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KR20090064306A - Screen printer - Google Patents

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Publication number
KR20090064306A
KR20090064306A KR1020080123909A KR20080123909A KR20090064306A KR 20090064306 A KR20090064306 A KR 20090064306A KR 1020080123909 A KR1020080123909 A KR 1020080123909A KR 20080123909 A KR20080123909 A KR 20080123909A KR 20090064306 A KR20090064306 A KR 20090064306A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
substrate
holding member
printing
squeegee
Prior art date
Application number
KR1020080123909A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
마사후미 와다
노리아키 무카이
마코토 혼마
신이치로 가와베
아키오 이가라시
Original Assignee
가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지 filed Critical 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
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Abstract

A screen printing machine is provided to improve adhesiveness of a substrate and a mask in printing, and to print a pattern precisely without positional deviation of the pattern of a fine pitch due to deformation of the mask. A method for operating a screen printing machine comprises the followings steps of: contacting a mask(20) with a surface of a substrate absorbed on a printing table(10); pushing solder paste or flux with a squeegee in an opening installed at a mask surface; performing a transcription process; installing a holding member of the mask surface; moving the squeeze in a state maintaining the mask; and supplying the solder paste or the flux into an mask opening.

Description

스크린 인쇄기{SCREEN PRINTER}Screen Printing Machine {SCREEN PRINTER}

본 발명은 스크린 인쇄장치에 관한 것으로, 특히 파인 피치의 개구부의 패턴형성에 최적인 스크린 인쇄장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing apparatus, and more particularly, to a screen printing apparatus that is optimal for pattern formation of openings of fine pitch.

종래의 스크린 인쇄장치에서는 특허문헌 1에 기재된 바와 같이 인쇄시에, 스퀴지로 땜납 페이스트를 인쇄시에 판 분리가 좋은 방식의 인쇄기가 개발되어 있다.In the conventional screen printing apparatus, as described in Patent Literature 1, a printing machine having a good plate separation method has been developed at the time of printing and at the time of printing the solder paste with a squeegee.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

일본국 특개2007-21882호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-21882

상기 종래기술에서는, 스크린과 기판 사이에 어느 정도의 간극을 설치할 필요가 있고, 스퀴지로 마스크를 기판에 가압함으로써, 땜납 페이스트를 기판에 인쇄하는 구조로 되어 있다. 그러나 최근, 인쇄하는 인쇄 패턴이 미세화하고, 또한 대형 기판을 인쇄하는 요구가 커지고 있다. 미세 패턴의 인쇄를 행하는 경우, 종래 기술의 문제점으로서, 스퀴지로 마스크를 기판에 가압하여 마스크면 상을 이동하는 경우의 스퀴지와 마스크 사이의 마찰저항에 의한 마스크의 신장에 의하여, 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에 인쇄 대상물인 기판과 마스크의 밀착성을 향상하여, 위치 어긋남이 없는 상태에서 인쇄할 필요가 있다. 따라서 종래와 달리, 기판과 마스크의 밀착성을 좋게 함과 동시에, 판 분리도 기판에 여분의 페이스트가 부착하지 않도록 할 필요가 있다. 또, 장치의 소형화 등을 위하여 기판을 유지하는 인쇄 테이블이 기판을 유지할 수 있는 크기에 제한된다. 또한 통상, 인쇄에 사용하는 마스크의 크기는, 기판 면적에 대하여 큰 마스크를 사용하도록 하고 있기 때문에, 기판에 대하여, 마스크가 밀려 나와 그 부분이 지지가 없는 상태에서 유지되기 때문에, 마스크 자체가 변형되어, 그것이 인쇄에 악영향을 미치는 경우도 있다.In the above prior art, it is necessary to provide a certain gap between the screen and the substrate, and the solder paste is printed on the substrate by pressing the mask onto the substrate with a squeegee. However, in recent years, the printing pattern to be printed is miniaturized and the demand for printing a large substrate is increasing. In the case of printing a fine pattern, as a problem of the prior art, a position shift occurs due to the elongation of the mask due to the frictional resistance between the squeegee and the mask when the mask is pressed onto the substrate with a squeegee and moved on the mask surface. There is a case. For this reason, it is necessary to improve the adhesiveness of the board | substrate which is a printing object, and a mask, and to print in the state without position shift. Therefore, unlike the related art, it is necessary to improve the adhesiveness between the substrate and the mask and to prevent the extra paste from adhering to the substrate even when the plate is separated. Moreover, the printing table which holds a board | substrate is restrict | limited to the magnitude | size which can hold | maintain a board | substrate for size reduction of an apparatus. In general, the size of the mask used for printing is to use a large mask for the substrate area, so that the mask itself is deformed because the mask is pushed out of the substrate and the portion thereof is maintained without support. In some cases, it may adversely affect printing.

그래서 본 발명의 목적은, 인쇄시의 기판과 마스크의 밀착성을 향상하고, 또한 간단하게 판 분리를 행할 수 있는 인쇄장치로서, 파인피치로 또한 대형 기판에 인쇄를 행할 수 있는 스크린 인쇄장치를 제공하는 것에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus which can improve the adhesion between the substrate and the mask during printing, and can easily perform plate separation, and can print on a large substrate with a fine pitch. Is in.

땜납 페이스트 또는 플럭스를 밀어 넣고, 기판면에 전사하는 스크린 인쇄기에서, 인쇄 테이블에 유지된 기판 주변부의 마스크면을 기판측에서 유지하는 마스크면 유지부재를 설치하고, 마스크를 기판면과 마스크면 유지부재로 유지한 상태에서 마스크면 상에서, 스퀴지를 이동시켜 마스크 개구부에 땜납 페이스트 또는 플럭스를 공급하는 구성으로 한 것을 특징으로 한다.In the screen printing machine which pushes solder paste or flux and transfers to a board | substrate surface, the mask surface holding member which maintains the mask surface of the board | substrate periphery held by the printing table at the board | substrate side is provided, and a mask is provided with a board surface and a mask surface holding member The squeegee is moved on the mask surface in the state of holding, so that solder paste or flux is supplied to the mask opening.

또, 마스크면 유지부재에 흡착기구를 설치하는 구성으로 함으로써, 기판면 주위의 마스크를 흡착 유지함으로써 확실하게 마스크를 유지할 수 있다.In addition, by providing the adsorption mechanism on the mask surface holding member, the mask can be reliably held by attracting and holding the mask around the substrate surface.

마스크의 변형을 방지할 수 있기 때문에 미세 피치의 패턴이라도 위치 어긋남을 일으키지 않고, 확실하게 인쇄하는 것이 가능해진다. 또, 인쇄시 마스크면은 항상 기판 및 마스크면 지지부재에 접촉하고 있기 때문에, 마스크 이면으로의 땜납 페이스트 또는 플럭스가 표류하지 않고, 안정된 인쇄형상을 실현할 수 있다. 이 때문에, 통상은 복수회 인쇄할 때마다 마스크 이면의 청소가 필요하였으나, 그 청소 회수를 저감할 수 있어, 인쇄의 생산성을 향상할 수 있다.Since the deformation of the mask can be prevented, it is possible to reliably print even a fine pitch pattern without causing misalignment. In addition, since the mask surface is always in contact with the substrate and the mask surface support member during printing, the solder paste or flux to the mask back surface does not drift, and a stable printing shape can be realized. For this reason, although the back surface of the mask was normally needed every time a plurality of printings have been performed, the number of times of cleaning can be reduced, and the productivity of printing can be improved.

또한, 확실하게 마스크면을 유지할 수 있기 때문에, 상기한 실시예에서도 설명한 바와 같이 땜납 페이스트나 플럭스의 마스크 이면으로의 표류를 방지할 수 있다. 또 기판 주위의 마스크를 확실하게 고정함으로써, 기판 주위의 경계부에서의 마스크와 기판과의 밀착성이 향상한다. 이 결과, 인쇄 개시부위 및 종료부위와 기판 중앙부의 땜납 페이스트의 전사형상 및 전사량의 균일화가 도모된다.In addition, since the mask surface can be reliably held, drift of the solder paste or the flux to the back surface of the mask can be prevented as described in the above embodiment. In addition, by firmly fixing the mask around the substrate, the adhesion between the mask and the substrate at the boundary portion around the substrate is improved. As a result, the transfer shape and transfer amount of the solder paste at the print start and end portions and the center portion of the substrate can be made uniform.

도 1에 스크린 인쇄장치의 전체 구성의 개략을 나타낸다.The outline of the whole structure of a screen printing apparatus is shown in FIG.

본체 프레임에는 도시 생략한 판 프레임 받이가 설치되어 있고, 판 프레임 받이에는 인쇄 패턴을 개구부로서 가지는 스크린(21)을 부착한 마스크(20)가 세트되도록 구성되어 있다. 마스크(20)의 윗쪽에는, 스퀴지 헤드(2)가 배치되고, 스퀴지 헤드(2)에는 스퀴지(3)가 장착되어 있다. 스퀴지 헤드(2)는 스퀴지 이동기구(6)에 의하여 수평방향으로 이동이 가능하고, 스퀴지(3)는 스퀴지 승강기구(4)에 의하여 상하방향으로 이동할 수 있다. 마스크(20)의 아래쪽에는 마스크에 대향하도록 인쇄 대상물인 기판(21)을 탑재하여 유지하는 인쇄 테이블(10)이 설치되어 있다. 이 인쇄 테이블(10)은, 기판(21)을 수평방향으로 이동하여 마스크(20)와의 위치 맞춤을 행하는 XYθ테이블(11)과, 기판(21)을 수취 컨베이어(26)로부터 수취하고, 또한 기판(21)을 마스크(20)면에 근접시키거나 또는 접촉시키기 위한 테이블 승강기구(12)를 구비하고 있다. 인쇄 테이블(10)의 상면에는 기판 수취 컨베이어(26)가 설치되어 있고, 기판 반입 컨베이어(25)에 의하여 반입된 기판(21)을 인쇄 테이블(10) 상에 수취하고, 인쇄가 종료되면 기판 반출 컨베이어(27)에 기판(21)을 배출한다.The plate frame holder which is not shown in figure is provided in the main body frame, and the mask frame which attached the screen 21 which has a printing pattern as an opening part is comprised in the plate frame holder. A squeegee head 2 is disposed above the mask 20, and a squeegee 3 is attached to the squeegee head 2. The squeegee head 2 is movable in the horizontal direction by the squeegee moving mechanism 6, and the squeegee 3 can be moved in the vertical direction by the squeegee lifting mechanism 4. Below the mask 20, the printing table 10 which mounts and hold | maintains the board | substrate 21 which is a printing object so as to face a mask is provided. This printing table 10 receives the XYθ table 11 which moves the board | substrate 21 in a horizontal direction, and performs alignment with the mask 20, and receives the board | substrate 21 from the receiving conveyor 26, and also the board | substrate. A table elevating mechanism 12 is provided for bringing (21) close to or in contact with the mask 20 surface. The substrate receiving conveyor 26 is provided in the upper surface of the printing table 10, the board | substrate 21 carried in by the board | substrate loading conveyor 25 is received on the printing table 10, and a board is carried out when printing is complete | finished. The substrate 21 is discharged to the conveyor 27.

전자동 스크린 인쇄장치에서는 마스크(20)와 기판(21)의 위치 맞춤을 자동적으로 행하는 기능을 구비하고 있다. 즉, CCD 카메라(15)에 의하여, 마스크(20)와 기판(21)의 각각에 설치되어 있는 위치 맞춤용 마크를 촬상하고, 화상처리하여 위치 어긋남량을 구하며, 그 어긋남량을 보정하도록 XYθ테이블제어부(35)로부터의 지령에 의거하여 XYθ테이블(11)을 구동하여 위치 맞춤을 행하는 것이다.In the fully automatic screen printing apparatus, the mask 20 and the substrate 21 are automatically aligned. That is, the CCD camera 15 picks up the alignment mark provided on each of the mask 20 and the board | substrate 21, image-processes, calculates the position shift amount, and corrects the shift amount. The positioning is performed by driving the XYθ table 11 based on the command from the control unit 35.

또한, 각부 구동용 인쇄제어부(36)나 CCD 카메라(15)로부터의 화상신호를 처리하는 화상 입력부(37) 등을 구비한 인쇄기제어부(30)는, 인쇄기 본체 프레임의 내부에 설치되어 있고, 제어용 데이터의 재입력이나, 인쇄조건의 변경 등을 행하기 위한 데이터 입력부(50)나, 인쇄상황 등이나 도입한 인식 마크를 모니터하기 위한 표시부(40)가 인쇄기의 바깥쪽에 배치되어 있다.In addition, the printer control unit 30 including the print control unit 36 for driving each unit and the image input unit 37 for processing the image signal from the CCD camera 15 is provided inside the main body frame of the printer. A data input unit 50 for re-input of data, a change in printing conditions, and the like, and a display unit 40 for monitoring the printing status or the like and introduced recognition marks are disposed outside the printing press.

땜납 페이스트 또는 플럭스가 인쇄되는 기판(21)은, 기판 반입 컨베이어(25)에 의하여 기판 수취 컨베이어(26)에 공급되어, 인쇄 테이블(10) 상의 기설정된 위치에 고정된다. 기판(21)을 인쇄 테이블(10)에 고정 후, 미리 등록 설정된 기판 마크위치에 CCD 카메라(15)를 이동한다. 계속해서 CCD 카메라(15)가 기판(21) 및 마스크(20)에 설치된 위치 인식용 마크(도시 생략)를 촬상하여, 인쇄기 제어부(30)에 전송한다. 제어부 내의 화상 입력부(37)에서는, 화상 데이터로부터 마스크(20)와 기판(21)의 위치 어긋남량을 구한다. 그 결과에 의거하여, 인쇄기 제어부(30)는 XYθ테이블제어부(35)로부터 구동신호를 XYθ테이블(11)에 보내고, 그 신호에 의거하여 XYθ테이블(11)을 동작시켜 마스크(20)에 대한 기판(21)의 위치를 수정, 위치 맞춤한다. 위치 맞춤 동작 완료 후, CCD 카메라(15)가 인쇄 테이블(10)과 간섭하지 않는 위치까지 기설정된 양을 퇴피 동작한다. 카메라 퇴피 완료 후, 인쇄 테이블(10)이 상승하여, 기판(21)과 마스크(20)를 접촉시킨다. 그 후, 스퀴지 승강 실린더(4)에 의하여 스퀴지(3)가 마스크(20)면 상에 접촉할 때까지 하강하고, 스퀴지 헤드(2)의 이동에 의하여 마스크 상에 공급되어 있던 땜납 페이스트 또는 플럭스가 마스크(20)의 개구부에 충전되어, 기판에 전사된다. 스퀴지(3)는 수평방향으로 일정거리 스트로크한 후에 상승한다. 그리고, 인쇄 테이블(10)이 하강하여, 마스크(20)와 기판(21)이 분리되고, 마스크(20)의 개구부에 충전된 땜납 페이스트 또는 플럭스가 기판(21)에 전사된다.The board | substrate 21 to which solder paste or a flux is printed is supplied to the board | substrate receiving conveyor 26 by the board | substrate loading conveyor 25, and is fixed to the predetermined position on the printing table 10. FIG. After fixing the board | substrate 21 to the printing table 10, the CCD camera 15 is moved to the board | substrate mark position previously registered. Subsequently, the CCD camera 15 picks up the position recognition mark (not shown) provided in the board | substrate 21 and the mask 20, and transmits it to the printer control part 30. FIG. In the image input unit 37 in the control unit, the positional shift amount between the mask 20 and the substrate 21 is obtained from the image data. Based on the result, the printer control unit 30 sends a drive signal from the XYθ table control unit 35 to the XYθ table 11 and operates the XYθ table 11 based on the signal to operate the substrate on the mask 20. Correct the position of (21) and align it. After completion of the alignment operation, the CCD camera 15 retracts the predetermined amount to a position where it does not interfere with the print table 10. After completion of camera retraction, the print table 10 is raised to bring the substrate 21 and the mask 20 into contact with each other. Thereafter, the squeegee lifting cylinder 4 lowers the squeegee 3 until it comes into contact with the mask 20 surface, and the solder paste or flux supplied on the mask by the movement of the squeegee head 2 is removed. The opening of the mask 20 is filled and transferred to the substrate. The squeegee 3 ascends after a predetermined distance stroke in the horizontal direction. Then, the printing table 10 is lowered, the mask 20 and the substrate 21 are separated, and the solder paste or flux filled in the opening of the mask 20 is transferred to the substrate 21.

그리고, 땜납 페이스트 또는 플럭스가 인쇄된 기판(21)은 기판 반출 컨베이어(27)를 거쳐 다음 공정으로 보내진다. Subsequently, the substrate 21 on which the solder paste or the flux is printed is sent to the next step via the substrate transport conveyor 27.

또한, 기판(21)과 마스크(20)에는 상대적으로 동일한 부분에 인식 위치 맞춤용 마크가 2개 이상 설치되어 있고, 이 양쪽의 마크 각각을, 상하방향 2시야를 가지는 특수한 CCD 카메라(15)에 의하여, 마스크(20)의 마크는 밑에서부터 인식하고, 기판(21)의 마크는 위에서부터 인식하여, 기설정된 부분의 마크 전체의 위치좌표를 읽어 내어, 마스크(20)에 대한 기판(21)의 어긋남량을 위치 연산·보정하고, 기판(21)을 마스크(20)에 대하여 위치 맞춤한다. In addition, two or more recognition mark alignment marks are provided on the substrate 21 and the mask 20 at relatively the same portions, and each of the marks is placed on a special CCD camera 15 having two views in the vertical direction. By this, the mark of the mask 20 is recognized from the bottom, the mark of the substrate 21 is recognized from the top, the position coordinates of the entire mark of the predetermined part are read out, and the mark of the substrate 21 with respect to the mask 20 is read. The displacement amount is calculated and corrected, and the substrate 21 is positioned with respect to the mask 20.

도 1(b)에 나타낸 인쇄기 제어부(30)에서, CCD 카메라(15)에 의하여 촬상한 임의 패턴을 화상 입력부(37)로부터 도입하고, 임의 패턴의 주위에 유사 패턴이 존재하고 있어도, 사전(38)에 미리 준비된 모델과, CCD 카메라(15)에 의하여 촬상한 임의 패턴과의 상관값을 상관값 계산부(31)에서 연산한다. 상관값 계산부(31)에 의하여 구해진 상관값에 의거하여, 형상 추정부(32)에서 모델의 형상 추정을 행한다. 추정된 형상을 복수개의 가기준 패턴으로서 기억 설정한다. 그리고, 패턴위치 좌표 연산부(33)에서 목표 기준 패턴간 거리와 비교하고, 또한 치수 계산부(34)에서 형상 치수를 구하여, 차가 가장 적은 조합의 마크를 기준 패턴으로서 사 전(38)에 등록하는 수단을 구비하고 있다.In the printer control unit 30 shown in FIG. 1B, the arbitrary pattern picked up by the CCD camera 15 is introduced from the image input unit 37, even if a similar pattern exists around the arbitrary pattern. The correlation value between the model prepared in advance and the arbitrary pattern picked up by the CCD camera 15 is calculated by the correlation value calculation unit 31. On the basis of the correlation value obtained by the correlation value calculation unit 31, the shape estimation unit 32 estimates the shape of the model. The estimated shape is stored and stored as a plurality of temporary reference patterns. And the pattern position coordinate calculating part 33 compares with the distance between target reference patterns, and obtains the shape dimension in the dimension calculating part 34, and registers the mark of the combination with the smallest difference as a reference pattern in the dictionary 38 as a reference pattern. Means are provided.

또한 인쇄기제어부(30)에는 스퀴지 헤드(2) 등의 동작을 제어하는 인쇄제어부(36)를 구비하고 있다. In addition, the printer controller 30 includes a print controller 36 for controlling the operation of the squeegee head 2 and the like.

다음에 도 2를 이용하여 마스크 지지의 일 실시예를 설명한다. 도 2에 인쇄 테이블부의 구조의 일례를 나타낸다. 도면에 나타내는 바와 같이 인쇄 테이블(10)에 탑재한 인쇄 대상물인 기판(21)의 주변부에 인쇄 테이블(10)과는 별도로 마스크(20)면을 지지하기 위한 마스크면 지지부재가 설치되어 있다. 이 마스크면 지지부재는, 인쇄 테이블(10)을 지지하는 대좌(臺座)(19)에 한쪽 측의 마스크면 지지부재(61)가 고정되고, 다른쪽 측의 마스크면 지지부재(60)는, 기판방향[화살표(41)방향]으로 이동할 수 있는 구성으로 되어 있다. 즉 고정측의 마스크면 지지부재(61) 다리부에 설치한 구동용 모터(16)에 의하여 마찬가지로 가동측 마스크면 지지부재(60)의 다리부를 이동하도록 볼나사(17)가 설치되어 있다. 또, 가동측 마스크면지지부재(60)의 다리부는 대좌부(46)에 설치한 리니어 레일(45) 상을 슬라이딩할 수 있도록 도시 생략한 볼베어링이 설치되어 있다. 고정측 마스크면 지지부재(61)에 모터(16)를 구동하여 볼나사(17)를 회전시킴으로써, 가동측 마스크면 지지부재(60)를 기판(21)의 다른쪽 측의 측면에 가압하는 구성으로 되어 있다. 또한, 고정측 마스크면 지지부재(61)의 끝부는 기판(21)의 한쪽 측의 측면에 접촉하여, 위치 결정할 수 있는 구성로 되어 있다. 이 마스크면 지지부재의 마스크면에 접촉하는 부분은 기설정된 면적을 가지고 있다. 또, 인쇄 테이블(10)은 부압[화살표(42)]을 공급함으로써 기판(21)을 테이블면에 고정하는 구성으로 되어 있다.Next, an embodiment of the mask support will be described with reference to FIG. 2. An example of the structure of a printing table part is shown in FIG. As shown in the figure, a mask surface support member for supporting the mask 20 surface separately from the print table 10 is provided at the periphery of the substrate 21, which is a printing object mounted on the print table 10. As for this mask surface support member, the mask surface support member 61 of one side is fixed to the base 19 which supports the printing table 10, and the mask surface support member 60 of the other side is And a structure capable of moving in the substrate direction (arrow 41 direction). That is, the ball screw 17 is provided so that the leg part of the movable side mask surface support member 60 may be similarly moved by the drive motor 16 provided in the leg part of the mask surface support member 61 on the fixed side. Moreover, the ball bearing which is not shown in figure is provided so that the leg part of the movable side mask surface support member 60 can slide on the linear rail 45 provided in the base part 46. As shown in FIG. By rotating the ball screw 17 by driving the motor 16 to the fixed side mask surface support member 61, the movable side mask surface support member 60 is pressed against the side of the other side of the substrate 21. It is. Moreover, the edge part of the fixed side mask surface support member 61 is in contact with the side surface of one side of the board | substrate 21, and it is set as the structure which can be positioned. The part which contacts the mask surface of this mask surface support member has a predetermined area. In addition, the printing table 10 is configured to fix the substrate 21 to the table surface by supplying a negative pressure (arrow 42).

이와 같이, 마스크면이 기판면에 접촉할 뿐만 아니라, 기판을 벗어난 주위를 마스크면 지지부재(60, 61)의 상면에 접촉하여 지지되도록 함으로써, 스퀴지(3)가 이동시에는 마스크(20)는 기판(21)면 뿐만 아니라 마스크면 지지부재(60, 61)로도 지지되고, 마스크(20)의 변형을 방지할 수 있다. 이 때문에 미세 피치의 패턴이라도 위치 어긋남을 일으키지 않고 확실하게 인쇄하는 것이 가능해진다. 또, 인쇄시 마스크면은 항상 기판 및 마스크면 지지부재에 접촉하고 있기 때문에, 마스크 이면으로의 땜납 페이스트 또는 플럭스가 표류하지 않고, 안정된 판 분리를 실현할 수 있다. 이 때문에, 통상은 복수회 인쇄할 때마다 마스크 이면의 청소가 필요하였으나, 그 청소 회수를 저감할 수 있고, 인쇄의 생산성을 향상할 수 있다.In this manner, the mask surface is not only in contact with the substrate surface, but is also supported by the upper surface of the mask surface support members 60 and 61 so as to be supported around the mask surface, so that the mask 20 is the substrate when the squeegee 3 is moved. Not only the (21) surface but also the mask surface supporting members 60 and 61 are supported, and the deformation of the mask 20 can be prevented. For this reason, it is possible to reliably print even a fine pitch pattern without causing misalignment. In addition, since the mask surface is always in contact with the substrate and the mask surface support member during printing, the solder paste or flux to the back surface of the mask does not drift, and stable plate separation can be realized. For this reason, although the back surface of the mask was normally needed every time a plurality of printings have been performed, the number of times of cleaning can be reduced, and the productivity of printing can be improved.

다음에 도 3을 사용하여 다른 실시예를 설명한다. 도 3에서 도 2와 다른 점은 마스크면 지지부재의 마스크와 접촉하는 부분에 복수의 흡착구멍으로 이루어지는 흡인 흡착기구를 설치한 점이다. 도 2에서도 인쇄 테이블(10)에는 기판(21)을 고정하기 위하여 복수의 부압 공급구멍(흡착구멍)을 인쇄 테이블(10)면에 설치한 구조로 하고 있다. 본 실시예에서도 인쇄 테이블(10)면에 부압 공급구멍을 설치함과 동시에, 마스크면 지지부재(60, 61)의 마스크(21)면에 접촉하는 면에 복수의 부압 공급구멍을 설치하고, 그곳에 부압을 공급함으로써 확실하게 마스크(21)를 유지하도록 한 것이다. 이에 의하여 상기한 실시예보다 확실하게 마스크(21)를 유지할 수 있기 때문에, 상기한 실시예에서도 설명한 바와 같이 땜납 페이스트나 플럭스의 마스크 이면으로의 표류를 방지할 수 있다. 또 기판 주위의 마스크를 확실하게 고정함으로써, 기판 주위의 경계부에서의 마스크와 기판과의 밀착성이 향상한다. 이 결과, 인쇄 개시부위 및 종료부위와 기판 중앙부의 땜납 페이스트의 전사형상 및 전사량의 균일화가 도모된다.Next, another embodiment will be described with reference to FIG. 3. 3 is different from FIG. 2 in that a suction adsorption mechanism including a plurality of suction holes is provided at a portion of the mask surface support member in contact with the mask. Also in FIG. 2, the printing table 10 has a structure in which a plurality of negative pressure supply holes (adsorption holes) are provided on the surface of the printing table 10 to fix the substrate 21. Also in this embodiment, a negative pressure supply hole is provided on the surface of the printing table 10, and a plurality of negative pressure supply holes are provided on the surface in contact with the mask 21 surface of the mask surface support members 60 and 61, and By supplying the negative pressure, the mask 21 is reliably held. As a result, since the mask 21 can be held more reliably than in the above-described embodiment, as described in the above-described embodiment, drift of the solder paste or the flux to the back surface of the mask can be prevented. In addition, by firmly fixing the mask around the substrate, the adhesion between the mask and the substrate at the boundary portion around the substrate is improved. As a result, the transfer shape and transfer amount of the solder paste at the print start and end portions and the center portion of the substrate can be made uniform.

또한, 도 3에서는 마스크면 유지부재는 흡인 흡착하는 구성으로 하였으나, 사용하는 마스크가 자성 금속으로 구성되어 있는 경우는, 마스크면 유지부재의 마스크와 접촉하는 부분에 전자석을 배치하여, 마스크면을 유지할 때에 전자석을 동작시켜 흡착 유지하도록 구성하여도 된다.In FIG. 3, the mask surface holding member is suction-adsorbed. However, when the mask to be used is made of magnetic metal, an electromagnet is disposed at the part in contact with the mask of the mask surface holding member to hold the mask surface. At this time, the electromagnet may be operated to maintain the adsorption.

도 1은 스크린 인쇄장치의 전체 구성을 나타내는 도,1 is a diagram showing the overall configuration of a screen printing apparatus;

도 2는 마스크 지지의 일 실시예를 나타내는 도,2 illustrates an embodiment of mask support;

도 3은 마스크 지지의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.3 shows another embodiment of mask support.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 스크린 인쇄기 2 : 스퀴지 헤드1: screen printing machine 2: squeegee head

3 : 스퀴지 4 : 스퀴지 승강기구3: squeegee 4: squeegee lifting mechanism

6 : 스퀴지 이동기구 6: squeegee moving mechanism

60 : 가동측 마스크면 지지부재60: movable side mask surface support member

61 : 고정측 마스크면 유지부재 61: fixed side mask surface holding member

Claims (4)

인쇄 테이블 상에 흡착 유지된 기판면에 마스크를 접촉시켜 마스크면에 설치되어 있는 개구부에서 스퀴지에 의하여 땜납 페이스트 또는 플럭스를 밀어 넣고, 기판면에 전사하는 스크린 인쇄기에 있어서,In the screen printing machine which contacts a board | substrate adsorbed-held on a printing table, pushes a solder paste or flux by the squeegee in the opening provided in the mask surface, and transfers to a board | substrate surface, 상기 인쇄 테이블에 유지된 기판 주변부의 마스크면을 기판측에서 유지하는 마스크면 유지부재를 설치하고, 마스크를 기판면과 마스크면 유지부재로 유지한 상태에서 스퀴지를 마스크면 상을 이동시켜 마스크 개구부에 땜납 페이스트 또는 플럭스를 공급하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄기.The mask surface holding member for holding the mask surface on the substrate periphery held by the printing table on the substrate side is provided, and the squeegee is moved on the mask surface while the mask is held by the substrate surface and the mask surface holding member to the mask opening. A screen printing machine characterized in that it is configured to supply solder paste or flux. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마스크면 유지부재는 기판의 한쪽 끝측은 고정된 마스크면 유지부재이고, 다른쪽 끝측은, 기판측으로 이동 가능한 마스크면 유지부재로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄기.And said mask surface holding member is a mask surface holding member fixed at one end of the substrate, and the mask surface holding member movable at the other end of the substrate. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 마스크면 유지부재의 마스크와 접촉하는 면에 복수의 흡착구멍을 구비하고, 상기 흡착구멍에 부압을 공급함으로써 마스크를 흡착 유지하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄기.A screen printing machine comprising: a plurality of adsorption holes provided on a surface of the mask surface holding member that is in contact with the mask, and configured to adsorb and hold the mask by supplying negative pressure to the adsorption holes. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 마스크를 자성체의 금속으로 구성하고, 상기 마스크면 유지부재의 마스크와 접촉하는 부분에 전자석을 배치하여 마스크를 유지할 때에 전자석을 동작시켜 흡착 유지하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄기.And the mask is made of a magnetic metal, and an electromagnet is disposed at a portion of the mask surface holding member in contact with the mask to hold and adsorb and hold the mask.
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