CN107845585B - 在线污染监测系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及在线污染监测系统及方法。本发明的在线污染监测系统特征在于，包括：取样单元(100)，通过与使用、存储或供应化学制品的点连接的线而导入所述化学制品，并生成要传输的传输样品；主系统(200)，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线(300)而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后而以封装的状态传输。

Description

在线污染监测系统及方法

技术领域

本发明涉及在线污染监测系统及方法，更具体地涉及一种实时对在半导体制造工艺等中使用的化学制品污染进行在线（On-line）监测的系统及方法。

背景技术

当前，在半导体制造工艺等尖端制造产业，极微量的污染为收益率与生产力最重要的原因。由此，在生产工艺中，当实时对极微量的污染源实施分析时，能够通过防止因污染而发生的大量的不良，从而，谋求提高收益率及生产力。

但，半导体等制造业的生产装备分散配置于大规模生产线上，化学制品制造业也因罐之间的距离远，需要对化学制品监测的点也分散在宽的区域。为了监测化学制品，在每个如上所示分散的各个监测点上设置分析仪，但其存在伴随极大投资相当昂贵的分析仪的问题。

作为解决该问题的解决方案，将一个分析仪大致设置在监测点的中间距离之后，设置供在各个点上采取样本之后传输至分析仪的取样单元时，能够构成共享高成本的分析仪的系统。但，在将按如上所述方法采取的样本传输至分析仪而进行分析的系统的可靠性或效率性降低时，存在无法适用该拓扑结构（topology）的问题。

对于上述现有技术问题及课题进行了说明，但对于该问题及课题的认识并非本发明的技术领域普通技术人员了解。

发明内容

本发明的目的为提供一种在线污染监测系统及方法，将样本由多个监测点传输至分析仪进行分析，并能够确保可靠性与效率性。

本发明的一实施例的在线污染监测系统包括：取样单元，通过与供使用、存储或供应化学制品的点连接的线导入所述化学制品并生成要传输的样品（下面称为“传输样品”）；主系统，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪进行分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后，而以封装的状态传输。

对于所述在线污染监测系统，所述取样单元将所述导入的化学制品通过去离子水稀释而生成降低黏度的所述传输样品。

对于所述在线污染监测系统，所述主系统包括：预处理部，将所述传输样品容纳于预处理器皿的状态下，蒸发所述传输样品的液体而剩下污染物，并将剩下的污染物通过回收溶液而生成回收的样品（下面称为“回收样品”）。

所述在线污染监测系统还包括：检验溶液供应部，将检验溶液供应至所述取样单元，其中，当检测出通过所述分析仪分析的所述传输样品的结果为污染时，所述取样单元使得通过所述传输线传输所述检验溶液，而通过所述分析仪检验。

本发明的一实施例的在线污染监测方法是一种在线污染监测系统中执行的在线污染监测方法，其中，在线污染监测系统，包括：取样单元，通过与供使用、存储或供应化学制品的点连接的线导入所述化学制品并生成要传输的样品（下面称为“传输样品”）；主系统，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪进行分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后，而以封装的状态传输，该在线污染监测方法，包括如下步骤：第一步骤，所述主系统接收所述传输样品而分析；第二步骤，在检测出在所述第一步骤中的分析结果为污染的情况下，所述取样单元通过所述传输线传输检验溶液，并且，所述主系统进行分析；第三-一步骤，在所述第二步骤中的分析结果与所述检验溶液的预测不同的情况下，判断所述污染监测系统出现异常。

本发明的一实施例的在线污染监测系统及方法具有如下效果，将样本从多个监测点传输至分析仪并进行分析，能够确保可靠性与效率性。

本发明的一实施例具有如下效果，将所导入的化学制品以封装的方法传输时，通过去离子水稀释而生成降低黏度的传输样品并传输，由此，能够更顺畅、有效且可靠地传输样品。

本发明的一实施例具有如下效果，将预处理器皿通过红外线透过的材料形成，将对预处理器皿加热的加热器以灯式进行，由此，未极大增加预处理器皿的温度，从而，能够快速冷却，因而，能够快速进行样品的污染分析。

本发明的一实施例具有如下效果，执行对样品的溶液的蒸发与利用回收溶液的回收，保证矩阵的成分及密度等相同，另外，以密闭的状态而非开放的状态自动执行该过程，由此，保证分析的准确度，同时能够获取稳定性。

本发明的一实施例具有如下效果，具有将检验溶液供应至取样单元的检验溶液供应部，当检测出通过所述分析仪分析的传输样品的结果为污染时，取样单元通过相同的传输线而传输检验溶液，并通过分析仪进行检验，对于因错误的污染情报而造成生产中断的情况防患于未然。

附图说明

图1为例示本发明的在线污染监测系统的整体拓扑结构的附图；

图2为显示本发明的一实施例的传输线300与通过传输线300而传输的传输样品A的示例图；

图3为本发明的一实施例的取样单元100的结构图；

图4为显示本发明的一实施例的主系统200的结构的框图；

图5为显示本发明的一实施例的预处理部220的结构的附图；

图6为显示本发明的一实施例的导入部230的结构的附图；

图7为显示本发明的一实施例的检验溶液供应部260的结构的附图。

符号说明

100：取样单元 200：主系统

210：样品接收部 220：预处理部

230：导入部 240：分析仪

250：控制部 260：检验溶液供应部

300：传输线

具体实施方式

参照附图对本发明的实施例进行具体说明，以使本发明所属技术领域的技术人员容易实施。但，本发明能够以各种不同的形式实现，并非限定于在此说明的实施例。并且，在附图中，为了明确说明本发明，而省略了与说明无关的部分，通过整个说明书，对于相似的部分使用相似的名称及附图标记。

图1为例示本发明的在线污染监测系统的整个拓扑结构的附图。

本发明的一实施例的在线污染监测系统包括：多个取样单元100，分散配置；主系统200，通过传输线300与分散配置的多个取样单元100而呈放射状连接；传输线300，连接取样单元100与主系统200之间。

取样单元100通过与使用、存储或供应化学制品（主要为液体状态）的点，即监测点连接的导入线（未图示）而导入化学制品，并生成通过传输线300传输的样品（下面称为“传输样品”）。

监测点，例如，半导体制造工厂的工厂区（FAB Area）、服务区（Service Area）或化学制品供应区（Chemical Supply Area）的湿法加工（Wet Porcess）设备、化学制品供应装置、配管、罐（Tank）等，化学制品制造工厂的工艺设备、配管、罐（Tank）等。

取样单元100位于监测点的附近，自动采取使用、存储或供应的化学制品的样品，并在快的时间内将样品传输至分析仪所处的主系统。对于取样单元100的具体结构，在图3及其说明部分进行叙述。

主系统200通过传输线300从取样单元100接收传输样品而通过分析仪分析。主系统200接收从多个取样单元100传输的样品而进行分析，对分析结果是否为污染、污染物的种类或污染物的浓度/含量中一个以上进行报告，并向使用者发出报警。

由监测点至主系统的移送过程与主系统内的移送过程全部为封闭系统（closesystem），通过在线传输（on-line delivery）结构进行。

另外，为了提高在线污染监测系统的效率，需要将更多的取样单元100与一个主系统200连接，由此，从取样单元100至主系统200的距离为100m至300m。

长距离运输现有液体状态的化学制品的样品的方法熟知的大致为两种。

第一种方法为如短距离运输一样全部填充传输线并移送的方式。如上所述的方式的可靠性高，但存在必须要采取的样品的量与传输距离成比例而造成非常大的问题，进而降低效率的问题。

第二种方法为将液体状态的化学制品汽化并传输发生了汽化的样品的方式，如上所述的方式具有提高效率性的优点，但发生包含于化学制品的污染物（主要金属成分）在传输过程中吸附于传输线的问题。

图2为显示本发明的一实施例的传输线300与通过传输线300传输的传输样品A的示例图。

根据本发明，将样品传输至传输线，并在传输线300内，液体状态的传输样品A以高压的非反应性气体G位于前后而封装的状态传输。非反应性气体为N2或Ar等。传输样品因位于两侧的高压的非反应性气体施压，在传输线300内，传输样品保持封装的状态并间歇地传输。

传输线的内径d为0.5mm～1.6mm，在内径太大时，存在封装的传输样品发生破损的问题，在内径太小时，存在传输量小，降低传输效率的问题。

图3为本发明的一实施例的取样单元100的结构图。

取样单元100包括：DI器皿（Vessel）110、样品器皿（Vessel）120、注射阀130、传感器S11、S12、S13及中压闸阀V11～V18。

取样单元执行如下功能，通过与监测点连接的线而在线导入化学制品，将所导入的化学制品保持原样或通过去离子水稀释，从而，降低黏度而生成传输样品，将所生成的传输样品通过传输线300传输。并且，取样单元接收由位于取样单元附近或主系统200的检验溶液供应部（260；参照图4及图7）供应的检验溶液，而通过传输线300传输。

DI器皿110通过中压闸阀V15而接收所供应的去离子水，能够暂时存储定量去离子水，而且，N2等非反应性气体通过中压闸阀（V16）推动暂时存储于DI器皿110的去离子水。样品器皿120及DI器皿110为线圈（coil）或容器（container）等形状，具有定量的体积（volume）。

优选地，DI器皿及样品器皿为线圈状的器皿，尤其，将样品器皿形成为线圈状，将暂时存储的化学制品借助通过DI器皿供应的去离子水清洗时，能够快速执行清洗。

样品器皿120暂时存储由监测点通过中压闸阀V17导入的定量化学制品。

传感器S11、S12、S13为光传感器或接近传感器，至少能够相互区分并检测去离子水、化学制品或检验溶液等液体与N2等非反应性气体。

注射阀130例如，具有六个口，传递环（Delivery Loop）140的两端与两个口连接，并具有接收所供应的N2等被加压的非反应性气体的口、与排水系统（Drain）连接的口、与传输线300连接的口、通过中压闸阀V18而与样品器皿120连接的口。

注射阀130根据位于主系统200的控制部250等控制而转换装载位置（LoadPosition）与传输位置（Delivery Position）两个位置。优选地，传递环140的体积大于样品器皿120的体积或样品器皿120与DI器皿110合起来的体积。

DI器皿110、样品器皿120及传递环140借助一个以上中压闸阀与注射阀（注射阀为装载位置时）而串联连接，按DI器皿、样品器皿及传递环的顺序连接。由此，将暂时存储于DI器皿110的去离子水与暂时存储于样品器皿120的化学制品传输并填充至传递环140时，去离子水清洗样品器皿120的化学制品，并且，不会残留化学制品并能够全部传输至传递环140。当将化学制品暂时存储于样品器皿120时，存储设定的量，中间发生损耗（Loss）时，并非为所希望的，但根据所述结构而不发生残留地全部传输至传递环140。

下面，对取样单元100的运行进行说明。

首先，由监测点通过中压闸阀V17而导入化学制品，开启中压闸阀V11、V14、V17。化学制品的导入通过赋予化学制品本身的正压，或使用设置于排水系统（Drain）的泵（未图示）等而执行。在导入的初期步骤中所导入的化学制品经过样品器皿120而通过中压闸阀V14及中压闸阀V11而由排水系统排出，在排出一定量之后，关闭中压闸阀，填充与样品器皿120的体积对应的量（正确的为与相邻的中压闸阀之间的空间对应的量，在现实中，与样品器皿相邻的中压闸阀之间的距离设计地非常接近）。通过传感器S12确认化学制品被正常导入的情况。

并且，在将化学制品填充至样品器皿120之前，打开中压闸阀V16、V12、V14、V18，在将注射阀130作为装载位置的状态下，利用N2等非反应性气体而腾空DI器皿110及样品器皿120。

在需要稀释的情况下，将去离子水DI填充至DI器皿110而使用。打开中压闸阀V15、V12、V11，在初期，去离子水通过DI器皿110而流至排水系统（Drain），在排出一定量之后，关闭中压闸阀而将去离子水填充至DI器皿110。

稀释比例通过样品器皿与DI器皿的体积比例而设定，所填充的化学制品与去离子水移动而填充至与一端的注射阀130连接的传递环140。填充的方式如附图所示，使用N2等气体加压或泵等，注射阀130的位置必须为装载位置（load position），样品被填充至传递环140的情况通过传感器S13检测。如上所示，将暂时存储于样品器皿120的化学制品与暂时存储于DI器皿110的去离子水由注射阀130的装载位置移动并填充至传递环140而成为传输样品。

本发明的一个特征为有选择地稀释化学制品的样品而传输。取样单元100将所导入的化学制品有选择地通过去离子水稀释，生成降低黏度的传输样品而传输。硫酸、磷酸等化学制品因黏度高，将其直接通过本发明的封装方法传输时，无法顺畅推动，由此，存在传输中浪费大量时间并传输中造成损耗（Loss）的问题。根据本发明的一个特征，在通过封装方法传输时，稀释硫酸、磷酸等化学制品的样品而传输，具有能够更顺畅有效并可靠得传输样品的效果。

并且，填充至传递环140的传输样品通过传输线300而大部分长距离快速传输，从而，传输至主系统200。为此，首先，注射阀130转换为传输位置（Delivery Position），在传输位置的状态下，在图面下侧所示，通过高压对N2或Ar等非反应性气体施压时，位于传递环的传输样品通过传输线300传输。在注射阀130的传输位置通过非反应性气体推动填充至传递环140的传输样品，并通过传输线300传输。并且，此时，在传输线300内，传输样品A的情况如图2说明所示。

另外，为了检验，取样单元100通过中压闸阀V13而将检验溶液从位于附近或位于主系统200的检验溶液供应部260而填充至传递环140，此时，打开中压闸阀V13、V14、V18，在将注射阀130作为装载位置的状态下，将检验溶液填充至传递环140。检验溶液例如是一种将污染物进入特定化学制品，而预先知晓污染物的种类及浓度的标准溶液。

并且，在将传输样品进行传输之后，取样单元100的内部通道通过去离子水或化学制品清洗。例如，打开中压闸阀V16、V12、V14、V18，在将注射阀130作为装载位置的状态下，将去离子水DI流至排水系统（Drain）而清洗。

在进行传输样品的传输之后，传输线300利用去离子水或化学制品清洗。例如，将去离子水装载至传递环140之后，执行多次反复传输的过程的方法。并且，一个取样单元100从多个监测点采取样品而传输，形成多个如图3所示的结构。

图4为显示本发明的一实施例的主系统200的结构的框图。

主系统200包括：样品接收部210、预处理部220、导入部230、分析仪240、控制部250及检验溶液供应部260。

样品接收部210通过传输线300从连接的多个取样单元100接收传输样品。例如，样品接收部210的传输线300的一端或由此延伸的线包含供从向内部垂挂的缸形的器皿（下面未图示）与器皿接收的传输样品移送至将下文叙述的预处理部220的线等，并具有与传输线的数量对应，或按传输线的组分别对应的数量的器皿。

预处理部220与样品接收部210连接，在将接收从样品接收部210移送的传输样品容纳于预处理器皿的状态下，蒸发传输样品的液体，留下污染物，并将留下的污染物作为回收溶液而生成回收的样品（下面称为“回收样品”）。

导入部230位于预处理部220的后端，并将定量的回收样品导入分析仪240，执行供应用于其它分析仪240的刻度的标准溶液与有选择地通过去离子水稀释回收样品的功能。

分析仪240为对存在于样品内的物质进行分析的公知的设备，分析是否发生污染、污染物的种类、污染物的浓度或含量等，并且，为HPIC、ICPMS、ICP-AES、AAS、HPLC、CE、UV-vis、Fluorescence等，优选的为ICP-MS。

控制部250控制主系统200的各个部分与取样单元100，例如，接收由传感器的传感信号并与分析仪连接，控制中压闸阀及注射阀等。检验溶液供应部260执行将检验溶液（标准溶液）供应至取样单元100而用于检验的功能。

图5为显示本发明的一实施例的预处理部220的结构的附图。

预处理部220在将传输样品容纳于预处理器皿221的状态下，蒸发传输样品的液体并留下污染物，并生成将通过回收溶液而回收留下的污染物的样品（“回收样品”）。预处理部220对化学制品的样品进行加热，蒸发而去除液体，并且，仅留下金属成分的污染物，并回收而分析。

预处理部220包括：预处理器皿221、外部器皿（Outer Vessel）222、加热器（Heater）223、冷却器（Cooler）224、第一注射阀225、第二注射阀226与多个中压闸阀（V21、V22、V23等），具有加热及冷却功能、定量供应回收溶液功能、导入定量样品功能及移送及清洗预处理样品的功能。

预处理器皿221的材质为石英、PTFE、PFA或PEEK，具有红外线透过性，至少透过自加热器223的红外线，偏好耐化学性及耐热性材质。并且，预处理器皿221的下部为U字形或V字形，由此，易于将少量的回收样品导入至分析仪。

预处理器皿221的外部被外部器皿222环绕，并且，容纳由预处理器皿221溢出的液体。

加热器223对容纳于预处理器皿222的样品的液体蒸发并浓缩，优选地，蒸发所有液体并仅留下金属等污染物。

加热器223使用红外线IR或卤素（Halogen）等灯式加热器。对于耐化学性塑料材质，大致在250度～300度左右发生变形，但灯式加热器施加辐射热时，由耐化学性优秀的塑料形成的预处理器皿221的温度不会发生大地增加，而仅加热位于预处理器皿221的内部的样品。并且，也能够解决当预处理器皿的温度变高时必须冷却，但一般地因冷却时间比升温花费更长时间，不适应在线（On-line）样品处理等问题。

根据本发明的一个特征，将预处理器皿由红外线透过性材质形成，并将对预处理器皿进行加热的加热器制造为灯式，由此，具有如下效果，未极大增加预处理器皿的温度，由此，能够快速冷却，从而，能够快速进行样品的污染分析。

并且，加热器223除了使用灯式之外，一般能够使用全热加热器、碳加热器、帕尔贴（Peltier）、微波（microwave）、hotN2等。

第一注射阀225用于将样品（传输样品）导入预处理器皿221，第二注射阀226为用于将回收溶液导入至预处理器皿221。

回收溶液用于融化干燥的样品（污染物），设定体积的回收溶液被供应至预处理器皿221。回收溶液为金属污染物时，能够利用硝酸或氢氟酸+过氧化氢等酸系列。

下面，对本发明的一实施例的预处理部220的动作进行说明。

首先，将传输样品由样品接收部210的器皿传输至预处理器皿221，此时，使用图示的第一注射阀（injection valve）225或定量泵系统等，以用于导入定量的样品。例如，在第一注射阀225的装载位置将样品装载至注射阀的样品环，在注射位置上借助通过非反应性气体施压的结构227等而将装载的样品移送至预处理器皿221。

并且，利用加热器223的能量而加热预处理器皿221的样品，蒸发液体并仅留下要分析的污染物。当样品的液体被蒸发时，仅样品内的污染物留在预处理器皿221的底部，当通过少于传输样品的量的回收溶液而回收所留下的污染物时，能够获得浓缩效果。例如，被蒸发的液体（化学制品）为硫酸、磷酸、氢氟酸、氢氧化铵、IPA等。

并且，利用冷却器224而对预处理器皿221进行冷却，用于干燥样品而加热的预处理器皿221必须冷却，以用于回收的准确性。如上所述，灯式易于冷却，并且，通过N2等气体的分散也容易冷却。对于其它的冷却方式，能够采用利用冷却水的方式或利用Peltier元素的方式等。

并且，为了对残留在预处理器皿221的污染物进行分析而作为回收溶液回收。在供应回收溶液之前，预处理器皿221必须冷却至常温，为了导入定量回收溶液而使用图示的第二注射阀226或定量泵系统等。例如，在第二注射阀226的装载位置将回收溶液装载在注射阀的样品环，在注射位置借助通过非反应性气体而施压的结构228等将所装载的回收溶液移送至预处理器皿221。将设定体积的回收溶液供应至预处理器皿而融化干燥的样品，回收溶液为硝酸或氢氟酸+过氧化氢等。

并且，所回收的样品（回收样品）经过导入部而移送至分析仪进行分析。在开启中压闸阀V23的状态下，预处理器皿221的回收样品被装载至与下面所述的导入部230（参照图6）的第三注射阀231结合的样品环，之后移送至分析仪240。对于装载样品环，使用气体施压或泵等而执行。

在样品的预处理与移送后，清洗移动路径与预处理器皿而达到初期化。为了提高清洗效率，器皿形成为溢流式的结构（over flow type），具有外部器皿222以使环绕预处理器皿221。加热器223形成于外部器皿224的外部或内部，对于形成于外部的情况，外部器皿224也由红外线透过性材质构成。预处理器皿能偶利用去离子水或清洗液清洗，从而保持清洁状态。

根据本发明的一个特征，增加对样品的预处理功能。化学制品样品的成分以有机性、酸性、碱性等各种性质存在。相同浓度的污染物存在各不相同的性状时，分析结果不同。该化学制品的主要成分因矩阵不同，而发生样品导入过程中的差异、分析时干扰影响差异等。并且，即使为相同的性状，但因密度及成分差异，而发生如上所述的影响。并且，间或因样品内的污染物的浓度太低，也存在不易于利用分析仪进行的分析的情况。

根据本发明的一个特征，执行利用样品的溶液的蒸发与回收溶液的回收，由此，矩阵的成分及密度等相同，而且，并非以开放状态而是密闭状态自动执行该过程，由此，具有达到分析的准确度，同时得到稳定性的效果。

图6为显示本发明的一实施例的导入部230的结构的附图。

导入部230位于预处理部220的后端，将定量回收样品导入至分析仪240，执行用于其它分析仪240的刻度的标准溶液的供应及有选择地作为去离子水稀释回收样品的功能。

在第三注射阀231的装载位置上从预处理部220的预处理器皿将回收样品装载至样品环，在注射位置上通过定量泵P22推动去离子水而将装载至样品环的回收样品移送至分析仪240侧。

在导入至分析仪的路径上具有T字管233，将回收样品导入至分析仪240时，有选择地利用定量泵P21而将去离子水导入至T字管233，稀释回收样品，且稀释比例根据各个定量泵推动的去离子水的量（流量）决定。

在第四注射阀232的装载位置上标准溶液被装载至第四注射阀232的样品环，在注射位置上通过定量泵而推动作为去离子水而装载的标准溶液，供应至分析仪240并对分析仪240进行刻度。

传感器S21、S22接近设置于样品环，检测填充至样品环的样品或标准溶液。

图7为显示本发明的一实施例的检验溶液供应部260的结构的附图。

检验溶液供应部260为将检验溶液供应至取样单元100的装置，将传输样品通过分析仪分析的结果检测为污染时，取样单元100将检验溶液通过传输线300而再次传输，并通过分析仪进行检验。

作为一实施例，检验溶液供应部260包含于主系统200而构成，从检验溶液供应部260通过供应线310将检验溶液供应至各个取样单元100，系统能够更有效地形成。

检验溶液（标准溶液）通过打开中压闸阀V24、V27并显示的泵P或利用加压或减压而填充至检验溶液箱261，对于填充检验溶液的情况通过传感器（光传感器、接近传感器等）S23确认。

并且，填充至检验溶液箱261的检验溶液，打开中压闸阀V26、V29并通过对N2等非反应性气体加压而通过传输线300传输，以用于供应至取样单元100。传输的检验溶液通过阀而最终存储至取样单元100的传递环（delivery loop），之后，再次通过传输线300传输至主系统并进行分析。被传输至主系统的检验溶液通过普通分析顺序而分析及判断结果。

在对围绕检验过程的主要运行过程进行说明时，如下所示，主要过程的控制通过主系统200的控制部250执行。

一般而言，各个取样单元100将样品传输至主系统200时，主系统200接收传输样品而分析。

但，根据该分析结果而检测污染时，主系统200的控制部250向使用者发出第一次报警，使位于主系统200等的检验溶液供应部260将检验溶液（标准溶液）供应至相应取样单元100，取样单元100通过相同的传输线300传输检验溶液，以用于检验，并且，主系统200对所接收的检验溶液进行分析。即，将包含知晓种类及浓度的污染物的标准溶液通过相同的路径由取样单元传输至主系统，通过与之前分析相同的分析方法进行分析。

当所传输的检验溶液的分析结果与对检验溶液的预测存在差异时，判断污染监测系统存在异常。当分析结果与检验溶液的预测相同时，判断污染监测系统正常。例如，检测与包含于检验溶液的污染物不同种类的污染物，或污染物的种类相同，但包含于检验溶液的污染物的浓度显示存在超过规定范围的差异时，判断污染监测系统存在异常。

当判断污染监测系统正常时，对化学制品的样品进行再次分析，再次确认分析结果为污染时，发出第二次报警，并终止生成。并且，判断污染监测系统存在异常时，将污染监测系统的异常情况向使用者发出报警。

在生产线上，污染问题与收益率及生产力存在密切关联，必须进行非常重要地管理。假如，检测污染时，必须中断生产工艺，而防止发生大量不良现象。但，当污染分析结果不存在可靠性时，反而会因错误的分析结果而因生产中断而造成极大损失。

根据本发明的一个特征，具有如下效果，具有检验溶液供应部，其将检验溶液供应至取样单元，并且，当将传输样品通过分析仪分析的结果检测为污染时，取样单元通过相同的传输线传输检验溶液，并通过分析仪而检验，能够对因发送错误的污染报警而造成生产中断的问题防患于未然。

Claims (16)

1.一种在线污染监测系统，其特征在于，

包括：

取样单元，通过与使用、存储或供应化学制品的点连接的线而导入所述化学制品，并生成要传输的传输样品；

主系统，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪分析，

其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接，

在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后而以封装的状态传输；

还包括：检验溶液供应部，将检验溶液供应至所述取样单元，

当通过所述分析仪对所述传输样品分析的结果检测为污染时，所述取样单元将所述检验溶液通过所述传输线传输，通过所述分析仪检验。

2.根据权利要求1所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述传输线的内径为0.5mm～1.6mm，所述传输样品以借助所述非反应性气体施压的状态传输。

3.根据权利要求1所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述取样单元将所述导入的化学制品通过去离子水稀释而生成降低黏度的所述传输样品。

4.根据权利要求3所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述取样单元包括：

样品器皿，暂时存储所述导入的定量的化学制品；

DI器皿，暂时存储所述定量的去离子水。

5.根据权利要求4所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述取样单元还包括：

注射阀，供传递环的两端与两个口连接，

i）从所述注射阀的装载位置将暂时存储于所述样品器皿的化学制品与暂时存储于所述DI器皿的去离子水移动并填充至所述传递环而成为所述传输样品，

ii）在所述注射阀的传输位置将填充至所述传递环的所述传输样品通过所述非反应性气体推动并通过所述传输线传输。

6.根据权利要求5所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述DI器皿，所述样品器皿及所述传递环借助一个以上阀而串联连接，以所述DI器皿、所述样品器皿及所述传递环的顺序连接。

7.根据权利要求5所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述DI器皿及所述样品器皿为线圈状器皿。

8.根据权利要求1所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述主系统包括：

预处理部，在将所述传输样品容纳于预处理器皿的状态下，蒸发所述传输样品的液体，而留下污染物，并生成通过回收溶液回收留下的污染物的回收样品。

9.根据权利要求8所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述预处理部包括灯式加热器，

所述预处理器皿具有红外线透过性，至少透过由所述加热器传来的红外线。

10.根据权利要求9所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述预处理器皿的材质为石英、PTFE、PFA或PEEK。

11.根据权利要求8所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述预处理器皿的下部为U字形或V字形。

12.根据权利要求8所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述主系统包括：

导入部，位于所述预处理部的后端，并将定量的回收样品导入至所述分析仪，

具有T字管，有选择地将去离子水导入至通过所述分析仪导入的路径，而用于稀释所述回收样品。

13.根据权利要求8所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述主系统还包括：

控制部，控制所述主系统的各个部分与多个所述取样单元。

14.根据权利要求1所述的在线污染监测系统，其特征在于，

所述检验溶液供应部形成于所述主系统，

通过供应线将所述检验溶液从所述检验溶液供应部供应至各个取样单元。

15.一种在线污染监测方法，是一种在线污染监测系统中执行的在线污染监测方法，在线污染监测系统包括：取样单元，通过与使用、存储或供应化学制品的点连接的线而导入所述化学制品，并生成要传输的传输样品；主系统，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后而以封装的状态传输，该在线污染监测方法特征在于，

包括如下步骤：

第一步骤，所述主系统接收所述传输样品并分析；

第二步骤，当检测在所述第一步骤的分析结果为污染时，所述取样单元将检验溶液通过所述传输线传输，并且，所述主系统进行分析；

第三-一步骤，当所述第二步骤的分析结果与对所述检验溶液的预测不同时，判断所述污染监测系统存在异常。

16.根据权利要求15所述的在线污染监测方法，其特征在于，

还包括：第三-二步骤，当所述第二步骤的分析结果与对所述检验溶液的预测相同时，判断所述污染监测系统正常。

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