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KR102686260B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR102686260B1
KR102686260B1 KR1020230002173A KR20230002173A KR102686260B1 KR 102686260 B1 KR102686260 B1 KR 102686260B1 KR 1020230002173 A KR1020230002173 A KR 1020230002173A KR 20230002173 A KR20230002173 A KR 20230002173A KR 102686260 B1 KR102686260 B1 KR 102686260B1
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unit
area
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processing apparatus
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KR1020230002173A
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무네아키 오에
다케시 미쓰바야시
다카아키 모리이
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Publication date
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Abstract

[과제] 기판 처리 장치의 길이를 단축한다.
[해결 수단] 기판 처리 장치는, 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피(被)반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 기판이 이동하는 왕로 부분과, 인터페이스부로부터 인덱서 장치를 향해 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 노광 장치로부터 인터페이스부에 반입된 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는다. 왕로 부분은, 인덱서 장치로부터 반입된 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와, 세정부에서 세정 처리가 실시된 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와, 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와, 세정부로부터의 기판의 반출, 버퍼부로의 기판의 반입, 버퍼부로부터의 기판의 반출, 및 도포부로의 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함한다. 귀로 부분은, 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본 발명은, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
종래, 복수의 기판을 수용하는 카세트를 재치(載置)하는 재치대와 반송 장치를 갖는 장치(인덱서 장치라고도 한다)로부터 반입된 기판을 대상으로 하여, 전처리, 포토레지스트의 도포막의 형성 처리, 감압 건조 처리, 가열 건조 처리, 노광 장치로의 반출, 노광 장치로부터의 반입, 노광 후의 포토레지스트막의 현상 처리, 린스 처리, 및 건조 처리 등을 순서대로 행하여, 인덱서 장치에 기판을 반출하는 기판 처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1~5 등).
전처리에서는, 예를 들면, 기판에 대해, 자외(UV)광의 조사에 의한 유기물의 제거, 세정액을 이용한 세정, 블로어 등에 의한 건조, 가열 건조, 헥사메틸디실란(HMDS)의 내뿜음에 의한 소수화 처리, 및 냉풍의 내뿜음에 의한 냉각이 순서대로 행해진다. 여기서, 예를 들면, 소수화 처리는, 기판의 표면에 대한 포토레지스트막의 밀착성을 향상시키기 위한 처리이다. 예를 들면, 노광 장치로의 기판의 반출 및 노광 장치로부터의 기판의 반입은, 인터페이스부의 반송 장치에 의해 실행될 수 있다.
이 기판 처리 장치에 대해서는, 예를 들면, 특허문헌 1~5에 기재되어 있는 바와 같이, 전장(全長)의 단축이 지향되고 있다.
일본국 특허공개 2019-220628호 공보 일본국 특허공개 2020-35884호 공보 일본국 특허공개 2020-35935호 공보 일본국 특허공개 2020-107686호 공보 일본국 특허공개 2020-107747호 공보
그런데, 예를 들면, 기판이 대형의 액정 표시 장치용의 유리 기판인 경우 등, 기판 상에 포토레지스트의 도포막을 형성하기 전에, 건조된 기판에 소수화 처리를 실시하지 않아도 되는 경우가 있다. 이 경우에는, 전처리에 있어서, 가열 건조 및 소수화 처리를 실시하는 공정을 생략하는 것이 가능하다. 여기에서는, UV광의 조사에 의한 유기물의 제거, 세정액을 이용한 세정, 및 블로어 등에 의한 건조 등의 세정 처리를 실시하는 세정부로부터, 컨베이어(중계 컨베이어라고도 한다)를 이용하여, 포토레지스트의 도포막을 형성하는 도포부에 기판을 반송하는 양태가 생각된다.
이러한 양태에서는, 예를 들면, 도포부가 어떠한 원인에 의해 정지했을 때에는, 세정부 내에서 세정 중인 복수 장의 기판에 대해서는, 세정부 내에 있어서의 세정을 완료시켜, 세정부와 도포부 사이에 위치하고 있는 중계 컨베이어 상에서 대기시키는 것이 생각된다. 이에 의해, 예를 들면, 복수 장의 기판이 불량인 기판으로서 폐기의 대상이 되는 문제가 회피될 수 있다.
그러나, 이 경우에는, 복수 장의 기판을 대기시키는 에어리어(기판 대기 에어리어라고도 한다)를 확보하기 위해서, 중계 컨베이어의 기판의 반송 방향(기판 반송 방향이라고도 한다)에 있어서의 길이가 길어진다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치 중, 세정부에 있어서의 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 개소로부터 인터페이스부에 이르기까지 기판이 이동하는 경로를 구성하는 부분(왕로 부분이라고도 한다)의 길이가 길어진다. 여기서, 예를 들면, 공장 내에 있어서 기판 처리 장치의 배치가 가능한 영역에 제한이 있으면, 세정부와 도포부 사이에, 기판 대기 에어리어가 확보된 중계 컨베이어를 배치하는 것이 곤란한 경우가 있다.
또, 예를 들면, 배관 등의 각종 구성의 설계상의 제약으로, 세정부에 있어서의 기판의 이동 경로(제1 패스 라인이라고도 한다)의 높이와, 도포부에 있어서의 기판의 이동 경로(제2 패스 라인이라고도 한다)의 높이가 상이한 경우가 있다. 여기에서는, 제1 패스 라인의 높이가 제2 패스 라인의 높이보다 높은 형태와, 제1 패스 라인의 높이가 제2 패스 라인의 높이보다 낮은 형태가 생각된다. 이 경우에는, 예를 들면, 중계 컨베이어의 일부에, 승강하는 기구를 구비한 컨베이어(승강 컨베이어라고도 한다)를 배치하는 것이 생각된다.
그러나, 예를 들면, 기판 대기 에어리어의 확보에 추가하여, 승강 컨베이어의 존재를 실현하면, 세정부와 도포부 사이에 위치하고 있는 중계 컨베이어의 기판 반송 방향에 있어서의 길이가 길어질 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치에 있어서의 왕로 부분의 길이가 길어질 수 있다. 여기서, 예를 들면, 공장 내에 있어서의 기판 처리 장치를 배치할 수 있는 영역에 제한이 있으면, 세정부와 도포부 사이에, 기판 대기 에어리어의 확보와 승강 컨베이어의 존재를 실현한 중계 컨베이어를 배치하는 것이 곤란한 경우가 있다.
또, 예를 들면, 기판의 상하의 주면이 장방형상이며, 세정부의 제1 패스 라인에 있어서 기판이 주면의 제1 변을 따른 방향으로 반송되고, 도포부의 제2 패스 라인에 있어서 기판이 주면의 제1 변과 직교하는 제2 변을 따른 방향으로 반송되는 경우가 생각된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 제1 패스 라인과 제2 패스 라인 간에, 기판의 반송 방향에 대한 기판의 방향이 상이한 경우가 생각된다. 여기에서는, 예를 들면, 제1 변이 장변이고 또한 제2 변이 단변인 양태와, 제1 변이 단변이고 또한 제2 변이 장변인 양태가 생각된다. 이 경우에는, 예를 들면, 중계 컨베이어의 일부에, 기판의 방향을 수평면을 따라 90도 회전시키는 턴테이블(회전대라고도 한다)을 구비한 컨베이어(회전대를 갖는 컨베이어라고도 한다)를 배치하는 것이 생각된다. 이 경우에는, 예를 들면, 도포부로부터 인터페이스부에 이르는 경로 상에 기판의 방향을 수평면을 따라 90도 회전시킴으로써, 기판의 방향을, 제1 패스 라인에 있어서의 기판의 방향으로 되돌리는 회전대 등의 기구가 존재하고 있어도 된다.
그러나, 예를 들면, 기판 대기 에어리어의 확보에 추가하여, 회전대를 갖는 컨베이어의 배치를 실현하면, 중계 컨베이어의 기판 반송 방향에 있어서의 길이가 길어질 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치에 있어서의 왕로 부분의 길이가 길어질 수 있다. 여기서, 예를 들면, 공장 내에 있어서의 기판 처리 장치를 배치할 수 있는 영역에 제한이 있으면, 세정부와 도포부 사이에, 기판 대기 에어리어의 확보와 회전대를 갖는 컨베이어의 존재를 실현한 중계 컨베이어를 배치하는 것이 곤란한 경우가 있다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 기판 처리 장치의 길이를 단축할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 제1 양태에 따른 기판 처리 장치는, 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피(被)반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는다. 상기 왕로 부분은, 상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와, 상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와, 상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와, 상기 세정부로부터의 상기 기판의 반출, 상기 버퍼부로의 상기 기판의 반입, 상기 버퍼부로부터의 상기 기판의 반출, 및 상기 도포부로의 상기 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함한다. 상기 귀로 부분은, 상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함한다.
제2 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제1 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 반송 로봇은 상기 기판을 승강시킨다.
제3 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제1 또는 제2 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 버퍼부는, 상기 세정부 또는 상기 도포부에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있다.
제4 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제1 또는 제2 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 버퍼부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있다.
제5 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제1 또는 제2 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 버퍼부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있다.
제6 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제1 내지 제5 중 어느 하나의 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 왕로 부분은, 상하 방향을 따른 가상적인 회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 회전시키는 회전부를 더 포함하고, 상기 반송 로봇은, 상기 회전부로의 상기 기판의 반입 및 상기 회전부로부터의 상기 기판의 반출을 행한다.
제7 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제6 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 회전부는, 상기 세정부 또는 상기 도포부에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있다.
제8 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제6 또는 제7 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 회전부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있다.
제9 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제6 또는 제7 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 회전부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있다.
제10 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제1 내지 제5 중 어느 하나의 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 도포부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어, 또는 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있다.
제11 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제10 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 도포부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있다.
제12 양태에 따른 기판 처리 장치는, 제10 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 도포부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있다.
제13 양태에 따른 기판 처리 방법은, 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법이다. 상기 왕로 부분은, 상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와, 상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와, 상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와, 반송 로봇을 포함한다. 상기 귀로 부분은, 상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함한다. 상기 기판 처리 방법은, 상기 반송 로봇에 의해, 상기 세정부로부터 상기 기판을 반출하고, 상기 버퍼부로의 당해 기판의 반입 및 상기 버퍼부로부터의 당해 기판의 반출을 거치는 일 없이, 상기 도포부에 당해 기판을 반입하는 제1 공정과, 상기 반송 로봇에 의해, 상기 세정부로부터 상기 기판을 반출하고, 상기 버퍼부로의 당해 기판의 반입 및 상기 버퍼부로부터의 당해 기판의 반출을 거쳐, 상기 도포부에 당해 기판을 반입하는 제2 공정을 갖는다.
제1 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 세정부로부터 도포부로 기판을 반송하기 위해서, 반송 로봇과 버퍼부를 배치함으로써, 세정부와 도포부 사이에 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 배치하는 것보다, 왕로 부분의 길이가 단축될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치의 길이를 단축할 수 있다.
제2 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 세정부와 도포부 간에 기판의 패스 라인의 높이가 상이한 경우에, 승강 기구를 구비한 승강 컨베이어를 설치하는 일 없이, 반송 로봇에 의해 세정부로부터 도포부로 기판을 반송할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 왕로 부분의 길이가 단축될 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치의 길이를 단축할 수 있다.
제3 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 버퍼부를 세정부 또는 도포부에 대해 상하 방향으로 겹쳐서 배치함으로써, 기판 처리 장치의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제4 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 왕로 부분과 귀로 부분 사이의 에어리어를 유효 이용하여 버퍼부를 배치함으로써, 기판 처리 장치의 설치 면적을 저감할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제5 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 기판 처리 장치의 왕로 부분의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 버퍼부를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제6 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 세정부에 있어서의 기판의 패스 라인과 도포부에 있어서의 기판의 패스 라인 간에, 기판의 반송 방향에 대한 기판의 방향이 상이한 경우에, 회전부에 의해 용이하게 기판의 방향을 변경할 수 있다.
제7 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 회전부를 세정부 또는 도포부에 대해 상하 방향으로 겹쳐서 배치함으로써, 기판 처리 장치의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제8 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 왕로 부분과 귀로 부분 사이의 에어리어를 유효 이용하여 회전부를 배치함으로써, 기판 처리 장치의 설치 면적을 저감할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제9 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 기판 처리 장치의 왕로 부분의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 회전부를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제10 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 도포부가 세정부 측으로 어긋남으로써, 왕로 부분의 길이가 단축될 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치의 길이를 단축할 수 있다. 또, 예를 들면, 세정부의 제1 패스 라인과 도포부의 제2 패스 라인 간에, 기판의 반송 방향에 대한 기판의 방향이 상이한 경우에, 회전부를 설치하는 일 없이, 반송 로봇에 의해 기판의 방향을 변경시킨 상태에서 도포부에 기판을 반입할 수 있다.
제11 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에 왕로 부분과 귀로 부분 사이의 에어리어를 유효 이용하여 도포부를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제12 양태에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 예를 들면, 기판 처리 장치의 왕로 부분의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 도포부를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치의 설치가 용이해질 수 있다.
제13 양태에 따른 기판 처리 방법에 의하면, 예를 들면, 반송 로봇과 버퍼부를 이용하여 세정부로부터 도포부로 기판을 반송함으로써, 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 이용하여 세정부로부터 도포부로 기판을 반송하는 경우보다, 왕로 부분의 길이가 단축될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치의 길이를 단축할 수 있다. 또, 예를 들면, 정전기 방전(ESD)의 발생에 의해 기판에 문제가 발생할 리스크가 저감될 수 있다.
도 1은, 기판 처리 장치의 구성의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 2는, 왕로 부분의 일부 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은, 왕로 부분의 일부 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 종단면도이다.
도 4는, 통상 상태에 있어서의 세정부로부터 도포부로의 기판의 반송 동작에 대해 동작의 흐름의 일례를 나타내는 플로차트이다.
도 5는, 도포부가 정지한 이상 상태에서 개시되는 세정부로부터 도포부로의 기판의 반송 동작에 대해 동작의 흐름의 일례를 나타내는 플로차트이다.
도 6은, 도포부가 정지한 이상 상태에서 개시되는 세정부로부터 도포부로의 기판의 반송 동작에 대한 흐름의 일변형예를 나타내는 플로차트이다.
도 7은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 8은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 9는, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 10은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 11은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 12는, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 13은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 14는, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 15는, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 16은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 17은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 18은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 19는, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 20은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 21은, 왕로 부분의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 22는, 회전부가 없는 기판 처리 장치의 통상 상태에 있어서의 세정부로부터 도포부로의 기판의 반송 동작에 대해 동작의 흐름의 일변형예를 나타내는 플로차트이다.
도 23은, 회전부가 없는 기판 처리 장치의 도포부가 정지한 이상 상태에서 개시되는 세정부로부터 도포부로의 기판의 반송 동작에 대해 동작의 흐름의 일변형예를 나타내는 플로차트이다.
도 24는, 왕로 부분의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 25는, 왕로 부분의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 26은, 왕로 부분의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 27은, 왕로 부분의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 28은, 왕로 부분의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 각종 실시 형태에 대해 설명한다. 이들 실시 형태에 기재되어 있는 구성 요소는 어디까지나 예시이며, 본 발명의 범위를 그들만으로 한정하는 취지의 것은 아니다. 도면에 있어서는, 동일한 구성 및 기능을 갖는 부분에는 같은 부호가 붙여져 있으며, 하기 설명에서는 중복 설명이 생략된다. 또, 도면에 있어서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 필요에 따라 각 부의 치수 및 수가 과장 또는 간략화되어 도시되어 있다. 각 도면에 있어서는, 각 요소의 위치 관계를 설명하기 위해서, 도 2, 도 3, 도 7~도 21 및 도 24~도 28에는, 오른손 좌표계의 XYZ 직교 좌표계를 부여하고 있다. 여기에서는, X축 및 Y축이 수평 방향으로 연장되어 있고, Z축이 연직 방향(상하 방향)으로 연장되어 있는 것으로 한다. 또, 이하의 설명에서는, 화살표의 선단이 향하는 쪽을 +(플러스) 방향으로 하고, 그 역방향을 -(마이너스) 방향으로 한다. 여기에서는, 연직 방향 상향이 +Z방향이며, 연직 방향 하향이 -Z방향이다.
상대적 또는 절대적인 위치 관계를 나타내는 표현(예를 들면 「한 방향으로」 「한 방향을 따라」 「평행」 「직교」 「중심」 「동심」 「동축」 등 )은, 특별히 언급하지 않는 한, 그 위치 관계를 엄밀하게 나타낼 뿐만 아니라, 공차 혹은 동 정도의 기능이 얻어지는 범위에서 상대적으로 각도 또는 거리에 관해 변위된 상태도 나타내는 것으로 한다. 같은 상태임을 나타내는 표현(예를 들면 「동일」 「같다」 「균질」 등 )은, 특별히 언급하지 않는 한, 정량적으로 엄밀하게 같은 상태를 나타낼 뿐만 아니라, 공차 혹은 동 정도의 기능이 얻어지는 차가 존재하는 상태도 나타내는 것으로 한다. 형상을 나타내는 표현(예를 들면, 「사각형상」 또는 「원통형상」 등)은, 특별히 언급하지 않는 한, 기하학적으로 엄밀하게 그 형상을 나타낼 뿐만 아니라, 동 정도의 효과가 얻어지는 범위에서, 예를 들면 요철 및 모따기 등을 갖는 형상도 나타내는 것으로 한다. 하나의 구성 요소를 「갖다」 「갖추다」 「구비한다」 「포함한다」 또는 「가지다」라는 표현은, 다른 구성 요소의 존재를 제외하는 배타적 표현은 아니다. 「~의 위」 및 「~의 아래」란, 특별히 언급하지 않는 한, 2개의 요소가 접해 있는 경우 이외에, 2개의 요소가 떨어져 있는 경우도 포함하는 경우가 있다. 「특정 방향으로 이동시킨다」란, 특별히 언급하지 않는 한, 이 특정 방향과 평행하게 이동시키는 경우뿐만 아니라, 이 특정 방향의 성분을 갖는 방향으로 이동시키는 것을 포함하는 경우가 있다.
＜1. 제1 실시 형태＞
＜1-1. 기판 처리 장치의 개략적인 구성＞
도 1은, 기판 처리 장치(1)의 구성의 일례를 나타내는 개략도이다. 기판 처리 장치(1)는, 예를 들면, 인덱서 장치(2)로부터 반입되는 기판(G1)에 대해, 세정, 처리액의 도포, 처리액의 건조 및 가열에 의한 도포막의 형성, 노광 장치(3)로의 반출, 노광 장치(3)로부터의 반입, 노광 후의 현상, 현상 후의 가열에 의한 건조 및 냉각을 행하는 장치이다. 기판 처리 장치(1)에 있어서의 처리 후의 기판(G1)은, 인덱서 장치(2)에 반입된다. 기판(G1)에는, 예를 들면, 평판형상의 유리 기판 등이 적용된다. 기판(G1)은, 예를 들면, 제1 주면으로서의 제1 면(상면이라고도 한다)과, 이 제1 면과는 반대의 제2 주면으로서의 제2 면(하면이라고도 한다)을 갖는 평판형상의 기판이다. 처리액에는, 예를 들면, 레지스트액 또는 폴리이미드 전구체와 용매를 포함하는 액(PI액이라고도 한다) 등의 도포용의 액(도포액이라고도 한다)이 적용된다. 폴리이미드 전구체에는, 예를 들면, 폴리아미드산(폴리아믹산) 등이 적용된다. 용매에는, 예를 들면, NMP(N-메틸-2-피롤리돈：N-Methyl-2-Pyrrolidone)가 적용된다.
기판 처리 장치(1)는, 예를 들면, 왕로 부분(11)과, 인터페이스부(12)와, 귀로 부분(13)을 갖는다. 예를 들면, 왕로 부분(11)은, 인덱서 장치(2)로부터 기판(G1)이 반입되는 영역(피반입 영역이라고도 한다)(11i)을 갖고, 피반입 영역(11i)으로부터 인터페이스부(12)에 이르기까지 기판(G1)이 이동하는 부분이다. 예를 들면, 인터페이스부(12)는, 노광 장치(3)를 향해 기판(G1)을 반출함과 더불어, 노광 장치(3)로부터 기판(G1)을 반입하는 부분이다. 예를 들면, 귀로 부분(13)은, 인덱서 장치(2)를 향해 기판(G1)이 반출되는 영역(피반출 영역이라고도 한다)(13o)을 갖고, 인터페이스부(12)로부터 피반출 영역(13o)에 이르기까지, 노광 장치(3)로부터 인터페이스부(12)에 반입된 기판(G1)이 이동하는 부분이다.
인덱서 장치(2)는, 예를 들면, 복수의 기판(G1)을 수용하는 카세트가 재치되는 재치대와, 반송 기구를 갖는다. 반송 기구에는, 예를 들면, 재치대 상의 카세트와 왕로 부분(11) 사이, 및 귀로 부분(13)과 재치대 상의 카세트 사이에 있어서, 기판(G1)의 반송을 행하는 반송 로봇 등이 적용된다.
왕로 부분(11)은, 예를 들면, 복수의 처리부로서, 세정부(111), 도포부(112), 감압 건조부(113) 및 프리 베이크부(114)를 갖는다. 왕로 부분(11)의 각 처리부는, 예를 들면, 상기의 처리부의 기재 순으로 배치되어 있다. 기판(G1)은, 예를 들면, 반송 로봇 혹은 컨베이어 등의 반송 기구에 의해, 가는 2점 쇄선으로 그려진 화살표로 나타내어지는 바와 같이, 처리의 진행에 따라, 각 처리부로 상기의 기재 순으로 반송된다.
세정부(111)는, 예를 들면, 인덱서 장치(2)로부터 반입된 기판(G1)에 세정 처리를 실시한다. 세정 처리에는, 예를 들면, 미세한 파티클을 비롯하여, 유기 오염, 금속 오염, 유지 및 자연 산화막 등을 제거하는 처리가 포함된다. 세정부(111)에서는, 예를 들면, 자외광의 조사에 의한 기판(G1)의 표면에 부착된 유기물의 제거, 탈이온수 등의 세정액의 공급과 브러시 등의 세정 부재에 의한 기판(G1)의 표면의 세정, 그리고 블로어 등에 의한 기판(G1)의 건조가 행해진다. 블로어 등에 의한 기판(G1)의 건조에는, 예를 들면, 에어 나이프에 의한 기판(G1) 상으로부터의 세정액의 제거 등이 포함된다.
도포부(112)는, 예를 들면, 세정부(111)에서 세정된 기판(G1) 상에 처리액을 도포한다. 도포부(112)에는, 예를 들면, 슬릿 코터가 적용된다. 슬릿 코터는, 예를 들면, 처리액을 토출구로부터 토출하는 슬릿 노즐을, 기판(G1)에 대해 상대적으로 이동시킴으로써, 기판(G1) 상에 처리액을 도포할 수 있다. 여기서, 도포부(112)에서는, 예를 들면, 기판(G1) 상에 처리액이 도포되는 에어리어(도포 에어리어라고도 한다)에 있어서, 부상식의 반송 기구에 의해 상하면이 수평 방향을 따른 자세(수평 자세라고도 한다)의 기판(G1)이 수평 방향을 따라 반송된다. 부상식의 반송 기구는, 예를 들면, 기판(G1) 중 기판(G1)의 반송 방향(기판 반송 방향이라고도 한다)에 수직인 폭방향의 양단 부분을 하방으로부터 지지 혹은 유지하여, 기판(G1)을 향해 하방으로부터 압축 공기를 내뿜음으로써 상하면이 수평 방향을 따른 상태에 있는 기판(G1)을 유지하면서, 기판(G1)을 수평 방향으로 이동시킨다. 도포부(112)에서는, 예를 들면, 도포 에어리어의 상류측에 위치하고 있는 부분(입측 부분이라고도 한다) 및 도포 에어리어의 하류측에 위치하고 있는 부분(출측 부분이라고도 한다) 각각에 있어서, 컨베이어에 의해 기판(G1)이 반송된다. 컨베이어는, 기판(G1)의 기판 반송 방향을 따라 늘어선 복수의 롤러를 구동 기구(도시 생략)에 의해 회전시킴으로써, 수평 자세의 기판(G1)을 수평 방향으로 이동시킨다. 도포부(112)에는, 그 외의 도포 방식의 도포 장치가 적용되어도 된다.
감압 건조부(113)는, 예를 들면, 기판(G1) 상에 도포된 처리액을 감압에 의해 건조시키는 처리(감압 건조 처리라고도 한다)를 행한다. 여기에서는, 예를 들면, 기판(G1)의 표면에 도포된 처리액의 용매가 감압에 의해 기화(증발)됨으로써, 기판(G1)이 건조된다.
프리 베이크부(114)는, 예를 들면, 감압 건조부(113)에서 건조된 기판(G1)을 가열하고, 기판(G1)의 표면 상에서, 처리액에 포함되는 성분을 고화시킨다. 이에 의해, 기판(G1) 상에 처리액에 따른 막이 형성된다. 예를 들면, 처리액이 레지스트인 경우에는, 레지스트의 도막에 열처리가 실시됨으로써, 레지스트막이 형성된다. 예를 들면, 처리액이 폴리이미드 전구체인 경우에는, 폴리이미드 전구체의 도막에 열처리가 실시됨으로써, 폴리이미드 전구체의 이미드화에 의해 폴리이미드막이 형성된다. 프리 베이크부(114)는, 예를 들면, 단일한 기판(G1)을 가열하는 매엽 방식의 가열 처리부여도 되고, 복수의 기판(G1)을 일괄하여 가열하는 배치 방식의 가열 처리부여도 된다. 여기서, 예를 들면, 감압 건조부(113)에 있어서의 감압 건조 처리의 택트 타임과, 프리 베이크부(114)에 있어서의 가열 처리의 택트 타임이 크게 상위하여, 프리 베이크부(114)가 매엽 방식의 가열 처리부를 갖는 경우가 상정된다. 이 경우에는, 프리 베이크부(114)는, 예를 들면, 병렬하여 가열 처리를 행하는 복수 대의 매엽식의 가열 처리부를 갖고 있어도 된다. 복수 대의 가열 처리부는, 예를 들면, 상하로 적층된 상태로 배치된다.
인터페이스부(12)는, 예를 들면, 왕로 부분(11)으로부터 노광 장치(3)를 향해 기판(G1)을 반송한다. 인터페이스부(12)는, 예를 들면, 왕로 부분(11)과 노광 장치(3) 사이에 위치하고 있다. 기판(G1)은, 예를 들면, 인터페이스부(12)가 갖는 반송 로봇 혹은 컨베이어 등의 반송 기구에 의해, 가는 2점 쇄선으로 그려진 화살표로 나타내어지는 바와 같이, 왕로 부분(11)으로부터 노광 장치(3)를 향해 반송된다. 예를 들면, 왕로 부분(11)의 프리 베이크부(114)로부터 노광 장치(3)를 향해 기판(G1)이 반송된다. 또, 인터페이스부(12)는, 예를 들면, 노광 장치(3)로부터 귀로 부분(13)을 향해 기판(G1)을 반송한다. 인터페이스부(12)는, 예를 들면, 노광 장치(3)와 귀로 부분(13) 사이에 위치하고 있다. 기판(G1)은, 예를 들면, 인터페이스부(12)가 갖는 반송 로봇 등의 반송 기구에 의해, 가는 2점 쇄선으로 그려진 화살표로 나타내어지는 바와 같이, 노광 장치(3)로부터 귀로 부분(13)을 향해 반송된다. 예를 들면, 노광 장치(3)로부터 귀로 부분(13)의 현상부(131)를 향해 기판(G1)이 반송된다.
노광 장치(3)는, 예를 들면, 왕로 부분(11)에 있어서 기판(G1) 상에 형성된 처리액에 따른 막에 대해, 노광 처리를 행한다. 구체적으로는, 노광 장치(3)는, 예를 들면, 회로 패턴이 묘화된 마스크를 통해 원자외선 등의 특정 파장의 광을 조사하고, 처리액에 따른 막에 패턴을 전사한다. 노광 장치(3)는, 예를 들면, 주변 노광부 및 타이틀러를 포함하고 있어도 된다. 주변 노광부는, 기판(G1) 상의 처리액에 따른 막의 외주부를 제거하기 위한 노광 처리를 행하는 부분이다. 타이틀러부는, 예를 들면, 기판(G1)에 소정의 정보를 기록하는 부분이다.
귀로 부분(13)은, 예를 들면, 복수의 처리부로서, 현상부(131), 포스트 베이크부(132) 및 냉각부(133)를 갖는다. 귀로 부분(13)의 각 처리부는, 예를 들면, 상기의 처리부의 기재 순으로 배치되어 있다. 기판(G1)은, 예를 들면, 반송 로봇 등의 반송 기구에 의해, 가는 2점 쇄선으로 그려진 화살표로 나타내어지는 바와 같이, 처리의 진행에 따라, 각 처리부로 상기의 기재 순으로 반송된다. 여기서, 예를 들면, 노광 장치(3)에, 주변 노광부 및 타이틀러부를 설치하는 일 없이, 귀로 부분(13)이, 인터페이스부(12)와 현상부(131) 사이에 주연 노광부와 타이틀러부를 갖고 있어도 된다.
현상부(131)는, 예를 들면, 왕로 부분(11)에 형성된 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시한다. 현상 처리에는, 예를 들면, 처리액에 따른 막을 현상하는 처리, 현상액을 씻어내는 처리, 및 기판(G1)을 건조시키는 처리가 포함된다. 현상부(131)에서는, 예를 들면, 노광 장치(3)로 패턴이 노광된 기판(G1) 상의 처리액에 따른 막을 현상액에 침지하는 처리, 기판(G1) 상의 현상액을 탈이온수 등의 세정액으로 씻어내는 처리, 그리고 블로어 등에 의해 기판(G1)을 건조시키는 처리가 행해진다. 블로어 등에 의한 기판(G1)의 건조에는, 예를 들면, 에어 나이프에 의한 기판(G1) 상으로부터의 세정액의 제거 등이 포함된다.
포스트 베이크부(132)는, 예를 들면, 기판(G1)을 가열하여, 현상부(131)에 있어서 기판(G1)에 부착된 세정액을 기화시킴으로써, 기판(G1)을 건조시킨다.
냉각부(133)는, 예를 들면, 포스트 베이크부(132)에서 가열된 기판(G1)을 냉각한다. 냉각부(133)에는, 예를 들면, 컨베이어에 의해 기판(G1)을 반송하면서 기판(G1)을 공랭하는 구성, 혹은 기판(G1)을 선반형상의 부분에 재치하여 공기 등의 가스의 내뿜음에 의해 기판(G1)을 냉각하는 구성 등이 적용된다. 냉각부(133)에서 냉각된 기판(G1)은, 예를 들면, 인덱서 장치(2)에 의해 귀로 부분(13)으로부터 기판 처리 장치(1)의 외부로 반출된다.
기판 처리 장치(1)의 각 부의 동작은, 예를 들면, 제어 장치(14)에 의해 제어된다. 제어 장치(14)는, 예를 들면, 컴퓨터와 동일한 구성을 갖고 있고, 제어부(141)와 기억부(142)를 갖는다. 제어부(141)는, 예를 들면, 중앙 처리 장치(CPU：Central Processing Unit)와, RAM(Random access memory) 등의 휘발성의 메모리를 포함한다. 기억부(142)는, 예를 들면, 하드 디스크 드라이브 등의 불휘발성의 기억 매체를 포함한다. 제어 장치(14)는, 예를 들면, 제어부(141)에 의해 기억부(142)에 기억된 프로그램을 읽어내어 실행함으로써, 기판 처리 장치(1)의 각 부의 동작을 제어할 수 있다. 제어 장치(14)는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)와는 따로 설치되어 있어도 되고, 기판 처리 장치(1)에 포함되어 있어도 된다.
＜1-2. 세정부로부터 도포부로 기판을 반송하는 구성＞
도 2는, 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 3은, 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 종단면도이다. 도 2에서는, 왕로 부분(11) 중 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송하기 위한 구성이 나타내어져 있고, 귀로 부분(13)의 외연(外緣)이 가는 2점 쇄선으로 모식적으로 나타내어져 있다. 도 3에서는, 도 2에서 나타내어지는 구성의 종단면이 모식적으로 그려져 있다.
또, 도 3에서는, 세정부(111) 중, 피반입 영역(11i)에 위치하고 있는 반송 기구의 일례로서의 컨베이어의 일부와, 도포부(112) 측의 단부 부근에 위치하고 있는 반송 기구의 일례로서의 컨베이어가, 간이적으로 기재되어 있으며, 세정부(111)의 그 외의 구성에 대해서는 기재가 생략되어 있다. 도포부(112) 중, 세정부(111) 측의 단부 부근에 위치하고 있는 반송 기구의 일례로서의 컨베이어의 일부와, 부상식의 반송 기구의 일부와, 슬릿 노즐과, 세정부(111)는 반대측의 단부 부근에 위치하고 있는 반송 기구의 일례로서의 컨베이어의 일부가, 간이적으로 기재되어 있으며, 도포부(112)의 그 외의 구성에 대해서는 기재가 생략되어 있다. 도 2 및 도 3에서는, 피반입 영역(11i)에 위치하고 있는 기판(G1)이 실선으로 그려져 있다. 세정부(111) 중 도포부(112) 측의 단부 부근에 위치하고 있는 기판(G1), 반송 로봇(115)에 지지 혹은 유지된 기판(G1), 버퍼부(116)에 재치된 기판(G1), 회전부(117)에 재치된 기판(G1), 그리고 도포부(112)에 있어서의 세정부(111) 측의 단부 부근 및 세정부(111)와는 반대측의 단부 부근에 위치하고 있는 기판(G1) 각각의 외연이 가는 2점 쇄선으로 그려진 사각형으로 모식적으로 나타내어져 있다. 세정부(111)에 있어서 기판(G1)이 이동하는 경로(제1 패스 라인이라고도 한다)(P1)가 가는 1점 쇄선으로 그려진 화살표로 모식적으로 나타내어져 있고, 도포부(112)에 있어서 기판(G1)이 이동하는 경로(제2 패스 라인이라고도 한다)(P2)가 가는 1점 쇄선으로 그려진 화살표로 모식적으로 나타내어져 있다.
도 2 및 도 3에서 나타내어지는 바와 같이, 왕로 부분(11)은, 예를 들면, 반송 로봇(115)과, 버퍼부(116)와, 회전부(117)를 포함하고 있다.
반송 로봇(115)은, 예를 들면, 세정부(111)로부터의 기판(G1)의 반출, 버퍼부(116)로의 기판(G1)의 반입, 버퍼부(116)로부터의 기판(G1)의 반출, 및 도포부(112)로의 기판(G1)의 반입을 행할 수 있다. 또, 제1 실시 형태에서는, 반송 로봇(115)은, 예를 들면, 회전부(117)로의 기판(G1)의 반입, 및 회전부(117)로부터의 기판(G1)의 반출을 행할 수 있다. 또, 제1 실시 형태에서는, 반송 로봇(115)은, 기판(G1)을 승강시킬 수 있다.
반송 로봇(115)은, 예를 들면, 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 위치하고 있다. 반송 로봇(115)에는, 예를 들면, 핸드부, 아암 기구, 회전 기구, 및 승강 기구를 갖는 구조가 적용된다. 핸드부는, 기판(G1)을 수평 자세로 지지 혹은 유지하는 것이 가능한 부분이다. 아암 기구는, 핸드부가 장착되어 있으며, 수평 방향으로 신축함으로써 핸드부를 수평 방향으로 진퇴시키는 것이 가능한 기구이다. 회전 기구는, 아암 기구를 연직 방향을 따른 회전축을 중심으로 하여 회전시키는 것이 가능한 기구이다. 승강 기구는, 핸드부 및 아암 기구와 함께 회전 기구를 승강시키는 것이 가능한 기구이다. 도 3에서는, 반송 로봇(115)에 있어서의 승강 기구에 의해, 핸드부 및 아암 기구와 함께 회전 기구가 승강하는 방향이, 2점 쇄선의 가는 선으로 그려진 화살표로 나타내어져 있다. 여기에서는, 예를 들면, 세정부(111) 중 도포부(112) 측의 단부 부근에 있어서의 반송 기구, 및 도포부(112) 중 세정부(111) 측의 단부 부근에 있어서의 반송 기구에는, 반송 로봇(115)의 핸드부가 기판(G1)의 하방에 삽입 가능한 홈부 등의 공간이 형성되어 있는 양태가 채용될 수 있다.
버퍼부(116)는, 예를 들면, 기판(G1)이 일시적으로 수납되는 부분이다. 버퍼부(116)는, 예를 들면, 기판(G1)을 각각 재치 가능한 복수의 부분(재치 부분이라고도 한다)이 상하로 늘어서 있는 다단의 선반형상의 구조를 갖는다. 각 단에서는, 예를 들면, 세워서 설치된 복수의 핀 상에 기판(G1)이 수평 자세로 재치된다. 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)에 의해 기판(G1)을 세정부(111)로부터 도포부(112)로 반송할 때에, 도포부(112)가 어떠한 원인에 의해 정지한 상태(이상 상태라고도 한다)에 있으면, 기판(G1)을 일시적으로 대기시키는 에어리어(기판 대기 에어리어라고도 한다)를 갖는 부분으로서 기능한다. 여기에서는, 예를 들면, 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송하기 위해서, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)를 배치함으로써, 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 배치하는 것보다, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이를 단축할 수 있다.
또, 예를 들면, 만일 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 배치하면, 기판 대기 에어리어를 확보하기 위해서 중계 컨베이어의 기판 반송 방향의 길이가 커지면, 기판(G1)에 대해 대전에 의한 정전기 방전(ESD)이 발생할 가능성이 높아질 수 있다. 이에 반해, 예를 들면, 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 중계 컨베이어를 배치하는 대신에, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)를 배치하면, 정전기 방전(ESD)의 발생에 의해 기판(G1)에 문제가 발생할 리스크가 저감될 수 있다.
도 3의 예에서는, 버퍼부(116)가 3단의 구조를 갖고 있는데, 이것에 한정되지 않고, 버퍼부(116)가, 1단의 구조, 2단의 구조 또는 4단 이상의 구조를 갖고 있어도 된다.
여기서, 제1 실시 형태에서는, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있다. 이와 같이, 예를 들면, 버퍼부(116)를 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐서 배치함으로써, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
회전부(117)는, 예를 들면, 상하 방향을 따른 가상적인 회전축(가상 회전축이라고도 한다)(Ax1)을 중심으로 하여 기판(G1)을 회전시키는 부분이다. 회전부(117)에는, 예를 들면, 턴테이블이 적용된다. 턴테이블에는, 예를 들면, 테이블부, 축부, 및 회전 구동부를 갖는 구조가 적용된다. 테이블부는, 예를 들면, 상면에 세워서 설치된 복수의 핀 상에 수평 자세의 기판(G1)을 재치하는 것이 가능한 부분이다. 축부는, 예를 들면, 테이블부가 고정된 상단부를 가지며, 가상 회전축(Ax1)을 따라 상하 방향으로 연장되어 있는 기둥형상 또는 봉형상의 부분이다. 회전 구동부는, 예를 들면, 가상 회전축(Ax1)을 중심으로 하여 축부를 회전시키는 모터 등의 구동부이다.
여기서, 예를 들면, 세정부(111)에 있어서의 제1 패스 라인(P1)과 도포부(112)에 있어서의 제2 패스 라인(P2) 간에, 기판 반송 방향이 동일하고, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향이 상이한 경우에는, 회전부(117)에 의해 용이하게 기판(G1)의 방향을 변경할 수 있다. 예를 들면, 기판(G1)의 상하의 주면이 장방형상이며, 세정부(111)의 제1 패스 라인(P1)에 있어서 기판(G1)이 주면의 제1 변을 따른 방향으로 반송되고, 도포부(112)의 제2 패스 라인(P2)에 있어서 기판(G1)이 주면의 제1 변과 직교하는 제2 변을 따른 방향으로 반송되는 경우를 상정한다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 제1 패스 라인(P1)과 제2 패스 라인(P2) 간에, 기판 반송 방향이 동일하고, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향이 상이한 경우를 상정한다. 여기에서는, 예를 들면, 제1 변이 기판(G1)의 주면의 장변이고 또한 제2 변이 기판(G1)의 주면의 단변인 경우와, 제1 변이 기판(G1)의 주면의 단변이고 또한 제2 변이 기판(G1)의 주면의 장변인 경우가 생각된다. 이들 경우에는, 예를 들면, 회전부(117)는, 기판(G1)의 방향을 수평면을 따라 90도 회전시킨다.
여기서, 제1 실시 형태에서는, 예를 들면, 회전부(117)는, 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있다. 이와 같이, 예를 들면, 회전부(117)를 세정부(111)에 대해 상하 방향으로 겹쳐서 배치함으로써, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
그런데, 예를 들면, 세정부(111)에 있어서의 제1 패스 라인(P1)의 높이와, 도포부(112)에 있어서의 제2 패스 라인(P2)의 높이가 상이한 경우를 상정한다. 여기에서는, 제1 패스 라인(P1)의 위치가, 제2 패스 라인(P2)의 위치보다 높은 경우와, 제2 패스 라인(P2)의 위치가, 제1 패스 라인(P1)의 위치보다 높은 경우가 생각된다. 이들 경우에는, 예를 들면, 상술한 바와 같이, 반송 로봇(115)이, 기판(G1)을 승강시킬 수 있다면, 승강하는 기구를 구비한 컨베이어(승강 컨베이어)를 설치하는 일 없이, 반송 로봇(115)에 의해 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이를 단축할 수 있다.
또, 여기서, 예를 들면, 만일 승강 컨베이어를 배치하면, 승강 컨베이어는, 기판 반송 방향으로 늘어선 복수의 롤러와, 이들 복수의 롤러의 하방에 위치하고 있는 저판과, 이 저판의 하방에 위치하고 있는 승강 기구를 갖는다. 이로 인해, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 상부에 청정 공기의 하강 기류를 발생시키는 팬 필터 유닛(FFU)을 배치해도, FFU에 의해 발생되는 하강 기류가 저판에 의해 저해되고, 승강 기구로부터 발생하는 파티클이 하방으로 낙하하기 어렵다. 이에 반해, 제1 실시 형태에서는, 예를 들면, 승강 컨베이어를 설치하는 대신에, 기판(G1)을 승강시킬 수 있는 반송 로봇(115)이 배치되어 있다. 이로 인해, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 상부에 FFU(10)를 배치하면, 반송 로봇(115)의 승강 동작에 의해 파티클이 발생했다고 해도, 이 파티클은 FFU(10)에 의해 발생하는 하강 기류에 의해 하방으로 낙하하기 쉽다. 이에 의해, 예를 들면, 기판(G1)이 파티클로 오염되기 어렵다.
＜1-3. 세정부로부터 도포부로의 기판의 반송 동작＞
도 4는, 도포부(112)가 정지하고 있지 않은 상태(통상 상태라고도 한다)에 있어서의 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 동작에 대한 흐름의 일례를 나타내는 플로차트이다. 도 5는, 도포부(112)가 어떠한 원인에 의해 정지한 이상 상태에서 개시되는 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 동작에 대한 흐름의 일례를 나타내는 플로차트이다. 도 4 및 도 5에서는, 1장의 기판(G1)의 반송 동작에 주목한 플로차트가 나타내어져 있다. 기판(G1)의 반송 동작은, 예를 들면, 제어부(141)에 의한 각 부의 동작의 제어에 의해 실현될 수 있다.
통상 상태에서는, 도 4에 나타내는 단계 S1로부터 단계 S5의 동작이 순서대로 행해지는 반송 동작의 흐름이 실행된다.
단계 S1의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S2의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 회전부(117)에 기판(G1)을 반입한다. 단계 S3의 동작에서는, 회전부(117)에 의해 기판(G1)이 회전된다. 구체적으로는, 회전부(117)에 의해, 기판(G1)의 방향을 수평면을 따라 90도 회전한다. 단계 S4의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 회전부(117)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S5의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 도포부(112)에 기판(G1)을 반입한다.
이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)를 이용한 기판 처리 방법의 적어도 일부를 구성하는, 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 방법(기판 반송 방법이라고도 한다)은, 반송 로봇(115)에 의해, 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출하고, 버퍼부(116)로의 기판(G1)의 반입 및 버퍼부(116)로부터의 기판(G1)의 반출을 거치는 일 없이, 도포부(112)에 기판(G1)을 반입하는 공정(제1 공정이라고도 한다)을 갖는다.
이상 상태에서 개시되는 반송 동작에 있어서는, 도 5에 나타내는 단계 S11로부터 단계 S18의 동작이 순서대로 행해지는 반송 동작의 흐름이 실행된다.
단계 S11의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S12의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 회전부(117)에 기판(G1)을 반입한다. 단계 S13의 동작에서는, 회전부(117)에 의해 기판(G1)이 회전된다. 구체적으로는, 회전부(117)에 의해, 기판(G1)의 방향을 수평면을 따라 90도 회전한다. 단계 S14의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 회전부(117)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S15의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 기판(G1)을 버퍼부(116)에 반입한다. 구체적으로는, 버퍼부(116)에 기판(G1)을 일시적으로 수납하여, 기판(G1)을 일시적으로 대기시킨 상태로 한다. 단계 S16에서는, 제어부(141)에 의해 이상 상태가 해소되었는지 여부가 판정된다. 여기에서는, 이상 상태가 해소될 때까지 단계 S16의 판정이 반복되고, 이상 상태가 해소되면 단계 S17로 진행된다. 단계 S17의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 버퍼부(116)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S18의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 도포부(112)에 기판(G1)을 반입한다.
이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)를 이용한 기판 처리 방법의 적어도 일부를 구성하는, 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 방법(기판 반송 방법)은, 반송 로봇(115)에 의해, 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출하고, 버퍼부(116)로의 기판(G1)의 반입 및 버퍼부(116)로부터의 기판(G1)의 반출을 거쳐, 도포부(112)에 기판(G1)을 반입하는 공정(제2 공정이라고도 한다)을 갖는다.
이와 같이, 예를 들면, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)를 이용하여 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송함으로써, 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 이용하여 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송하는 경우보다, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이가 단축될 수 있다. 또, 예를 들면, 정전기 방전(ESD)의 발생에 의해 기판(G1)에 문제가 발생할 리스크가 저감될 수 있다.
상술한 이상 상태에서 개시되는 반송 동작에서는, 기판(G1)을, 회전부(117)에 의해 회전한 후에, 버퍼부(116)에 일시적으로 수납했는데, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기판(G1)을, 버퍼부(116)에 일시적으로 수납한 후에, 회전부(117)에 의해 회전해도 된다. 도 6은, 도포부(112)가 어떠한 원인에 의해 정지한 이상 상태에서 개시되는 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 동작에 대한 흐름의 일변형예를 나타내는 플로차트이다. 도 6에서는, 도 5와 동일하게, 1장의 기판(G1)의 반송 동작에 주목한 플로차트가 나타내어져 있다. 기판(G1)의 반송 동작은, 예를 들면, 제어부(141)에 의한 각 부의 동작의 제어에 의해 실현될 수 있다. 여기에서는, 도 6에 나타내는 단계 S11A로부터 단계 S18A의 동작이 순서대로 행해진다.
단계 S11A의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S12A의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 버퍼부(116)에 기판(G1)을 반입한다. 구체적으로는, 버퍼부(116)에 기판(G1)을 일시적으로 수납하고, 기판(G1)을 일시적으로 대기시킨 상태로 한다. 단계 S13A에서는, 제어부(141)에 의해 이상 상태가 해소되었는지 여부를 판정한다. 여기에서는, 이상 상태가 해소될 때까지 단계 S13A의 판정을 반복하고, 이상 상태가 해소되면 단계 S14A로 진행된다. 단계 S14A의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 버퍼부(116)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S15A의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 회전부(117)에 기판(G1)을 반입한다. 단계 S16A의 동작에서는, 회전부(117)에 의해 기판(G1)을 회전한다. 구체적으로는, 회전부(117)에 의해, 기판(G1)의 방향을 수평면을 따라 90도 회전한다. 단계 S17A의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 회전부(117)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S18A의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 도포부(112)에 기판(G1)을 반입한다.
＜1-4. 제1 실시 형태의 정리＞
이상과 같이, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(1)에서는, 예를 들면, 왕로 부분(11)에 있어서, 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송하기 위해서, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)가 배치되어 있다. 이에 의해, 예를 들면, 만일 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 배치하는 것보다, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이를 단축할 수 있다.
또, 예를 들면, 만일 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 배치하면, 기판 대기 에어리어를 확보하기 위해서 중계 컨베이어의 기판 반송 방향의 길이가 커져, 기판(G1)에 대해 대전에 의한 정전기 방전(ESD)이 발생할 가능성이 높아질 수 있다. 이에 반해, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(1)에서는, 예를 들면, 세정부(111)와 도포부(112) 사이에 중계 컨베이어를 배치하는 대신에, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)가 배치되어 있다. 이에 의해, 예를 들면, 정전기 방전(ESD)의 발생에 의해 기판(G1)에 문제가 발생할 리스크가 저감될 수 있다.
또, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(1)를 이용한 기판 처리 방법에서는, 예를 들면, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)를 이용하여 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송한다. 이에 의해, 예를 들면, 만일 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 이용하여 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송하는 경우보다, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이가 단축될 수 있다. 또, 예를 들면, 정전기 방전(ESD)의 발생에 의해 기판(G1)에 문제가 발생할 리스크가 저감될 수 있다.
＜2. 변형예＞
본 발명은 상술한 제1 실시 형태로 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양한 변경 및 개량 등이 가능하다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 버퍼부(116)가 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐서 배치되기 때문에, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 회전부(117)는, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 회전부(117)가 세정부(111)에 대해 상하 방향으로 겹쳐서 배치되기 때문에, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도 7에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 버퍼부(116)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 7은, 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 회전부(117)는, 도 7에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 회전부(117)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 도 8에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 에어리어(제1 에어리어라고도 한다)(A1)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 버퍼부(116)는, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극의 에어리어(간극 에어리어라고도 한다) 측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어를 유효 이용하여 버퍼부(116)를 배치함으로써, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적을 저감할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 8, 도 9 및 도 10은, 각각 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기서, 예를 들면, 회전부(117)는, 도 8에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도 9에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 또, 예를 들면, 회전부(117)는, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 회전부(117)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
또, 여기서, 예를 들면, 도 10에서 나타내어지는 바와 같이, 회전부(117)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 에어리어(제2 에어리어라고도 한다)(A2)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 반송 로봇(115)을 사이에 끼고 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어와는 반대측의 에어리어(외측 에어리어라고도 한다)에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 왕로 부분(11)의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 회전부(117)를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 도 11에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)을 사이에 끼고 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어와는 반대측의 외측 에어리어에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 왕로 부분(11)의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 버퍼부(116)를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 11, 도 12 및 도 13은, 각각 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기서, 예를 들면, 회전부(117)는, 도 11에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도 12에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 또, 예를 들면, 회전부(117)는, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 회전부(117)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
또, 여기서, 예를 들면, 도 13에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 제1 에어리어(A1)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극의 에어리어(간극 에어리어) 측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어를 유효 이용하여 회전부(117)를 배치함으로써, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적을 저감할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 도 14에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 제1 에어리어(A1)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극의 에어리어(간극 에어리어) 측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어를 유효 이용하여 회전부(117)를 배치함으로써, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적을 저감할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 14 및 도 15는, 각각 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기서, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도 14에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도 15에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 또, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 도 16에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 회전부(117)는, 반송 로봇(115)을 사이에 끼고 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어와는 반대측의 외측 에어리어에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 왕로 부분(11)의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 회전부(117)를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 16 및 도 17은, 각각 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기서, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도 16에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도 17에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 또, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 세정부(111)에 있어서의 제1 패스 라인(P1)과 도포부(112)에 있어서의 제2 패스 라인(P2) 간에, 기판 반송 방향이 동일하고, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향이 동일한 경우에는, 도 18에서 나타내어지는 바와 같이, 회전부(117)가 없어도 된다. 도 18, 도 19, 도 20 및 도 21은, 각각 왕로 부분(11)의 일부 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기서, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도 18에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도 19에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 또, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
또, 여기서, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도 20에서 나타내어지는 바와 같이 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 제1 에어리어(A1)에 위치하고 있어도 되고, 도 21에서 나타내어지는 바와 같이 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)의 간극 에어리어 측에 위치하고 있어도 되고, 반송 로봇(115)의 간극 에어리어와는 반대측의 외측 에어리어에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
도 22는, 회전부(117)가 없는 기판 처리 장치(1)의 통상 상태에 있어서의 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 동작에 대해 동작의 흐름의 일례를 나타내는 플로차트이다. 도 23은, 회전부(117)가 없는 기판 처리 장치(1)의 이상 상태에서 개시되는 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 동작에 대해 동작의 흐름의 일례를 나타내는 플로차트이다. 도 22 및 도 23에 있어서나, 도 4 및 도 5와 동일하게, 1장의 기판(G1)의 반송 동작에 주목한 플로차트가 나타내어져 있다.
통상 상태에서는, 도 22에 나타내는 단계 S1B로부터 단계 S2B의 동작이 순서대로 행해지는 반송 동작의 흐름이 실행된다. 단계 S1B의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S2B의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 도포부(112)에 기판(G1)을 반입한다.
이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)를 이용한 기판 처리 방법의 적어도 일부를 구성하는, 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 기판 반송 방법은, 반송 로봇(115)에 의해, 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출하고, 버퍼부(116)로의 기판(G1)의 반입 및 버퍼부(116)로부터의 기판(G1)의 반출을 거치는 일 없이, 도포부(112)에 기판(G1)을 반입하는 공정(제1 공정)을 갖는다.
이상 상태에서 개시되는 반송 동작에 있어서는, 도 23에 나타내는 단계 S11C로부터 단계 S15C의 동작이 순서대로 행해지는 반송 동작의 흐름이 실행된다.
단계 S11C의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S12C의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 기판(G1)을 버퍼부(116)에 반입한다. 구체적으로는, 버퍼부(116)에 기판(G1)을 일시적으로 수납하여, 기판(G1)을 일시적으로 대기시킨 상태로 한다. 단계 S13C에서는, 제어부(141)에 의해 이상 상태가 해소되었는지 여부를 판정한다. 여기에서는, 이상 상태가 해소될 때까지 단계 S13C의 판정을 반복하고, 이상 상태가 해소되면 단계 S17로 진행된다. 단계 S14C의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 버퍼부(116)로부터 기판(G1)을 반출한다. 단계 S15C의 동작에서는, 반송 로봇(115)에 의해 도포부(112)에 기판(G1)을 반입한다.
이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)를 이용한 기판 처리 방법의 적어도 일부를 구성하는, 세정부(111)로부터 도포부(112)로의 기판(G1)의 반송 방법(기판 반송 방법)은, 반송 로봇(115)에 의해, 세정부(111)로부터 기판(G1)을 반출하고, 버퍼부(116)로의 기판(G1)의 반입 및 버퍼부(116)로부터의 기판(G1)의 반출을 거쳐, 도포부(112)에 기판(G1)을 반입하는 공정(제2 공정)을 갖는다.
이와 같이, 예를 들면, 반송 로봇(115)과 버퍼부(116)를 이용하여 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송함으로써, 기판 대기 에어리어를 갖는 중계 컨베이어를 이용하여 세정부(111)로부터 도포부(112)로 기판(G1)을 반송하는 경우보다, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이가 단축될 수 있다. 또, 예를 들면, 정전기 방전(ESD)의 발생에 의해 기판(G1)에 문제가 발생할 리스크가 저감될 수 있다.
상기 제1 실시 형태에 있어서, 예를 들면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 도포부(112)는, 도 24에서 나타내어지는 바와 같이 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 제1 에어리어(A1)에 위치하고 있어도 되고, 도 25에서 나타내어지는 바와 같이 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있어도 된다. 이에 의해, 예를 들면, 도포부(112)가 세정부(111) 측으로 어긋남으로써, 왕로 부분(11)의 길이가 단축될 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이를 단축할 수 있다. 도 24 및 도 25는, 각각 왕로 부분(11)의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기에서는, 예를 들면, 반송 로봇(115)에 의해, 세정부(111)로부터 반출한 기판(G1)을 도포부(112)의 입측 부분에 반입할 때에, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향을 변경할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 반송 로봇(115)의 회전 기구에 의해, 세정부(111)로부터 반출한 기판(G1)을 도포부(112)의 입측 부분에 반입할 때에, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향을 90도 회전시킬 수 있다. 이로 인해, 회전부(117)는, 없어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 세정부(111)에 있어서의 제1 패스 라인(P1)과 도포부(112)에 있어서의 제2 패스 라인(P2) 간에, 기판 반송 방향이 동일하고, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향이 상이한 경우에, 회전부(117)를 설치하는 일 없이, 반송 로봇(115)에 의해 기판(G1)의 방향을 변경시킨 상태에서 도포부(112)에 기판(G1)을 반입할 수 있다.
여기서, 예를 들면, 도 24에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 도포부(112)가, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 제1 에어리어(A1)에 위치하고 있으면, 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어를 유효 이용하여 도포부(112)를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 24의 예에서는, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 도포부(112)의 입측 부분이, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13) 측의 제1 에어리어(A1)에 위치하고 있다.
또, 여기서, 예를 들면, 도 25에서 나타내어지는 바와 같이, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 도포부(112)가, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있으면, 기판 처리 장치(1)의 왕로 부분(11)의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 도포부(112)를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다. 도 25의 예에서는, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 도포부(112)의 입측 부분이, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있다.
도 24 및 도 25의 예에서는, 버퍼부(116)는, 예를 들면, 반송 로봇(115)의 세정부(111)와는 반대측의 에어리어에 위치하고 있다. 다른 관점에서 말하면, 버퍼부(116)는, 예를 들면, 반송 로봇(115)의 인터페이스부(12) 측의 에어리어에 위치하고 있다. 또, 도포부(112)와 감압 건조부(113) 사이에, 도포부(112)로부터 기판(G1)을 반출함과 더불어 감압 건조부(113)에 기판(G1)을 반입하는 반송 로봇(118)이 위치하고 있다. 다른 관점에서 말하면, 도포부(112)의 인터페이스부(12) 측의 에어리어에, 반송 로봇(118)이 위치하고 있음과 더불어, 반송 로봇(118)의 인터페이스부(12) 측의 에어리어에 감압 건조부(113)가 위치하고 있다.
또, 도 24의 예에서는, 감압 건조부(113)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 에어리어에, 감압 건조부(113)로부터 기판(G1)을 반출함과 더불어 프리 베이크부(114)에 기판(G1)을 반입하는 반송 로봇(119)이 위치하고 있다. 도 25의 예에서는, 감압 건조부(113)의 귀로 부분(13) 측의 에어리어에, 감압 건조부(113)로부터 기판(G1)을 반출함과 더불어 프리 베이크부(114)에 기판(G1)을 반입하는 반송 로봇(119)이 위치하고 있다. 이와 같이, 감압 건조부(113)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 에어리어 혹은 감압 건조부(113)의 귀로 부분(13) 측의 에어리어에 반송 로봇(119)이 위치하고 있는 구성이 채용되면, 왕로 부분(11)의 길이를 단축할 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 길이를 단축할 수 있다.
또, 도 24 및 도 25의 예에서는, 반송 로봇(119)의 인터페이스부(12) 측의 에어리어에, 프리 베이크부(114)가 위치하고 있다. 반송 로봇(118) 및 반송 로봇(119) 각각에는, 예를 들면, 반송 로봇(115)과 동일한 핸드부, 아암 기구, 및 회전 기구를 갖는 구조가 적용된다. 반송 로봇(118) 및 반송 로봇(119) 각각에는, 필요에 따라, 핸드부 및 아암 기구와 함께 회전 기구를 승강시키는 것이 가능한 승강 기구를 갖고 있어도 된다. 여기에서는, 예를 들면, 반송 로봇(119)에 의하면, 감압 건조부(113)로부터 반출한 기판(G1)을 프리 베이크부(114)에 반입할 때에, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향을 변경할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 반송 로봇(119)의 회전 기구에 의해, 감압 건조부(113)로부터 반출한 기판(G1)을 프리 베이크부(114)에 반입할 때에, 기판 반송 방향에 대한 기판(G1)의 방향을 90도 회전시킬 수 있다.
도 26, 도 27 및 도 28은, 각각 왕로 부분(11)의 구성의 일변형예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
여기에서는, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 도 26에서 나타내어지는 바와 같이 세정부(111) 상에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도 27에서 나타내어지는 바와 같이 도포부(112) 상에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 또, 여기에서는, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 세정부(111) 하에 있어서 세정부(111)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 되고, 도포부(112) 하에 있어서 도포부(112)에 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 예를 들면, 버퍼부(116)는, 세정부(111) 또는 도포부(112)에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다. 이 경우에도, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 설치 면적이 저감될 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
또, 여기에서는, 예를 들면, 도 28에서 나타내어지는 바와 같이, 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)의 귀로 부분(13)과는 반대측의 제2 에어리어(A2)에 위치하고 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 버퍼부(116)는, 반송 로봇(115)을 사이에 끼고 왕로 부분(11)과 귀로 부분(13) 사이의 간극 에어리어와는 반대측의 외측 에어리어에 위치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 왕로 부분(11)의 측방에 위치하고 있는 기둥 등의 구조물 또는 다른 장치 등의 존재에 의해 발생한 빈 에어리어를 유효 이용하여 버퍼부(116)를 배치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 공장 내에서 기판 처리 장치(1)의 설치가 가능한 영역에 제한이 있는 경우여도, 기판 처리 장치(1)의 설치가 용이해질 수 있다.
상기 제1 실시 형태 및 상기 각 변형예에 있어서, 예를 들면, 세정부(111)에 있어서의 제1 패스 라인(P1)의 높이와, 도포부(112)에 있어서의 제2 패스 라인(P2)의 높이와, 버퍼부(116)의 재치부의 높이가 동일하면, 반송 로봇(115)이 기판(G1)을 승강시키는 승강 기구를 갖지 않은 양태가 생각된다.
상기 제1 실시 형태 및 상기 각 변형예에 있어서, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)가, 버퍼부(116)와 회전부(117)를 갖는 경우에, 버퍼부(116)와 회전부(117)가 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있어도 된다.
상기 제1 실시 형태 및 상기 각 변형예에 있어서, 예를 들면, 냉각부(133)와 인덱서 장치(2) 사이에, 검사부 등의 다른 기능을 갖는 부분이 위치하고 있어도 된다. 검사부는, 예를 들면, 카메라 등의 광학적인 부재를 이용하여 기판(G1)의 검사를 행하기 위한 부분이다.
상기 제1 실시 형태 및 상기 각 변형예에 있어서, 예를 들면, 포스트 베이크부(132) 및 냉각부(133)가 생략되어도 된다.
상기 제1 실시 형태 및 상기 각 변형예에 있어서, 예를 들면, 처리 대상으로서의 기판(G1)으로서의 유리 기판에는, 예를 들면, 액정 표시 장치용 유리 기판, 유기 EL(Electro Luminescence) 표시용 유리 기판, PDP용 유리 기판 또는 포토마스크용 유리 기판 등이 적용된다. 또, 처리 대상의 기판(G1)으로서, 예를 들면, 유리 기판과는 상이한, 반도체 웨이퍼, 컬러 필터용 기판, 기록 디스크용 기판 또는 태양 전지용 기판 등의 다른 정밀 전자 장치용의 기판이 채용되어도 된다.
상기 제1 실시 형태 및 상기 각 변형예에 있어서, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)에, 인덱서 장치(2)가 포함되어 있어도 되고, 노광 장치(3)가 포함되어 있어도 된다.
또한, 상기 제1 실시 형태 및 각종 변형예를 각각 구성하는 전부 또는 일부를, 적절히, 모순되지 않는 범위에서 조합 가능한 것은 말할 필요도 없다.
1: 기판 처리 장치 11: 왕로 부분
11i: 피반입 영역 111: 세정부
112: 도포부 115, 118, 119: 반송 로봇
116: 버퍼부 117: 회전부
12: 인터페이스부 13: 귀로 부분
13o: 피반출 영역 131: 현상부
2: 인덱서 장치 3: 노광 장치
A1: 제1 에어리어 A2: 제2 에어리어
Ax1: 가상 회전축 G1: 기판
P1: 제1 패스 라인 P2: 제2 패스 라인

Claims (13)

  1. 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피(被)반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는 기판 처리 장치로서,
    상기 왕로 부분은,
    상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와,
    상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와,
    상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와,
    상기 세정부로부터의 상기 기판의 반출, 상기 버퍼부로의 상기 기판의 반입, 상기 버퍼부로부터의 상기 기판의 반출, 및 상기 도포부로의 상기 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함하고,
    상기 귀로 부분은,
    상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함하고,
    상기 왕로 부분은, 상하 방향을 따른 가상적인 회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 회전시키는 회전부를 더 포함하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 회전부로의 상기 기판의 반입 및 상기 회전부로부터의 상기 기판의 반출을 행하고,
    상기 회전부는, 상기 세정부 또는 상기 도포부에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  2. 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는 기판 처리 장치로서,
    상기 왕로 부분은,
    상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와,
    상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와,
    상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와,
    상기 세정부로부터의 상기 기판의 반출, 상기 버퍼부로의 상기 기판의 반입, 상기 버퍼부로부터의 상기 기판의 반출, 및 상기 도포부로의 상기 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함하고,
    상기 귀로 부분은,
    상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함하고,
    상기 왕로 부분은, 상하 방향을 따른 가상적인 회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 회전시키는 회전부를 더 포함하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 회전부로의 상기 기판의 반입 및 상기 회전부로부터의 상기 기판의 반출을 행하고,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 회전부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  3. 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는 기판 처리 장치로서,
    상기 왕로 부분은,
    상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와,
    상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와,
    상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와,
    상기 세정부로부터의 상기 기판의 반출, 상기 버퍼부로의 상기 기판의 반입, 상기 버퍼부로부터의 상기 기판의 반출, 및 상기 도포부로의 상기 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함하고,
    상기 귀로 부분은,
    상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함하고,
    상기 왕로 부분은, 상하 방향을 따른 가상적인 회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 회전시키는 회전부를 더 포함하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 회전부로의 상기 기판의 반입 및 상기 회전부로부터의 상기 기판의 반출을 행하고,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 회전부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  4. 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는 기판 처리 장치로서,
    상기 왕로 부분은,
    상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와,
    상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와,
    상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와,
    상기 세정부로부터의 상기 기판의 반출, 상기 버퍼부로의 상기 기판의 반입, 상기 버퍼부로부터의 상기 기판의 반출, 및 상기 도포부로의 상기 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함하고,
    상기 귀로 부분은,
    상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함하고,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 도포부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어, 또는 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 도포부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 도포부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 버퍼부는, 상기 세정부 또는 상기 도포부에 대해 상하 방향으로 겹쳐지도록 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 버퍼부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  9. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 버퍼부는, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분과는 반대측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  10. 인덱서 장치로부터 기판이 반입되는 피반입 영역으로부터 노광 장치를 향해 상기 기판을 반출하는 인터페이스부에 이르기까지 상기 기판이 이동하는 왕로 부분과, 상기 인터페이스부로부터 상기 인덱서 장치를 향해 상기 기판이 반출되는 피반출 영역에 이르기까지 상기 노광 장치로부터 상기 인터페이스부에 반입된 상기 기판이 이동하는 귀로 부분을 갖는 기판 처리 장치로서,
    상기 왕로 부분은,
    상기 인덱서 장치로부터 반입된 상기 기판에 세정 처리를 실시하는 세정부와,
    상기 세정부에서 상기 세정 처리가 실시된 상기 기판 상에 처리액을 도포하는 도포부와,
    상기 기판이 일시적으로 수납되는 버퍼부와,
    상기 세정부로부터의 상기 기판의 반출, 상기 버퍼부로의 상기 기판의 반입, 상기 버퍼부로부터의 상기 기판의 반출, 및 상기 도포부로의 상기 기판의 반입을 행하는 반송 로봇을 포함하고,
    상기 귀로 부분은,
    상기 처리액에 따른 막에 현상 처리를 실시하는 현상부를 포함하고,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 왕로 부분과 상기 귀로 부분이, 간극 에어리어를 사이에 두고 떨어져 위치하고 있고,
    상방으로부터 평면에서 봤을 경우에, 상기 버퍼부는, 상기 왕로 부분의 상기 간극 에어리어 측에 있어서, 상기 반송 로봇의 상기 귀로 부분측의 에어리어에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  11. 청구항 1 내지 청구항 6 및 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은 상기 기판을 승강시키는, 기판 처리 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
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