NL8203318A - Inrichting voor processing van substraten. - Google Patents

Description

J % ♦* y *

Inrichting voor processing van substraten,

In da Nederlandse Octrooi-aanvragen No.3 8 103 979 en 8 200' 753 van de aanvrager is een transportsysteem voor substraten aangegevent waar· bij deze door een centraal gelegen passage van een cabine worden gevoerd en 5 opzij van de substraten tenminste plaatselijk stromen medium zorg dragen voor een drijvend verplaatsen van deze substraten met tenminste nagenoeg geen mechanisch contact ervan met cabine-delen· 0e inrichting volgens de uitvinding geeft hierbij nog enige verbe· teringen aan voor het transportsysteem ervan naar in het bijzonder modulesf 10 waarin gecompliceerde processing onder hoogvacuum plaats vindt en is deze in hoofdzaak daardoor gekenmerkt, dat daarin middelen zijn opgenomen voor een tenminste plaatselijk met behulp van langs de substraat bewegen van medium verkregen van een zelfstandig transport van deze substraten.

Daarbij is een volgend gunstig kenmerk, dat daarbij naar zulk een 1.5 substraat toegevoerd medium zich splitst in een hoofdstroom naar een af· voer in de bewegingsrichting van de substraten en een secundairs stroom met een geringe snelheid naar een afvoer, welke tegengesteld is aan deze bewegingsrichting en aldus een resulterende krachtwerking van deze stromen op de substraat wordt uitgeoefend, welke gericht is in de bewegingsrich· 20 ting van deze substraat·

Verder, dat het verschil in stuwsnslheid verkregen wordt door, gezien in de bewegingsrichting van de substraten, verschillende breedtes van de stapelsegmenten met de kleinste breedte in de bewegingsrichting.

De substraat kan ook een tape zijn, die tijdens de processing onaf· 25 gebroken door de inrichting wordt gevoerd· Het verder in da tekst vermeld wordende omvat dan ook tevens zulk een tape·

De substraten hebben toleranties in dikte, onvlakheid, ruwheid en doorbuiging. Daardoor zal bij constante breedte van de passage dB spleetwjjdte tussen de substraten en de segmentwanden van de passage variS· 30 ren en zal als gevolg van de daardoor bewerkstelligde variabele doorstroom· snelheid van de media een variabels krachtwerking ervan op de substraten optreden met aldus een variabele snelheid ervan· v De inrichting is nu verder daardoor gekenmerkt, dat, gezien in de t bewegingsrichting van de substraten, in de segmentpakketten vrije ruimtes 35 zijn opgenomen voor opname daarin van sensoren voor regeling van de druk van de media in de passage in afhankelijkheid van de hoedanigheid van deze substraten en de processing ervan.

8203318 ♦ V .

% » - 2 -

In de inrichting zijn modules opgenomen, waarin microgolf* ovandroging, metallisatie, plasma etsen, plasma strippen, plasma* ontwikkeling, ionen implantage, oxidatie, doping en andere gecompliceerde processing plaats vinden in vrije ruimtes tussen transportsecties, 5 met daarin veelal een vereist hoogvacuum. Daarbij kan de overdracht van substraten plaats vinden naar een een transport-inrichting, welke is op* genomen in zulk een module·

Een volgend zeer gunstig kenmerk is nu, dat, gezien in de bewegingsrichting van de substraten, de lengte van de vrije ruimtes tussen de op-10 volgende segmentpakketten zodanig kleiner is dan de lengte van de substra ten, dat de voor zulk een vrije ruimte gelegen passage voldoende rechtge* leiding biedt aan de substraten voor een correcte invoering ervan in de na deze ruimte gelegen passage·

Vooral "high current" ionen implantage en de microgolf-ovendroging 15 vereisen een relatief langdurige processing·

Een volgend zeer gunstig kenmerk is nu, dat, gezien in de bewegingsrichting van de substraten, een aantal opvolgende modules met dezelfde processing worden toegepast, met tussengelegen segmentpakketten met een daarin opgenomen passage voor de substraten· 20 Door het uiterst geringd gewicht van de substraten per oppervlakte* eenheid kan daarbij de druk in de passage tussen de opvolgende modules met dezelfde processing zeer gering zijn en zulks tot nabij het hoogvacuum voor deze processing en , kan in zulk een passage hetzelfde medium als voor deze processing worden toegepast· 25 Verder wordt tot nu toe bij hoogvacuum-modules de toe* en afvoer van de substraten bewerkstelligd met behulp van mechanische transportsystemen of warden cassettes substraten gelijktijdig in deze modulen gebracht· Daarbij treedt vooral tijdverlies op in verband met het vanaf at* mospherische druk en al dan niet via een luchtslot overgaan naar het 30 hoogvacuum·

Een volgend zeer gunstig kenmerk is nu, dat bij de toevoersectie van het transportsysteem van de nieuwe inrichting naar zulk een module de druk van de opvolgende stromen medium tenminste per groep van zulke stromen afneemt tot tenminste nabij het hoogvacuum· 35 Verder, dat bij de afvoersectie vanaf zulk een'module de druk ten* minste per groep van opvolgende stromen medium toeneemt vanaf tenminste nagenoeg dit hoogvacuum· De vele, elkaar opvolgende stroompjes medium in de bewegingsrichting van de substraten bewerkstelligen daarbij door de 8203318 ν' Λ ♦ν - 3 - * * talrijke mini-krachtuerkingen op zulk een substraat een verplaatsing ervan tegen de toenemende druk In·

Verder is het van belang, dat de snelheid van de processing en daarmede van de substraten gedurende deze processing zo gelijkmatig mogelijk 5 blijft.

Een volgend zeer gunstig kenmerk van de inrichting is nu9 dat daarbij voor en na een serie modules met dezelfde processing en tussengelegen trans-portsecties een transportsectie is opgenomen, waarin het transportsysteem dezelfde is als die in deze modules met tussengelegen transportsecties met 10 tenminste nagenoeg dezelfde hoedanigheden van het transportmedium·

Verder, dat daarbij de lengte van zulk een transportsectie groter is dan de halve lengte van de substraten·

Verdere gunstige kenmerken van de inrichting volgen uit de beschrijving van de hieronder aangegeven Figuren. Ze worden onder andere tussen de op-15 volgende modules met dezelfde processing segmentpakketten toegepast, waarin een zodanige hoeveelheid koeleedium wordt gebracht en wederom wordt afgevoerd, dat de temperatuur van de substraten tijdens de processing beneden de toelaatbare waarde blijft.

Figuur 1 toont in vereenvoudigde vorm do inrichting volgens de uit-20 vinding met daarin opgenomen verschillende procas-nodulas.

Figuur 2 toont de inrichting volgens Figuur 1 in meer gedetailleerde vorm.

Figuur 3 is een sterk vergroot detail van de inrichting volgens de Figuur 1 ter plaatse van da proces-module.

25 Figuur 4 is een dwarsdoorsnede van de inrichting volgens de Fi guur 1 ter plaatse van de daarin opgenomen segmentpakketten.

Figuur 5 is een zijaanzicht van een gedeelte van de in de segment-pakkatten gebruikt wordende segmenten·

Figuur 6 is een doorsnede over de lijn 6-6 van h et segment volgens de 30 Figuur 5·

Figuur 7 is een dwarsdoorsnede van de inrichting ter plaatse van aan proces-module· x

Figuur 8 is aan gedeeltelijke langsdoorsnade van de inrichting volgens 35 Figuur 1 ter plaatse van aan serie proces-modules·

Figuur 9 toont een langsdoorsnade van da inrichting ter plaatse van een opstelling van microgolfoven-modules·

Figuur 10 toont aen procesmodule voor plasma etsen·

Figuur 11 is een andere module voor zulk een plasma etsen· 8203318 ·; ♦; - 4 - * *

Figuur 12 is een langedoorsnede van de inrichting ter plaatse van een serie proces-modules ten behoeve van ionen implantage·

Figuur 13 is een dwarsdoorsnede over de lijn 13-13 van zulk een module·

In de Figuur 1 is de inrichting 10 voor processing van substraten 12 5 aangegeven· Oeze substraten kunnen daarbij ook een tape zijn*

In deze inrichting wordt onder andere gebruik gemaakt van de proces-modules 14 en 16, en waarbij vanuit cassette 18 met behulp van de meeneem-inrichting 20 de substraten 12 naar de passage 22 van de transportsectie 24 voor deze modules worden getransporteerd.

10 Verplaatsing van de substraten vindt daarbij vervolgens plaats met be- hulp van stromen medium, die vanuit segmentpakketten 26 in de passage 22 langs deze substraten 12 warden gestuwd, zie tevens Figuur 3«

In deze cabinesectie vindt tevens in de opvolgende stations 28, 30, 32 en 34 respectievelijk reinigen, drogen, spoelen en wederom drogen plaats· 15 Daarbij voor deze en andere eenvoudige continue processing de mogelijke toepassing van de in de Nederlandse Octrooi-aanvragen No's 8 103 979 en 8 200 753 omechreven proces systemen·

In de Figuur 3 is aangegeven, hoe ook in of nabij deze eenvoudige stations transport van de substraten met behulp van al dan niet proces medium 20 plaats vindt·

Via toevoerkanalen 36 wordt het medium 38 naar de passage-splatan 40 en 42 opzij van de substraten gestuwd en waarbij vervolgens via afvoerkanalen 44 afvoer van dit medium onder al dan niet hoogvacuum geschiedt· Het segment 46 heeft daarbij een grotere breedte dan het segment 48, waardoor de doorstroom-25 weerstand in de spleetwijdte 50 groter is dan die in de spleetsectie 52·

Als gevolg daarvan is in de spleetsectie 52 de doorstroomsnelheid van het medium en daarmede de op op de substraat uitgeoefende kracht groter dan die in de spleetsectie 50 met aldus een resulterende krachtwerking in de aangegeven verplaatsingsrichting op deze substraten· Door de talrijke mediumstromen 30 via opvolgende series kanalen vindt aldus een transport van de substraten plaats·

In de module 14 vindt processing onder hoog vacuum plaats· In de transportsectiss 54 vindt dan ook daartoe in opvolgende segmentpakketten 56, 58, 60 en 62 geleidelijk een drukverlaging van het transportmedium plaats 35 van nabij gtmospherische druk tot nabij dit hoogvacuum· Oaarbij wordt gebruik gemaakt van toe- en afvoerkanalen per pakket, waarin de druk per pakket verlaagd wordt. Tevens kan in zulk een pakket door geleidelijke vergroting van da doorstroomweerstand voor het medium in de daarin opgenomen kanalen per pakket de druk in de spleten opzij van de substraten geleidelijk afnemen· / 8203318 ♦ v s' *’v * i 5 »

De substraten worden continue door de module 14 geleid met het daarbij onderhouden van nagenoeg dezelfde snelheid·

Deze module 14 bestaat daarbij* uit een aantal opvolgende module-sectias 64 met tusssngelegen transportsecties 66· Deze tranaportsecties 66 bemerk-5 steliigen daarbij het verplaatsen van de substraten door de module, waarbij in de modulesecties procesmedium naar zulk een substraat wordt gestuwd·

De opbouw van deze transportsecties 66 is onder andere in de Figuren 3 en 9 aangegeven· Daarbij zijn tenminste de eerste segmenten van het segment-pakket afgeschuind voor het vergemakkelijken van de invoer van de substraten· 10 De vrije module-ruimtes tussen deze pakketten zijn daarbij zodanig ge ring van lengte gehouden, dat zulk een pakket voldoende rechtgeleiding biedt aan de substraat voor het nagenoeg zonder weerstand leiden ervan in het volgende pakket·

Voor een goede, gelijkmatige processing is in deze module 14 een con-15 stante snelheid van de substraten door deze module gewenst zonder beïnvloeding daarvan door de veelal ronde vorm van de substraten· Daartoe zijn dan ook in de inrichting vèèr en na deze module 14 de respectievelijke transportsecties 70 en 72 opgenomen, waarin de hoedanigheden van het transport van de substraten tenminste ongeveer g slijk zijn aan die in de module· Deze secties 20 hebben dan ook dezelfde segmentpakketten 66 en dezelfde tussenruimte 64·

In de proces-module 16 vindt nog wederom een andere processing plaats met een daaraan aangepaste procesdruk· In de cabine sectie 74 vindt daartoe het veranderen van de druk plaats, terwijl de secties 76 en 78 voor en na deze module mede zorg dragen voor een constante doorvoering van de substra-25 ten door deze module.

Na deze module kan dan nog vervolgens in de cabine-sectie 80 één of meerdere eenvoudige processen plaats vinden, waarna de substraten met behulp van de overneeminrichting 82 naar de cassette 84 worden getransporteerd· In de Figuren 4 tot en met 9 is de constructieve opbauw van de in-30 richting 10 aangegeven· Daarbij wordt gebruik genaakt van een tweetal draagstukken 86 en 88· Tussen deze draagstukken zijn de opvolgende segmentpakket-ten 66 geplaatst onder de vorming van de passage 22« De uitstekende aanslag- Λ lippen 90 van de segmenten 92, zie tevens Figuur 6, rusten in de daarmede corresponderende aanslaggroeven 94, die in de draagstukken 86 en 88 zijn op- 35 genomen, waardoor een nauwkeurige breedte van de passage 22 wordt verkregen· «

In de segmenten 92 is het hoofdkanaal 96 opgenomen, terwijl daarop een groot aantal aftakkanalen 98 zijn aangesloten, die met hun uitmondingen 100 in open verbinding zjjh met de passage 22·

In deze kanalen 98 als toevoerkanalen is de door3troomwserstand voor 8203318 ♦ * Λ - 6 - + %* * het medium daarbij aanmerkelijk groter dan de weerstand in de spiestsecties, waardoor ook bij het plaatselijk niet aanwezig zijn van een substraat de stroom medium in de vrije passagespleet zeer beperkt blijft·

Het behulp van de in deze segmenten opgenomen montagegaten 102, waar-5 doorheen montage-middelen kunnen worden gevoerd, wordt een op elkaar stapeling van de segmenten onder het verkrijgen van het pakket 66 verkregen·

De toe- en afvoerkanalen zijn daarbij nagenoeg gelijk· 0e ingangen 104 van de toevoerkanalen zijn daarbij aangesloten op de in het draagstuk 86 opgenomen groeven 106 en 108, terwijl deze groeven, al dan niet per pakket, 10 via het toevoerkannal 110 zijn aangesloten op sen niet aangegeven toevoer-leiding.

Oe uitgangen 112 van de afvoerkanalen zijn aangesloten op de in het draagstuk 88 opgenomen groeven 114 en 116, waarbij deze groeven, eveneens . . al dan niet per pakket, via afvoerkanaal 118 zijn aangesloten op een 15 niet aangegeven afvoerleiding· 0e al dan niet per segmentpakket gebruikt wordende brugstukken 120 en 122 verbinden de beide draagsukken met elkaar onder een gelijktijdige opsluiting van zulk een stapelpakket· Daartoe worden de bout-verbindingen 124 en 126 gebruikt· 20 In de Figuur 7 is de inrichting 10 in een dwarsdoorsnede ter plaatse van een proces-module aangegeven· De draagstukken zjjn daarbij ter plaatse van de module-secties 64 in geringe mate verwijd· Het bovenbrugstuk 128 heeft daarbij de wandsecties 130 en 132 aan de binnenzijde van de draagstukken, terwijl op het bovenvlak 134 ervan de module-cabine 136 is bevestigd· 25 Het anderbrugstuk 138 kan geheel gelijk zijn aan het bovenbrugstuk, in dien aan weerszijden van de substraat dezelfde processing plaats vindt· Indien echter slechts aan de bovenzijde processing plaats vindt, bevat het brugstuk 138 tevens de bodem 140· 0e beide brugstukken kunnen zijn vervaardigd van een voor de processing 30 geschikt materiaal, zoals voor een micragolf-oven microgolf dempend materiaal en voor bijvoorbeeld plasma processing een electrisch isolatie-mate-riaal. Tevens kan zulk een brugstuk 128 nog een tweetal binnenwanden 142 bevatten, waardoor de procesruimtss 64 geheel met behulp van deze brugstukken zijn geisoleerd· 35 In de Figuur 9 is nog wederom de proces-module 14 gedetailleerd aange— geven· Daarbij bevatten de brugstukken 120' en 122' van de segment-pakketten 66' tevens de zijwanden 142' voor de module-secties 64·

De in de Figuren 1 en 2 aangegeven proces-module 12 kan een microgolf- 8203318 ο « * ♦ * - 7 - oven zijn, waarbij in de secties 144 ervan de opwekking van de microgolven plaats vindt. Deze microgolven verplaatsen zich daarbij vanaf deze twee bronnen via de vrije ruimtes 64 als module-secties naar de substraat.

Voor deze oven wordt gebruik gemaakt van microgolf absorberend mate» 5 riaal om opwarming van de raodule-delen en vooral van de segmentpakketten zoveel mogelrjk tegen te gaan. In afhankelijkheid van de soort van oven en transportsnelheid van de substraten kunnen daarbij het aantal secties variëren tussen een enkele voor eenvoudige processing en een tiental voor gecompliceerde ovens ten behoeve van de-hydratie met een totale proces-10 duur van 10-20 seconden.

In deze opwekker-secties 144 kunnen ook elk ander soort van opwekking van proces medium plaats vinden.

In de Figuur 10 is in vereenvoudigde vorm een plasma-ets module 146 aangegeven, waarbij via doortocht 148 gas wordt toegevoerd, in sectie 150 15 plasma wordt opgewekt en met behulp van electrode-opstellingen 152 en 154 onder hoge snelheid naar de substraten 1 2 wordt gebracht. Via doortocht 156 vindt vervolgens afvoer van gassen plaats.

In de Figuur 11 is eveneens in vereenvoudigde vorm een andere plasma-ets module 146’ aangegeven, waarbij de opwekking van het plasma uitwendig 20 plaats vindt in kamer 158 en waarbij de plasma onder hoge snelheid naar de opvolgende module-secties wordt gebracht. Daarbij vindt via doortocht 160 afvoer van gassen plaats.

In deze uitvoeringen kunnen de modules elke soort van scanning ten behoeve van deze processing bevatten, zoals magnetische, electro-statische 25 en zelfs eventueel aanvullende mechanische. Verder kan de substraat 12 tijdens de processing contact maken met de electrode 154 en kan tezamen met deze electrode verbonden zijn met de massa van de module.

In de Figurar 12. is module 162 voor ionen implantage aangegeven, waarbij vanuit de opwekker 164 een ionenstraal-bundel via de verdeler 166 30 en gemeenschappelijke scanning-sectie 168 verder als een vijftal straal bundels naar een vijftal module-secties worden gebracht.

Ook hierbij is elke soort van scanning mogelijk voor de verdeler 166 en sectie"l68 en is ook een aanvullende scanning toepasbaar. Verder bevat deze module elke vereiste electrische isolatie.

35 Verder is een tweetal opwekkers 164 aangegeven en waarbij binnen het kader van de uitvinding dit aantal kan variëren tussen een enkels opwekker voor alle secties tezamen en één opwekker per module-sectie.

De module kan ook dienen voor het met behulp van deze ionen etsen van het substraat-oppervlak.

8203318 *' - a -

Tevens kunnen in de module electroden ten behoeve van de processing zijn opgenomen en kunnen de substraten electrisch geladen of geaard zjjn.

Bij een andere uitvoering van de proces-module kunnen ook metaal-deeltjes en andere stoffen naar het substraat-oppervlak gebracht worden.

5 Binnen het kader van de uitvinding zijn verder alle andere soorten van processing toepasbaar, zoals modules voor doping, oxidatie van het substraat-oppervlak, module voor het leiden van een ontwikkelingsmedium naar de substraat voor het ontwikkelen van de daarop aangebrachte photo-10 gevoelige laag en modules voor stripping van deze laag.

Verder wordt in de segmentpakketten van de modules de druk van het transportmedium nabij de procesdruk in deze module gehouden.

Ook kan met behulp van medium, stromend door deze pakketten, tussentijdse afkoeling van de substraten plaa'Ës1^* wel in zodanige mate, dat de 15 temperatuur tijdens de processing niet te hoog kan oplopen. Daarbij kan doeltreffend gebruik gemaakt worden van het transportmedium en waarbij, zoals in de Figuur 4 is aangegeven, elk van de toevoerkanalen 98 via een nauw verbindingskanaal 170 verbonden kan zijn met de afvoergroeven 114 en 116.

Verder zijn in de inrichting 10 sensoren 172 opgenomen ten behoeve 20 van de regeling van de transportsnelheid van de substraten met daarbij de gebruikmaking van de vrije ruimtes tussen de opvolgende segmentpakketten, zie de Figuren 8 en 12.

Verder kunnen in deze ruimtes of elders in de inrichting meetinstrumenten en sensoren zijn opgenomen voor het volgen en regelen van de proces-25 sing.

Aangegeven is, dat de substraten op enige afstand van elkaar door de inrichting worden gevoerd. Het is daarbij ook mageljjk, dat deze substraten plaatselijk aaneengesloten door deze inrichting worden geleid.

Verder kunnen de transportsecties aangesloten zijn op een proces- .

30 module, waarin een overneem-inrichting de toegevoerde substraten naar een ligplaats brengt in deze module voor processing, waarna een tweede overneem-inrichting deze substraten wederom afvoertnaar een transportsectie. Daarbij kunnen ook gedurende enige tijd een aantal substraten opvolgend naar hun diverse ligplaatsen worden gebracht en gelijktijdig de processing 35 van deze substraten plaats vinden.

De Figuren 13 en 14 tonen in detail een gedeelte van het transportsysteem van een proces-module ten behoeve van een één-zijdige processing van de er door heen gevoerd wordende substraten. In zulk een module vindt 8203318 % - 9 - processing onder een extreem hoog vacuum plaats, bij voorbeeld minder dan 1 X 10“ torr, waarbij gedurende bepaalde processen, zoals ionen implantage en ionen milling een zeer sterke warmte-ontwikkeling in de substraten optreedt· Door het gasvormig medium, stromend door de segmenten en met eventu-5 eel aanvullende koeling van deze segmenten, vindt echter voldoende tussentijdse afkoeling van deze substraten plaats·

In het masker 174 is de doorlaat 176 aangebracht, waardoorheen het proces medium en/of straal bundels naar de substraat 12" wordt gestuwd en gezogen· Het masker strekt zich uit tot in de onmiddellijke nabijheid van de substraten 10 en waarbij verder deze doorlaat-opening zodanig nauwer is dan die van de ruimte 178 onder de substraat-passage, dat ook bij geen plaatselijke aanwezigheid van de substraten toch een voldoende afscherming van de pakketten geschiedt. Zulks mede door de mogelijke gebruikmaking van electrodes 180 onder deze ruimte, waarop door deze ruimte geleide medium wordt aangetrokkén. Verder kan ook in de ruimte 178 opzij van de pakketten een beschermmantel zijn 15 aangebracht·

De toevoer van de transportgassen geschiedt via de toevoerkanalen 36" met een vacuum druk als stuwdruk, bijvoorbeeld 1 torr. Het drijven van de substraten in de passage-spleten 40" en 42" wordt daarbij verkregen door het onderhouden van een hogere stuwdruk in de onderspleet-sectie 42" dan die in de 20 bovenspleet-sectie 40"· Zulks kan mede warden bewerkstelligd door het toepassen van een lagere stuwdruk voor de bovenste kanalen 36" of het opnamen van een hogere doorstroomweerstand in deze bovenste kanalen·

Gasvormig transportmedium wordt vanuit de spleetsectie 40" afgevosrd via de afvoerkanalen 182 tussen masker 174 en de bovenste segmentpakketten 66" 25 door naar da cabine-doorvoeren 184 opzij van de substraten 12" en van daar uit via ruimte 178 naar de cabine-ruimts 186. Een hoogvacuum pomp is aangesloten op deze ruimte. Verder vindt vanuit de spleetsectie 42" rechtstreeks via de ruimte 178 afvoer van de transportgassen plaats. Eventueel kan ook hier een masker zijn toegepast met afvoerkanalen tussen dit masker en de pakketten· 30 De hoeveelheden transportgas, die tevens voor de processing worden toegepast, zijn zeer beperkt, zodat ook bij geen aanwezig zijn van een substraat in de proces-ruimte 188 toch deze gassen in voldoende mate worden afgezegen*

De pakketten en de tussenliggende procss-ruimtes hebben mogelijk slechts een lengte van circa 3 mm. Het aantal van deze pakketten kan aldus zeer 35 groot zijn per module en zulks in afhankelijkheid van de processing. Daarbij dus de ideale tussentijdse afkoelingsn van de substraten.

Binnen het kader van de uitvinding zijn verder andere constructies van de module mogelijk· Tevens daarbij elke anders soort van processing, zoals metal— 3 2 0 3 3 1 8 P^a8ma proces-syetemen, electron beam annealing systemen en doping·

Claims (78)

1· Inrichting met een daarin opgenomen passage voor doorvoer van substraten met aan weerszijden van deze passage segmentpakketten met daarin opgenomen kanalen voor het voeren van media naar en van deze passage voor processing 5 van deze substraten, met het kenmerk, dat daarin verder middelen zijn opgenomen voor een tenminste plaatselijk met behulp van via deze segmentpoakket-ten toe- en afgevoerd medium bewerkstelligen van een zelfstandig transport van deze substraten*

2· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 1, met het kenmerk, dat 10 voor verplaatsing van de substraten gebruik wordt gemaakt van stromen medium langs tenminste één zijde van deze substraten·

3· Werkwijze volgens de Conclusie 2, met het kenmerk, dat daarbij in de trans-portrichting opvolgende stromen van medium van stuwkanalen naar afvoerkanalen op deze substraten werkzaam zijn· 15 4« Inrichting volgens Conclusie 1, met het kenmerk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat gezien in de bewegingsrichting van de substraten tussen segmenten elkaar opvolgende toe- en afvoerkanalen voor medium zijn opgenomen en vanuit tenminste een deel van deze toevoerkanalen de stroom medium Zich splitst in een stroom medium in de bewegingsrichting van de substra-20 ten en een stroom medium tegengesteld aan deze bewegingsrichting·

5· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 4, met het kenmerk, dat daarbij de resulterende krachtwerking op de substraten van zulk een combinatie van stromen gericht is in de bewegingsrichting van deze substraten· 6« Inrichting volgens Conclusie 4, net het kenmerk, dat daarbij de segmen-25 ten aan weerszijden van zulk een stuwkanaal zodanig zjjn uitgevoerd, dat deze dezelfde passage-breedte geven en gezien in de bewegingsrichting van de substraten het segment vèèr dit kanaal een grotere breedte heeft dan het segment na dit kanaal·

7· Inrichting volgens Conclusie 1, met het kenmerk, dat daarin een module 30 is opgenomen voor processing van de substraten en in de passage middelen zijn opgenomen voor transport van de substraten naar en van deze module· 8* Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 7, met het kenmerk, dat zoals met behulp van medium transport van deze substraten plaats vindt, in de passage in de richting naar en van deze module de druk van dit medium 35 verandert·

9· Werkwijze volgens de Conclusie 8, met hst kenmerk, dat deze drukverandering van de stromen medium geleidelijk plaats vindt· 8203318 t v - 11 - ♦

10. Werkwijze volgens Conclusie 8, met het kenmerk, dat deze drukverandering in opvolgende groepen van stromen medium plaats vindt.

11. Inrichting met de werkwijze volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat zoals in de opvolgende segmentpakketten toe- en 5 afvoerkanalen zijn opgenomen, ter plaatse van de proces-module dit afvoerkanaal het dichst bij deze module is gelegen.

12. Werkwijze volgens de Conclusie 8, met het kenmerk, dat daarbij in de toevoersectie naar een module , waarin processing onder vacuum plaats vindt, in de richting van deze module de stuwdruk van zulke medium 10 stromen af neemt tot nabij de onderdruk in deze module.

13. Werkwijze volgens de Conclusie 12, met het kenmerk, dat daarbij in deze sectie in de richting van de module de afvoerdruk van zulk een transportmedium eveneens afneemt tot nabij de onderdruk in deze module.

14. Werkwijze volgens de Conclusie 8, met het kenmerk, dat daarbij in de 15 afvoersectie van een proces-module, waarin processing onder vacuum plaats vindt, in de richting van deze module af de stuwdruk van deze mrdiurn-stromen toeneemt van nabij de onderdruk in deze module tot boven de volgende gewenst wordende procesdruk.

15. Werkwijze volgens de Conclusie 14, met het kenmerk, dat daarbij in 20 deze sectie in de richting van de module af de afvoerdruk van de medium stromen eveneens toeneemt.

16. Inrichting volgens de Conclusie 7, met het kenmerk, dat daarbij aan twee zijden van de passage zulke segmenten zijn opgenomen.

17. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, 25 dat deze middelen bevat voor het van een cassette toevoeren van substraten naar de passage en naar een cassette afvoeren van deze substraten. 18. nodule, welke is opgenomen in de inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin middelen zijn opgenomen voor het brengen van de substraten, welke uit de toevoersectie daarin 30 terecht komen, naar hun proces-ligplaats.

19. Toevoersectie, welke is opgenomen in de inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de passage ervan onder een hoek is geplaatst zodanig, dat de substraten onder eigen zwaartekracht uit de passage tot in de proces-module kunnen verplaatsen.

20. Toevoersectie, welke is opgenomen in de inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze tevens tenminste aan twee Zijden van de passage een reinigingssectie en een droogsectie bevat.

21. Toevoersectie volgens Conclusie 20, met het kenmerk, dat daarbij deze reinigingssectie zodanig is uitgevoerd, dat het reinigen geschiedt met 8203318 - 12 - behulp van opvolgende stromen reinigingsmedium in de passage opzij van de substraten·

22· Werkwijze van de toevoersectie volgens Conclusie 21, met het kenmerk, dat daarbij tenminste een deel van het reinigingsmedium onder hoge druk 5 naar de substraten wordt gestuwd·

23· Toevoersectie volgens Conclusie 21, met het kenmerk, dat deze tevens een zodanige spoelsectie bevat, dat het spoelen van de substraten geschiedt met behulp van in de transportrichting opvolgende stromen spoel medium in de passage opzij van de substraten· 10 24« Werkwijze van de toevoersectie volgens de Conclusie 23, met het ken merk, dat daarbij tenminste een deel van het spoelmedium onder hoge druk naar de substraten wordt gestuwd·

25· Toevoersectie volgens Conclusie 20, met het kenmerk, dat deze droog-sectie zodanig is uitgevoerd, dat gezien in de bewegingsrichting van de 15 substraten opvolgende stromen gasvormig medium in de passage opzij van de substraten worden gevoerd·

26· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de passage ter plaatse van de proces-module over enige afstand is onderbroken· 20 27· Inrichting volgens de Conclusie 26, met het kenmerk, dat deze module tenminste plaatselijk tenminste één geleiding voor de substrateb bevat· 28« Inrichting volgens de Conclusie 26, me£ het kenmerk, dat gezien in de bewegingsrichting van de substraten, de lengte van de vrije ruimte voor de proces-module zodanig kleiner is dan de lengte van de substraten in deze 25 bewegingsrichting, dat de voor de module gelegen passage voldoende rechtge-leiding aan de substraten verschaft voor invoer ervan in de passage na deze module·

29. Inrichting volgens de Conclusie 26, met het kenmerk, dat daarin, gezien in de transportrichting, tenminste een tweetal modules met dezelfde 30 processing zijn opgenomen met tussengelegen transportsecties volgens één der voorgaande Conclusies ten behoeve van het transporteren van deze substraten·

30· Inrichting volgens de Conclusie 29, met het kenmerk, dat dit aantal modules meer dan vijf bedraagt· 35 31· Inrichting volgens de Conclusie 29, met het kenmerk, dat dit aantal zodanig is, dat per module de toelaatbare temperatuur voor de substraat niet wordt overschreden.

32· Inrichting volgens de Conclusie 28, met het kenmerk, dat daarbij tenminste de middensectie van de passage-ingang na zulk een module is ver- 8203318 — 13 — Λ ' ** t wijd . voor een gemakkelijke Invoer van de substraten·

33. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de vrije doorgang van zulk een proces-module voor de substraten groter is dan de breedte van de passage ter plaatse van de segmentpakketten ten 5 behoeve van transport van deze substraten·

34· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat, gezien in de transportrichting, in de groepen segmentpakketten aan tenminste één zijde van de passage vrije ruimtes zijn opgenomen voor opname daarin van sensoren ten behoeve van de processing en voor regeling van de 10 hoedanigheden van de media in de passage in afhankelijkheid van de hoedanigheid van de substraten.

35· Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 34, met het kenmerk, dat door de media de substraten tenminste plaatselijk door de passage worden bewogen en de sensoren via commando's naar regelventielen de stroming van 15 de media in de passage zodanig regelen, dat opvolgende substraten een tenminste nagenoeg dezelfde snelheid hebben· 36« Werkwijze volgens de Conclusie 35, met het kenmerk, dat tijdens het transport in de passage tenminste plaatselijk de opvolgende substraten zich over enige afstand van elkaar bevinden· 20 37« Werkwijze van de inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij de druk van het gasvormige transportmedium in de passage tussen de opvolgende modules met dezelfde processing nagenoeg dezelfde is al die in deze modules·

38· Werkwijze van de Conclusie 37, met het kenmerk, dat daarbij deze druk 25 nabij de praces-modules nabij het vacuum is·

39· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat ter plaatse van een proces-module tenminste het segment, welke aan deze module grenst, vervaardigd is van elsctrisch isolatie-materiaal.

40· Inrichting volgens de Conclusie 39, met het kenmerk, dat bij meerdere 30 op elkaar volgende modules met dezelfde processing de tussengelegen segmentpakketten vervaardigd zijn van electrisch isolatiemateriaal·

41. Inrichting volgens één de voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat bij op elkaar volgende modules met dezelfde processing tenminste het transportmedium in de tussengelegen passages een 35 temperatuur ha eft, die lager is dan die van het éubstraat-oppervlak, waarlangs dit medium stroomt.

42· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 41, met het kenmerk, dat zoals in de proces-module de temperatuur van het substraat-oppervlak, waarop processing heeft plaats gevonden, gestegen is tot nabij de maximum 8203318 - 14 - toelaatbare temperatuur van een op deze substraat gebrachte film, met behulp van dit medium afkoeling van dit substraat-oppervlak wordt bewerkstelligd tot een zodanig lage temperatuur, dat bij de volgende processing de temperatuur wederom niet hoger kan worden dan deze maximum 5 toelaatbare temperatuur·

43· Inrichting volgens Conclusie 41, met het kenmerk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat daarbij tenminste één segmentpakket gekoeld wordt door een medium, welke niet als transportmedium voor de substraten in de passage terecht komt· 10 44· Inrichting volgens Conclusie 43, met het kenmerk, dat daarbij in ten minste één segmentpakket kanalen zijn opgenomen voor stroming er door heen van koelmedium. 45« Inrichting volgens de Conclusie 44, met het kenmerk, dat dit medium gelijk is aan het transportmedium in dit pakket· 15 46· Inrichting volgens de Conclusie 45, met het kenmerk, dat daarbij het in de segmenten opgenomen hoofdtoevoerkanaal van gasvormig medium enerzijds via aftakkanalen verbonden is met de passage en anderzijds via een nauw kanaal rechtstreeks aangesloten is op een gecombineerde afvoer· 4?· Inrichting volgens één de voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat 20 de modules met dezelfde processing aangesloten zijn op tenminste één opwekker, welke het proces-medium levert* 48* Inrichting volgens de Conclusie 47, met het kenmerk, dat daarbij tussen deze opwekker en de passage een zodanige straalbundel-verdeler is op— genomen, dat via zulk een verdeler tenminste een tweetal straalbundels 25 naar de substraatpassage van deze modules worden geleid· 49« Inrichting volgens de Conclusie 48, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat deze straalbundels, gezien in de transport-richting, achter elkaar zijn gelegen en uitmonden in de opvolgende passage ruimtes voor de modules· 30 50· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 49, met het kenmerk, dat zulke straalbundels door electro-statische of magnetische scanning middelen worden geleid voor hst verkrijgen van vlakke straalbundels met een breedte ervan, die gezien in de transportrichting, kleiner is dan de lengte van de passage-ruimte in deze modules· 35 51· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de opwekker een microgolf-opwekker is voor verwarming van de substraten· ’ 52« Inrichting volgens de Conclusie 51, met het kenmerk, dat daarbij tenminste voor plaatselijke bedekking van de segmentpakketten gebruik wordt 8203318 - 15 - gemaakt van microgolf absorberend materiaal·

53· Inrichting volgens de Conclusie 52, met het kenmerk, dat daarbij deze bedekking zodanig is uitgevoerd, dat daarin slechts openingen aanwezig zijn voor doorlaat van de microgolven vanuit de microgolfbron naar de 5 passageruimtes tussen de pakketten segmenten· 54« Inrichting volgens de Conclusie 53, met het kenmerk, dat deze bedekking zich tenminste aan de proceszijde uitstrekt opzij van de segmentpak-ketten en de uiteindes ervan een deel vormen van' de passage voor de substraten· 10 55· Inrichting volgens de Conclusie 54, met het kenmerk, dat daarbij deze bedekking tenminste gedeeltelijk de cabine-secties opzij van de vrije passageruimtes van de modules bedekken·

56· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de bron een opwekker is van ionen voor ionen-implantage in de substraten·

57. Inrichting volgens één der voorgaande Sonclusies, met het kenmerk, dat de bron een opwekker is van ionen voor het etsen van substraten·

58· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de bron een electrode-systeem is voor het metalliseren van het substraat-oppervlak, of sen magnetron-sputtering systeem. 20 59· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de proces-modules met dezelfde processing tevens middelen bevat voor doping van het substraat-oppervlak.

60· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat een serie modules met dezelfde processing zodanig zijn uitgavoerd, dat 25 daarmede oxidatie van het substraat-oppervlak kan plaats vinden.

61· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat daarmede de substraten ter plaatse van deze modules electrisch geladen zijn ten behoeve van de processing·

62· Inrichting volgens de Conclusie 61, met het kenmerk, dat deze verder 30 zodanig is uitgevoerd, dat daarbij tenminste de aan zulk een procesmodule grenzende segmentpakkstten als zijwanden van zulk een module hetzelfde electrisch geladen zijn met in de passage-ruimte van de module tegengesteld geladen schermen opzij van deze wanden, uitstrekkend tot nabij de plaats, waar de processing van de substraten plaats vindt· 35 63« Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat aan één zijde van de passge in de passage-ruimte van de module tenminste in de onmidellijks nabijheid van de door te voeren substraten een electrode is opgenomen·

64, Inrichting volgens de Conclusie 63, mat het kenmerk, dat daarbij deze 8203318 » ' · - 16 - electrode tenminste ongeveer een breedte heeft als die van de substraten· 65« Inrichting volgens de Conclusie 64, met het kenmerk, dat deze electrode, gezien in transportrichting, een lengte heeft, die tenminste nagenoeg overeenkomt met die van de passage-ruimte van de module in deze richting· 5 66» Werkwijze van de inrichting colgens Conclusie 65, met het kenmerk, dat daarbij de substraten over deze electrode glijden onder contactmaking daarmede·

67· Inrichting volgens de Conclusie 63, met het kenmerk, dat daarbij deze electrode in electrische zin verbonden is met de metalen massa van de in-10 richting·

68· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij een tweetal draagstukken ervan zich uitstrekken in de transportrichting opzij van de passage, tussen deze balken de segmentpakketten zijn opgenomen, waarbij aanslagen op deze draagstukken dienen voor de juiste 15 positie van deze pakketten en verbindingsstukken de beide draagstukken zodanig met elaar verbinden, dat deze verbindingsstukken tevens de stapel-pakketten opsluiten in dwarsrichting van de opstelling·

69· Inrichting volgens de Conclusie 68, met het kenmerk, dat deze verbin-dingssukken vervaardigd zQn van electrisch isolatiemateriaal of microgolf-20 dempend materiaal»

70. Inrichting volgens de Conclusie 68, met het kenmerk, dat daarbij een combinatie van verbindingsstukken ter plaatse van de proces-modules aan weerszijde van de passage zich zodanig aan de passage—zijde van deze draagstukken als wand uitstrekken, dat daarmede deze binnenzijde van de draag— 25 stukken tenminste nagenoeg bedekt zijn· 71« Inrichting volgens de Conclusie 70, met het kenmerk, dat daarbij tenminste aan de proceszijde zulk een verbindingsstuk zich als wanden opzij van de stapelpakketten uitstrekt tot nabij het denkbeeldige verlende van de passage tussen deze segmentpakketten· 30 72· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat in een segmentpakket in segmenten een hoofdkanaal is opgenomen en waarbij dit kanaal via een groot aantal aftakkanalen verbonden is met de passage, bij tenminste de stuukanalen voor medium in deze aftakkanalen een versmal- * ling ais doorstroomweerstand voor dit medium is opgenomen en waarbij voor 35 tenminste het transportmedium de beide hoofdkanalen van de segmenten aan weerszijde van de passage uitmonden in een gemeenschappelijk kanaal, hetwelk als een tweetal groeven en een doorboring is opgenomen in één van de beide draagstukken,

73· Inrichting volgens de Conclusie 72, met het kenmerk, dat daarbij beide 8203318 -17 - toevoerkanalen zijn aangesloten op een toevoerkanaal in het ene draagstuk en de beide afvoerkanalen voor het medium zijn aangesloten op een afvoerkanaal in het andere draagstuk

74· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat 5 deze zodanig is uitgevoerd, dat tenminste in één proces-module aan beide zijden van de substraat een gelijke processing plaats vindt·

75· Inrichting volgens de Conclusie 74, met het kenmerk, dat bij meerdere op aQtaar volgende modules met dezelfde processing in de tussengelegen passages aan weerszijde ervan dezelfde segmentpakketten zijn opgenomen 10 voor tenminste nagenoeg gelijke tussen-processing van de beide zijden van de substraat·

76· Inrichting volgens de Conclusie 74, met het kenmerk, dat op de pas-sage-ruimtes van op elaar volgende modules met dezelfde processing aan beide zijden van de passage tenminste één opwekker van procesmedium is aan-15 gesloten.

77· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij tenminste onmildeilijk voor en na zulk een combinatie van modules met dezelfde processing met tussengelegen transportsecties toe- en afvoer transportsecties zijn opgenomen, waarin tenminste zodanige constructies zijn 20 opgenomen, dat daarin tenminste wat betreft de hoedanigheden van transport zulk een combinatie van modules en tussen gelegen transportsecties is nagebootst·

78. Inrichting volgens de Conclusie 77, met het kenmerk, dat daarbij de lengte van deze transportsecties tenminste de halve lengte van de substra-25 in de transportrichting ervan is.

79· Inrichting volgens de Conclusie 78, met het kenmerk, dat de lengte van daze secties ongeveer de lengte van de substraten in de transportrichting ervan is·

80· Inrichting volgens de Conclusie 77, met het kenmerk, dat in deze 30 transportsecties eveneens segmentpakketten zijn opgenomen met tussen gelegen vrije ruimtes· 81« Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 80, met het kenmerk, dat in deze vrije ruimtes ongeveer dezelfde druk heerst als in de passage-ruimtes van de opvolgende proces-modules· 35. 82· Inrichting volgens de Conclusie 77, met het kenmerk, dat daarbij vèèr de toevoersectie zodanige transportsecties zijn opgenomen, dat daarin aanpassing aan de procesdrukken in de betreffende proces-modules plaats vindt· 83« Inrichting volgens de Conclusie 80, met het kenmerk, dat in tenminste 8203318 - 18 - een tweetal van deze ruimtes sensoren zijn opgenomen ten behoeve van de processing in deze proces-modules en regeling van de verplaatsings-snelheid van de substraten·

84· Inrichting volgens de Conclusie 83, met het kenmerk, dat daarbij 5 in één van de vrije ruimtes van de afvoersectia middelen zijn opgenomen zijn opgenomen voor directe of indirecte bepaling van de aard van de plaats gehad hebbende processing, zoals de laagdikte van op de substraten aangebrachte medium, diepte van de geetste profielen, mate van oxidatie en van ionen-implantage en doping. 10 85« Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin delen worden toegepast van de cabine-constructies, welke zijn opgenomen in de inrichtingen, zoals omschreven in de Nederlandse Qctrooi-aanvragen no‘s 8 103 979 en 8 200 753 van de aanvrager*

86. Werkwijze van de inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, 15 met het kenmerk, dat deze gebruik maakt van tenminste één van de in in de Nederlandse Qctrooi-aanvragen no's 8 103 979 en 8 200 753 van de aanvrager vermelde werkwijzen.

87· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat tenminste een proces-kamer van de module boven de substraat-passage 20 is gelegen en dat daarbij de constructieve opbouw verder zodanig is, dat tijdens de processing tenminste ter plaatse van de uitmondingen in de passage van de toevoerkanalen de stuwdruk van het transportmedium in de spleetsectie onder de substraten groter is dan die in de boven de substraten gelegen spleetsecties· 25 88· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 87, met het kenmerk, dat daarbij tijdens het substraat-transport het drukverschil groter is dan het gewicht van de substraat per oppervlakte-eenheid·

89· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 87, met hst kenmerk, dat daarbij de gemiddelde druk in de spleetsectie onder de substraten groter -2 30 is dan 5 x 10 torr.

90· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 87, met het kenmerk, dat -4 zoals de druk in de proceskamer van de module niet hoger is dan 10 torr, de gemiddelde druk in de spleetsecties onder de substraten niet groter is -i dan 10 torr. 35 91* Werkwijze volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat gedurende de processing de druk in de proces-ruimte nabij de substraat groter is dan die in de module nabij de hoogvacuum afvoer· 92» Werkwijze volgens de Conclusie 91, met het kenmerk, dat zoals in de module ionen implantage of andere processing met de ionen straalbundeld 8203318 »19«· i * plaats vindt met een procesdruk in de proceskamer, die niet groter is dan -4 10 to. r, tijdens de processing in de vrije procesruimte onmiddellijk boven de substraat de gemiddelde druk hoger is·

93. Inrichting, waarin de werkwijze .volgens één der voorgaande Conclusies 5 wordt toegepast, met het kenmerk, dat bij zulk een segmentpakket aan tenminste de proceszijde de uitmondingen van de hoogvacuum afvoerkanalen uitsluitend de uiteinden van de passage tussen de segmentpakketten aan weerszijde van deze passage zijn·

94· Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 93, met het kenmerk, dat 10 daarbij tijdens de processing de cabine van de module tevens fungeert als hoofd» afvoerkanaal voor het gasvormige transportmedium, welke daarin vanuit de substraat passage tussen deze segmentpakketten wordt toegevoerd·

95· Werkwijze volgens Conclusie 94, met het kenmerk, dat daarbij tijdens de processing het transportmedium vanuit de beide passagespleten opzij van de sub-15 straat in benedenwaartse richting via de ruimtes tussen de opvolgende segmentpakketten wordt afgevoerd naar de eronder gelegen cabine-ruimte en vervolgens daaruit met behulp van een hoogvacuumpomp wordt afgezogen·

96· Inrichting volgens de Conclusie 93, met het kenmerk, dat tenminste aan de proces-zijds van de substraat-passage een masker-opstelling is opgenomen, 20 die tenminste gedeeltelijk deze pakketten bedekt ten behoeve van afscherming van deze pakketten met in zulk een masker-opstelling een uitsparing ten behoeve van de processing van de substraten· i

97· Inrichting volgens de Conclusie 96, met het kenmerk, dat daarbij zulk een masker ter plaatse van de daarin opgenomen openingen is doorgedrukt en de 25 doorgedrukte wandsecties zich in de procesruimte tussen de segmentpakketten uitstrekken tot nabij het substraat-oppervlak.

98· Inrichting volgens de Conclusie 97, met het kenmerk, dat daarbij het masker verder zodanig is uitgevaerd, dat zijwandsecties ervan eveneens de zijwanden van de cabine opzij van de proces-ruimts af schermen, deze zijwandsecties 30 zich eveneens uitstrekken tot tenminste nabij de substraat-passage en alle vier zijwandsecties tezamen een koker vormen·

99· Inrichting volgens de Conclusie 96, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat met behulp van de masker-opstellingen de proceszijde van da module slechts via de doortochten van deze maskers in open verbinding 35 kan zijn met de module-ruimte aan de niet-processing zijde ervan·

100· Inrichting volgens de Conclusie 98, met het kenmerk, dat daarbij, gezien in dwarsrichting van de module, de afstand tussen de zijwanden van de cabine ter plaatse van de proces-ruimtes en segmentpakketten aanmerkelijk groter is dan de breedte van de substraten en opzij van tenminste het denkbeeldigs 8203318 * - 20 - verlengde van de substraat-passage van de segmentpakketten zich tenminste één vrije communicatieruimte bevindt, die de proces-zijde van de module ver» bindt met de niet-processing zijde van deze module·

101· Inrichting volgens de Conclusie 100, met hst kenmerk, dat deze communi-5 catie-ruimte zich over tenminste de combinatie van segmentpakketten en tusssen-gelegen proces-ruimtes uitstrekt,

102· Inrichting volgens de Conclusie 100, met het kenmerk, dat daarbij tenminste bij de segmentpakketten aan de proces-zijde van de substraat-passage tussen opvolgende module-secties hoogvacuum-afvoerkanalen zijn opgenomen tussen de 10 zijwanden van deze segmentpakketten en hst daarmede corresponderende masker en zulk een kanaal in open verbinding is met deze communicatie-ruimte.

103· Inrichting volgens de Conclusie 102, met het kenmerk, dat daarbij de module verder zodanig is uitgevoerd, dat de cabine-ruimte ervan onder de opvolgende segmentpakketten al dan niet direct is- aangesloten op tenminste één 15 centrale afvoer naar een hoogvacuumpomp·

104. Inrichting volgens de Conclusie 93, met het kenmerk, dat aan de andere zijde van de passage de segmentpakketten ten behoeve van het transporteren van de substraten tenminste nagenoeg dezelfde constructieve opbouw hebben· 105« Inrichting volgens de Conclusie 104, met het kenmerk, dat op beide pak-20 kstten aan weerszijde van de substraat-passage maskers zijn aangebracht en het masker aan de niet-processing zijde een grotere doorlaat heeft·

106, Inrichting volgens de Conclusie 93, met hst kenmerk, dat zulk een seg-mentpakket slechts bestaat uit een tweetal tegen elkaar gelegen segmenten met tussen deze segmenten opgenomen het toevoerkanaal van gasvormig medium 25 met daarmede verbonden uitmondingen in de substraat-passage·

107· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat onder de segmentpakketten zich een zodanige uitwisselbare opstelling bevindt, dat tijdens de processing zonder de aanwezigheid van een substraat-sectie in de proces-ruimte, delen van hst door de vrije ruimte gestuwde me-30 dium worden aangetrokken door deze opstelling·

108· Inrichting volgens Conclusie 100, met het kenmerk, dat in tenminste één zijwand van da cabine een toevoerkanaal voor het gasvormig transportmedium is opgenomen en dit kanaal via doorboringen is aangesloten op de daarmede corres-* ponderende toevoerkanalen van de opvolgende segmentpakketten.

109. Inrichting volgens de Conclusie 108, met het kenmerk, dat daarbij in de < zijwanden van de cabine een toe- en afvoerkanaal is opgenomen voor koelmedium en beide kanalen via doorboringen van de zijwanden zijn aangesloten op een daarmede corresponderend koelkanaal in het segmentpakket· 8203318 - 21 - V .

110. Werkwijze van da inrichting volgens Conclusie 109, met het kenmerk, dat daarbij het koelmedium gelijk is aan het gasvormige transportmedium, maar dat deze een aanmerkelijk hogers druk heeft·

111· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat 5 de opwakker van al dan niet draagmsdium voor de processing een breedte heeft, welke tenminste gelijk is aan die van de substraten en, gezien in de transport-* richting, een lengte heeft, die groter is dan een tweetal procesruimtes met tussen gelegen segmentpakketten ten behoeve van het transporteren van de substraten· 10 112· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat in de proceskamer van de module, gezien in de transportrichting, een aantal cathodes zijn opgenomen ten behoeve van het metalliseren van het substraat-oppervlak en deze cathodes een breedte hebben, die tenminste ongeveer gelijk is aan die van de substraat· 15 113· Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat in de proceskamer tenminste één target als leverancier van op- of in de sub- 4 straten te brengen materiaal is opgenomen en de constructie verder zodanig is, dat daarbij tenminste één ionen straal bundel vanuit een opwekker ervan en werkend op deze target, materiaal van deze target verwijdert en op de sub-20 straat brengt· 114« Inrichting volgens de Conclusie 72, met het kenmerk, dat daarbij de doorstroomweerstand in de aftakkanalen aanmerkelijk groter is dan de door-stroomweerstand van de spleetsectie opzij van de substraat tussen dit kanaal en het daarmede corresponderende afvoerkanaal bij een gemiddelds breedte er-25 van·

115· Werkwijze volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij tenminste in de proces-modules in de passages tussen de daarin opgenomen segmentpakketten het transportmedium gelijk is aan één van de procesmedia, welke in de module wordt toegepast voor processing· 30 116· Substraat, met het kenmerk, dat daarin tenminste een werkwijze volgens één der voorgaande Conclusies is toegepast·

117· Tape, met het kenmerk, dat daarin tenminste een werkwijze volgens één der voorgaande Conclusies is toegepast· 8203318