RU2597447C2 - Laser method for production of functional coatings - Google Patents
Laser method for production of functional coatings Download PDFInfo
- Publication number
- RU2597447C2 RU2597447C2 RU2014150611/02A RU2014150611A RU2597447C2 RU 2597447 C2 RU2597447 C2 RU 2597447C2 RU 2014150611/02 A RU2014150611/02 A RU 2014150611/02A RU 2014150611 A RU2014150611 A RU 2014150611A RU 2597447 C2 RU2597447 C2 RU 2597447C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- ablation
- treated surface
- gas
- dust particles
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к лазерным технологиям получения твердых упрочняющих покрытий, а также покрытий с повышенной стойкостью к механическому износу, коррозии, термическим и радиационным воздействиям, с электропроводящими, изолирующими или полупроводниковыми и другими функциональными свойствами. Изобретение может быть использовано в машиностроении, в химической и электронной промышленности, в атомной энергетике.The invention relates to laser technologies for producing hard hardening coatings, as well as coatings with increased resistance to mechanical wear, corrosion, thermal and radiation effects, with electrically conductive, insulating or semiconductor and other functional properties. The invention can be used in mechanical engineering, in the chemical and electronic industries, in nuclear energy.
Известны способы получения функциональных покрытий за счет осаждения на обрабатываемых поверхностях продуктов лазерной абляции сплошных мишеней излучением мощных импульсных лазеров (см., например, обзор A.A. Voevodin, M.S. Donley, Surface and Coating Technology, 82, 1996, 199-213).Known methods for producing functional coatings due to the deposition on the treated surfaces of laser ablation products of continuous targets by radiation from powerful pulsed lasers (see, for example, a review by A.A. Voevodin, M.S. Donley, Surface and Coating Technology, 82, 1996, 199-213).
Недостатки известных способов и причины, их вызывающие, состоят в следующем:The disadvantages of the known methods and the causes that cause them are as follows:
1) Образование эрозионного кратера в фокальном пятне на поверхности мишени и его углубление в процессе абляции изменяет диаграмму направленности разлета вещества, что приводит к ухудшению однородности покрытий и их состава. Трудно контролируемый поток макрочастиц твердой и капельной фаз, которые поступают на обрабатываемую поверхность в основном из периферийных областей эрозионного кратера, также снижает качество покрытий.1) The formation of an erosion crater in the focal spot on the target surface and its deepening during ablation changes the directional pattern of the expansion of the substance, which leads to a deterioration in the uniformity of coatings and their composition. The difficult to control flow of particulate solid and droplet phases that enter the surface to be treated mainly from the peripheral areas of the erosion crater also reduces the quality of the coatings.
2) Источник продуктов лазерной абляции (эрозионный кратер) обычно локализован на крайне малой части поверхности мишени (~10-2 см2).2) The source of laser ablation products (erosion crater) is usually localized on an extremely small part of the target surface (~ 10 -2 cm 2 ).
Однако за счет теплопроводности материала мишени нагревается значительно большая область мишени, расположенная в окрестности кратера. Поэтому коэффициент полезного использования энергии лазерного излучения снижается. Частичное уменьшение влияния указанных недостатков известных способов достигается диафрагмированием потока продуктов лазерной абляции на обрабатываемую поверхность, плоскопараллельным сканированием фокального пятна по поверхности мишени, уменьшением длительности импульсов до десятков наносекунд и соответствующим повышением интенсивности излучения в фокальном пятне (до 1010-1011 Вт/см2). Эти меры существенно усложняют конструкцию камеры осаждения, требуют более высоких мощностей используемых лазеров и ведут к удорожанию технологии получения покрытий.However, due to the thermal conductivity of the target material, a much larger target region located in the vicinity of the crater is heated. Therefore, the energy efficiency of the laser radiation is reduced. A partial decrease in the influence of these disadvantages of the known methods is achieved by diaphragming the laser ablation product stream on the treated surface, by plane-parallel scanning the focal spot on the target surface, reducing the pulse duration to tens of nanoseconds and correspondingly increasing the radiation intensity in the focal spot (to 10 10 -10 11 W / cm 2 ) These measures significantly complicate the design of the deposition chamber, require higher powers of the lasers used, and lead to an increase in the cost of coating technology.
Причины, определяющие вышеуказанные недостатки известных способов получения функциональных покрытий, устраняются при замене абляции сплошной мишени на абляцию отдельных пылевых частиц, поток которых проходит через сфокусированную область лазерного излучения. При этом размер частиц выбираются намного меньше радиуса фокального пятна.The reasons for the aforementioned disadvantages of the known methods for producing functional coatings are eliminated by replacing the ablation of a continuous target with the ablation of individual dust particles, the flow of which passes through the focused region of the laser radiation. In this case, the particle size is chosen much smaller than the radius of the focal spot.
Один из способов, реализующих указанное технологическое решение, описан в статье (S.N. Bagayev, G.N. Grachev, A.G. Ponomarenko et al., Proc. of SPIE, Vol. 6732, 2007, 673206, p. 1-10) и изложен в патенте (Патент РФ 2416673 C2, опубл. 20.04.2011), который принят за прототип.One of the methods implementing the indicated technological solution is described in the article (SN Bagayev, GN Grachev, AG Ponomarenko et al., Proc. Of SPIE, Vol. 6732, 2007, 673206, p. 1-10) and is described in the patent (Patent RF 2416673 C2, publ. 04/20/2011), which is taken as a prototype.
В известном способе формируют поток рабочей среды, содержащий несущий газ и химически активные реагенты, который направляют на покрываемую поверхность. При этом на рабочий поток воздействуют импульсно-периодическим лазерным излучением таким образом, чтобы в фокусе образовалась плазма оптического разряда. В качестве несущего газа могут использоваться инертные или химически активные газы. Реагенты в несущий газ могут вводиться в виде микро- и/или наноаэрозолей, в том числе твердых пылевых частиц. Осуществление плазмохимических реакций как непосредственно в плазме оптического разряда, так и на поверхности обрабатываемого объекта создают возможности для синтеза и осаждения разнообразных функциональных покрытий. Остановимся на недостатках прототипа.In the known method, a working fluid stream is formed containing carrier gas and chemically active reagents, which are directed to the surface to be coated. In this case, the working flux is affected by repetitively pulsed laser radiation so that an optical discharge plasma is formed in focus. Inert or reactive gases may be used as the carrier gas. Reagents in the carrier gas can be introduced in the form of micro- and / or nanoaerosols, including solid dust particles. The implementation of plasma-chemical reactions both directly in the plasma of the optical discharge and on the surface of the treated object create opportunities for the synthesis and deposition of a variety of functional coatings. Let us dwell on the disadvantages of the prototype.
1) Для зажигания оптического разряда при использовании CO2-лазеров (длина волны излучения 10,6 мкм) необходима фокусировка достаточно мощных лазерных импульсов с интенсивностью до 109 Вт/см2, соответствующей амплитуде электрического поля 106 В/см и более. Еще большие величины интенсивностей требуются для достижения порога зажигания оптического разряда при переходе к твердотельным и волоконным лазерам, излучающим в видимом и ближнем инфракрасном диапазоне, которые получили в настоящее время наиболее широкое распространение для решения многих технологических задач. Это приводит к усложнению конструкции лазера и соответствующему возрастанию стоимости практической реализации способа.1) To ignite an optical discharge using CO 2 lasers (radiation wavelength 10.6 μm), focusing of sufficiently powerful laser pulses with an intensity of up to 10 9 W / cm 2 corresponding to an electric field amplitude of 10 6 V / cm and more is necessary. Even higher intensities are required to reach the ignition threshold of the optical discharge during the transition to solid-state and fiber lasers emitting in the visible and near infrared, which are currently most widely used to solve many technological problems. This leads to a complication of the laser design and a corresponding increase in the cost of practical implementation of the method.
2) При реализации оптического разряда во время облучения потока газопылевой среды значительная доля энергии импульса лазера идет на зажигание и поддержание плазмы. При этом температура лазерной плазмы составляет 10-20 и более тысяч градусов Цельсия. Такая температура является избыточной для плавления и испарения пылевых частиц за время пролета их через рабочую зону, а также для осуществления реакций в химически активных газах. Кроме того, существенная часть энергии лазерного излучения уходит на нагрев ограничивающих рабочую зону стенок корпуса оптического плазмотрона и уносится за счет охлаждения проточной водой. Все это приводит к снижению коэффициента полезного использования энергии лазерного излучения.2) When an optical discharge is realized during the irradiation of a gas-dust medium stream, a significant fraction of the laser pulse energy is spent on ignition and plasma maintenance. In this case, the temperature of the laser plasma is 10-20 and more than thousand degrees Celsius. This temperature is excessive for melting and evaporation of dust particles during their passage through the working zone, as well as for carrying out reactions in chemically active gases. In addition, a significant part of the laser radiation energy is spent on heating the walls of the body of the optical plasmatron that bound the working area and is carried away by cooling with running water. All this leads to a decrease in the energy efficiency of the laser radiation.
Целью настоящего изобретения является повышение эффективности использования энергии лазера и соответствующее снижение мощности излучения. Технический результат изобретения состоит в (а) возможности применения относительно маломощных лазеров, (б) расширении типов используемых лазеров, в том числе, твердотельных и волоконных лазеров, (в) возможности работы не только в импульсно-периодическом режиме с малой длительностью импульсов, но и в квазинепрерывном или непрерывном режиме, (г) создании дополнительных технологических возможностей формирования функциональных покрытий.The aim of the present invention is to increase the efficiency of use of laser energy and a corresponding reduction in radiation power. The technical result of the invention consists in (a) the possibility of using relatively low-power lasers, (b) expanding the types of lasers used, including solid-state and fiber lasers, (c) the possibility of working not only in a pulse-periodic mode with a short pulse duration, but also in quasi-continuous or continuous mode, (g) the creation of additional technological capabilities for the formation of functional coatings.
Для достижения указанного технического результата в известном способе получения функциональных покрытий, включающем осаждение на обрабатываемую поверхность продуктов лазерной абляции частиц пылевого потока, которое осуществляют в герметичной камере, предложено упомянутую камеру заполнять газом в виде инертного газа или химически активного газа или смесью указанных газов, а абляцию пылевых частиц осуществлять до полного или частичного их испарения при интенсивности лазерного облучения величиной 104 - 105 Вт/см2 и ниже порога зажигания оптического разряда при поддержании рабочего давления в камере от 0,1 Тор до величины атмосферного давления. В процессе осаждения дополнительно зажигают тлеющий разряд между обрабатываемой поверхностью и вспомогательным электродом-катодом. В процессе осаждения создают электрическое поле между обрабатываемой поверхностью и вспомогательным электродом.To achieve the technical result in a known method for producing functional coatings, including the deposition of dust ablation particles on the surface of laser ablation products, which is carried out in a sealed chamber, it is proposed to fill said chamber with a gas in the form of an inert gas or a reactive gas or a mixture of these gases, and ablation dust particles to implement full or partial evaporation under laser radiation intensity value of 10 4 - 10 May W / cm 2 and below the ignition threshold optical discharge while maintaining the working pressure in the chamber from 0.1 Torr to atmospheric pressure. During the deposition process, a glow discharge is additionally ignited between the treated surface and the auxiliary cathode electrode. During the deposition process, an electric field is created between the surface to be treated and the auxiliary electrode.
Для уяснения изобретения на рисунке показано схематическое изображение одной из возможных конструкций, реализующих способ. Лазерный пучок 1, входящий в камеру взаимодействия, фокусируется линзой 2, создавая фокальную зону 3, т.е. условно цилиндрическую область с высокой плотностью энергии. Дозатор 4 обеспечивает формирование пылевой струи 5 через фокальную зону. Покрытие осаждается на обрабатываемой поверхности 6. В вариантах с применением тлеющего разряда или при формировании композитных покрытий обрабатываемая поверхность 6 и вспомогательный электрод 7 подключаются к источнику напряжения.To clarify the invention, the figure shows a schematic representation of one of the possible designs that implement the method. The laser beam 1 entering the interaction chamber is focused by the lens 2, creating a
Осаждение покрытий происходит при облучении лазером газопылевой среды с частицами микронных размеров, которые поступают в фокальную зону (область каустики) и эффективно испаряются или разлагаются в процессе их лазерной абляции. Массовый поток и скорость пылевых частиц при их свободном падении через фокальную зону задается параметрами дозатора и его высотой расположения относительно фокальной зоны. В этих условиях вследствие слабого теплообмена частиц с окружающим газом их полное испарение при небольшой скорости движения становится возможным в поле излучения даже относительно маломощного лазера. Осаждение паров происходит на обрабатываемую поверхность, расположенную в непосредственной близости от фокальной зоны. Для интенсификации плазмохимических реакций на поверхности покрытия и улучшения его адгезии используют вспомогательный нагрев подложки. При формировании функциональных покрытий сложного состава в процессе осаждения зажигают тлеющий разряд между обрабатываемой поверхностью и вспомогательным электродом-катодом. При этом на обрабатываемую поверхность за счет катодного распыления дополнительно осаждаются атомы материала катода или в случае реактивного катодного распыления продукты плазмохимических реакций атомов металлов с активной газовой средой.The deposition of coatings occurs upon laser irradiation of a gas-dust medium with micron-sized particles that enter the focal zone (caustic region) and efficiently evaporate or decompose during laser ablation. The mass flow and velocity of dust particles during their free fall through the focal zone is determined by the parameters of the batcher and its height relative to the focal zone. Under these conditions, due to the weak heat transfer of particles with the surrounding gas, their complete evaporation at a low speed becomes possible in the radiation field even of a relatively low-power laser. Vapor deposition occurs on the treated surface located in the immediate vicinity of the focal zone. To intensify the plasma-chemical reactions on the surface of the coating and improve its adhesion, auxiliary heating of the substrate is used. During the formation of functional coatings of complex composition during the deposition process, a glow discharge is ignited between the treated surface and the auxiliary cathode electrode. At the same time, atoms of the cathode material are additionally deposited on the surface due to cathodic sputtering, or in the case of reactive cathodic sputtering, products of plasma-chemical reactions of metal atoms with an active gas medium.
В случае абляции пылевых частиц, производимой до не полного их испарения, можно при осаждении регулировать соотношение паровой и дисперсной фаз. Так как частицы в результате абляции заряжаются за счет процессов термоэлектронной эмиссии, для регулирования потоков паровой и дисперсной фаз можно создавать электрическое поле между обрабатываемой поверхностью и вспомогательным электродом. Совместное осаждение паровой и дисперсной фаз позволяет формировать нано- и микрокомпозитные гибридные покрытия, расширяющие диапазон их функциональных свойств.In the case of ablation of dust particles produced before their complete evaporation, the ratio of the vapor and dispersed phases can be controlled during deposition. Since particles are charged as a result of ablation due to thermionic emission processes, to control the flows of vapor and dispersed phases, an electric field can be created between the treated surface and the auxiliary electrode. Joint deposition of vapor and dispersed phases allows the formation of nano and micro composite hybrid coatings, expanding the range of their functional properties.
Для осуществления изобретения осаждение покрытий на обрабатываемую поверхность производят в герметичной камере взаимодействия. Камера заполняется газом либо инертным (аргон, гелий), либо химически активным (азот, углеводороды и др.), либо их смесью. Рабочее давление в камере поддерживается в диапазоне от 0,1 Тор до атмосферного. Размер частиц дисперсной фазы выбирается предпочтительно от субмикронных до десятков микрон. Величина потока частиц дисперсной фазы задается режимом работы дозатора и составляет от 0,1 до десятков миллиграмм в секунду. В качестве материала частиц может быть использован широкий спектр веществ, в том числе оксиды (кремния, алюминия), нитриды (бора, алюминия, титана), карбиды (бора, кремния), сульфиды (кадмия), металлы (титан, алюминий, молибден, ниобий), углерод или их комбинации, в соответствии с необходимыми функциональными свойствами покрытия. Обрабатываемая поверхность располагается в непосредственной близости от фокальной зоны. Предусмотрена возможность ее нагрева от комнатной температуры до сотен градусов Цельсия. Материал обрабатываемой поверхности также задается функциональным применением обрабатываемых изделий и может представлять собой конструкционные и нержавеющие стали, алюминий и его сплавы, реакторный графит, кремний электронного качества и т.д. Облучение пылевой среды производится серийно изготовляемыми лазерами, в том числе, твердотельными, волоконными или CO2-лазером мощностью от сотен ватт до нескольких киловатт в импульсно-периодическом или непрерывном режиме. Интенсивность облучения в фокальной зоне составляет 104 - 105 Вт/см2. Лазерное излучение фокусируется на потоке свободно падающих частиц дисперсной фазы с предпочтительным диаметром фокального пятна порядка 1 мм. При этом длина фокальной зоны (область каустики), задаваемая параметрами фокусирующих линз, должна быть не меньше диаметра пылевой струи в этой зоне. Осаждение покрытия на обрабатываемой поверхности происходит за счет процессов диффузии, конвекции и реактивного движения паров при абляции пылевых частиц.To implement the invention, the deposition of coatings on the treated surface is carried out in a sealed chamber of interaction. The chamber is filled with gas either inert (argon, helium), or chemically active (nitrogen, hydrocarbons, etc.), or their mixture. The working pressure in the chamber is maintained in the range from 0.1 Torr to atmospheric. The particle size of the dispersed phase is preferably selected from submicron to tens of microns. The magnitude of the particle flow of the dispersed phase is set by the mode of operation of the dispenser and ranges from 0.1 to tens of milligrams per second. A wide range of substances can be used as particle material, including oxides (silicon, aluminum), nitrides (boron, aluminum, titanium), carbides (boron, silicon), sulfides (cadmium), metals (titanium, aluminum, molybdenum, niobium), carbon, or combinations thereof, in accordance with the required functional properties of the coating. The processed surface is located in close proximity to the focal zone. It is possible to heat it from room temperature to hundreds of degrees Celsius. The material of the processed surface is also determined by the functional application of the processed products and can be structural and stainless steels, aluminum and its alloys, reactor graphite, silicon of electronic quality, etc. Dust media are irradiated with serially manufactured lasers, including solid-state, fiber or CO 2 lasers with power from hundreds of watts to several kilowatts in a pulse-periodic or continuous mode. The radiation intensity in the focal zone is 10 4 - 10 5 W / cm 2 . Laser radiation focuses on the flow of freely incident particles of a dispersed phase with a preferred focal spot diameter of the order of 1 mm. In this case, the length of the focal zone (caustic region) specified by the parameters of the focusing lenses should be no less than the diameter of the dust jet in this zone. The deposition of the coating on the treated surface occurs due to the processes of diffusion, convection and reactive vapor movement during ablation of dust particles.
При осаждении покрытия с использованием катодного распыления в тлеющем разряде, камера взаимодействия заполняется газом при давлении 0,1-10 Тор или несколько выше, вплоть до порога сохранения устойчивости разряда. Величина напряжения, подаваемого на подложку и вспомогательный электрод (катод) определяется, в первую очередь, межэлектродным расстоянием и давлением в камере. При этом величина разрядного тока зависит в основном от площади поверхности подложки. Газоразрядная плазма занимает объем между подложкой и вспомогательным электродом. Материал катода (титан, алюминий, ниобий, молибден, графит) выбирается как для коррекции стехиометрического состава покрытия, так и для формирования функциональных покрытий более сложного состава.When coating is deposited using cathodic sputtering in a glow discharge, the interaction chamber is filled with gas at a pressure of 0.1-10 Torr or slightly higher, up to the threshold for maintaining the stability of the discharge. The voltage applied to the substrate and the auxiliary electrode (cathode) is determined primarily by the interelectrode distance and the pressure in the chamber. The magnitude of the discharge current depends mainly on the surface area of the substrate. The gas discharge plasma occupies the volume between the substrate and the auxiliary electrode. The cathode material (titanium, aluminum, niobium, molybdenum, graphite) is selected both for the correction of the stoichiometric composition of the coating and for the formation of functional coatings of a more complex composition.
При формировании композитных покрытий, представляющих собой пленку с распределенными в ней частицами дисперсной фазы, мощность лазерного излучения снижают ниже порога полной абляции пылевых частиц. Соотношение потоков паровой и дисперсной фаз при формировании покрытия регулируется не только мощностью лазера, размером исходных пылевых частиц и временем их пролета через фокальную зону, но и дополнительно с помощью электрического поля. Для этого на обрабатываемую поверхность и вспомогательный электрод подается регулируемое постоянное напряжение, величина которого ограничивается возникновением пробоя в межэлектродном промежутке.When forming composite coatings, which are a film with dispersed phase particles distributed in it, the laser radiation power is reduced below the threshold for complete ablation of dust particles. The ratio of the flows of vapor and dispersed phases during coating formation is regulated not only by the laser power, the size of the initial dust particles and the time of their flight through the focal zone, but also by using an electric field. To do this, an adjustable constant voltage is applied to the treated surface and the auxiliary electrode, the value of which is limited by the occurrence of breakdown in the interelectrode gap.
Таким образом, использование изобретения позволяет получать функциональные покрытия с применением относительно маломощных твердотельных, волоконных и CO2 лазеров в квазинепрерывном или непрерывном режиме с возможным расширением технологических процессов. Предварительно были получены покрытия из твердых материалов (нитрид алюминия, карбид бора, композит оксид кремния/оксид алюминия, углерод), содержащие частицы дисперсной фазы, на подложках из стали Ст. 3 и нержавеющей стали 1Х18Н10Т, а также полупроводниковые покрытия нитрида алюминия и сульфида кадмия на подложках из кремния.Thus, the use of the invention allows to obtain functional coatings using relatively low-power solid-state, fiber and CO 2 lasers in quasi-continuous or continuous mode with a possible expansion of technological processes. Previously, coatings of solid materials (aluminum nitride, boron carbide, a composite oxide of silicon / alumina, carbon) containing particles of a dispersed phase on substrates of
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014150611/02A RU2597447C2 (en) | 2014-12-12 | 2014-12-12 | Laser method for production of functional coatings |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014150611/02A RU2597447C2 (en) | 2014-12-12 | 2014-12-12 | Laser method for production of functional coatings |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014150611A RU2014150611A (en) | 2016-07-10 |
| RU2597447C2 true RU2597447C2 (en) | 2016-09-10 |
Family
ID=56372466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014150611/02A RU2597447C2 (en) | 2014-12-12 | 2014-12-12 | Laser method for production of functional coatings |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2597447C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018236760A1 (en) * | 2017-06-19 | 2018-12-27 | Adamantite Technologies, Llc | Doped diamond semiconductor and method of manufacture |
| US10700165B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-06-30 | Adamantite Technologies LLC | Doped diamond SemiConductor and method of manufacture using laser abalation |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2381094C2 (en) * | 2007-12-25 | 2010-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью Вятское машиностроительное предприятие "Лазерная техника и технологии" | Method of laser-plasma polishing of metallic surface |
| RU2416673C2 (en) * | 2009-04-28 | 2011-04-20 | Учреждение Российской Академии Наук Сибирское Отделение Ран Институт Лазерной Физики | Laser-plasma procedure of synthesis of very hard micro- and nano-structured coatings and device |
| US20120148756A1 (en) * | 2007-05-25 | 2012-06-14 | Imra America, Inc. | Method of producing compound nanorods and thin films |
| RU2532676C2 (en) * | 2011-11-28 | 2014-11-10 | Юрий Александрович Чивель | Method of plasmochemical synthesis and reactor of plasmochemical synthesis for its realisation |
-
2014
- 2014-12-12 RU RU2014150611/02A patent/RU2597447C2/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120148756A1 (en) * | 2007-05-25 | 2012-06-14 | Imra America, Inc. | Method of producing compound nanorods and thin films |
| RU2381094C2 (en) * | 2007-12-25 | 2010-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью Вятское машиностроительное предприятие "Лазерная техника и технологии" | Method of laser-plasma polishing of metallic surface |
| RU2416673C2 (en) * | 2009-04-28 | 2011-04-20 | Учреждение Российской Академии Наук Сибирское Отделение Ран Институт Лазерной Физики | Laser-plasma procedure of synthesis of very hard micro- and nano-structured coatings and device |
| RU2532676C2 (en) * | 2011-11-28 | 2014-11-10 | Юрий Александрович Чивель | Method of plasmochemical synthesis and reactor of plasmochemical synthesis for its realisation |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10700165B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-06-30 | Adamantite Technologies LLC | Doped diamond SemiConductor and method of manufacture using laser abalation |
| US11495664B2 (en) | 2016-06-17 | 2022-11-08 | Adamantite Technologies LLC | Doped diamond Semiconductor and method of manufacture using laser ablation |
| WO2018236760A1 (en) * | 2017-06-19 | 2018-12-27 | Adamantite Technologies, Llc | Doped diamond semiconductor and method of manufacture |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2014150611A (en) | 2016-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI382789B (en) | Method and apparatus for producing extreme ultraviolet radiation or soft x-ray radiation | |
| Kuz’min et al. | Technique of formation of an axisymmetric heterogeneous flow during thermal spraying of powder materials | |
| US9941092B2 (en) | X-ray assemblies and coatings | |
| RU2455119C2 (en) | Method to produce nanoparticles | |
| RU2597447C2 (en) | Laser method for production of functional coatings | |
| AU2002332200B2 (en) | Method for carrying out homogeneous and heterogeneous chemical reactions using plasma | |
| RU2380195C1 (en) | Method for production of metal or semiconductor nanoparticles deposited on carrier | |
| Baranov et al. | Miniaturized plasma sources: Can technological solutions help electric micropropulsion? | |
| JP2012525495A (en) | Method and apparatus for high speed coating by high pressure evaporation | |
| EP2482303B1 (en) | Deposition apparatus and methods | |
| Ivashchenko et al. | Laser-Induced-Electro-Explosion Synthesis of Powder Materials (LIEES) | |
| RU2632927C2 (en) | Method of solid volumeric impulse plasma generation | |
| Bolotov et al. | Hollow cathode glow discharge as a heating source in welding and brazing | |
| RU2640114C2 (en) | Laser plasmotron for deposition of composite diamond coatings | |
| Chkalov et al. | Femtosecond laser micromachining of thin-film coatings in a high-voltage electrostatic field | |
| US8426834B2 (en) | Method and apparatus for the generation of EUV radiation from a gas discharge plasma | |
| RU2653399C2 (en) | Method of amorphous oxide of aluminum coating by reactive evaporation of aluminum in low pressure discharge | |
| RU2643287C2 (en) | Method for obtaining nanopowder of compounds and mixture compositions and device for its implementation | |
| Tazmeev et al. | Study of a DC electric discharge with a cathode loaded in the water flow | |
| Osaki et al. | Plasma electrode-type plasma spray gun—effect of powder loading on the behavior of plasma jet | |
| RU2579845C1 (en) | Plasma treatment of surface using discharge of pinch type | |
| Schultrich et al. | Methods of Vacuum Arc Deposition of ta-C Films | |
| Chivel | Efficient laser methods for producing spherical powders | |
| Schultrich et al. | Related Deposition Methods | |
| Glova et al. | Coating formation at laser irradiation of a dusty gas medium |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant |