CN108296586B - 一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法 - Google Patents
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Abstract
一种SiO2‑BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,它涉及一种提高异种材料钎焊接头力学性能的方法。本发明的目的是要解决现有用AgCuTi钎料直接焊接SiO2‑BN复合陶瓷与Invar合金时,由于Invar中的Fe、Ni元素向焊缝中过度溶解并与Ti元素反应生成大面积的脆性化合物带,导致焊接接头塑性变形能力不理想,且剪切强度差的问题。钎焊方法:先利用等离子体增强化学气相沉积方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯层,然后采用AgCuTi钎料与SiO2‑BN复合陶瓷真空钎焊。优点:接头抗剪强度达到23MPa以上。本发明主要用于SiO2‑BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊。
Description
技术领域
本发明涉及一种提高异种材料钎焊接头力学性能的方法。
背景技术
SiO2-BN复合陶瓷具有出色的力学性能、抗腐蚀性能以及介电、抗热震等优良性能,可以成功用于导弹天线罩与其他航天大部件的组成材料。但是SiO2-BN具有较低的线膨胀系数以及较低的塑性变形能力,脆性较大,难以被加工成具有复杂形状的部件。所以,我们需要将该复合陶瓷与金属材料进行连接,发挥二者优势互补的作用。目前导弹天线罩过渡连接环的主要金属材料为Invar合金,该合金塑性较好,400℃下具有较低的线胀系数,实现SiO2-BN陶瓷与Invar合金的可靠连接,具有重要的现实意义。
在目前所有连接方法中,钎焊由于自身优势:强度较高、工艺相对简单、对母材损害很小,成为连接SiO2-BN陶瓷与Invar合金较为理想的方法之一。由于SiO2-BN复合陶瓷润湿性较差,钎焊过程中通常加入活性元素来提高液态钎料对陶瓷的润湿性。但是添加 Ti等活性元素之后,待焊金属会加剧自身向熔融钎料的溶解,在焊缝中形成大量的脆性化合物,对钎焊接头的塑性变形能力产生不利影响,导致钎焊接头有较大的残余应力甚至出现裂纹,使AgCuTi钎料钎焊SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金时,焊接接头剪切强度一般低于21MPa。
发明内容
本发明的目的是要解决现有用AgCuTi钎料直接焊接SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金时,由于Invar中的Fe、Ni元素向焊缝中过度溶解并与Ti元素反应生成大面积的脆性化合物带,导致焊接接头塑性变形能力不理想,且剪切强度差的问题,而提供一种提高 SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金钎焊接头的方法。
一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,具体是按以下步骤完成的:先利用等离子体增强化学气相沉积方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯层,然后采用AgCuTi钎料与SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊。
本发明的优点:1、本发明首先在Invar表面垂直生长少层石墨烯再与SiO2-BN钎焊,一方面阻隔焊接时Fe、Ni元素向液态钎料中的过度溶解,另一方面通过石墨烯与活性Ti元素反应,避免接头界面中出现大面积的Fe-Ti、Ni-Ti脆性化合物带,从而增加接头的塑性变形能力,缓解接头残余应力,提高力学性能。2、本发明利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯,得到的石墨烯厚度很薄并且有较高的化学活性,与Ti元素有很好的亲和力。3、本发明SiO2-BN复合陶瓷与 Invar合金的钎焊接头抗剪强度达到23MPa以上。
附图说明
图1为实施例1步骤(2)中所述在Invar合金表面生长的石墨烯的SEM图;
图2为实施例1步骤(2)中所述在Invar合金表面生长的石墨烯的拉曼光谱图;
图3为实施例1得到的SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金钎焊接头SEM图。
图4为对比实施例得到的SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金钎焊接头SEM图。
具体实施方式
具体实施方式一:本实施方式是一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,具体是按以下步骤完成的:
先利用等离子体增强化学气相沉积方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯层,然后采用AgCuTi钎料与SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊。
石墨烯作为新型二维材料,具有其它材料不能比拟的优点:极高的强度、导电性能优异,电阻率极低,使其被广泛应用于功能材料、材料化学、超级电容器等领域。现在,材料加工领域尤其是焊接领域,已经成功将石墨烯引入到焊接过程中,发挥其优良性能的作用。目前已有试验证明:在较高温度的真空条件下,石墨烯可以与Ti等活性元素有良好的亲和力,并与之发生反应。由此可见,石墨烯与Ti的化学反应,可减少母材元素与Ti 的反应,避免钎缝中出现大面积的脆性化合物,提高接头力学性能。
由于石墨烯制备工艺的限制,导致石墨烯应用于提高接头力学性能的方法中存在两个难点:(1)石墨烯尺寸的问题,制备的石墨烯尺寸要薄,避免与活性元素反应生成过量的脆性化合物。(2)石墨烯的活性问题,制备的石墨烯要与钎料中活性元素有较好的亲和力,这样可以有效减少待焊金属母材向钎料的溶解。
为了解决现有用AgCuTi钎料直接焊接SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金时,由于Invar 中的Fe、Ni元素向焊缝中过度溶解并与Ti元素反应生成大面积的脆性化合物带,导致焊接接头塑性变形能力不理想,且剪切强度差的问题,本实施方式基于石墨烯的特性,利用等离子体增强化学气相沉积方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯,然后在进行焊接,采用等离子体增强化学气相沉积方法克服石墨烯尺寸的问题,然后采用AgCuTi钎料作为焊接钎料,因为石墨烯与AgCuTi钎料中Ti元素有很好的亲和力,最终实现SiO2-BN 复合陶瓷与Invar合金的钎焊,且接头抗剪强度达到20MPa以上。
具体实施方式二:本实施方式与具体实施方式一的不同点是:所述Invar合金表面生长石墨烯层是按照以下步骤进行的:
一、前处理:先用砂纸对Invar合金进行打磨,打磨后超声清洗,再进行抛光,得到抛光后的Invar合金,抛光后的Invar合金置于丙酮中保存;
二、生长石墨烯层:①、将抛光后的Invar合金置于等离子体增强化学气相沉积真空装置炉腔的工作台上,对炉腔抽真空至10-1Pa以下,以流量为40~50sccm通入氢气,调节炉腔内压强为500Pa,然后在压强为500Pa和氢气流量为40~50sccm下升温至500℃~800℃;②、打开射频电源,调节射频功率为125W~200W,在温度为500℃~800℃和氢气流量为40~50sccm下通入碳源气体和氩气,碳源气体流量为5~30sccm,氩气流量为 70~95sccm,调节炉腔内压强为500Pa~1000Pa;③、在射频功率为100W~200W、压强为500Pa~1000Pa、温度为500℃~800℃、氢气流量为40~50sccm、碳源气体流量为 5~30sccm和氩气流量为70~95sccm下射频60min,依次关闭射频电源和加热电源,停止通入碳源气体,在氢气流量为40~50sccm和氩气流量为70~95sccm下随炉冷却至室温,即完成Invar合金表面生长石墨烯层,得到生长石墨烯的Invar合金。
其他与具体实施方式一相同。
具体实施方式三:本实施方式与具体实施方式二的不同点是:步骤二②和③中所述的碳源气体为甲烷。其他与具体实施方式二相同。
具体实施方式四:本实施方式与具体实施方式二或三之一不同点是:步骤二③中生长石墨烯的Invar合金的石墨烯层均匀垂直生长在Invar合金表面,且石墨烯层的层数为6~8层。其他与具体实施方式二或三相同。
具体实施方式五:本实施方式与具体实施方式二至四之一不同点是:所述AgCuTi钎料为AgCuTi粉末钎料,先利用压片机对AgCuTi粉末钎料进行压片处理,得到AgCuTi 薄片,然后将生长石墨烯的Invar合金、AgCuTi薄片和SiO2-BN复合陶瓷由下至上依次叠放,再进行真空钎焊。其他与具体实施方式二至四相同。
叠放时,生长石墨烯的Invar合金的石墨烯层朝上。
具体实施方式六:本实施方式与具体实施方式二至五之一不同点是:所述真空钎焊的钎焊温度是820℃~900℃,钎焊时间为1min~60min。其他与具体实施方式二至五相同。
具体实施方式七:本实施方式与具体实施方式一至六之一不同点是:所述SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊前先进行预处理,具体操作如下:
先对将SiO2-BN复合陶瓷进行打磨,然后放入丙酮中进行超声清洗,超声清洗10min,再自然风干后,即完成SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊前先进行预处理。
其他与具体实施方式一至六相同。
具体实施方式八:本实施方式与具体实施方式一至七之一不同点是:一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,具体是按以下步骤完成的:
(1)、前处理:先用砂纸对Invar合金进行打磨,打磨后超声清洗,再进行抛光,得到抛光后的Invar合金,抛光后的Invar合金置于丙酮中保存;
(2)、生长石墨烯层:①、将抛光后的Invar合金置于等离子体增强化学气相沉积真空装置炉腔的工作台上,对炉腔抽真空至10-1Pa以下,以流量为40~50sccm通入氢气,调节炉腔内压强为500Pa,然后在压强为500Pa和氢气流量为40~50sccm下升温至500℃~800℃;②、打开射频电源,调节射频功率为125W~200W,在温度为500℃~800℃和氢气流量为40~50sccm下通入碳源气体和氩气,碳源气体流量为5~30sccm,氩气流量为 70~95sccm,调节炉腔内压强为500Pa~1000Pa;③、在射频功率为100W~200W、压强为500Pa~1000Pa、温度为500℃~800℃、氢气流量为40~50sccm、碳源气体流量为 5~30sccm和氩气流量为70~95sccm下射频60min,依次关闭射频电源和加热电源,停止通入碳源气体,在氢气流量为40~50sccm和氩气流量为70~95sccm下随炉冷却至室温,即完成Invar合金表面生长石墨烯层,得到生长石墨烯的Invar合金;
(3)、压片处理:先利用压片机对AgCuTi粉末钎料进行压片处理,得到AgCuTi薄片;
(4)、SiO2-BN复合陶瓷预处理:先对将SiO2-BN复合陶瓷进行打磨,然后放入丙酮中进行超声清洗,超声清洗10min,再自然风干后,得到预处理后SiO2-BN复合陶瓷;
(5)、装配:将生长石墨烯的Invar合金、AgCuTi薄片和预处理后SiO2-BN复合陶瓷由下至上依次叠放,得到装配好的工件;
(6)、真空钎焊:将装配好的工件放入真空加热炉中,在真空度为1×10-3Pa条件下以升温速率为15℃/min从室温加热至600℃,并在温度为600℃保温10min,然后以升温速率为5℃/min升温至820℃~900℃,在温度为820℃~900℃下保温1min~60min,最后以降温速率为5℃/min冷却至室温,即完成SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊。
其他与具体实施方式一至七相同。
本实施方式步骤(5)中叠放时,生长石墨烯的Invar合金的石墨烯层朝上。
具体实施方式九:本实施方式与具体实施方式八的不同点是:步骤(6)中以升温速率为5℃/min升温至840℃~880℃,在温度为840℃~880下保温10min~30min。其他与具体实施方式八相同。
本发明内容不仅限于上述各实施方式的内容,其中一个或几个具体实施方式的组合同样也可以实现发明的目的。
实施例1:一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,具体是按以下步骤完成的:
(1)、前处理:先用砂纸对Invar合金进行打磨,打磨后超声清洗,再进行抛光,得到抛光后的Invar合金,抛光后的Invar合金置于丙酮中保存;
(2)、生长石墨烯层:①、将抛光后的Invar合金置于等离子体增强化学气相沉积真空装置炉腔的工作台上,对炉腔抽真空至10-1Pa以下,以流量为40sccm通入氢气,调节炉腔内压强为500Pa,然后在压强为500Pa和氢气流量为40sccm下升温至800℃;②、打开射频电源,调节射频功率为175W,在温度为800℃和氢气流量为40sccm下通入碳源气体和氩气,碳源气体流量为20sccm,氩气流量为80sccm,调节炉腔内压强为900Pa;③、在射频功率为200W、压强为900Pa、温度为800℃、氢气流量为40sccm、碳源气体流量为20sccm和氩气流量为80sccm下射频60min,依次关闭射频电源和加热电源,停止通入碳源气体,在氢气流量为40sccm和氩气流量为80sccm下随炉冷却至室温,即完成Invar 合金表面生长石墨烯层,得到生长石墨烯的Invar合金;
(3)、压片处理:先利用压片机对AgCuTi粉末钎料进行压片处理,得到AgCuTi薄片;
(4)、SiO2-BN复合陶瓷预处理:先对将SiO2-BN复合陶瓷进行打磨,然后放入丙酮中进行超声清洗,超声清洗10min,再自然风干后,得到预处理后SiO2-BN复合陶瓷;
(5)、装配:将生长石墨烯的Invar合金、AgCuTi薄片和预处理后SiO2-BN复合陶瓷由下至上依次叠放,得到装配好的工件;
(6)、真空钎焊:将装配好的工件放入真空加热炉中,在真空度为1×10-3Pa条件下以升温速率为15℃/min从室温加热至600℃,并在温度为600℃保温10min,然后以升温速率为5℃/min升温至860℃,在温度为860℃下保温10min,最后以降温速率为5℃/min 冷却至室温,即完成SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊。
本实施例步骤(5)中叠放时,生长石墨烯的Invar合金的石墨烯层朝上。
经检测,SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的接头抗剪强度为25MPa。
图1为实施例1步骤(2)中得到的生长石墨烯的Invar合金的SEM图;通过图1可知,在Invar合金表面原位生长出了密度较高且分布均匀的石墨烯薄片,质量较好,石墨烯片的大小接近于100nm。
图2为实施例1步骤(2)中得到的生长石墨烯的Invar合金的拉曼光谱图;拉曼光谱的 ID均小于IG,ID/IG的比值为0.86,表明Invar合金原位生长的石墨烯缺陷较少,质量较高。
图3为实施例1得到的SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金钎焊接头SEM图;通过图3 可以看出脆性化合物带“消失不见”,脆性化合物的含量也有明显减少,同时化合物弥散程度较高。
实施例2:本实施例与实施例1的不同点是:步骤(6)中以升温速率为5℃/min升温至 840℃,在温度为840℃下保温10min。其他与实施例1相同。
经检测,SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的接头抗剪强度为23MPa。
对比实施例:
一、前处理:先用砂纸对Invar合金进行打磨,打磨后超声清洗,再进行抛光,得到抛光后的Invar合金,抛光后的Invar合金置于丙酮中保存;
二、压片处理:先利用压片机对AgCuTi粉末钎料进行压片处理,得到AgCuTi薄片;
三、SiO2-BN复合陶瓷预处理:先对将SiO2-BN复合陶瓷进行打磨,然后放入丙酮中进行超声清洗,超声清洗10min,再自然风干后,得到预处理后SiO2-BN复合陶瓷;
四、装配:将抛光后的Invar合金、AgCuTi薄片和预处理后SiO2-BN复合陶瓷由下至上依次叠放,得到装配好的工件;
五、真空钎焊:将装配好的工件放入真空加热炉中,在真空度为1×10-3Pa条件下以升温速率为15℃/min从室温加热至600℃,并在温度为600℃保温10min,然后以升温速率为5℃/min升温至860℃,在温度为860℃下保温10min,最后以降温速率为5℃/min 冷却至室温,即完成SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊。
经检测,SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的接头抗剪强度为21MPa。
图4为对比实施例得到的SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金钎焊接头SEM图;通过图 4可知,界面中有波浪状化合物带生成,宽度约为50μm,该化合物带位于焊缝中央,其较差的塑性变形能力引起较大的残余应力,降低接头力学性能。通过与图3对比可知,在焊接前,利用PECVD的方法在金属表面原位生长石墨烯,可以在焊接过程中有效“抑制”母材的过度溶解,从而减少脆性化合物的含量,提高接头力学性能。
Claims (8)
1.一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法是按以下步骤完成的:
先利用等离子体增强化学气相沉积方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯层,然后采用AgCuTi钎料与SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊;
所述利用等离子体增强化学气相沉积方法在Invar合金表面原位垂直生长石墨烯层是按照以下步骤进行的:
一、前处理:先用砂纸对Invar合金进行打磨,打磨后超声清洗,再进行抛光,得到抛光后的Invar合金,抛光后的Invar合金置于丙酮中保存;
二、生长石墨烯层:①、将抛光后的Invar合金置于等离子体增强化学气相沉积真空装置炉腔的工作台上,对炉腔抽真空至10-1Pa以下,以流量为40~50sccm通入氢气,调节炉腔内压强为500Pa,然后在压强为500Pa和氢气流量为40~50sccm下升温至500℃~800℃;②、打开射频电源,调节射频功率为125W~200W,在温度为500℃~800℃和氢气流量为40~50sccm下通入碳源气体和氩气,碳源气体流量为5~30sccm,氩气流量为70~95sccm,调节炉腔内压强为500Pa~1000Pa;③、在射频功率为100W~200W、压强为500Pa~1000Pa、温度为500℃~800℃、氢气流量为40~50sccm、碳源气体流量为5~30sccm和氩气流量为70~95sccm下射频60min,依次关闭射频电源和加热电源,停止通入碳源气体,在氢气流量为40~50sccm和氩气流量为70~95sccm下随炉冷却至室温,即完成Invar合金表面生长石墨烯层,得到生长石墨烯的Invar合金。
2.根据权利要求1所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于步骤二②和③中所述的碳源气体为甲烷。
3.根据权利要求1所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于步骤二③中生长石墨烯的Invar合金的石墨烯层均匀垂直生长在Invar合金表面,且石墨烯层的层数为6~8层。
4.根据权利要求1所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于所述AgCuTi钎料为AgCuTi粉末钎料,先利用压片机对AgCuTi粉末钎料进行压片处理,得到AgCuTi薄片,然后将生长石墨烯的Invar合金、AgCuTi薄片和SiO2-BN复合陶瓷由下至上依次叠放,再进行真空钎焊。
5.根据权利要求4所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于所述真空钎焊的钎焊温度是820℃~900℃,钎焊时间为1min~60min。
6.根据权利要求1所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于所述SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊前先进行预处理,具体操作如下:
先对SiO2-BN复合陶瓷进行打磨,然后放入丙酮中进行超声清洗,超声清洗10min,再自然风干后,即完成SiO2-BN复合陶瓷真空钎焊前的预处理。
7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法是按以下步骤完成的:
(1)、前处理:先用砂纸对Invar合金进行打磨,打磨后超声清洗,再进行抛光,得到抛光后的Invar合金,抛光后的Invar合金置于丙酮中保存;
(2)、生长石墨烯层:①、将抛光后的Invar合金置于等离子体增强化学气相沉积真空装置炉腔的工作台上,对炉腔抽真空至10-1Pa以下,以流量为40~50sccm通入氢气,调节炉腔内压强为500Pa,然后在压强为500Pa和氢气流量为40~50sccm下升温至500℃~800℃;②、打开射频电源,调节射频功率为125W~200W,在温度为500℃~800℃和氢气流量为40~50sccm下通入碳源气体和氩气,碳源气体流量为5~30sccm,氩气流量为70~95sccm,调节炉腔内压强为500Pa~1000Pa;③、在射频功率为100~200W、压强为500Pa~1000Pa、温度为500℃~800℃、氢气流量为40~50sccm、碳源气体流量为5~30sccm和氩气流量为70~95sccm下射频60min,依次关闭射频电源和加热电源,停止通入碳源气体,在氢气流量为40~50sccm和氩气流量为70~95sccm下随炉冷却至室温,即完成Invar合金表面生长石墨烯层,得到生长石墨烯的Invar合金;
(3)、压片处理:先利用压片机对AgCuTi粉末钎料进行压片处理,得到AgCuTi薄片;
(4)、SiO2-BN复合陶瓷预处理:先对SiO2-BN复合陶瓷进行打磨,然后放入丙酮中进行超声清洗,超声清洗10min,再自然风干后,得到预处理后SiO2-BN复合陶瓷;
(5)、装配:将生长石墨烯的Invar合金、AgCuTi薄片和预处理后SiO2-BN复合陶瓷由下至上依次叠放,得到装配好的工件;
(6)、真空钎焊:将装配好的工件放入真空加热炉中,在真空度为1×10-3Pa条件下以升温速率为15℃/min从室温加热至600℃,并在温度为600℃保温10min,然后以升温速率为5℃/min升温至820℃~900℃,在温度为820℃~900℃下保温1min~60min,最后以降温速率为5℃/min冷却至室温,即完成SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊。
8.根据权利要求7所述的一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法,其特征在于步骤(6)中以升温速率为5℃/min升温至840℃~880℃,在温度为840℃~880℃下保温10min~30min。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810381022.5A CN108296586B (zh) | 2018-04-25 | 2018-04-25 | 一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810381022.5A CN108296586B (zh) | 2018-04-25 | 2018-04-25 | 一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108296586A CN108296586A (zh) | 2018-07-20 |
CN108296586B true CN108296586B (zh) | 2020-05-12 |
Family
ID=62846400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810381022.5A Active CN108296586B (zh) | 2018-04-25 | 2018-04-25 | 一种SiO2-BN复合陶瓷与Invar合金的钎焊方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108296586B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109175764B (zh) * | 2018-09-20 | 2020-07-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种石墨烯海绵中间层辅助钎焊的方法 |
CN110315159B (zh) * | 2019-07-19 | 2020-07-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种硬质合金钢复合刀具的制造方法 |
CN110270729B (zh) * | 2019-07-19 | 2021-04-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种以石墨烯阻隔层辅助钎焊Ti-Al系合金和陶瓷的方法 |
CN113307647B (zh) * | 2021-04-16 | 2022-05-31 | 长春工业大学 | 一种氮化铝陶瓷覆铜板的间接钎焊方法 |
CN114178738A (zh) * | 2021-12-08 | 2022-03-15 | 浙江亚通焊材有限公司 | 一种陶瓷与不锈钢钎焊用活性钎料和钎料焊膏 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6054267A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-28 | Fujitsu Ltd | ろう接方法 |
JPH07330455A (ja) * | 1994-06-13 | 1995-12-19 | Toyota Motor Corp | セラミック材と金属材との接合方法 |
CN102584312B (zh) * | 2012-03-01 | 2013-07-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种陶瓷基纤维编织复合材料与金属材料的碳纳米管辅助钎焊方法 |
CN103341674B (zh) * | 2013-06-26 | 2015-05-27 | 哈尔滨工业大学 | 一种陶瓷基复合材料与金属材料的石墨烯辅助钎焊方法 |
CN103817466B (zh) * | 2014-02-26 | 2015-09-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种低温高效制备石墨烯增强铜基复合钎料的方法 |
CN105643038B (zh) * | 2016-04-08 | 2018-10-09 | 哈尔滨工业大学 | 钎焊多孔Si3N4陶瓷与Invar合金的方法 |
CN107649758B (zh) * | 2017-09-29 | 2019-08-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种利用复合钎料对多孔氮化硅陶瓷与因瓦合金进行钎焊的方法 |
-
2018
- 2018-04-25 CN CN201810381022.5A patent/CN108296586B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108296586A (zh) | 2018-07-20 |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |