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CN107092046A - 一种宽光谱高反光镜 - Google Patents

一种宽光谱高反光镜 Download PDF

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CN107092046A CN201710282344.XA CN201710282344A CN107092046A CN 107092046 A CN107092046 A CN 107092046A CN 201710282344 A CN201710282344 A CN 201710282344A CN 107092046 A CN107092046 A CN 107092046A
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毛书正
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Shanghai Moao Optical Devices Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述反光镜包括由玻璃基片构成的基板，在所述玻璃基板上设有反射层，所述反射层可以提高波长在190‑1100nm之间光线的反射率。本发明是采用金属与介质膜组合，通过精心设计与特殊的制造工艺，镀制的反光镜其反射率从190nm～1100nm平均反射率大于88％，有意提高紫外与红外的反射，并根据接收器的光谱光电效应来调整反光镜的反射光谱，使得光谱仪器的整个的输出综合能量达到平衡，提高仪器的质量。

Description

一种宽光谱高反光镜
技术领域
本发明涉及光学仪器与光谱分析仪领域，具体是一种宽光谱高反光镜，主要用来提高从紫外到红外光线的光谱的反射率。
背景技术
科研与实际生活中经常使用分析仪器，在很多分析仪器中，如：分光光度计，是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器，要求光源具有从真空紫外到红外的光谱(160nm-3500nm)，由于仪器的结构要求必须采用光栅分光与多个反光镜组成的光路系统，如图2所示。但目前所有的复制光栅与反光镜的紫外线光都很弱，如图3所示的反射光谱曲线，在200nm的反射率有60％。在图2的光路系统中共有六个反光镜，经过六次反射后达到目标的总能量为(0.6)6＝4.7％，这必然影响仪器的质量。为此，必须提高反光镜的反射率，以提高仪器的质量。
发明内容
本发明的目的在于解决上述问题，提供一种宽光谱高反光镜，可以提高反光镜在190nm～1100nm波长光线的反射率，使其经过多次反射后输出综合能量损失很小，进而提高仪器的质量。
为了达到上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明提供一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述反光镜包括由玻璃基片构成的基板，在所述玻璃基板上设有反射层，所述反射层可以提高波长在190-1100nm之间光线的反射率。
进一步地，所述反射层由五层材料膜组成。
进一步地，所述五层材料膜的第二层材料膜与第四层材料膜的材质相同。
进一步地，所述材料膜通过物理镀膜的方法镀在玻璃基板上。
进一步地，所述反射层的厚度小于玻璃基板的厚度。
进一步地，所述材料膜为无机材料膜，由二氧化硅、三氧化二铝、氟化镁、氧化镁、氧化铪、金属铝或者两种以上这些物质的混合物构成。
本发明的有益效果是：本发明是采用金属与介质膜组合，通过精心设计与特殊的制造工艺，镀制的反光镜其反射率从190nm～1100nm平均反射率大于88％，有意提高紫外与红外的反射，并根据接收器的光谱光电效应来调整反光镜的反射光谱，使得光谱仪器的整个的输出综合能量达到平衡，提高仪器的质量。图4是根据用户要求设计的反光镜的反射光谱曲线，图5是实际镀制的反射光谱曲线。从图4和图5中可见在200nm处的反射率约为93％。经过六次反射后达到目标的总能量为(0.93)6＝64.7％。从图3与图5相比可看到能量提高很大，提高了仪器的质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明反光镜结构示意图；
图2为现有的分光光度计的整体光路系统示意图；
图3为现有的反光镜入射角为45°时的光谱反射曲线图；
图4为本发明反光镜入射角为45°时的计算的光谱反射曲线图；
图5为本发明反光镜入射角为45°时的实际光谱反射曲线图。
图1中：1-玻璃基板，2-第一材料膜，3-第二材料膜，4-第三材料膜，5-第四材料膜，6-第五材料膜。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
如图1所示，本发明提供一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述反光镜包括由玻璃基片构成的基板1，在所述玻璃基板1上设有由五层材料膜2、3、4、5、6组成的反射层，其中第二层材料膜3与第四层材料膜5的材质相同，所述材料膜通过物理镀膜的方法镀在玻璃基板1上，所述反射层可以提高波长在190-1100nm之间光线的反射率。
进一步地，所述材料膜为无机材料膜，由二氧化硅、三氧化二铝、氟化镁、氧化镁、氧化铪、金属铝或者两种以上这些物质的混合物构成。
本发明是采用金属与介质膜组合，通过精心设计与特殊的制造工艺，镀制的反光镜其反射率从190nm～1100nm平均反射率大于88％，有意提高紫外与红外的反射，并根据接收器的光谱光电效应来调整反光镜的反射光谱，使得光谱仪器的整个的输出综合能量达到平衡，提高仪器的质量。图4是根据用户要求设计的反光镜的反射光谱曲线，图5是实际镀制的反射光谱曲线。从图4和图5中可见在200nm处的反射率约为93％。经过六次反射后达到目标的总能量为(0.93)6＝64.7％。从图3与图5相比可看到能量提高很大，提高了仪器的质量。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述反光镜包括由玻璃基片构成的基板，在所述玻璃基板上设有反射层，所述反射层可以提高波长在190-1100nm之间光线的反射率。
2.根据权利要求1所述的一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述反射层由五层材料膜组成。
3.根据权利要求2所述的一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述五层材料膜的第二层材料膜与第四层材料膜的材质相同。
4.根据权利要求2或3所述的一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述材料膜通过物理镀膜的方法镀在玻璃基板上。
5.根据权利要求1所述的一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述反射层的厚度小于玻璃基板的厚度。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种宽光谱高反光镜，其特征在于：所述材料膜为无机材料膜，由二氧化硅、三氧化二铝、氟化镁、氧化镁、氧化铪、金属铝或者两种以上这些物质的混合物构成。
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