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KR102542229B1 - Light emitting device and light emitting device including the same - Google Patents

Light emitting device and light emitting device including the same Download PDF

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KR102542229B1
KR102542229B1 KR1020150143783A KR20150143783A KR102542229B1 KR 102542229 B1 KR102542229 B1 KR 102542229B1 KR 1020150143783 A KR1020150143783 A KR 1020150143783A KR 20150143783 A KR20150143783 A KR 20150143783A KR 102542229 B1 KR102542229 B1 KR 102542229B1
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홍준희
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쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드
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Abstract

본 발명은 발광 소자에 관한 것으로서, 기판 및 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물을 포함하고, 상기 기판은 상기 기판상에 소정 간격 이격되게 구비되는 복수 개의 패턴을 포함하며, 상기 복수 개의 패턴은 제1높이 침강되도록 구비되는 침강부를 포함하고, 상기 침강부는 상기 기판의 일면으로부터 제2높이 돌출되도록 구비되는 적어도 하나 이상의 돌출부를 포함하는 발광소자이다.The present invention relates to a light emitting device, and includes a light emitting structure including a substrate, a first conductivity type semiconductor layer disposed on the substrate, an active layer and a second conductivity type semiconductor layer, wherein the substrate is disposed on the substrate at a predetermined interval. Includes a plurality of patterns spaced apart from each other, wherein the plurality of patterns include a recessed portion provided to sink to a first height, and the recessed portion includes at least one protrusion provided to protrude from one surface of the substrate to a second height is a light emitting device.

Description

발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 패키지{LIGHT EMITTING DEVICE AND LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING THE SAME}Light emitting device and light emitting device package including the same {LIGHT EMITTING DEVICE AND LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING THE SAME}

실시 예는 발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 패키지에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device and a light emitting device package including the same.

반도체의 ⅢⅢ-ⅤⅤ족 또는 ⅡⅡ-ⅥⅥ 족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Light Emitting Diode)나 레이저 다이오드와 같은 발광 소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있다. 또한, 발광 소자는 형광 물질을 이용하여 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현할 수 있으며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다.Light emitting devices such as light emitting diodes or laser diodes using group ⅢⅢ-ⅤⅤ group or ⅡⅡ-ⅥⅥ compound semiconductor materials of semiconductors have been developed in thin film growth technology and device materials to produce various colors such as red, green, blue, and ultraviolet. can be implemented. In addition, the light emitting element can realize white light with high efficiency by combining colors using fluorescent materials, and has advantages of low power consumption, semi-permanent lifespan, fast response speed, safety, and environmental friendliness compared to conventional light sources such as fluorescent and incandescent lights. have

따라서, 광 통신 수단의 송신 모듈, 액정 표시 장치(LCD:Liquid Crystal Display)의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL:Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호 등에까지 발광 소자의 응용이 확대되고 있다.Therefore, a light emitting diode backlight that replaces a cold cathode fluorescence lamp (CCFL) constituting a transmission module of an optical communication means, a backlight of a liquid crystal display (LCD: Liquid Crystal Display), and a fluorescent lamp or an incandescent bulb that can be replaced The application of light emitting devices is expanding to white light emitting diode lighting devices, automobile headlights and signals.

발광소자는 사파이어 기판상에 버퍼층을 형성하고 그 상부에 언도프(undoped)된 GaN층 및 n-GaN층이 차례대로 배치될 수 있다.In the light emitting device, a buffer layer may be formed on a sapphire substrate, and an undoped GaN layer and an n-GaN layer may be sequentially disposed thereon.

상기 n-GaN층 위에 단일 또는 다중 양자우물구조로 형성되어 광을 방출하는 활성층, 상기 활성층 위에 p-GaN층이 차례대로 적층되도록 구비될 수 있다.An active layer formed as a single or multiple quantum well structure on the n-GaN layer to emit light, and a p-GaN layer may be sequentially stacked on the active layer.

각 층의 형성방법은 전자빔 증착기, PVD(Physical Vapor Deposiotion), CVD(Chemical Vapor Deposition), PLD(Plasma Laser Deposition), 이중형의 열증착기(Dual-type Thermal Evaporator), 스퍼터링(Sputtering), MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)등에 의해 형성 될 수 있다.The formation method of each layer is electron beam evaporation, PVD (Physical Vapor Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition), PLD (Plasma Laser Deposition), dual-type thermal evaporator, sputtering, MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition), etc.

이러한 발광소자는 P/N 결합 사이의 활성층(19)에서의 전자와 정공의 재 결합에 의해 광자(Photon)가 발생되는 원리를 가지고 있다.This light emitting device has a principle of generating photons by recombination of electrons and holes in the active layer 19 between P/N bonds.

발광소자가 플립 칩(Flip chip)구조로 구비되는 경우 전술한 발광소자의 상면과 하부면이 뒤집힌 상태로 장착되게 된다.When the light emitting device is provided in a flip chip structure, the upper and lower surfaces of the light emitting device described above are mounted in an inverted state.

이때, 기판이 가장 상부면에 위치하게 되고 상기 활성층에서 발생한 광은 상부의 기판을 통하여 외부로 이동하게 된다.At this time, the substrate is located on the uppermost surface and the light generated from the active layer moves to the outside through the upper substrate.

종래의 플립칩 타입의 발광소자는 광 추출 효율을 향상시키기 위하여 상기 기판상에 패턴을 형성하는 패터닝(Patterning), 에칭(Etching) 및 라우팅(Roughing)등의 방법을 사용하고 있었다.Conventional flip-chip type light emitting devices use methods such as patterning, etching, and roughing to form patterns on the substrate in order to improve light extraction efficiency.

하지만, 종래의 방법들은 화학용액을 사용하여 공정이 증가되어 생산효율을 떨어뜨리는 문제가 있었다.However, the conventional methods have a problem in that the process is increased using a chemical solution and the production efficiency is lowered.

또한, 화학적 반응을 이용하기 때문에 기판상에 형성되는 패턴의 자유도가 떨어지는 문제가 있었다.In addition, since the chemical reaction is used, there is a problem in that the degree of freedom of the pattern formed on the substrate is low.

또한, 화학용액을 사용하는 공정이 추가됨에 따라 작업자가 작업하는 경우 인체에 해로운 위험이 발생하는 문제가 있었다.In addition, as a process using a chemical solution is added, there is a problem in that a harmful risk occurs to the human body when a worker works.

본 발명은 기판에 패턴을 형성함에 있어 화학용액을 사용하여 공정이 증가되어 생산효율을 떨어뜨리는 문제를 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a light emitting device that prevents the problem of reducing production efficiency due to an increase in the process using a chemical solution in forming a pattern on a substrate.

또한, 화학적 반응을 이용하기 때문에 기판상에 형성되는 패턴의 자유도가 떨어지는 것을 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.In addition, it is a task to be solved to provide a light emitting device that prevents the degree of freedom of a pattern formed on a substrate from being lowered due to the use of a chemical reaction.

또한, 화학용액을 사용하는 공정이 추가됨에 따라 작업자가 작업하는 경우 인체에 해로운 위험이 발생하는 것을 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.In addition, as a process using a chemical solution is added, it is a task to solve the problem of providing a light emitting device that prevents harmful risks to the human body when a worker works.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여, 기판 및 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물을 포함하고, 상기 기판은 상기 발광 구조물 방향의 제1면 및 상기 제1 면과 마주보는 제2 면을 포함하고, 상기 기판의 제2 면에 복수 개의 패턴이 배치되고, 상기 복수 개의 패턴 중 적어도 하나는 제1 높이만큼 침강하는 제1 영역과 상기 제1 영역의 둘레에 배치되고 제2 높이만큼 돌출되는 제2 영역을 포함하는 발광소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention includes a light emitting structure including a substrate and a first conductivity type semiconductor layer disposed on the substrate, an active layer and a second conductivity type semiconductor layer, wherein the substrate is directed toward the light emitting structure. A first region including a first surface and a second surface facing the first surface, wherein a plurality of patterns are disposed on the second surface of the substrate, and at least one of the plurality of patterns is submerged by a first height. As a means for solving the problem, providing a light emitting device including a second region disposed around the first region and protruding by a second height is provided.

또한, 상기 복수 개의 패턴은, 제1방향을 따라 제1간격 이격되도록 배치되는 복수 개의 제1패턴 및 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 제2간격 이격되도록 배치되는 복수 개의 제2패턴;을 포함하는 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the plurality of patterns may include a plurality of first patterns disposed to be spaced apart by a first distance along a first direction and a plurality of second patterns disposed to be spaced apart by a second distance along a second direction perpendicular to the first direction. A solution to the problem is to provide a light emitting element containing ;.

또한, 상기 복수 개의 패턴은 상기 기판의 중심(C)으로부터 서로 상이한 반경을 가지는 동심원 형태의 복수 개의 제3패턴인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, as a means for solving the problem, the plurality of patterns is to provide a light emitting device that is a plurality of third patterns in the form of concentric circles having different radii from the center (C) of the substrate.

또한, 상기 복수 개의 패턴은 상기 기판의 중심(C)으로부터 서로 상이한 반경을 가지는 다각형 형태의 복수 개의 제4패턴인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, as a means for solving the problem, providing a plurality of fourth pattern light emitting elements having a polygonal shape having different radii from the center (C) of the substrate is the plurality of patterns.

또한, 상기 제4패턴은 삼각형 형태인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the fourth pattern is to provide a triangular light emitting element as a solution to the problem.

또한, 상기 제1간격 및/또는 제2간격은 20㎛ 내지 100㎛인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the first interval and / or the second interval is to provide a light emitting device of 20㎛ to 100㎛ as a solution to the problem.

또한, 상기 제1간격 및/또는 제2간격은 50㎛인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the first interval and / or the second interval is to provide a light emitting device of 50㎛ as a solution to the problem.

또한, 상기 침강부는 상기 침강부의 일면을 형성하는 제1경사면 및 상기 침강부의 타면을 형성하는 제2경사면을 포함하며, 상기 제1경사면 및/또는 상기 제2경사면은 상기 기판의 일면과 제1각도만큼 기울어지도록 구비되는 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the recessed part includes a first inclined surface forming one surface of the recessed part and a second inclined surface forming the other surface of the recessed part, and the first inclined surface and/or the second inclined surface form a first angle with respect to one surface of the substrate. To provide a light emitting element provided to be tilted as much as possible as a solution to the problem.

또한, 상기 제1각도는 10도 내지 75도인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the first angle is to provide a light emitting device of 10 degrees to 75 degrees as a solution to the problem.

또한, 상기 제1각도는 45도인 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the first angle is to provide a light emitting element of 45 degrees as a solution to the problem.

또한, 상기 제1경사면 및/또는 상기 제2경사면은 러프니스(Roughness)를 포함하는 발광 소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, as a solution to the problem, the first inclined surface and/or the second inclined surface provide a light emitting device including roughness.

또한, 상기 패키지 몸체에 배치된 제1 전극층과 제2 전극층 및 상기 패키지 몸체상에 플립 본딩되고, 상기 제1 전극층과 제2 전극층에 전기적으로 연결되는 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, to provide a light emitting device package including a first electrode layer and a second electrode layer disposed on the package body and a light emitting device flip-bonded on the package body and electrically connected to the first electrode layer and the second electrode layer. as a means of solving problems.

본 발명은 기판에 패턴을 형성함에 있어 화학용액을 사용하여 공정이 증가되어 생산효율을 떨어뜨리는 문제를 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 발명의 효과로 한다.The effect of the present invention is to provide a light emitting device that prevents the problem of reducing production efficiency due to an increase in the process using a chemical solution in forming a pattern on a substrate.

또한, 화학적 반응을 이용하기 때문에 기판상에 형성되는 패턴의 자유도가 떨어지는 것을 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 발명의 효과로 한다.In addition, it is an effect of the present invention to provide a light emitting device that prevents the degree of freedom of a pattern formed on a substrate from deteriorating due to the use of a chemical reaction.

또한, 화학용액을 사용하는 공정이 추가됨에 따라 작업자가 작업하는 경우 인체에 해로운 위험이 발생하는 것을 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 발명의 효과로 한다.In addition, it is an effect of the invention to provide a light emitting device that prevents harmful risks to the human body when a worker works as a process using a chemical solution is added.

도 1은 실시 예의 발광소자를 도시한 것이다.
도 2는 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에 형성되는 패턴의 일 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에 형성되는 패턴의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에 형성되는 패턴의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 A-A'를 따라 절단된 단면을 도시한 것이다.
도 6은 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판에 형성된 제1경사면의 각도에 따른 광추출효율의 변화를 도시한 그래프이다.
도 7은 실시 예의 발광소자가 배치된 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이다.
1 shows a light emitting device according to an embodiment.
2 illustrates an embodiment of a pattern formed on a substrate disposed on a light emitting device according to an embodiment.
Figure 3 shows another embodiment of the pattern formed on the top of the substrate disposed on the light emitting device of the embodiment.
Figure 4 shows another embodiment of the pattern formed on the top of the substrate disposed on the light emitting device of the embodiment.
5 shows a cross section taken along A-A' of a substrate disposed on a light emitting device according to an embodiment.
6 is a graph illustrating a change in light extraction efficiency according to an angle of a first inclined surface formed on a substrate disposed on a light emitting device according to an embodiment.
7 is a view showing an embodiment of a light emitting device package in which the light emitting device of the embodiment is disposed.

이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention that can specifically realize the above object will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case of being described as being formed on "on or under" of each element, on or under (on or under) or under) includes both elements formed by directly contacting each other or by indirectly placing one or more other elements between the two elements. In addition, when expressed as "on or under", it may include the meaning of not only the upward direction but also the downward direction based on one element.

도 1은 실시 예의 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지를 도시한 것이다.1 illustrates a light emitting device package including a light emitting device according to an embodiment.

실시 예의 발광소자 패키지는 발광소자가 플립 본딩 되어 있는 구조를 도시한 것이다.The light emitting device package of the embodiment shows a structure in which light emitting devices are flip-bonded.

도 1을 참조하면, 발광 소자(LED)는 기판(121), 발광 구조물(123), 제1 및 제2 범프(215A, 215B)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the light emitting device LED may include a substrate 121 , a light emitting structure 123 , and first and second bumps 215A and 215B.

기판(121)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질, 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있다. 또한, 기판(121)은 열전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있으며, 전도성 기판 또는 절연성 기판일 수 있다. 예를 들어 기판(121)은 사파이어(Al203), GaN, SiC, ZnO, Si, GaP, InP, Ga203, GaAs 중 적어도 하나를 포함하는 물질일 수 있다. 비록 도시되지는 않았지만 이러한 기판(121)의 아래에는 요철이 형성될 수 있다.The substrate 121 may be formed of a material suitable for growing a semiconductor material or a carrier wafer. In addition, the substrate 121 may be formed of a material having excellent thermal conductivity, and may be a conductive substrate or an insulating substrate. For example, the substrate 121 may be a material including at least one of sapphire (Al 2 0 3 ), GaN, SiC, ZnO, Si, GaP, InP, Ga 2 0 3 , and GaAs. Although not shown, irregularities may be formed under the substrate 121 .

발광 구조물(123)은 기판(121) 아래에 제1 도전형 반도체층(123A), 활성층(123B), 및 제2 도전형 반도체층(123C)이 순차로 적층된 구조일 수 있다.The light emitting structure 123 may have a structure in which a first conductivity type semiconductor layer 123A, an active layer 123B, and a second conductivity type semiconductor layer 123C are sequentially stacked under the substrate 121 .

제1 도전형 반도체층(123A)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(123A)은 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다.The first conductivity-type semiconductor layer 123A may be formed of a semiconductor compound. The first conductivity-type semiconductor layer 123A may be implemented with compound semiconductors of Groups 3-5, 2-6, and the like, and may be doped with a first conductivity-type dopant.

발광 구조물(123)은 제1 도전형 반도체층(123A) 일부를 노출할 수 있다. 즉 발광 구조물(123)에서 제2 도전형 반도체층(123C), 활성층(123B) 및 제1 도전형 반도체층(123A)의 일부가 식각되어 제1 도전형 반도체층(123A)의 일부는 노출될 수 있다. 이때 메사 식각(mesa etching)에 의하여 노출되는 제1 도전형 반도체층(123A)의 노출면은 활성층(123B)의 상면보다 높게 위치할 수 있다.The light emitting structure 123 may expose a portion of the first conductivity type semiconductor layer 123A. That is, in the light emitting structure 123, portions of the second conductivity type semiconductor layer 123C, the active layer 123B, and the first conductivity type semiconductor layer 123A are etched to expose a portion of the first conductivity type semiconductor layer 123A. can In this case, an exposed surface of the first conductivity-type semiconductor layer 123A exposed by mesa etching may be positioned higher than a top surface of the active layer 123B.

활성층(123B)과 제1 도전형 반도체층(123A) 사이, 또는 활성층(123B)과 제2 도전형 반도체층(123C) 사이에는 도전형 클래드층(clad layer, 미도시)이 배치될 수도 있으며, 도전형 클래드층은 질화물 반도체(예컨대, AlGaN)로 형성될 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be disposed between the active layer 123B and the first conductive semiconductor layer 123A or between the active layer 123B and the second conductive semiconductor layer 123C, The conductive cladding layer may be formed of a nitride semiconductor (eg, AlGaN).

기판(121)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질이나 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있으며, 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있고, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함할 수 있다. 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiO2, SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.The substrate 121 may be formed of a material suitable for growing a semiconductor material or a carrier wafer, may be formed of a material having excellent thermal conductivity, and may include a conductive substrate or an insulating substrate. For example, at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), SiO 2 , SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga 2 O 3 may be used.

기판(121)과 발광 구조물(123)은 이종의 재료이므로 격자 상수 부정합(lattice mismatch)이 매우 크고 이들 사이에 열 팽창 계수 차이도 매우 크기 때문에, 결정성을 악화시키는 전위(dislocation), 멜트 백(melt-back), 크랙(crack), 피트(pit), 표면 모폴로지(surface morphology) 불량 등이 발생할 수 있다.Since the substrate 121 and the light emitting structure 123 are of different materials, the lattice mismatch is very large and the thermal expansion coefficient difference between them is very large, so dislocation that deteriorates crystallinity, melt back ( Melt-back, cracks, pits, and poor surface morphology may occur.

상술한 문제점을 해결하고자 기판(121)과 발광 구조물(123)의 사이에 버퍼층(215)을 형성할 수 있다.In order to solve the above problems, a buffer layer 215 may be formed between the substrate 121 and the light emitting structure 123 .

발광 구조물(123)은 제1 도전형 반도체층(123A)과 활성층(123B) 및 제2 도전형 반도체층(123C)을 포함하여 이루어질 수 있다.The light emitting structure 123 may include a first conductivity type semiconductor layer 123A, an active layer 123B, and a second conductivity type semiconductor layer 123C.

제1 도전형 반도체층(123A)은 -Ⅴ족, -Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 123A may be implemented with a compound semiconductor such as group -V or group -VI, and may be doped with a first conductivity type dopant.

상세하게는 제1 도전형 반도체층(123A)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질, AlGaN, GaN, InAlGaN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.In detail, the first conductivity type semiconductor layer 123A is a semiconductor having a composition formula of Al x In y Ga (1-xy) N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) It may be formed of any one or more of materials, AlGaN, GaN, InAlGaN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, and AlGaInP.

제1 도전형 반도체층(123A)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 Si, Ge, Sn, Se, Te 등과 같은 n형 도펀트를 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(123A)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.When the first conductivity-type semiconductor layer 123A is an n-type semiconductor layer, the first conductivity-type dopant may include an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, Se, or Te. The first conductivity-type semiconductor layer 123A may be formed as a single layer or multiple layers, but is not limited thereto.

활성층(123B)은 제1 도전형 반도체층(123A)과 제2 도전형 반도체층(123C) 사이에 배치되며, 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물(MQW:Multi Quantum Well) 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있으며, 예를 들면 다중 양자 우물 구조로 이루어질 수 있다.The active layer 123B is disposed between the first conductivity-type semiconductor layer 123A and the second conductivity-type semiconductor layer 123C, and has a single well structure, a multi-well structure, a single quantum well structure, or a multi-quantum well (MQW). Well) structure, a quantum dot structure, or a quantum wire structure, for example, a multi-quantum well structure.

활성층(123B)은 -Ⅴ족 원소의 화합물 반도체 재료를 이용하여 우물층과 장벽층, 예를 들면 AlGaN/AlGaN, InGaN/GaN, InGaN/InGaN, AlGaN/GaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP, InGaN/AlGaN 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있다.The active layer 123B is a well layer and a barrier layer, for example, AlGaN/AlGaN, InGaN/GaN, InGaN/InGaN, AlGaN/GaN, InAlGaN/GaN, GaAs (InGaAs)/ It may be formed in a pair structure of one or more of AlGaAs, GaP (InGaP)/AlGaP, and InGaN/AlGaN.

우물층은 장벽층의 에너지 밴드 갭보다 작은 에너지 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다. 활성층(123B)이 녹색 파장 영역의 광을 방출할 때, 활성층(123B)은 다중양자우물 구조로 이루어질 수 있고, 예를 들면 InGaN/AlGaN 구조의 양자우물/양자벽으로 이루어질 수 있고, 상세하게는 In0 . 23GaN/Al0 . 1GaN 구조의 양자우물층/양자벽층의 페어(pair) 구조가 1주기 이상인 다중 양자 우물 구조일 수 있고, 양자 우물은 후술하는 제2 도전형 도펀트를 포함할 수 있다.The well layer may be formed of a material having an energy band gap smaller than that of the barrier layer. When the active layer 123B emits light in the green wavelength region, the active layer 123B may have a multi-quantum well structure, for example, a quantum well/quantum wall of an InGaN/AlGaN structure. In 0 . 23 GaN/Al 0 . A quantum well layer/quantum wall layer pair structure of 1 GaN structure may be a multi-quantum well structure having one or more cycles, and the quantum well may include a second conductivity-type dopant to be described later.

제2 도전형 반도체층(123C)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(123C)은 -Ⅴ족, -Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(123C)은 예컨대, InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질, AlGaN, GaN AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있으며, 예를 들어 제2 도전형 반도체층(123C)이 AlxGa(1-x)N으로 이루어질 수 있다.The second conductivity-type semiconductor layer 123C may be formed of a semiconductor compound. The second conductivity type semiconductor layer 123C may be implemented with a compound semiconductor such as group -V or group -VI, and may be doped with a second conductivity type dopant. The second conductive semiconductor layer 123C is, for example, a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) , AlGaN, GaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, and AlGaInP. For example, the second conductivity-type semiconductor layer 123C may be formed of Al x Ga (1-x) N. there is.

제2 도전형 반도체층(123C)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등과 같은 p형 도펀트일 수 있다. 제2 도전형 반도체층(123C)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.When the second conductivity type semiconductor layer 123C is a p-type semiconductor layer, the second conductivity type dopant may be a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr, or Ba. The second conductivity type semiconductor layer 123C may be formed as a single layer or multiple layers, but is not limited thereto.

이때, 제1 전극(123D)이 제1 도전형 반도체층(123A)과 제1 범프(125A) 사이에 배치되고, 제2 전극(123E)이 제2 도전형 반도체층(123C)와 제2 범프(125C) 사이에 배치될 수 있다.In this case, the first electrode 123D is disposed between the first conductivity type semiconductor layer 123A and the first bump 125A, and the second electrode 123E is disposed between the second conductivity type semiconductor layer 123C and the second bump. (125C) can be placed between.

제1 범프(125A)는 제1 전극과 제1 전극층(124) 사이에 배치될 수 있다. 제2 범프(125C)는 제2 전극과 제2 전극층(126) 사이에 배치될 수 있다.The first bump 125A may be disposed between the first electrode and the first electrode layer 124 . The second bump 125C may be disposed between the second electrode and the second electrode layer 126 .

제1 및 제2 전극층(124, 126)은 발광 구조물(123)의 두께 방향과 수직한 방향인 x축 방향으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 전극층(124, 126)은 서로 전기적으로 분리되어 있다. 제1 및 제2 전극층(124, 126) 각각은 도전형 물질 예를 들면 금속으로 이루어질 수 있으며, 실시 예는 제1 및 제2 전극층(124, 126) 각각의 물질의 종류에 국한되지 않는다.The first and second electrode layers 124 and 126 may be spaced apart from each other in the x-axis direction, which is a direction perpendicular to the thickness direction of the light emitting structure 123 . Thus, the first and second electrode layers 124 and 126 are electrically isolated from each other. Each of the first and second electrode layers 124 and 126 may be made of a conductive material, for example, metal, and the embodiment is not limited to the type of material of each of the first and second electrode layers 124 and 126 .

도 2는 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에 형성되는 패턴의 일 실시 예를 도시한 것이다.2 illustrates an embodiment of a pattern formed on a substrate disposed on a light emitting device according to an embodiment.

도 2를 참조하면, 전술한 바와 같이 종래의 발광소자의 기판에 패턴을 형성하기 위해서는 화학 용액을 이용하여 패터닝, 에칭 및 라우팅등의 방식을 이용하게 되는데, 이로 인하여 공정이 증가하거나 상기 기판(121)에 형성되는 패턴(X, Y)의 자유도가 현저히 떨어지는 문제가 발생하였다.Referring to FIG. 2, as described above, in order to form a pattern on a substrate of a conventional light emitting device, methods such as patterning, etching, and routing using a chemical solution are used. As a result, the process is increased or the substrate 121 ).

본 실시 예에서는 전술한 문제를 해결하기 위하여 레이저(Laser)를 이용하여 발광소자의 기판(121)에 패턴(X,Y)을 형성할 수 있다.In this embodiment, patterns X and Y may be formed on the substrate 121 of the light emitting device by using a laser in order to solve the above problem.

실시 예의 패턴(X, Y)은 기판(121)의 상부면(121A)에 형성될 수 있으며, 제1방향을 따라 제1간격 이격되도록 복수 개의 제1패턴(X1-X6)이 형성될 수 있다.The patterns (X, Y) of the embodiment may be formed on the upper surface 121A of the substrate 121, and a plurality of first patterns X1-X6 may be formed to be spaced apart by a first distance along a first direction. .

또한, 제1방향과 수직방향인 제2방향을 따라 제2간격 이격되도록 복수 개의 제2패턴(Y1-Y5)이 형성될 수 있다.In addition, a plurality of second patterns Y1-Y5 may be formed to be spaced apart by a second distance along a second direction perpendicular to the first direction.

제1패턴(X1-X6)는 제1방향을 따라 6개 형성되도록 도시되어 있고, 제2패턴(Y1-Y5)는 제2방향을 따라 5개 형성되도록 도시되어 있으나, 이는 일 실시 예를 설명하기 위한 것이며 제1패턴(X1-X6)의 개수와 제2패턴(Y1-Y5)의 개수는 사용자의 필요에 따라 변형될 수 있다.Six first patterns (X1-X6) are shown to be formed along the first direction, and five second patterns (Y1-Y5) are shown to be formed along the second direction, but this is an exemplary embodiment. The number of first patterns (X1-X6) and the number of second patterns (Y1-Y5) can be modified according to the needs of the user.

또한, 제1패턴(X1-X6)의 개수와 제2패턴(Y1-Y5)의 개수는 서로 상이할 수 있다.Also, the number of first patterns X1 to X6 and the number of second patterns Y1 to Y5 may be different from each other.

또한, 제1패턴(X1-X6)의 개수와 제2패턴(Y1-Y5)의 개수는 동일하도록 구비될 수 있다.Also, the number of first patterns X1 to X6 and the number of second patterns Y1 to Y5 may be the same.

또한, 실시 예의 제1패턴(X1-X6)이 형성되는 제1방향과 제2패턴(Y1-Y5)이 형성되는 제2방향은 서로 수직방향을 이루도록 도시되어 있으나, 이 또한 일 실시 예를 도시한 것이고 제1방향과 제2방향은 수직되지 아니하고 소정 각도를 이루도록 구비될 수도 있다.In addition, the first direction in which the first pattern (X1-X6) of the embodiment is formed and the second direction in which the second pattern (Y1-Y5) is formed are shown to be perpendicular to each other, but this is also shown in one embodiment. It is one and the first direction and the second direction may be provided to achieve a predetermined angle rather than perpendicular.

상기 제1패턴(X1-X6)들은 제1간격 만큼 서로 이격되도록 형성될 수 있는데, 상기 제1간격은 20㎛ 내지 100㎛일 수 있고, 예를 들면 50㎛일 수 있다.The first patterns X1 to X6 may be formed to be spaced apart from each other by a first distance, and the first distance may be 20 μm to 100 μm, for example, 50 μm.

이는 제1패턴(X1-X6)들은 서로 50㎛ 이격되도록 형성되는 경우 발광소자의 광 추출 효율이 가장 높게 나타나기 때문이다.This is because the light extraction efficiency of the light emitting device is highest when the first patterns X1 to X6 are spaced apart from each other by 50 μm.

다만, 상기 제1간격은 제1패턴(X1-X6)이 형성되는 깊이 및 발광소자의 내부의 구조에 따라 달라질 수 있으며, 본 발명의 권리범위를 제한하는 것은 아니다.However, the first interval may vary according to the depth at which the first patterns X1 to X6 are formed and the internal structure of the light emitting device, but does not limit the scope of the present invention.

또한, 상기 제2패턴(Y1-Y5)은 제2간격 이격되도록 형성될 수 있는데, 상기 제2간격은 20㎛ 내지 100㎛ 일 수 있고, 예를 들면 50㎛일 수 있다.In addition, the second patterns Y1 to Y5 may be formed to be spaced apart by a second interval, and the second interval may be 20 μm to 100 μm, for example, 50 μm.

이는 제2패턴(Y1-Y5)이 50㎛ 이격되도록 형성되는 경우 발광소자의 광 추출 효율이 가장 높게 나타나기 때문이다.This is because the light extraction efficiency of the light emitting device is highest when the second patterns Y1 to Y5 are spaced apart from each other by 50 μm.

다만, 상기 제2간격은 제2패턴(Y1-Y5)이 형성되는 깊이 및 발광소자의 내부의 구조에 따라 달라질 수 있으며, 본 발명의 권리범위를 제한하는 것은 아니다.However, the second interval may vary according to the depth at which the second patterns Y1-Y5 are formed and the internal structure of the light emitting device, and the scope of the present invention is not limited.

상기 제1간격 및 상기 제2간격은 서로 동일하게 구비될 수 있다.The first interval and the second interval may be equally provided.

또한, 상기 제1간격 및 상기 제2간격은 서로 상이하도록 구비될 수도 있다.In addition, the first interval and the second interval may be provided to be different from each other.

상기 제1패턴(X1-X6) 및 상기 제2패턴(Y1-Y5)들 각각의 깊이는 1㎛ 내지 5㎛로 구비될 수 있다.A depth of each of the first pattern (X1-X6) and the second pattern (Y1-Y5) may be 1 μm to 5 μm.

이는, 종래의 발광소자의 기판(121)에 화학 반응을 이용하여 패턴을 형성하는 경우 패턴의 깊이는 적어도 5㎛이상으로 형성되어야 광 추출 효율이 증가하는 효과가 있었으나 실시 예의 발광소자의 기판(121)에 형성되는 패턴은 레이저를 사용하면 보다 패턴을 정교하게 형성할 수 있기 때문에 상기 패턴의 하부면에 형성되는 플랫(Flat)한 면이 상대적으로 줄어들어 상기 제1패턴(X1-X6) 및 상기 제2패턴(Y1-Y5)이 5㎛이하로 형성되어도 광 추출 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.This is, when forming a pattern on the substrate 121 of the conventional light emitting device by using a chemical reaction, the depth of the pattern should be formed at least 5 μm to increase the light extraction efficiency, but the substrate 121 of the light emitting device of the embodiment ) Since the pattern formed on the pattern can be formed more elaborately by using a laser, the flat surface formed on the lower surface of the pattern is relatively reduced, and the first pattern (X1-X6) and the first pattern (X1-X6) Even if the two patterns (Y1-Y5) are formed to be 5 μm or less, there is an effect of increasing light extraction efficiency.

도 3은 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에 형성되는 패턴의 다른 실시 예를 도시한 것이다.Figure 3 shows another embodiment of the pattern formed on the top of the substrate disposed on the light emitting device of the embodiment.

도 3을 참조하면, 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에는 상기 기판 상부의 중심(C)을 기준으로 서로 상이한 반경을 가지는 동심원 형태의 적어도 하나 이상의 제3패턴(O1-O5)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3 , at least one third pattern O1 to O5 in the form of concentric circles having different radii based on the center C of the upper portion of the substrate may be included on the top of the substrate disposed on the light emitting device of the embodiment. can

이때, 상기 제3패턴(O1-O5)는 제3간격 이격되도록 배치될 수 있고, 상기 제3간격은 20㎛ 내지 100㎛ 일 수 있으며, 예를 들면 상기 제3간격은 50㎛일 수 있다.In this case, the third patterns O1 to O5 may be disposed to be spaced apart by a third interval, and the third interval may be 20 μm to 100 μm, for example, the third interval may be 50 μm.

이는 제3패턴(O1-O5)이 50㎛ 이격되도록 형성되는 경우 발광소자의 광 추출 효율이 가장 높게 나타나기 때문이다.This is because the light extraction efficiency of the light emitting device is highest when the third patterns O1 to O5 are spaced apart from each other by 50 μm.

도 3에 도시된 상기 제3패턴(O1-O5)은 원 형상을 가지도록 도시되어 있으나, 사용자의 필요에 따라 상기 제3패턴(O1-O5)은 원 형상이 아닌 타원 형상으로 구비될 수 있으며, 상기 제3간격이 서로 상이하게 구비될 수도 있다.The third patterns O1 to O5 shown in FIG. 3 are illustrated to have a circular shape, but according to the user's needs, the third patterns O1 to O5 may be provided in an elliptical shape rather than a circular shape, , the third interval may be provided differently from each other.

보다 자세하게는, 도 3에는 상기 제3패턴(O1-O5)가 동일한 간격을 가지면서 형성 되도록 도시되어 있으나 기판(121)의 중심(C)으로부터 반경방향 외측을 향하여 상기 복수 개의 제3패턴(O1-O5)이 형성되는 상기 제3간격이 증가되면서 구비될 수도 있고, 상기 기판(121)의 중심(C)으로부터 반경방향 외측을 향하여 상기 복수 개의 제3패턴(O1-O5)이 형성되는 상기 제3간격이 감소하면서 구비될 수 있다.More specifically, FIG. 3 shows that the third patterns O1 to O5 are formed at the same intervals, but the plurality of third patterns O1 extend from the center C of the substrate 121 toward the outside in the radial direction. -O5) may be provided while increasing the third interval at which the plurality of third patterns O1 to O5 are formed from the center C of the substrate 121 toward the outer side in the radial direction. 3 may be provided while the interval decreases.

도 4는 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에 형성되는 패턴의 다른 실시 예를 도시한 것이다.Figure 4 shows another embodiment of the pattern formed on the top of the substrate disposed on the light emitting device of the embodiment.

도 4를 참조하면, 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 상부에는 상기 기판 상부의 중심(C)을 기준으로 서로 상이한 반경을 가지는 삼각형 형태의 적어도 하나 이상의 제4패턴(T1-T4)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, at least one fourth triangular pattern (T1-T4) having different radii based on the center (C) of the upper portion of the substrate may be included on the upper portion of the substrate disposed on the light emitting device of the embodiment. can

상기 제4패턴(T1-T4)는 제3간격 이격되도록 배치될 수 있다.The fourth patterns T1 to T4 may be spaced apart from each other by a third distance.

상기 제4간격은 20㎛ 내지 100㎛ 일 수 있고, 예를 들면 상기 제4간격은 50㎛일 수 있다.The fourth interval may be 20 μm to 100 μm, and for example, the fourth interval may be 50 μm.

이는 제4패턴(T1-T4)이 50㎛ 이격되도록 형성되는 경우 발광소자의 광 추출 효율이 가장 높게 나타나기 때문이다.This is because the light extraction efficiency of the light emitting device is highest when the fourth patterns T1 to T4 are spaced apart from each other by 50 μm.

도 4에 도시된 상기 제4패턴(T1-T4)은 삼각형 형상을 가지도록 도시되어 있으나, 사용자의 필요에 따라 상기 제4패턴(T1-T4)은 삼각형 형상이 아닌 다각형 형상으로 구비될 수 있으며, 상기 제4간격이 서로 상이하게 구비될 수도 있다.The fourth patterns T1-T4 shown in FIG. 4 are shown to have a triangular shape, but according to the user's needs, the fourth patterns T1-T4 may be provided with a polygonal shape rather than a triangular shape, , the fourth interval may be provided differently from each other.

보다 자세하게는, 도 4에는 상기 제4패턴(T1-T4)가 동일한 간격을 가지면서 형성 되도록 도시되어 있으나 기판(121)의 중심(C)으로부터 반경방향 외측을 향하여 상기 복수 개의 제4패턴(T1-T4)이 형성되는 상기 제3간격이 증가되면서 구비될 수도 있고, 상기 기판(121)의 중심(C)으로부터 반경방향 외측을 향하여 상기 복수 개의 제4패턴(T1-T4)이 형성되는 상기 제3간격이 감소하면서 구비될 수 있다.More specifically, FIG. 4 shows that the fourth patterns T1 to T4 are formed at the same intervals, but the plurality of fourth patterns T1 extend from the center C of the substrate 121 toward the outside in the radial direction. -T4) may be provided while increasing the third interval at which the plurality of fourth patterns (T1-T4) are formed from the center (C) of the substrate 121 toward the outer side in the radial direction. 3 may be provided while the interval decreases.

도 2 내지 도 4에 도시된 상기 패턴(X, Y, O, T)를 형성하기 위하여 실시 예의 발광소자의 기판(121)에 조사하는 레이저의 파장은 352nm이고, 펄스 폭(Pulse Width)는 10ns 내지 20ns로 구비될 수 있다.In order to form the patterns (X, Y, O, T) shown in FIGS. 2 to 4, the wavelength of the laser irradiated to the substrate 121 of the light emitting device of the embodiment is 352 nm, and the pulse width is 10 ns to 20 ns.

또한, 상기 레이저가 상기 기판(121)에 조사되는 주기는 250kHz 내지 350kHz로 구비될 수 있다.In addition, the period at which the laser is irradiated to the substrate 121 may be provided with 250 kHz to 350 kHz.

만약, 상기 기판(121)에 조사되는 레이저의 주기가 250kHz 이하로 구비된다면 기판(121)에 상기 패턴(X, Y, O, T)를 형성하는 것이 불가능하며, 상기 기판(121)에 조사되는 레이저의 주기가 350kHz 이상이라면 레이저에 의해 상기 기판(121)에 데미지(damage)가 발생할 수 있기 때문이다.If the period of the laser irradiated to the substrate 121 is provided with 250 kHz or less, it is impossible to form the patterns (X, Y, O, T) on the substrate 121, and the substrate 121 is irradiated This is because if the cycle of the laser is 350 kHz or more, damage may occur to the substrate 121 by the laser.

다만, 상기 레이저의 파장, 파장폭, 조사주기 등은 일 실시 예를 나타낸 것이지, 사용자의 필요에 따라 얼마든지 변경 가능하고, 본 발명의 권리범위를 한정하지 아니한다.However, the wavelength, wavelength width, irradiation cycle, etc. of the laser are shown as an example, and can be changed as needed according to the user's needs, and do not limit the scope of the present invention.

도 5는 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판의 A-A'를 따라 절단된 단면을 도시한 것이고, 도 6은 실시 예의 발광소자에 배치되는 기판에 형성된 제1경사면의 각도에 따른 광추출효율의 변화를 도시한 그래프이다.5 shows a cross section taken along A-A′ of a substrate disposed on a light emitting device according to an embodiment, and FIG. 6 shows light extraction efficiency according to an angle of a first inclined surface formed on a substrate disposed on a light emitting device according to an embodiment. Here is a graph showing the change.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 기판(121)에 형성되는 패턴은 상기 기판(121)의 상부면(1215)으로부터 제1높이(H1) 침강되게 구비되는 제1경사면(1211), 상기 제1경사면(1211)과 대응되도록 구비되는 제2경사면(1212), 상기 제1경사면(1211)로 부터 상기 기판(121)의 상부면(1215)를 향하여 제2높이(H2) 돌출되도록 구비되는 제1돌출부(1213) 및 상기 제2경사면(1211)로 부터 상기 기판(121)의 상부면(1215)를 향하여 제2높이(H2) 돌출되도록 구비되는 제2돌출부(1214)를 포함할 수 있다.5 and 6, the pattern formed on the substrate 121 includes a first inclined surface 1211 provided to be submerged at a first height H1 from an upper surface 1215 of the substrate 121, A second inclined surface 1212 provided to correspond to the first inclined surface 1211, and a second inclined surface 1212 provided to protrude from the first inclined surface 1211 toward the upper surface 1215 of the substrate 121 at a second height H2. It may include a first protrusion 1213 and a second protrusion 1214 provided to protrude a second height H2 from the second inclined surface 1211 toward the upper surface 1215 of the substrate 121.

환언하자면, 실시 예의 기판(121)은 복수 개의 패턴 중 적어도 하나는 제1높이(H1)만큼 침강하는 제1영역(1211, 1212)과 상기 제1영역(1211, 1212)의 둘레에 배치되고 제2높이(H2)만큼 돌출되는 제2영역(1213, 1214)를 포함할 수 있다.In other words, in the substrate 121 of the embodiment, at least one of the plurality of patterns is disposed around the first regions 1211 and 1212 and the first regions 1211 and 1212 that sink by the first height H1, and Second regions 1213 and 1214 protruding by 2 heights H2 may be included.

상기 제1영역(1211, 1212)는 일면이 제1경사면(1211)으로 이루어지고, 타면이 제2경사면(1212)로 이루어지는 공간을 의미할 수 있다.The first regions 1211 and 1212 may mean a space in which one surface is formed of the first inclined surface 1211 and the other surface is formed of the second inclined surface 1212 .

또한, 상기 제2영역(1213, 1214)은 제1돌출부(1213) 및 제2돌출부(1211)을 모두 포함하는 개념일 수 있다.Also, the second regions 1213 and 1214 may have a concept including both the first protrusion 1213 and the second protrusion 1211 .

전술한 바와 같이, 상기 제1높이(H1)는 1㎛ 내지 5㎛로 구비될 수 있다.As described above, the first height H1 may be provided in a range of 1 μm to 5 μm.

상기 제1영역(1211, 1212)의 제1높이(H1)는 상기 제2높이(H2)의 1배 내지 5배로 구비될 수 있다.The first height H1 of the first regions 1211 and 1212 may be 1 to 5 times the second height H2.

제2영역(1213, 1214)은 레이저를 이용하여 기판(121)에 패턴을 형성할 때 기판에서 이탈되는 파편들이 열에 의해 녹은 후에 재 응고되어 형성되는데, 이는 실시 예의 발광소자에서 발광하는 광을 흡수하기 때문에 제1높이(H1)가 상기 제2높이(H2)의 1배 이하로 구비되는 경우 광 추출 효율이 감소하기 때문이다.The second regions 1213 and 1214 are formed by re-solidifying fragments separated from the substrate when forming a pattern on the substrate 121 using a laser by heat, which absorbs light emitted from the light emitting device of the embodiment. This is because light extraction efficiency decreases when the first height H1 is less than one time the second height H2.

상기 제1경사면(1211)은 기판(121)의 상부면(1215)와 평행한 기준선(1216)과 제1각도(θ1)를 갖도록 구비될 수 있다.The first inclined surface 1211 may have a first angle θ1 with a reference line 1216 parallel to the top surface 1215 of the substrate 121 .

상기 제2경사면(1212)은 상기 기준선(1216)과 제2각도(θ2)를 갖도록 구비될 수 있다.The second inclined surface 1212 may have a second angle θ2 with the reference line 1216 .

상기 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 10° 내지 75°로 구비될 수 있다.The first angle θ1 and the second angle θ2 may be provided at 10° to 75°.

보다 바람직하게는, 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 45°로 구비될 수 있다.More preferably, the first angle θ1 and the second angle θ2 may be provided as 45°.

이는, 도 6에 도시된 그래프와 같이 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 45°로 구비되는 경우 발광소자의 광 추출 효율이 최대가 되기 때문이다.This is because the light extraction efficiency of the light emitting device is maximized when the first angle θ1 and the second angle θ2 are provided as 45° as shown in the graph of FIG. 6 .

상기 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 동일하도록 구비될 수 있다.The first angle θ1 and the second angle θ2 may be provided to be the same.

상기 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 동일하도록 구비되는 경우 광량이 어느 한쪽으로 치우치지 않고 균일하게 진행하도록 할 수 있는 효과가 있다.When the first angle θ1 and the second angle θ2 are provided to be the same, there is an effect of allowing the amount of light to proceed uniformly without being biased to either side.

또한, 상기 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 서로 상이하게 구비될 수도 있다.Also, the first angle θ1 and the second angle θ2 may be provided differently from each other.

상기 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 서로 상이하게 구비된다면 어느 한쪽 방향으로 진행하는 광량을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.If the first angle θ1 and the second angle θ2 are provided differently from each other, an amount of light traveling in one direction can be increased.

즉, 제1각도(θ1)와 상기 제2각도(θ2)는 사용자의 필요에 따라 다르게 구비될 수 있으며, 이는 본 발명의 권리범위를 제한하지 아니한다.That is, the first angle θ1 and the second angle θ2 may be provided differently according to the needs of the user, and this does not limit the scope of the present invention.

제1경사면(1211) 및/또는 제2경사면(1212)은 도면에 도시된 바와 같이 플랫(Flat)한 평면으로 구비될 수 있다.The first inclined surface 1211 and/or the second inclined surface 1212 may be provided as a flat plane as shown in the drawing.

또한, 제1경사면(1211) 및/또는 제2경사면(1212)은 도면에 도시되지는 않았지만 소정높이 돌출 및 침강 되도록 구비되는 러프니스(Roughness)를 갖도록 구비될 수 있다.In addition, although not shown in the drawing, the first inclined surface 1211 and/or the second inclined surface 1212 may be provided to have roughness provided to protrude and sink at a predetermined height.

상기 제1경사면(1211) 및/또는 제2경사면(1212)이 소정높이 돌출 및 침강 되도록 구비되는 러프니스(Roughness)를 갖도록 구비됨으로 인하여 활성층(123B)에서 발광하는 광을 보다 효율적으로 추출할 수 있다.Since the first inclined surface 1211 and/or the second inclined surface 1212 are provided with roughness provided to protrude and sink at a predetermined height, light emitted from the active layer 123B can be more efficiently extracted. there is.

전술한 바와 같이 레이저 가공으로 기판(121)의 일 면에 패턴을 형성시킨 발광소자는 광 추출 효과 측면에서는 플립칩 구조로 배치될 때, 기판(121)의 하부에 배치되는 활성층(123B)에서 발광한 광이 기판(121)의 상부면(121A)을 통하여 보다 효율적으로 추출될 수 있어 광 추출 효과가 개선되고, 제조 공정 측면에서는 기판(121)에 종래의 화학 반응을 이용하는 것 보다 레이저를 이용하여 보다 안전하고 정교하게 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.As described above, when the light emitting device having a pattern formed on one surface of the substrate 121 by laser processing is arranged in a flip chip structure in terms of light extraction effect, light is emitted from the active layer 123B disposed below the substrate 121. Since one light can be more efficiently extracted through the upper surface 121A of the substrate 121, the light extraction effect is improved, and in terms of the manufacturing process, using a laser rather than using a conventional chemical reaction on the substrate 121 There is an effect of forming a pattern more safely and elaborately.

도 7은 발광소자가 배치된 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이다.7 is a view showing an embodiment of a light emitting device package in which a light emitting device is disposed.

발광소자 패키지(400)는 캐비티(cavity)를 가지는 패키지 몸체(410)에 제1 리드 프레임(421) 및 제2 리드 프레임(422)이 배치될 수 있으며, 제1 리드 프레임(421) 및 제2 리드 프레임(422)이 패키지 몸체(410)를 관통하며 배치되고 있으나 다른 형상으로 배치될 수도 있다.In the light emitting device package 400, a first lead frame 421 and a second lead frame 422 may be disposed in a package body 410 having a cavity. Although the lead frame 422 passes through the package body 410 and is disposed, it may be disposed in a different shape.

발광 소자(200)는 제1 리드 프레임(421) 및 제2 리드 프레임(422)와 와이어(430)로 전기적으로 연결되며 배치되고, 캐비티 내에는 몰딩부(440)가 채워지며, 몰딩부(440)는 형광체(445)를 포함할 수 있다.The light emitting element 200 is electrically connected to the first lead frame 421 and the second lead frame 422 by wires 430 and disposed, and the molding part 440 is filled in the cavity, and the molding part 440 ) may include a phosphor 445 .

도 7의 발광소자 패키지(400)에서, 발광소자(200)에서 제1 파장 영역의 광 예를 들면 청색 파장 영역의 광이 방출되고, 형광체(445)가 제1 파장 영역의 광에 의하여 여기되어 보다 장파장인 제2 파장 영역의 광을 방출할 수 있으며, 제1 파장 영역의 광과 제2 파장 영역의 광이 혼합되어 제3 파장 영역의 광 예를 들면 백색광을 구현할 수 있다.In the light emitting device package 400 of FIG. 7 , light of a first wavelength region, for example, light of a blue wavelength region is emitted from the light emitting device 200, and the phosphor 445 is excited by the light of the first wavelength region. Light of a longer wavelength region may be emitted, and the light of the first wavelength region and the light of the second wavelength region may be mixed to realize light of the third wavelength region, for example, white light.

실시 예에 따른 발광 소자 패키지는 복수 개가 기판상에 어레이될 수 있고, 발광 소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지, 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능할 수 있다.A plurality of light emitting device packages according to the embodiment may be arrayed on a substrate, and optical members such as a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, and the like may be disposed on a light path of the light emitting device package. The light emitting device package, substrate, and optical member may function as a backlight unit.

또한, 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 장치로 구현될 수 있다.In addition, it may be implemented as a display device including a light emitting device package according to an embodiment, a pointing device, and a lighting device.

여기서, 표시 장치는 바텀 커버와, 바텀 커버 상에 배치되는 반사판과, 광을 방출하는 발광 모듈과, 반사판의 전방에 배치되며 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하는 도광판과, 도광판의 전방에 배치되는 프리즘 시트들을 포함하는 광학 시트와, 광학 시트 전방에 배치되는 디스플레이 패널과, 디스플레이 패널과 연결되고 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하는 화상 신호 출력 회로와, 디스플레이 패널의 전방에 배치되는 컬러 필터를 포함할 수 있다. 여기서 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 이룰 수 있다.Here, the display device includes a bottom cover, a reflector disposed on the bottom cover, a light emitting module emitting light, a light guide plate disposed in front of the reflector and guiding light emitted from the light emitting module forward, and a light guiding plate disposed in front of the light guide plate. An optical sheet including prism sheets disposed thereon, a display panel disposed in front of the optical sheet, an image signal output circuit connected to the display panel and supplying image signals to the display panel, and a color filter disposed in front of the display panel. can include Here, the bottom cover, the reflector, the light emitting module, the light guide plate, and the optical sheet may form a backlight unit.

또한, 조명 장치는 기판과 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열체, 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는, 램프, 해드 램프, 또는 가로등을 포함할 수 있다.In addition, the lighting device includes a light source module including a substrate and a light emitting device package according to an embodiment, a radiator for dissipating heat from the light source module, and a power supply unit for processing or converting an electrical signal provided from the outside and providing it to the light source module. can include For example, the lighting device may include a lamp, a head lamp, or a street lamp.

해드 램프는 기판 상에 배치되는 발광 소자 패키지들을 포함하는 발광 모듈, 발광 모듈로부터 조사되는 빛을 일정 방향, 예컨대, 전방으로 반사시키는 리플렉터(reflector), 리플렉터에 의하여 반사되는 빛을 전방으로 굴절시키는 렌즈, 및 리플렉터에 의하여 반사되어 렌즈로 향하는 빛의 일부분을 차단 또는 반사하여 설계자가 원하는 배광 패턴을 이루도록 하는 쉐이드(shade)를 포함할 수 있다.The head lamp includes a light emitting module including light emitting device packages disposed on a substrate, a reflector that reflects light emitted from the light emitting module in a certain direction, for example, forward, and a lens that refracts the light reflected by the reflector forward. , and a shade that blocks or reflects a part of the light reflected by the reflector and directed to the lens to form a light distribution pattern desired by the designer.

전술한 발광 소자는 자외선(Ultra Violet, UV) 파장 대역의 광을 방출하도록 구비될 수 있다.The light emitting device described above may be provided to emit light in an Ultra Violet (UV) wavelength band.

자외선은 파장대에 따라 세가지(UVA, UVB, UVC)로 구분될 수 있다.Ultraviolet light can be classified into three types (UVA, UVB, UVC) according to the wavelength range.

UVA는 파장대가 320nm 내지 400nm인 자외선이고, UVB는 파장대가 290nm 내지 320nm인 자외선이며, UVC는 파장대가 290nm이하인 자외선이다.UVA is an ultraviolet ray having a wavelength range of 320 nm to 400 nm, UVB is an ultraviolet ray having a wavelength range of 290 nm to 320 nm, and UVC is an ultraviolet ray having a wavelength range of 290 nm or less.

즉, 상기 발광 소자는 자외선 파장 대역의 광을 방출하여 대상 물체에 포함되어 있는 균을 살균하는 살균장치에 구비될 수 있다.That is, the light emitting element may be provided in a sterilization device for sterilizing bacteria included in a target object by emitting light in an ultraviolet wavelength band.

이상에서 실시 예를 중심(C)으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In the above, the embodiment has been described as the center (C), but this is only an example and does not limit the present invention, and those skilled in the art to which the present invention belongs will consider the above without departing from the essential characteristics of the present embodiment. It will be appreciated that various modifications and applications not exemplified are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention as defined in the appended claims.

121: 기판 123: 발광구조물
123A: 제1도전형 반도체층 123B: 활성층
123C: 제2도전형 반도체층 125A: 제1범퍼
125C: 제2 범퍼 1211: 제1경사면
1212: 제2경사면 1213: 제1돌출부
1214: 제2돌출부
121: substrate 123: light emitting structure
123A: first conductivity type semiconductor layer 123B: active layer
123C: second conductivity type semiconductor layer 125A: first bumper
125C: second bumper 1211: first slope
1212: second inclined surface 1213: first protrusion
1214: second protrusion

Claims (12)

기판; 및
상기 기판 아래에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물을 포함하고,
상기 기판은 상부면 및 상기 상부면에 소정 간격 이격되게 구비되는 복수 개의 패턴을 포함하고,
상기 복수 개의 패턴은, 상기 상부면으로부터 제1높이만큼 침강되도록 구비되는 침강부 및 상기 기판의 상부면으로부터 제2높이만큼 돌출되도록 구비되는 적어도 하나 이상의 돌출부를 포함하고,
상기 돌출부는 상기 침강부에 접하도록 배치되고,
상기 소정 간격은 20㎛ 내지 100㎛이고,
상기 제1높이는 1㎛ 내지 5㎛인, 발광소자.
Board; and
A light emitting structure including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer disposed under the substrate;
The substrate includes an upper surface and a plurality of patterns provided on the upper surface at predetermined intervals,
The plurality of patterns include a recessed portion provided to be recessed from the upper surface by a first height and at least one protruding portion provided to protrude from the upper surface of the substrate by a second height,
The protruding part is disposed to contact the recessed part,
The predetermined interval is 20 μm to 100 μm,
The first height is 1㎛ to 5㎛, the light emitting element.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 패턴은,
제1방향을 따라 제1간격 이격되도록 배치되는 복수 개의 제1패턴; 및
상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 제2간격 이격되도록 배치되는 복수 개의 제2패턴을 포함하는 발광 소자.
According to claim 1,
The plurality of patterns,
a plurality of first patterns arranged to be spaced apart by a first distance along a first direction; and
A light emitting device including a plurality of second patterns arranged to be spaced apart by a second distance along a second direction perpendicular to the first direction.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 패턴은,
상기 기판의 중심으로부터 서로 상이한 반경을 가지는 동심원 형태의 복수 개의 제3패턴인 발광 소자.
According to claim 1,
The plurality of patterns,
A plurality of third pattern light emitting elements in the form of concentric circles having different radii from the center of the substrate.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 패턴은,
상기 기판의 중심으로부터 서로 상이한 반경을 가지는 다각형 형태의 복수 개의 제4패턴인 발광 소자.
According to claim 1,
The plurality of patterns,
A plurality of fourth patterns having a polygonal shape having different radii from the center of the substrate.
제1항에 있어서,
상기 침강부는,
상기 침강부의 일면을 형성하는 제1경사면; 및
상기 침강부의 타면을 형성하는 제2경사면을 포함하며,
상기 제1경사면 및/또는 상기 제2경사면은 상기 기판의 상부면과 평행한 기준선과 제1각도만큼 기울어지도록 구비되는 발광 소자.
According to claim 1,
The sedimentation part,
a first inclined surface forming one side of the depression; and
It includes a second inclined surface forming the other surface of the depression,
The first inclined surface and / or the second inclined surface is provided to be inclined by a first angle with a reference line parallel to the upper surface of the substrate.
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