KR20060095920A - 연마장치 - Google Patents

Abstract

글라스 기판의 변의 길이가 변하면, 변의 길이가 변함에 따라 글라스 기판을 수용하는 테이블을 교환하지 않으면 아니 되는 단점을 해소하기 위한 것으로서, 진퇴주행수단A에 의하여 진퇴 주행하는 주행체1과, 이 주행체의 중심 부분에 선회수단B에 의하여 선회하도록 설치되어 수용된 글라스 기판X를 흡인하여 지지하는 테이블7과, 이 테이블 상의 대향하는 2변 측에 가이드 수단에 의하여 접근, 이반 주행하도록 설치한 2개의 병렬하는 글라스 기판 받이 스테이지13과, 이 양 스테이지를 접근, 이반 주행시키는 슬라이드 주행수단E와, 상기 주행체의 주행로의 양측에 설치한 글라스 기판의 가장자리 연마용의 회전숫돌21로 이루어지고, 상기의 테이블 또는 스테이지의 어느 한 쪽을 승강수단에 의하여 승강 시키도록 하는 구성을 채용한다.

Description

연마장치{GRINDING SYSTEM}

도1은, 본 발명 실시예를 나타내는 평면도,

도2는, 본 발명 실시예를 나타내는 종단 정면도,

도3은, 본 발명 실시예를 나타내는 종단 측면도,

도4는, 글라스 기판을 흡인하여 지지하는 것을 나타내는 종단 정면도,

도5는, 글라스 기판의 선회를 나타내는 종단 정면도,

도6은, 글라스 기판의 나머지 2변의 연마를 나타내는 종단 정면도,

도7은, 작용 공정도,

도8은, 제2실시예를 나타내는 평면도,

도9는, 상기 종단 확대 단면도,

도10은, 상기 일부를 제외한 확대 측면도,

도11은, 제3실시예를 나타내는 종단 확대 단면도,

도12는 동 종단 정면도이다.

***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***

A 진퇴주행수단 B 승강수단

C 선회수단 D 가이드 수단

E 슬라이드 주행수단 X 글라스 기판

1 주행체 2 레일

3 슬라이더 4 볼트

5 너트 6 제1모터

7 테이블 8 소공(小孔)

9 실린더 10 기어부

11 제2모터 12 기어

13 스테이지 14 가이드 레일

15 슬라이더 16 제3모터

17 볼트 18 너트

21 회전숫돌 K θ축 보정수단

P1, P2 카메라 31 제4모터

32 필름 33 가이드 레일

34 베이스 35 슬라이더

36 볼트 47 제5모터

F 이동수단 G 이동체

41 베이스 42 슬라이더

43 레일 44 볼트

45 너트 46 제6모터

47 패드 48 선회 모터

49 실린더 50 가이드 부재

본 발명은, 글라스 기판의 가장자리를 연마하는 연마장치에 관한 것이다.

글라스 기판의 가장자리를 연마하기 위해서는, 우선 전후방향으로 주행하는 주행체의 지지대 상에 글라스 기판을 재치하고 또한 흡인방식에 의하여 글라스 기판을 지지한다.

다음에 지지대를 전방으로 주행시키면서, 주행로의 양측에 배치되어 있는 회전숫돌에 의하여 글라스 기판의 2변의 가장자리를 연마(硏磨)한다.

연마 후에 전진한 주행체가 정지하면, 지지대와 함께 글라스 기판을 90도 선회시킨 뒤에 지지대와 함께 후방으로 글라스 기판을 주행시킨다.

이 때에, 주행로의 양측의 회전숫돌에 의하여 글라스 기판의 나머지 2변의 가장자리를 연마한다(특허문헌1).

그런데 특허문헌1의 구조에 의하면, 글라스 기판을 재치(수용)하는 스테이지의 사이즈(평면적)를 글라스 기판의 사이즈(판 면적)보다 작게 하여 글라스 기판의 연마 가장자리를 스테이지의 가장자리로부터 돌출 시키도록 되어 있다.

이렇게 하는 이유는, 연마 회전숫돌과 스테이지의 가장자리의 충돌을 회피하는 것에 있다.

그러면, 글라스 기판의 사이즈에 의하여 상기 사이즈에 따라 스테이지가 각각 필요하게 됨과 아울러 스테이지의 교환이 필요하게 되는 문제가 발생한다.

거기에서, 글라스 기판이 재치되는 사이즈가 최소부터 최대까지 1대의 테이블로 하도록 하는 테이블이 있다(특허문헌2).

특허문헌1 일본국 특허제3470057호 공보

특허문헌2 일본국 공개특허공보 특개2004-243411호 공보

그런데 특허문헌2의 구조에 의하면, 글라스 기판의 사이즈에 따라 최소의 주테이블(主table) 만을 혹은 주테이블의 각 변으로부터 신장하는 암(arm)에 부테이블 블록(副table block)을 설치하고, 작은 사이즈로부터 큰 사이즈까지의 가공을 1대로 대응할 수 있게 되어 있다.

그러면, 사이즈의 변경에 따라 부테이블 블록을 철거하고 다시 부테이블 블록을 일일이 설치하여야 하므로, 교체에 인력이 필요함과 아울러 긴 시간이 걸려서 능률의 대폭적인 저하가 일어난다는 문제가 있었다.

따라서 본 발명은, 글라스 기판의 사이즈에 따라 그 수용의 변경이 매우 간단하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.

그리고 글라스 기판의 가장자리 연마의 베벨링 폭(베벨링 양)에 오차가 발생하지 않도록 하는 것이다.

상기한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 진퇴주행수단에 의하여 진퇴 주행하는 주행체(走行體)와, 이 주행체의 중심 부분에 선회수단(旋回手段)에 의하여 선회하도록 설치되어 수용된 글라스 기판을 흡인하여 지지하는 테이블과, 이 테이블 상의 대향하는 2변 측에 가이드 수단에 의하여 접근(接近), 이반(離反) 주행하도록 설치된 2개의 병렬하는 글라스 기판 받이 스테이지와, 이 양 스테이지를 접근, 이반 주행시키는 슬라이드 주행수단과, 상기 주행체의 주행로(走行路)의 양측에 설치된 글라스 기판의 가장자리 연마용의 회전숫돌로 이루어지고, 상기 테이블 또는 스테이지의 어느 한 쪽을 승강수단에 의하여 승강 시키도록 하는 구성을 채용한다.

또한 주행체와 흡인지지기능이 있는 테이블의 사이에 상기 흡인지지기능이 있는 테이블의 θ축 보정수단을 통하여 카메라에 의하여 글라스 기판의 얼라인먼트 마크를 읽어 가장자리 베벨링 폭의 오차를 수정하도록 상기 θ축 보정수단을 운전하도록 연동시키는 구성을 채용한다.

또한, 진퇴주행수단에 의하여 진퇴 주행하는 주행체(走行體)와, 이 주행체 상에 θ축 보정수단을 통하여 설치되고 수용된 글래스 기판의 흡인 지지기능이 있는 테이블과, 이 테이블의 대향하는 2변 측에 가이드 수단에 의하여 접근(接近), 이반(離反) 주행하도록 설치된 2개의 병렬하는 글라스 기판 받이 스테이지(stage)와, 이 양 스테이지를 접근, 이반 주행시키도록 설치되는 슬라이드 주행수단(slide 走行手段)과, 상기 주행체의 주행로(走行路)의 양측에 설치된 글라스 기판의 가장자리 연마용의 회전숫돌(回轉숫돌)과, 상기 주행체의 전진정지위치(前進停止位置)의 주행로 바로 위와 상기 주행로로부터 떨어진 대피위치의 사이에 이동수단에 의하여 이동하도록 설치된 이동체와, 승강수단에 의하여 승강하여 상기 테이블 상의 글라스 기판을 흡인지지 하도록 상기 이동체에 설치된 흡인지지수단과, 이 흡인지지수단을 선회시키도록 설치된 선회수단으로 이루어지고, 카메라에 의하여 글라스 기판의 얼라인먼트 마크를 읽어 가장자라 베벨링 폭의 오차를 수정하도록 상기 θ축 보정수단을 운전하도록 연동시키는 구성을 채용한다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다.

본 발명의 실시예에서는 도1에서부터 도6에 나타나 있는 바와 같이 진퇴주행수단A에 의하여 주행체1이 진퇴 주행하게 되어 있다.

상기의 진퇴주행수단A는, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에 전후방향으로 부설(敷設)된 레일2와, 주행체1의 하면 양측에 설치되고 레일2에 슬라이드 하도록 결합하는 슬라이더3과, 레일2와 평행하게 그리고 정위치에서 회전하도록 설치되는 볼트4와, 주행체1의 하면에 설치되어 볼트4를 수용하는 너트5와, 볼트4를 가역(可逆) 구동하는 제1모터6으로 구성되어, 제1모터6의 정회전, 역회전에 의하여 주행체1을 전진, 후퇴시키도록 하고 있지만, 이에 한정되지 않고 다른 구성에 의하여 주행체1을 진퇴 주행시키는 것도 가능하다.

또한 주행체1 상의 중심에는, 승강수단B에 의하여 승강되고 또한 선회수단C에 의하여 선회되며 수용된 글라스 기판X를 흡인하여 지지할 수 있는 테이블7이 설치되어 있다.

상기의 테이블7은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에 정상벽(頂上壁)에 무수히 많은 흡인 소공(吸引小孔)8을 구비하는 박스(box)에 의하여 형성되어, 테이블7 내를 흡인하여 테이블7 상에 재치되어 있는 글라스 기판X를 흡인하여 지지하도록 하고, 승강수단B는, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에 주행체1 상에 실린더9를 통하여 테이블7을 설치하여, 실린더9의 신장(伸張), 수축(收縮)에 의하여 승강하도록 되어 있으며, 선회장치C는, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에 테이블7의 하부 외주(外周)에 형성되어 있는 기어부10에 제2모터11에 의하여 구동하는 기어12를 맞물리게 하여 제2모터11의 운전에 의하여 테이블7을 선회시키도록 하고 있지만, 그 이외의 방식으로 승강, 선회시키는 것도 가능하다.

또한 테이블7 상의 대향하는 2변 측에는, 글라스 기판X를 수용하고 가이드 수단D에 의하여 서로 접근, 이반하면서 주행하는 2개의 병렬의 스테이지13, 13이 설치되어 있다.

상기의 스테이지13, 13은, 수용면인 상면이 수평한 각재(角材)를 사용하고, 주행체1 상에 주행방향에 대하여 직각으로 교차하는 2가닥의 가이드 레일14를 설치하고, 스테이지13, 13의 양단부 하면에 설치되어 있는 슬라이더15를 이 가이드 레일14, 14에 결합시켜 슬라이드 시키고 있다.

또 병렬하는 양 스테이지13, 13은, 슬라이드 주행수단E에 의하여 접근, 이반하도록 슬라이드 된다.

상기의 슬라이드 주행수단E는, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 제3모터16에 의하여 정위치에서 가역(可逆) 구동하는 볼트17과, 이 볼트17에 나사 체결되고 스테이지13, 13에 설치되는 너트18로 구성되어, 제3모터16의 가역운전에 의하여 양 스테이지13, 13을 접근, 이반 방향으로 슬라이드 시키도록 하고 있으나, 그 이외의 방식에 의하여 슬라이드 시켜도 좋다.

또한 주행체1의 주행로의 양측에는, 글라스 기판X의 2변의 상측 만을 또는 상측과 하측을 연마하는 회전숫돌21, 21이 설치되어 있다.

물론, 회전숫돌21, 21의 좌우의 대향 간격은, 주지된 바와 같이 글라스 기판X의 2변(연마 가장자리) 간의 치수에 따라 수치제어에 의하여 조정하게 되어 있다. 예를 들면 특허문헌1의 방식을 채용한다.

도면에서 22는, 주행체1 상의 스테이지13, 13 간에 상면이 스테이지13의 상면과 동일한 면이 되도록 설치한 보정 스테이지로서, 이 보정 스테이지22에 의하여 수용된 글라스 기판X의 자체 중량에 의한 휨의 발생을 방지한다.

상기한 바와 같이 구성하면, 도7에 나타나 있는 바와 같이 후퇴하여 정지하고 있는 주행체1의 스테이지13 상에 글라스 기판X를 재치하여 수용(도3에 나타냄)한다.

이 때에, 양 스테이지13, 13은, 글라스 기판X의 사이즈에 따라 제3모터16의 운전에 의하여 접근 또는 이반하는 방향으로 슬라이드 시켜서, 수용에 알맞은 위치로 이동시켜 조정하여 둔다.

또한 도4에 나타나 있는 바와 같이 테이블7 내를 흡인하여 테이블7 상에서 글라스 기판X를 흡인하여 지지한다.

다음에 제1모터6의 정방향 운전에 의하여 볼트4를 구동하여 전방을 향하여 주행체1과 함께 글라스 기판X를 주행시키면서, 도4에 나타나 있는 바와 같이 회전숫돌21, 21에 의하여 글라스 기판X의 주행방향을 따르는 2가장자리를 연마한다.

그리고 주행체1이 전방에서 정지하면, 테이블7에 의한 흡인을 유지하면서, 우선 승강수단B에 의하여 테이블7과 함께 글라스 기판X를 도5에 나타나 있는 바와 같이 상승시키고, 뒤이어서 선회수단C에 의하여 테이블7과 함께 글라스 기판X를 90도 선회시킨 뒤에, 승강수단B에 의하여 테이블7과 함께 글라스 기판X를 강하시켜서, 도6에 나타나 있는 바와 같이 스테이지13, 13 상에 글라스 기판X를 수용한다.

이 때에, 양 스테이지13, 13은, 글라스 기판X의 가장자리의 길이에 따라(예를 들면 주행체10 전진 시의 장변(長邊)이 선회 후에는 단변(短邊)이 되어 각각 이에 따라), 양 스테이지13, 13을 접근방향으로 슬라이드 시켜서 알맞은 수용위치로 조정한다.

그리고 선회 후에 제1모터6의 역회전에 의하여 주행체1을 후방을 향하여 주행시키면서, 도6에 나타나 있는 바와 같이 주행 도중에 회전숫돌21, 21에 의하여 글라스 기판X의 나머지 2변 가장자리를 연마한다.

연마된 글라스 기판은, 테이블7에 의한 흡인지지를 해제하여 내려 놓는다.

상기의 실시예(도면에 나타나 있는 바와 같은 경우)에서는, 테이블7을 승강수단B에 의하여 승강시키도록 하고 있지만, 테이블7에는 선회수단C에 의하여 선회기능 만을 부여하고, 스테이지13에 승강기능(예를 들면 스테이지13과 너트18의 사이에 실린더를 삽입하는 등의 방법으로)을 부여하여 동(同) 목적을 달성하여도 좋다.

또한 회전숫돌21은, V홈 숫돌, 컵 숫돌, 멀티 숫돌 등을 사용한다.

본 발명의 제2의 실시예에서는 도8, 9, 10에 나타나 있는 바와 같이 제1실시예의 주행체1과 흡인지지 기능이 있는 테이블7의 사이에는 테이블7의 θ축 보정수단K가 위치한다.

상기의 θ축 보정수단K로서는, 가역운전 하는 제4모터31이 사용되어, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에 주행체1과 실린더9의 사이에 위치하여 실린더9와 함께 테이블7을 시계, 반시계방향으로 수정에 필요한 각도 만큼 선회시키도록 하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 실린더9와 테이블7의 사이에 배치하더라도 좋다. 즉, 수정에 필요한 각도, 글라스 기판X를 선회시키면 좋다.

또한 θ축 보정수단K로서의 제4모터31의 운전은, 주행체1의 주행로의 상측 좌우에 배치되어 있는 한 쌍의 카메라P1, P2에 의하여 주행 도중의 글라스 기판X의 양측 코너의 얼라인먼트 마크Y를 읽어, 이에 따라 글라스 기판X의 주행방향 전후의 얼라인먼트 마크Y의 오차를 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 제4모터31을 가역운전 하여 글라스 기판X를 흡인하여 지지하고 있는 테이블7을 시계, 반시계방향으로 선회시킨다.

이렇게 선회시키는 요인은, 선회각도 오차의 수정에 따라 회전숫돌21에 의한 베벨링 가공폭이, 베벨링 가공시작 측과 베벨링 종료 측에서 오차가 없는 균일한 가공을 함으로써 정밀도가 나쁜 가공에 의한 불량품의 발생을 없게 하는 것에 있다.

상기한 카메라P1, P2는, 글라스 기판X의 폭 즉 좌우의 얼라인먼트 마크Y의 대향(좌우)거리에 의하여 위치를 조정할 수 있게 되어 있다.

상기의 위치조정은, 도8, 9, 10에 나타나 있는 바와 같이 주행체1의 주행로 위를 가로지르는 프레임32를 설치하고, 이 프레임32의 전체 길이에 설치되어 있는 가이드 레일33에 좌우 베이스34의 슬라이더35를 결합시켜 슬라이드 하도록 하고 또한 프레임32의 전체 길이를 따라 정위치에서 자유 롭게 회전하도록 축지지 하며, 중간에서부터 일단(一端)에 우측나사가, 중간에서부터 타단에 좌측나사가 형성되는 볼트36에 대하여, 좌우 양 베이스34에 각각 지지시킨 일방의 너트37을 볼트36의 우측나사에, 타방의 너트37을 볼트36의 좌측나사에 각각 삽입시키고, 양 베이스34에 카메라P1, P2를 설치한다.

그리고 제5모터37에 의하여 볼트36을 가역구동 하여 베이스34와 함께 카메라P1, P2를 얼라인먼트 마크Y의 위치와 일치하도록 접근, 이반하게 이동시키도록 하고 있다.

본 발명의 제3의 실시예에서는 도11, 12에 나타나 있는 바와 같이 진퇴주행수단A에 의하여 주행체1이 진퇴주행 하게 되어 있다.

상기의 진퇴주행수단A는, 제1실시예와 마찬가지이므로 그 구성, 진퇴주행 방법의 설명을 생략한다.

또한 주행체1 상에는, 수용되는 글라스 기판X의 흡인지지 기능이 있는 테이블7이 설치되어 있고, 테이블7의 대향하는 2변 측에는 가이드수단D에 의하여 접근, 이반하도록 주행하는 2개의 병렬하는 글라스 기판X의 스테이지13, 13이 설치되어 있고, 양 스테이지13, 13은, 접근, 이반 하도록 슬라이드 주행수단E에 의하여 슬라이드 하도록 되어 있다.

상기의 흡인지지 기능이 있는 테이블7, 상기한 스테이지13, 13의 슬라이드의 가이드 수단D 및 슬라이드 주행수단E는, 제1실시예와 마찬가지이므로 그 구성이나 작용의 설명을 생략한다.

또한 주행체1의 주행로의 양측에는, 글라스 기판X의 2변의 위 가장자리 또는 위 가장자리와 밑 가장자리를 연마하는 회전숫돌21, 21이 설치되어 있다.

물론, 회전숫돌21, 21의 좌우의 대향 간격은, 주지된 바와 같이 글라스 기판X의 2변(연마 가장자리)간의 치수에 따라 수치제어에 의하여 조정하게 되어 있다. 예를 들면 특허문헌1의 방식을 채용한다.

그리고 회전숫돌21은, V홈 숫돌, 컵 숫돌, 멀티 숫돌 등을 사용한다.

또한, 제1실시예와 마찬가지로 보정 스테이지22를 설치하여, 수용된 글라스 기판X의 자체 중량에 의한 휨의 발생을 방지한다.

또한 주행체1이 전진, 정지하는 주행로의 바로 위와 주행로에서 벗어난 대피위치와의 사이에서 이동수단F에 의하여 이동하는 이동체G를 설치한다.

상기의 이동수단F는, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 이동체G의 베이스41에 설치되어 있는 슬라이더42와 결합하여 슬라이드 하도록 하는 수평한 레일43과, 이 레일43의 양단에 양단이 축지되어 자유롭게 회전하는 볼트44와, 베이스41에 지지되고 볼트44에 삽입되는 너트45와, 볼트44를 가역구동 하는 제6모터46으로 구성되어, 제6모터46의 가역운전에 의하여 이동체G가 전진, 정지하는 테이블7의 바로 위와, 바로 위로부터 벗어난 대피위치의 사이에서 진퇴주행 시키도록 하고 있지만, 그 이외의 구성 예를 들면 드라이브 기능이 있는 피니언과 래크의 맞물리기나, 신축암(伸縮 arm) 등에 의하여 동(同) 목적을 달성하여도 좋다.

또한 이동체G에는, 승강수단B에 의하여 승강하고 또한 회전축선이 수직인 90도의 선회수단C에 의하여 선회함과 아울러 테이블7 상의 글라스 기판X를 수용하는 흡인지지 기능이 있는 패드47이 설치되어 있다.

상기의 선회수단C는, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 베이스41의 하면에 선회 모터48을 설치하고, 승강수단B는 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에 선회 모터48과 패드47의 사이에 실린더49가 위치하도록 설치하고 있지만, 선회 모터48과 실린더49의 상하의 배치와는 반대로 하는 경우도 있고, 도면에 나타내는 바와 같이 대향 측을 결합하여 슬라이드 하도록 하는 통체(筒體)와 축재(軸材)로 이루어지는 가이드 부재50이 그 양면을 베이스41과 패드47에 고정되어 패드47의 회전을 멈추게 하고 있다.

또, 패드47의 흡인지지 기능은, 패드47의 저벽(底壁)에 무수한 소공(도면에 나타내는 것을 생략)을 구비하는 박스를 사용하고, 박스 내를 흡인하여 패드47의 하면에 글라스 기판X를 흡인하여 지지하도록 되어 있다.

또한 주행체1의 주행로의 상측 좌우로 한 쌍의 카메라P1, P2를 배치하고, 이 카메라P1, P2에 의하여 테이블7 상에 흡인되어 지지되는 글라스 기판X의 상면의 코너의 얼라인먼트 마크Y를 읽고 있다.

상기 카메라P1, P2 및 좌우의 얼라인먼트 마크Y의 바로 위에 카메라Pl, P2를 일치시키는 접근/이반 방향의 이동은, 제2실시예와 마찬가지이므로 도면에 나타내는 것 및 그 구성, 작용의 설명을 생략한다.

상기 얼라인먼트 마크를 읽어 글라스 기판X의 주행방향 전후의 얼라인먼트 마크Y의 오차를 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 계산에 의거하여 수정한다.

상기의 수정은, 주행체1의 테이블7의 하측에 설치되어 있는 제2실시예와 동일한 θ축 보정수단K로서의 모터31을 시계, 반시계방향으로 오차에 따른 각도만큼 운전하여 테이블7과 함께 흡인하여 지지하는 글라스 기판X를 선회시켜서 실시한다.

연마 후의 글라스 기판X와 함께 테이블7이 전진위치에서 정지하면, 글라스 기판X의 바로 위에서 정지하고 있는 이동체G의 패드47을 승강수단B의 운전에 의하여 강하시켜서, 테이블7 상의 글라스 기판X에 패드47을 접촉시킴과 아울러 우선 테이블7 측의 흡인을 해제하고 뒤이어서 패드47 측을 흡인하여 매트47에 글라스 기판X를 흡인하여 지지시킨 뒤에, 승강수단B의 운전에 의하여 테이블7 상으로부터 글라스 기판X를 부상(浮上)시킨다.

그 후에, 선회수단C의 모터48의 90도 운전에 의하여 글라스 기판X를 선회시키고, 선회 후에 승강수단B의 운전에 의하여 패드47과 함께 글라스 기판X를 강하시켜서, 테이블7 상에 글라스 기판X를 재치한 후에 테이블7에 글라스 기판X를 지지하고, 뒤이어서 패드47에 의한 글라스 기판X의 흡인을 해제한 뒤에 승강수단B의 운전에 의하여 패드47을 상승시킨다.

그 후에 테이블7을 후퇴시키고, 후퇴 후에 전진시킨다.

이 전진 시에 상기한 바와 같이 카메라P1, P2에 의하여 얼라인먼트 마크Y를 읽어내고, 그 읽기에 따른 오차를 상기한 바와 같이 θ축 보정수단K의 모터31을 운전하여 수정하고, 그리고 회전숫돌21에 의하여 나머지 2변 가장자리를 베벨링 가공한다. 이렇게 하면 각 변의 가장자리의 베벨링 폭을 균일화시킨다.

주행체1의 전진이 종료하면, 글라스 기판X 상에 패드47을 승강수단B에 의하여 강하시켜 패드47에 글라스 기판X를 흡인하여 지지시키고, 테이블7에 의한 글라스 기판X의 흡인지지를 해제한다.

그 후에 승강수단B에 의하여 글라스 기판X와 함께 패드47을 상승시킨 뒤에, 이동수단F의 운전에 의하여 반출 컨베이어S 상으로 글라스 기판X를 이송하고, 이송 후에 승강수단B에 의하여 반출 컨베이어S 상의 글라스 기판X를 흡인(패드47 측)을 해제하여 이송한다. 또, 테이블7 상의 글라스 기판X의 공급도 패드47을 이용하여 할 수도 있다.

또한 상기 제2, 제3실시예의 엣지 베벨링량(베벨링 폭)의 균일한 θ축 선회 보정을 하기 위한 카메라Pl, P2에 의하여 얼라인먼트 마크Y를 읽는 것은, 예를 들면 일본국 특허출원2002-379505호나 일본국 특허출원2005-223593호의 방식을 채용하여 실시한다.

이상과 같이 본 발명의 연마장치에 의하면, 주행체의 전진주행의 도중에 스테이지 상에 수용되고 또한 테이블 상에 흡인되어 지지되어 있는 글라스 기판의 2가장자리를 회전숫돌에 의하여 연마하고, 주행체의 전진 후에 테이블을 상승시키고 또한 90도 선회에 의하여 글라스 기판을 선회시킨 뒤에 테이블을 강하시켜서 스테이지 상에 글라스 기판을 수용하고, 또는 스테이지를 상승시켜서 테이블 상의 글라스 기판을 수용하여 스테이지를 강하한 후에, 주행체의 후퇴주행의 도중에 글라스 기판의 나머지 2변 가장자리를 회전숫돌에 의하여 연마하기 때문에 글라스 기판의 4가장자리의 연마를 능률적으로 할 수 있고 또한 글라스 기판의 사이즈에 따라 서로 평행한 스테이지를 접근 또는 이반시켜서, 글라스 기판의 사이즈에 따른 수용이 가능하게 된다.

이 때문에 글라스 기판의 사이즈에 따른 테이블의 교환이 불필요하게 된다.

특히 글라스 기판이 직사각형인 경우에, 주행체의 전진 시와 후퇴 시의 연마에 있어서, 일방에서 단변 가장자리의 연마를, 타방에서 장변 가장자리의 연마를 할 수 있음과 아울러 글라스 기판의 선회에 동반하는 가장자리 이동(예를 들면 단변에서부터 장변의 연마위치로 변경)에 의한 위치변경에 있어서도 스테이지의 위치변경에 따라 글라스 기판을 수용할 수 있다.

또한 글라스 기판의 얼라인먼트 마크를 카메라로 읽어 θ축 보정수단에 의하여 글라스 기판의 흡인지지기능이 있는 테이블을 시계, 반시계방향으로 회전시키면서 베벨링폭에 오차가 발생하지 않도록 수정한다.

이 때문에 폭이 균일한 베벨링가공(정밀도가 좋은)이 가능함과 아울러 각도 오차의 자동수정이 가능하여, 종래와 같은 오차의 수정을, 우선 흡인지지를 해제하여 글라스 기판을 선회 보정한 후에 다시 흡인 지지하는 수고가 따르는 공정이 불필요 하게 되고, 또한 완전한 오차수정이 불가능 하기 때문에 정밀도가 나쁜 베벨링가공이 된다고 하는 문제점을 없애는 것이 가능하다.

또한 주행체의 테이블 상에 지지되어 있는 글라스 기판의 얼라인먼트 마크를 카메라로 읽어 글라스 기판의 각도보정을 필요로 하는 경우에, θ축 보정수단에 의하여 테이블과 함께 흡인지지 글라스 기판을 선회시켜 보정하고, 또한 2변 가장자리를 연마한 후에 전진주행정지 시의 글라스 기판의 바로 위에 이동체를 이동시킨 뒤에 테이블 상의 흡인지지가 해제된 글라스 기판을 승강수단에 의하여 하강시키고 흡인지지수단에 의하여 흡인지지 하여 수용하고, 계속하여 승강수단에 의하여 글라스 기판과 함께 흡인지지수단과 함께 수용된 글라스 기판을 상승시킨 뒤에, 선회수단에 의하여 흡인지지수단과 함께 글라스 기판을 90도 선회시키고, 그 후에 테이블 상에 글라스 기판을 수용시켜 흡인지지 시킨 후에, 주행체를 후퇴 주행시키고, 계속하여 주행체를 전진시키면서 전진주행 도중에 카메라에 의하여 얼라인먼트 마크를 읽어 보정이 필요한 경우에 보정수단에 의한 테이블의 선회, 회전숫돌에 의한 나머지 2변의 연마를 하기 때문에 폭이 균일한(정밀도가 좋은) 베벨링가공이 가능하고, 또 이동체의 이동을 이용하여 글라스 기판의 테이블에 대한 공급이나 베벨링가공이 끝난 글라스 기판의 반출도 가능하다.

Claims (3)

1. 진퇴주행수단에 의하여 진퇴 주행하는 주행체(走行體)와,

   이 주행체의 중심 부분에 선회수단(旋回手段)에 의하여 선회하도록 설치되어 수용된 글라스 기판을 흡인하여 지지하는 테이블(table)과,

   이 테이블 상의 대향하는 2변 측에 가이드 수단에 의하여 접근(接近), 이반(離反) 주행하도록 설치된 2개의 병렬하는 글라스 기판 받이 스테이지(stage)와,

   이 양 스테이지를 접근, 이반 주행시키는 슬라이드 주행수단(slide 走行手段)과,

   상기 주행체의 주행로(走行路)의 양측에 설치된 글라스 기판의 가장자리 연마용의 회전숫돌(回轉숫돌)로

   이루어지고,

   상기 테이블 또는 스테이지의 어느 한 쪽을 승강수단에 의하여 승강시키도록 하는 것을 특징으로 하는 연마장치(硏磨裝置).
2. 제1항에 있어서,

   상기 주행체와 흡인지지기능이 있는 테이블의 사이에 상기 흡인지지기능이 있는 테이블의 θ축 보정수단을 통하여 카메라에 의하여 글라스 기 판의 얼라인먼트 마크를 읽어 가장자리 베벨링 폭의 오차를 수정하도록 상기 θ축 보정수단을 운전하도록 연동시키는 것을 특징으로 하는 연마장치.
3. 진퇴주행수단에 의하여 진퇴 주행하는 주행체(走行體)와,

   이 주행체 상에 θ축 보정수단을 통하여 설치되어 수용된 글래스 기판의 흡인지지기능이 있는 테이블과,

   이 테이블의 대향하는 2변 측에 가이드 수단에 의하여 접근(接近), 이반(離反) 주행하도록 설치된 2개의 병렬하는 글라스 기판 받이 스테이지(stage)와,

   이 양 스테이지를 접근, 이반 주행시키도록 설치되는 슬라이드 주행수단(slide 走行手段)과,

   상기 주행체의 주행로(走行路)의 양측에 설치된 글라스 기판의 가장자리 연마용의 회전숫돌(回轉숫돌)과,

   상기 주행체의 전진정지위치(前進停止位置)의 주행로 바로 위와 상기 주행로로부터 떨어진 대피위치의 사이에 이동수단에 의하여 이동하도록 설치된 이동체와,

   승강수단에 의하여 승강하여 상기 테이블 상의 글라스 기판을 흡인지지 하도록 상기 이동체에 설치된 흡인지지수단과,

   이 흡인지지수단을 선회시키도록 설치된 선회수단

   으로 이루어지고,

   카메라에 의하여 글라스 기판의 얼라인먼트 마크를 읽어 가장자라 베벨링 폭의 오차를 수정하도록 상기 θ축 보정수단을 운전하도록 연동시키는 것을 특징으로 하는 연마장치.

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