TW531620B - Diaphragm valve - Google Patents

Description

531620 A7 B7 五、發明説明（1) 〔發明所屬之技術領域〕 本發明，係關於例如在半導體製造裝置等被使用的膜 片閥之改良。 〔習知技藝〕 已往，做爲此種膜片閥，已知有例如在特開平6 -3 4 1 5 6 0號式特開平6 — 1 9 3 7 4 7號等所記載者 ’和特開平6 - 9 4 1 4 2號等所記載者。 圖3，係顯示前述特開平6 - 3 4 1 5 6 0號之隔膜 閥的主要部份之直斷側視圖。在圖3 A爲本體，B爲閥言 ，C爲隔膜，D爲座，E爲座保持器，F爲驅動裝置，G 爲閥帽。 前述座D和座保持器E係被一體性地被裝配，座D和 座保持器E的裝配體被著插在閥室B內。 在該圖3的膜片閥，依隔膜C擋座時的推壓力，幾乎 無座D會變形之情況。可是，如果萬一座D損傷時，必須 把座D和座保持器E全部更換，而有修補成本高之缺點。 一方面，圖4係顯示前述特開平6 - 9 4 1 4 2號的 膜片閥之主要部份的直斷面圖。在該圖4之膜片閥，係座 D和座保持器E被做爲獨立者，分別被著插在閥空1 〇內 。因此，萬一座D損傷時，只要把座D更換，修補成本將 會降低。 可是，在圖4之膜片閥，因座D係只以座保持器E被 保持，有時座D將由隔膜C的擋座時之推壓力被變形，結 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4 - 531620 A 7 B7 五、發明説明（匀 果，常有流體從本體A和座D之間洩漏的情況。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔發明所要解決之課題〕 如此地，已往者皆有優缺點，而被希望改良。 本發明，係鑑於上述的問題點，爲了將之解決而被開 發者，其課題係在提供能設法減低成本，且無薄片變形之 虞，使流體不會從本體和薄片之間洩漏的膜片閥。 〔爲了解決課題之方法〕 本發明之膜片閥，其特徵爲，由備有流入路和流出路 的本體，和在本體內被設成能夠著脫而位於流入路與流出 路途中之座，和被設在本體內的座之外周爲了保持座用的 座保持器，和被設在座與座保持器之上方而中央部能夠對 座擋離座的隔膜，和被設在隔膜之上方使隔膜對座擋離座 之驅動裝置，及被設在本體位於座的內周在與座保持器之 間保持座的隆起部所構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 隔膜的中央部由驅動裝置被擋座在座時，流入路和流 出路將被遮斷而被閉閥，從流入路往流出路的流體之流通 將被阻止。 反之，當隔膜由驅動裝置被自式復原成原形狀而中央 部被從座離座時，流入路與流出路將被連通而被開閥，將 被允許流體從流入路向流出路之流通。 因座，係對本體和座保持器獨立，當座損傷時，只要 將之更換即可。因此，能夠設法減低成本。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） 一 - 5- 531620 A7 B7 五、發明説明（今 在位於座內周的本體，因被設有隆起部，座將在座保 持器和隆起部之間從內外被保持。因此，將無座由隔膜的 擋座時之推力而變形之虞，同時也無流體從本體與薄片之 間洩漏之虞。 本體，係以備有將被收容座的座收容部，和被收容座 保持器而比座收容部深之座保持器收容部爲理想。如此時 ，座及座保持器將被適正地定位，座將由座保持器和隆起 部被確實地保持。 〔發明之實施形態〕 以下，將本發明之實施形態，根據圖面說明。 圖1係顯示本發明之膜片閥的主要部份之直斷側視圖 ，圖2係顯示分解狀態的與圖1相同圖。. 膜片閥1，係其主要部份由本體2，座3，座保持器 4，隔膜5，驅動裝置6，隆起部7所構成。 本體2，係備有流入路8和流出路9者，在本實施例 ，係由不銹鋼等的金屬材料被製作，備有從一側方（左方 )經上方被形成的略L型之流入路8，和從他側方（右方 )經上方被形成的略L型之流出路9，及連通在此等的上 方被形成之凹狀的閥室1 0。面臨流入路8之閥室1 0的 開口，係位於本體2之中心部。 然後，本體2，係備有將被收容座3的座收容部1 1 ，和被收容座保持器4而比座收容部1 1深之座保持器收 容部1 2。亦即，在本體2的閥室1 〇之下部，以流入路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I·裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 531620 A7 B7 五、發明説明（1 8爲中心有隆起部7和座保持器1 1及座保持器收容部 1 2被形成同心圓狀。 座3，係在本體2內被設成能夠著脫而位於流入路8 和流出路9的途中者，在本實施例，係金屬製成合成樹脂 製而呈圓環狀，在外周上部由削除被形成有卡止段部1 3 〇 然後，座3，將被外嵌在本體2所形成的隆起部7， 而被收容在本體2之座收容部1 1。 座保持器4，係被設在本體2內的座3之外周爲了將 座3保持用者，在本例，係爲金屬製而呈圓環狀，在內周 下部由削除被形成有適合卡止段部1 3的卡止段部1 4， 同時被穿設有連通在本體2之流出路9的多數（四個）連 通孔1 5。 然後，座保持器4，將被外嵌在座3，同時被內嵌在 本體2的閥室1 0，而被收容在本體2之座保持器收容部 12° 隔膜5，係被設在座3和座保持器4的上方，中央部 能對座3擋離座者，在本實施例，係由不銹鋼等之能夠彈 性變形的金屬製薄板被形成使中央部向上方鼓出之盤狀， 其周緣部被載置在座保持器4的外周上部，由被插入在本 體2之閥室1 0的閥帽1 6之下端部以氣密狀態被挾持固 定。閥帽1 6，係由將被螺著在本體2的閥帽螺帽（未圖 示）勒緊，而被推壓在座保持器4側。 然後，隔膜5，係由其中央部對座3擋離座，成爲將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) _!·裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 531620 A7 B7 五、發明説明（今 被進行閥之開閉。 驅動裝置6，係被設在隔膜5的上方，使隔膜5對座 3擋離座者，在本實施例，係備有在閥帽1 6被設成能夠 升降，將擋合在隔膜5的中央部之桿1 7，做爲將該桿 1 7以手動或氣壓式電磁式電動式油壓等使之升降者。 隆起部7，係被設在本體2位於座3的內周，在與座 保持器4的間將座3保持者，在本實施例，係呈圓筒狀， 在閥室1 0的中央對本體2突出而被說，內部係被連通在 流入路8。 隆起部7和座保持器4的各上面’係做爲略同一面， 同時座3之上面，係設定爲比隆起部7和座保持器4的各 上面稍向上方突出。 座3，座保持器4，隔膜5，閥帽1 6，係如圖1所 不’由將閥帽螺帽（未圖不）對本體2旋緊，將被裝配成 所定之狀態。 接著，將根據如此的構成說明其作用。 當驅動裝置6之桿1 7被下動時，隔膜5的中央部將 向下方被彈性變形，而被擋座在座3，流入路8和流出路 9將被遮斷而被閉閥，從流入路8向流出路9的流體之流 通將被阻止。 反之，驅動裝置6的桿1 7被上動時，隔膜5將被自 我復原爲原形狀而從座3被離座，流入路8和流出路9被 連通而開閥，將被容許流體從流入路8向流出路9流通。 座3，因係對本體2和座保持器4獨立，故當座3損 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) β 、言 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 531620 A7 B7____ 五、發明説明（今 傷時，只要將之更換即可。因此，能夠設法減低成本。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在位於座3的內周之本體2，因被設有隆起部7，故 座3將在座保持器4和隆起部7之間從內外被保持。因此 ，將無座3會由隔膜5的擋座時之推力而變形之虞，同時 也無流體從本體2和座3之間洩漏之虞。 再者，雖然本體2的座收容部1 1，在先前之例，係 做爲比座保持器收容部1 2淺，可是，並不限於此，也可 以做爲例如和座保持器收容部1 2相伺的深度，或者比座 保持器收容部1 2深。 〔發明之效果〕 以上，如前述地，根據本發明時，將能發揮如下的優 異效果。 (1 )因係由本體，座，座保持器，隔膜，驅動裝置 ，隆起部構成，特別係，在位於座的內周之本體，設置在 與座保持器之間將座保持的隆起部，如果座損傷時，只需 將此更換，而設法減低成本。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2 )因在位於座內周的本體，設置在與座保持器之 間將座保持的隆起部，故無座會由隔膜擋座時之推力而變 形之虞，無流體從本體和座之間洩漏之虞。 〔圖面之簡單說明〕 圖1，係顯示本發明之膜片閥的主要部份之直斷側視 圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2川X297公釐） 531620 A7 B7 五、發明説明（3 圖2 ’係將本發明的膜片閥之主要部份的本體和座及 座保持器分解之狀態顯示的直斷側視圖。 圖3，係顯示習知的膜片閥（特開平 6 — 3 4 1 5 6 0之主要部份的直斷側視圖。 圖4，係顯示過去的膜片閥（特開平6 — 9 4 1 4 2 號）之主要部份的直斷側視圖。 〔圖號說明〕 1……膜片閥，2……本體，3 ......座， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 衣 _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 … …座 保持器 5 … … 膜 5 6 … 驅 動 裝 置， 7 … …隆 起部， 8 … … 流 入 路 9 … • · · 流 出 路， 1 〇 …… 閥室， 1 1 … … 座 收 容 部 1 2 …… 座保持 器 收 容 部 1 3 5 1 4 … ♦ * ♦ 卡止 1 5 ...... 連通孔 1 6 ： 閥 帽 ， 1 7 * · · … 桿 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 531620 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 . 一種膜片閥，其特徵爲，由備有流入路8和流出 路9及閥室1 0的本體2，和在前述本體2之閥室1 0內 被設成能夠著膜，位於流入路8和流出路9的中途之座3 ，和被設在前述本體2的閥室1 〇內之座3的外周側，爲 了保持座3用之座保持器4，和被設在則述座3與座保持 器4之上方，中央部能對座3當離座的膜片5，和被設在 膜片5之上方，使膜片5對座3當離座的驅動裝置6，及 在本體2之閥室1.0的中央被形，成突出狀，在與座保持器 4之間保持座3的內周側之圓筒形的隆起部7，構成者。 2 .如申請專利範圍第1項之膜片閥，主要係，本體 2，備有將被收容座3的座收容部1 1，和將被收容座保 持器4而比座收容部1 1深之座保持器收容部1 2，然後 在前述本體2的閥室1 〇之下部，以流入路8爲中心使隆 起部7和座收容部1 1及座保持器收容部1 2分別如形成 同心圓狀者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 ·如申請專利範圍第1項之膜片閥，其中，使圓筒 形的隆起部7之內部做爲連通至閥室1 〇的流入路8之一 部份者。 4 .如申請專利範圍第1項之膜片閥，其中，使隆起 部7的上面和座保持器4之上面成爲略同一面，然後，使 座3的上面比隆起部7及座保持器4之各上面稍向上面突 出者。 5 ·如申請專利範圍第1項之膜片閥，其中，使座3 做爲由金屬或合成樹脂而成的圓環，然後，使之在其外周 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -11 - 8 8 8 8 ABCD 531620 六、申請專利範圍 2 側設卡止段部1 3，並且，將座保持器4做爲由金屬而成 的圓環，然後，在其內周側設置適合前述座3之卡止段部 1 3的卡止段部1 4，同時在座保持器4設置連通至流出 路9之連通孔1 5者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12-