CN103454068A - 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 - Google Patents
基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103454068A CN103454068A CN2013103640556A CN201310364055A CN103454068A CN 103454068 A CN103454068 A CN 103454068A CN 2013103640556 A CN2013103640556 A CN 2013103640556A CN 201310364055 A CN201310364055 A CN 201310364055A CN 103454068 A CN103454068 A CN 103454068A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ray
- ccd
- combination refractor
- base rail
- refractor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
一种基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，包括底座导轨、位于底座导轨上的X射线光管、激光器和X射线CCD，底座导轨呈纵向布置；调整台位于底座导轨的一侧，X射线光管、激光器的光轴均呈纵向布置，X射线光管、激光器可横向移动地安装在调整台上；待检测X射线组合折射透镜位于底座导轨的中部，待检测X射线组合折射透镜的光轴呈纵向布置；X射线CCD位于底座导轨的另一侧，X射线CCD的光轴与X射线组合折射透镜的光轴在同一直线上；X射线光管或激光器的出射端与待检测X射线组合折射透镜的入射端呈相对设置，待检测X射线组合折射透镜的出射端与X射线CCD呈相对设置。本发明简化结构、大大减低成本、实用性良好。
Description
技术领域
本发明涉及X射线探测和成像领域，尤其是一种可以测量X射线组合折射透镜聚焦性能的装置。
背景技术
X射线组合折射透镜是一种基于折射效应的新型X射线聚焦器件，其理论聚焦光斑尺寸可达纳米量级，实际测试所得聚焦光斑尺寸通常在几个微米，并具有尺寸小、制作工艺简单、鲁棒性好、可批量加工的优点，适合高探测分辨率的X射线探测和成像系统；其次，X射线组合折射透镜覆盖的光子能量非常宽，因此基于它构架X射线探测和成像系统，适用于多种应用场合；最后由于其基于折射效应，因此在对X射线束聚焦时不需要折转光路，因此所形成的探测装置结构紧凑、尺寸小、重量轻。鉴于以上优点，X射线组合折射透镜有望在众多X射线探测和成像装置（包括X射线显微镜、X射线微探针、X射线衍射仪、X射线散射仪、X射线反射仪、X射线层析术、X射线投影光刻装置等等）获得应用。X射线组合折射透镜的聚焦性能是其作为X射线探测和成像系统核心器件的最重要的性能，因此发明测量X射线组合折射透镜聚焦性能的方法和装置极为重要。
因为X射线组合折射透镜是一种新型的X射线光学器件，迄今为止，尚无对其聚焦性能进行专门测试的装置，一般都是由该器件的研发者在同步辐射线束上对其聚焦性能进行实验研究和验证（乐孜纯，梁静秋，董文，等，高能X射线组合透镜聚焦性能的实验结果，光学学报，2006，26(2):317-320），但是同步辐射是超大型科学装置，运行维护费用极其昂贵，机时与需求相比非常稀缺，无法满足实际测试需求。
发明内容
为了克服已有X射线组合折射透镜聚焦性能测试方式的机构复杂、运行维护费用昂贵、实用性较差的不足,本发明提供了一种简化结构、减低成本、实用性良好的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，包括底座导轨、位于所述底座导轨上的X射线光管、激光器和X射线CCD，所述底座导轨呈纵向布置；
调整台位于所述底座导轨的一侧，所述X射线光管、激光器的光轴均呈纵向布置，所述X射线光管、激光器可横向移动地安装在所述调整台上；待检测X射线组合折射透镜位于所述底座导轨的中部，所述待检测X射线组合折射透镜的光轴呈纵向布置；所述X射线CCD位于所述底座导轨的另一侧，所述X射线CCD的光轴与所述X射线组合折射透镜的光轴在同一直线上；所述X射线光管或激光器的出射端与所述待检测X射线组合折射透镜的入射端呈相对设置，所述待检测X射线组合折射透镜的出射端与X射线CCD呈相对设置。
进一步，所述激光器为可见光波段激光器。例如发射红光的He-Ne激光器等。
所述调整台为用以将X射线光管和激光器移入移出光路的多维精密调整台。
所述底座导轨的一侧安装第一支架，所述第一支架上安装所述调整台，所述底座导轨的中部安装用以放置待检测X射线组合折射透镜的第二支架，所述底座导轨的另一侧安装第三支架，所述第三支架上安装X射线CCD。
所述第一支架、第二支架和第三支架可纵向移动地安装在所述底座导轨上。
所述待检测X射线组合折射透镜的表面设有标示光轴的标记。
本发明中，第一支架在所述底座导轨上的纵向移动控制，所述X射线光管、激光器在所述调整台上的横向移动控制，第二支架在所述底座导轨上的纵向移动控制，第三支架在所述底座导轨上的纵向移动控制；以上各种运动控制，可以采用手动控制，也可以采用电机控制或者其他驱动方式。
本发明中，以X射线光管作为光源构建X射线组合折射透镜的测试装置，不仅可以满足实际测试需求，更可以探索和研发利用X射线光管作为光源的、基于X射线组合折射透镜的各种新型探测和成像系统，因此具有非常重要的意义。
本发明的有益效果主要表现在：1、发明了一种光源为X射线光管的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，可以方便地对X射线组合折射透镜的聚焦性能进行测试；2、因为探测光源为小型化的X射线光管，也可以为研发基于X射线光管的X射线探测和成像系统提供技术基础；3、整个装置结构紧凑、尺寸小、重量轻，方便使用。
附图说明
图1是本发明基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置的示意图，其中，1是X射线光管、2是激光器、3是多维精密调整台、4是X射线组合折射透镜、5是底座导轨、6是X射线CCD。
图2-1和2-2是二维聚焦X射线组合折射透镜的正视图和俯视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
参照图1和图2，一种基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，包括底座导轨5、位于所述底座导轨5上的X射线光管1、激光器2和X射线CCD6，所述底座导轨5呈纵向布置；
调整台3位于所述底座导轨5的一侧，所述X射线光管1、激光器2的光轴均呈纵向布置，所述X射线光管1、激光器2可横向移动地安装在所述调整台3上；待检测X射线组合折射透镜4位于所述底座导轨5的中部，所述待检测X射线组合折射透镜4的光轴呈纵向布置；所述X射线CCD6位于所述底座导轨5的另一侧，所述X射线CCD6的光轴与所述X射线组合折射透镜4的光轴在同一直线上；所述X射线光管1或激光器2的出射端与所述待检测X射线组合折射透镜4的入射端呈相对设置，所述待检测X射线组合折射透镜4的出射端与X射线CCD6呈相对设置。
进一步，所述激光器2为可见光波段激光器。例如发射红光的He-Ne激光器等。
所述调整台3为用以将X射线光管和激光器移入移出光路的多维精密调整台。
所述底座导轨5的一侧安装第一支架，所述第一支架上安装所述调整台3，所述底座导轨5的中部安装用以放置待检测X射线组合折射透镜4的第二支架，所述底座导轨5的另一侧安装第三支架，所述第三支架上安装X射线CCD6。
所述第一支架、第二支架和第三支架可纵向移动地安装在所述底座导轨5上。
所述待检测X射线组合折射透镜4的表面设有标示光轴的标记。
本发明中，第一支架在所述底座导轨上的纵向移动控制，所述X射线光管、激光器在所述调整台上的横向移动控制，第二支架在所述底座导轨上的纵向移动控制，第三支架在所述底座导轨上的纵向移动控制；以上各种运动控制，可以采用手动控制，也可以采用电机控制或者其他驱动方式。
本实施例中，所述X射线光管1，作为发射X射线辐射的光源，所发射X射线光不可见。
所述激光器2，作为本发明光路校准光源，需选择可见光波段激光器（比如发射红光的He-Ne激光器），在校准X射线光管、X射线组合折射透镜和X射线CCD同轴时使用。
所述多维精密调整台3，作为机械运行和调整机构，作用是保证X射线光管和激光器精确地移入移出光路。
所述X射线光管1和所述激光器2被装配在所述多维精密调整台3上，通过精密机械调整，使得X射线光管和激光器交替进入光路，当激光器移入光路时，是校准状态，利用可见光校准X射线组合折射透镜的光轴与本发明测试装置的光轴重合；当X射线光管移入光路时，是测试状态，对X射线组合折射透镜的聚焦性能进行测试。
所述X射线组合折射透镜4，是本发明中的被检目标，主要检测其聚焦性能。
所述X射线CCD6，用于对光斑进行图像记录，通过计算机编程，对所记录的光斑图像进行图像处理，得到光斑强度随像元个数的变化曲线，该变化曲线就是光强分布，光强分布的半高全宽（FWHM，fullwidth at half maximum）就是光斑的尺寸。以此得出所述X射线组合折射透镜的聚焦性能。
所述底座导轨5，其上装配有可沿导轨平移的多个支架，所述支架用于固定所述多维精密调整台、X射线组合折射透镜、X射线CCD。
所述待检测X射线组合折射透镜4的光轴需要预先标定，并在X射线组合折射透镜的表面沿其光轴制作标记，所述标记用于激光器2校准X射线组合折射透镜与探测光束同轴。
所述X射线光管1和激光器2需要预先装配在所述多维精密调整台上，并通过两个档位的调整保证所述X射线光管和激光器交替进入探测光路，所述多维精密调整台还具备对所述X射线光管和所述激光器分别进行位移和角度的精密微调功能。
所述固定X射线CCD6的第三支架，具备沿导轨长轴方向精密平移的功能，且平移步长0.2～5毫米。所述X射线CCD6进行图像记录，光斑强度通过对所记录图像进行图像处理，得到光强随像元个数的变化曲线，光斑尺寸通过测量曲线的半高全宽获得，实现聚焦性能检测。
Claims (6)
1.一种基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，其特征在于：所述聚焦性能测试装置包括底座导轨、位于所述底座导轨上的X射线光管、激光器和X射线CCD，所述底座导轨呈纵向布置；
调整台位于所述底座导轨的一侧，所述X射线光管、激光器的光轴均呈纵向布置，所述X射线光管、激光器可横向移动地安装在所述调整台上；待检测X射线组合折射透镜位于所述底座导轨的中部，所述待检测X射线组合折射透镜的光轴呈纵向布置；所述X射线CCD位于所述底座导轨的另一侧，所述X射线CCD的光轴与所述X射线组合折射透镜的光轴在同一直线上；所述X射线光管或激光器的出射端与所述待检测X射线组合折射透镜的入射端呈相对设置，所述待检测X射线组合折射透镜的出射端与X射线CCD呈相对设置。
2.如权利要求1所述的基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，其特征在于：所述激光器为可见光波段激光器。
3.如权利要求1或2所述的基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，其特征在于：所述调整台为用以将X射线光管和激光器移入移出光路的多维精密调整台。
4.如权利要求1或2所述的基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，其特征在于：所述底座导轨的一侧安装第一支架，所述第一支架上安装所述调整台，所述底座导轨的中部安装用以放置待检测X射线组合折射透镜的第二支架，所述底座导轨的另一侧安装第三支架，所述第三支架上安装X射线CCD。
5.如权利要求1或2所述的基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，其特征在于：所述第一支架、第二支架和第三支架可纵向移动地安装在所述底座导轨上。
6.如权利要求1或2所述的基于CCD探测的X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置，其特征在于：所述待检测X射线组合折射透镜的表面设有标示光轴的标记。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310364055.6A CN103454068B (zh) | 2013-08-20 | 2013-08-20 | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310364055.6A CN103454068B (zh) | 2013-08-20 | 2013-08-20 | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103454068A true CN103454068A (zh) | 2013-12-18 |
| CN103454068B CN103454068B (zh) | 2016-04-13 |
Family
ID=49736683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310364055.6A Expired - Fee Related CN103454068B (zh) | 2013-08-20 | 2013-08-20 | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103454068B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106500965A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-03-15 | 北方夜视技术股份有限公司 | 基于ccd探测器的龙虾眼x射线光学元件聚焦性能测试装置与方法 |
| CN106768874A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-05-31 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种x射线聚焦光学聚焦性能测量装置 |
| CN108459037A (zh) * | 2018-04-23 | 2018-08-28 | 浙江工业大学 | 基于x射线阵列组合折射透镜的微束x射线荧光分析方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002357507A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-13 | Olympus Optical Co Ltd | レンズの光学性能検査方法及び光学性能検査装置 |
| CN2704038Y (zh) * | 2003-07-29 | 2005-06-08 | 西南师范大学 | 自聚焦透镜聚焦性能测试仪 |
| CN201765108U (zh) * | 2010-05-25 | 2011-03-16 | 冠捷显示科技（厦门）有限公司 | 新型透光率检测仪 |
| CN201975093U (zh) * | 2011-02-17 | 2011-09-14 | 浙江工业大学 | 镶嵌式二维聚焦x射线组合折射透镜 |
| CN203587321U (zh) * | 2013-08-20 | 2014-05-07 | 浙江工业大学 | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 |
-
2013
- 2013-08-20 CN CN201310364055.6A patent/CN103454068B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002357507A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-13 | Olympus Optical Co Ltd | レンズの光学性能検査方法及び光学性能検査装置 |
| CN2704038Y (zh) * | 2003-07-29 | 2005-06-08 | 西南师范大学 | 自聚焦透镜聚焦性能测试仪 |
| CN201765108U (zh) * | 2010-05-25 | 2011-03-16 | 冠捷显示科技（厦门）有限公司 | 新型透光率检测仪 |
| CN201975093U (zh) * | 2011-02-17 | 2011-09-14 | 浙江工业大学 | 镶嵌式二维聚焦x射线组合折射透镜 |
| CN203587321U (zh) * | 2013-08-20 | 2014-05-07 | 浙江工业大学 | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 乐孜纯等: "X射线长组合折射透镜的理论和实验研究", 《光学学报》 * |
| 陈钦芳等: "轴对称非球面透镜光轴共轴度的测量研究", 《应用光学》 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106500965A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-03-15 | 北方夜视技术股份有限公司 | 基于ccd探测器的龙虾眼x射线光学元件聚焦性能测试装置与方法 |
| CN106500965B (zh) * | 2016-09-28 | 2018-11-30 | 北方夜视技术股份有限公司 | 基于ccd探测器的龙虾眼x射线光学元件聚焦性能测试装置与方法 |
| CN106768874A (zh) * | 2016-11-18 | 2017-05-31 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种x射线聚焦光学聚焦性能测量装置 |
| CN108459037A (zh) * | 2018-04-23 | 2018-08-28 | 浙江工业大学 | 基于x射线阵列组合折射透镜的微束x射线荧光分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103454068B (zh) | 2016-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103454070B (zh) | 一种基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试方法 | |
| CN106500965B (zh) | 基于ccd探测器的龙虾眼x射线光学元件聚焦性能测试装置与方法 | |
| CN103454071A (zh) | 一种x射线组合折射透镜的聚焦性能测试方法 | |
| CN102156037B (zh) | 光学检测装置及检测方法 | |
| CN103454069B (zh) | X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 | |
| CN107167483B (zh) | 可快速切换极化和非极化模式的中子反射谱仪光路结构 | |
| CN105444993B (zh) | 一种光学系统综合性能测试仪 | |
| CN105823427B (zh) | 一种平面定位装置及其测量方法 | |
| CN104316506A (zh) | 拉曼探头和可自动对焦的拉曼信号探测系统以及方法 | |
| CN108106722A (zh) | 一种低温辐射计用激光光束定位及控制系统 | |
| WO2022161123A1 (zh) | 激光测距方法、对焦方法、激光测距系统、对焦系统及自动对焦分析装置 | |
| CN104316507A (zh) | 拉曼信号探测系统以及方法 | |
| CN105509998A (zh) | 聚焦型太阳模拟器能流密度测量装置及测量方法 | |
| CN104535300A (zh) | 一种大口径平行光管波前及像面位置标定装置及方法 | |
| CN103454068B (zh) | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 | |
| CN108844720B (zh) | 一种光学系统多角度像质检测装置及方法 | |
| CN103344416A (zh) | 一种体全息透射光栅衍射效率测试仪 | |
| CN203587321U (zh) | 基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 | |
| CN204359512U (zh) | 一种大口径平行光管波前及像面位置标定装置 | |
| CN203587320U (zh) | X射线组合折射透镜聚焦性能测试装置 | |
| CN107152908B (zh) | 塔式太阳能热发电定日镜整体型面拼接在线检测装置及检测方法 | |
| CN202563097U (zh) | 一种十字丝扫描探测器 | |
| CN204479187U (zh) | 基于双五棱镜的准直光束检测装置 | |
| CN208188021U (zh) | 基于x射线阵列组合折射透镜的微束x射线荧光分析系统 | |
| CN1275065C (zh) | 数字扫描光学传递函数测试仪谱面座标标定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20200729 Address after: No.10 Tianqiao West Road, Yulin City, Guangxi Zhuang Autonomous Region Patentee after: Guangxi Yulin River Power Generation Equipment Co.,Ltd. Address before: 510000 unit 2414-2416, building, No. five, No. 371, Tianhe District, Guangdong, China Patentee before: GUANGDONG GAOHANG INTELLECTUAL PROPERTY OPERATION Co.,Ltd. Effective date of registration: 20200729 Address after: 510000 unit 2414-2416, building, No. five, No. 371, Tianhe District, Guangdong, China Patentee after: GUANGDONG GAOHANG INTELLECTUAL PROPERTY OPERATION Co.,Ltd. Address before: The city Zhaohui six districts Chao Wang Road Hangzhou City, Zhejiang province 310014 18 Patentee before: ZHEJIANG University OF TECHNOLOGY |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160413 Termination date: 20210820 |