CN100464224C - 彩色滤光片及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种彩色滤光片的制作方法，其步骤如下。首先，提供透光基板，并且在透光基板上形成黑色矩阵以在透光基板上定义多个像素区域。接着，在黑色矩阵上涂布感光材料并将其图案化以形成隔离层。然后，分别在这多个像素区域中以喷墨方式填入彩色颜料后，干燥彩色颜料，以形成多个彩色滤光单元。随之，可再次图案化隔离层形成为柱状间隙物结构。隔离层可用作屏障，因此制作彩色滤光片时，彩色颜料不易在喷墨工序中因溢出黑色矩阵而造成混色。另外，以该工序制造的彩色滤光单元具有较佳的膜厚均匀性。

Description

彩色滤光片及其制作方法

技术领域

本发明涉及一种彩色滤光片以及其制造方法，且特别是涉及一种由喷墨印刷方式形成的彩色滤光片以及其制造方法。

背景技术

液晶显示器(liquid crystal display，简称LCD)因为具有低电压操作、无辐射线散射、重量轻以及体积小等传统阴极射线管(cathode ray tube，简称CRT)所制造的显示器无法达到的优点，因此已成为近年来显示器研究的主要课题，且不断地朝向彩色化发展。

利用彩色滤光片可使得液晶显示器进行全彩化显示。近来，发展了一种利用喷墨印刷(inkjet printing)形成彩色滤光片的方法。该制造方法首先在基板上形成黑矩阵，以定义出多个像素区域。然后，进行喷墨印刷工序以将颜料(红色、绿色、蓝色)注入到黑矩阵所定义的像素区域中。随后，进行热烘烤工序(thermal baking process)以将颜料固化。

喷墨印刷(Ink-jet printing)的技术可直接将彩色颜料涂布于基板上，以制成彩色滤光片。其好处在于，不需利用掩模(mask)或是网版(stencil)即可以制作彩色滤光片。此时，制作流程变得简易且不会因需使用其它酸碱溶液而衍生相关问题。图1为公知利用喷墨印刷方式所制作的彩色滤光片的剖面示意图。请参考图1，公知彩色滤光片100包括玻璃基板110以及配置于玻璃基板110上的黑色矩阵120。其中，黑色矩阵120围成多数个像素区域P，且像素区域P中填有彩色颜料130。值得注意的是，彩色颜料130是利用喷墨印刷(Ink-jetprinting)的方式填入像素区域P的。

由于彩色颜料130的固溶比约70％～80％，亦即溶液中约含有百分之七十至八十的溶剂。在彩色颜料130固化过程中，大量溶剂蒸发常使彩色颜料130体积缩小而填不满像素区域P。此外，若使固化后的颜料层厚度相同于黑色矩阵120的厚度，彩色颜料130固化前的体积则相对大于像素区域P容积，加上填入颜料时的高流速，常会发生彩色颜料130溅溢而交互混染的问题。

为了避免彩色颜料130溅溢以及交互混染而限制彩色颜料130的体积，又可能造成像素区域P未被填满，而使显示的颜色饱和度不足。或是，在黑色矩阵120上进行疏水处理(hydrophobic treatment)，以提高彩色颜料130在黑色矩阵120上的表面张力。如图1所示，在表面张力的作用下，彩色颜料130会呈现中央突起、周围凹陷的高度不均匀的表面。如此表面不平坦的彩色滤光片100在后续工序中各膜层的覆盖较差且应用在液晶显示器时，容易发生显示图像亮度不均匀(mura)的现象。

由实验中可以得知，在彩色滤光片100中，黑色矩阵120的膜厚Db与彩色颜料130的膜厚Dc之间，存在特定的关系。例如，在黑色矩阵120的膜厚Db为2微米的情形下，进行喷墨印刷以填入彩色颜料130。若成型后，彩色颜料130的最大膜厚Dc等于或略大于黑色矩阵120的膜厚Db，则彩色颜料130膜厚Dc差约有0.5到0.8微米。然而，当彩色颜料130的最大膜厚Dc约等于黑色矩阵120膜厚Db的三分之一至二分之一时，彩色颜料130的膜厚Dc差仅约0.1微米。换言之，当黑色矩阵120膜厚Db大于彩色颜料130膜厚Dc的二或三倍时，彩色颜料130有均匀且平坦的表面。然而，突出的黑色矩阵120却会造成后续膜层不易覆盖的问题。

因此，要防止彩色颜料混染又要制造颜料膜厚均匀以及表面平坦的彩色滤光片仍为产业在彩色滤光片的制作上所需面临的难题。

发明内容

本发明的目的是提供一种制造方法，用以制作高良率与高质量的彩色滤光片。

本发明的另一目的是提供一种高良率与高质量的彩色滤光片。

为达上述或是其它目的，本发明提出一种彩色滤光片的制作方法，其步骤如下。首先，提供透光基板。然后，在透光基板上形成黑色矩阵，在透光基板上定义多个像素区域。接着，在黑色矩阵上形成隔离层。然后，分别在这些像素区域中填入彩色颜料。再来，干燥彩色颜料，以形成多个彩色滤光单元。并且，图案化隔离层，以在黑色矩阵上形成多个间隙物。

在本发明的一实施例中，上述形成隔离层的方法包括在基板上形成感光材料层，以及对感光材料层进行光刻工序，以图案化感光材料层。

在本发明的一实施例中，光刻工序所使用的掩模例如为制作黑色矩阵时所使用的掩模。

在本发明的一实施例中，光刻工序例如是以黑色矩阵作为掩模，而由基板相对于感光材料层的一侧对感光材料层进行曝光。

在本发明的一实施例中，还包括在图案化感光材料层之后，对感光材料层进行第一热处理步骤，其工艺温度例如介于90℃～120℃之间。该第一热处理步骤例如是烘烤。

在本发明的一实施例中，上述的干燥彩色颜料的工艺温度包括90℃～120℃。

在本发明的一实施例中，在图案化隔离层之后，还包括全面进行第二热处理步骤，其工艺温度例如介于200℃～240℃之间。该第二热处理步骤例如是烘烤。

在本发明的一实施例中，上述制作方法所形成的隔离层与黑色矩阵膜厚的总和例如大于或等于彩色滤光单元膜厚的两倍。此外，彩色滤光单元的膜厚例如是大致上等于黑色矩阵的膜厚。

在本发明的一实施例中，上述彩色滤光片的制作方法包括利用喷墨印刷的方式在像素区域中填入彩色颜料。

本发明另提出一种彩色滤光片的制作方法，其步骤描述如下。首先，提供透光基板。然后，在透光基板上形成黑色矩阵，以在透光基板上定义多个像素区域。接着，在黑色矩阵上形成隔离层，再分别在像素区域中填入彩色颜料。然后，干燥彩色颜料，以形成多个彩色滤光单元，以及移除隔离层。

在本发明的一实施例中，上述形成隔离层的方法包括在基板上形成感光材料层，以及对感光材料层进行光刻工序，以图案化感光材料层。

在本发明的一实施例中，上述光刻工序所使用的掩模例如为制作黑色矩阵时所使用的掩模。

在本发明的另一实施例中，上述光刻工序例如是以黑色矩阵作为掩模，而由基板相对于感光材料层的一侧对感光材料层进行曝光。

在本发明的一实施例中，在图案化感光材料层之后，还包括对感光材料层进行第一热处理步骤，其工艺温度例如介于90℃～120℃之间。该第一热处理步骤例如烘烤。

在本发明的一实施例中，上述干燥彩色颜料的工艺温度包括90℃～120℃。

在本发明的一实施例中，在移除隔离层之后，还包括全面进行第二热处理步骤，其工艺温度例如介于200℃～240℃之间。该第二热处理步骤例如是烘烤。

在本发明的一实施例中，上述制作方法所形成的隔离层与黑色矩阵膜厚的总和例如是大于或等于彩色滤光单元膜厚的两倍。

此外，上述制作方法所形成的彩色滤光单元的膜厚例如是大致上等于黑色矩阵的膜厚。

在本发明的一实施例中，在像素区域中填入彩色颜料的方式包括利用喷墨印刷的方式。

本发明再提出一种彩色滤光片，包括透光基板、黑色矩阵、多个彩色滤光单元以及多个间隙物。其中，黑色矩阵配置于透光基板上，并在基板上定义多个像素区域，而多个彩色滤光单元分别配置于像素区域内。此外，多个间隙物配置于黑色矩阵上。

在本发明的一实施例中，上述间隙物的材料包括感光材料。

在本发明的一实施例中，上述间隙物的高度与与黑色矩阵膜厚的总和例如是大于或等于彩色滤光单元膜厚的两倍。

在本发明的一实施例中，上述彩色滤光单元的膜厚例如是大致上等于黑色矩阵的膜厚。

在本发明的一实施例中，上述透光基板的材料包括玻璃。此外，彩色滤光单元的材料包括树脂(resin)。

本发明在黑色矩阵上形成隔离层可以防止喷墨印刷时彩色颜料喷溅及混染。由于隔离层的高度可以容许填充足够量彩色颜料，可以得到厚度均匀且质量良好的彩色滤光片。更进一步地说，应用本发明的彩色滤光片的显示器有较良好的显示质量。

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并结合附图，进行如下详细说明。

附图说明

图1为公知利用喷墨印刷方式所制作的彩色滤光片的剖面示意图；

图2A到图2G为本发明第一实施例的彩色滤光片的制作方法的剖面流程示意图；

图3为依据本发明第一实施例所制的彩色滤光片的俯视示意图；

图4A到图4F所示为本发明第二实施例的彩色滤光片的制作方法。

其中，附图标记：

100、270、460：彩色滤光片

110、200、410：基板

120、210、420：黑色矩阵

130、240、440：彩色颜料

220、430：感光材料层

222、432：隔离层

250、450：彩色滤光单元

260：间隙物

Db、Dc、Di：膜厚

Ds：间隙物的高度

P：像素区域

具体实施方式

第一实施例

图2A到图2G为本发明第一实施例的彩色滤光片的制作方法的剖面流程示意图。首先，如图2A所示，提供透光基板200。该透光基板200的材料例如是玻璃。在其它实施例中，透光基板200的材料也可以是相关技术领域中所使用的其它透光材料。

然后，在透光基板200上形成黑色矩阵210(如图2B所示)。其中，黑色矩阵210在透光基板200上定义多个像素区域P。在本实施例中，例如是利用光刻蚀刻工序将不透光的树脂或是金属等材料制成具有多个像素区域P的黑色矩阵210。

接着请参考图2C，形成黑色矩阵210后，例如在基板200上形成感光材料层220，并使感光材料层220覆盖黑色矩阵210。之后，进行光刻工序以图案化感光材料层220。在本实施例中，上述光刻工序可利用黑色矩阵210作为掩模，而由基板200相对于感光材料层220的一侧对感光材料层220进行背向曝光(如图2C所示)。值得注意的是，选择以黑色矩阵210作为掩模对感光材料层220进行背向曝光，则感光材料层220应选用正光刻胶材料。若是采用此方式图案化感光材料层220，可避免掩模对位时可能发生的误差，有助于简化工序步骤，并可提高制造良率。

接着，在图案化感光材料层220之后，还可对感光材料层220进行第一热处理步骤，例如是烘烤，而其工艺温度包括90℃～120℃。如此，可初步地将感光材料层220固化，而形成如图2D所示的隔离层222。

接着，请参考图2E，隔离层222形成之后，可分别在不同像素区域P中填入彩色颜料240，其例如是树脂(resin)材料。在本实施例中，例如是通过喷墨印刷技术在像素区域P中依序填入红、绿、蓝等不同颜色的彩色颜料240。相较于公知喷墨印刷法在注入彩色颜料240时，常会发生彩色颜料240溅溢及混染的情形，本发明中隔离层222的结构可有效隔离不同像素区域P中的彩色颜料240。因此，本发明不需在黑色矩阵210上进行复杂的疏水处理或对喷墨量进行调整。另外，基于彩色颜料240在后续的烘干步骤中会有体积收缩的现象，本发明的隔离层222有助于增加被填入像素区域P的彩色颜料240的高度，因此可使彩色颜料240在被烘干之后维持一理想高度。

接着，请参考图2E与图2F，干燥彩色颜料240，以形成多个彩色滤光单元250。干燥彩色颜料240的工艺温度例如是介于90℃～120℃之间，其目的在使彩色颜料240中所含的大量溶剂挥发，并且使彩色颜料240初步固化。彩色颜料240中的溶剂挥发之后，会使得彩色颜料240的体积收缩。因此，为了使彩色滤光单元250的膜厚Dc可以大致上等于黑色矩阵210的膜厚Db以呈现较佳质量，较佳的情形是，填入较多量的彩色颜料240。在本发明中，隔离层222的设计可以容许填入较多量的彩色颜料240，因此可避免因彩色颜料240体积收缩而衍生的问题。

此外，经实际的实验得知，彩色滤光单元250周围屏蔽厚度，也就是隔离层222的膜厚Di与黑色矩阵210膜厚Db的总和大于彩色滤光单元250膜厚Dc的两倍或以上时，则可以得到膜厚Dc较均匀的彩色滤光单元250，亦即彩色滤光单元250中央和接近黑色矩阵210处边缘的膜厚差较小。因此，隔离层222的设计更有助于避免液晶显示器产生显示不均匀(mura)的缺陷，进而提高液晶显示器的显示质量。

然后，请同时参考图2F与图2G，由于在进行前述的第一热处理步骤以及干燥彩色颜料240时，工艺温度受到良好的控制，使得正型光刻胶材料所制得的隔离层222仍具有光敏感性。如此，本实施例可继续对隔离层222进行第二次曝光，以将隔离层222图案化，而形成多个间隙物260于黑色矩阵210上。一般而言，间隙物260的设计是为了维持液晶显示面板的单元间隙(cell gap)。本实施例通过隔离层222来形成间隙物260的设计，可省去公知需另外制作间隙物260的步骤，因此可达到简化工序与降低成本的目的。此外，本实施例将间隙物260形成于黑色矩阵210上，因此可以避免通过像素区域P的光线被间隙物260阻挡，而有助于提高整体的显示亮度。

在本实施例中，仅需增加一道掩模工序即可将隔离层222图案化，以形成间隙物260，所以可使制作流程简化而达到提高产能的目的。值得一提的是，在此步骤中仅需以干式蚀刻或是以特定的显影剂(developer)或剥除剂(stripper)来去除隔离层222中不需要的部分，因此不会使彩色滤光单元250以及黑色矩阵210受到腐蚀或破坏。

实际上，上述制作彩色滤光片的步骤亦可以采用其它方式。举例而言，图案化感光材料层220的光刻工序可利用制作黑色矩阵210时所使用的掩模进行正向曝光，以节省购买掩模成本。此时，感光材料的材料可以视制造黑色矩阵210所使用的掩模类型，而选用正光刻胶材料或是负光刻胶材料。具体而言，如果制作黑色矩阵时是采用负型掩模(即掩模图案与所形成的黑色矩阵图案相反)，则感光材料层220需选用负光刻胶材料。值得注意的是，当隔离层222是以负光刻胶材料形成的，则一旦完成图案化步骤之后，隔离层222即失去光敏感性而无法进行二次曝光。因此，在图案化隔离层222以形成多个间隙物260的步骤时，可能必须采用等离子体蚀刻等较费力的方式进行。然而，基于多方考虑，本发明并不排除采用负光刻胶材料以制作隔离层222。

此外，本实施例还可在形成间隙物260之后，全面进行第二热处理步骤，例如烘烤。第二热处理步骤的工艺温度例如是在200℃～240℃之间，其目的在于使彩色滤光单元250以及间隙物260完全固化，以便进行后续工序。同时，在经过上述多道光刻工序之后，彩色滤光单元250的边缘可能产生不平整的锐角(如图2F所示)，而影响后续膜层的覆盖效果。此第二热处理步骤更可以消除彩色滤光单元250边缘的锐角，以利后续膜层的形成。

图3为依据本发明第一实施例所制得的彩色滤光片的俯视示意图。如图3所示，彩色滤光片270包括透光基板200、黑色矩阵210、多个彩色滤光单元250以及多个间隙物260。其中，黑色矩阵210配置于透光基板200上，并在基板200上定义多个像素区域P，而多个彩色滤光单元250分别配置于像素区域P内。值得注意的是，每个像素区域P周边的黑色矩阵210上配置至少一个或多个间隙物260，且间隙物260例如是圆柱状(如图3所示)、方柱状或是其它柱状体。本发明提出的制作方法所制成的彩色滤光单元250具有均匀的膜厚，且应用在液晶显示器时，不会产生mura缺陷。

第二实施例

图4A到图4F所示为本发明第二实施例的彩色滤光片的制作方法。请参考图4A，首先，提供透光基板410，并且于透光基板410上形成黑色矩阵420，其中黑色矩阵420在透光基板410上定义多个像素区域P。在本实施例中，透光基板410的材料例如是玻璃，而黑色矩阵420的材料例如是金属或是不透光的树脂。

接着，请参考图4B，在基板410上形成感光材料层430并使其覆盖黑色矩阵420。随后，进行光刻工序以图案化感光材料层430。在本实施例中，图案化感光材料层430的方式与第一实施例中图案化感光材料层220的方式相同，其材料可选用正光刻胶材料或是负光刻胶材料。其中，如果采用黑色矩阵420作为掩模以进行背向曝光时(如图4B中箭头所示)，感光材料层430应选用正光刻胶材料。进行背向曝光的好处在于可省去掩模对位时可能产生的误差，有助于提高制造良率。另一方面，也可采用形成黑色矩阵420时所用的掩模而进行正向曝光。此时，则依据掩模类型以决定感光材料层430的种类。具体而言，图案化感光材料层430的步骤中，不需制作新的掩模，可以降低成本负担。然而，若考虑实际需求，本发明并不排除为了图案化感光材料层430而制作新的掩模以进行光刻工序。

接下来，请同时参考图4B与图4C。在本实施例中，图案化感光材料层430形成之后还包括对感光材料层430进行第一热处理步骤，其方法例如是在90℃～120℃下进行烘烤。该步骤是为了预固化图案化的感光材料层430以形成隔离层432。如图4C所示，隔离层432配置于黑色矩阵420上，可以增高像素区P的屏障，有利于后续步骤的进行。

然后，请参考图4D，分别在不同像素区域P中填入彩色颜料440。在本实施例中，填入彩色颜料440的方式是通过喷墨印刷将彩色颜料440填入像素区域P中。其中，彩色颜料440包括红色颜料、绿色颜料以及蓝色颜料或是其它彩色颜料440的组合。由于隔离层432的屏障，可依实际需求填入适当体积的彩色颜料440于像素区域P中。有了隔离层432的屏障，彩色颜料440不易发生交互混染的情形，可以进一步地避免显示不均匀(mura)的缺陷。在制作流程中，也不需在黑色矩阵420上进行复杂的疏水处理，可以节省成本以及简化制作流程。

填入彩色颜料440后，将彩色颜料440干燥以形成多个彩色滤光单元450(如图4E所示)。其中，干燥步骤的工艺温度例如是介于90℃～120℃，以使彩色颜料440中的溶剂蒸发而初步固化成彩色滤光单元450。一般来说，为了制作质量良好的彩色滤光片，必需使彩色滤光单元450维持一定的膜厚。然而，彩色颜料440中溶剂的蒸发会使其体积收缩而使彩色滤光单元450的质量不良。因此，本发明采用隔离层432的设计可容许填入足够体积的彩色颜料440以解决上述问题，更进一步使彩色滤光单元450有均匀的膜厚Dc，有助于改善彩色滤光片的质量。

接下来，将隔离层432移除以形成如图4F所示的彩色滤光片460。在本实施例中，例如以干式蚀刻或是以特定的显影剂(developer)或剥除剂(stripper)去除隔离层432。利用这些方法的优点在于，去除隔离层432过程中不会使彩色滤光单元450以及黑色矩阵420受到腐蚀或破坏。实质上，本发明中隔离层432的形成与移除都不会造成彩色滤光片的破坏。

移除隔离层432之后，还包括全面进行第二热处理步骤，例如是在200℃～240℃下进行烘烤。因此，彩色滤光单元450可完全固化，同时还可消除彩色滤光单元450与隔离层432之间在上述多道步骤中所形成的锐角(如图4E所示)以提高彩色滤光片460的质量。值得注意的是，有了隔离层432的屏障，使得彩色滤光单元450的膜厚Dc可以大致上等于黑色矩阵420的膜厚Db。因此，彩色滤光片460不但具有良好的显示质量，而且其平坦的表面更有利于后续膜层的覆盖。

综上所述，本发明的彩色滤光片的制作方法至少具有以下所述优点：首先，本发明的彩色滤光片的制作方法因为有了隔离层的设计，可以防止彩色颜料填入像素区时交互混染的情形。因此，本发明的彩色滤光片制作过程中不需在黑色矩阵上进行疏水处理，可以节省成本。另外，在制造彩色滤光片的同时可形成液晶层的间隙物，有助于简化工序。再者，采用本发明的方法以制作彩色滤光片，可在像素区中填入适量的彩色颜料而使彩色滤光片具有较均匀的膜厚，可呈现饱和的色彩，并且不会有显示不均匀(mura)的缺陷。

虽然本发明已以较佳实施例进行如上描述，然其并非用以限定本发明，任何本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可进行修改与改进，因此本发明的保护范围为后附的权利要求书所限定。

Claims (22)

1.一种彩色滤光片的制作方法，其特征在于，包括：

提供一透光基板；

在该透光基板上形成一黑色矩阵，以在该透光基板上定义多个像素区域；

在该黑色矩阵上形成一隔离层；

分别在该多个像素区域中填入一彩色颜料；

干燥该彩色颜料，以形成多个彩色滤光单元；以及

图案化该隔离层，以形成至少一间隙物于该黑色矩阵上。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，形成该隔离层的方法包括：

在该基板上形成一感光材料层；以及

对该感光材料层进行一光刻工序，以图案化该感光材料层。

3.根据权利要求2所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该光刻工序所使用的掩模为制作该黑色矩阵时所使用的掩模。

4.根据权利要求2所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该光刻工序是以该黑色矩阵作为掩模，而由该基板相对于该感光材料层的一侧对该感光材料层进行曝光。

5.根据权利要求2所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，还包括在图案化该感光材料层之后，对该感光材料层进行一第一热处理步骤。

6.根据权利要求5所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该第一热处理步骤的工艺温度包括90℃～120℃。

7.根据权利要求5所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该第一热处理步骤包括烘烤。

8.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，干燥该彩色颜料的工艺温度包括90℃～120℃。

9.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，还包括在图案化该隔离层之后，全面进行一第二热处理步骤。

10.根据权利要求9所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该第二热处理步骤的工艺温度包括200℃～240℃。

11.根据权利要求9所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该第二热处理步骤包括烘烤。

12.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，所形成的该隔离层与该黑色矩阵膜厚的总和大于或等于该彩色滤光单元膜厚的两倍。

13.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，所形成的该彩色滤光单元的膜厚大致上等于该黑色矩阵的膜厚。

14.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，包括通过喷墨印刷的方式在该多个像素区域中填入该彩色颜料。

15.根据权利要求1所述的彩色滤光片的制作方法，其特征在于，该间隙物的形状包括柱状。

16.一种彩色滤光片，其特征在于，包括：

一透光基板；

一黑色矩阵，配置于该透光基板上，并在该基板上定义多个像素区域；

多个彩色滤光单元，分别配置于该多个像素区域内；以及

至少一间隙物，配置于该黑色矩阵上，并且，该间隙物为在形成彩色滤光单元的同时在该黑色矩阵上形成一隔离层，并对该隔离层图案化形成。

17.根据权利要求16所述的彩色滤光片，其特征在于，该间隙物的材料包括感光材料。

18.根据权利要求16所述的彩色滤光片，其特征在于，该间隙物的高度与该黑色矩阵膜厚的总和大于或等于该彩色滤光单元膜厚的两倍。

19.根据权利要求16所述的彩色滤光片，其特征在于，该彩色滤光单元的膜厚大致上等于该黑色矩阵的膜厚。

20.根据权利要求16所述的彩色滤光片，其特征在于，该透光基板的材料包括玻璃。

21.根据权利要求16所述的彩色滤光片，其特征在于，该彩色滤光单元的材料包括树脂。

22.根据权利要求16所述的彩色滤光片，其特征在于，该间隙物的形状包括柱状。

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