CN102862974A - 一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法 - Google Patents
一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102862974A CN102862974A CN2012103453786A CN201210345378A CN102862974A CN 102862974 A CN102862974 A CN 102862974A CN 2012103453786 A CN2012103453786 A CN 2012103453786A CN 201210345378 A CN201210345378 A CN 201210345378A CN 102862974 A CN102862974 A CN 102862974A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- heterojunction
- carbon
- array structure
- carbon nanotube
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 131
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 86
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 86
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 25
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims abstract description 6
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical group CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 28
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 3
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical group C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007735 ion beam assisted deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002079 double walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
本发明涉及异质结碳纳米管垂直阵列结构的可控制备领域，具体为一种具有异质结碳（氮掺杂/未掺杂）的碳纳米管垂直阵列结构的可控制备方法。异质结也指分子内节，是由两种不同类型的碳纳米管即氮掺杂和未掺杂碳纳米管在连接处形成。以沉积在Si基片或SiOX/Si基片上的铁为催化剂，利用化学气相沉积法，在碳纳米管垂直阵列生长过程中，适时加入氮源，获得氮掺杂/未掺杂的碳纳米管异质结垂直阵列，并可对异质结的长度、个数和结构等进行有效、精确控制。本发明提供的可控制备异质结垂直阵列结构的方法简单，异质结结构明显，且异质结过渡区窄、结构均一，可望在二极管、纳米开关、放大器等领域获得应用。
Description
技术领域：
本发明涉及异质结碳纳米管垂直阵列结构的可控制备领域，具体为一种具有异质结碳（氮掺杂/未掺杂）的碳纳米管垂直阵列结构的可控制备方法。
背景技术：
碳纳米管独特的结构特征（一维结构、大长径比、中空管腔、大比表面积等）和优异的力学、电学、光学、热学和化学性质使其在复合材料、纳电子与光电子器件、传感器、能源与催化等领域具有广泛的应用前景。
两种不同结构或者不同类型的碳纳米管可在连接处形成异质结。碳纳米管异质结的种类很多，包括不同手性、结构、成分的单壁碳纳米管（SWNT）/SWCNT；或者成分结构不同的多壁碳纳米管（MWCNT）/MWCNT。已有研究表明不同手性的SWCNT/SWCNT或氮掺杂多壁碳纳米管（N-MWCNT）/MWCNT（文献1，Y.Yao,Q.Li,J.Zhang,R.Liu,L.Jiao,Y.T.Zhu,Z.Liu.Nature materials,6,283-286(2007);文献2，K.Xiao,Y.Q.Liu,P.A.Hu,G.Yu,W.P.Hu,D.B.Zhu,X.Y.Liu,H.M.Liu,D.X.Wu.Applied Physics A 83,5356,(2006);文献3，Y.Chai,X.L.Zhou,P.J.Li,W.J.Zhang,Q.F.Zhang,J.L.Wu.Nanotechnology 16,2134-2137,(2005);W.J.Zhang,Q.F.Zhang,Y.Chai,X.Shen,J.L.Wu,Nanotechnology 18,395205,(2007).）构成的异质结表现出二极管的性质，这引起了科学家们的广泛关注。然而文献报道的这两种异质结是在合成过程中随机生成的，很难根据应用需求实现对其结构的精确控制。因而，可控制备碳纳米管异质结是其性能和应用开发的重要基础和前提。
目前，碳纳米管垂直阵列结构的可控制备已取得了很大进展，2004年Haa小组提出的“H2O”辅助超级生长法合成的SWCNT垂直阵列高度达到mm级别。其他小组也陆续提出了高效生长单壁、双壁和多壁碳纳米管阵列结构的制备方法。长度可控定向排列的碳纳米管垂直阵列有利于碳纳米管的性能研究及其在器件中的应用。因而，具有异质结结构的碳纳米管垂直阵列的可控制备，将极大地推动碳纳米管在纳电子器件中的应用。
目前的主要问题是：如何制备含有异质结的碳纳米管垂直阵列，并对异质结的长度、结构和成分等进行有效调控。
发明内容：
本发明的目的是提供一种简单制备具有异质结（氮掺杂/未掺杂）的碳纳米管垂直阵列结构的方法，可以对异质结的长度、个数和结构等进行有效、精确控制。
本发明是通过以下技术方案实现：
一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，以沉积在Si基片或SiOX/Si基片上的铁为催化剂，碳源为碳氢有机物，含氮碳源为乙腈，采用化学气相沉积法，先在Ar/H2混合气氛下，用碳氢有机物合成未掺杂的碳纳米管，根据需要生长一段时间后，用Ar气载入乙腈蒸气，生长氮掺杂碳纳米管，获得不同结构的氮掺杂/未掺杂碳纳米管垂直阵列。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，铁沉积在Si基片或SiOX/Si基片上的方法采用离子束辅助沉积法，沉积铁膜的厚度为：0.5nm～10nm。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，碳源为乙烯、乙炔或乙醇。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，氮掺杂量为：0.1～5at%。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，异质结的个数、长度、结构精确可控，异质结的个数范围为1～10个，掺杂及未掺杂部分碳纳米管垂直阵列结构的长度可控范围为1μm～5mm，异质结的结构：直径为2～50nm，长度为5nm～100nm，氮掺杂碳管为竹节状或管状。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，异质结的个数通过改变含氮碳源通入的次数来控制，长度通过碳源、含氮碳源的通入时间、碳管生长温度、催化剂浓度控制，异质结碳管的弯曲度、直径、结晶度通过调控氮掺杂量进行调控。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，异质结分界处结构明显、过渡区短而均匀，过渡区在50nm以内。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，催化剂在Ar/H2混合气氛、650～850℃下处理5～60分钟，然后将催化剂推至低温区，低温区的温度为20～30℃。
所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，异质结阵列结构的生长温度为7001000℃，到达生长温度后，将沉积有催化剂的Si基片或SiOX/Si基片推至反应区，通入碳源开始生长碳纳米管垂直阵列，根据需要生长一段时间后，将通入含氮碳源，调低碳源的流量，碳源的流量最低为零，从而获得未掺杂/氮掺杂的碳纳米管异质结垂直阵列。
本发明的优点是：
1、异质结也指分子内节，是由两种不同类型的碳纳米管即氮掺杂和未掺杂碳纳米管在连接处形成。本发明方法可通过简单的调控含氮碳源的通入及碳源的流量，直接制备氮掺杂/未掺杂分子内节的异质结碳纳米管垂直阵列，在异质结分界处碳纳米管的结构变化明显且均一，异质结分界点处的长度仅为几十纳米。
2、本发明方法可以精确调控异质结碳纳米管垂直阵列中掺杂及未掺杂部分的长度、异质结个数、碳管结构，这种阵列结构的异质结控制制备为碳纳米管在为纳电子器件上的应用奠定了基础。
3、本发明利用化学气相沉积法，在沉积有催化剂粒子的Si基片或SiOX/Si基片上，通过调控含氮碳源的通入，生长出氮掺杂/未掺杂异质结构的碳纳米管垂直阵列，同时通过调控生长条件，实现了对异质结位置、长度、结构等的精确调控。
附图说明
图1为异质结碳纳米管垂直阵列结构的生长过程示意图。
图2为异质结碳纳米管垂直阵列结构的扫描电镜（a）和透射电镜照片（b）。
图3为含两个异质结的碳纳米管垂直阵列结构的扫描电镜照片。
具体实施方式
本发明提供一种具有异质结（氮掺杂/未掺杂）碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，采用化学气相沉积法制备，包括如下步骤：
（1）生长基底的清洗：首先将Si基片或SiOX/Si基片（Si基片表面覆盖一层无定形的SiOX）在乙醇、丙酮、乙醇中依次超声清洗10分钟，之后用乙醇冲洗干净，并用高纯N2气吹干基片表面。
（2）离子溅射制备催化剂薄膜：利用电离的Ar离子轰击靶材表面进而在基底上沉积薄膜，镀膜过程中基底处于室温。镀膜速度可调，膜厚度由设备的石英传感器测定。
（3）将化学气相沉积炉升温到催化剂预处理温度（一般650～850℃）并恒温一段时间后（一般为5～60分钟），将沉积有催化剂的Si基片或SiOX/Si基片置于两端开口的小石英管中，将CVD炉抽真空至10Pa，通入Ar/H2气体（Ar、H2按任意比例的混合气体。优选地，按体积比，H285～95%，Ar5～15%），恢复至常压，打开尾气阀，使石英管内的气氛维持常压。用推杆将小石英管推至恒温区，预处理还原催化剂薄膜，从而获得高密度的催化剂纳米粒子。之后，用推杆将催化剂推回至低温区，低温区的温度为20～30℃，将化学气相沉积炉升温到碳纳米管生长温度，通入碳源生长碳纳米管垂直阵列；生长特定时间后，打开Ar气载入乙腈(水浴温度30～70℃)蒸气，调低碳源的流量（最低为零），开始生长氮掺杂碳纳米管垂直阵列。从而，获得未掺杂/氮掺杂的碳纳米管异质结垂直阵列。
下面通过实施例和附图对本发明进一步详细说明。
实施例1
如图1所示，制备异质结碳纳米管垂直阵列结构的实验步骤具体为：利用离子束辅助沉积法在清洗干净的SiO2/Si基片沉积一层20nm厚的A12O3阻挡层，然后沉积2nm厚的Fe膜用以制备Fe催化剂纳米粒子。Fe催化剂薄膜在Ar/H2气氛下，750℃热处理还原10min，团聚形成纳米粒子用作后续的碳纳米管生长。通入80sccm的C2H4作为碳源生长碳纳米管垂直阵列，在900℃下生长5分钟后，打开携带乙腈的Ar气阀门，利用10ml/min的氩气携带温度为30℃的乙腈流进反应区，氮掺杂碳纳米管阵列开始生长，异质结在两种碳纳米管的界面处形成。在900℃下生长5分钟后，关闭H2/C2H4气和载乙腈气的Ar气，通入大流量Ar气清洗反应炉腔室，将装样品的小石英管推至低温区，待样品降至室温，关闭Ar气，取出。获得的异质结碳纳米管垂直阵列结构的扫描电镜和透射电镜照片如图2所示，氮掺杂部分碳纳米管垂直阵列长度为3μm，未掺杂部分碳纳米管垂直阵列长度为20μm，其中氮掺杂部分的氮掺量为0.8at%，掺杂与未掺杂部分分界处宽10nm。本实施例中，异质结的结构：直径为8nm，长度为30nm，氮掺杂碳管为管状结构。
实施例2
利用离子束辅助沉积法在清洗干净的SiO2/Si基片沉积一层20nm厚的Al2O3阻挡层，然后沉积3nm厚的Fe膜用以制备Fe催化剂纳米粒子。Fe催化剂薄膜在Ar/H2气氛下，700℃热处理还原15min，团聚形成纳米粒子用作后续的碳纳米管生长。将催化剂迅速推回至低温区，将反应炉温度升高至850℃，将催化剂推至反应区，通入50sccm的C2H4作为碳源生长碳纳米管垂直阵列；生长10分钟后，将C2H4的流速降至0sccm，打开携带乙腈的Ar气阀门，利用30ml/min的氩气携带温度为50℃的乙腈流进反应区，氮掺杂碳纳米管阵列开始生长，异质结在两种碳纳米管的界面处形成。在850℃下生长10分钟后，关闭H2/C2H4气和载乙腈气的Ar气，通入大流量Ar气清洗反应炉腔室，将装样品的小石英管推至低温区，待样品降至室温，关闭Ar气，取出。氮掺杂部分碳纳米管垂直阵列长度为10μm，未掺杂部分碳纳米管垂直阵列长度为200μm，其中氮掺杂部分的氮掺量为3at%，掺杂与未掺杂部分分界处宽20nm。本实施例中，异质结的结构：直径为15nm，长度为50nm，氮掺杂碳管为竹节状。
实施例3
利用离子束辅助沉积法在清洗干净的SiO2/Si基片沉积一层20nm厚的Al2O3阻挡层，然后沉积10nm厚的Fe膜用以制备Fe催化剂纳米粒子。Fe催化剂薄膜在Ar/H2气氛下，750℃热处理还原10min，团聚形成纳米粒子用作后续的碳纳米管生长。将催化剂迅速推回至低温区，将化学气相沉积炉迅速升温至800℃，将催化剂推至反应区，通入150sccm的C2H4作为碳源生长碳纳米管垂直阵列；生长1分钟后，将C2H4的流速降至50sccm，打开携带乙腈的Ar气阀门，利用20ml/min的氩气携带温度为60℃的乙腈流进反应区，氮掺杂碳纳米管阵列开始生长，异质结在两种碳纳米管的界面处形成。在800℃下生长3分钟后，关闭载乙腈气的Ar气，将C2H4的气体流速调回至150sccm，继续生长未掺杂的碳纳米管垂直阵列5分钟，关闭H2/C2H4气，通入大流量Ar气清洗反应炉腔室，将装样品的小石英管推至低温区，待样品降至室温，关闭Ar气，取出。获得的异质结碳纳米管垂直阵列结构的扫描电镜和照片如图3所示，氮掺杂部分碳纳米管垂直阵列长度为4μm，未掺杂部分碳纳米管垂直阵列长度分别约为4μm和10μm，其中氮掺杂部分的氮掺量为1.5at%，掺杂与未掺杂部分分界处宽约15nm。本实施例中，异质结的结构：直径为50nm，长度为80nm，氮掺杂碳管为竹节状结构。
实施例结果表明，本发明以沉积在Si基片或SiOX/Si基片上的铁为催化剂，利用化学气相沉积法，在碳纳米管垂直阵列生长过程中，适时加入氮源，获得氮掺杂/未掺杂的碳纳米管异质结垂直阵列，并可对异质结的长度、个数和结构等进行有效、精确控制。本发明提供的可控制备异质结垂直阵列结构的方法简单，异质结结构明显，且异质结过渡区窄、结构均一，可望在二极管、纳米开关、放大器等领域获得应用。
Claims (9)
1.一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，以沉积在Si基片或SiOX/Si基片上的铁为催化剂，碳源为碳氢有机物，含氮碳源为乙腈，采用化学气相沉积法，先在Ar/H2混合气氛下，用碳氢有机物合成未掺杂的碳纳米管，根据需要生长一段时间后，用Ar气载入乙腈蒸气，生长氮掺杂碳纳米管，获得不同结构的氮掺杂/未掺杂碳纳米管垂直阵列。
2.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，铁沉积在Si基片或SiOX/Si基片上的方法采用离子束辅助沉积法，沉积铁膜的厚度为：0.5nm～10nm。
3.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，碳源为乙烯、乙炔或乙醇。
4.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，氮掺杂量为：0.1～5at%。
5.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，异质结的个数、长度、结构精确可控，异质结的个数范围为1～10个，掺杂及未掺杂部分碳纳米管垂直阵列结构的长度可控范围为1μm～5mm，异质结的结构：直径为2～50nm，长度为5nm～100nm，氮掺杂碳管为竹节状或管状。
6.按照权利要求5所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，异质结的个数通过改变含氮碳源通入的次数来控制，长度通过碳源、含氮碳源的通入时间、碳管生长温度、催化剂浓度控制，异质结碳管的弯曲度、直径、结晶度通过调控氮掺杂量进行调控。
7.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，异质结分界处结构明显、过渡区短而均匀，过渡区在50nm以内。
8.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，催化剂在Ar/H2混合气氛、650～850℃下处理5～60分钟，然后将催化剂推至低温区，低温区的度为20～30℃。
9.按照权利要求1所述的具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法，其特征在于，异质结阵列结构的生长温度为700～1000℃，到达生长温度后，将沉积有催化剂的Si基片或SiOX/Si基片推至反应区，通入碳源开始生长碳纳米管垂直阵列，根据需要生长一段时间后，将通入含氮碳源，调低碳源的流量，碳源的流量最低为零，从而获得未掺杂/氮掺杂的碳纳米管异质结垂直阵列。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210345378.6A CN102862974B (zh) | 2012-09-17 | 2012-09-17 | 一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210345378.6A CN102862974B (zh) | 2012-09-17 | 2012-09-17 | 一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102862974A true CN102862974A (zh) | 2013-01-09 |
| CN102862974B CN102862974B (zh) | 2014-10-29 |
Family
ID=47442157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210345378.6A Active CN102862974B (zh) | 2012-09-17 | 2012-09-17 | 一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102862974B (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103303904A (zh) * | 2013-06-13 | 2013-09-18 | 中国科学院金属研究所 | 非金属氧化硅为催化剂优先生长金属性单壁碳纳米管方法 |
| CN107452945A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-12-08 | 东莞市迈科科技有限公司 | 一种具有氮掺杂碳包覆层的钛酸锂负极材料的制备方法 |
| CN110911650A (zh) * | 2018-09-14 | 2020-03-24 | 宝山钢铁股份有限公司 | 三维氮掺杂碳管-碳管锂离子电池负极材料的制备方法 |
| CN118308708A (zh) * | 2024-05-16 | 2024-07-09 | 浙江普乐斯新能源有限公司 | 一种利用pecvd制备氮掺杂的碳杆阵列的方法及应用 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101508421A (zh) * | 2009-04-01 | 2009-08-19 | 北京师范大学 | 用于场电子发射器的碳纳米纤维/碳纳米管异质纳米阵列及其制备技术 |
| CN102502573A (zh) * | 2011-10-19 | 2012-06-20 | 沈阳建筑大学 | 一种碳基纳米管同轴异质结及其模板法组装工艺 |
-
2012
- 2012-09-17 CN CN201210345378.6A patent/CN102862974B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101508421A (zh) * | 2009-04-01 | 2009-08-19 | 北京师范大学 | 用于场电子发射器的碳纳米纤维/碳纳米管异质纳米阵列及其制备技术 |
| CN102502573A (zh) * | 2011-10-19 | 2012-06-20 | 沈阳建筑大学 | 一种碳基纳米管同轴异质结及其模板法组装工艺 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| ERYANG XU, JINQUAN WEI, KUNLIN WANG ET AL: "Doped carbon nanotube array with a gradient of nitrogen concentration", 《CARBON》 * |
| YONG CAO,BINGTAO LIU ET AL: "Preparation of CNx/Carbon Nanotube Intramolecular Junctions by Switching Gas Sources in Continuous Chemical Vapour Deposition", 《SOUTH AFRICAN JOURNAL OF CHEMISTRY》 * |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103303904A (zh) * | 2013-06-13 | 2013-09-18 | 中国科学院金属研究所 | 非金属氧化硅为催化剂优先生长金属性单壁碳纳米管方法 |
| CN103303904B (zh) * | 2013-06-13 | 2014-12-03 | 中国科学院金属研究所 | 非金属氧化硅为催化剂优先生长金属性单壁碳纳米管方法 |
| CN107452945A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-12-08 | 东莞市迈科科技有限公司 | 一种具有氮掺杂碳包覆层的钛酸锂负极材料的制备方法 |
| CN110911650A (zh) * | 2018-09-14 | 2020-03-24 | 宝山钢铁股份有限公司 | 三维氮掺杂碳管-碳管锂离子电池负极材料的制备方法 |
| CN118308708A (zh) * | 2024-05-16 | 2024-07-09 | 浙江普乐斯新能源有限公司 | 一种利用pecvd制备氮掺杂的碳杆阵列的方法及应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102862974B (zh) | 2014-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Li et al. | How catalysts affect the growth of single‐walled carbon nanotubes on substrates | |
| Geng et al. | Graphene single crystals: size and morphology engineering | |
| Huang et al. | Oriented long single walled carbon nanotubes on substrates from floating catalysts | |
| Liu et al. | Aligned multi-walled carbon nanotubes on different substrates by floating catalyst chemical vapor deposition: critical effects of buffer layer | |
| CN103303904B (zh) | 非金属氧化硅为催化剂优先生长金属性单壁碳纳米管方法 | |
| CN104005004B (zh) | 一种小直径、金属性单壁碳纳米管的生长方法和应用 | |
| CN102862974B (zh) | 一种具有异质结的碳纳米管垂直阵列结构的制备方法 | |
| CN110182788A (zh) | 一种高收率制备碳纳米管的装置及方法 | |
| CN103771389B (zh) | 管径均匀的碳纳米管阵列及其生长方法 | |
| CN102020262B (zh) | 一种无金属催化剂高效生长单壁纳米碳管的方法 | |
| Peng et al. | Diameter-controlled growth of aligned single-walled carbon nanotubes on quartz using molecular nanoclusters as catalyst precursors | |
| CN104098079A (zh) | 浮动催化法制备碳纳米管薄膜的方法 | |
| CN114212772B (zh) | 一种制备单壁碳纳米管@六方氮化硼复合薄膜的方法 | |
| CN107128901A (zh) | 一种定向有序碳纳米管制备方法 | |
| CN108910868B (zh) | 一种在绝缘衬底上制备石墨烯枝晶的方法 | |
| CN100402420C (zh) | 一种异径单壁碳纳米管的制备方法 | |
| CN107915217B (zh) | 一种非金属催化剂SiC制备半导体性单壁碳纳米管的方法 | |
| CN103466597A (zh) | 氮在碳网格上的少量掺杂生长金属性单壁碳纳米管的方法 | |
| JP4977982B2 (ja) | 線状炭素材料の製造方法及び機能デバイスの製造方法 | |
| CN107337198B (zh) | 一种基于单壁碳纳米管的仿蜘蛛网结构材料及其制备方法 | |
| Donnet et al. | Mechanism growth of multiwalled carbon nanotubes on carbon black | |
| KR101415228B1 (ko) | 1차원 탄소 나노섬유의 합성 방법 | |
| KR20120005683A (ko) | 브랜치드 나노와이어의 제조방법 | |
| Tang et al. | Atomic layer deposition of Al2O3 catalysts for narrow diameter distributed single-walled carbon nanotube arrays growth | |
| KR101005331B1 (ko) | 벽수조절이 가능한 탄소나노튜브의 성장방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |