的污染。

为了实现以上至少一优势，本发明的一方面提供一疏水疏油涂层，其包括：将全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物通过PECVD方式，沉积于一基体的表面形成所述疏水疏油涂层。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括K型、Y 型Z型、D型结构。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中K型分子式为： CF₃CF₂CF₂O[CF(CF₃)CF₂O]_nCF(CF₃)COF，其中n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中K型的结构式为：

其中n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中Y型分子式为： CF₃O(C₃F₆O)_m(CF₂O)_nCF₃，m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中Y型结构式为：

其中m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中Z型分子式为： CF₃O(C₂F₄O)_m(CF₂O)_nCF₃，其中m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于 1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中Z型结构式为

其中m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中D型分子式为： C₃F₇O(CF₂CF₂CF₂O)_nC₂F₅，其中n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中D型分子式为：

其中，n是大于或等于1的自然数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中所述的全氟聚醚具有结构式

X₁-O(CFXO)_n(CFXCFXO)_m(CF₂CF₂CF₂O)_p(CF₂CF₂CF₂CF₂O)_q-X₂(I)，其中－X₁，X₂独立的选自结构式－(CF₂)_ZCF₃和CF(CF₃)COF，其中z为从0到3的整数；X在每次出现时相同或不同，独立地是F或CF₃，n为从0到200的整数；m为从0到200的整数；p，q为从0到100的整数；p+q+m+n＞0，(I)的平均分子量在200到10000之间。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基基团的全氟聚醚羟基衍生物(PFPE-OH)，所述衍生物PFPE-OH符合化学式 T₁-O-Rf-T₂，其中Rf是氟聚氧化亚烷基链，T₁和T₂，彼此相同或不同，独立的选自化学式-CF₂CH₂O(CH₂CH₂O)s’H和-CF₂CF₂CH₂O(CH₂CH₂O)s”H，其中s’ 和s”是从0至5的整数。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中所述衍生物PFPE-OH的氟聚氧化亚烷基链Rf是包括重复单元R°的链，所述重复单元R°选自：(i)-CFXO-，其中X是F或CF₃，(ii)-CFXCFXO-，其中X在每次出现时相同或不同的F或 CF₃，条件是至少一个X是-F，(iii)-CF₂CF₂CF₂O-，(iv)-CF₂CF₂CF₂CF₂O-，(v) -(CF₂)_j-CFZ-O-，其中j是从0至3的整数，Z是具有通式-O Rf'T₃的基团，其中Rf'是包括从0至10个数目的重复单元的氟聚氧亚烷基链，T₃是C₁-C₃全氟烷基基团。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中Rf'中的所述重复单元R°选自： -CFXO-、-CF₂CFXO-、-CF₂CF₂CF₂O-、-CF₂CF₂CF₂CF₂O-，每个X独立地是F 或CF₃。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物选自SOLVAY公司的

MD 700、

D、

E10H、

PEG 45、

SV 55、

HT 170、

SV 80 RP06、

YL-VAC 16/6、

Y、

M100，或由多种以上产品混合而成。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物是 3M公司的Novec氟化液，或者一种或者多种含有全氟聚醚或全氟聚醚衍生物的产品混合而成。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基的全氟聚醚或者具有至少一个羧基或酯基的全氟聚醚。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层，其中气相沉积温度范围是30-60度。

本发明的另一方面提供疏水疏油涂层的制备方法，其中包括步骤，以全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物为原料，通过PECVD方式在基体的表面气相沉积形成。

根据一个实施例所述的疏水疏油涂层的制备方法，其中全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基的全氟聚醚或者具有至少一个羧基或酯基的全氟聚醚。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

对“一个实施例”、“实施例”、“示例实施例”、“各种实施例”、“一些实施例”等的引用指示这样的描述本发明的实施例可包括特定特征、结构或特性，但是不是每个实施例必须包括该特征、结构或特性。此外，一些实施例可具有对其它实施例的描述的特征中的一些、全部或没有这样的特征。

本发明公开一疏水疏油涂层，所述疏水疏油涂层能够通过PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)方式形成于一基体表面。所述疏水疏油涂层能够改善所述基体表面的防水、防油性能。

优选地，在制备所述疏水疏油涂层时，以惰性气体为气源进行等离子体气相沉积，举例地但不限于氩气、氦气，也就是说，以惰性气体作为预处理气体或者等离子体源气体。

优选地，在制备所述疏水疏油涂层时，真空镀膜的电源采用偏压电源、射频电源或者微波电源，可选地，可以采用上述两者联用或者三者联用。

优选地，在制备所述疏水疏油涂层时，所述疏水疏油涂层所用的原料为全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物。

进一步，全氟聚醚结构式包括K型、Y型、Z型、D型结构。

K型分子式为：CF₃CF₂CF₂O[CF(CF₃)CF₂O]_nCF(CF₃)COF

K型结构式为：

Y型分子式为：CF₃O(C₃F₆O)_m(CF₂O)_nCF₃

Y型结构式为：

Z型分子式为：CF₃O(C₂F₄O)_m(CF₂O)_nCF₃

Z型结构式为：

D型分子式为：C₃F₇O(CF₂CF₂CF₂O)_nC₂F₅

D型结构式为：

其中m，n都是大于或等于1的自然数。

所述的全氟聚醚也可以是包括具有如下结构式

进一步，全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基基团的全氟聚醚羟基衍生物(PFPE-OH)，所述衍生物PFPE-OH符合化学式T₁-O-Rf-T₂，其中Rf是氟聚氧化亚烷基链，T₁和T₂，彼此相同或不同，独立的选自化学式 -CF₂CH₂O(CH₂CH₂O)s’H和-CF₂CF₂CH₂O(CH₂CH₂O)s”H，其中s’和s”是从0 至5的整数。

所述衍生物PFPE-OH的氟聚氧化亚烷基链Rf是包括重复单元R°的链，所述重复单元R°选自：

(i)-CFXO-，其中X是F或CF₃，

(ii)-CFXCFXO-，其中X在每次出现时相同或不同，是F或CF₃，条件是至少一个X是F，

(iii)-CF₂CF₂CF₂O-，

(iv)-CF₂CF₂CF₂CF₂O-，

(v)-(CF₂)_j-CFZ-O-，其中j是从0至3的整数，并且Z是具有通式-O Rf'T₃的基团，其中Rf'是包括从0至10个数目的重复单元的氟聚氧亚烷基链，Rf' 中的所述重复单元选自：-CFXO-、-CF₂CFXO-、-CF₂CF₂CF₂O-、 -CF₂CF₂CF₂CF₂O-，其中每个X独立地是F或CF₃；并且T₃是C₁-C₃全氟烷基基团。

进一步，所述的全氟聚醚衍生物可以是全氟间二氧杂环戊烯的无定形全氟化均聚物或共聚物。如结构式所示，其中R'f等于RF或ORF，其中RF是线性或支化的含1－5个碳原子的全氟烷基；X₁和X₂二者相同或不同，是F、CF₃。

具有酸和/或酯官能团的单/双羧酸类全氟聚醚如结构式， A-O-(RF)_z-(CFY)_t-C(O)OX(II)，

其中X为H、C₁-C₁₀烷基或芳基；

Y＝F、CF₃；

t＝1、2或3；

A为C₁-C₄全氟烷基端基或者C(O)OX；

z＝0或1；RF为包含一个或多个沿主链以统计学分布的以下单元的全氟氧化烯链：(C₃F₆O)；(CFYO)，其中Y为F或CF₃；(CF₂CF₂O)；(CF₂CF₂CF₂CF₂O)，其数均分子量在180-8,000范围内。

进一步，全氟聚醚衍生物可以是具有至少一个羟基的全氟聚醚或者具有至少一个羧基或酯基的全氟聚醚。

值得一提的是，所述疏水疏油涂层是将全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物通过低温等离子化学气相沉积的方法沉积到基材表面上形成具有疏水疏油性能的涂层。举例地，进行化学气相沉积时腔体内的温度范围为30-60度，该温度范围更适于保护基材，避免高温度对基材的损害。

值得一提的是，所述疏水疏油涂层在玻璃制品上的疏水角达100度以上，正十六烷疏油角在60度以上。可以用于玻璃、手机屏、电子产品、医疗器械、衣服布料、织物，作为疏水疏油层或者防指纹层。

上述涂层所用试剂可以是选自SOLVAY公司的

MD 700、

D、

E10H、

PEG 45、

SV 55、

HT170、

SV 80RP06、

Y L-VAC 16/6、

Y、

M100或者3M公司的Novec氟化液，或者由多种含有全氟聚醚或全氟聚醚衍生物的产品混合而成。

根据本发明的实施例，所述疏水疏油涂层的制备过程可以是：(1)将表面洁净的基体置于等离子体设备的反应腔室内，然后对反应腔室连续抽真空，将反应腔室内的真空度抽到1～200毫托；(2)对基体进行化学气相沉积制备膜层：(a)通入等离子体源气体(如氦气、氩气等惰性气体)，开启预处理用等离子体放电对基材进行预处理，在腔体中采用射频放电、微波或者脉冲放电等手段，使腔体内产生等离子体。反应原料的单体可与等离子体源气体同时通入，也可以在等离子体源气体通入后先对基体进行1-1800s的预处理，再根据工艺参数要求通入反应原料单体；(b)设定真空反应腔室内压力、温度，同时通入气态的或经汽化的反应原料单体，开启沉积用等离子体放电进行等离子体化学气相沉积，将等离子体产生功率调到300-500W，腔室内温度调到30～60℃，反应完成后，停止通入反应原料单体气体，升高腔室压力到常压。值得一提的是，优选的，所述预处理用等离子体放电和沉积用等离子体放电均通过恒功率模式下的脉冲偏压电源来进行。

进一步，在制备所述疏水疏油涂层时，所采用的工艺条件为：放电电源采用恒功率模式脉冲偏压电源，等离子体源气体流量为10-500sccm，压力恒定在 10-200mT，单体流量10-1000ul/min，镀膜功率为400-500W，频率为2KHz-70KHz，占空比为5％-80％。

实施例1

将酒精擦拭过的玻璃放入等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空使真空度达到20毫托；通入等离子体源气体氦气，流量为50sccm，腔体内部温度为55℃，开启等离子体放电对基材进行预处理，放电电源采用恒功率模式下脉冲偏压电源，功率为500W，脉冲频率为50KHz，占空比为10％，放电时间 30分钟。

随后将单体原料汽化后导入反应腔体，腔体内部温度为45℃，单体汽化温度90℃，氦气流量为50sccm，压力恒定在80毫托，单体流量为350ul/min，镀膜阶段为脉冲放电，放电电源采用恒功率模式下脉冲偏压电源，功率为400W，脉冲频率为50KHz，占空比为10％，镀膜阶段放电时间为160秒。

单体原料分别采用SOLVAY公司的

Y、

D、

MD 700、

HT 170和

PEG 45。镀膜结束后测得疏水角、疏油角如表1所示，疏油角用正十六烷测。

表1

实施例2

将尼龙材质的表带放入等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空使真空度达到20毫托；通入等离子体源气体氦气，流量为50sccm，腔体内部温度为55℃，开启等离子体放电对基材进行预处理，放电电源采用恒功率模式下脉冲偏压电源，功率为500W，脉冲频率为50KHz，占空比为10％，放电时间30 分钟。

随后将单体原料

HT 170汽化后导入反应腔体，腔体内部温度为 50℃，单体汽化温度100℃，氦气流量为50sccm，压力恒定在80毫托，单体流量为300ul/min，镀膜阶段为脉冲放电，放电电源采用恒功率模式下脉冲偏压电源，功率为450W，脉冲频率为50KHz，占空比为20％，镀膜阶段时间为160秒。

镀膜结束后测得疏水角132°，用正十六烷测得疏油角93°。

实施例3

将酒精擦拭过的玻璃置于真空镀膜腔体中，对反应腔体连续抽真空使真空度达到80毫托；通入等离子体源气体氦气，流量为50sccm，腔体内部温度为55℃，开启等离子体放电对基材进行预处理，放电电源采用恒功率模式下脉冲偏压电源，功率为500W，脉冲频率为50KHz，占空比为10％，放电时间30分钟。

随后将单体原料双羟基全氟聚醚衍生物

D与全氟聚醚

HT170按照不同的质量比混合所得的溶液，混合后进行气化，气化后导入反应腔体，腔体内部温度为45℃，单体汽化温度90℃，氦气流量为50sccm，压力恒定在80毫托，单体流量为400ul/min，镀膜阶段为脉冲放电，放电电源采用恒功率模式下脉冲偏压电源，功率为460W，脉冲频率为50KHz，占空比为20％，镀膜阶段时间为160秒。

不同原料案下表的比例混合，镀膜结束后测得疏水角、疏油角如表2所示，其中疏油角用正十六烷测。

表2

双羟基全氟聚醚衍生物质量百分比(％)	疏水角(°)	疏油角(°)
			85	106	62
65	108	63
			50	110	63
35	115	65
			25	110	64

值得一提的是，上述实施例中，以玻璃、尼龙表带为例作为基体，但在其它实施例中，也可以以其它产品或材料作为基体，所述多层结构的复合膜能够被应用于材质表面致密的玻璃，手机屏，电子产品，医疗器械，衣服布料，织物等不同类型基体，作为疏水疏油层或者防指纹层，本发明在这方面并不限制。

还值得一提的是，在现有技术中，将全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物通过浸渍后加热烘干的方式来在基体的表面形成膜层，这种工艺相对复杂，并且容易对基体造成损害，而本申请的技术方案中，通过等离子气相沉积技术将全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物低温气相沉积到基体的表面形成膜层，制造工艺更加简单，保护基体材料，并且保持原材料成膜时的良好的疏水疏油性能。

本领域的技术人员应理解，上述描述中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims

1.疏水疏油涂层，其特征在于，包括：将全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物通过PECVD方式，沉积于一基体的表面形成所述疏水疏油涂层。

2.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括K型、Y型、Z型、D型结构。

3.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括K型结构，K型分子式为：CF₃CF₂CF₂O[CF(CF₃)CF₂O]_nCF(CF₃)COF，其中n是大于或等于1的自然数。

4.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括K型结构，其中K型的结构式为：

其中n是大于或等于1的自然数。

5.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括Y型结构，Y型分子式为：CF₃O(C₃F₆O)_m(CF₂O)_nCF₃，m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

6.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括Y型结构，Y型结构式为：

其中m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

7.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括Z型结构，Z型分子式为：CF₃O(C₂F₄O)_m(CF₂O)_nCF₃，其中m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

8.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括Z型结构，Z型结构式为

其中m是大于或等于1的自然数，n是大于或等于1的自然数。

9.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括D型结构，D型分子式为：C₃F₇O(CF₂CF₂CF₂O)_nC₂F₅，其中n是大于或等于1的自然数。

10.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚结构式包括D型结构，D型分子式为：

其中，n是大于或等于1的自然数。

11.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中所述的全氟聚醚具有化学式X₁-O(CFXO)_n(CFXCFXO)_m(CF₂CF₂CF₂O)_p(CF₂CF₂CF₂CF₂O)_q-X₂(I)，其中－X₁，X₂独立的选自结构式－(CF₂)_ZCF₃和CF(CF₃)COF，其中z为从0到3的整数；X在每次出现时相同或不同，独立地是F或CF₃，n为从0到200的整数；m为从0到200的整数；p，q为从0到100的整数；p+q+m+n＞0，(I)的平均分子量在200到10000之间。

12.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基基团的全氟聚醚羟基衍生物(PFPE-OH)，所述衍生物PFPE-OH符合化学式T₁-O-Rf-T₂，其中Rf是氟聚氧化亚烷基链，T₁和T₂，彼此相同或不同，独立的选自化学式-CF₂CH₂O(CH₂CH₂O)s’H和-CF₂CF₂CH₂O(CH₂CH₂O)s”H，其中s’和s”是从0至5的整数。

13.根据权利要求12所述的疏水疏油涂层，其中所述衍生物PFPE-OH的氟聚氧化亚烷基链Rf是包括重复单元R°的链，所述重复单元R°选自：(i)-CFXO-，其中X是F或CF₃，(ii)-CFXCFXO-，其中X在每次出现时相同或不同的F或CF₃，条件是至少一个X是-F，(iii)-CF₂CF₂CF₂O-，(iv)-CF₂CF₂CF₂CF₂O-，(v)-(CF₂)_j-CFZ-O-，其中j是从0至3的整数，Z是具有通式-O Rf'T₃的基团，其中Rf'是包括从0至10个数目的重复单元的氟聚氧亚烷基链，T₃是C₁-C₃全氟烷基基团。

14.根据权利要求13所述的疏水疏油涂层，其中Rf'中的所述重复单元选自：-CFXO-、-CF₂CFXO-、-CF₂CF₂CF₂O-、-CF₂CF₂CF₂CF₂O-，每个X独立地是F或CF₃。

15.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基的全氟聚醚或者具有至少一个羧基或酯基的全氟聚醚。

16.根据权利要求1所述的疏水疏油涂层，其中气相沉积温度范围是30-60度。

17.疏水疏油涂层的制备方法，其特征在于，以全氟聚醚或者全氟聚醚衍生物为原料，通过PECVD方式在基体的表面气相沉积形成。

18.根据权利要求17所述的疏水疏油涂层的制备方法，其中全氟聚醚衍生物是具有至少一个羟基的全氟聚醚或者具有至少一个羧基或酯基的全氟聚醚。

19.根据权利要求17所述的疏水疏油涂层的制备方法，其中所述疏水疏油涂层的制备过程是：(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内，将反应腔体内的真空度抽到10-200毫托；(2)通入等离子体源气体，开启预处理用等离子体放电对基材进行预处理，(3)将反应原料单体经汽化后导入反应腔体，开启沉积用等离子体放电进行化学气相沉积反应；(4)关闭沉积用等离子体放电，通入洁净的压缩空气或者惰性气体恢复至常压，打开腔体，取出基材。

20.根据权利要求19所述的疏水疏油涂层的制备方法，其中所述反应原料单体可与等离子体源气体同时通入，或者在等离子体源气体通入后先对基体进行1-1800s的预处理，再通入反应原料单体。

21.根据权利要求19所述的疏水疏油涂层的制备方法，其中所述预处理用等离子体放电和沉积用等离子体放电均通过恒功率模式下的脉冲偏压电源来进行。