KR20020038756A - Method of forming a grating in an optical waveguide - Google Patents
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Abstract
본 발명은 관(34) 중에 섬유를 놓고, 상기 관을 밀봉시키고, 상기 관(38) 중의 섬유에 격자를 기입하는 것에 관한 것이다.The present invention relates to placing fibers in a tube (34), sealing the tube, and writing a lattice to the fibers in the tube (38).
Description
1970년대 후반 이래로 특정 파장 및 강도의 빛에 대한 광도파관 섬유의 민감도가 알려져 왔다. 도파관 섬유의 손실 특성 및 굴절률은 주어진 파장 및 강도의 빛에 도파관을 노출하고, 광섬유의 길이에 따라 굴절률에서 주기적 변화가 형성되도록함으로써 지속적으로 변화될 수 있다는 것이 확인되었다. 상기 도파관의 장축을 따르는 도파관의 굴절률에서 주기적 변화는 통상적으로 광도파관 격자로 알려져 있다. 섬유 브래그 격자는 상기 격자 주기의 두배인 파장을 갖는 전파된 빛을 선별적으로 여과하는 도파관 섬유 중의 광도파관 격자이다. 상기 섬유 브래그 격자는 도파관 필터로서 유용하다.Since the late 1970s, the sensitivity of optical waveguide fibers to light of a particular wavelength and intensity has been known. It has been found that the loss characteristics and refractive index of the waveguide fibers can be changed continuously by exposing the waveguide to light of a given wavelength and intensity and allowing periodic changes in the refractive index to be formed over the length of the optical fiber. The periodic change in the refractive index of the waveguide along the long axis of the waveguide is commonly known as an optical waveguide grating. Fiber Bragg gratings are optical waveguide gratings in waveguide fibers that selectively filter out propagated light having a wavelength that is twice the grating period. The fiber Bragg grating is useful as a waveguide filter.
섬유 브래그 격자는 주기적 섭동(perturbation)을 생성하기 위해 화학 방사선(actinic radiation), 에칭, 또는 다른 메커니즘으로 기입(writing)하는 것을 포함하는 다중 단계 공정에 의해 형성될 수 있다. 측면 기입은 광도파관 섬유 중에격자를 형성하는 기술이고, 여기서, 화학 방사선 같은 빛은 상기 도파관의 장축을 따라 명/암 무뉘(fringe)를 교대시키는 주기적 배열을 형성하도록 한다. 그러한 주기적 배열의 예는 도파관 섬유의 측면 및 도파관 섬유의 장축의 일부를 따라 형성된 간섭 패턴이다. 상기 빛 간섭에 의해 생성된 상기 주기적 빛 강도 패턴은 상기 도파관 섬유의 장축의 일부를 따라 굴절률의 주기적 변화를 유도한다.Fiber Bragg gratings may be formed by a multi-step process that includes writing with actinic radiation, etching, or other mechanism to produce periodic perturbation. Lateral writing is a technique for forming a lattice in an optical waveguide fiber, where light such as actinic radiation causes a periodic arrangement of alternating light / dark fringes along the long axis of the waveguide. An example of such a periodic arrangement is an interference pattern formed along the side of the waveguide fiber and along a portion of the long axis of the waveguide fiber. The periodic light intensity pattern generated by the light interference induces a periodic change in refractive index along a portion of the long axis of the waveguide fiber.
상기 섬유 격자 처리 단계 동안, 상기 베어(bare) 섬유의 오염물에 대한 노출은 상기 섬유 격자 디바이스의 오류 및 저하된 신뢰성을 유도할 수 있다. 부가적으로 섬유 슬립페이지(slippage) 때문에 격자 분해를 방지하기 위해 섬유가 충분한 안정성을 갖도록 하는데 어려움이 있을 수 있다. 그러한 슬립페이지는 적은 양의 인장을 사용하는 그것의 폴리머 코팅에 의해 상기 섬유를 유지하는 것이 필수적이기 때문에 일어날 수 있다.During the fiber grating processing step, exposure of the bare fibers to contaminants can lead to errors and degraded reliability of the fiber grating device. In addition, due to fiber slippage, it may be difficult to make the fiber have sufficient stability to prevent lattice degradation. Such slippage can occur because it is essential to maintain the fiber by its polymer coating using a small amount of tension.
따라서, 상기 격자를 기입하는 과정 동안, 상기 광섬유의 벗겨진(stripped) 부분을 보호하는 섬유 브래그 격자를 제조하는 공정을 제공하는 것이 매우 이로울 것이다.Therefore, it would be very beneficial to provide a process for making a fiber Bragg grating that protects the stripped portion of the optical fiber during the process of writing the grating.
발명의 요약Summary of the Invention
본 발명은 광도파관에서 격자를 형성하는 바람직한 방법을 제공한다. 상기 격자를 상기 광도파관에 기입하기 전에 팩키지에 감광화된 광도파관을 위치시킴으로써, 본 발명은 상기 광도파관이 상기 제조 공정 단계 동안 오염으로부터 안전하게 유지되고, 보호되도록 한다.The present invention provides a preferred method of forming a grating in an optical waveguide. By placing the photosensitized optical waveguide in a package prior to writing the grating to the optical waveguide, the present invention allows the optical waveguide to be kept safe and protected from contamination during the manufacturing process step.
본 발명의 한 관점에 따라, 본 발명은 밀폐형 구조(enclosing structure) 내에 광도파관을 위치시키는 단계, 상기 도파관이 상기 구조내에 단단히 위치되도록 상기 구조를 밀봉시키는 단계, 및 상기 도파관의 일부분 내에 격자를 형성시키는 단계를 포함한다.According to one aspect of the present invention, the present invention provides a method of positioning a light waveguide in an enclosing structure, sealing the structure such that the waveguide is firmly positioned within the structure, and forming a grating in a portion of the waveguide. It comprises the step of.
다른 관점에서, 본 발명의 실시형태는 상기 광도파관을 감광화시키는 단계, 상기 격자의 분광 성능을 시험하는 단계, 상기 밀봉된 구조 내에 상기 격자를 튜닝하는 단계, 및 상기 격자 및 상기 구조를 어닐링시키는 단계를 포함한다.In another aspect, embodiments of the present invention provide a method of photosensitizing the optical waveguide, testing the spectral performance of the grating, tuning the grating within the sealed structure, and annealing the grating and the structure. It includes.
상기 광도파관은 예컨대, 단일 모드 또는 멀티모드 광섬유, 멀티코어 광섬유, 채널 도파관, 또는 평면 도파관의 것을 포함하는 다양한 특정 형태를 가질 수 있다.The optical waveguide may have various specific forms, including, for example, single mode or multimode optical fiber, multicore optical fiber, channel waveguide, or planar waveguide.
본 발명의 더욱 완벽한 이해 및 다른 특징과 이점이 하기 상세한 설명 및 첨부되는 도면으로부터 명확할 것이다.A more complete understanding of the invention and other features and advantages will be apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.
본 발명은 일반적으로 섬유 광학 부품의 제조에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 광도파관에 브래그 반사 격자를 형성하는 방법에 관한 것으로, 이에 의해 상기 광섬유는 제조시 오염으로부터 보호된다.The present invention relates generally to the manufacture of fiber optic components. More specifically, the present invention relates to a method of forming a Bragg reflector grating in an optical waveguide, whereby the optical fiber is protected from contamination during manufacture.
도 1은 본 발명에 따른 격자 팩키지의 단면도이고,1 is a cross-sectional view of a grid package according to the present invention,
도 2는 본 발명에 따른 섬유 격자를 형성하는 방법의 플로우 차트이고,2 is a flow chart of a method of forming a fiber grating according to the present invention,
도 3은 본 발명에 따라 형성된 섬유 격자의 반사 곡선의 그래프이고,3 is a graph of the reflection curve of a fiber grating formed in accordance with the present invention,
도 4는 본 발명에 따라 형성된 섬유 격자의 투과 곡선의 그래프이고,4 is a graph of the permeation curve of a fiber grating formed in accordance with the present invention,
도 5는 본 발명에 따라 형성된 다중 시간 간격에서 섬유 격자의 투과 스펙트럼의 그래프이다.5 is a graph of the transmission spectrum of a fiber grating at multiple time intervals formed in accordance with the present invention.
본 발명은 하기 첨부되는 도면을 참고로 더욱 완벽하게 기술될 것이고, 여기서, 본 발명의 수개의 바람직한 실시형태를 나타낸다. 그러나, 본 발명은 다양한 형태로 구체화될 수 있고, 여기서 나타낸 실시형태로 제한되는 것으로 구성되지 않는다. 오히려, 이들 대표 실시형태는 상세히 기술되어 이 개시는 전체적으로 완전해지고, 상기 범위, 구조, 운전, 기능, 및 종래 기술에의 본 발명의 적용가능성을 충분히 수행할 것이다.The invention will be more fully described with reference to the accompanying drawings, in which several preferred embodiments of the invention are shown. However, the invention may be embodied in various forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these representative embodiments are described in detail so that this disclosure will be thorough in its entirety and will fully implement the scope, structure, operation, function, and applicability of the invention to the prior art.
도면에서, 도 1은 하기 기술된 방법으로 형성된 본 발명에 따른 격자 팩키지(10)의 단면도이다. 기술적 목적으로, 상기 도파관이 광도파관 섬유이고, 상기 팩키지가 일반적으로 관-형(tube-shaped)인 실시형태를 하기 나타내고, 논의된다. 그러나, 본 발명의 방법은 또한, 팩키지 형태 및 공정 단계의 적당한 수정으로 다양한 형태의 도파관으로 사용될 수 있는 것이 이해될 것이다. 광섬유(12)는 자외선(UV) 같은 화학 방사선에 투명성인 물질로 형성된 관-형 구조(14)에 의해 부분적으로 밀폐된다. UV 선에 투명성인 보론-도핑 실리카 또는 다른 유리가 상기 구조(14)에 대해 적당한 재료이다. 상기 관-형 구조(14)는 내부 직경 "a"(예컨대, 255-1000㎛), 외부 직경 "b"(예컨대, 3.0mm) 및 길이 "c"(예컨대, 70mm)를 갖는다. 그것의 코팅(16)을 포함하는 상기 광섬유(12)는 외부 직경 "d"(예컨대, 250㎛)를 갖는다. 상기 코팅(16)은 상기 속이 빈 관(14) 내에 포함된 광섬유(12)의 길이를 따라 벗겨진다.In the drawings, FIG. 1 is a cross-sectional view of a grating package 10 according to the invention formed by the method described below. For technical purposes, the waveguide is an optical waveguide fiber and an embodiment in which the package is generally tube-shaped is shown and discussed below. However, it will be appreciated that the method of the present invention can also be used with various types of waveguides with appropriate modifications of package form and process steps. The optical fiber 12 is partially sealed by a tubular structure 14 formed of a material that is transparent to actinic radiation such as ultraviolet (UV) light. Boron-doped silica or other glass that is transparent to UV radiation is a suitable material for the structure 14. The tubular structure 14 has an inner diameter “a” (eg 255-1000 μm), an outer diameter “b” (eg 3.0 mm) and a length “c” (eg 70 mm). The optical fiber 12, including its coating 16, has an outer diameter “d” (eg, 250 μm). The coating 16 is stripped along the length of the optical fiber 12 contained in the hollow tube 14.
상기 빈 관(14)의 각 말단(22,23)에 배치된 두개의 시일(20, 21)은 상기 섬유 격자(18)를 포함하는 광섬유(12)의 영역을 팽팽하게 유지하고, 지지한다. 상기 시일(20, 21)은 프릿(frit)일 수 있고, 이는 구리 유리 또는 다른 적당한 물질을 포함한다. 상기 팩키지(10)는 또한, 상기 관-형 구조(14)의 각 말단(22, 23)에 배치된 에폭시 또는 다른 적당한 물질의 두 개의 플러그(24, 25)를 포함한다. 상기 구조(14)의 말단(22, 23)은 상기 플러그(24, 25)의 배열 및 상기 광섬유(12)의 삽입을 용이하게 하기 위하여 예컨대, 45°의 각으로 깔때기-형(funnel-shaped)이다.Two seals 20, 21 disposed at each end 22, 23 of the hollow tube 14 hold and support the area of the optical fiber 12 including the fiber grating 18. The seals 20, 21 may be frits, which include copper glass or other suitable material. The package 10 also includes two plugs 24, 25 of epoxy or other suitable material disposed at each end 22, 23 of the tubular structure 14. The ends 22, 23 of the structure 14 are funnel-shaped, for example, at an angle of 45 ° to facilitate the arrangement of the plugs 24, 25 and the insertion of the optical fiber 12. to be.
본 발명의 바람직한 재료 및 치수가 여기에 기술되는 반면, 본 발명의 상기 격자 팩키지(10)는 다양한 재료 및 크기를 포함할 수 있고, 여기서 기술된 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명에 적당한 다른 격자 팩키지 및 패키징 방법의 상세한설명이 여기서 참고문헌으로 포함된 "장-주기 섬유 격자를 팩키지하는 방법 및 장치"의 제목으로 1999년 9월 16일자로 출원된 미국 특허 출원(파일번호 Carberry 6)에 제공된다.While preferred materials and dimensions of the present invention are described herein, the grating package 10 of the present invention may include a variety of materials and sizes, and is not limited to the embodiments described herein. A US patent application filed on Sep. 16, 1999 entitled "Methods and Apparatus for Packaging Long-Period Fiber Lattice", which details of other grating packages and packaging methods suitable for the present invention are incorporated herein by reference. The number is given to Carberry 6).
도 2는 본 발명에 따른 팩키지(상기 격자 팩키지(10)와 같은)에 도파관 격자를 형성하는 방법(30)을 도시한다. 감광화(sensitizing) 단계(32)에서, 예컨대, 광섬유 같은 도파관이 감광화된다. 본 발명에 적당한 광섬유의 예는 고-델타, 게르마늄 도핑, 실질적으로 2%의 델타 인덱스를 갖는 스텝-인덱스(step-index) 섬유이다. 여기서 사용된 바와 같이, 상기 델타 인덱스라는 용어는 상기 광섬유의 코어 및 클래딩 사이의 상대 굴절률 차이를 지시하는 것이고, 퍼센티지로 나타낸다. 상기 광섬유를 감광화하는 적당한 공정의 예는 상기 광섬유를 2주 동안 100기압의 수소 분위기에 노출시키는 단계를 포함한다. 상기 섬유의 섹션은 자외선에 플로드(flood) 노출된다. 15Hz에서 펄스된 248nm에서 작동하는 UV 레이저는 이 플로드 노출에 적당한 것으로 확인되었다. 상기 노출은 30분 동안 75밀리주울/㎠의 펄스 플루언스(fluence)에서 수행될 수 있다. 상기 광섬유는 125℃에서 24시간 동안 어닐링된다. 본 발명의 감광화에 적절한 다른 공정은 여기서 전체적으로 참고문헌으로 포함된 "광도파관 감광화"라는 제목으로 1999년 2월 18일자로 출원된 미국 특허 출원 제09/252,151호에 기술된다.2 illustrates a method 30 of forming a waveguide grating in a package (such as the grating package 10 above) according to the present invention. In the sensitizing step 32, a waveguide, such as an optical fiber, is sensitized. Examples of suitable optical fibers for the present invention are high-delta, germanium doped, step-index fibers having a delta index of substantially 2%. As used herein, the term delta index indicates the difference in relative refractive index between the core and cladding of the optical fiber and is expressed as a percentage. Examples of suitable processes for photosensitive the optical fiber include exposing the optical fiber to 100 atmospheres of hydrogen atmosphere for two weeks. A section of the fiber is exposed to ultraviolet light. UV lasers operating at 248 nm pulsed at 15 Hz were found to be suitable for this flode exposure. The exposure can be performed at a pulse fluence of 75 milli Joules / cm 2 for 30 minutes. The optical fiber is annealed at 125 ° C. for 24 hours. Other processes suitable for the photosensitization of the present invention are described in US patent application Ser. No. 09 / 252,151, filed Feb. 18, 1999, entitled "Light Waveguide Sensitization," which is hereby incorporated by reference in its entirety.
다음에, 패키징 단계(34)에서, 상기 광섬유는 속이 빈 관(상기 속이 빈 관(14)와 같은)에 위치되고, 팩키지를 형성하도록 밀봉된다. 상기 팩키지는 상기 공정 단계 동안 오염으로부터 상기 광섬유를 단단히 지지하고, 보호한다. 격자 기입 단계(36)에서, 격자가 상기 광섬유에 기입된다. 다양한 측면 기입 기술이 상기 격자를 상기 광섬유에 기입하는데 사용될 수 있다. 본 발명에 적절한 기술로, 실질적으로 240nm(나노미터)에서 작동하는 엑시머-펌프(excimer-pumped), 주파수-두배 다이 레이저 시스템(frequency-doubled dye laser system)이 상기 자외선의 소스로서 사용된다. 상기 레이저에 의해 생성된 240nm 빔이 먼저 실리카 슬릿을 통과한다. 적당한 실리카 슬릿은 여기서 전체적으로 참고문헌으로 포함된 "고압 레이저 빔용 공간 필터"라는 제목으로 1998년 5월 19일자로 출원된 미국 특허 출원 제09/081,912호에 개시된다. 상기 240nm 빔이 상기 실리카 슬릿을 통과한 후, 이는 상 마스크, 그리고, 상기 실리카 관내의 광섬유를 통과한다. 상기 상 마스크는 투과 회절 격자일 수 있고, 요소의 구조 및 특성은 종래 공지되어 있다. 상 마스크는 또한, 주기적 간격의 연속되는 개구수를 갖는 기판일 수 있다. 상기 격자 기입 단계(36) 동안, 상술된 실시형태에서 관(14)은 상기 상 마스크로부터 대략 4밀리미터에 위치된다. 상기 엑시머 레이저의 빔으로부터 펄스된 노출은 25분 동안 10Hz의 반복률(repitition rate)로 존재한다. 상기 광 섬유의 위치에서 레이저 플루언스 또는 강도는 대략 75밀리주울/㎠이다. 상기 생성 격자의 예시적 반사 및 투과 곡선이 도 3 및 4에 각각 도시된다. 상기 레이저 빔에 노출 동안 평균 굴절률 변화는 대략 2 ×10-4이다.Next, in packaging step 34, the optical fiber is placed in a hollow tube (such as the hollow tube 14) and sealed to form a package. The package firmly supports and protects the optical fiber from contamination during the processing step. In the lattice writing step 36, a lattice is written into the optical fiber. Various lateral writing techniques can be used to write the grating to the optical fiber. In a technique suitable for the present invention, an excimer-pumped, frequency-doubled dye laser system operating substantially at 240 nm (nanometer) is used as the source of the ultraviolet light. The 240 nm beam generated by the laser first passes through the silica slit. Suitable silica slits are disclosed in US patent application Ser. No. 09 / 081,912, filed May 19, 1998 entitled "Spatial Filters for High Pressure Laser Beams", which is hereby incorporated by reference in its entirety. After the 240 nm beam passes through the silica slit, it passes through an image mask and an optical fiber in the silica tube. The image mask may be a transmission diffraction grating, the structure and properties of the elements being known in the art. The image mask may also be a substrate having consecutive numerical apertures at periodic intervals. During the lattice writing step 36, the tube 14 in the embodiment described above is located approximately 4 millimeters from the image mask. Exposure pulsed from the beam of the excimer laser is present at a repetition rate of 10 Hz for 25 minutes. The laser fluence or intensity at the location of the optical fiber is approximately 75 mill Joules / cm 2. Exemplary reflection and transmission curves of the resulting grating are shown in FIGS. 3 and 4, respectively. The average refractive index change during exposure to the laser beam is approximately 2 × 10 −4 .
다음에, 제1 시험 단계(38)에서, 상기 격자의 분광 성능이 시험된다. 분광 성능이 제1 튜닝 단계(40)에서 조절, 또는 튜닝된다. 상기 제1 튜닝 단계(40)에서,상기 격자는 상기 격자에 요구된 분광 타겟을 충족하기 위하여 예컨대, 5분 동안 실질적으로 248nm에서 작동하는 엑시머 레이저 시스템에 의해 제공된 UV선에 플로드 노출된다. 상술된 실시형태의 광섬유의 위치에서, 상기 레이저 플루언스는 대략 75밀리주울/㎠이고, 상기 반복률은 15Hz이다. 도 5는 상기 플로드 노출 동안 다중 시간 간격에서 상기 섬유 격자의 예시적 투과 스펙트럼을 도시한다. 상기 노출 시간 동안, 대략 0.15nm의 총 파장 시프트가 발생한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 투과 최소값은 상기 격자 변조(modulation)의 진폭에서 감소 때문에 노출 시간에 따라 증가한다. 격자 변조에서 감소는 상기 격자의 이전에 빛에 노출된 트로프(trough)에서 굴절률의 증가의 결과이다. 상술된 실시형태에서, 이는 제1 어닐링 단계(42)가 따른다. 이 단계(42)에서 상기 팩키지는 125℃에서 24시간 동안 어닐링된다.Next, in a first test step 38, the spectral performance of the grating is tested. The spectral performance is adjusted or tuned in the first tuning step 40. In the first tuning step 40, the grating is flood exposed to UV rays provided by an excimer laser system operating at substantially 248 nm, for example, for 5 minutes to meet the spectral target required for the grating. At the position of the optical fiber of the above-described embodiment, the laser fluence is approximately 75 mill Joules / cm 2, and the repetition rate is 15 Hz. 5 shows an exemplary transmission spectrum of the fiber grating at multiple time intervals during the float exposure. During this exposure time, a total wavelength shift of approximately 0.15 nm occurs. As shown in Figure 5, the transmission minimum increases with exposure time because of a decrease in the amplitude of the grating modulation. The decrease in grating modulation is the result of an increase in the refractive index in the trough previously exposed to light of the grating. In the embodiment described above, this is followed by a first annealing step 42. In this step 42 the package is annealed at 125 ° C. for 24 hours.
하나의 실시형태에서, 본 발명은 다른 시험, 튜닝 및 어닐링 단계로 수행될수 있다. 제2 시험 단계(44)에서, 상기 격자의 분광 성능은 상기 격자가 상기 분광 타겟을 충족하는 지를 확인하기 위해 시험된다. 상기 격자가 상기 분광 타겟을 충족하지 못하면, 제2 튜닝 단계(46)에서, 상기 격자는 상기 격자를 튜닝하기 위해 실질적으로 248nm에서 운전하는 엑시머 레이저 시스템에 의해 UV 선에 플로드 노출된다. 상술된 바와 같이, 상기 광섬유의 위치에서, 상기 레이저 플루언스는 대략 75밀리주울/㎠이고, 상기 반복률은 15Hz이다. 최종 어닐링 단계(48)에서 상기 팩키지는 125℃에서 24시간 동안 어닐링된다.In one embodiment, the present invention can be performed with other testing, tuning and annealing steps. In a second test step 44, the spectral performance of the grating is tested to see if the grating meets the spectral target. If the grating does not meet the spectral target, in a second tuning step 46, the grating is flood exposed to UV radiation by an excimer laser system operating at substantially 248 nm to tune the grating. As described above, at the location of the optical fiber, the laser fluence is approximately 75 mill Joules / cm 2 and the repetition rate is 15 Hz. In the final annealing step 48 the package is annealed at 125 ° C. for 24 hours.
다양한 수정 및 변경이 본 발명의 관점 및 범위를 벗어나지 않고, 이루어질 수 있음이 명확하다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구항 및 그들의 등가물의 관점 내에 제공된 본 발명의 수정 및 변화를 포함하는 것으로 의도된다.It is clear that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the present invention cover the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.
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