CN101220499B - 预镀铜导电极保护装置 - Google Patents
预镀铜导电极保护装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101220499B CN101220499B CN2007101393277A CN200710139327A CN101220499B CN 101220499 B CN101220499 B CN 101220499B CN 2007101393277 A CN2007101393277 A CN 2007101393277A CN 200710139327 A CN200710139327 A CN 200710139327A CN 101220499 B CN101220499 B CN 101220499B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cell body
- copper
- solution district
- electroplating
- transmission axle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
本发明涉及一种预镀铜导电极保护装置,很好地解决了电镀槽中导电阴极很容易产生非致密性铜结晶层的问题,并避免了电镀件即引线框架的在运送过程中所产生的堵料现象,通过在容积槽(5)中增设隔板(10),改进槽体工艺结构,使导电阴极避免接触电镀溶液,解决了导电件阴极容易产生非致密性铜结晶层的问题,并避免了引线框架在运送过程中产生堵料现象,提高了所安装设备的生产效率,降低了设备维护周期。
Description
技术领域
本发明涉及一种为集成电路的引线框架进行连续镀铜的设备,特别涉及一种电镀槽导电阴极的保护装置。
背景技术
目前,在对集成电路的引线框架进行连续镀铜的设备中,阴极导电极一般是直接浸入电解液中的,这种电镀方法很容易产生非致密性铜结晶层,因为,这种电镀方法很容易在导电阴极上产生铜结晶,此铜结晶本身就是一价铜离子,落入镀液后会迅速产生一价铜离子,形成铜粉,造成铜镀层粗糙等质量问题。同时,导电件上铜层的增厚,也会缩小传输辊与导电件间的间隙,使得动态电镀的电镀件即引线框架的运送产生堵料现象。为此设备需要在工作若干时间后对阴极导电件进行退镀清理,防止引线框架运送过程中的堵料。这样就降低了生产线工作的连续性,增加了设备维护时间,降低了生产效率。
发明内容
本发明很好地解决了电镀槽中导电阴极很容易产生非致密性铜结晶层的问题,并避免了电镀件即引线框架在运送过程中所产生的堵料现象,提高了所安装设备的生产效率,降低了设备维护周期,也提高了整机的性价比。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:预镀铜导电极保护装置,包括预镀铜槽体A1、镀铜工件的动态传输机构A2、电镀阴极导电架A3,所述预镀铜槽体A1中设置有中隔板10将槽体分隔成有电镀溶液区T1和无电镀溶液区C1,在有电镀溶液区T1中设置有扬水轴7、阳极板11和阳极导电杆6,槽体A1的前、后两侧板的顶端设置有U形槽,所述的动态传输机构A2中的上传输轴2和下传输轴1的端部插入放置在U形槽中,上传输轴2和下传输轴1设置在无电镀溶液区C1的上方,引线框架从上下传输轴中通过后进入到有电镀溶液区T1中,与扬水轴7所在的有电镀溶液区T1喷出的电镀液接触完成电镀后进入下一个无电镀溶液区C1的上方,这样引线框架依次经过多个有电镀溶液区和无电镀溶液区,最后完成电镀过程,在传输轴2上固定设置有导电套3,所述的电镀阴极导电架A3通过左右两个纵向固定板固定设置在动态传输机构A2上方的预镀铜槽体A1的顶端侧板上,电镀阴极导电架A3中设置有固定连接的引线杆9和导电连接架8,在导电连接架8的下方设置有阴极导电块4,阴极导电块4的一端固定在导电连接架8的下方,另一端与上传输轴2上固定设置的导电套3活动连接。
所述的预镀铜槽体A1中可设置多个中隔板10将槽体A1分隔成若干个间隔的有电镀溶液区T1和无电镀溶液区C1。所述的无电镀溶液区C1内可设置有溢流孔。
预镀铜导电极保护装置通过将工艺槽中的工件导电杆与溶液的分区设置,使引线框架通过时与电镀溶液和阴极导电件间隔的接触,既产生镀铜的电化学反应,又防止溶液与阴极导电件的直接接触,产生非致密性铜结晶层。采用此发明后,生产线在实际运行中极大地降低了设备中停次数,保证了生产的连续进行。
附图说明
图1是本发明的结构示意图
图2是本发明的结构展开图
图3是本发明的溶液槽体示意图
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行说明:预镀铜导电极保护装置是通过在容积槽5中增加隔板10,将原有溶液槽分割成若干无溶液区C1和有溶液区T1;并在无溶液区C1下开有溢流孔和溢流通道,整个容积槽下方及侧方都设置有溢流通道。从而使传输部分A2中的上、下传输轴1、3在原来浸于溶液环境下改为现在的无溶液区C1环境下。扬水传输轴7,阳极板11、阳极导电杆6仍放置于有溶液区T1内。阴极导电块4与上传输轴3上的导电套接触,阴极导电块4通过导电连接架8与引线杆9相连。预镀铜导电极保护装置工作过程是引线框架即工件依靠下传输轴1和上传输轴2在驱动力的作用下,通过相互之间的运动摩檫传送,扬水轴7所在的有溶液区T1的溶液喷流到引线框架上,从而使阳极导电板11与引线框架、阴极导电架A3(阴极由上传输轴3上的导电套与阴极导电块4接触,通过导电连接架和引线杆提供)构成电镀的回路。有溶液区T1中的镀液通过溢流隔板溢流在无溶液区C1内,通过无溶液区C1下的溢流孔及溢流通道流入循环辅槽中。
Claims (3)
1.一种预镀铜导电极保护装置,包括预镀铜槽体(A1)、镀铜工件的动态传输机构(A2)、电镀阴极导电架(A3),其特征在于,所述预镀铜槽体(A1)中设置有中隔板(10)将槽体分隔成有电镀溶液区(T1)和无电镀溶液区(C1),在有电镀溶液区(T1)中设置有扬水轴(7)、阳极板(11)和阳极导电杆(6),槽体(A1)的前、后两侧板的顶端设置有U形槽,所述的动态传输机构(A2)中的上传输轴(2)和下传输轴(1)的端部活动设置在U形槽中,上传输轴(2)和下传输轴(1)设置在无电镀溶液区(C1)的上方,上传输轴(2)上固定设置有导电套(3),所述的电镀阴极导电架(A3)通过左右两个纵向固定板固定设置在动态传输机构(A2)上方的预镀铜槽体(A1)的顶端侧板上,电镀阴极导电架(A3)中设置有固定连接的引线杆(9)和导电连接架(8),在导电连接架(8)的下方设置有阴极导电块(4),阴极导电块(4)的一端固定在导电连接架(8)的下方,另一端与上传输轴(2)上固定设置的导电套(3)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种预镀铜导电极保护装置,其特征在于,所述的预镀铜槽体(A1)中设置有多个中隔板(10)将槽体(A1)分隔成若干个间隔的有电镀溶液区(T1)和无电镀溶液区(C1)。
3.根据权利要求1或2所述的一种预镀铜导电极保护装置,其特征在于,所述的无电镀溶液区(C1)内设置有溢流孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007101393277A CN101220499B (zh) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | 预镀铜导电极保护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007101393277A CN101220499B (zh) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | 预镀铜导电极保护装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101220499A CN101220499A (zh) | 2008-07-16 |
CN101220499B true CN101220499B (zh) | 2010-06-02 |
Family
ID=39630562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2007101393277A Expired - Fee Related CN101220499B (zh) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | 预镀铜导电极保护装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101220499B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104862767B (zh) * | 2015-05-29 | 2017-05-10 | 东莞市开美电路板设备有限公司 | 镀铜槽 |
CN109202209B (zh) * | 2017-07-06 | 2024-07-09 | 镇江大全金属表面处理有限公司 | 一种便捷式镀锡装置 |
CN112522769A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-03-19 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体 |
CN113265695A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-17 | 南京萨特科技发展有限公司 | 合金箔电阻器挂镀治具及方法 |
CN113957492A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-01-21 | 浙江道明光电科技有限公司 | 一种独立分区电铸结构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2437696Y (zh) * | 2000-06-27 | 2001-07-04 | 苏兆辉 | 集成电路引线框生产线选镀槽 |
CN2507871Y (zh) * | 2001-12-04 | 2002-08-28 | 亚智科技股份有限公司 | 防止导电滚轮被电镀装置 |
CN201116312Y (zh) * | 2007-08-29 | 2008-09-17 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 预镀铜导电极保护装置 |
-
2007
- 2007-08-29 CN CN2007101393277A patent/CN101220499B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2437696Y (zh) * | 2000-06-27 | 2001-07-04 | 苏兆辉 | 集成电路引线框生产线选镀槽 |
CN2507871Y (zh) * | 2001-12-04 | 2002-08-28 | 亚智科技股份有限公司 | 防止导电滚轮被电镀装置 |
CN201116312Y (zh) * | 2007-08-29 | 2008-09-17 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 预镀铜导电极保护装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JP特开平5-239697A 1993.09.17 |
JP特开平6-295969A 1994.10.21 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101220499A (zh) | 2008-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101220499B (zh) | 预镀铜导电极保护装置 | |
CN101855390A (zh) | 电镀用阳极组件 | |
GB2387607A (en) | Electrowinning cell | |
US8932439B2 (en) | Electrolytic both for recovering valuable metals, with increased contact specific surface area | |
CN102575365A (zh) | 增大接触比表面积的有价金属回收用电解槽 | |
CN202499923U (zh) | 电镀槽铜球自动添加装置 | |
CN108624943A (zh) | 一种水平连续电镀装置及其制备方法 | |
KR20100018900A (ko) | 접촉 비표면적을 증대시킨 유가금속 회수용 전해조 | |
CN103014785A (zh) | 电镀液、其制备方法及应用此电镀液的镀锌工艺 | |
CN105040035A (zh) | 一种平行射流电解工艺及装置 | |
CN201116312Y (zh) | 预镀铜导电极保护装置 | |
KR101245314B1 (ko) | 수평셀 전기도금 장치 | |
CN102021609B (zh) | 增大接触比表面积的有价金属回收用电解槽 | |
CN101550574A (zh) | 选择性电镀装置 | |
KR101493852B1 (ko) | 강판 도금장치 | |
CN102108531A (zh) | 一种镍电镀液除杂的方法及其除杂设备 | |
CN202509147U (zh) | 一种电镀槽 | |
TWI806328B (zh) | 不溶性陽極酸性硫酸鹽電鍍銅的優化製程及裝置 | |
JP5898346B2 (ja) | 陽極および電解槽の運転方法 | |
CN207376135U (zh) | 应用于电镀领域的粗化液再生槽 | |
CN213977941U (zh) | 一种防止镀膜上侧导电辊镀铜的辅助槽 | |
CN109023458A (zh) | 一种pcb电路板的电镀装置和方法 | |
CN203639592U (zh) | 一种电解槽 | |
CN210657162U (zh) | 对废微蚀刻液进行电积铜的装置 | |
CN210117426U (zh) | 一种用于降低镀液中硫酸铜浓度的连续电解设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100602 Termination date: 20170829 |