KR20170112441A - Fabrication Method for Flexible Display Device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 캐리어 기판 상에 분리층을 형성한 후 그 위에 공정을 진행하여 컬러 필터 기판을 제조하고, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 접합한 후 캐리어 기판을 제거하는 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a flexible display device in which a color filter substrate is manufactured by forming a separation layer on a carrier substrate and then a process is performed on the separation layer, and the carrier substrate is removed after bonding with the thin film transistor array substrate.
Description
본 발명은 유연성 디스플레이 장치의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로 캐리어 기판 상에 공정을 진행하는 유연성 디스플레이 장치의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a flexible display device, and more particularly, to a method of manufacturing a flexible display device in which a process is performed on a carrier substrate.
유연성 디스플레이란 특성의 손실 없이 휘거나 구부리거나 말 수 있는 디스플레이를 의미하며, 유연성 LCD, 유연성 OLED 및 전자종이와 같은 형태로 기술개발이 이루어지고 있다.Flexible display means a display that can bend, bend or speak without loss of properties, and technology development is taking place in the form of flexible LCD, flexible OLED and electronic paper.
유연성 디스플레이를 실현하기 위하여 기존의 유리기판을 대체하는 유연기판으로서 다양한 플라스틱 기판이 개발되고 있으며, 유연성 디스플레이를 구성하는 여러 가지 부품의 기판이 유리기판에서 이러한 플라스틱 기판으로 대체되고 있다. 구체적인 예로서, 대한민국 등록특허 제10-1174148호에서 개시된 폴리이미드로 이루어진 필름 기판 및 상기 필름 기판 상에 형성된 컬러 필터부를 포함하는 컬러 필터 기판이나, 대한민국 공개특허 제10-2013-0047971호에서 개시된 플렉서블 층; 상기 플렉서블 층 상부면 전면에 도포된 버퍼 층; 상기 버퍼 층의 상부 면에 형성된 표시 소자; 그리고 상기 플렉서블 층의 배면에 부착되고, 상기 표시 소자를 지지하는 탄성과 유연성을 갖는 백 패널을 포함하는 플렉서블 유기발광다이오드 표시장치 등을 들 수 있다. In order to realize flexible display, various plastic substrates have been developed as flexible substrates replacing existing glass substrates, and substrates of various components constituting flexible displays have been replaced by glass substrates. As a specific example, a color filter substrate comprising a film substrate made of polyimide disclosed in Korean Patent No. 10-1174148 and a color filter portion formed on the film substrate, a flexible filter substrate disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2013-0047971 layer; A buffer layer applied over the entire upper surface of the flexible layer; A display element formed on an upper surface of the buffer layer; And a flexible organic light emitting diode display device which is attached to the back surface of the flexible layer and includes a back panel having elasticity and flexibility for supporting the display device.
그러나, 유연기판을 사용할 경우 휘어지는 기판 상에 미세한 소자를 정확히 배열 형성하는 것에 어려움이 있으며, 이러한 문제를 해결하기 위하여 대한민국 등록특허 제10-12670688호에서는 유리로 이루어진 캐리어 기판에 필름 기판을 접착하여 그 위에 소자를 형성하고 캐리어 기판을 제거하는 방식을 제안하고 있다. However, in the case of using a flexible substrate, it is difficult to precisely arrange fine elements on a bent substrate. To solve this problem, Korean Patent No. 10-12670688 discloses a method of bonding a film substrate to a carrier substrate made of glass, And the carrier substrate is removed.
그러나 이러한 필름 기판은 유리에 비하여 전이 온도(transition temperature)가 낮으며 온도 변화에 따른 팽창율이 높기 때문에 그 위에 적층되는 층들이 파괴되거나 변형될 수 있는 문제점이 있다. However, since such a film substrate has a lower transition temperature than that of glass and has a high expansion ratio according to a temperature change, there is a problem that the layers stacked thereon may be destroyed or deformed.
또한, 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 어레이 기판을 유연기판 상에 별도로 형성하고 이를 결합하여 유연성 디스플레이 장치를 제조하는 경우, 유연기판인 필름 기판을 전사방식으로 합착하여야 하므로 큰 정렬 오차가 발생하는 문제가 있다. Further, when a flexible display device is manufactured by separately forming a color filter substrate and a thin film transistor array substrate on a flexible substrate, a film substrate of a flexible substrate must be bonded by a transfer method, thereby causing a large alignment error .
본 발명은 이와 같은 종래 기술의 유연성 디스플레이 장치 제조의 문제를 해결하기 위한 것으로, 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 어레이 기판이 별도의 유연기판 상에 형성되어 있는 유연성 디스플레이 장치를 제조하고자 할 때 두 기판의 정렬 오차를 줄일 수 있는 유연성 디스플레이 장치의 제조방법을 제공하는 것을 그 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problem of the prior art flexible display device manufacturing method, and in order to manufacture a flexible display device in which a color filter substrate and a thin film transistor array substrate are formed on separate flexible substrates, And a manufacturing method of a flexible display device capable of reducing an error.
본 발명의 다른 과제는 종래 플라스틱 기판에서 구현이 어려운 고정세 패턴을 얻을 수 있고, 열적 불안정성이 해결되며, 다양한 재질의 기재 필름의 적용이 가능한 컬러 필터 기판을 포함하는 유연성 디스플레이 장치의 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a flexible display device including a color filter substrate capable of obtaining a fixed three-pattern pattern that is difficult to implement in a conventional plastic substrate, solving thermal instability, and applying a substrate film of various materials .
이와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 제1 캐리어 기판 상에 분리층 형성용 조성물을 도포하여 분리층을 형성하는 단계; 상기 분리층 상에 보호층 형성용 조성물을 도포하여 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 상에 블랙 매트릭스(black matrix, BM)층을 형성하고, 그 사이에 착색층을 형성하는 단계; 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판을 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT) 어레이 기판과 정렬하고 접착하는 단계; 및 상기 제1 캐리어 기판을 제거하는 단계를 포함하는 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다. In order to solve such problems, the present invention provides a method for manufacturing a semiconductor device, comprising: forming a separation layer by applying a composition for forming a separation layer on a first carrier substrate; Applying a composition for forming a protective layer on the separation layer to form a protective layer; Forming a black matrix (BM) layer on the protective layer and forming a colored layer therebetween; Aligning and bonding the first carrier substrate on which the separation layer, the protective layer, the BM layer, and the coloring layer are formed, with a thin film transistor (TFT) array substrate; And removing the first carrier substrate. The present invention also provides a method of manufacturing a flexible display device.
본 발명의 유연성 디스플레이 장치 제조 방법은 상기 분리층의 상기 제1 캐리어 기판이 제거된 면 상에 유연성 기재필름을 부착하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of manufacturing a flexible display device of the present invention may further include the step of attaching the flexible base film to the surface of the separation layer on which the first carrier substrate has been removed.
상기 TFT 어레이 기판은 백색 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)를 포함할 수 있다.The TFT array substrate may include a white organic light emitting diode (OLED).
상기 TFT 어레이 기판은 제2 캐리어 기판을 포함할 수 있으며, 이 때, 상기 정렬하고 접착하는 단계 이후에, 상기 제2 캐리어 기판을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 캐리어 기판은 동시에 제거될 수 있다.The TFT array substrate may include a second carrier substrate, wherein after the aligning and bonding step, removing the second carrier substrate may further comprise removing the second carrier substrate. The first and second carrier substrates may be simultaneously removed.
상기 보호층은 상기 분리층의 측면까지 감싸도록 형성하는 것이 바람직하며, 상기 보호층은 유기절연막 및 무기절연막 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The protective layer may be formed to cover the side surface of the isolation layer, and the protective layer may include at least one of an organic insulating layer and an inorganic insulating layer.
본 발명의 유연성 디스플레이 장치 제조 방법은 상기 BM층 및 착색층 상에 평탄화층 형성용 조성물을 도포하여 평탄화층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of manufacturing a flexible display device according to the present invention may further include forming a flattening layer by applying a composition for forming a flattening layer on the BM layer and the colored layer.
상기 정렬하고 접착하는 단계에서는 각각 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판과 상기 TFT 어레이 기판에 형성되는 키를 이용하여 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판과 상기 TFT 어레이 기판을 정렬하되, 5 ㎛ 이하의 정렬 오차로 정렬하는 것이 바람직하다.The alignment layer and the adhesion layer may be formed on the first carrier substrate on which the separation layer, the protective layer, the BM layer, and the coloring layer are formed, and the separation layer, the protective layer, the BM layer, It is preferable to align the first carrier substrate on which the layer is formed and the TFT array substrate with an alignment error of 5 mu m or less.
상기 정렬하고 접착하는 단계에서는 광접착 필름 또는 광접착 레진을 사용하여 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판과 상기 TFT 어레이 기판을 접착할 수 있다.In the aligning and bonding step, the first carrier substrate on which the separation layer, the protective layer, the BM layer, and the coloring layer are formed may be adhered to the TFT array substrate using an optical adhesive film or an optical adhesive resin.
이와 같은 본 발명에 따른 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법에 의하면, 플라스틱으로 이루어진 기재필름이 아닌 유리 기판 상에서 컬러필터의 제조 공정을 수행함으로써, 종래 플라스틱 기판의 열 변형에 따른 문제를 해소할 뿐만 아니라 플라스틱 기판에서 구현하지 못한 패턴의 고정세가 가능하다. According to the manufacturing method of the flexible display device of the present invention, the manufacturing process of the color filter is performed on the glass substrate instead of the base film made of plastic, thereby solving the problem caused by thermal deformation of the conventional plastic substrate, A fixed tax of a pattern that can not be implemented in the field is possible.
또한, 이와 같이 유리기판 상에서 형성된 컬러 필터 기판을 역시 유리 기판 상에서 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판과 정렬하고 결합함에 의하여, 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 어레이 기판의 정렬 오차를 현저히 줄일 수 있다.Also, by aligning and combining the color filter substrate formed on the glass substrate with the thin film transistor array substrate formed on the glass substrate, the alignment error between the color filter substrate and the thin film transistor array substrate can be remarkably reduced.
뿐만 아니라, 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 어레이 기판을 결합한 후 상온에서 캐리어 기판인 유리기판을 제거하고 별도로 기재필름을 접합하므로, 종래 플라스틱 기판의 열 변형에 따른 문제를 해소할 뿐 아니라, 기재 필름의 재질에 대한 제한 없이 다변화가 가능한 이점을 확보할 수 있다.In addition, since the glass substrate as the carrier substrate is removed at room temperature after joining the color filter substrate and the thin film transistor array substrate, and the base film is separately bonded, the problem of thermal deformation of the conventional plastic substrate is solved, It is possible to secure the advantage of being able to diversify without limitation.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치의 단면도이다.
도 2 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치의 제조방법에 따른 각 단계별 공정 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a flexible display device according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2 to 11 are cross-sectional views illustrating a method of fabricating a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명은 고정세 패턴의 제작이 가능하고, 플라스틱 기판의 재질의 한정이 없는 유연성 컬러필터 기판을 포함하는 정렬 오차가 최소화된 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법을 제시한다.The present invention provides a method of manufacturing a flexible display device capable of fabricating fixed three patterns and minimizing misalignment including a flexible color filter substrate without limitation of the material of a plastic substrate.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유연성 디스플레이 장치 및 그 제조 방법의 바람직한 실시예에 관하여 상세히 설명한다. 다만 본 명세서에 첨부된 도면들은 본 발명을 설명하기 위한 예시일 뿐, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니다. 또한, 설명 상의 편의를 위해 일부 구성요소들은 도면 상에서 과장되게 표현되거나, 축소 또는 생략되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of a flexible display device and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It is to be understood, however, that the drawings are exemplary only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Also, for ease of explanation, some of the elements may be exaggerated in the drawings, or may be omitted or omitted.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a flexible display device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치는, 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT) 및 유기발광다이오드(organic light emitting diode, OLED) 어레이가 형성되어 있는 TFT+OLED 기판(200)과 컬러 필터(color filter, CF) 기판(이하, CF 기판)(100) 및 이를 접착하는 접착층(300)으로 구성된다.Referring to FIG. 1, a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a TFT + OLED substrate (TFT) in which a thin film transistor (TFT) and an organic light emitting diode (OLED) 200), a color filter (CF) substrate (hereinafter referred to as a CF substrate) 100, and an
본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치에서 CF 기판(100)과 TFT+OLED 기판(200)은 각각 유연성 기재필름(110, 210) 상에 필요한 구성요소가 배치되어 있는 유연성 기판이며, 이에 따라 두 기판(100, 200)이 접합되어 이루어진 유연성 디스플레이 장치를 제공한다. 뿐만 아니라, 유연성 기재필름(110, 210) 상에 배치된 각 구성요소들 또한 필요에 따라 유연성 디스플레이 장치를 위한 유연 특성을 제공한다. In the flexible display device according to an embodiment of the present invention, the
구체적으로, CF 기판(100)은 기재필름(110), 분리층(120), 보호층(130), 블랙 매트릭스(black matrix, BM)층(140), 착색층(150) 및 평탄화층(160)이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다.Specifically, the
본 발명에서는 유연성 CF 기판의 제공을 위하여 CF 기판(100)을 구성하는 각 층 중 하나 이상, 바람직하게는 분리층(120) 또는 보호층(130), 보다 바람직하게는 분리층(120)이 유기층일 수 있다.In the present invention, in order to provide a flexible CF substrate, at least one of the layers constituting the
상기 유기층의 재질로는 고분자 재질이 사용될 수 있다. 상기 고분자 재질은 예를 들면 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리메타크릴레이트(polymethacrylate, 예를 들면 PMMA), 폴리이미드(polyimide), 폴리아미드(polyamide), 폴리비닐알코올(poly vinyl alcohol), 폴리아믹산(polyamic acid), 폴리올레핀(polyolefin, 예를 들면, PE, PP), 폴리스티렌(polystyrene), 폴리노보넨(polynorbornene), 페닐말레이미드 공중합체(phenylmaleimide copolymer), 폴리아조벤젠(polyazobenzene), 폴리페닐렌프탈아미드(polyphenylenephthalamide), 폴리에스테르(polyester, 예를 들면, PET, PBT), 폴리아릴레이트(polyarylate), 신나메이트(cinnamate)계 고분자, 쿠마린(coumarin)계 고분자, 프탈리미딘(phthalimidine)계 고분자, 칼콘(chalcone)계 고분자 및 방향족 아세틸렌계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함한다.As the material of the organic layer, a polymer material may be used. The polymer material may be, for example, polyacrylate, polymethacrylate (for example, PMMA), polyimide, polyamide, polyvinyl alcohol, polyamic acid polyamide resin, polyimide resin, polyimide resin, polymamic acid, polyolefin (e.g., PE, PP), polystyrene, polynorbornene, phenylmaleimide copolymer, polyazobenzene, A polymer such as polyphenylenephthalamide, polyester (e.g., PET, PBT), polyarylate, cinnamate polymer, coumarin polymer, phthalimidine polymer, A chalcone-based polymer, and an aromatic acetylene-based polymer.
상기 고분자 재질은 기재필름(110), 분리층(120), 보호층(130), BM층(140), 착색층(150), 및 평탄화층(160) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 층에 적용 가능하다. 일례로, 각 층 모두에 동일 또는 유사 고분자를 적용하거나, 분리층(120)에만 폴리아크릴레이트를 적용하고 그외 나머지 층들은 이 분야에서 공지된 재질이 사용될 수 있다.The polymeric material may be one selected from the group consisting of a
이하 본 발명에 따른 유연성 CF 기판(100)을 구성하는 각 층에 대해 상세히 설명한다.Each layer constituting the
기재필름(110)은 광학용 투명 필름으로 통상 사용되는 것을 제한 없이 사용할 수 있으나, 그 중에서 굴곡성, 투명성, 열 안정성, 수분 차폐성, 위상차 균일성, 등방성 등이 우수한 필름을 사용하는 것이 바람직하다. The
기재필름(110)의 재질은 전술한 바의 고분자 재질 또는 통상적으로 사용하는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌, 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드 등일 수 있다.The material of the
분리층(120)은 본 발명의 유연성 디스플레이 장치의 제조공정에서 유연성 CF 기판(100)과 TFT+OLED 기판(200)의 접합이 완료된 후에 캐리어 기판과의 박리를 위해 형성하는 층이다.The
따라서 분리층(120)은 캐리어 기판과는 물리적인 힘을 통해 분리될 수 있어야 하며 분리된 후에는 기재필름(110)과 적층된다. 따라서 분리층(120)의 유리 기판에 대한 박리력은 5 N/25 ㎜ 이하일 수 있으며, 바람직하게는 분리층(120)의 박리력은 1N/25mm 이하일 수 있으며, 0.1N/25mm 이하인 것이 더 바람직하다. 즉, 분리층(120)과 캐리어 기판의 분리시에 가해지는 물리적 힘이 1N/25mm, 특히 0.1N/25mm을 넘지 않도록 하는 물질로 분리층(120)이 형성되는 것이 바람직하다.Therefore, the
분리층의(120)의 박리력이 1N/25mm 초과인 경우에는 캐리어 기판과의 분리시 깔끔하게 분리되지 않아, 분리층(120)이 캐리어 기판상에 잔존할 가능성이 있으며, 또한 분리층(120), 보호층(130), BM층(140), 착색층(150), 및 평탄화층(160) 중 한 곳 이상에서 균열이 생길 가능성도 있기 때문이다.When the peeling force of the separating
특히, 분리층의(120) 박리력은 0.1N/25mm 이하인 것이 보다 바람직한데, 0.1N/25mm 이하인 경우에는 캐리어 기판으로부터 박리 후에 필름에 발생하는 컬(curl)을 제어할 수 있다는 점에서 더욱 바람직하다. 컬은 유연성 CF 기판의 측면에서는 문제를 주지 않지만, 접합 공정, 커팅 공정 등의 공정에서 공정 효율성을 떨어뜨릴 수 있기 때문에 적게 발생하도록 하는 것이 유리하다.Particularly, it is more preferable that the separating force of the separating
여기서, 분리층(120)의 두께는 10 내지 1000nm가 바람직하고, 50 내지 500nm인 것이 보다 바람직하다. 분리층(120)의 두께가 10nm 미만이면 분리층 도포시의 균일성이 떨어져 패턴 형성이 불균일하거나, 국부적으로 박리력이 상승하여 찢겨짐이 발생하거나, 캐리어 기판과 분리 후, 컬이 제어되지 않는 문제점이 있다. 그리고 두께가 1000nm를 초과하면 상기 박리력이 더 이상 낮아지지 않는 문제점이 있으며, 필름의 유연성이 저하되는 문제점이 있다.Here, the thickness of the
또한, 분리층(120)은 캐리어 기판과 박리 후의 표면에너지 차이가 30 내지 70mN/m인 것이 바람직하며, 분리층(120)과 캐리어 기판과의 표면에너지 차이는 10mN/m 이상인 것이 바람직하다. 분리층(120)은 유연성 디스플레이 장치의 제조 공정에서, 캐리어 기판과 박리될 때까지 캐리어 기판과 안정적으로 밀착되어야 하고, 캐리어 기판으로부터 박리시에는 유연성 컬러 필터의 찢김이나 컬이 발생하지 않도록 용이하게 박리되어야 한다. 분리층(120)의 표면에너지를 박리 후 30 내지 70mN/m이 되도록 하면 박리력 조절이 가능하고, 분리층(120)과 인접하는 보호층(130)과의 밀착력이 확보되어 공정 효율이 향상된다. 또한 분리층(120)과 캐리어 기판과의 표면에너지 차이가 10mN/m 이상일 경우 캐리어 기판으로부터 원활하게 박리되어 찢김이나 균열을 방지할 수 있다.The difference in surface energy between the
보호층(130)은 상기 분리층(120)을 보호하기 위한 층으로 분리층(120)의 양 측면을 감싸도록 캡슐화(encapsulated) 형태를 갖는다. 보호층은 상술한 유기층으로 형성될 수 있지만, 무기 절연막으로 형성될 수도 있다. The
착색층(150)은 컬러 디스플레이를 위한 색 구현을 위한 층으로 통상적으로 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue), 백색(White)이 패턴화되어 있으며, 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하는 역할을 하는 차광층인 BM층(140) 사이에 배치된다. 그러나, 착색층이 적색, 녹색, 청색, 백색의 패턴을 모두 포함하여야 하는 것은 아니며, 유연성 디스플레이 장치의 색상 표현 방식에 따라 이 중 임의의 일부 색상의 패턴만을 포함할 수도 있다. The
한편, 외광이 각 색상의 착색층에 도달하면 해당 색상의 파장을 갖는 광만 투과하고 나머지 두 색상의 파장을 갖는 광은 흡수되므로, 외광의 입사 광량을 효과적으로 줄일 수 있어, 착색층이 외광반사 방지용 편광판을 대신하는 기능을 수행할 수도 있다.On the other hand, when the external light reaches the coloring layer of each color, only the light having the wavelength of the corresponding color is transmitted and the light having the wavelengths of the remaining two colors is absorbed. Thus, the amount of incident light of external light can be effectively reduced, May be performed instead.
평탄화층(160)은 착색층(150)의 단차를 보정하고 평탄도를 향상시키기 위한 층으로서, 그 재질은 본 발명에서 특별히 한정하지 않으며, 통상적으로 사용하는 폴리아크릴레이트, 폴리이미드, 폴리에스테르 등일 수 있다.The
상기 유기층의 각각의 두께는 본 발명에서는 특별히 한정하지 않으나 유연성 CF 기판 및 적용되는 유연성 디스플레이의 박막화를 위해서는 얇을수록 유리하며 따라서 각 유기층의 두께는 수 마이크로미터(㎛) 이하인 것이 바람직하다.Although the thickness of each of the organic layers is not particularly limited in the present invention, it is preferable that the thickness of each organic layer is several micrometers (탆) or less for thinning of the flexible CF substrate and the flexible display to be applied.
바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 CF 기판(100)은Preferably, the
폴리이미드계 재질이며 10 내지 100 ㎛ 두께의 기재필름(110);A
폴리아크릴계 재질이며 0.01 내지 1.0 ㎛ 두께의 분리층(120);A
폴리사이클로올레핀계 재질이며 0.5 내지 5 ㎛ 두께의 보호층(130);A
0.5 내지 5 ㎛ 두께의 착색층(150); 및A
폴리아크릴계 재질이며 0.5 내지 5 ㎛ 두께의 평탄화층(160)을 포함할 수 있다. And a
한편, TFT+OLED 기판(200)은 기재필름(210), TFT층(220), OLED층(230) 및 봉지(encapsulation)층(240)이 순차적으로 적층된 구조를 가지며, 그 구조를 본 발명에서 특별히 한정하지 않는다. 또한, TFT+OLED 기판(200)은 유연성 디스플레이 기술 분야에서 공지된 임의의 방식으로 제조될 수 있다. The TFT +
본 발명의 유연성 디스플레이 장치에서 유연성 CF 기판(100)의 BM층(140) 및 착색층(150) 패턴과 TFT+OLED 기판(200)의 TFT층(220) 및 OLED층(230)은 통상의 필름 타입 컬러 필터를 사용하는 경우와 달리 5 ㎛ 이하의 정렬 오차로 정밀하게 정렬되어 있다. 이와 같은 기판의 정렬에 관해서는 이하에서 본 발명의 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법과 관련하여 더 자세히 설명한다.The
유연성 CF 기판(100)과 TFT+OLED 기판(200) 사이에는 두 기판을 접합하는 접착층(300)이 형성되어 있다. 접착층(300)은 광접착 필름(optically clear adhesive, OCA) 또는 광접착 레진(optically clear resin, OCR)으로 이루어진다.
An
도 2 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치의 제조방법에 따른 각 단계별 단면도이다.FIGS. 2 to 11 are cross-sectional views of the flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치의 제조방법은 캐리어 기판 상에 형성하여 고정세 패턴의 제작이 가능하고 플라스틱 기판의 재질의 한정이 없는 유연성 CF 기판을 TFT+OLED 기판과 정렬하여 접착한 후 캐리어 기판을 분리함으로써 정렬 오차를 최소화할 수 있다. A method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes aligning and bonding a flexible CF substrate that is formed on a carrier substrate and can form fixed three patterns and has no limitation on the material of the plastic substrate, The alignment error can be minimized by separating the post-carrier substrate.
먼저, 도 2에 나타난 바와 같이, 제1 캐리어 기판(170)을 준비한 후, 분리층 형성용 조성물을 도포하여 분리층(120)을 형성한다. First, as shown in FIG. 2, after the
제1 캐리어 기판(170)으로는 유리 기판을 사용하는 것이 바람직하지만, 이에 제한되지 않고 다른 재질을 사용할 수도 있다. 다만, 이후의 공정 온도를 견딜 수 있도록 고온에서도 변형이 되지 않는, 즉 평탄성을 유지할 수 있는 내열성을 가진 재료가 바람직하다.Although it is preferable to use a glass substrate as the
분리층 형성용 조성물을 도포하는 방법으로는 공지의 코팅 방법을 사용할 수 있다. 예를 들면, 스핀 코팅, 다이 코팅, 스프레이 코팅, 롤 코팅, 스크린 코팅, 슬릿 코팅, 딥 코팅, 그라비아 코팅 등을 들 수 있다. 또는 잉크젯 방식이 사용될 수도 있다. As a method of applying the composition for forming a separation layer, a known coating method may be used. For example, spin coating, die coating, spray coating, roll coating, screen coating, slit coating, dip coating, gravure coating and the like can be mentioned. Or an inkjet method may be used.
분리층 형성용 조성물은 코팅 후 경화시켜 분리층(120)을 형성한다. 이때 경화 공정은 열경화 또는 UV경화를 단독으로 사용하거나, 열경화 및 UV 경화를 조합하여 사용할 수 있다. 열경화를 사용할 경우 오븐, 핫 플레이트 등에 의해 가열할 수 있으며, 가열 온도 및 시간은 조성물에 따라 달라질 수 있으나 일례로 80 내지 250 ℃에서 10 내지 120 분의 조건으로 열처리할 수 있다.The composition for forming the separation layer is coated and cured to form the
다음으로, 도 3에 나타난 바와 같이, 형성된 분리층(120) 상에 보호층 형성용 조성물을 도포하여 분리층 측면까지 감싸도록 보호층(130)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 3, a
앞서 설명한 바와 같이 분리층(120)은 물리적인 힘에 의해 박리될 수 있으며 이는 박리력이 매우 약하기 때문에 보호층이 양 측면을 감싸는 형태로 형성되는 것이 바람직하다.As described above, the
보호층 형성용 조성물의 코팅 방법 및 경화 공정은 전술한 바와 같다.The coating method and the curing process of the composition for forming the protective layer are as described above.
다음으로, 도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 형성된 보호층(130) 상에 BM층(140)을 형성하고, 그 사이에 적색(R), 녹색(G), 청색(B), 백색(W)의 착색층(150)을 형성하는데, 먼저, 보호층(130) 상에 화소를 형성하는 부분을 구획하도록 BM층(140)을 형성한 뒤 색상 표현을 위한 각각의 착색층 형성용 조성물을 도포하고 소정의 패턴으로 노광, 현상 및 열경화하여 형성한다. 착색층을 구성하는 색상은 임의로 선택될 수 있으며, 각 색상별 형성의 순서 또한 임의로 선택할 수 있다. Next, as shown in FIGS. 4 and 5, a
BM층(140)과 착색층(150)의 코팅 방법 및 경화 공정은 전술한 바와 같다.The coating method and the curing process of the
한편, BM층(140)을 형성하는 과정에서 TFT+OLED 기판(200)과의 정렬을 위한 정렬 키(도시하지 않음)를 함께 형성한다. Meanwhile, in the process of forming the
또한, BM층(140)과 착색층(150)의 형성 순서는 필요에 따라 달라질 수 있다. 즉, 착색층(150)을 먼저 패터닝한 후 BM층(140)층을 형성하는 것도 가능하다.In addition, the order of forming the
다음으로, 도 6에 나타난 바와 같이, 형성된 BM층(140)과 착색층(150) 전체에 걸쳐 평탄화층 형성용 조성물을 도포하여 평탄화층(160)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 6, the planarization layer forming composition is applied over the formed
한편, 도 2 내지 도 6을 참조로 하여 설명한 것과 별개의 공정으로 도 7에 나타난 바와 같은 TFT+OLED 기판(200)이 제2 캐리어 기판(270) 상에 형성된다. TFT+OLED 기판(200)은 유연성 디스플레이 기술 분야에서 공지된 임의의 방식으로 제조될 수 있으며, 그 제조 공정을 본 발명에서 특별히 한정하지 않는다. On the other hand, a TFT +
제2 캐리어 기판(270) 또한 제1 캐리어 기판(170)과 마찬가지로 유리 기판을 사용하는 것이 바람직하지만, 이에 제한되지 않고 다른 재질을 사용할 수도 있다. 역시, 이후의 TFT 및 OLED 제조를 위한 공정 온도를 견딜 수 있도록 고온에서도 변형이 되지 않는, 즉 평탄성을 유지할 수 있는 내열성을 가진 재료가 바람직하다.The
또한, TFT+OLED 기판(200)에는 그 제조 공정 중 임의의 공정에서 CF 기판과의 정렬을 위한 정렬 키(도시하지 않음)가 형성된다. 예를 들면, 배선을 형성하는 금속층 형성 공정에서 정렬 키가 형성될 수 있다. In addition, an alignment key (not shown) for alignment with the CF substrate is formed on the TFT +
이제, 도 8에 나타난 바와 같이, 도 2 내지 도 6의 과정을 거쳐 분리층(120), 보호층(130), BM층(140), 착색층(150), 및 평탄화층(160)이 형성된 제1 캐리어 기판(170)과 제2 캐리어 기판(270) 상에 형성된 TFT+OLED 기판(200)이 정렬된다. 이 때, 정렬은 제1 캐리어 기판(170)의 BM층(140)에 형성된 정렬 키와 TFT+OLED 기판(200)의 금속층에 형성된 정렬 키를 이용하여 이루어지며, 정렬의 정밀도는 5μm 이하로 할 수 있다. 8, the
정렬 키는 기판 내의 패널이 컷팅되는 외곽부 또는 유리 기판의 가장자리인 군집된 패널의 최외곽부에 형성될 수 있다.The alignment key may be formed at the outermost portion of the panel in the substrate or at the outermost portion of the panel that is the edge of the glass substrate.
특히, 제1 캐리어 기판(170) 상에 컬러 필터를 제조하는 공정과 제2 캐리어 기판(270) 상에 TFT 및 OLED 어레이를 제조하는 공정은 통상 별개의 공정으로 수행되므로 미리 정해진 정렬 키를 소정 위치에 따로 형성하여 두 기판을 정렬한다. Particularly, since the process of manufacturing the color filter on the
종래기술에서와 같이 유연기판인 필름 기재 상에 형성된 CF 기판을 전사방식으로 TFT+OLED 기판과 합착할 경우 정렬 오차는 500 μm 정도이다. 그러나, 본 발명의 실시예에 의하면, 분리층(120), 보호층(130), BM층(140), 착색층(150), 및 평탄화층(160)이 형성된 제1 캐리어 기판(170)과 제2 캐리어 기판(270) 상에 형성된 TFT+OLED 기판(200)을 유리 기판인 제1 및 제2 캐리어 기판(170, 270)을 제거하지 않은 채로 정렬하므로 정렬의 정밀도를 현저히 개선할 수 있다. 구체적으로 정렬 오차를 1/100 수준인 5μm 정도로 줄일 수 있다.When the CF substrate formed on the film substrate, which is a flexible substrate, is adhered to the TFT + OLED substrate by a transfer method as in the prior art, the alignment error is about 500 μm. However, according to the embodiment of the present invention, the
다음으로, 도 9에 나타난 바와 같이, 정렬된 두 기판을 접합한다. 접합은 OCA 또는 OCR을 이용하여 이루어질 수 있다. 기판의 접착은 그밖에 유연성 디스플레이 기술 분야에서 공지된 임의의 방식으로 이루어질 수 있으며, 그 공정을 본 발명에서 특별히 한정하지 않는다. Next, as shown in Fig. 9, the aligned two substrates are bonded. The bonding can be done using OCA or OCR. Adhesion of the substrate may be accomplished in any other manner known in the field of flexible display technology, and the process is not particularly limited in the present invention.
이제, 도 10에 나타난 바와 같이, 제1 캐리어 기판(170) 및 제2 캐리어 기판(270)을 분리한다. 이 때, 제1 캐리어 기판(170) 및 제2 캐리어 기판(270)은 동시에 분리하거나 순차적으로 분리할 수 있으며, 순차적으로 분리할 경우에는 임의의 순서로 분리할 수 있다. Now, as shown in Fig. 10, the
특히, 제1 캐리어 기판(170)을 분리층(120)으로부터 분리하는 공정은 상온에서 진행되며, 예를 들면 유리 기판인 제1 캐리어 기판(170)을 분리층(120)으로부터 떼어내는 물리적인 박리 방식에 의해 수행될 수 있다.Particularly, the process of separating the
박리하는 방법은 리프트오프(Lift-off) 또는 필오프(Peel-off)의 방법이 있으며 이에 한정되는 것은 아니다.The method of peeling may be a lift-off method or a peel-off method, but is not limited thereto.
분리층(120)의 박리력, 두께, 박리 후 캐리어 기판과의 표면에너지 차이 등의 특성은 앞서 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 디스플레이 장치의 구조에 대한 상세한 설명에서 제시된 바와 같으며, 이를 통해 분리층(20)이 캐리어 기판에 잔존하지 않은 채로 말끔하게 분리되면서도 균열이 발생하지 않으며 또한 컬을 제어할 수 있다. The characteristics of the
다음으로, 도 11에 나타난 바와 같이, 분리층(120)에 기재필름(110)을 접착한다.Next, as shown in FIG. 11, the
기재필름(110)은 유연성을 갖는 것으로 전술한 소재 중 원하는 목적에 적합하게 선택 가능하다.The
도면 상에 도시되지는 않았지만, 기재필름(110)은 접착제층을 사용하여 분리층(120)에 접착될 수 있는데, 사용가능한 접착제는 광경화형 접착제이며 광경화 후 별도의 건조 공정이 필요하지 않으므로 제조공정이 단순하여 생산성이 향상된다. 본 발명에서 사용되는 광경화형 접착제로는 해당 분야에서 사용되는 광경화형 접착제를 특별한 제한 없이 사용할 수 있다. 예를 들면, 에폭시 화합물 또는 아크릴계 단량체를 포함하는 조성물을 사용할 수 있다.Although not shown in the drawing, the
또한, 상기 접착제층의 광경화에 있어서, 원자외선, 자외선, 근자외선, 적외선 등의 광선, X선, γ선 등의 전자파 외에, 전자선, 프로톤선, 중성 자선 등을 이용할 수 있으나, 경화 속도, 조사 장치의 입수의 용이성, 가격 등으로부터 자외선 조사에 의한 경화가 유리하다.In addition, in the photocuring of the adhesive layer, an electron beam, a proton beam, a neutron beam and the like can be used in addition to electromagnetic waves such as light rays such as far ultraviolet ray, ultraviolet ray, near ultraviolet ray and infrared ray, X- It is advantageous to cure by ultraviolet irradiation from the availability of the irradiation apparatus, the price, and the like.
자외선 조사를 행할 때의 광원으로서는, 고압 수은등, 무전극 램프, 초고압 수은등 카본 아크 램프, 제논 램프, 메탈할라이드 램프, 케미컬 램프, 블랙라이트 등이 이용될 수 있다.As a light source for ultraviolet irradiation, a high-pressure mercury lamp, an electrodeless lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a carbon arc lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, a chemical lamp or a black light may be used.
한편, 이상에서 설명한 본 발명의 실시예에서는 TFT 상에 OLED가 형성되어 있는 TFT+OLED 기판과 CF 기판을 결합하여 유연성 OLED 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, OLED 대신 TFT 어레이 기판과 CF 기판 사이에 액정층을 삽입하여 유연성 액정표시장치를 제조하고자 하는 경우에도 이 분야의 기술자에게 자명한 범위의 변경을 가하여 본 발명의 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법이 사용될 수 있다. Meanwhile, in the embodiment of the present invention described above, a method of fabricating a flexible OLED display device by combining a TFT + OLED substrate and a CF substrate in which an OLED is formed on a TFT has been described, but the present invention is not limited thereto. For example, when a flexible liquid crystal display device is manufactured by inserting a liquid crystal layer between a TFT array substrate and a CF substrate in place of the OLED, a range obvious to those skilled in the art is changed to manufacture a flexible display device Can be used.
이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변형된 형태로 본 발명이 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be appreciated that the invention may be embodied in various forms without departing from the essential characteristics thereof, as set forth in the foregoing description.
그러므로 명시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.It is therefore to be understood that the specified embodiments are to be considered in an illustrative rather than a restrictive sense and that the scope of the invention is indicated by the appended claims rather than by the foregoing description and that all such differences falling within the scope of equivalents thereof are intended to be embraced therein It should be interpreted.
100: 컬러 필터 기판
110: 기재필름
120: 분리층
130: 보호층
140: 블랙 매트릭스층
150: 착색층
160: 평탄화층
170: 제1 캐리어 기판
200: TFT+OLED 기판
210: 기재필름
220: TFT층
230: OLED층
240: 봉지층
270: 제2 캐리어 기판
300: 접착층100: Color filter substrate 110: Base film
120: isolation layer 130: protective layer
140: black matrix layer 150: colored layer
160: planarization layer 170: first carrier substrate
200: TFT + OLED substrate 210: substrate film
220: TFT layer 230: OLED layer
240: sealing layer 270: second carrier substrate
300: adhesive layer
Claims (10)
상기 분리층 상에 보호층 형성용 조성물을 도포하여 보호층을 형성하는 단계;
상기 보호층 상에 블랙 매트릭스(black matrix, BM)층을 형성하고, 그 사이에 착색층을 형성하는 단계;
상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판을 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT) 어레이 기판과 정렬하고 접착하는 단계; 및
상기 제1 캐리어 기판을 제거하는 단계;
를 포함하는 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법.Applying a composition for forming an isolation layer on the first carrier substrate to form a separation layer;
Applying a composition for forming a protective layer on the separation layer to form a protective layer;
Forming a black matrix (BM) layer on the protective layer and forming a colored layer therebetween;
Aligning and bonding the first carrier substrate on which the separation layer, the protective layer, the BM layer, and the coloring layer are formed, with a thin film transistor (TFT) array substrate; And
Removing the first carrier substrate;
Wherein the flexible display device comprises a flexible display device.
상기 분리층의 상기 제1 캐리어 기판이 제거된 면 상에 유연성 기재필름을 부착하는 단계를 더 포함하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
Further comprising the step of attaching a flexible substrate film on a surface of the separation layer on which the first carrier substrate has been removed,
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 TFT 어레이 기판은 백색 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)를 포함하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
The TFT array substrate includes a white organic light emitting diode (OLED)
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 TFT 어레이 기판은 제2 캐리어 기판을 포함하며,
상기 정렬하고 접착하는 단계 이후에,
상기 제2 캐리어 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
Wherein the TFT array substrate includes a second carrier substrate,
After the aligning and bonding step,
And removing the second carrier substrate.
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 제1 및 제2 캐리어 기판은 동시에 제거되는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. 5. The method of claim 4,
Wherein the first and second carrier substrates are simultaneously removed,
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 보호층은 상기 분리층의 측면까지 감싸도록 형성하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
Wherein the protective layer is formed to surround the side surface of the isolation layer,
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 보호층은 유기절연막 및 무기절연막 중 적어도 하나를 포함하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
Wherein the protective layer comprises at least one of an organic insulating film and an inorganic insulating film,
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 BM층 및 착색층 상에 평탄화층 형성용 조성물을 도포하여 평탄화층을 형성하는 단계;
를 더 포함하는 유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
Applying a composition for forming a planarization layer on the BM layer and the colored layer to form a planarization layer;
Further comprising the steps of:
상기 정렬하고 접착하는 단계에서는 각각 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판과 상기 TFT 어레이 기판에 형성되는 키를 이용하여 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판과 상기 TFT 어레이 기판을 정렬하되, 5 ㎛ 이하의 정렬 오차로 정렬하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
The alignment layer and the adhesion layer may be formed on the first carrier substrate on which the separation layer, the protective layer, the BM layer, and the coloring layer are formed, and the separation layer, the protective layer, the BM layer, Aligning the first carrier substrate on which the layer is formed and the TFT array substrate,
A method of manufacturing a flexible display device.
상기 정렬하고 접착하는 단계에서는 광접착 필름(optically clear adhesive, OCA) 또는 광접착 레진(optically clear resin, OCR)을 사용하여 상기 분리층, 보호층, BM층 및 착색층이 형성된 상기 제1 캐리어 기판과 상기 TFT 어레이 기판을 접착하는,
유연성 디스플레이 장치의 제조 방법. The method according to claim 1,
In the aligning and adhering step, the first carrier substrate, which is formed with the separation layer, the protective layer, the BM layer, and the coloring layer is formed using an optically clear adhesive (OCA) or an optically clear resin (OCR) And the TFT array substrate,
A method of manufacturing a flexible display device.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
AMND | Amendment | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |