Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

CN103481195A - 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置 - Google Patents

一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103481195A
CN103481195A CN201310393908.9A CN201310393908A CN103481195A CN 103481195 A CN103481195 A CN 103481195A CN 201310393908 A CN201310393908 A CN 201310393908A CN 103481195 A CN103481195 A CN 103481195A
Authority
CN
China
Prior art keywords
grinding
polishing disc
upper grinding
polishing dish
grinding polishing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310393908.9A
Other languages
English (en)
Inventor
许亮
付向东
彭关清
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YUHUAN CNC MACHINE TOOL Co Ltd
Original Assignee
YUHUAN CNC MACHINE TOOL Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YUHUAN CNC MACHINE TOOL Co Ltd filed Critical YUHUAN CNC MACHINE TOOL Co Ltd
Priority to CN201310393908.9A priority Critical patent/CN103481195A/zh
Publication of CN103481195A publication Critical patent/CN103481195A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置,包括机架,在机架上设有多个独立的水平布置的上研磨抛光盘单元,各上研磨抛光盘单元分别与旋转驱动系统和升降驱动系统连接。本发明由于采用多个独立的上研磨抛光盘单元,各上研磨抛光盘单元既可做旋转运动,又可做升降运动,可与主研磨盘旋转电机共同运动,实现对蓝宝石等高硬度材料的高精度、高效率的研磨抛光作业。装置中的关节组合件能自动找正被研磨工件与主研磨抛光盘平面。本发明能实现加工产品尺寸的范围可调、尺寸精度可控目的;气缸能根据加工工艺要求,通过精密调压系统实现分别对工件精确加压,从而达到提高生产精度和效率之目的。

Description

一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置
技术领域
本发明属于研磨抛光加工设备领域,具体涉及一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置。
背景技术
目前,大多数单面研磨抛光机的上抛光盘采用被动方式,即主研磨抛光盘由电机驱动做旋转运动,主研磨抛光盘上设置有工作环,工件安装在工件保持器上置于工作环内,上抛光盘以一定的压力压在工件上。主研磨盘旋转时,工件保持器不随主研磨盘公转,但工作环在摩擦作用下带动上抛光盘和工件保持器产生自转。主研磨盘的旋转和工件保持器的自转两种运动方式合成,对工件进行抛光作业。这种抛光作业精度较高但作业时间较长。特别是对蓝宝石等硬度更高的工件,作业效率更低。由于受结构的限制,主抛光盘的旋转速度难以提高,同时工件操持器的自转速度受制于主抛光盘的转速,不可能得到提高,且是随机的不可控的,限制了单面研磨加工运动轨迹的变化,难以进一步提高加工精度和作业效率;难以通过运动参数的调节来满足不同工件的加工工艺。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术存在的缺陷,提出了一种可以提高生产精度和效率,适用性好的单面研磨抛光机的多轴驱动装置。
实现本发明目的采用的技术方案如下: 
本发明提供的单面研磨抛光机的多轴驱动装置,包括机架,在机架上设有多个独立的水平布置的上研磨抛光盘单元,各上研磨抛光盘单元分别与旋转驱动系统和升降驱动系统连接。
所述上研磨抛光盘单元包括通过套管和轴承固定在机架上的转轴,转轴的下端通过关节组件连接下设工作盘的上研磨抛光盘;所述旋转驱动系统包括固定在所述套管上的同步带轮、设在机架上的电机减速装置,所述电机减速装置通过同步带与所述同步带轮连接;所述升降驱动系统包括设在所述转轴上端通过轴承连接的浮动连接体、设在机架上的直线驱动装置,所述直线驱动装置与所述浮动连接体连接。
所述关节组件包括本体,本体内装有关节轴承,关节轴承内装轴,轴上装连接套,连接套与上研磨抛光盘连接。
本发明由于采用多个独立的上研磨抛光盘单元,各上研磨抛光盘单元通过旋转驱动系统和升降驱动系统既可做旋转运动,又可做升降运动,可与主研磨盘旋转电机共同运动,实现对蓝宝石等高硬度材料的高精度、高效率的研磨抛光作业。装置中的关节组合件能自动找正被研磨工件与主研磨抛光盘平面。本发明装置速度和压力控制灵活,可以根据不同工件方便调节工件运动速度和压力,满足不同工件的加工工艺。
本发明能实现加工产品尺寸的范围可调、尺寸精度可控目的;气缸能根据加工工艺要求,通过精密调压系统实现分别对工件精确加压,从而达到提高生产精度和效率之目的 。
下面结合附图进一步说明本发明的技术方案。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的俯视图。
具体实施方式
参见图1、图2,本发明研磨抛光机的单面研磨抛光机的多轴驱动装置,包括机架,在机架上按等分圆设置4个独立的水平布置的上研磨抛光盘单元,各上研磨抛光盘单元分别与旋转驱动系统和升降驱动系统连接;
所述上研磨抛光盘单元包括作为转轴的滚动花键轴4,滚动花键轴4上装有套管25,套管25上装有同步带轮5和一对轴承6,轴承6装在固定在套管25上的内轴承座21和固定在机架底座11上的外轴承座20内,并由与内轴承座21和外轴承座20相连接的下盖22封闭;滚动花键轴4的下端通过关节组件连接上研磨抛光盘14,上研磨抛光盘14下设工作盘16;关节组件包括本体13,本体13内装有关节轴承7,关节轴承7内装轴23,轴23上装连接套24,连接套24与上研磨抛光盘14连接。 
所述旋转驱动系统包括固定在套管25上的同步带轮5、设在机架上的电机减速装置,电机减速装置包括电机8、与电机8连接的减速机9、固定减速机9的减速机座10,减速机座10固定在机架底座11上,电机8通过同步带12与同步带轮5连接;
所述升降驱动系统包括设在机架上作为直线驱动装置的气缸1、与滚动花键轴4上端通过轴承连接的浮动连接体2,气缸1安装在气缸固定架15上,气缸固定架15固定在机架底座11上,气缸1的活塞杆26与浮动连接体2连接,浮动连接体2内装有一对轴承3,轴承3装在滚动花键轴4上,下盖19固定浮动连接体下端,圆螺母18旋于滚动花键轴上端,控制轴承3的轴向间隙。
电机8通过同步带12驱动同步带轮5、滚动花键轴4做旋转运动,从而带动上研磨抛光盘14和工作盘16旋转,并与主研磨抛光盘17的旋转一起组成了工件的抛光作业运动。气缸1的活塞杆上下运动时,带动浮动连接体2、滚动花键轴4、关节组合件13、上研磨抛光盘14和工作盘16上下运动。从而实现了上抛光盘既能旋转又能升降或加压。且关节组合件能自动找正被研磨工件与主研磨抛光盘平面。解决了现有单面研磨抛光机上抛光盘只能被动转动的缺陷。达到提高生产精度和效率之目的 。

Claims (3)

1.一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置,包括机架,其特征是在机架上设有多个独立的水平布置的上研磨抛光盘单元,各上研磨抛光盘单元分别与旋转驱动系统和升降驱动系统连接。
2.根据权利要求1所述的单面研磨抛光机的多轴驱动装置,其特征是所述上研磨抛光盘单元包括通过套管和轴承固定在机架上的转轴,转轴的下端通过关节组件连接下设工作盘的上研磨抛光盘;所述旋转驱动系统包括固定在所述套管上的同步带轮、设在机架上的电机减速装置,所述电机减速装置通过同步带与所述同步带轮连接;所述升降驱动系统包括设在所述转轴上端通过轴承连接的浮动连接体、设在机架上的直线驱动装置,所述直线驱动装置与所述浮动连接体连接。
3.根据权利要求2所述的单面研磨抛光机的多轴驱动装置,其特征是所述关节组件包括本体,本体内装有关节轴承,关节轴承内装轴,轴上装连接套,连接套与上研磨抛光盘连接。
CN201310393908.9A 2013-09-03 2013-09-03 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置 Pending CN103481195A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310393908.9A CN103481195A (zh) 2013-09-03 2013-09-03 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310393908.9A CN103481195A (zh) 2013-09-03 2013-09-03 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103481195A true CN103481195A (zh) 2014-01-01

Family

ID=49821970

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310393908.9A Pending CN103481195A (zh) 2013-09-03 2013-09-03 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103481195A (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105798747A (zh) * 2016-04-25 2016-07-27 上海发那科机器人有限公司 一种浮动式抛光工具及具有该工具的抛光机器人
CN106078500A (zh) * 2016-07-27 2016-11-09 湖南宇晶机器股份有限公司 一种抛光机吸附和传动系统
CN106985067A (zh) * 2017-05-12 2017-07-28 宇环数控机床股份有限公司 一种用于多面抛光机的工件夹紧回转装置
CN107756245A (zh) * 2017-10-30 2018-03-06 李创宇 一种研磨抛光头
CN109397061A (zh) * 2018-12-26 2019-03-01 深圳西可实业有限公司 智能精密抛光机的下工作盘装置
CN109955146A (zh) * 2018-05-14 2019-07-02 东莞市纳智自动化机械有限公司 一种压力可调充分冷却陶瓷材料批量打磨头
CN112677040A (zh) * 2019-10-18 2021-04-20 上海东河机电科技有限公司 一种用于磨抛机磨盘的传动机构及磨抛机
CN112847076A (zh) * 2021-01-25 2021-05-28 宇环数控机床股份有限公司 一种工件盘翻转装置及双工位翻转抛光机

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0787561A1 (en) * 1996-02-05 1997-08-06 Ebara Corporation Polishing apparatus
JP2001315058A (ja) * 2000-05-02 2001-11-13 Fujikoshi Mach Corp ウェーハの研磨装置
JP2002299297A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp 半導体ウェーハの枚葉研磨方法およびその装置
JP2006082139A (ja) * 2004-09-14 2006-03-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 乾式研磨装置及び乾式研磨方法
CN203460058U (zh) * 2013-09-03 2014-03-05 宇环数控机床股份有限公司 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0787561A1 (en) * 1996-02-05 1997-08-06 Ebara Corporation Polishing apparatus
JP2001315058A (ja) * 2000-05-02 2001-11-13 Fujikoshi Mach Corp ウェーハの研磨装置
JP2002299297A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp 半導体ウェーハの枚葉研磨方法およびその装置
JP2006082139A (ja) * 2004-09-14 2006-03-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 乾式研磨装置及び乾式研磨方法
CN203460058U (zh) * 2013-09-03 2014-03-05 宇环数控机床股份有限公司 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105798747A (zh) * 2016-04-25 2016-07-27 上海发那科机器人有限公司 一种浮动式抛光工具及具有该工具的抛光机器人
CN106078500A (zh) * 2016-07-27 2016-11-09 湖南宇晶机器股份有限公司 一种抛光机吸附和传动系统
CN106985067A (zh) * 2017-05-12 2017-07-28 宇环数控机床股份有限公司 一种用于多面抛光机的工件夹紧回转装置
CN107756245A (zh) * 2017-10-30 2018-03-06 李创宇 一种研磨抛光头
CN109955146A (zh) * 2018-05-14 2019-07-02 东莞市纳智自动化机械有限公司 一种压力可调充分冷却陶瓷材料批量打磨头
CN109397061A (zh) * 2018-12-26 2019-03-01 深圳西可实业有限公司 智能精密抛光机的下工作盘装置
CN109397061B (zh) * 2018-12-26 2024-05-24 深圳西可实业有限公司 智能精密抛光机的下工作盘装置
CN112677040A (zh) * 2019-10-18 2021-04-20 上海东河机电科技有限公司 一种用于磨抛机磨盘的传动机构及磨抛机
CN112847076A (zh) * 2021-01-25 2021-05-28 宇环数控机床股份有限公司 一种工件盘翻转装置及双工位翻转抛光机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103481195A (zh) 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置
CN201609867U (zh) 多工位自动磨抛机
CN106985045B (zh) 一种多轴联动打磨设备
CN101947749A (zh) 一种变位自转超声波振动平面双面研磨数控机床
CN106737056A (zh) 一种用于usb接口金属外壳打磨的自动打磨机
CN203460058U (zh) 一种单面研磨抛光机的多轴驱动装置
CN204397528U (zh) 一种自动中心孔磨床
CN201227760Y (zh) 一种高效稳定的抛光磨削装置
CN106002541A (zh) 一种石材球磨机
CN103894921A (zh) 一种高精密单面研磨机的上盘结构
CN103465127A (zh) 柔性随形恒压力抛光装置
CN109623592B (zh) 一种全自动抛光机机头
CN203292978U (zh) 镜片抛光机
CN102601724A (zh) 一种主动驱动研磨装置
CN209223784U (zh) 全方位多轴抛光机
CN207682144U (zh) 一种晶体平面精密研磨抛光机
CN106956205A (zh) 一种上下错位多面多轨迹、抛光组合机床
CN103846779A (zh) 一种可连续加工的研磨装置
CN201755783U (zh) 高精度塑料球及塑胶球研磨机
CN103465158A (zh) 高效周边连续抛光机
CN206869589U (zh) 一种轴承加工用打磨装置
CN109333286A (zh) 全方位多轴抛光机
CN202357010U (zh) 水晶球磨削设备
CN205817504U (zh) 石材圆球磨光机
CN208451328U (zh) 一种抛光装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20140101