KR20090064306A - Screen printer - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 스크린 인쇄장치에 관한 것으로, 특히 파인 피치의 개구부의 패턴형성에 최적인 스크린 인쇄장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE
종래의 스크린 인쇄장치에서는 특허문헌 1에 기재된 바와 같이 인쇄시에, 스퀴지로 땜납 페이스트를 인쇄시에 판 분리가 좋은 방식의 인쇄기가 개발되어 있다.In the conventional screen printing apparatus, as described in
[특허문헌 1][Patent Document 1]
일본국 특개2007-21882호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-21882
상기 종래기술에서는, 스크린과 기판 사이에 어느 정도의 간극을 설치할 필요가 있고, 스퀴지로 마스크를 기판에 가압함으로써, 땜납 페이스트를 기판에 인쇄하는 구조로 되어 있다. 그러나 최근, 인쇄하는 인쇄 패턴이 미세화하고, 또한 대형 기판을 인쇄하는 요구가 커지고 있다. 미세 패턴의 인쇄를 행하는 경우, 종래 기술의 문제점으로서, 스퀴지로 마스크를 기판에 가압하여 마스크면 상을 이동하는 경우의 스퀴지와 마스크 사이의 마찰저항에 의한 마스크의 신장에 의하여, 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에 인쇄 대상물인 기판과 마스크의 밀착성을 향상하여, 위치 어긋남이 없는 상태에서 인쇄할 필요가 있다. 따라서 종래와 달리, 기판과 마스크의 밀착성을 좋게 함과 동시에, 판 분리도 기판에 여분의 페이스트가 부착하지 않도록 할 필요가 있다. 또, 장치의 소형화 등을 위하여 기판을 유지하는 인쇄 테이블이 기판을 유지할 수 있는 크기에 제한된다. 또한 통상, 인쇄에 사용하는 마스크의 크기는, 기판 면적에 대하여 큰 마스크를 사용하도록 하고 있기 때문에, 기판에 대하여, 마스크가 밀려 나와 그 부분이 지지가 없는 상태에서 유지되기 때문에, 마스크 자체가 변형되어, 그것이 인쇄에 악영향을 미치는 경우도 있다.In the above prior art, it is necessary to provide a certain gap between the screen and the substrate, and the solder paste is printed on the substrate by pressing the mask onto the substrate with a squeegee. However, in recent years, the printing pattern to be printed is miniaturized and the demand for printing a large substrate is increasing. In the case of printing a fine pattern, as a problem of the prior art, a position shift occurs due to the elongation of the mask due to the frictional resistance between the squeegee and the mask when the mask is pressed onto the substrate with a squeegee and moved on the mask surface. There is a case. For this reason, it is necessary to improve the adhesiveness of the board | substrate which is a printing object, and a mask, and to print in the state without position shift. Therefore, unlike the related art, it is necessary to improve the adhesiveness between the substrate and the mask and to prevent the extra paste from adhering to the substrate even when the plate is separated. Moreover, the printing table which holds a board | substrate is restrict | limited to the magnitude | size which can hold | maintain a board | substrate for size reduction of an apparatus. In general, the size of the mask used for printing is to use a large mask for the substrate area, so that the mask itself is deformed because the mask is pushed out of the substrate and the portion thereof is maintained without support. In some cases, it may adversely affect printing.
그래서 본 발명의 목적은, 인쇄시의 기판과 마스크의 밀착성을 향상하고, 또한 간단하게 판 분리를 행할 수 있는 인쇄장치로서, 파인피치로 또한 대형 기판에 인쇄를 행할 수 있는 스크린 인쇄장치를 제공하는 것에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus which can improve the adhesion between the substrate and the mask during printing, and can easily perform plate separation, and can print on a large substrate with a fine pitch. Is in.
땜납 페이스트 또는 플럭스를 밀어 넣고, 기판면에 전사하는 스크린 인쇄기에서, 인쇄 테이블에 유지된 기판 주변부의 마스크면을 기판측에서 유지하는 마스크면 유지부재를 설치하고, 마스크를 기판면과 마스크면 유지부재로 유지한 상태에서 마스크면 상에서, 스퀴지를 이동시켜 마스크 개구부에 땜납 페이스트 또는 플럭스를 공급하는 구성으로 한 것을 특징으로 한다.In the screen printing machine which pushes solder paste or flux and transfers to a board | substrate surface, the mask surface holding member which maintains the mask surface of the board | substrate periphery held by the printing table at the board | substrate side is provided, and a mask is provided with a board surface and a mask surface holding member The squeegee is moved on the mask surface in the state of holding, so that solder paste or flux is supplied to the mask opening.
또, 마스크면 유지부재에 흡착기구를 설치하는 구성으로 함으로써, 기판면 주위의 마스크를 흡착 유지함으로써 확실하게 마스크를 유지할 수 있다.In addition, by providing the adsorption mechanism on the mask surface holding member, the mask can be reliably held by attracting and holding the mask around the substrate surface.
마스크의 변형을 방지할 수 있기 때문에 미세 피치의 패턴이라도 위치 어긋남을 일으키지 않고, 확실하게 인쇄하는 것이 가능해진다. 또, 인쇄시 마스크면은 항상 기판 및 마스크면 지지부재에 접촉하고 있기 때문에, 마스크 이면으로의 땜납 페이스트 또는 플럭스가 표류하지 않고, 안정된 인쇄형상을 실현할 수 있다. 이 때문에, 통상은 복수회 인쇄할 때마다 마스크 이면의 청소가 필요하였으나, 그 청소 회수를 저감할 수 있어, 인쇄의 생산성을 향상할 수 있다.Since the deformation of the mask can be prevented, it is possible to reliably print even a fine pitch pattern without causing misalignment. In addition, since the mask surface is always in contact with the substrate and the mask surface support member during printing, the solder paste or flux to the mask back surface does not drift, and a stable printing shape can be realized. For this reason, although the back surface of the mask was normally needed every time a plurality of printings have been performed, the number of times of cleaning can be reduced, and the productivity of printing can be improved.
또한, 확실하게 마스크면을 유지할 수 있기 때문에, 상기한 실시예에서도 설명한 바와 같이 땜납 페이스트나 플럭스의 마스크 이면으로의 표류를 방지할 수 있다. 또 기판 주위의 마스크를 확실하게 고정함으로써, 기판 주위의 경계부에서의 마스크와 기판과의 밀착성이 향상한다. 이 결과, 인쇄 개시부위 및 종료부위와 기판 중앙부의 땜납 페이스트의 전사형상 및 전사량의 균일화가 도모된다.In addition, since the mask surface can be reliably held, drift of the solder paste or the flux to the back surface of the mask can be prevented as described in the above embodiment. In addition, by firmly fixing the mask around the substrate, the adhesion between the mask and the substrate at the boundary portion around the substrate is improved. As a result, the transfer shape and transfer amount of the solder paste at the print start and end portions and the center portion of the substrate can be made uniform.
도 1에 스크린 인쇄장치의 전체 구성의 개략을 나타낸다.The outline of the whole structure of a screen printing apparatus is shown in FIG.
본체 프레임에는 도시 생략한 판 프레임 받이가 설치되어 있고, 판 프레임 받이에는 인쇄 패턴을 개구부로서 가지는 스크린(21)을 부착한 마스크(20)가 세트되도록 구성되어 있다. 마스크(20)의 윗쪽에는, 스퀴지 헤드(2)가 배치되고, 스퀴지 헤드(2)에는 스퀴지(3)가 장착되어 있다. 스퀴지 헤드(2)는 스퀴지 이동기구(6)에 의하여 수평방향으로 이동이 가능하고, 스퀴지(3)는 스퀴지 승강기구(4)에 의하여 상하방향으로 이동할 수 있다. 마스크(20)의 아래쪽에는 마스크에 대향하도록 인쇄 대상물인 기판(21)을 탑재하여 유지하는 인쇄 테이블(10)이 설치되어 있다. 이 인쇄 테이블(10)은, 기판(21)을 수평방향으로 이동하여 마스크(20)와의 위치 맞춤을 행하는 XYθ테이블(11)과, 기판(21)을 수취 컨베이어(26)로부터 수취하고, 또한 기판(21)을 마스크(20)면에 근접시키거나 또는 접촉시키기 위한 테이블 승강기구(12)를 구비하고 있다. 인쇄 테이블(10)의 상면에는 기판 수취 컨베이어(26)가 설치되어 있고, 기판 반입 컨베이어(25)에 의하여 반입된 기판(21)을 인쇄 테이블(10) 상에 수취하고, 인쇄가 종료되면 기판 반출 컨베이어(27)에 기판(21)을 배출한다.The plate frame holder which is not shown in figure is provided in the main body frame, and the mask frame which attached the
전자동 스크린 인쇄장치에서는 마스크(20)와 기판(21)의 위치 맞춤을 자동적으로 행하는 기능을 구비하고 있다. 즉, CCD 카메라(15)에 의하여, 마스크(20)와 기판(21)의 각각에 설치되어 있는 위치 맞춤용 마크를 촬상하고, 화상처리하여 위치 어긋남량을 구하며, 그 어긋남량을 보정하도록 XYθ테이블제어부(35)로부터의 지령에 의거하여 XYθ테이블(11)을 구동하여 위치 맞춤을 행하는 것이다.In the fully automatic screen printing apparatus, the
또한, 각부 구동용 인쇄제어부(36)나 CCD 카메라(15)로부터의 화상신호를 처리하는 화상 입력부(37) 등을 구비한 인쇄기제어부(30)는, 인쇄기 본체 프레임의 내부에 설치되어 있고, 제어용 데이터의 재입력이나, 인쇄조건의 변경 등을 행하기 위한 데이터 입력부(50)나, 인쇄상황 등이나 도입한 인식 마크를 모니터하기 위한 표시부(40)가 인쇄기의 바깥쪽에 배치되어 있다.In addition, the
땜납 페이스트 또는 플럭스가 인쇄되는 기판(21)은, 기판 반입 컨베이어(25)에 의하여 기판 수취 컨베이어(26)에 공급되어, 인쇄 테이블(10) 상의 기설정된 위치에 고정된다. 기판(21)을 인쇄 테이블(10)에 고정 후, 미리 등록 설정된 기판 마크위치에 CCD 카메라(15)를 이동한다. 계속해서 CCD 카메라(15)가 기판(21) 및 마스크(20)에 설치된 위치 인식용 마크(도시 생략)를 촬상하여, 인쇄기 제어부(30)에 전송한다. 제어부 내의 화상 입력부(37)에서는, 화상 데이터로부터 마스크(20)와 기판(21)의 위치 어긋남량을 구한다. 그 결과에 의거하여, 인쇄기 제어부(30)는 XYθ테이블제어부(35)로부터 구동신호를 XYθ테이블(11)에 보내고, 그 신호에 의거하여 XYθ테이블(11)을 동작시켜 마스크(20)에 대한 기판(21)의 위치를 수정, 위치 맞춤한다. 위치 맞춤 동작 완료 후, CCD 카메라(15)가 인쇄 테이블(10)과 간섭하지 않는 위치까지 기설정된 양을 퇴피 동작한다. 카메라 퇴피 완료 후, 인쇄 테이블(10)이 상승하여, 기판(21)과 마스크(20)를 접촉시킨다. 그 후, 스퀴지 승강 실린더(4)에 의하여 스퀴지(3)가 마스크(20)면 상에 접촉할 때까지 하강하고, 스퀴지 헤드(2)의 이동에 의하여 마스크 상에 공급되어 있던 땜납 페이스트 또는 플럭스가 마스크(20)의 개구부에 충전되어, 기판에 전사된다. 스퀴지(3)는 수평방향으로 일정거리 스트로크한 후에 상승한다. 그리고, 인쇄 테이블(10)이 하강하여, 마스크(20)와 기판(21)이 분리되고, 마스크(20)의 개구부에 충전된 땜납 페이스트 또는 플럭스가 기판(21)에 전사된다.The board |
그리고, 땜납 페이스트 또는 플럭스가 인쇄된 기판(21)은 기판 반출 컨베이어(27)를 거쳐 다음 공정으로 보내진다. Subsequently, the
또한, 기판(21)과 마스크(20)에는 상대적으로 동일한 부분에 인식 위치 맞춤용 마크가 2개 이상 설치되어 있고, 이 양쪽의 마크 각각을, 상하방향 2시야를 가지는 특수한 CCD 카메라(15)에 의하여, 마스크(20)의 마크는 밑에서부터 인식하고, 기판(21)의 마크는 위에서부터 인식하여, 기설정된 부분의 마크 전체의 위치좌표를 읽어 내어, 마스크(20)에 대한 기판(21)의 어긋남량을 위치 연산·보정하고, 기판(21)을 마스크(20)에 대하여 위치 맞춤한다. In addition, two or more recognition mark alignment marks are provided on the
도 1(b)에 나타낸 인쇄기 제어부(30)에서, CCD 카메라(15)에 의하여 촬상한 임의 패턴을 화상 입력부(37)로부터 도입하고, 임의 패턴의 주위에 유사 패턴이 존재하고 있어도, 사전(38)에 미리 준비된 모델과, CCD 카메라(15)에 의하여 촬상한 임의 패턴과의 상관값을 상관값 계산부(31)에서 연산한다. 상관값 계산부(31)에 의하여 구해진 상관값에 의거하여, 형상 추정부(32)에서 모델의 형상 추정을 행한다. 추정된 형상을 복수개의 가기준 패턴으로서 기억 설정한다. 그리고, 패턴위치 좌표 연산부(33)에서 목표 기준 패턴간 거리와 비교하고, 또한 치수 계산부(34)에서 형상 치수를 구하여, 차가 가장 적은 조합의 마크를 기준 패턴으로서 사 전(38)에 등록하는 수단을 구비하고 있다.In the
또한 인쇄기제어부(30)에는 스퀴지 헤드(2) 등의 동작을 제어하는 인쇄제어부(36)를 구비하고 있다. In addition, the
다음에 도 2를 이용하여 마스크 지지의 일 실시예를 설명한다. 도 2에 인쇄 테이블부의 구조의 일례를 나타낸다. 도면에 나타내는 바와 같이 인쇄 테이블(10)에 탑재한 인쇄 대상물인 기판(21)의 주변부에 인쇄 테이블(10)과는 별도로 마스크(20)면을 지지하기 위한 마스크면 지지부재가 설치되어 있다. 이 마스크면 지지부재는, 인쇄 테이블(10)을 지지하는 대좌(臺座)(19)에 한쪽 측의 마스크면 지지부재(61)가 고정되고, 다른쪽 측의 마스크면 지지부재(60)는, 기판방향[화살표(41)방향]으로 이동할 수 있는 구성으로 되어 있다. 즉 고정측의 마스크면 지지부재(61) 다리부에 설치한 구동용 모터(16)에 의하여 마찬가지로 가동측 마스크면 지지부재(60)의 다리부를 이동하도록 볼나사(17)가 설치되어 있다. 또, 가동측 마스크면지지부재(60)의 다리부는 대좌부(46)에 설치한 리니어 레일(45) 상을 슬라이딩할 수 있도록 도시 생략한 볼베어링이 설치되어 있다. 고정측 마스크면 지지부재(61)에 모터(16)를 구동하여 볼나사(17)를 회전시킴으로써, 가동측 마스크면 지지부재(60)를 기판(21)의 다른쪽 측의 측면에 가압하는 구성으로 되어 있다. 또한, 고정측 마스크면 지지부재(61)의 끝부는 기판(21)의 한쪽 측의 측면에 접촉하여, 위치 결정할 수 있는 구성로 되어 있다. 이 마스크면 지지부재의 마스크면에 접촉하는 부분은 기설정된 면적을 가지고 있다. 또, 인쇄 테이블(10)은 부압[화살표(42)]을 공급함으로써 기판(21)을 테이블면에 고정하는 구성으로 되어 있다.Next, an embodiment of the mask support will be described with reference to FIG. 2. An example of the structure of a printing table part is shown in FIG. As shown in the figure, a mask surface support member for supporting the
이와 같이, 마스크면이 기판면에 접촉할 뿐만 아니라, 기판을 벗어난 주위를 마스크면 지지부재(60, 61)의 상면에 접촉하여 지지되도록 함으로써, 스퀴지(3)가 이동시에는 마스크(20)는 기판(21)면 뿐만 아니라 마스크면 지지부재(60, 61)로도 지지되고, 마스크(20)의 변형을 방지할 수 있다. 이 때문에 미세 피치의 패턴이라도 위치 어긋남을 일으키지 않고 확실하게 인쇄하는 것이 가능해진다. 또, 인쇄시 마스크면은 항상 기판 및 마스크면 지지부재에 접촉하고 있기 때문에, 마스크 이면으로의 땜납 페이스트 또는 플럭스가 표류하지 않고, 안정된 판 분리를 실현할 수 있다. 이 때문에, 통상은 복수회 인쇄할 때마다 마스크 이면의 청소가 필요하였으나, 그 청소 회수를 저감할 수 있고, 인쇄의 생산성을 향상할 수 있다.In this manner, the mask surface is not only in contact with the substrate surface, but is also supported by the upper surface of the mask
다음에 도 3을 사용하여 다른 실시예를 설명한다. 도 3에서 도 2와 다른 점은 마스크면 지지부재의 마스크와 접촉하는 부분에 복수의 흡착구멍으로 이루어지는 흡인 흡착기구를 설치한 점이다. 도 2에서도 인쇄 테이블(10)에는 기판(21)을 고정하기 위하여 복수의 부압 공급구멍(흡착구멍)을 인쇄 테이블(10)면에 설치한 구조로 하고 있다. 본 실시예에서도 인쇄 테이블(10)면에 부압 공급구멍을 설치함과 동시에, 마스크면 지지부재(60, 61)의 마스크(21)면에 접촉하는 면에 복수의 부압 공급구멍을 설치하고, 그곳에 부압을 공급함으로써 확실하게 마스크(21)를 유지하도록 한 것이다. 이에 의하여 상기한 실시예보다 확실하게 마스크(21)를 유지할 수 있기 때문에, 상기한 실시예에서도 설명한 바와 같이 땜납 페이스트나 플럭스의 마스크 이면으로의 표류를 방지할 수 있다. 또 기판 주위의 마스크를 확실하게 고정함으로써, 기판 주위의 경계부에서의 마스크와 기판과의 밀착성이 향상한다. 이 결과, 인쇄 개시부위 및 종료부위와 기판 중앙부의 땜납 페이스트의 전사형상 및 전사량의 균일화가 도모된다.Next, another embodiment will be described with reference to FIG. 3. 3 is different from FIG. 2 in that a suction adsorption mechanism including a plurality of suction holes is provided at a portion of the mask surface support member in contact with the mask. Also in FIG. 2, the printing table 10 has a structure in which a plurality of negative pressure supply holes (adsorption holes) are provided on the surface of the printing table 10 to fix the
또한, 도 3에서는 마스크면 유지부재는 흡인 흡착하는 구성으로 하였으나, 사용하는 마스크가 자성 금속으로 구성되어 있는 경우는, 마스크면 유지부재의 마스크와 접촉하는 부분에 전자석을 배치하여, 마스크면을 유지할 때에 전자석을 동작시켜 흡착 유지하도록 구성하여도 된다.In FIG. 3, the mask surface holding member is suction-adsorbed. However, when the mask to be used is made of magnetic metal, an electromagnet is disposed at the part in contact with the mask of the mask surface holding member to hold the mask surface. At this time, the electromagnet may be operated to maintain the adsorption.
도 1은 스크린 인쇄장치의 전체 구성을 나타내는 도,1 is a diagram showing the overall configuration of a screen printing apparatus;
도 2는 마스크 지지의 일 실시예를 나타내는 도,2 illustrates an embodiment of mask support;
도 3은 마스크 지지의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.3 shows another embodiment of mask support.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing
1 : 스크린 인쇄기 2 : 스퀴지 헤드1: screen printing machine 2: squeegee head
3 : 스퀴지 4 : 스퀴지 승강기구3: squeegee 4: squeegee lifting mechanism
6 : 스퀴지 이동기구 6: squeegee moving mechanism
60 : 가동측 마스크면 지지부재60: movable side mask surface support member
61 : 고정측 마스크면 유지부재 61: fixed side mask surface holding member
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