CN109669288A - 基板破片检测系统及基板破片检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板破片检测系统及基板破片检测方法。本发明的基板破片检测系统包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置、处理模块及基板传送装置，每一图像获取装置包括多个图像获取单元，同一图像获取装置的多个图像获取单元沿一第一方向排成一列，工作时，基板传送装置对基板进行传送，使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域，两个图像获取装置分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块，处理模块将基板正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，从而判定基板是否存在破片，能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。
Description
技术领域
本发明涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种基板破片检测系统及基板破片检测方法。
背景技术
液晶显示装置(LCD，Liquid Crystal Display)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。如：液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
通常液晶显示装置包括壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(Backlight module)。其中，液晶显示面板的结构主要是由一薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)、一彩色滤光片基板(ColorFilter，CF)、以及配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。
现有技术在制作液晶显示面板时，常常利用涂布机(Coater)在基板上进行光刻胶涂布作业，具体为将基板放置在涂布机的载台上对其进行光刻胶涂布作业，完成光刻胶涂布作业后，需要利用搬运装置(例如机械手)将基板从涂布机中取出，并送入真空干燥腔(Vacuum Drying Chamber，VCD Chamber)进行真空干燥处理，以对光刻胶中的溶剂进行抽取，便于后续对基板上的光刻胶进行曝光显影制程以对其进行图案化。常见的涂布机一般会在搬运装置从其从取出基板之前，利用载台上的升降杆(lift pin)将基板顶起，以便于搬运装置对基板进行取出，在升降杆顶起基板的过程中，容易使得基板产生破裂，但现有技术不会对基板进行破片检测，破裂的基板仍然会被搬运装置送入真空干燥腔内，在破裂的基板在真空干燥腔内完成放置后，破裂的基板在真空干燥腔内会产生粉碎性的破片，需要较长的时间进行清理，使得产线无法工作，大大降低产能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板破片检测系统，能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。
本发明的另一目的在于提供一种基板破片检测方法，能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。
为实现上述目的，本发明首先提供一种基板破片检测系统，包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置、与两个图像获取装置均电性连接的处理模块及与处理模块电性连接的基板传送装置；
每一图像获取装置包括在水平方向间隔设置的多个图像获取单元，同一图像获取装置的多个图像获取单元沿一第一方向排成一列，每一图像获取单元均电性连接处理模块；
所述基板传送装置用于对基板进行传送，使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域；
所述两个图像获取装置用于在基板沿第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域时分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块；
所述处理模块用于将基板正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，当满足基板正面的图像数据与正面标准数据不同以及基板反面的图像数据与反面标准数据不同中的至少一个时处理模块判定基板存在破片，否则处理模块判定基板无破片。
所述第一方向与第二方向垂直。
所述基板破片检测系统还包括与两个图像获取装置中位于上方的一个在水平方向上相间隔的光源。
所述光源为LED灯。
所述图像获取单元为CCD相机；
所述两个图像获取装置中位于上方的一个中的多个图像获取单元的光轴与竖直方向的夹角为锐角，所述两个图像获取装置中位于下方的另一个中的多个图像获取单元的光轴与竖直方向的夹角为0。
当处理模块判定基板存在破片时，处理模块产生报警信号并传输至基板运送装置，所述基板运送装置在接收到报警信号后停止对基板进行传送。
所述基板传送装置对基板进行传送使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域之前从一涂布机中取出所述基板。
当处理模块判定基板无破片时，处理模块产生正常传送信号至基板传送装置，所述基板传送装置在接收到正常传送信号后将基板传送至一真空干燥腔内。
所述基板传送装置为机械手。
本发明还提供一种基板破片检测方法，应用于上述的基板破片检测系统，包括如下步骤：
步骤S1、所述基板传送装置对基板进行传送，使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域；
步骤S2、所述两个图像获取装置在基板沿第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域时分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块；
步骤S3、所述处理模块将基板正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，当满足基板正面的图像数据与正面标准数据不同以及基板反面的图像数据与反面标准数据不同中的至少一个时处理模块判定基板存在破片，否则处理模块判定基板无破片。
本发明的有益效果：本发明的基板破片检测系统包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置、处理模块及基板传送装置，每一图像获取装置包括多个图像获取单元，同一图像获取装置的多个图像获取单元沿一第一方向排成一列，工作时，基板传送装置对基板进行传送，使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域，两个图像获取装置分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块，处理模块将基板正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，从而判定基板是否存在破片，能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。本发明的基板破片检测方法能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的基板破片检测系统的立体示意图；
图2为本发明的基板破片检测系统的两个图像获取装置中图像获取单元获取图像时的光路图；
图3为本发明的基板破片检测系统从涂布机中取出基板的示意图；
图4为本发明的基板破片检测方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，本发明提供一种基板破片检测系统，包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置10、与两个图像获取装置10均电性连接的处理模块20及与处理模块20电性连接的基板传送装置30。
每一图像获取装置10包括在水平方向间隔设置的多个图像获取单元11，同一图像获取装置10的多个图像获取单元11沿一第一方向排成一列，每一图像获取单元11均电性连接处理模块20。
所述基板传送装置30用于对基板9进行传送，使得基板9沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域。
所述两个图像获取装置10用于在基板9沿第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域时分别获取基板9正面及反面的图像数据并传输至处理模块20。
所述处理模块20用于将基板9正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，当满足基板9正面的图像数据与正面标准数据不同以及基板9反面的图像数据与反面标准数据不同中的至少一个时处理模块20判定基板9存在破片，否则处理模块20判定基板9无破片。
优选地，所述第一方向与第二方向垂直。
具体地，请参阅图1，所述基板破片检测系统还包括与两个图像获取装置10中位于上方的一个在水平方向上相间隔的光源40。从而请参阅图2，所述基板检测系统在工作时，光源40发出的光线经过基板9反射后射入两个图像获取装置10中位于上方的一个中的多个图像获取单元11中以便其进行图像数据获取，而光源40发出的光线经过基板9透射后射入两个图像获取装置10中位于下方的另一个中的多个图像获取单元11中以便其进行图像数据获取。
优选地，所述光源40为LED灯。
具体地，所述图像获取单元11为电耦合器件(CCD)相机。
优选地，请参阅图1及图2，所述两个图像获取装置10中位于上方的一个中的多个图像获取单元11的光轴与竖直方向的夹角为锐角，所述两个图像获取装置10中位于下方的另一个中的多个图像获取单元11的光轴与竖直方向的夹角为0。
具体地，当处理模块20判定基板9存在破片时，处理模块20产生报警信号并传输至基板运送装置30，所述基板运送装置30在接收到报警信号后停止对基板9进行传送。
具体地，请结合图3，所述基板传送装置30对基板9进行传送使得基板9沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域之前从一涂布机8中取出所述基板9。进一步地，所述涂布机8包括真空载台81，真空载台81上表面设有多个升降杆811，在基板9从涂布机8中取出之前，基板9放置在真空载台81的上表面上，当基板传送装置30需要从涂布机8中取出所述基板9时，多个升降杆811上升将基板9顶起，从而便于基板传送装置30取出基板9并对其进行传送。
具体地，当处理模块20判定基板9无破片时，处理模块20产生正常传送信号至基板传送装置30，所述基板传送装置30在接收到正常传送信号后将基板9传送至一真空干燥腔内。
优选地，所述基板传送装置30为机械手。
需要说明的是，本发明的基板破片检测系统利用基板传送装置30对基板9进行传送，使得基板9沿不同于图像获取装置10中图像获取单元11排列的第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域，利用两个图像获取装置10分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块20，处理模块20将基板9正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，从而判定基板是否存在破片，能够对基板破片进行有效检测，利用该基板破片检测系统在从涂布机取出基板之后及将基板送入真空干燥腔之前对基板是否破片进行检测，能够避免从涂布机取出基板时由于涂布机的载台的升降杆顶起基板使基板破片导致后续将破片的基板送入真空干燥腔时基板在真空干燥腔内粉碎性破片，防止基板破片导致产线产能降低。
请参阅图4，基于同一发明构思，本发明还提供一种基板破片检测方法，应用于上述的基板破片检测系统，在此不再对上述基板破片检测系统的结构进行重复性描述，该基板破片检测方法包括如下步骤：
步骤S1、所述基板传送装置30对基板9进行传送，使得基板9沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域。
步骤S2、所述两个图像获取装置10在基板9沿第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域时分别获取基板9正面及反面的图像数据并传输至处理模块20。
步骤S3、所述处理模块20将基板9正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，当满足基板9正面的图像数据与正面标准数据不同以及基板9反面的图像数据与反面标准数据不同中的至少一个时处理模块20判定基板9存在破片，否则处理模块20判定基板9无破片。
需要说明的是，本发明的基板破片检测方法利用基板传送装置30对基板9进行传送，使得基板9沿不同于图像获取装置10中图像获取单元11排列的第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置10之间的区域，利用两个图像获取装置10分别获取基板正面及反面的实际图像并传输至处理模块20，处理模块20将基板9正面及反面的实际图像分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，从而判定基板是否存在破片，能够对基板破片进行有效检测，利用该基板破片检测系统在从涂布机取出基板之后及将基板送入真空干燥腔之前对基板是否破片进行检测，能够避免从涂布机取出基板时由于涂布机的载台的升降杆顶起基板使基板破片导致后续将破片的基板送入真空干燥腔时基板在真空干燥腔内粉碎性破片，防止基板破片导致产线产能降低。
综上所述，本发明的基板破片检测系统包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置、处理模块及基板传送装置，每一图像获取装置包括多个图像获取单元，同一图像获取装置的多个图像获取单元沿一第一方向排成一列，工作时，基板传送装置对基板进行传送，使得基板沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置之间的区域，两个图像获取装置分别获取基板正面及反面的图像数据并传输至处理模块，处理模块将基板正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，从而判定基板是否存在破片，能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。本发明的基板破片检测方法能够对基板破片进行检测，防止基板破片导致产线产能降低。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种基板破片检测系统，其特征在于，包括在竖直方向相间隔的两个图像获取装置(10)、与两个图像获取装置(10)均电性连接的处理模块(20)及与处理模块(20)电性连接的基板传送装置(30)；
每一图像获取装置(10)包括在水平方向间隔设置的多个图像获取单元(11)，同一图像获取装置(10)的多个图像获取单元(11)沿一第一方向排成一列，每一图像获取单元(11)均电性连接处理模块(20)；
所述基板传送装置(30)用于对基板(9)进行传送，使得基板(9)沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置(10)之间的区域；
所述两个图像获取装置(10)用于在基板(9)沿第二方向运动并穿过两个图像获取装置(10)之间的区域时分别获取基板(9)正面及反面的图像数据并传输至处理模块(20)；
所述处理模块(20)用于将基板(9)正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，当满足基板(9)正面的图像数据与正面标准数据不同以及基板(9)反面的图像数据与反面标准数据不同中的至少一个时处理模块(20)判定基板(9)存在破片，否则处理模块(20)判定基板(9)无破片。
2.如权利要求1所述的基板破片检测系统，其特征在于，所述第一方向与第二方向垂直。
3.如权利要求1所述的基板破片检测系统，其特征在于，还包括与两个图像获取装置(10)中位于上方的一个在水平方向上相间隔的光源(40)。
4.如权利要求3所述的基板破片检测系统，其特征在于，所述光源(40)为LED灯。
5.如权利要求1所述的基板破片检测系统，其特征在于，所述图像获取单元(11)为CCD相机；
所述两个图像获取装置(10)中位于上方的一个中的多个图像获取单元(11)的光轴与竖直方向的夹角为锐角，所述两个图像获取装置(10)中位于下方的另一个中的多个图像获取单元(11)的光轴与竖直方向的夹角为0度。
6.如权利要求1所述的基板破片检测系统，其特征在于，当处理模块(20)判定基板(9)存在破片时，处理模块(20)产生报警信号并传输至基板运送装置(30)，所述基板运送装置(30)在接收到报警信号后停止对基板(9)进行传送。
7.如权利要求1所述的基板破片检测系统，其特征在于，所述基板传送装置(30)对基板(9)进行传送使得基板(9)沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置(10)之间的区域之前从一涂布机中取出所述基板(9)。
8.如权利要求7所述的基板破片检测系统，其特征在于，当处理模块(20)判定基板(9)无破片时，处理模块(20)产生正常传送信号至基板传送装置(30)，所述基板传送装置(30)在接收到正常传送信号后将基板(9)传送至一真空干燥腔内。
9.如权利要求1所述的基板破片检测系统，其特征在于，所述基板传送装置(30)为机械手。
10.一种基板破片检测方法，应用于如权利要求1至9中任一项所述的基板破片检测系统，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、所述基板传送装置(30)对基板(9)进行传送，使得基板(9)沿不同于第一方向的第二方向运动并穿过两个图像获取装置(10)之间的区域；
步骤S2、所述两个图像获取装置(10)在基板(9)沿第二方向运动并穿过两个图像获取装置(10)之间的区域时分别获取基板(9)正面及反面的图像数据并传输至处理模块(20)；
步骤S3、所述处理模块(20)将基板(9)正面及反面的图像数据分别与预设的正面标准数据及反面标准数据进行比较，当满足基板(9)正面的图像数据与正面标准数据不同以及基板(9)反面的图像数据与反面标准数据不同中的至少一个时处理模块(20)判定基板(9)存在破片，否则处理模块(20)判定基板(9)无破片。
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