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KR970011108B1 - 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치 - Google Patents

기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치 Download PDF

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KR970011108B1
KR970011108B1 KR1019940020183A KR19940020183A KR970011108B1 KR 970011108 B1 KR970011108 B1 KR 970011108B1 KR 1019940020183 A KR1019940020183 A KR 1019940020183A KR 19940020183 A KR19940020183 A KR 19940020183A KR 970011108 B1 KR970011108 B1 KR 970011108B1
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/04—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving

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Abstract

내용없음.

Description

기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치
제1도는 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치에 의하여 측정할 수 있는 5자유도 오차를 설명하기 위한 개략도.
제2도는 전직도오차만을 측정할 수 있는 종래의 운동오차 측정장치의 개략도.
제3도는 롤오차만을 측정할 수 있는 종래의 운동오차 측정장치의 개략도.
제4도는 본 발명에 따라 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치를 나타내는 전체시스템의 구성도.
제5도의 (a), (b)는 본 발명에 따른 광학부의 배치를 나타내는 사시도.
제6도는 본 발명에 따른 신호처리부의 구성을 나타내는 회로도.
제7도는 본 발명에 따라 수평진직도오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제8도는 본 발명에 따라 수직진직도오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제9도는 본 발명에 따라 롤오차의 측정결과를 나타낸 그래프.
제10도는 본 발명에 따라 피치오차의 측정결과를 나타내는 그래프.
제11도는 본 발명에 따라 요오차의 측정결과를 나타내는 그래프이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
31 : 레이저 32 : 제1빔분리기
33 : 제2빔분리기 34 : 제1수광소자
35 : 제2수광소자 36 : 제3수광소자
37 : 고정테이블 40 : 신호처리부
41 : 1차 증폭회로 42 : 커넥터
43 : 2차 증폭회로 44 : 멀티플랙서
45 : AD변환기 46 : 컴퓨터
47 : 모터드라이버 48 : 스텝모터
49 : 기계이송축 50 : 이송테이블
P1, P2, P3 : 빔스포트
본 발명은 다자유도운동을 수행하는 기계시스템에 있어서 기계이송축의 5자유도 운동오차를 측정하는 장치에 관한 것이다.
공장기계와 다축기계에 요구되는 정밀도의 사양은 점점 증가하고 있으며, 따라서 설계, 가공된 기계요소의 오차를 측정하고 규명하는 기술도 정밀화, 고효율화 되어가고 있다. 특히 정밀하게 이송하는 기계요소는 공작기계분야, 로보트 및 그 관련분야, 무인이송장치, 전자 및 반도체 관련분야, 정밀기계분야 등에서 매우 핵심적이며 필수적인 기술로서 그 수요가 급증하는 추세이다.
그러나, 일반적으로 이송장치의 기계이송축의 운동은 기계가공의 오차, 기하학적인 오차 및 조립오차 등에 기인하여 계획된 운동과는 달리 여러 자유도의 오차운동을 보이게 된다. 제1도에 도시되어 있는 바와 같이, 기계이송축의 오차는 기계이송축의 진행에 따라 구동메카니즘에 의한 위치오차외에, 수평진직도오차(HE), 수직진직도오차(VE)의 3개의 병진운동 오차성분들과 롤오차(RE), 피치오차(PE), 요오차(YE)의 3개의 회전운동 오차성분들이 존재한다. 따라서, 정밀한 위치제어와 구동을 위하여 또한 기계시스템의 정밀도를 제고하기 위하여는 두가지 방향의 노력, 즉 기계요소를 정밀하게 가공, 조립하는 기술과 아울러 이송운동중에 여전히 잔류하는 오차성분들을 측정하고 수정하여 주는 기술은 매우 필수적이다.
이러한 기계이송축의 오차를 측정하는 종래의 기술들이 제2도 및 제3도에 도시되어 있다.
먼저, 제2도는 진직도오차만을 측정할 수 있는 종래의 운동오차 측정장치를 개략적으로 나타내는 도면으로서, 이는 미합중국 규정집 Draft Standard Methods for Performance Evaluation of Computer Numerically Controlled Machining Centers(ANSI/ASME B5. 54-1991, page 101)에 개시되어 있다. 이 장치에 의한 운동오차의 측정방법을 간략히 설명하면, 레이저(11)로부터 방출된 빛은 스핀들(13)에 장착된 4분할의 수광소자(12)에 입사되어 수평위치와 수직위치가 계측된다.
그러나, 이 방법에 의하면 수평방향의 진직도오차(HE)와 수직방향의 진직도오차(VE)는 측정할 수 있으나, 기계이송축에서 매우 중요한 오차들인 각도오차 성분을 구성하는 롤오차(RE), 피치오차(PE) 및 요오차(YE)는 전혀 측정할 수 없는 문제점이 있었다.
또한, 측정된 데이터의 처리에 있어서도 수작업에 의한 단순데이타의 입력으로서 상당한 시간이 소요되고 이에 따라 정밀도의 저하 및 효율성의 저하 등의 문제점으로 인하여 이송축의 진직도 오차측정에만 제한적으로만 사용되어 왔다.
한편, 제3도는 롤오차(RE)만을 측정할 수 있는 종래의 운동오차 측정장치를 개략적으로 나타내는 도면으로서, 이는 독일에서 반포된 Metrological Analysis and Performance Tests(page 32)에 개시되어 있다. 이 장치에 의한 운동오차의 측정방법을 간략히 설명하면, 이 장치는 2개의 수광소자들(24)을 이용하는 것이다. 레이저(20)로부터 방출된 빛은 빔분리기(21)로 입사되며, 빛의 빔분리기(21)에 의하여 두가닥으로 분리되어 고정테이블(22)의 상부를 따라 이송되는 이송테이블(23)위에 설치되어 있는 수광소자(24)에 입사된다. 따라서, 두 수광소자들(24)에 의하여 계측된 데이터의 편차로부터 롤오차(RE)가 구하여진다.
그러나, 이 방법에 의하면, 빔분리기(21) 자체의 평행도오차는 전혀 고려되지 않음으로써 측정결과가 정밀하지 않아 측정된 롤오차(RE)를 신뢰할 수 없으며 또한, 롤오차(RE) 이외의 다른 각도오차인 피치오차(PE) 및 요오차(YE)는 전혀 측정할 수 없다는 문제점이 있었다. 한편, 제2도의 종래기술과 마찬가지로 측정된 데이터의 처리에 있어서도 수작업에 의한 단순 데이터의 입력으로 인하여 그 처리에 있어서 상당한 문제점을 내포하고 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기계이송축에서 발생하는 운동오차의 성분들인 5자유도의 운동오차 전체를 1회의 세팅작업으로 동시에 정확하게 측정할 수 있는 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 컴퓨터를 통하여 측정된 기계이송축의 5자유도의 운동오차들의 데이터를 정확하게 처리평가하여 이를 보정할 수 있는 이송축의 5자유도 운동오차 측정장치를 제공함에 있다.
이와 같은 목적들을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치는 레이저와; 이 레이저로부터 방출되는 빛을 연속적으로 복수의 가닥으로 분리하는 적어도 2이상의 빔분리기들과; 이 빔분리기들로부터 방출되는 복수의 가닥의 빛이 입사되며, 단일의 고정된 이송방향을 갖는 테이블에 고정설치되는 적어도 3이상의 수광소자들과; 상기 수광소자들에 연결되는 신호처리부와; 이 신호처리부의 아날로그 신호들은 디지털신호로 변환시키기 위하여 상기 신호처리부에 연결되는 아날로그디지탈변환기와; 5자유도의 운동오차들을 계산하기 위하여 상기 아날로그변환기에 연결되는 컴퓨터와; 이 컴퓨터에 의하여 제어되어 작동되도록 상기 컴퓨터와 연결되는 모터드라이버 및 이 모터드라이버의 신호들에 의하여 구동하는 모터와; 상기 모터에 연결되어 상기 테이블을 이송시키는 이송축으로 이루어진다.
본 발명에 따른 장치의 바람직한 특징으로서, 빔분리기는 서로 직교하도록 2개가 배치되어 광원의 빛을 3가닥으로 분리하여 3개의 수광소자를 이용하여 5자유도 운동오차들을 측정한다.
이하, 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치의 실시예를 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다.
제4도 내지 제6도는 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치를 나타내며, 본 발명은 주요한 구성부로서 빛을 방출하고, 분리하며 입사된 빛에 응답하여 출력신호를 발생시키는 광학부(30)와, 수광소자들의 출력신호를 증폭하고 조절하는 신호처리부(40)와, 데이터의 입출력과 처리를 관장하는 컴퓨터연계부 및 구동부의 4부분으로 구성된다.
광학부(30)는 레이저(31), 제1빔분리기(32), 제2빔분리기(33), 제1수광소자(34), 제2수광소자(35) 및 제3수광소자(36)로 이루어진다. 신호처리부(40)는 1차 증폭회로(41), 커넥터(42), 제2차 증폭회로(43) 및 멀티플렉서(44)로 이루어진다. 또한, 컴퓨터 연계부는 컴퓨터(46)를 포함하여 아날로그디지탈변환기(45)(이하, 'AD변환기'라 칭함)와, 모터드라이버(47)로 이루어진다. 그리고, 구동부는 스텝모터(48), 이송축(49), 이송테이블(50)로 이루어진다.
이하에서는, 이상과 같은 각 부분의 구성관계를 보다 상세히 설명한다.
먼저, 광학부(30)는, 제5도의 (a)에 도시되어 있는 바와 같이, 광원으로서 레이저(31)가 소정의 위치에 설치되고, 레이저(31)의 전방에는 제1빔분리기(32)는 수평하게 설치되고, 제1빔분리기(32)의 전방에서 제2빔분리기(33)가 수직하게 설치되어 있다.
따라서, 레이저(31)로부터 방출되는 빛은 제1빔분리기(32)와 제2빔분리기(33)에 의하여 3가닥의 빛으로 분리된다. 제2빔분리기(33)의 전방에 위치하는 고정테이블(51)의 상면에는 제1수광소자(34) 및 제2수광소자(35)를 내장한 하우징(37)은 수평하게 놓이고, 제3수광소자(36)를 내장한 하우징(38)은 수직하게 놓여 있다. 그리고, 하우징(37)은 제1빔분리기(32)와 하우징(38)은 제2빔분리기(33)와 정렬되도록 고정테이블(51)의 상면에 놓여진다.
한편, 광학부(30)는 제5도의 (b)에 도시되어 있는 바와 같이 배치될 수도 있다. 즉, 제1빔분리기(32)와 하우징(37)은 수직하게 설치되고, 제2빔분리기(33)와 하우징(38)은 수평하게 설치되어 본 발명의 목적은 달성될 수 있다.
또한, 본 실시예들에 있어서 제1 내지 제3수광소자들(34, 35, 36)은 4분할형에 의한 수광소자를 사용하고 있으나, 2분할형에 의한 수광소자를 조합하는 것도 가능하다.
다음으로, 신호처리부(40)는, 제6도에 상세히 도시되어 있다. 제1 내지 제3수광소자들(33, 34, 35)은 각각 1차 증폭회로(41)와 연결되고 상기 수광소자들(33, 34, 35)의 각각의 4분면에는 수광소자들(33, 34, 35)의 출력신호인 전류를 전압으로 변환시키기 위하여 각각 증폭기(41a)와 연결되어 있다. 각각의 증폭기(41a)들은 1차 증폭회로에서 변환된 전압을 다시 측정가능한 영역으로 증폭하기 위하여 커넥터(42)를 개재하여 2차 증폭회로(43)의 증폭기(43a)들과 연결되어 있다. 또한, 2차 증폭회로는 멀티플랙서(44)를 통하여 AD변환기(45)에 접속되어 있다.
그리고, 컴퓨터 연계부는 제4도에 도시되어 있다. AD변환기(45)는 신호처리부(40)로부터 출력되는 아날로그신호를 디지털신호로 변환시키기 위하여 신호처리부(40)와 연결되고, 또한 디지털신호를 컴퓨터(46)에 입력시키기 위하여 컴퓨터(46)와 연결되어 있다. 컴퓨터(46)는 신호처리부(40)로부터 입력된 데이터를 처리하며 기계이송축(49)의 운동을 제어하는 모터드라이버(47)와 연결되어 있다.
마지막으로, 기계이송축(49)은 외면이 나사가 형성되어 있는 나사축으로 스텝모터(48)와 연결되어 있다. 또한, 기계이송축(49)은 이송테이블(50)에 고착되어 있는 이송나사들(49a)과 나사맞춤되어 있다. 한편, 이송테이블(50)의 상부에는 고정테이블(51)이 위치하며, 이 고정테이블(51) 상면에는 제1 내지 제3수광소자들(34, 35, 36)이 배치되어 있다.
이하에서는, 상기한 바와 같은 구성을 갖는 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치의 동작 및 오차측정에 대해서 설명한다.
제5도의 (a)를 참고로 하면, 레이저(31)로부터 방출된 빛은 제1빔분리기(32)에 입사되어 수평방향의 2가닥으로 분리되며, 제1빔분리기(32)의 1가닥의 빛은 제2빔분리기(33)에 입사되어 수직방향으로 다시 2가닥으로 분리된다. 즉, 레이저(31)의 광선은 제1빔분리기(32)와 제2빔분리기(33)를 통과하여 3가닥의 빛으로 분리된다.
따라서, 제1빔분리기(32)의 좌측 광선은 제1수광소자(34)로 입사되고, 제2빔분리기(33)의 하측 광선은 제2수광소자(35)로 입사되며, 제2빔분리기(33)의 상측 광선은 제3수광소자(36)으로 입사된다. 이에 따라, 제1 내지 제3수광소자(34, 35, 36)는 광선의 위치좌표에 대하여 전류를 출력하게 된다.
한편, 광학부의 다른 실시예를 나타내는 제5도의 (b)를 참고로 하면, 제5도의 (a)에서와 같이 레이저(31)의 광선은 제1빔분리기(32')와 제2빔분리기(33')을 통과하여 분리되며, 분리된 3가닥의 광선은 각각 제1수광소자(34'), 제2수광소자(35') 및 제3수광소자(36')에 입사된다. 이에 따라, 제1 내지 제3수광소자(34', 35', 36')는 광선의 위치좌표에 대하여 전류를 출력하게 된다.
제1 내지 제3수광소자(34, 35, 36)로부터 출력되는 전류신호는 신호처리부(40)에 의하여 전압신호로 변환되고 다시 증폭된다. 이를 제6도를 참고로 하여 상세히 설명한다. 먼저 4분할 수광소자(34, 35, 36)의 각 4분면에 증폭기(OPA 128)로 구성된 1차 증폭회로(41)를 연결하여 수광소자들의 전류신호를 전압신호로 변환시킨다. 이때, 증폭비를 결정하는 저항의 크기는 레이저(31) 광선의 세기에 따라 결정한다.
1차 증폭회로(41)에 의하여 변환된 전압신호는 커넥터(42)를 통과하여 증폭기(OP 27)로 구성된 2차 증폭회로(43)에 입력되어 측정가능한 영역으로 증폭된다. 그리고, 증폭된 전압신호들은 멀티플랙서(44)를 통하여 AD변환기(45)에 의하여 디지털신호로 변환된 후 실시간에서 컴퓨터(46)로 입력된다.
한편, 컴퓨터(46)는 기계이송축(49)의 스텝모터(48)를 구동시키기 위하여 모터드라이버(47)를 작동시켜 기계이송축(49)의 운동을 제어한다. 따라서, 실시간에서 모터(48)의 구동과 기계이송축(49)의 오차가 측정된다.
이하, 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치의 측정원리와 측정되는 5자유도 운동오차를 상세히 설명한다.
제1수광소자(34)로부터 출력되는 출력전압에 따른 빔스포트(P1)의 수평 및 수직 방향의 위치좌표를 (X1, Y1), 제2수광소자(35)에서의 빔스포트(P2)의 위치좌표를 (X2, Y2), 제3수광소자(36)의 빔스포트(P3)의 위치좌표를 (X3, Y3)라고 하고, 기계이송축(49)의 운동방향을 Z좌표로 나타낼 때 5자유도의 각각의 운동오차는 다음과 같은 방법으로 계산한다.
(1) 수평진직도오차(HE)의 측정
수평진직도오차(HE)는 기계이송축(49)에 의하여 이송테이블(50)을 Z축을 따라 이송시킬 때 X축 방향으로의 병진오차를 의미한다.
수평진직도오차(HE)는 기계이송축(49)에 따른 제1수광센서(34)의 X좌표로부터 구하며, 이때 수평진직도오차(HE)는 X좌표가 기준직선의 좌표로부터 가지는 편차가 된다.
따라서,
수평진직도오차(HE)=X좌표-기준직선의 좌표
로 나타내어지며, 기준직선식이 X=AZ+B라고 하면,
HE=X-(AZ+B) ……………………………………………………………(1)
이 된다. 여기서, 기준직선의 상수 A, B는 최소거리법 또는 최소자승법에 의하여 구한다.
(2) 수직진직도오차(VE)의 측정
수직진직도오차(VE)는 기계이송축(49)에 의하여 이송테이블(50)을 Z축을 따라 이송시킬 때 Y축 방향으로의 병진오차를 의미한다. 수직진직오차(VE)는 기계이송축(49)에 따른 제1수광센터(34)의 Y좌표로부터 구하며, 이때 수직진직도오차(VE)는 Y좌표가 기준직선의 좌표로부터 가지는 편차가 된다.
따라서,
수직진직도오차(VE)=Y좌표-기준직선의 좌표
로 나타내어지며, 기준직선식이 X=AZ+B라고 하면
VE=Y-(AZ+B) …………………………………………………………… (2)
이 된다. 여기에서, 기준직선의 상수 A, B는 최소거리법 또는 최소자승법에 의하여 구한다.
(3) 롤오차(RE)의 측정
롤오차(RE)는 기계이송축(49)에 의하여 이송테이블(50)을 이송시킬 때 Z축에 의한 회전오차를 의미한다.
롤오차(RE)는 기계이송축(49)에 따른 제1수광센서(34)의 출력좌표 (X1, Y1)와 제2수광센서 (35)의 출력좌표 (X2, Y2)의 상대값에 의하여 구하여진다.
제1수광센서(34)와 제2수광센서(35) 사이의 거리를 L1, 제1빔분리기(32)의 수직평행도오차를 θR이라고 하면, 롤오차(RE)는 다음과 같이 계산된다.
즉,
RE=(Y1-Y2-θR·Z)/L1……………………………………………………… (3)
이 된다.
따라서, 본 발명에 의하여 롤오차(RE)를 측정할 때에는, 제1빔분리기(32)의 평행도오차를 고려함으로써 정확한 롤오차(RE)를 구할 수 있다.
한편, 빔분리기의 평행도오차를 측정하는 장치 및 그에 따른 측정원리에 대하여는 본 출원인에 의하여 동일자로 특허출원된(출원번호 1994년 특허출원 제20184호) 빔분리기의 평행도오차 측정장치에 관한 명세서에 상세히 개시되어 있다.
(4) 피치오차(PE)의 측정
피치오차(PE)는 기계이송축(49)에 의하여 이송테이블(50)을 이송시킬 때 X축에 의한 회전오차를 의미한다.
피치오차(PE)는 기계이송축(49)에 따른 제2수광센서(35)의 출력좌표(Y2)와 제3수광센서(36)의 수직방향의 출력좌표(Y3)의 차이에 의하여 구하여진다.
제2수광센서(35)와 제3수광센서(36) 사이의 거리를 L2, 제2빔분리기(33)의 수직평행도오차를 θP라고 하면, 피치오차(PE)는 다음과 같이 계산된다.
즉,
PE=(Y3-Y2-θP·Z)/L2……………………………………………………(4)
이 된다.
따라서, 본 발명에 의하여 피치오차(PE)를 측정할 때에는 제2빔분리기(33)의 평행도오차를 고려함으로써 정확한 피치오차(PE)를 구할 수 있다.
(5) 요오차(YE)의 측정
요오차(YE)는 기계이송축(49)에 의하여 이송테이블(50)을 이송시킬 때 Y축에 의한 회전오차를 의미한다.
요오차(YE)는 기계이송축(49)에 따른 제2수광센서(35)의 수평방향의 출력좌표 (X2)와 제3수광센서(36)의 수평방향의 출력좌표 (X3)의 차이에 의하여 구하여진다.
제2수광센서(35)와 제3수광센서(36) 사이의 거리를 L2, 제2빔분리기(33)의 수평평행도오차를 θY, 제1수광센서(34)와 제2수광센서(35) 사이의 거리를 L1, 기계이송축(49)의 롤오차를 RE라고 하면, 요오차(YE)는 다음과 같이 계산된다.
즉,
YE=(X2-X3+L1·RE-θE·Z)/L2…………………………………………(5)
이 된다.
따라서, 본 발명에 의하여 요오차(YE)를 측정할 때에는 제2빔분리기(33)의 평행도오차와 기계이송축(49)의 롤오차(RE)를 고려함으로써 정확한 요오차(YE)를 구할 수 있다.
한편, 첨부한 도면 제7도 내지 제11도는 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치에 의하여 측정된 각각의 오차의 측정결과를 나타내고 있다.
이상의 실시예에 있어서는 수광소자를 이용한 광센서시스템으로 축운동을 수행하는 기계를 측정하여 각각의 오차성분을 구하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 동일한 기계에 대하여 각각의 오차성분을 레이저간섭계, 전기레벨 등을 이용하여 측정할 수도 있다. 또한 광학장치의 2개의 빔분리기는 상용의 빔분리기 또는 이와 상당한 거울의 조합에 의하여도 5자유도의 운동오차를 측정할 수 있다.
이상에서 발명한 바에 알 수 있듯이 본 발명에 따른 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있게 된다.
첫째로, 종래에는 불가능 또는 부분적으로 수행되던 기계이송축의 5자유도 운동오차를 동시에 측정할 수 있게 되었다.
즉, 수평진직도오차, 수직진직도오차, 로오차, 피치오차, 요오차와 같은 이송축의 정밀도 성능에 필수적인 운동오차들을 1회의 세팅작업으로 동시에 측정할 수 있다.
둘째로, 사용하는 광학부품들, 예를들면 제1 및 제2빔분리기등의 오차성분들을 고려하여 보정함으로써 매우 정밀한 각도오차측정이 가능하게 된다.
셋째로, 본 발명에서는 컴퓨터와 연계하여 5자유도의 운동오차를 측정하고 평가함으로써 종래의 측정방법에 비하여 매우 신속하며, 또한 실시간에서 5자유도 운동을 정밀하게 측정할 수 있다.

Claims (2)

  1. 레이저와; 이 레이저로부터 방출되는 빛을 연속적으로 복수의 가닥으로 분리하는 적어도 2이상의 빔분리기들과; 이 빔분리기들로부터 방출되는 복수의 가닥의 빛이 입사되며, 단일의 고정된 이송방향을 갖는 테이블에 고정설치되는 적어도 3이상의 수과소자들과; 상기 수광소자들로부터 출력되는 신호들을 처리하기 위하여 상기 수광소자들에 연결되는 신호처리부와; 이 신호처리부의 아날로그 신호들을 디지털신호들로 변환시키기 위하여 상기 신호처리부에 연결되는 아날로그디지탈변환기와; 5자유도의 운동오차들을 계산하기 위하여 상기 아날로그디지탈변환기에 연결되는 컴퓨터와; 이 컴퓨터에 의하여 제어되어 작동되도록 상기 컴퓨터와 연결되는 모터드라이버 및 이 모터드라이버의 신호들에 의하여 구동하는 모터와; 상기 모터에 연결되어 상기 데이블을 이송시키는 이송축으로 이루어진 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 신호처리부는, 수광소자들의 출력신호인 출력전류를 전압으로 변환시키는 1차 증폭회로와, 1차 증폭회로의 출력전압을 커넥터를 개재하여 적절한 전압으로 증폭시키는 2차 증폭회로와, 2차 증폭회로에 의하여 증폭된 전압신호가 입력되는 멀티플렉서로 된 기계이송축의 5자유도 운동오차 측정장치.
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