CN103347651A - 线状锯以及线状锯中的辊对位方法 - Google Patents
线状锯以及线状锯中的辊对位方法 Download PDFInfo
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Abstract
一种线状锯,具备一对卷线筒(12A、12B)和主辊(13A、13B)。在一个卷线筒(12A或12B)与主辊(13A或13B)之间的线材行进路径以及另一个卷线筒(12A或12B)与主辊(13A或13B)之间的线材行进路径上分别配置有松紧调节辊(16A或16B)、位移辊(17A或17B)、引导辊(18A或18B)。各个线材行进路径的位移辊(17A或17B)、松紧调节辊(16A或16B)以及引导辊(18A或18B)具有在位移辊(17A或17B)和松紧调节辊(16A或16B)和引导辊(18A或18B)之间行进的线材(11)的部分位于一个平面上的位置关系。
Description
技术领域
本发明涉及用线材切断由例如半导体材料或陶瓷等脆性材料构成的工件的线状锯、以及对该线状锯中的辊进行对位的方法。
背景技术
以往,作为这种线状锯,提出有例如专利文献1~专利文献4中公开的构成。在这些现有结构的线状锯上设置有:被缠绕线材的一对卷线筒;和多个主辊,在两个卷线筒之间卷绕架设线材。在一个卷线筒和主辊之间的线材行进路径以及另一个卷线筒和主辊之间的线材行进路径上分别设置有位移辊、松紧调节辊以及多个引导辊,位移辊能够沿着卷线筒的轴线方向位移,松紧调节辊调节线材的张力,多个引导辊用于对线材进行引导。而且,在使线材行进的状态下,将工件按压到主辊之间的线材上,从而进行工件的切断加工。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平11-348029号公报
专利文献2:日本特开2001-25955号公报
专利文献3:日本特开2005-186222号公报
专利文献4:日本特开2000-61809号公报
但是,在这种线状锯上,在安装多个引导辊时,进行引导辊之间的定心(位置调节),使得由引导辊引导的线材通过设置于各个引导辊上的周槽的中心。但是,由于线材的行进方向在引导辊的位置处改变,所以引导辊的数量越多,在不同方向上行进的线材部分的数量越多,定心作业困难,需要大量时间。另外,由于难以进行正确的定心,会因引导辊之间的偏移而导致在行进的线材上产生扭转。在线材上产生了扭转的情况下,有可能导致工件加工精度下降或线材断线。另外,在线材是担载了金刚石磨粒的类型的情况下,会导致金刚石磨粒从线材脱落。
所述松紧调节辊在通过设置于松紧调节辊上的周槽的面内平行移动,从而调整线材的张力。因此,在线材没有张设成在所述面内延伸的情况下,因松紧调节辊的移动而在线材上产生扭转,其结果,容易产生工件加工精度下降等上述问题。
在专利文献1所述的线状锯上,在线材行进路径上设置有多个引导辊。而且,为了防止线材的偏磨耗,积极地使线材在引导辊之间扭转。因此,容易产生线材断线等上述问题。
在专利文献2所述的线状锯中,在松紧调节辊与位移辊之间和/或松紧调节辊与主辊之间设置有多个引导辊,并且在位移台上也设置有多个引导辊。为了防止线材扭转,需要准确设定引导辊的位置,然而在该专利文献2的线状锯的情况下,由于引导辊的数量多,所以引导辊之间的对位以及引导辊与松紧调节辊之间的对位复杂,难以进行正确的定心。因此,在该专利文献2的线状锯上,不容易防止线材扭转。
在专利文献3以及专利文献4的线状锯中,在松紧调节辊与位移辊之间设置有引导辊,并且在松紧调节辊与主辊之间也设置有多个引导辊。因此,在专利文献3以及专利文献4的线状锯的情况下,也与专利文献2的线状锯的情况相同,辊之间的位置调节复杂,难以正确地进行辊之间的定心,所以不容易消除线材的扭转。
然而,在专利文献3以及专利文献4中,从上方观看时,主辊与卷线筒之间的线材行进路径看似描绘成一条直线状。然而,在实际的装置中,为了确保工件加工精度,主辊不是配置于装置的跟前侧,而是配置于里侧,卷线筒需要进行更换作业,所以被配置在装置的跟前侧、即外侧附近。也就是说,主辊与卷线筒之间的线材行进路径实际上不是一条直线状,而是弯曲的。在线材行进路径弯曲的情况下,引导辊之间的位置调节更加复杂。
发明内容
本发明是着眼于这种现有技术中存在的问题点而进行的。本发明的目的在于,提供一种线状锯及该线状锯中的辊对位方法,通过尽量减少用于对设置于卷线筒与主辊之间的线材行进路径上的线材进行引导的辊的数量,从而能够容易地进行这些辊的位置调节,其结果,能够抑制因线材断线或工件加工精度下降而产生线材扭转。
为了实现上述的目的,在本发明的一个方式中,提供一种线状锯,其具备:多个主辊,具有相互平行的轴线;以及一对卷线筒,将从一个卷线筒送出的线材缠绕架设到所述主辊之间,并缠绕到另一个卷线筒上。在所述一对卷线筒之中的一个卷线筒与所述主辊之间的线材行进路径以及另一个卷线筒与所述主辊之间的线材行进路径上分别配置有:松紧调节辊,调节线材张力;位移辊,能够在松紧调节辊与卷线筒之间沿着卷线筒的轴线进行位移;以及引导辊,用于在松紧调节辊与主辊之间对线材进行引导。各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊具有在位移辊和松紧调节辊和引导辊之间行进的线材的部分位于一个平面上的位置关系。在本发明的线状锯中,在各个线材行进路径的松紧调节辊与主辊之间配置有一个引导辊,在松紧调节辊与卷线筒之间不配置引导辊而只配置位移辊。
因此,在本发明的线状锯的情况下,在各个线材行进路径上,从位移辊经过松紧调节辊至引导辊,线材在一个平面上行进。因此,能够从一个方向进行相互调节设置于这些辊上的周槽的位置的作业,这些辊的位置调节变得容易。另外,能够高精度地将这些辊对位,从而能够抑制在线材上产生扭转。
在上述构成的线状锯中,优选所述主辊以及引导辊被配置于在线状锯的装置机架内区划形成的加工区域,优选所述松紧调节辊、位移辊以及卷线筒在所述加工区域外被配置于装置机架内。
在上述构成的线状锯中,优选设置于各个线材行进路径的松紧调节辊上的周槽的底部、设置于相同的线材行进路径的位移辊上的周槽的底部之中的从松紧调节辊向位移辊延伸的线材的部分最先挂到位移辊上的点、以及设置于相同的线材行进路径的引导辊上的周槽的底部之中的从松紧调节辊向引导辊延伸的线材的部分最先挂到引导辊上的点位于所述一个平面上。
在上述构成的线状锯中,优选各个线材行进路径的位移辊以及引导辊的至少一方的旋转面相对于相同的线材行进路径的松紧调节辊的旋转面具有直角以外的角度。
在上述构成的线状锯中,优选各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊的旋转面具有互不相同的方向。
在上述构成的线状锯中,优选当松紧调节辊位于原点位置时,设置于各个线材行进路径的松紧调节辊上的周槽的底部与设置于相同的线材行进路径的位移辊上的周槽的底部以及设置于相同的线材行进路径的引导辊上的周槽的底部在线材行进方向上重叠。
在上述构成的线状锯中,优选线材在各个线材行进路径的位移辊与松紧调节辊之间行进的方向和线材在相同的线材行进路径的松紧调节辊与引导辊之间行进的方向相互平行。
在上述构成的线状锯中,优选各个线材行进路径的位移辊能够以从相同的线材行进路径的松紧调节辊向位移辊延伸的线材的部分最先挂到位移辊上的点的位置为中心揺动。
在上述构成的线状锯中,优选各个线材行进路径的引导辊能够以相同的线材行进路径的从松紧调节辊向引导辊延伸的线材的部分最先挂到引导辊上的点的位置为中心进行角度调节。
在上述构成的线状锯中,优选一对卷线筒的轴线呈水平且相互平行,并且进一步与主辊的轴线平行,松紧调节辊能够横向移动。
在上述构成的线状锯中,优选一对卷线筒沿上下方向排列,两个卷线筒与主辊之间的2个线材行进路径也沿着上下方向排列,各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊具有使在位移辊与松紧调节辊之间行进的线材的部分以及在松紧调节辊与引导辊之间行进的线材的部分位于同一垂直平面上的位置关系。
在上述构成的线状锯中,优选引导辊能够沿着主辊的长度方向进行位置调整。
在本发明的另一方式中,提供上述构成的线状锯中的辊对位方法。在该方法中,越过各个线材行进路径的松紧调节辊观看相同的线材行进路径的位移辊以及引导辊的至少一方来进行这些辊的对位。
发明效果
如上所述,根据本发明,能够抑制在卷线筒与主辊之间的线材行进路径上,在线材上产生扭转,能够提高工件加工精度、防止线材切断、以及防止金刚石磨粒脱落。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式的线状锯的主视图。
图2是图1的线状锯的右侧视图。
图3是图1的线状锯的立体图。
图4(a)是表示一个线材行进路径中的松紧调节辊与其他辊之间的位置关系的图1的线状锯的要部右侧视图,(b)是表示另一个线材行进路径中的松紧调节辊与其他辊之间的位置关系的图1的线状锯的要部右侧视图。
图5是将图1的线状锯中的位移辊的揺动构成放大表示的要部俯视图。
图6是图5的位移辊的揺动构成的要部右侧视图。
图7是表示图1的线状锯中的引导辊的角度调节构成的要部俯视图。
图8是表示本发明的第2实施方式的线状锯的主视图。
图9(a)是表示一个线材行进路径中的松紧调节辊与其他辊之间的位置关系的图8的线状锯的要部放大右侧视图,(b)是表示另一个线材行进路径中的松紧调节辊与其他辊之间的位置关系的图8的线状锯的要部放大右侧视图。
图10是表示本发明的第3实施方式的线状锯的主视图。
图11是表示本发明的第4实施方式的线状锯的俯视图。
图12(a)是表示一个线材行进路径中的松紧调节辊与其他辊之间的位置关系的图11的线状锯的要部放大右侧视图,(b)是表示另一个线材行进路径中的松紧调节辊与其他辊之间的位置关系的图11的线状锯的要部放大右侧视图。
具体实施方式
(第1实施方式)
下面依照图1~图7来说明将本发明具体化的第1实施方式。
如图1以及图2所示,线状锯的装置机架51的内部被区划壁52区划成加工区域53和卷线筒侧区域54。在卷线筒侧区域54配置有一对卷线筒12A、12B,线材11的两端分别缠绕在一对卷线筒12A、12B上。卷线筒12A、12B在上下方向上隔着间隔被可旋转地支承在装置机架51上。如图2以及图3所示,卷线筒12A、12B的旋转轴线呈水平且相互平行。在加工区域53配置有在水平方向上隔着间隔支承的多个(本实施方式中为一对)的主辊13A、13B。主辊13A、13B的旋转轴线呈水平且相互平行。主辊13A、13B的旋转轴线与卷线筒12A、12B的旋转轴线平行。
如图2以及图3所示,在各个主辊13A、13B的外周面形成有多个环状槽13a,多个环状槽13a彼此隔着一定间距。从卷线筒12A、12B延伸的线材11的部分沿着各个环状槽13a卷绕架设在主辊13A、13B之间。
在主辊13A、13B之间的线材11的上方配置有可升降的鞍(未予图示)。粘贴在支承板14上的工件W被可装卸地安装在鞍的下表面。
如图1~图3所示,在装置机架51上隔着驱动器31支承着沿上下方向延伸的一对松紧调节臂15A、15B。松紧调节臂15A、15B能够在铅直面内揺动。在各个松紧调节臂15A、15B的前端部上支承着松紧调节辊16A、16B,松紧调节辊16A、16B可在铅直面内旋转。在松紧调节辊16A、16B上分别缠绕着从卷线筒12A、12B向主辊13A、13B延伸的线材11的部分。利用驱动器31来驱动松紧调节臂15A、15B,从而能够对线材11赋予合适的张力。
在各个卷线筒12A、12B的附近配置有可旋转的位移辊17A、17B。在位移辊17A、17B上分别缠绕着从卷线筒12A、12B向松紧调节辊16A、16B延伸的线材11的部分。位移辊17A、17B通过未予图示的驱动单元能够沿着卷线筒12A、12B的轴线方向位移。
在加工区域53上,在主辊13A、13B的附近设置有被可旋转地支承在装置机架51上的引导辊18A、18B。在引导辊18A、18B上分别缠绕着从松紧调节辊16A、16B向主辊13A、13B延伸的线材11的部分。
在本实施方式中,如图1以及图3所示,位移辊17A、17B、松紧调节辊16A、16B以及引导辊18A、18B的位置关系被设定成,使得在位移辊17A与引导辊18A之间行进的线材11的部分位于一个平面内,且在位移辊17B与引导辊18B之间行进的线材11的部分位于相同的或不同的一个平面内。换言之,从位移辊17A、17B至松紧调节辊16A、16B的线材部分11a与从松紧调节辊16A、16B至引导辊18A、18B的线材部分11b相互平行。也就是说,线材11在位移辊17A和松紧调节辊16A之间行进的方向与线材11在松紧调节辊16A和引导辊18A之间行进的方向相互平行。另外,线材11在位移辊17B和松紧调节辊16B之间行进的方向与线材11在松紧调节辊16B和引导辊18B之间行进的方向相互平行。
也就是说,如图4(a)以及图4(b)所示,位移辊17A、17B、松紧调节辊16A、16B以及引导辊18A、18B被配置成,当松紧调节臂15A、15B处于原点位置、即揺动范围的中立位置、例如松紧调节臂15A、15B处于在铅直方向上延伸的位置时,从线材行进方向观看,松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部与位移辊17A、17B的周槽17a、17b的底部以及引导辊18A、18B的周槽18a、18b的底部分别在同一平面上一致。换言之,如图4(a)所示,位移辊17A的周槽17a的底部以及引导辊18A的周槽18a的底部与包括松紧调节辊16A的周槽16a的底部的平面接触,而且如图4(b)所示,位移辊17B的周槽17b的底部以及引导辊18B的周槽18b的底部与包括松紧调节辊16B的周槽16b的底部的平面接触。因此,从松紧调节辊16A、16B向位移辊17A、17B延伸的线材11的部分最先挂到位移辊17A、17B上的点以及从松紧调节辊16A、16B向引导辊18A、18B延伸的线材11的部分最先挂到引导辊18A、18B上的点均分别位于包括松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部的平面内。另外,如图2所示,松紧调节辊16A、16B的旋转面与位移辊17A、17B的旋转面所成的角度R1a、R1b以及松紧调节辊16A、16B的旋转面与引导辊18A、18B的旋转面所成的角度R2a、R2b均不是直角而是钝角或锐角。
图5以及图6示出位移辊17A的构成。位移辊17B也具有与图5以及图6所示的位移辊17A相同的构成。各个位移辊17A、17B被设置成能够以从松紧调节辊16A、16B向位移辊17A、17B延伸的线材11的部分最先挂到位移辊17A、17B上的点17P的位置为中心进行揺动。也就是说,将各个位移辊17A、17B可旋转地支承的支承杆20被固定到揺动轴21上,点17P位于该揺动轴21的轴线的延长线C1上。因此,如图6所示,根据缠绕在卷线筒12A、12B上的线材11的量的变化,位移辊17A、17B能够以点17P为中心揺动。
图7示出引导辊18A的构成。引导辊18B也具有与图7所示的引导辊18A相同的构成。在装置机架51上固定着与主辊13A、13B的轴线平行延伸的一对轨道32,在各个轨道32上支承着支承台36,支承台36可沿着轨道32所延伸的方向移动。支承台36通过未予图示的固定单元可被固定在任意的移动位置。将各个引导辊18A、18B可旋转地支承的支承杆33被固定在揺动轴34上。揺动轴34被支承台36可旋转地支承。从松紧调节辊16A、16B向引导辊18A、18B延伸的线材11的部分最先挂到引导辊18A、18B上的点18P位于揺动轴34的轴线的延长线C2上。揺动轴34通过固定螺钉35的紧固而能够被固定在任意的旋转位置。因此,引导辊18A、18B能够以点18P为中心调节角度。
在将主辊13A、13B更换为不同长度的辊,或者改变线材11相对于主辊13A、13B的缠绕位置的情况下,通过使引导辊18A、18B沿着轨道32移动,从而进行引导辊18A、18B的位置调节。当主辊13A、13B的环状槽13a的直径改变了时,通过使引导辊18A、18B以点18P为中心揺动,从而进行引导辊18A、18B的角度调节,以便指向环状槽13a的接线方向。
如图1以及图2所示,在装置机架51的卷线筒侧区域54的侧壁55形成有被门56开闭的开口57。在所述区划壁52形成有开口58,该开口58被具有未予图示的狭缝的闭锁板59闭锁。线材11通过所述狭缝内行进。
接着,说明如上所述构成的线状锯的作用。
伴随卷线筒12A、12B或主辊13A、13B的更换等,在将线材11缠绕架设到主辊13A、13B之间的情况下,首先在此之前进行松紧调节辊16A、16B、位移辊17A、17B以及引导辊18A、18B的位置调节(以下、将该位置调节称为定心)。另外,由至此的说明显而易见,松紧调节辊16A、位移辊17A以及引导辊18A被设置于卷线筒12A与主辊13A、13B之间的线材行进路径上,松紧调节辊16B、位移辊17B以及引导辊18B被设置于卷线筒12B与主辊13A、13B之间的线材行进路径上。
当进行辊16A~18B的定心时,门56被打开,并且区划壁52的闭锁板59被卸下,开口57、58被开放。因此,从侧壁的开口57能够越过松紧调节辊16A、16B而看到位移辊17A、17B以及引导辊18A、18B。在该状态下,通过目视来调节各个辊16A~18B的位置关系。也就是说,在将松紧调节臂15A、15B配置到原点位置的状态下,确认松紧调节辊16A、16B与位移辊17A、17B之间的线材部分11a的位置以及松紧调节辊16A、16B与引导辊18A、18B之间的线材部分11b的位置、即各个辊16A、16B、17A、17B、18A、18B的周槽16a、16b、17a、17b、18a、18b的底部的位置。换言之,如图4(a)以及图4(b)所示,进行辊16A~18B的定心,使得松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部之中的在位移辊17A、17B与松紧调节辊16A、16B之间行进的线材部分11a最先挂的点和位移辊17A、17B的周槽17a、17b的底部之中的相同的线材部分11a最先挂到位移辊17A、17B上的点17P从线材部分11a的行进方向观看时一致,并且松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部之中的在松紧调节辊16A、16B与引导辊18A、18B之间行进的线材部分11b最先挂的点和引导辊18A、18B的周槽18a、18b的底部之中的相同的线材部分11b最先挂到引导辊18A、18B上的点18P从线材部分11b的行进方向观看时一致。
另外,如图3的右端双点划线所示,辊16A~18B的定心能够使用光学检测装置19A、19B。各个光学检测装置19A、19B具备照相机19a、19b,可以利用照相机19a、19b进行拍摄来确认各个辊16A~18B的周槽16a~18b的底部的位置。
在确认了各个辊16A~18B的周槽16a~18b的底部的位置之后,根据该确认到的底部的位置,调节各个辊16A~18B的位置或角度,使得周槽16a~18b处于图4(a)以及图4(b)所示的预定的配置,从而进行辊16A~18B的定心。
定心之后,线材11被缠绕到各个辊上。然后,当线状锯运转时,从一个卷线筒12A或12B送出线材11,经过一个位移辊17A或17B、松紧调节辊16A或16B、以及引导辊18A或18B被引导到主辊13A、13B上之后,线材11在两个主辊13A、13B之间环绕行进。线材11可以向一个方向连续行进,也可以往返行进的同时,总体来说在一个方向上送出。而且,从主辊13A、13B送出的线材11还经过另一个引导辊18B或18A、松紧调节辊16B或16A、以及位移辊17B或17A而被缠绕到另一个卷线筒12B或12A上。
在该情况下,在卷线筒12A、12B与主辊13A、13B之间,线材11的行进由位移辊17A、17B、松紧调节辊16A、16B以及引导辊18A、18B引导。此外,从线材行进方向观看时,辊16A~18B的周槽16a~18b处于图4(a)以及图4(b)所示的预定配置。因此,线材11在松紧调节辊16A、16B与位移辊17A、17B之间以及松紧调节辊16A、16B与引导辊18A、18B之间于同一平面内行进。也就是说,线材11在位移辊17A、17B与引导辊18A、18B之间于松紧调节辊16A、16B的旋转面内行进。因此,在卷线筒12A、12B与主辊13A、13B之间的线材行进路径上,能够抑制在线材11上产生扭转。
因此,当使线材11在主辊13A、13B之间环绕行进时,向主辊13A、13B之间的线材11供给含有磨粒的料浆,并按压工件W,从而能够高精度地对工件W进行切断加工。当线材11是担载了金刚石磨粒的类型的情况下,无需供给料浆。
根据以上说明的第1实施方式,能够得到以下的效果。
(1)在第1实施方式的线状锯中,在位移辊17A、17B与引导辊18A、18B之间行进的线材11的部分位于一个平面上。因此,能够抑制在卷线筒12A、12B与主辊13A、13B之间,在线材11上产生扭转。其结果,能够提高工件W的加工精度并防止线材11断线。另外,由于线材11的扭转得到抑制,因此在线材11为担载了金刚石磨粒的类型的情况下,能够防止金刚石磨粒从线材11脱落。
(2)在第1实施方式的线状锯中,从线材部分11a、11b的行进方向观看时,松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部与位移辊17A、17B的周槽17a、17b的底部以及引导辊18A、18B的周槽18a、18b的底部分别在同一平面上一致。因此,能够通过目视或照相机19a、19b来适当地判断线材部分11a、11b的位置以及各个辊16A、16B、17A、17B、18A、18B的位置,能够从一个方向一次性且容易地执行辊16A~18B的定心。
(3)在第1实施方式的线状锯中,线材部分11a、11b相互平行。因此,只要从一个方向确认位移辊17A、17B上的点17P以及引导辊18A、18B上的点18P是否按照预定与松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部一致,就能够判断3个辊16A~18A或16B~18B的定心是否正确。另外,在进行该确认时,无需改变利用目视或照相机19a、19b观看的角度,观看的点也少,这些都是优点。
(4)在第1实施方式的线状锯中,在卷线筒12A、12B与主辊13A、13B之间行进的线材11由位移辊17A、17B、松紧调节辊16A、16B以及引导辊18A、18B这几个必要最小限数量的辊引导。因此,能够降低由辊作用到线材上的惯性的影响,能够减少作用到线材上的不必要的负荷。而且,通过辊来改变线材11的行进方向的位置少,所以能够抑制因辊而造成线材11扭转。其结果,能够提高工件W的加工精度以及加工效率,并且能够进一步防止线材断线或金刚石磨粒脱落。
(5)在第1实施方式的线状锯中,松紧调节辊16A、16B的旋转面与位移辊17A、17B的旋转面所成的角度R1a、R1b以及松紧调节辊16A、16B的旋转面与引导辊18A、18B的旋转面所成的角度R2a、R2b均不是直角而是钝角或锐角。因此,在扭转方向上作用到线材11上的转矩变小。由此,能够进一步有效地抑制线材11扭转,所以能够进一步提高工件W的加工精度,进一步防止线材断线或金刚石磨粒脱落。
(6)在第1实施方式的线状锯中,位移辊17A、17B能够以从松紧调节辊16A、16B向位移辊17A、17B延伸的线材11的部分最先挂到位移辊17A、17B上的点17P为中心揺动。因此,位移辊17A、17B可以根据缠绕在卷线筒12A、12B上的线材11的量的变化而揺动。另外,即使位移辊17A、17B揺动,也不会在位移辊17A、17B与引导辊18A、18B之间产生偏移而导致在线材11上产生扭转。
(第2实施方式)
接着,根据图8以及图9来说明本发明的第2实施方式。对于该第2实施方式以及下面叙述的第3以及第4实施方式,主要说明与第1实施方式不同的部分。
如图8所示,第2实施方式的线状锯与第1实施方式的线状锯的不同之处在于,卷线筒12A、12B以及位移辊17A、17B被配置成线材部分11a与线材部分11b不平行。然而,线材部分11a和线材部分11b分别位于同一平面内这一点与第1实施方式的线状锯相同。由于线材部分11a不与线材部分11b平行,所以如图9(a)以及图9(b)所示,从线材部分11b的延长方向观看时,位移辊17A、17B的周槽17a上的点17P从松紧调节辊16A、16B的周槽16a分离。
在该第2实施方式的线状锯的情况下,与第1实施方式的线状锯的情况相同,从设置于装置机架51的侧壁55的开口57越过松紧调节辊16A、16B观看位移辊17A、17B以及引导辊18A、18B,进行辊16A~18B的定心。但是,由于线材部分11a不与线材部分11b平行,所以在确认位移辊17A、17B上的点17P以及引导辊18A、18B上的点18P是否相对于松紧调节辊16A、16B按照预定配置时,需要上下移动眼睛或照相机19a、19b的位置来改变观看的角度。
因此,在该第2实施方式中,能够得到与上述第1实施方式的(1)、(2)、(4)~(6)的效果大致相同的效果。
(第3实施方式)
接着,根据图10来说明本发明的第3实施方式。
如图10所示,第3实施方式的线状锯与第1实施方式的线状锯的不同之处在于,卷线筒12A、12B不是朝横向配置,而是朝纵向配置。也就是说,卷线筒12A、12B的旋转轴线不是水平延伸,而是铅直延伸。另外,在对松紧调节辊16A、16B进行支承的松紧调节臂15A、15B被配置成比卷线筒12A、12B靠上方这一点上也与第1实施方式的线状锯有所不同。松紧调节臂15A、15B的原点位置、即揺动范围的中立位置处于松紧调节臂15A、15B在水平方向上延伸的位置。线材部分11a和线材部分11b分别位于同一平面内。位移辊17B与松紧调节辊16B之间的线材部分11a以及松紧调节辊16B与引导辊18B之间的线材部分11b位于同一平面内。线材部分11b可以如图10中实线所示与线材部分11a平行,或者如图10中双点划线所示不与线材部分11a平行。在这样构成的第3实施方式的线状锯的情况下,从上方越过松紧调节辊16A、16B观看位移辊17A、17B以及引导辊18A、18B来进行辊16A~18B的定心。
在该第3实施方式中能够得到与所述第2实施方式相同的效果。
(第4实施方式)
接着,根据图11、图12(a)以及图12(b)来说明本发明的第4实施方式。
图11是表示第4实施方式的线状锯的俯视图,如该图所示,第4实施方式的线状锯与第1实施方式的线状锯的不同之处在于,卷线筒12A、12B在水平方向上隔着间隔配置。卷线筒12A、12B的旋转轴线呈水平且相互平行,沿着装置机架51的左右方向延伸。主辊13A、13B在装置机架51的前后方向上位于两个卷线筒12A、12B之间。对松紧调节辊16A、16B进行支承的松紧调节臂15A、15B能够在水平面内揺动。松紧调节臂15A、15B的原点位置、即揺动范围的中立位置与卷线筒12A、12B的轴线以及主辊13A、13B的轴线平行。位移辊17A与松紧调节辊16A之间的线材部分11a以及松紧调节辊16A与引导辊18A之间的线材部分11b在水平面内平行配置。位移辊17B与松紧调节辊16B之间的线材部分11a以及松紧调节辊16B与引导辊18B之间的线材部分11b在相同或不同的水平面内平行配置。如图12(a)以及图12(b)所示,松紧调节辊16A、16B的旋转面呈水平,位移辊17A、17B的旋转面以及引导辊18A、18B的旋转面相对于松紧调节辊16A、16B的旋转面倾斜。
在该第4实施方式的线状锯的情况下,只要从一个方向确认位移辊17A、17B上的点17P以及引导辊18A、18B上的点18P是否按照预定与松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部一致,就能够判断3个辊16A~18A或16B~18B的配置是否合适。另外,在进行该确认时,无需改变通过目视或照相机19a、19b观看的角度。因此,容易进行定心作业。
在位移辊17A与松紧调节辊16A之间的线材部分11a、松紧调节辊16A与引导辊18A之间的线材部分11b、位移辊17B与松紧调节辊16B之间的线材部分11a、以及松紧调节辊16B与引导辊18B之间的线材部分11b全部位于同一平面上的情况下,通过从一个方向以相同的高度观看位移辊17A、17B上的点17P以及引导辊18A、18B上的点18P是否按照预定与松紧调节辊16A、16B的周槽16a、16b的底部一致,从而能够判断6个辊16A~18B的配置是否合适。
Claims (13)
1.一种线状锯,其具备:多个主辊,具有相互平行的轴线;以及一对卷线筒,将从一个卷线筒送出的线材缠绕架设到所述主辊之间,并缠绕到另一个卷线筒上,所述线状锯的特征在于,
在所述一对卷线筒之中的一个卷线筒与所述主辊之间的线材行进路径以及另一个卷线筒与所述主辊之间的线材行进路径上分别配置有:
松紧调节辊,调节线材张力;
位移辊,能够在松紧调节辊与卷线筒之间沿着卷线筒的轴线进行位移;以及
引导辊,用于在松紧调节辊与主辊之间对线材进行引导,
各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊具有在位移辊和松紧调节辊和引导辊之间行进的线材的部分位于一个平面上的位置关系。
2.根据权利要求1所述的线状锯,其特征在于,所述主辊以及引导辊被配置于在线状锯的装置机架内区划形成的加工区域,所述松紧调节辊、位移辊以及卷线筒在所述加工区域外被配置于装置机架内。
3.根据权利要求1或2所述的线状锯,其特征在于,设置于各个线材行进路径的松紧调节辊上的周槽的底部、设置于相同的线材行进路径的位移辊上的周槽的底部之中的从松紧调节辊向位移辊延伸的线材的部分最先挂到位移辊上的点、以及设置于相同的线材行进路径的引导辊上的周槽的底部之中的从松紧调节辊向引导辊延伸的线材的部分最先挂到引导辊上的点位于所述一个平面上。
4.根据权利要求1~3之中的任意一项所述的线状锯,其特征在于,各个线材行进路径的位移辊以及引导辊的至少一方的旋转面相对于相同的线材行进路径的松紧调节辊的旋转面具有直角以外的角度。
5.根据权利要求1~4之中的任意一项所述的线状锯,其特征在于,各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊的旋转面具有互不相同的方向。
6.根据权利要求1或2所述的线状锯,其特征在于,当松紧调节辊位于原点位置时,设置于各个线材行进路径的松紧调节辊上的周槽的底部与设置于相同的线材行进路径的位移辊上的周槽的底部以及设置于相同的线材行进路径的引导辊上的周槽的底部在线材行进方向上重叠。
7.根据权利要求1~3之中的任意一项所述的线状锯,其特征在于,线材在各个线材行进路径的位移辊与松紧调节辊之间行进的方向和线材在相同的线材行进路径的松紧调节辊与引导辊之间行进的方向相互平行。
8.根据权利要求1~7之中的任意一项所述的线状锯,其特征在于,各个线材行进路径的位移辊能够以从相同的线材行进路径的松紧调节辊向位移辊延伸的线材的部分最先挂到位移辊上的点的位置为中心揺动。
9.根据权利要求1~8之中的任意一项所述的线状锯,其特征在于,各个线材行进路径的引导辊能够以从相同的线材行进路径的松紧调节辊向引导辊延伸的线材的部分最先挂到引导辊上的点的位置为中心进行角度调节。
10.根据权利要求1~9的任意一项所述的线状锯,其特征在于,一对卷线筒的轴线呈水平且相互平行,并且进一步与主辊的轴线平行,松紧调节辊能够横向移动。
11.根据权利要求10所述的线状锯,其特征在于,一对卷线筒沿上下方向排列,两个卷线筒与主辊之间的2个线材行进路径也沿着上下方向排列,各个线材行进路径的位移辊、松紧调节辊以及引导辊具有使在位移辊与松紧调节辊之间行进的线材的部分以及在松紧调节辊与引导辊之间行进的线材的部分位于同一垂直平面上的位置关系。
12.根据权利要求10或11所述的线状锯,其特征在于,引导辊能够沿着主辊的长度方向进行位置调整。
13.一种线状锯中的辊对位方法,在权利要求1~11之中的任意一项所述的线状锯中,越过各个线材行进路径的松紧调节辊观看相同的线材行进路径的位移辊以及引导辊的至少一方来进行这些辊的对位。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011074515A JP5675462B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
JP2011-074515 | 2011-03-30 | ||
PCT/JP2012/058144 WO2012133532A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-03-28 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103347651A true CN103347651A (zh) | 2013-10-09 |
CN103347651B CN103347651B (zh) | 2016-03-23 |
Family
ID=46931241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201280007331.7A Active CN103347651B (zh) | 2011-03-30 | 2012-03-28 | 线状锯以及线状锯中的辊对位方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5675462B2 (zh) |
KR (1) | KR101884253B1 (zh) |
CN (1) | CN103347651B (zh) |
TW (1) | TWI546173B (zh) |
WO (1) | WO2012133532A1 (zh) |
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- 2011-03-30 JP JP2011074515A patent/JP5675462B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-28 WO PCT/JP2012/058144 patent/WO2012133532A1/ja active Application Filing
- 2012-03-28 CN CN201280007331.7A patent/CN103347651B/zh active Active
- 2012-03-28 KR KR1020137021531A patent/KR101884253B1/ko active IP Right Grant
- 2012-03-28 TW TW101110670A patent/TWI546173B/zh active
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---|---|
CN103347651B (zh) | 2016-03-23 |
JP2012206224A (ja) | 2012-10-25 |
KR101884253B1 (ko) | 2018-08-02 |
TW201238726A (en) | 2012-10-01 |
JP5675462B2 (ja) | 2015-02-25 |
WO2012133532A1 (ja) | 2012-10-04 |
TWI546173B (zh) | 2016-08-21 |
KR20140005973A (ko) | 2014-01-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |