CN107533082A - 加速度检测装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置及其制造方法。加速度检测装置(1)具备：压电元件(2)，具有上表面以及下表面；片状的粘接剂(4)，被设置于压电元件(2)的下表面上；和第1封装构件(3)，通过片状的粘接剂(4)而与压电元件(2)接合。

Description

加速度检测装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及被固定于封装构件的加速度检测装置及其制造方法。

背景技术

在下述的专利文献1中，公开了加速度检测装置的一例。在该加速度检测装置中，压电元件通过被支撑框夹着而被保持。

在下述的专利文献2所述的加速度检测装置中，压电元件也通过被壳体构件夹着而被保持。

在下述的专利文献3中，压电元件通过瞬间粘接剂以及导电性粘接剂而被固定于基体构件。

在下述的专利文献4中，压电元件被壳体构件的元件安装部夹着。进一步地，压电元件通过导电性粘接剂以及绝缘性粘接剂而被固定。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP专利第4190208号

专利文献2：JP专利第3183177号

专利文献3：JP特开2001-074768号公报

专利文献4：JP特开平7-202283号公报

发明内容

-发明要解决的课题-

在专利文献1以及2中的加速度检测装置中，压电元件通过直接被支撑框或者壳体构件夹着而被稳固地保持。因此，容易强烈受到由于支撑框或壳体构件的挠曲等而产生的噪声的影响。

在专利文献3中的加速度检测装置中，在瞬间粘接剂以及导电性粘接剂的固化前，由于施加于压电元件的重力的影响，压电元件的位置以及保持角度容易偏移。进一步地，瞬间粘接剂以及导电性粘接剂在固化时较大地膨胀或者收缩。由此，压电元件的位置以及保持角度也容易偏移。

在专利文献4中的加速度检测装置中，也由于导电性粘接剂以及绝缘性粘接剂固化时的膨胀或者收缩，压电元件的位置以及保持角度容易偏移。进一步地，由于压电元件被元件安装部夹着，因此容易受到由于壳体构件的挠曲等而产生的噪声的影响。

本发明的目的在于，提供一种难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置及其制造方法。

-解决课题的手段-

本发明所涉及的加速度检测装置具备：压电元件，具有上表面以及下表面；片状的粘接剂，被设置于所述压电元件的所述下表面上；和第1封装构件，通过所述片状的粘接剂而接合有所述压电元件。

在本发明所涉及的加速度检测装置的某个特定的方面，所述压电元件具有：压电体、和被设置于所述压电体上的第1、第2电极，所述压电体具有：上表面及下表面、第1侧面以及与该第1侧面对置的第2侧面。在该情况下，能够容易地与外部电连接。

在本发明所涉及的加速度检测装置的其他特定的方面，所述第1电极被设置于所述压电体的所述第1侧面上，所述第2电极被设置于所述压电体的所述第2侧面上。在该情况下，能够容易地与外部电连接。

在本发明所涉及的加速度检测装置的另一其他特定的方面，所述第1电极被设置于所述压电体的所述下表面上，所述第2电极被设置于所述压电体的所述上表面上。在该情况下，能够容易地与外部电连接。

在本发明所涉及的加速度检测装置的另外特定的方面，所述压电元件具有：连接于所述第1电极并被设置于所述压电体的所述第1侧面的第1引出电极、和连接于所述第2电极并被设置于所述压电体的所述第2侧面的第2引出电极。在该情况下，能够容易地与外部电连接。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述压电元件具有长度方向，所述上表面以及下表面在所述长度方向上延伸，所述压电元件通过所述片状的粘接剂而被固定，以使得具有至少1个位置的自由端。在该情况下，更加难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移，更加难以受到噪声的影响。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述压电元件通过所述片状的粘接剂而以悬臂梁的状态被支承。在该情况下，更加难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移，更加难以受到噪声的影响。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述片状的粘接剂达到所述压电元件的所述长度方向的端部之中的一个。在该情况下，能够有效地提高灵敏度。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，还具备：第1、第2内部电极，被设置于所述压电元件的内部，并且相互对置。在该情况下，静电电容较大。此外，能够有效地提高灵敏度。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述片状的粘接剂由绝缘性的材料构成。在该情况下，能够将第1电极与第2电极可靠地电绝缘。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，还具备与所述第1封装构件接合的第2封装构件，所述压电元件被所述第1、第2封装构件密封。在该情况下，能够提高强度，并且难以受到来自外部的噪声的影响。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述第1封装构件是平板状，所述第2封装构件是帽盖状。在该情况下，能够提高强度，并且难以受到来自外部的噪声的影响。

在本发明所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述第1封装构件具有凹部，所述压电元件被配置于所述凹部内，所述第2封装构件被设置为覆盖所述凹部，从而所述压电元件被密封。在该情况下，能够提高强度，并且难以受到来自外部的噪声的影响。

本发明所涉及的加速度检测装置的制造方法是根据本发明构成的加速度检测装置的制造方法包含：准备所述压电元件的工序；在所述压电元件的所述下表面上粘贴所述片状的粘接剂的工序；和将所述压电元件经由所述片状的粘接剂而接合于所述第1封装构件上的工序。在该情况下，能够得到更加难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置。

-发明效果-

根据本发明，能够提供一种难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置及其制造方法。

附图说明

图1中的(a)是本发明的第1实施方式所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图1中的(b)是从第1实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图1中的(c)是从第1实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图1中的(d)是沿着图1中的(a)的A-A线的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。

图2中的(a)是本发明的第1实施方式所涉及的加速度检测装置的立体图，图2中的(b)是第1实施方式所涉及的加速度检测装置的分解立体图。

图3中的(a)～图3(d)是用于对第1实施方式所涉及的加速度检测装置的制造方法的一例进行说明的立体图。

图4是本发明的第1实施方式的第1变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图。

图5中的(a)是本发明的第1实施方式的第2变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图5中的(b)是沿着图5中的(a)的B-B线的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。

图6中的(a)是本发明的第1实施方式的第3变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图6中的(b)是沿着图6中的(a)的C-C线的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。

图7中的(a)是本发明的第1实施方式的第4变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图7中的(b)是从第1实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图。

图8是本发明的第1实施方式的第5变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图。

图9中的(a)是本发明的第2实施方式所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图9中的(b)是从第2实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图9中的(c)是从第2实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图。

图10是本发明的第2实施方式的第6变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图。

图11中的(a)是本发明的第3实施方式所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图11中的(b)是从第3实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图11中的(c)是从第3实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图11中的(d)是沿着图11中的(a)的D-D线的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。

图12中的(a)是本发明的第1实施方式的第7变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图12中的(b)是沿着图12中的(a)的E-E线的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。

图13中的(a)是本发明的第3实施方式的第8变形例所涉及的加速度检测装置的俯视图，图13中的(b)是第8变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图13中的(c)是从第8变形例中的压电体的第1侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图。

图14是表示本发明的第3实施方式的第8变形例中的第1封装构件的下表面的电极构造的示意性的俯视图。

图15是本发明的第3实施方式的第9变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的俯视图。

图16是本发明的第4实施方式所涉及的加速度检测装置的侧面剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，来对本发明的具体实施方式进行说明，从而使本发明清楚明了。

另外，指出本说明书中所述的各实施方式是示例性的，在不同的实施方式之间，能够进行构成的局部置换或者组合。

图1(a)是本发明的第1实施方式所涉及的加速度检测装置的俯视图。图1(b)是从第1实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的加速度检测装置的图。图1(c)是从第1实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的加速度检测装置的图。图1(d)是沿着图1(a)中的A-A线的加速度检测装置的剖视图。另外，在图1(a)～图1(d)中，省略后述的第2封装构件。

如图1(a)所示，加速度检测装置1具有第1封装构件3。第1封装构件3具有平板状的形状。第1封装构件3并不被特别限定，例如由玻璃环氧树脂构成。或者，也可以由适当的陶瓷构成。

在第1封装构件3上，设置第1、第2布线5a、5b。进一步地，在第1封装构件3上，设置片状的粘接剂4。如图1(b)以及图1(c)所示，通过片状的粘接剂4，在第1封装构件3上，压电元件2被接合。片状的粘接剂4由环氧树脂等绝缘性的材料构成。另外，片状的粘接剂4的材料并不被特别限定。

如图1(a)以及图1(d)所示，压电元件2具有：压电体2A以及第1、第2电极6a、6b。压电体2A是长方体状，具有长度方向。压电体2A具有在长度方向上延伸的下表面2Aa以及上表面2Ab。进一步地，压电体2A具有在长度方向上延伸的第1侧面2Ac以及与第1侧面2Ac对置的第2侧面2Ad。压电体2A例如由压电单晶、压电陶瓷等构成。在本实施方式中，压电体2A是单层的压电体。另外，压电元件2也可以具有多个压电体层。

第1电极6a被设置在压电体2A的第1侧面2Ac上。第2电极6b被设置在压电体2A的第2侧面2Ad上。

压电元件2通过被设置于压电元件2的下表面2Aa上的片状的粘接剂4，被接合于第1封装构件3上。即，从压电体2A的下表面2Aa侧起，压电元件2被接合于第1封装构件3上。

如图1(a)以及图1(b)所示，压电元件2具有长度方向的一个端部即第1端部2e。压电元件2也具有与第1端部2e对置的第2端部2f。压电元件2在第1端部2e侧，通过片状的粘接剂4，以悬臂梁的状态被支承。第2端部2f是压电元件2的自由端。片状的粘接剂4达到第1端部2e。另外，片状的粘接剂4也可以不达到第1端部2e。

如图1(a)以及图1(d)所示，第1电极6a通过导电性粘接剂7a来与第1布线5a电连接。第2电极6b也通过导电性粘接剂7b来与第2布线5b电连接。由此，压电元件2与外部电连接。

导电性粘接剂7a、7b在从压电元件2的上表面2Ab侧的俯视下，被设置于与片状的粘接剂4重叠的位置。另外，通过导电性粘接剂7a、7b来将第1、第2电极6a、6b和第1、第2布线5a、5b连接的位置并不被特别限定。作为导电性粘接剂7a、7b，并不特别限定，例如能够使用包含导电体的Si系的粘接剂等。

如图1(a)～图1(d)所示，将压电元件2的长度方向设为x方向。将与压电元件2的长度方向垂直的方向设为y方向。将与x-y平面垂直的方向设为z方向。这里，压电元件2所接合的第1封装构件3的面与x-y平面平行。第1、第2电极6a、6b在y方向相互对置。即，加速度检测装置1的主轴方向相对于x-y平面为0°。

图2(a)是本发明的第1实施方式所涉及的加速度检测装置的立体图。图2(b)是第1实施方式所涉及的加速度检测装置的分解立体图。

如图2(a)所示，加速度检测装置1具有接合在第1封装构件3上的第2封装构件8。第2封装构件8具有帽盖状的形状。如图2(a)以及图2(b)所示，通过第1封装构件3以及第2封装构件8，压电元件2被密封。

加速度检测装置1不是必须具有第2封装构件8。然而，优选压电元件2被第1封装构件3以及第2封装构件8密封。由此，能够提高加速度检测装置1的强度，并且难以受到来自外部的机械性噪声的影响。此外，通过将第2封装构件由金属构成，将该电位降低至接地，从而也难以受到电磁噪声的影响。另外，第2封装构件8的材料并不被特别限定，例如也可以由陶瓷构成。

本实施方式的加速度检测装置1的特征在于，压电元件2通过片状的粘接剂4而被接合于第1封装构件3上。由此，加速度检测装置1难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移，并且难以受到噪声的影响。以下对此进行说明。

以往，在通过粘接剂来支承压电元件的加速度检测装置中，在使粘接剂固化之前，压电元件未被充分固定。因此，由于重力等的影响，压电元件的保持角度容易偏移。进一步地，在粘接剂固化时，由于粘接剂膨胀或者收缩，因此压电元件的保持角度以及位置可能偏移。

或者，在压电元件通过被壳体构件等夹着而被支承的情况下，容易从壳体构件向压电元件传递振动等。因此，容易受到由于壳体构件的挠曲等而产生的噪声的影响。

与此相对地，在本实施方式中，如图1(a)～图1(d)所示，压电元件2被片状的粘接剂4支承。片状的粘接剂4以面来支承压电元件2。因此，能够使压电元件2的姿势稳定。因此，能够有效地抑制保持角度的偏移。

压电元件2经由片状的粘接剂4而被接合于第1封装构件3上。因此，压电元件2不与第1封装构件3直接接触。进一步地，压电元件2被片状的粘接剂4在1个位置支承。因此，难以受到第1封装构件3的挠曲等所导致的噪声的影响。

另外，如上述那样，在压电体2A的第1、第2侧面2Ac、2Ad上，设置有第1、第2电极6a、6b。第1、第2电极6a、6b通过导电性粘接剂7a、7b而与第1、第2布线5a、5b电连接。这里，导电性粘接剂7a、7b是为了将第1、第2电极6a、6b和第1、第2布线5a、5b电连接而被设置的，未进行物理上稳固地连接。即，几乎不会有助于压电元件2的支承。因此，能有效地抑制第1封装构件3的挠曲等所导致的噪声的影响。

压电元件2以悬臂梁的状态被支承。片状的粘接剂4达到压电元件2的第1端部2e。由此，能够增长压电元件2被支承的部分与自由端即第2端部2f的距离。因此，能够有效地提高加速度检测装置1的灵敏度。

进一步地，如上述那样，由于难以产生压电元件2的保持角度的偏移，因此从加速度检测装置1的主轴起的偏移也难以产生。因此，能够有效地抑制灵敏度的降低。

第1、第2电极6a、6b被设置于压电体2A的第1、第2侧面2Ac、2Ad上，在外部露出。因此，能够容易地与外部电连接。进一步地，由于片状的粘接剂4由绝缘体构成，因此能够可靠地将第1电极6a和第2电极6b电绝缘。

以下，对第1实施方式所涉及的加速度检测装置的制造方法的一例进行说明。

图3(a)～图3(d)是用于对第1实施方式所涉及的加速度检测装置的制造方法的一例进行说明的立体图。

如图3(a)所示，准备具有压电体2A的压电元件2。接下来，在压电元件2的下表面上粘贴片状的粘接剂4。此时，粘贴半固化状态的片状的粘接剂4以使得达到压电元件2的第1端部2e。另外，也可以在未达到第1端部2e的位置设置片状的粘接剂4。由于片状的粘接剂4难以流动，因此能够容易并且可靠地调整粘贴的位置。由此，能够容易并且可靠地调整灵敏度。

接下来，如图3(b)所示，通过片状的粘接剂4，在第1封装构件3接合压电元件2。由于能够通过片状的粘接剂4来以面支承压电元件2，因此能够使压电元件2的姿势稳定。因此，能够有效地抑制保持角度的偏移。

进一步地，在上述的接合时，片状的粘接剂4为半固化状态。因此，片状的粘接剂4在固化时，形状难以变化。因此，难以产生压电元件2的位置以及保持角度的偏移。

这里，如上述那样，在压电体2A的第1、第2侧面2Ac、2Ad上，设置第1、第2电极6a、6b。在第1封装构件3上，设置第1、第2布线5a、5b。

接下来，如图3(c)所示，通过导电性粘接剂7b来将第2电极6b和第2布线5b电连接。虽未图示，但通过导电性粘接剂来将第1电极6a和第1布线5a电连接。

接下来，如图3(d)所示，通过将第2封装构件8接合于第1封装构件3上，来密封压电元件。由此，能够得到加速度检测装置1。

另外，第1、第2电极6a、6b与第1、第2布线5a、5b的电连接的方式并不被特别限定。上述连接的方式即使是其它的方式，也与第1实施方式同样地，难以产生压电元件2的位置、保持角度的偏移。通过以下述的第1～第3变形例为例，来对此进行说明。

如图4所示的第1变形例的加速度检测装置41那样，第1、第2电极46a、46b和第1、第2布线45a、45b也可以通过接合引线47a、47b来电连接。更具体而言，第1电极46a具有被引出到压电体2A的上表面2Ab上的第1引出电极46a1。第2电极46b也具有被引出到压电体2A的上表面2Ab上的第2引出电极46b1。第1引出电极46a1和第1布线45a通过接合引线47a而被电连接。第2引出电极46b1和第2布线45b通过接合引线47b而被电连接。

图5(a)是第1实施方式的第2变形例所涉及的加速度检测装置的俯视图。图5(b)是沿着图5(a)中的B-B线的加速度检测装置的剖视图。另外，在除了上述的图2以及图3、下述的图13(a)以及图14以外的附图中，省略第2封装构件。

如图5(b)所示，加速度检测装置51的第1电极46a具有被引出到压电体2A的下表面2Aa上的第1引出电极46a1。第2电极46b也具有被引出到压电体2A的下表面2Aa上的第2引出电极46b1。如图5(a)以及图5(b)所示，在从压电体2的上表面2Ab侧的俯视下，第1布线55a被引回到与第1引出电极46a1重叠的位置。第2布线55b也在俯视下被引回到与第2引出电极46b1重叠的位置。

第1、第2引出电极46a1、46b1和第1、第2布线55a、55b通过片状的粘接剂54而被接合。这里，第2变形例的片状的粘接剂54具有各向异性导电性。更具体而言，片状的粘接剂54仅在厚度方向、即z方向具有导电性。因此，第1引出电极46a1与第1布线55a电连接。第2引出电极46b1与第2布线55b电连接。

另一方面，片状的粘接剂54在与x-y平面平行的方向不具有导电性。因此，第1引出电极46a1以及第1布线55a不与第2引出电极46b1以及第2布线55b电连接。

另外，片状的粘接剂54例如也可以具有在厚度方向贯通的导电体。由此，能够得到上述各向异性导电性。

在第2变形例中，压电元件2和第1封装构件3通过片状的粘接剂54而在1个位置被接合。因此，难以受到第1封装构件3的挠曲等所导致的噪声的影响。

图6(a)是第1实施方式的第3变形例所涉及的加速度检测装置的俯视图。图6(b)是沿着图6(a)中的C-C线的加速度检测装置的剖视图。

加速度检测装置61与第2变形例同样地，具有第1、第2引出电极46a1、46b1。如图6(a)以及图6(b)所示，第1引出电极46a1与第1布线55a通过凸块67a而被电连接。第2引出电极46b1与第2布线55b通过凸块67b而被电连接。

在压电体2的下表面2Aa的未设置第1、第2引出电极46a1、46b1的部分，设置片状的粘接剂64。

返回到图1(b)以及图1(c)，片状的粘接剂4达到压电元件2的第1端部2e。如上述那样，片状的粘接剂4不是必须达到第1端部2e。通过调整片状的粘接剂4的位置，能够调整压电元件2被支承的部分与自由端即第2端部2f的距离。由此，能够调整加速度检测装置1的灵敏度。

本发明也能够适当地适用于除了以悬臂梁的状态支承压电元件以外的加速度检测装置。例如，如图7(a)以及图7(b)所示的第4变形例的加速度检测装置71那样，压电元件2也可以在长度方向的两端被支承。

更具体而言，加速度检测装置71具有达到第1端部2e的片状的粘接剂4。加速度检测装置71也具有达到第2端部2f的片状的粘接剂4。压电元件2通过被设置于2个位置的片状的粘接剂4，被双支撑地支承。另外，片状的粘接剂4也可以不必达到压电元件2的第1、第2端部2e、2f。

在从压电元件2的上表面2Ab侧的俯视下与片状的粘接剂4重叠的位置，第1电极6a通过导电性粘接剂7a来连接于第1布线75a。同样地，在俯视下与片状的粘接剂4重叠的位置，第2电极6b通过导电性粘接剂7b来连接于第2布线75b。由此，第1、第2电极6a、6b和第1、第2布线75a、75b被电连接。

在这种情况下，也难以产生压电元件2的位置、保持角度的偏移，并且难以受到噪声的影响。

如图8所示的第5变形例的加速度检测装置81那样，压电元件2也可以在长度方向、即x方向的中央附近，被片状的粘接剂4支承。在这种情况下，也能够得到与第1实施方式同样的效果。

图9(a)是本发明的第2实施方式所涉及的加速度检测装置的俯视图。图9(b)是从第2实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的加速度检测装置的图。图9(c)是从第2实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的加速度检测装置的图。

加速度检测装置11具有被设置于压电元件12的内部且相互对置的多个第1、第2内部电极19a、19b。压电元件12由压电体的层叠体构成。在上述以外的方面，加速度检测装置11具有与第1实施方式的加速度检测装置1同样的构成。另外，第1、第2内部电极19a、19b至少分别被设置1片即可。

如图9(a)所示，多个第1、第2内部电极19a、19b也与第1、第2电极16a、16b对置。多个第1内部电极19a以及第1电极16a被引出到压电元件12的第1端部12e。在第1端部12e上，设置第1连接电极16c。多个第1内部电极19a与第1电极16a通过第1连接电极16c而被电连接。多个第2内部电极19b以及第2电极16b也被引出到第2端部12f。在第2端部12f上，设置第2连接电极16d。多个第2内部电极19b与第2电极16b通过第2连接电极16d而被电连接。

这样，由于加速度检测装置11具有第1、第2内部电极19a、19b，因此静电电容较大。此外，能够有效地提高灵敏度。

进一步地，在本实施方式中，也与第1实施方式同样地，通过片状的粘接剂4来支承压电元件12。因此，难以产生压电元件12的位置、保持角度的偏移，并且难以受到噪声的影响。

在本实施方式中，第1、第2内部电极19a、19b的合计片数为偶数。压电元件12的层数为奇数。也可以如图10所示的第2实施方式的第6变形例所涉及的加速度检测装置91那样，第1、第2内部电极19a、19b的合计片数为奇数，压电元件12的层数为偶数。

在该情况下，电极的连接方式与第2实施方式不同。更具体而言，第1电极96a被设置于压电元件12的第1端部12e上。第1内部电极19a达到第1端部12e，与第1电极96a物理性地电连接。第2电极96b被设置于压电体12A的第1、第2侧面12Ac、12Ad上。在压电元件12的第2端部12f上，设置连接电极16d。第2电极96b彼此被连接电极16d连接。进一步地，第2内部电极19b也经由连接电极16d而与第2电极96b电连接。

第1布线95a通过导电性粘接剂7a而与第1电极96a电连接。第2布线95b分别朝向压电体12的第1、第2侧面12Ac、12Ad延伸。第2布线95b通过导电性粘接剂7b，分别与第1、第2侧面12Ac、12Ad上的第2电极96b连接。另外，导电性粘接剂7b也可以是1个位置。由此，第2布线95b与第2电极96b电连接。

在这种情况下，也与第2实施方式同样地，加速度检测装置91的静电电容较大。因此，能够有效地提高灵敏度。进一步地，难以产生压电元件12的位置、保持角度的偏移，并且难以受到噪声的影响。

在第2实施方式以及第6变形例的加速度检测装置11以及91中，压电元件12是层叠体。另外，第1、第2内部电极19a、19b也可以被埋入到由单层的压电体构成的压电元件。

图11(a)是本发明的第3实施方式所涉及的加速度检测装置的俯视图。图11(b)是从第3实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的加速度检测装置的图。图11(c)是从第3实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的加速度检测装置的图。图11(d)是沿着图11(a)中的D-D线的加速度检测装置的剖视图。

如图11(b)以及图11(c)所示，在加速度检测装置21中，第1电极26a被设置于压电体2的上表面2Ab上。第2电极26b被设置于压电体2A的下表面2Aa上。在除了上述的方面以外，加速度检测装置21具有与第1实施方式的加速度检测装置1相同的构成。

如图11(d)所示，第1电极26a具有被引出到压电体2A的第1侧面2Ac上的第1引出电极26a1。第1引出电极26a1通过导电性粘接剂7a而与第1布线5a电连接。第2电极26b也具有被引出到压电体2A的第2侧面2Ad上的第2引出电极26b1。第2引出电极26b1通过导电性粘接剂7b而与第2布线5b电连接。

如图11(a)以及图11(c)所示，在第1电极26a，设置切口部26a2。由此，在第1电极26a与第2引出电极26b1之间配置间隙。同样地，如图11(a)以及图11(b)所示，在第2电极26b也设置切口部26b2。由此，在第2电极26b与第1引出电极26a之间配置间隙。因此，第1电极26a与第2电极26b不电连接。

另外，在本实施方式中，第1电极26a与第2电极26b不被电连接即可，也可以不必设置第1、第2切口部26a2、2662。例如，第1引出电极26a1也可以被设置为不达到压电体2A的第1侧面2Ac的下表面2Aa侧的端部。第2引出电极26b1也可以被设置为不达到压电体2A的第2侧面2Ad的上表面2Ab侧的端部。

在本实施方式中，如图11(b)～图11(d)所示，第1、第2电极26a、26b在z方向彼此对置。即，加速度检测装置21的主轴方向相对于x-y平面为90°。

本发明的加速度检测装置的主轴方向并不局限于相对于x-y平面为0°或者90°。通过以下的第1实施方式的第7变形例来表示该例子。

图12(a)是第7变形例所涉及的加速度检测装置的俯视图。图12(b)是沿着图12(a)中的E-E线的加速度检测装置的剖视图。

如图12(a)以及图12(b)所示，压电元件102中的压电体102A的第1、第2侧面102Ac、102Ad相对于z方向倾斜。因此，第1、第2电极6a、6b在从y方向以及z方向倾斜的方向上对置。在第7变形例中，加速度检测装置101的主轴方向为y-z平面上相对于x-y平面倾斜了25°的方向。另外，加速度检测装置101的主轴方向并不被特别限定。

图13(a)是第3实施方式的第8变形例所涉及的加速度检测装置的俯视图。图13(b)是第8变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图。图13(c)是从第8变形例中的压电体的第1侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图。另外，图13(b)的点划线F表示第2封装构件被接合的部分。

如图13(a)以及图13(b)所示，加速度检测装置111也可以在第1封装构件113的上表面具有接地布线115c1。接地布线115c1并不被特别限定，经由导电性粘接剂而与第2封装构件8电连接。

图14是表示第1封装构件113的下表面的电极构造的示意性的俯视图。在第1封装构件113的下表面，设置接地端子115c2。如图13(a)、图13(c)以及图14所示，接地布线115c1从第1封装构件113的上表面经由侧面而与下表面的接地端子115c2连接。在从下表面安装加速度检测装置111时，第2封装构件8经由接地布线115c1以及接地端子115c2而与接地电位连接。在该情况下，更加难以受到电磁噪声的影响。

另外，第2封装构件8并不被特别限定，也可以在与接地布线115c1相接的部分以外，通过绝缘性粘接剂来与第1封装构件113接合。

如图13(a)所示，在第1封装构件113的上表面，设置与压电元件112的第1、第2连接电极16c、16d连接的第1、第2布线115a1、115b1。进一步地，在第1封装构件113的上表面，设置第3布线115a5。如图14所示，在第1封装构件113的下表面，设置第1、第2、第3端子电极115a2、115b2、115a4以及第3连接电极115a3。第1端子电极115a2以及第3端子电极115a4连接于第3连接电极115a3。图13(a)所示的第1、第2、第3布线115a1、115b1、115a5从第1封装构件113的上表面起经由侧面而连接于第1、第2、第3端子电极115a2、115b2、115a4。第1布线115a1经由第1端子电极115a2、第3连接电极115a3以及第3端子电极115a4而与第3布线115a5电连接。

如图13(c)所示，压电元件112具有在厚度方向彼此对置的多个第1、第2内部电极119a、119b。这样，多个内部电极119a、119b的层叠方向也可以是压电元件112的厚度方向。

如图13(a)～图13(c)所示，第1封装构件113也可以具有在侧面侧开口并在厚度方向上连续设置的多个凹部。沿着各凹部，设置第1、第2、第3布线115a1、115b1、115a5以及接地布线115c1。

如图15所示的第9变形例的加速度检测装置121那样，第1连接布线16c也可以通过接合引线47a来连接于第1布线115a1。同样地，第2电极26b也可以通过接合引线47b来连接于第2布线115b1。

图16是本发明的第4实施方式所涉及的加速度检测装置的侧面剖视图。

加速度检测装置31的第1封装构件33具有凹部33a。第2封装构件38是平板状。在上述的方面以外，加速度检测装置31具有与第1实施方式的加速度检测装置1同样的构成。

压电元件2位于第1封装构件33的凹部33a内。第2封装构件38与第1封装构件33接合以使得覆盖凹部33a。另外，只要能够接合为覆盖凹部33a，第2封装构件38的形状就不被特别限定。

在第4实施方式中，也难以产生压电元件2的位置、保持角度的偏移，并且难以受到噪声的影响。

-符号说明-

1...加速度检测装置

2...压电元件

2A...压电体

2e、2f...第1、第2端部

2Aa...下表面

2Ab...上表面

2Ac、2Ad...第1、第2侧面

3...第1封装构件

4...片状的粘接剂

5a、5b...第1、第2布线

6a、6b...第1、第2电极

7a、7b...导电性粘接剂

8...第2封装构件

11...加速度检测装置

12...压电元件

12A...压电体

12e、12f...第1、第2端部

12Ac、12Ad...第1、第2侧面

16a、16b...第1、第2电极

16c、16d...第1、第2连接电极

19a、19b...第1、第2内部电极

21...加速度检测装置

26a、26b...第1、第2电极

26a1、26b1...第1、第2引出电极

26a2、26b2...切口部

31...加速度检测装置

33...第1封装构件

33a...凹部

38...第2封装构件

41...加速度检测装置

45a、45b...第1、第2布线

46a、46b...第1、第2电极

46a1、46b1...第1、第2引出电极

47a、47b...接合引线

51...加速度检测装置

54...片状的粘接剂

55a、55b...第1、第2布线

61...加速度检测装置

64...片状的粘接剂

67a、67b...凸块

71...加速度检测装置

75a、75b...第1、第2布线

81...加速度检测装置

91...加速度检测装置

95a、95b...第1、第2布线

96a、96b...第1、第2电极

101...加速度检测装置

102...压电元件

102A...压电体

102Ac、102Ad...第1、第2侧面

111...加速度检测装置

112...压电元件

113...第1封装构件

115a1、115b1...第1、第2布线

115a2、115b2...第1、第2端子电极

115a3...第3连接电极

115a4...第3端子电极

115a5...第3布线

115c1...接地布线

115c2...接地端子

119a、119b...第1、第2内部电极

121...加速度检测装置

Claims (14)

1.一种加速度检测装置，具备：

压电元件，具有上表面以及下表面；

片状的粘接剂，被设置于所述压电元件的所述下表面上；和

第1封装构件，通过所述片状的粘接剂而接合有所述压电元件。

2.根据权利要求1所述的加速度检测装置，其中，

所述压电元件具有：压电体；和被设置于所述压电体上的第1、第2电极，

所述压电体具有：上表面及下表面；第1侧面以及与该第1侧面对置的第2侧面。

3.根据权利要求2所述的加速度检测装置，其中，

所述第1电极被设置于所述压电体的所述第1侧面上，

所述第2电极被设置于所述压电体的所述第2侧面上。

4.根据权利要求2所述的加速度检测装置，其中，

所述第1电极被设置于所述压电体的所述下表面上，

所述第2电极被设置于所述压电体的所述上表面上。

5.根据权利要求4所述的加速度检测装置，其中，

所述压电元件具有：连接于所述第1电极并被设置于所述压电体的所述第1侧面的第1引出电极；和连接于所述第2电极并被设置于所述压电体的所述第2侧面的第2引出电极。

6.根据权利要求1～5的任一项所述的加速度检测装置，其中，

所述压电元件具有长度方向，所述上表面以及下表面在所述长度方向上延伸，

所述压电元件通过所述片状的粘接剂而被固定，以使得该压电元件具有至少1个位置的自由端。

7.根据权利要求6所述的加速度检测装置，其中，

所述压电元件通过所述片状的粘接剂而以悬臂梁的状态被支承。

8.根据权利要求7所述的加速度检测装置，其中，

所述片状的粘接剂达到所述压电元件的所述长度方向的端部之中的一个。

9.根据权利要求2～8的任一项所述的加速度检测装置，其中，

还具备：

第1、第2内部电极，被设置于所述压电元件的内部，并且相互对置。

10.根据权利要求1～9的任一项所述的加速度检测装置，其中，

所述片状的粘接剂由绝缘性的材料构成。

11.根据权利要求1～10的任一项所述的加速度检测装置，其中，

还具备与所述第1封装构件接合的第2封装构件，

所述压电元件被所述第1、第2封装构件密封。

12.根据权利要求11所述的加速度检测装置，其中，

所述第1封装构件是平板状，所述第2封装构件是帽盖状。

13.根据权利要求11所述的加速度检测装置，其中，

所述第1封装构件具有凹部，所述压电元件被配置于所述凹部内，所述第2封装构件被设置为覆盖所述凹部，从而所述压电元件被密封。

14.一种加速度检测装置的制造方法，其是权利要求1～13的任一项所述的加速度检测装置的制造方法，所述制造方法包含：

准备所述压电元件的工序；

在所述压电元件的所述下表面上粘贴所述片状的粘接剂的工序；和

将所述压电元件经由所述片状的粘接剂而接合于所述第1封装构件上的工序。