CN101364563A - 定位机构及运用此定位机构的基板载台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种定位机构及运用此定位机构的基板载台。该定位机构，适用于一基板载台。基板载台包括本体以及承载件。承载件具有限位部，并适于沿着第一方向相对于本体由第一位置移动至第二位置。定位机构包括基座、多个限位件以及驱动单元。基座固定于本体。这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相对于基座转动。当承载件沿着第一方向的相反方向移动至第三位置时，这些限位件与限位部产生干涉，以限制承载件沿着第一方向的相反方向移动。第三位置位于第一位置与第二位置之间。

Description

定位机构及运用此定位机构的基板载台

技术领域

本发明是有关于一种定位机构(POSITIONING MECHANISM)，且特别是有关于一种运用于基板载台(SUBSTRATE STAGE)的定位机构。

背景技术

等离子体工艺(plasma process)是半导体工艺中最重要工艺之一，其可用以执行包括沉积(deposition)、蚀刻(etching)与清洁(cleaning)等工艺。随着科技的发展，目前已有部分运用于等离子体工艺的基板载台只需通过调整其操作参数(如改变电极板与承载件的间距与操作功率)即可用以执行不同的工艺，或者是用以沉积不同的材料层。其中，为了改变电极板与承载件之间距，上述的基板载台通常会组装有定位机构。

图1A与图1B为已知一种运用于等离子体工艺的基板载台的结构示意图，而图2A为已知一种定位机构的结构示意图，且图2B为图2A沿I-I线的剖面图。请先参考图1A、图2A与图2B，基板载台100包括本体110、电极板120、承载件130以及定位机构140。电极板120固定于本体110上，而承载件130组装于本体110的贯孔112中，并可沿着贯孔112相对于本体110移动，以带动承载于承载件130上的基板200移动。定位机构140包括马达142、连接件144以及夹头146，且连接件144连接于马达142与夹头146之间。马达142转动时会通过连接件144带动夹头146转动，以使夹头146与承载件130的限位部132产生干涉，进而改变电极板120与承载件130的间距。

更详细而言，当夹头146位于限位部132的移动路径之外时，承载件130可向上移动至第一位置(如图1A所示)。此时，限位部132的上缘接触本体110的下缘，且电极板120与承载件130的间距为D1。当基板载台100要对基板200执行不同的工艺或沉积不同的材料层时，承载件130可先向下移动至第二位置，以使夹头146可由本体110与限位部132之间进入限位部132的移动路径上。然后，当承载件130再度向上移动时，夹头146会与限位部132产生干涉，以使承载件130只能向上移动至第三位置(如图1B与图2A所示)。此时，限位部132的上缘接触定位机构140的下缘，且电极板120与承载件130的间距为D2。

值得注意的是，由于夹头146转动至限位部132的移动路径上时，其内缘会敲击到承载件130的外缘而使锁固于马达142的轴心上的螺丝148松脱或位移。因此，已知定位机构140容易产生连接件144与夹头146脱落或夹头146无法转动至定位的问题，进而并使承载件130无法被定位于第三位置。此时，由于电极板120与承载件130的间距可能会小于间距D2而使埋设于承载件130中的螺帽134所承受的磁力增加，进而造成螺帽134凸出或掉落于承载件130的上表面。因此，下一片基板200的成品率容易因为承载件130的上表面不平整而降低。

另外，由于承载件130沿着贯孔112上下移动时，其外缘会与夹头146的内缘摩擦，进而带动夹头146上下移动。因此，已知定位机构140容易产生连接件144断裂或变形的问题。

发明内容

本发明提供一种定位机构，其在操作时可具有较高的稳定度。

本发明提供一种基板载台，其所使用的定位机构的结构强度较高。

本发明提出一种定位机构，适用于基板载台。基板载台包括本体以及承载件。承载件具有限位部，并适于沿着第一方向相对于本体由第一位置移动至第二位置。定位机构包括基座、多个限位件以及驱动单元。基座固定于本体，而这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相对于基座转动。当承载件沿着第一方向的相反方向移动至第三位置时，这些限位件与限位部产生干涉，以限制承载件沿着第一方向的相反方向移动。其中，第三位置位于第一位置与第二位置之间。

在本发明的一实施例中，上述的各限位件包括夹头(chuck)以及滑块。这些夹头枢接于基座，且驱动单元适于带动这些夹头相对于基座转动，而这些滑块滑设于这些夹头。当承载件由第二位置朝向第三位置移动时，承载件通过限位部带动这些滑块沿着第一方向的相反方向相对于这些夹头滑动，而当承载件移动至第三位置时，这些滑块与限位部产生干涉。

在本发明的一实施例中，上述的各限位件还包括多个插销。这些插销的一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插销连接至这些夹头，并适于沿着这些插销相对于这些夹头滑动。

在本发明的一实施例中，上述的定位机构还包括多个轴心与多个第一轴承。这些限位件的一端通过这些轴心与这些第一轴承枢接于基座，而驱动单元连接于这些限位件其中之一的另一端，以带动这些限位件沿着对应的这些轴心相对于基座转动。

在本发明的一实施例中，上述的定位机构还包括多个第一连杆。这些限位件的一端通过这些第一连杆相互连接，以使驱动单元带动这些限位件其中之一沿着对应的轴心转动时，限位件会通过这些第一连杆带动其他的限位件沿着对应的这些轴心转动。

在本发明的一实施例中，上述的定位机构还包括多个轴承。这些限位件的一端通过部分的这些轴承连接于这些轴心，且这些第一连杆通过另一部分的这些轴承枢接于这些限位件的一端。

在本发明的一实施例中，上述的驱动单元包括马达、套筒、螺栓以及第二连杆。马达具有转轴，而套筒套设于转轴，且套筒通过螺栓锁固于转轴上。第二连杆的一端枢接于套筒，而第二连杆的另一端枢接于这些限位件其中之一的另一端。

在本发明的一实施例中，上述的套筒还具有第一凸出部，而这些限位件其中之一还具有第二凸出部。第二连杆的一端枢接于第一凸出部，而第二连杆的另一端枢接于第二凸出部。

在本发明的一实施例中，上述的基座包括第一连接板、第二连接板以及多个连接件。第一连接板固定于本体，而这些连接件配置于第一连接板与第二连接板之间，且这些限位件分别枢接于第一连接板与第二连接板之间。

在本发明的一实施例中，上述的基座还包括多个锁固构件。第一连接板通过部分的这些锁固构件固定于本体，且第一连接板与第二连接板通过另一部分的这些锁固构件连接至这些连接件。

本发明还提出一种基板载台，包括本体、承载件以及定位机构。承载件具有限位部，并适于沿着第一方向相对于本体由第一位置移动至第二位置。定位机构包括基座、多个限位件以及驱动单元。基座固定于本体，而这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相对于基座转动。当承载件沿着第一方向的相反方向移动至第三位置时，限位件与限位部产生干涉，以限制承载件沿着第一方向的相反方向移动。其中，第三位置位于第一位置与第二位置之间。

在本发明的一实施例中，上述的各限位件包括夹头以及滑块。这些夹头枢接于基座，且驱动单元适于带动这些夹头相对于基座转动，而这些滑块滑设于这些夹头。当承载件由第二位置朝向第三位置移动时，承载件通过限位部带动这些滑块沿着第一方向的相反方向相对于这些夹头滑动，而当承载件移动至第三位置时，这些滑块与限位部产生干涉。

在本发明的一实施例中，上述的各限位件还包括多个插销。这些插销的一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插销连接至这些夹头，并适于沿着这些插销相对于这些夹头滑动。

在本发明的一实施例中，上述的定位机构还包括多个轴心。这些限位件的一端通过这些轴心枢接于基座，而驱动单元连接于这些限位件其中之一的另一端，以带动这些限位件沿着对应的这些轴心相对于基座转动。

在本发明的一实施例中，上述的定位机构还包括多个第一连杆。这些限位件的一端通过这些第一连杆相互连接，以使驱动单元带动这些限位件其中之一沿着对应的轴心转动时，限位件会通过这些第一连杆带动其他的限位件沿着对应的这些轴心转动。

在本发明的一实施例中，上述的定位机构还包括多个轴承。这些限位件的一端通过部分的这些轴承连接于这些轴心，且这些第一连杆通过另一部分的这些轴承枢接于这些限位件的一端。

在本发明的一实施例中，上述的驱动单元包括马达、套筒、螺栓以及第二连杆。马达具有转轴，而套筒套设于转轴，且套筒通过螺栓锁固于转轴上。第二连杆的一端枢接于套筒，而第二连杆的另一端枢接于这些限位件其中之一的另一端。

在本发明的一实施例中，上述的套筒还具有第一凸出部，而这些限位件其中之一还具有第二凸出部。第二连杆的一端枢接于第一凸出部，而第二连杆的另一端枢接于第二凸出部。

在本发明的一实施例中，上述的基座包括第一连接板、第二连接板以及多个连接件。第一连接板固定于本体，而这些连接件配置于第一连接板与第二连接板之间，且这些限位件分别枢接于第一连接板与第二连接板之间。

在本发明的一实施例中，上述的基座还包括多个锁固构件。第一连接板通过部分的这些锁固构件固定于本体，且第一连接板与第二连接板通过另一部分的这些锁固构件连接至这些连接件。

由于本发明的定位机构是通过多个限位件与基板载台的限位部产生干涉。因此，定位机构在操作时可具有较高的稳定度。另外，本发明的定位机构的结构强度较高，因此，其操作时的可靠性较高。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图示，作详细说明如下。

附图说明

图1A与图1B为已知一种运用于等离子体工艺的基板载台的结构示意图。

图2A为已知一种定位机构的结构示意图

图2B为图2A沿I-I线的剖面图。

图3A与图4A为本发明一实施例的一种基板载台的结构示意图。

图3B为图3A沿II-II线的剖面图。

图4B为图4A沿III-III线的剖面图。

附图标记说明

100：基板载台

110：本体

112：贯孔

120：电极板

130：承载件

132：限位部

134：螺帽

140：定位机构

142：马达

144：连接件

146：夹头

148：螺丝

200：基板

D1、D2：间距

300：基板载台

310：本体

312：贯孔

314：连接柱体

320：承载件

322：柱体

324：限位部

400：定位机构

410：基座

412、414：连接板

416：连接件

418：锁固构件

420：限位件

422：夹头

424：滑块

426：插销

4222、4342：凸出部

430：驱动单元

432：马达

4322：转轴

434：套筒

436：螺栓

438、460：连杆

440：垫片

450：轴心

470：轴承

500a、500b：方向

600a、600b：箭头

具体实施方式

图3A与图4A为本发明一实施例的一种基板载台的结构示意图。图3B为图3A中的定位机构的立体图。图4B为图4A中的定位机构的立体图。请先参考图3A，基板载台300包括本体310、承载件320以及定位机构400。承载件320的柱体322例如是组装于本体310的贯孔312中，并具有位于柱体322上的限位部324。柱体322适于在贯孔312中沿着第一方向500a相对于本体310移动，以使承载件320可由以虚线所绘制的第一位置移动至以实线所绘制的第二位置。其中，当承载件320位于第一位置时，限位部324的上缘例如是远离本体310的下缘，而当承载件320位于第二位置时，限位部324的上缘例如是接触本体310的下缘。

定位机构400包括基座410、多个限位件420以及驱动单元430。基座410固定于本体310，而这些限位件420分别枢接于基座410，并环绕承载件320的柱体322配置。驱动单元430连接于这些限位件420其中之一。当承载件320由第一位置(如图3A中的实线所示)移动至第二位置(如图3A中的虚线所示)时，限位件420不会与限位部324产生干涉。当承载件320位于第二位置时，驱动单元430可带动这些限位件420相对于基座410转动至限位部324在第二方向500b上的移动路径中。然后，当承载件320沿着第二方向500b移动至如图4A所示的第三位置时，限位件420会与限位部324产生干涉，以限制承载件320沿着第二方向500b移动。其中，第一方向500a相反于第二方向500b，而第三位置(如图4A所示)位于第一位置(如图3A中的实线所示)与第二位置(如图3A中的虚线所示)之间。

简单来说，承载件320沿着第二方向500b移动时，承载件320可通过其限位部324与限位件420产生干涉与否而移动至两个不同的位置。因此，承载件320与本体310可具有如图3A与图4A所示的两种不同的相对位置。另外，相较于已知技艺中的定位机构140，本发明的定位机构400是通过多个环绕承载件320配置的限位件420与限位部324产生干涉，以限制承载件320沿着第二方向500b移动。因此，本发明的结构强度会较高，且其操作时的稳定度亦会较高，而限位部324的受力也会较为平均。以下将详细说明定位机构400的结构与作动方式。

请参考图3A至图4B，在此实施例中，本体310例如是具有三个连接柱体314，而基座410则例如是由第一连接板412、第二连接板414以及三个连接件416所组成。第一连接板412与第二连接板414的外形大致上呈正三角形。第一连接板412的三个端点例如是分别通过锁固构件418与垫片440固定于这些连接柱体314。再者，第二连接板414的三个端点例如是分别通过锁固构件418连接至这些连接件416的一端，而第一连接板412则例如是通过锁固构件418连接至这些连接件416的另一端。

值得注意的是，由于上述实施例中所述的基板载台300的本体310具有三个连接柱体314。因此，第一连接板412的外形大致上设计为正三角形，以使基座410连接至本体310时可不需要修改本体310，以降低更换定位机构400的成本。换句话说，当基板载台300的本体310具有四个或更多连接柱体314时，第一连接板412的外形还可以依照这些连接柱体314的位置设计为其他形状，以连接至至少部分的这些连接柱体314。另外，第二连接板414的外形并不限定为正三角形，且其外型亦可不与第一连接板412的外形相同或相似。换句话说，第一连接板412的外形可以是正三角形，而第二连接板414的外形可以是其他形状。

除此之外，本实施例中的连接柱体314、第一连接板412、第二连接板414与连接件416是通过锁固构件418相互连接。然而，在其他实施例中，锁固构件418还可以用铆钉(rivet)或插销取代。或者，连接柱体314、第一连接板412、第二连接板414与连接件416还可以通过焊接或胶粘的方式相互连接。

另外，本实施例中的定位机构400包括三个限位件420，且还包括三个轴心450以及三个第一连杆460，而各限位件420则例如是由夹头422、滑块424以及两个插销426所组成。这些夹头422的一端可转动的连接于这些轴心450，且这些轴心450的相对两端分别通过锁固构件418连接至第一连接板412与第二连接板414。再者，这些夹头422邻近于这些轴心450的一端通过这些第一连杆460相互连接，以使这些夹头422其中之一沿着对应的轴心450转动时可带动另两个夹头422沿着对应的轴心450转动。这些插销426的一端连接于夹头422远离于轴心450的一端，且其轴向平行于第一方向500a。滑块424的相对两端通过这些插销426连接至夹头422，并适于沿着这些插销426相对于夹头422滑动。

除此之外，驱动单元430例如是由马达432、套筒434、螺栓436以及第二连杆438所组成。套筒434套设于马达432的转轴4322上，并通过螺栓436锁固于转轴4322上。套筒434还具有第一凸出部4342，而这些夹头422其中之一远离于轴心450的一端还具有第二凸出部4222。第二连杆438的相对两端分别枢接于第一凸出部4342与第二凸出部4222。当马达432运转时，套筒434会随着马达432的转轴4322转动，并通过第二连杆438带动这些夹头422沿着对应的轴心450转动，以使这些滑块424转动至限位部324在第二方向500b上的移动路径中。

在此实施例中，柱体322与限位部324例如皆为圆柱体，且限位部324的直径大于柱体322的直径。再者，这些夹头422围绕柱体322而形成的开孔的直径大于限位部324的直径。另外，当这些滑块424位于限位部324在第二方向500b上的移动路径外时，其围绕柱体322而形成的开孔的直径大于限位部324的直径。因此，当承载件320第一位置移动至第二位置时，限位件420不会与限位部324产生干涉。另外，当这些滑块424位于限位部324在第二方向500b上的移动路径上时，其围绕柱体322而形成的开孔的直径略大于柱体322的直径，并小于限位部324的直径。因此，当承载件320移动至如图4A与图4B所示的第三位置时，限位部324会与这些滑块424产生干涉，而使承载件320无法移动至第一位置。

简单来说，当使用者令马达432驱动其转轴4322沿着图4B中箭头600a所示的方向转动时，套筒434会通过第二连杆438拉动这些夹头422沿着对应的轴心450朝向远离柱体322的方向转动。因此，当承载件320要由第二位置沿着第二方向500b移动至第一位置时，这些滑块424不会与限位部324产生干涉。

然而，当使用者令马达432驱动其转轴4322沿着图4A中箭头600b所示的方向转动时，套筒434会通过第二连杆438推动这些夹头422沿着对应的轴心450朝向靠近柱体322的方向转动。因此，当承载件320要由第二位置沿着第二方向500b移动至第三位置时，这些限位部324会先接触到这些滑块424，并带动这些滑块424沿着这些插销426相对于这些夹头422滑动。而当这些滑块424滑动至这些插销426远离于这些夹头422的另一端时，这些滑块424会与限位部324产生干涉，以使承载件320被限制在第三位置而无法移动至第一位置。

值得注意的是，上述实施例并非用以限定本发明。举例来说，定位机构400不仅可以包括三个限位件420，还可以包括数量更多的限位件420。而且，当部分的限位件420无法朝向靠近柱体322的方向转动时，本发明的定位机构400仍可通过其他部分的限位件420与限位部324产生干涉，以使承载件320无法移动至第一位置。举例来说，当这些第一连杆460皆脱落时，被第二连杆438推动的夹头422无法带动其他的夹头422沿着对应的轴心450朝向靠近柱体322的方向转动。但是限位部324仍然可以在第三位置与被第二连杆438推动的夹头422上的滑块424产生干涉，以使承载件320无法移动至第一位置。另外，滑块424并不仅限于通过这些插销426连接至夹头422，还可以利用嵌合或滑槽的方式连接至夹头422。

另外，定位机构400还可以包括多个轴承470。其中，这些限位件420的这些夹头422的一端可通过这些轴承470连接于这些轴心450，而这些第一连杆460的相对两端亦可通过这些轴承470枢接于这些限位件420的一端，以降低这些夹头422与这些第一连杆460在转动时所产生的摩擦力。为了简化图示，本实施例仅绘出连接于这些夹头422与这些第一连杆460之间的轴承470。再者，使用者还可通过设定马达432的转轴4322的最大转动角度，以使这些夹头422沿着对应的轴心450朝向靠近承载件320的方向转动时，位于这些夹头422上的这些滑块424不会敲击承载件320，以防止这些限位件420松脱。

综上所述，本发明的定位机构具有下列优点：

1、由于定位机构的结构强度较高，因此，不仅会较为耐用，而且操作时的稳定度亦会较高。

2、定位机构组装至基板载台时可不需要修改基板载台的本体，因此，可降低更换定位机构的成本。

3、由于定位机构是通过多个限位件与限位部产生干涉，因此，限位部的受力会较为平均。

4、这些夹头的一端可通过这些轴承连接于这些轴心，而这些第一连杆的相对两端亦可通过这些轴承枢接于这些限位件的一端，以降低这些夹头与这些第一连杆在转动时所产生的摩擦力。

5、定位机构可通过设定马达的转轴的最大转动角度，以使这些夹头沿着对应的轴心朝向靠近承载件的方向转动时，位于这些夹头上的这些滑块不会敲击承载件，以防止这些限位件松脱。

6、由于这些夹头是通过这些第一连杆相互牵引，而使驱动单元带动这些夹头其中之一转动时会同时带动其他的夹头转动，因此，其耐疲劳度较高。

虽然本发明已以优选实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求所界定者为准。

Claims (20)

1.一种定位机构，适用于基板载台，其中该基板载台包括本体以及承载件，该承载件具有限位部，且该承载件适于沿着第一方向相对于该本体由第一位置移动至第二位置，该定位机构包括：

基座，固定于该本体；

多个限位件，分别枢接于该基座，并环绕该承载件配置；以及

驱动单元，连接于这些限位件其中之一，其中当该承载件位于该第二位置时，该驱动单元带动这些限位件相对于该基座转动，当该承载件沿着第二方向移动至第三位置时，这些限位件与该限位部产生干涉，以限制该承载件沿着该第二方向移动，其中该第二方向与该第一方向相反，该第三位置位于该第一位置与该第二位置之间。

2.如权利要求1所述的定位机构，其中各该限位件包括：

夹头，枢接于该基座，且该驱动单元适于带动这些夹头相对于该基座转动；以及

滑块，滑设于该夹头，其中当该承载件由该第二位置朝向该第三位置移动时，该承载件通过该限位部带动这些滑块沿着该第二方向相对于这些夹头滑动，而当该承载件移动至该第三位置时，这些滑块与该限位部产生干涉。

3.如权利要求2所述的定位机构，其中各该限位件还包括多个插销，这些插销的一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插销滑设于这些夹头，并适于沿着这些插销相对于这些夹头滑动。

4.如权利要求1所述的定位机构，还包括多个轴心，其中这些限位件的一端通过这些轴心枢接于该基座，而该驱动单元连接于这些限位件其中之一的另一端，以带动这些限位件沿着对应的这些轴心相对于该基座转动。

5.如权利要求4所述的定位机构，还包括多个第一连杆，其中这些限位件的一端通过这些第一连杆相互连接，以使该驱动单元带动这些限位件其中之一沿着对应的该轴心转动时，该限位件会通过这些第一连杆带动其他的限位件沿着对应的这些轴心转动。

6.如权利要求5所述的定位机构，还包括多个轴承，其中这些限位件的一端通过部分的这些轴承连接于这些轴心，且这些第一连杆通过另一部分的这些轴承枢接于这些限位件的一端。

7.如权利要求4所述的定位机构，其中该驱动单元包括：

马达，具有转轴；

套筒，套设于该转轴；

螺栓，该套筒通过该螺栓锁固于该转轴上；以及

第二连杆，其中该第二连杆的一端枢接于该套筒，而该第二连杆的另一端枢接于这些限位件其中之一的另一端。

8.如权利要求7所述的定位机构，其中该套筒还具有第一凸出部，而这些限位件其中之一还具有第二凸出部，该第二连杆的一端枢接于该第一凸出部，而该第二连杆的另一端枢接于该第二凸出部。

9.如权利要求1所述的定位机构，其中该基座包括：

第一连接板，固定于该本体；

第二连接板；以及

多个连接件，配置于该第一连接板与该第二连接板之间，其中这些限位件分别枢接于该第一连接板与该第二连接板之间。

10.如权利要求9所述的定位机构，其中该基座还包括多个锁固构件，该第一连接板通过部分的这些锁固构件固定于该本体，且该第一连接板与该第二连接板通过另一部分的这些锁固构件连接至这些连接件。

11.一种基板载台，包括：

本体；

承载件，具有限位部，并适于沿着第一方向相对于该本体由第一位置移动至第二位置；

定位机构，包括：

基座，固定于该本体；

多个限位件，分别枢接于该基座，并环绕该承载件配置；以及

驱动单元，连接于这些限位件其中之一，其中当该承载件位于该第二位置时，该驱动单元带动这些限位件相对于该基座转动，当该承载件沿着第二方向移动至第三位置时，这些限位件与该限位部产生干涉，以限制该承载件沿着该第二方向移动，其中该第一方向与该第二方向相反，该第三位置位于该第一位置与该第二位置之间。

12.如权利要求11所述的基板载台，其中各该限位件包括：

夹头，枢接于该基座，且该驱动单元适于带动这些夹头相对于该基座转动；以及

滑块，滑设于该夹头，其中当该承载件由该第二位置朝向该第三位置移动时，该承载件通过该限位部带动这些滑块沿着该第二方向相对于这些夹头滑动，而当该承载件移动至该第三位置时，这些滑块与该限位部产生干涉。

13.如权利要求12所述的基板载台，其中各该限位件还包括多个插销，这些插销的一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插销滑设于这些夹头，并适于沿着这些插销相对于这些夹头滑动。

14.如权利要求11所述的基板载台，其中该定位机构还包括多个轴心，其中这些限位件的一端通过这些轴心枢接于该基座，而该驱动单元连接于这些限位件其中之一的另一端，以带动这些限位件沿着对应的这些轴心相对于该基座转动。

15.如权利要求14所述的基板载台，其中该定位机构还包括多个第一连杆，其中这些限位件的一端通过这些第一连杆相互连接，以使该驱动单元带动这些限位件其中之一沿着对应的该轴心转动时，该限位件会通过这些第一连杆带动其他的限位件沿着对应的这些轴心转动。

16.如权利要求15所述的基板载台，其中该定位机构还包括多个轴承，其中这些限位件的一端通过部分的这些轴承连接于这些轴心，且这些第一连杆通过另一部分的这些轴承枢接于这些限位件的一端。

17.如权利要求14所述的基板载台，其中该驱动单元包括：

马达，具有转轴；

套筒，套设于该转轴；

螺栓，该套筒通过该螺栓锁固于该转轴上；以及

第二连杆，其中该第二连杆的一端枢接于该套筒，而该第二连杆的另一端枢接于这些限位件其中之一的另一端。

18.如权利要求17所述的基板载台，其中该套筒还具有第一凸出部，而这些限位件其中之一还具有第二凸出部，该第二连杆的一端枢接于该第一凸出部，而该第二连杆的另一端枢接于该第二凸出部。

19.如权利要求11所述的基板载台，其中该基座包括：

第一连接板，固定于该本体；

第二连接板；以及

多个连接件，配置于该第一连接板与该第二连接板之间，其中这些限位件分别枢接于该第一连接板与该第二连接板之间。

20.如权利要求19所述的基板载台，其中该基座还包括多个锁固构件，该第一连接板通过部分的这些锁固构件固定于该本体，且该第一连接板与该第二连接板通过另一部分的这些锁固构件连接至这些连接件。

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